JP5115759B2 - 磁気記録媒体 - Google Patents
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Description
その一つとしては、磁性層の磁性材料とSOGなど充填材料の膨張係数の差が大きいため、温度変化を生じる環境におくと、保護膜に応力が働き欠陥を増長することとなる。そのためコロージョンを生じ易くなるという課題が生じる。
図1は、本発明の実施形態の磁気記録媒体を示す断面模式図である。この実施形態の磁気記録媒体は、非磁性基体である基板1上に、軟磁性層2、結晶配向制御層3、磁気記録層4、保護層6がこの順に設けられており、磁気記録層4は分離層5により磁気的に分離されて記録トラックを構成する。
図3から図6には、イオンミリング法により前記組成の膜を10秒間エッチングした後の表面粗さRaの組成依存性も示す。その際の条件はアルゴンガスを50sccm、ガス圧5Pa、パワーを250Wとした。
まず、基板1上に軟磁性層2、結晶配向制御層3、磁気記録層(磁性層)4を順次スパッタリングにより形成し、次に保護層(保護膜)7を形成して原料媒体10とする。
すなわち、図2(a)に示すように、所定の形状にパターニングされたレジスト8を形成する。これにはインプリント法やEB描画装置によるパターニングなどによってなされるが、これに制限されるものではない。インプリント法の場合のレジスト8としてはスピンオンガラス(SOG)などが用いられる。
基板1は、通常の磁気記録媒体に用いられるNiPメッキを施したAl合金や強化ガラス、あるいは、結晶化ガラス等を用いることができる。
(実施例1)
図2に示す製造プロセスにそって実施例を説明する。
基板1として、表面が平滑な化学強化ガラス基板(例えば、HOYA社製N−5ガラス基板)を用いた。スパッタ成膜法により、CoZrNbからなる軟磁性層2を200nm成膜し、結晶配向制御層3としてNiFeNbを3nm成膜、その上にRuを14nm成膜した。さらに、第1磁気記録層としてCoCrPt−SiO2材料を10nm成膜し、SiO2で形成される非磁性粒界を持つグラニュラー磁気記録層を形成した。さらに、第2磁気記録層として非グラニュラー磁気記録層を5nm成膜する。連続してスパッタ成膜法とCVD法により、カーボンからなる保護層7を10nm成膜した。
次に、原料媒体10にスピンコーターを用いて、電子線(EB)描画用のレジスト(例えば、日本ゼオン性ZEP−520A)を50nm塗布した。
次に、コータデベロッパ装置を用いて、EBレジスト用現像液(例えば、日本ゼオン性ZEP−RD)で現像を行い、レジストのパターニングを行った。レジストのパターニングで、データ領域とサーボ領域の描画を行った。データ領域は、セクタ毎に円周にそってライン&グルーブとなるように行った。ライン&グルーブの幅は、レジスト残存部が40nm幅、磁気記録層露出部が60nm幅になるようにした。サーボ領域は、バーストの各島が分離部で囲われるように形成した。サーボのバーストに関しては、信号の0、1が反転するだけであるので、磁性部と分離部が逆パターンであっても構わない。
次に、カーボン保護膜のパターニングを行う。反応性イオンエッチング(RIE)法により、レジストをマスクとして酸素ガスを用いてカーボン保護膜をエッチングする。RIEは、誘導結合プラズマ(ICP:Inductive Coupled Plasma)方式の高密度プラズマエッチング装置を用いて行った。高密度プラズマエッチング装置のプラズマ生成パワーは13.56MHzで300Wとし、バイアスパワーは10Wとした。また、ガス流量50sccm、ガス圧を0.1Paに設定した。また、このカーボン保護膜のパターニングはイオンミリングによっても行うことができる。
・ホウ素含有量が12乃至22原子%の範囲にあるニッケル合金、
・リン含有量が8乃至18原子%の範囲にあるクロム合金、
・リン素含有量が14乃至24原子%の範囲にあるニッケル合金
次にイオンミリング法により余分な分離層を磁性層表面までエッチングする。アルゴンガスを50sccm、ガス圧5Pa、パワーを500Wとした。エンドポイントモニターを用いてカーボンを検出信号として磁性層表面まで加工した。
必要に応じて、例えばダイヤモンドライクカーボンの場合、化学気相成長法や物理気相成長法で形成することができる。
こうして得られた磁気記録媒体の表面の凹凸をAFMで評価した。その結果、トラック部の表面粗さRa(算術平均粗さ)は0.4nmであり、平滑な面が確保された。また、磁性部と分離部のパターンに起因する表面の凹凸は最大1.5nmであり、ヘッドの安定した浮上などから磁気記録媒体として求められる2nm以下であった。さらにヘッド浮上特性TOV(Take off velocity)及び信号品質特性も良好であった。
(比較例)
分離部に用いる材料をCrとすること以外は前記実施例と同様に作製し、磁気記録媒体を得た。
2 軟磁性層
3 結晶配向制御層
4 磁気記録層(磁性層)
5 分離層(分離部)
6 保護層(保護膜)
7 原料媒体の保護層(保護膜)
8 レジスト
10 原料媒体
Claims (6)
- 基板上に少なくとも磁気記録層を備え、該磁気記録層のトラック相互間を磁気的に分離する分離層を有してなる磁気記録媒体であって、前記分離層が、クロムホウ化物(CrB)、ニッケルホウ化物(NiB)、クロムリン化物(CrP)及びニッケルリン化物(NiP)からなる群から選ばれる非磁性アモルファス合金からなることを特徴とする磁気記録媒体。
- 前記非磁性アモルファス合金がクロムホウ化物(CrB)であり、そのホウ素(B)の含有量が5乃至20原子%の範囲にあることを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体。
- 前記非磁性アモルファス合金がニッケルホウ化物(NiB)であり、そのホウ素(B)の含有量が12乃至22原子%の範囲にあることを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体。
- 前記非磁性アモルファス合金がクロムリン化物(CrP)であり、そのリン(P)の含有量が8乃至18原子%の範囲にあることを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体。
- 前記非磁性アモルファス合金がニッケルリン化物(NiP)であり、そのリン(P)の含有量が14乃至24原子%の範囲にあることを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体。
- 前記磁気記録層上に保護層を備えることを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体。
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