JP2005196874A - 磁気記録媒体およびその製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005196874A JP2005196874A JP2004002162A JP2004002162A JP2005196874A JP 2005196874 A JP2005196874 A JP 2005196874A JP 2004002162 A JP2004002162 A JP 2004002162A JP 2004002162 A JP2004002162 A JP 2004002162A JP 2005196874 A JP2005196874 A JP 2005196874A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- magnetic
- recording medium
- magnetic recording
- seed layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
【解決手段】 ガラス基板上にテクスチャーを設け、非磁性アモルファスの密着層、非磁性アモルファスのシード層、非磁性下地層、磁性層を順次形成する。密着層およびシード層はFe、Ni、Co、Cr、Ti、W、Moからなる群から選択される少なくとも一元素を含み、さらに、B、Si、P、C、Zr、Nb、Taからなる群から選択される少なくとも一元素を含んで構成し、各々3nm〜50nmの膜厚とする。密着層とシード層の積層膜はビッカース硬度で600Hv〜2000Hvとする。
【選択図】 図1
Description
長手記録方式において線記録密度を向上するためには、記録時の反磁界の影響を減少するために、記録を担う磁性層の残留磁化(Mr)と磁性層膜厚(t)の積(Mr・t)を小さくし、保磁力を増大する必要がある(例えば、特許文献1参照)。また、磁化遷移領域から発生する媒体雑音を低減し、S/Nを向上するためには磁性層結晶粒の微細化と結晶粒間の交換相互作用の低減による活性化粒径の低減が必要である。粒径を微細化するためには下地層の薄膜化および多層化が有効であり、粒間相互作用の低減に関しては、基板加熱を行なう事でCoCr合金中のCrを結晶粒界に偏析させ、非磁性領域を形成する事が有効である。しかしながら、このような磁性層結晶粒の微細化や粒間相互作用の低減により、活性化粒径が低減した媒体では、熱的には不安定となり、残留磁化が減少し、これに伴い記録遷移幅が増大する結果、ヘッド出力の時間減少が加速する。このいわゆる熱揺らぎを改善するためには、磁性膜の磁気異方性エネルギー(Ku)を大きくする事が有効であり、現状ではCoCr合金にPtを多く添加する事で磁気異方性エネルギーを高めている。
S/Nを向上させる他の手法としては、Co基合金等からなる磁性層の面内配向性を向上させることが効果的である。これは結晶磁気異方性が面内方向に強くなり、磁気特性の保磁力、保磁力角型比及び残留磁化が増加するためである。さらに円周方向と半径方向の磁気特性の異方性(特に残留磁化膜厚積の円周方向の値と半径方向の値の比:OR−Mr・t)を大きくする事も有効である。磁気特性の面内異方性を得るためには、メッキ膜もしくはスパッタ膜上にテクスチャーと呼ばれる円周方向の溝を形成し、その後、加熱処理を行い順次Cr下地層、Co基磁性層などを形成する。この際、テクスチャーの形状により基板面表面で円周方向と半径方向に応力の異方性が発生し、これを受けCr下地が変形する。この時Cr下地は(200)優先配向であり、<110>軸が半径方向に伸びるため、Co(110)面の短辺であるc軸が円周方向に優先的に配向し、磁気特性の異方性が発現すると考えられている(例えば、非特許文献1参照)。この時テクスチャーの半幅よりCr下地の結晶粒径が小さいと異方性が導出され易い(例えば、非特許文献2参照)。
一つの方法はガラス基板上にCr等の密着層を形成後、NiP等をシード層としてスパッタで形成し、その後テクスチャーを形成する方法である(例えば、特許文献3参照)。しかしながら、シード層を形成後にテクスチャー加工を行なうためには、シード層であるNiPを数100nm以上形成しなければならず、量産を考慮した場合に問題が生じる。また、テクスチャー加工性の観点から使用できる材料が限定される。
また、繰り返し使用時における記録再生ヘッドの接触等の衝撃あるいは摺動等の破壊要因に対して、高い耐久性を有する磁気記録媒体を提供することを目的とする。
さらに、低コスト化が可能な量産性に優れた製造方法を提供することを目的とする。
前記密着層、前記シード層を積層した膜の膜硬度は好ましくはビッカース硬度で600Hv以上、2000Hv以下とされる。
前記密着層は、好ましくはFe、Ni、Co、Cr、Ti、W、Moからなる群から選択される少なくとも一元素を含み、さらに、B、Si、P、C、Zr、Nb、Taからなる群から選択される少なくとも一元素を含んでよい。
前記密着層と前記シード層は好ましくは異なる材料から形成される。
前記密着層および前記シード層の膜厚がそれぞれ3nm以上、50nm以下が好ましく、かつ前記密着層の膜厚と前記シード層の膜厚の合計が100nm以下が好ましい
前記磁性層に反強磁性結合が形成されることが好ましい。
ガラス基板上に少なくとも非磁性下地層、磁性層を順次形成した磁気記録媒体の製造方法において、前記ガラス基板の円周方向にテクスチャー加工を施し、前記ガラス基板と前記非磁性下地層との間に、非磁性アモルファス材料からなる密着層、非磁性アモルファス材料からなるシード層を順次形成し、円周方向の残留磁化膜厚積と半径方向の残留磁化膜厚積の比を1.2以上とすることを特徴とする。
図1は、本発明の磁気記録媒体の基本的な構成例を説明するための概念図で、非磁性のガラス基板1上に、非磁性アモルファス材料からなる密着層2、非磁性アモルファス材料からなるシード層3、非磁性下地層4、磁性層5が順次積層され、磁性層5は安定化層5a、スペーサー層5b、主磁性層5cから構成される。磁性層5の上には保護層6、液体潤滑層7が設けられている、
本発明の磁気記録媒体の基本的特徴は、ガラス基板1にテクスチャーを施し、非磁性アモルファス材料からなる密着層2およびシード層3を積層した点にある。密着層2およびシード層3をアモルファス材料とすることにより、ガラス基板上に形成したテクスチャーの凹凸をシード層表面まで維持することが可能となり、高い磁気異方性(OR−Mr・t)を発現するとともに、密着層2およびシード層3の積層膜の硬度を高めることが可能となり、耐久性を高めることが可能となる。安定化層5a、スペーサー層5bは反強磁性結合(AFC)を発現して特性を向上するために付加することが好ましい層であり、これらの層を備えない構成の磁気記録媒体とすることも可能である。
ガラス基板1にはテクスチャー加工が施される。テクスチャー加工は、情報の記録再生を行うトラックの方向に略平行に微細な凹凸を形成する。ガラス基板が円板状の場合にはテクスチャーは円周方向に形成される。テクスチャーの形成方法は、機械的な加工方法、リソグラフィー法等、筋状の凹凸を付与する方法を適用できるが、コスト的観点からすれば、研磨砥粒を含まない加工布を基板表面に押圧し、加工布に研磨用のスラリーを付着させて、基板を回転しながら加工するテープテクスチャー法が好ましい。研磨砥粒は、ダイアモンド、酸化セリウム、シリコンカーバイド、コロイダルシリカ等を用いることができ、研磨砥粒と研磨液を混合してスラリーとして用いる事ができる。テクスチャーの表面粗さ、半径方向のピッチは、磁気特性の面内磁気異方性や磁気ヘッドの浮上特性に影響を与える。記録再生特性の観点では、表面粗さが小さく半径方向のピッチが大きい方がヘッドとの磁気スペーシング距離が短くなるため好ましいが、面内磁気異方性の減少によるS/N劣化や磁気ヘッドの浮上特性劣化による機械的エラーが発生する。このため、表面粗さとしては、Raで0.2nm〜0.5nm、半径方向のピッチとしては5nm〜40nmの範囲で形成する事が好ましい。表面粗さの測定は原子間力顕微鏡(AFM)を用い、測定領域は10μm×10μmで行っている。
シード層3は、この上に形成する非磁性下地層4の配向性を向上するとともに非磁性下地層4の粒径を制御するために設けられる層であり、非磁性のアモルファス材料から構成される。その材料は、使用する非磁性下地層4の材料に応じて適宜選択されるが、Fe、Ni、Co、Cr、Ti、W、Moからなる群から選択される少なくとも一元素を主成分として含むことが好ましく、さらに、B、Si、P、C、Zr、Nb、Taからなる群から選択される少なくとも一元素を添加することが好ましい。その膜厚は3nm以上、50nm以下が好ましい。膜厚が3nmより薄い場合は、下地層4の配向性または粒径の制御が不十分となり、膜厚が50nmより厚い場合は量産性に支障を生じる。
密着層2およびシード層3が良好なアモルファス構造を呈するためには2種以上の元素を用いることが好ましく、3種以上の元素から構成すれば更に好ましい。構成する元素の原子半径が12%以上異なっている場合にはさらに良好なアモルファス構造を呈することができる。例えば、Fe、Ni、Co、Cr、Ti等の金属元素を主要元素とした場合には、B、P、Zr、C、Ta等と合金化させることが望ましい。また、Fe、Co、Niを主要元素として用いる場合は、Fe、Co、Niは磁性材料であるのでアモルファス構造でかつ非磁性にするためには、前述したB、P、Zr、C、Taおよび他の材料は主要元素に対して10%を超えて添加することが好ましく、さらに15%以上添加すれば一層の効果を生じる。
非磁性下地層4は、磁性層5の磁性結晶配向性、結晶粒径及び粒界偏析を好適に制御するために用いられる。材料としては、体心立方構造(bcc)あるいは六方最密充填構造(hcp)を有する単金属膜あるいは合金膜が好ましく、Cr、Ti,Ru,Mo,W,V,Taやそれらを含む合金膜が挙げられるが、それらに限定されない。非磁性下地層4の膜厚としては、磁性層5の構造制御を行なうのに必要最小限の膜厚とすることが、記録の面からは必要である。膜厚を薄くする事により、非磁性下地層の結晶粒径を小さくする事ができ、磁性層の結晶粒径を微細化してS/Nを向上する事ができる。良好な特性を得るために、非磁性下地層を何層かの積層により構成することも有効である。積層する事により、非磁性下地層各層の膜厚を薄くして結晶粒径を小さくすることができる。
磁気記録特性を向上するために反強磁性結合を有する層構成とすることもできる。具体的には、非磁性下地層4上にCoCr基合金等の磁性を有する安定化層5a、Ru合金等からなるスペーサー層5b、主磁性層5cを順次積層して形成する。反強磁性結合により安定化層5aに相当する磁性層体積が増えるため、熱揺らぎ安定性がさらに向上する。
磁性層5の非磁性粒界の形成を促進するために基板加熱を行うことが有効である。基板加熱温度は、高すぎる場合には、密着層2とシード層3に結晶領域が形成されるため、280℃以下が好ましい。
また、液体潤滑層7も従来より使用されている材料を用いることができる。例えば、パーフルオロポリエーテル系の潤滑剤をもちいることができる。液体潤滑層7の膜厚等の条件は、通常の磁気記録媒体で用いられる諸条件をそのまま用いることができる。
以下に本発明の実施例を説明するが、以下の実施例は、本発明を説明する代表例に過ぎず、本発明をなんら限定するものではない。
(実施例1)
非磁性ガラス基板1を化学強化系ガラス基板とし、テープテクスチャー装置でテクスチャー加工を行なった。その表面粗さは、原子間力顕微鏡にて測定した結果、Raが0.25nm、半径方向のピッチは15nmで形成されていた。その後、基板洗浄を行い、DCマグネトロンスパッタ装置を用い、非磁性アモルファスの密着層2をTi50Cr40B10にて膜厚15nm、非磁性アモルファスのシード層3をCr60B40にて膜厚15nm形成し、予備加熱を220℃で行なった。次に非磁性下地層4をCrが膜厚4nm、Cr70Mo30が膜厚4nmの順に2層で形成し、安定化層5aをCo78Cr15Ta7にて膜厚2nm、スペーサー層5bをRuにて膜厚0.8 nm、主磁性層5cをCo56Cr24Pt12B8が膜厚6nm、Co65Cr15Pt12B8が膜厚6nmの順に2層で形成した。非磁性下地層4から主磁性層5cまで全てDCマグネトロンスパッタ法で形成している。その後ダイヤモンドライクカーボン保護層6を3nmの膜厚でCVD法で形成し、保護層6上にフロロカーボン系の液体潤滑剤を膜厚1.4nmで塗布して潤滑層7を形成して磁気記録媒体とした。こうして得られた磁気記録媒体のS/N比、出力減衰の測定およびOR−Mr・tを測定した。S/N比の測定は、スピンスタンド型テスターを用い、線記録密度600kFCI(kilo flux change per inch)で測定した。出力減衰はスピンスタンド型テスターを用い、60℃において線記録密度300kFCIで出力減衰を測定した。OR−Mr・t値の測定はORM測定器(イノベイティブインスツルメント製)と呼ばれる磁気測定器を用いて円周方向のMr・t値と半径方向のMr・t値を求め、円周方向のMr・t値と半径方向のMr・t値の比(円周方向Mr・t/半径方向Mr・t)をOR−Mr・tとした。その後透過電子顕微鏡(TEM)による磁性層結晶粒径の評価を行なった。平均粒径および標準偏差はCo(100)、(002)、(101)の回折リングを用いて結像した暗視野像を用い、白いコントラストの結晶粒を150個〜300個計測し算出した。粒径分散は標準偏差を平均粒径で除した値である。同様に作製した磁気記録媒体を用いてスクラッチ試験により破壊荷重、ロードアンロード試験によりAEバースト(ロードアンロード時の磁気ディスクと磁気ヘッドの接触により磁気ディスクの膜剥離が生じ、剥離膜が磁気ヘッドに付着することにより浮上障害を誘発しAE出力が急激に増加する現象)するまでの回数の測定を行なった。スクラッチ試験はロックウェルダイヤモンド圧子を膜面に押しつけ荷重を増加させながら膜面を引っかき、膜の破壊が発生する荷重値を破壊荷重値とした。密着層/シード層の硬度はシード層まで同様に成膜したサンプルを電子天秤上に載せサンプルに圧子を垂直に押し込み、押し込んだ時の押し込み荷重、押し込み深さから硬度を求め、ビッカース硬度に換算した値を用いた。評価結果を表1にまとめる。また、密着層およびシード層の構造確認を行なうため、透過電子顕微鏡による断面観察を行なったところ密着層2およびシード層3共にアモルファス構造であった。
比較例(1)
前記実施例1に示した磁気記録媒体において非磁性ガラス基板1上にテクスチャーを形成せずにDCマグネトロンスパッタ装置を用い密着層2をCrにて膜厚5nm、シード層3をNi80P20にて膜厚100nmで形成し、シード層3上にテクスチャーを形成した後に予備加熱を220℃で行なった以外は実施例1と同様に作製した磁気記録媒体を得た。こうして得られた磁気記録媒体を実施例1と同様にS/N比と出力減衰の測定および透過電子顕微鏡による磁性層結晶粒径の評価、スクラッチ試験により破壊荷重、ロードアンロード試験によりAEバーストするまでの回数の測定を行なった。表1に評価結果を示す。また、密着層およびシード層の構造確認を行なうため、透過電子顕微鏡による断面観察を行なったところ密着層2は結晶構造でありシード層3はアモルファス構造であった。
比較例(2)
前記実施例1に示した磁気記録媒体において密着層2をCr90Ta10にて膜厚15nm、シード層3をNi80P20にて膜厚10nmとしてDCマグネトロンスパッタで形成した以外は実施例1と同様に作製した磁気記録媒体を得た。こうして得られた磁気記録媒体を実施例1と同様にS/N比と出力減衰の測定および透過電子顕微鏡による磁性層結晶粒径の評価、スクラッチ試験により破壊荷重、ロードアンロード試験によりAEバーストするまでの回数の測定を行なった。表1に評価結果を示す。また、密着層およびシード層の構造確認を行なうため、透過電子顕微鏡による断面観察を行なったところ密着層2は結晶構造でありシード層3はアモルファス構造であった。
比較例(3)
前記実施例1に示した磁気記録媒体において非磁性ガラス基板上にテクスチャーを設けず、密着層2をCrにて膜厚10nmとし、シード層3をNi50Al50にて膜厚30nmとしてDCマグネトロンスパッタで形成した以外は実施例1と同様に作製した磁気記録媒体を得た。こうして得られた磁気記録媒体を実施例1と同様にS/N比と出力減衰の測定および透過電子顕微鏡による磁性層結晶粒径の評価、スクラッチ試験により破壊荷重、ロードアンロード試験によりAEバーストするまでの回数の測定を行なった。表1に評価結果を示す。また、密着層およびシード層の構造確認を行なうため、透過電子顕微鏡による断面観察を行なったところ密着層2およびシード層3共に結晶構造であった。
比較例(4)
前記実施例1に示した磁気記録媒体においてシード層3を形成しない以外は同様に作製した磁気記録媒体を得た。こうして得られた磁気記録媒体を実施例1と同様にS/N比と出力減衰の測定および透過電子顕微鏡による磁性層結晶粒径の評価、スクラッチ試験により破壊荷重、ロードアンロード試験によりAEバーストするまでの回数の測定を行なった。表1に評価結果を示す。また、密着層の構造確認を行なうため、透過電子顕微鏡による断面観察を行なったところ密着層2はアモルファス構造であった。
比較例(5)
前記実施例1に示した磁気記録媒体においてテクスチャー加工を行なわない以外は同様に作製した磁気記録媒体を得た。こうして得られた磁気記録媒体を実施例1と同様にS/N比と出力減衰の測定および透過電子顕微鏡による磁性層結晶粒径の評価、スクラッチ試験により破壊荷重、ロードアンロード試験によりAEバーストするまでの回数の測定を行なった。表1に評価結果を示す。また、密着層およびシード層の構造確認を行なうため、透過電子顕微鏡による断面観察を行なったところ密着層2、シード層3共にアモルファス構造であった。
(実施例2)
前記実施例1に示した磁気記録媒体において密着層2をTi50Cr40B10にて膜厚10nm、シード層3をCr60B40にて膜厚30nmとした以外は同様に作製した磁気記録媒体を得た。こうして得られた磁気記録媒体を実施例1と同様にS/N比と出力減衰の測定および透過電子顕微鏡による磁性層結晶粒径の評価、スクラッチ試験により破壊荷重、ロードアンロード試験によりAEバーストするまでの回数の測定を行なった。表1に評価結果を示す。また、密着層およびシード層の構造確認を行なうため、透過電子顕微鏡による断面観察を行なったところ密着層2およびシード層3共にアモルファス構造であった。
(実施例3)
前記実施例1に示した磁気記録媒体において予備加熱温度を280℃とした以外は、実施例1と同様に作製した磁気記録媒体を得た。こうして得られた磁気記録媒体を実施例1と同様にS/N比と出力減衰の測定および透過電子顕微鏡による磁性層結晶粒径の評価、スクラッチ試験により破壊荷重、ロードアンロード試験によりAEバーストするまでの回数の測定を行なった。表1に評価結果を示す。また、密着層およびシード層の構造確認を行なうため、透過電子顕微鏡による断面観察を行なったところ密着層2およびシード層3共にアモルファス構造であった。
(実施例4)
前記実施例1に示した磁気記録媒体において密着層2をCr50Ta50にて膜厚15nm、シード層3をW50Co40B10にて膜厚15nmとした以外は同様に作製した磁気記録媒体を得た。こうして得られた磁気記録媒体を実施例1と同様にS/N比と出力減衰の測定および透過電子顕微鏡による磁性層結晶粒径の評価、スクラッチ試験により破壊荷重、ロードアンロード試験によりAEバーストするまでの回数の測定を行なった。表1に評価結果を示す。また、密着層およびシード層の構造確認を行なうため、透過電子顕微鏡による断面観察を行なったところ密着層2およびシード層3共にアモルファス構造であった。
(実施例5)
前記実施例1に示した磁気記録媒体において密着層2をCr60B40にて膜厚10nm、シード層3をMo50Zr30B20にて膜厚30nmとした以外は実施例1と同様に作製した磁気記録媒体を得た。こうして得られた磁気記録媒体を実施例1と同様にS/N比と出力減衰の測定および透過電子顕微鏡による磁性層結晶粒径の評価、スクラッチ試験により破壊荷重、ロードアンロード試験によりAEバーストするまでの回数の測定を行なった。表1に評価結果を示す。また、密着層およびシード層の構造確認を行なうため、透過電子顕微鏡による断面観察を行なったところ密着層2およびシード層3共にアモルファス構造であった。
(実施例6)
前記実施例1に示した磁気記録媒体において密着層2をTi50Cr40B10にて膜厚20nm、シード層3をCr60B40にて膜厚50nm形成し予備加熱を220℃で行なった後に−200Vのバイアス電圧をかけながら非磁性下地層4をCrが膜厚4nm、Cr70Mo30が膜厚4nmを順次形成する以外は実施例1と同様に作製した磁気記録媒体を得た。こうして得られた磁気記録媒体を実施例1と同様にS/N比と出力減衰の測定および透過電子顕微鏡による磁性層結晶粒径の評価、スクラッチ試験により破壊荷重、ロードアンロード試験によりAEバーストするまでの回数の測定を行なった。表1に評価結果を示す。また、密着層およびシード層の構造確認を行なうため、透過電子顕微鏡による断面観察を行なったところ密着層2およびシード層3共にアモルファス構造であった。
(実施例7)
前記実施例1に示した磁気記録媒体において非磁性下地層4をCrが膜厚4nm、Cr74Mo20B6が膜厚2nm、Cr70Mo30が膜厚2nmの3層とした以外は実施例1と同様に作製した磁気記録媒体を得た。こうして得られた磁気記録媒体を実施例1と同様にS/N比と出力減衰の測定および透過電子顕微鏡による磁性層結晶粒径の評価、スクラッチ試験により破壊荷重、ロードアンロード試験によりAEバーストするまでの回数の測定を行なった。表1に評価結果を示す。また、密着層およびシード層の構造確認を行なうため、透過電子顕微鏡による断面観察を行なったところ密着層2およびシード層3共にアモルファス構造であった。
(実施例8)
前記実施例1に示した磁気記録媒体において密着層2をCr50Ta50にて膜厚10nm、シード層3をFe50Cr20B20Si10にて膜厚15nmとした以外は実施例1と同様に作製した磁気記録媒体を得た。こうして得られた磁気記録媒体を実施例1と同様にS/N比と出力減衰の測定および透過電子顕微鏡による磁性層結晶粒径の評価、スクラッチ試験により破壊荷重、ロードアンロード試験によりAEバーストするまでの回数の測定を行なった。表1に評価結果を示す。また、密着層およびシード層の構造確認を行なうため、透過電子顕微鏡による断面観察を行なったところ密着層2およびシード層3共にアモルファス構造であった。
2 非磁性アモルファス材料からなる密着層
3 非磁性アモルファス材料からなるシード層
4 非磁性下地層
5 磁性層
5a 安定化層
5b スペーサー層
5c 主磁性層
6 保護層
7 液体潤滑層
Claims (8)
- ガラス基板上に少なくとも非磁性下地層、磁性層を順次形成した磁気記録媒体において、
前記ガラス基板は円周方向にテクスチャーが形成され、
前記ガラス基板と前記非磁性下地層との間に、非磁性アモルファス材料からなる密着層、非磁性アモルファス材料からなるシード層が順次形成され、
円周方向の残留磁化膜厚積と半径方向の残留磁化膜厚積の比が1.2以上である事を特徴とする磁気記録媒体。 - 前記密着層、前記シード層を積層した膜の膜硬度がビッカース硬度で600Hv以上、2000Hv以下であることを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体。
- 前記密着層は、Fe、Ni、Co、Cr、Ti、W、Moからなる群から選択される少なくとも一元素を含み、さらに、B、Si、P、C、Zr、Nb、Taからなる群から選択される少なくとも一元素を含むことを特徴とする請求項1または2の何れかに記載の磁気記録媒体。
- 前記シード層は、Fe、Ni、Co、Cr、Ti、W、Moからなる群から選択される少なくとも一元素を含み、さらに、B、Si、P、C、Zr、Nb、Taからなる群から選択される少なくとも一元素を含むことを特徴とする請求項1または2の何れかに記載の磁気記録媒体。
- 前記密着層と前記シード層が異なる材料から形成されることを特徴とする請求項1ないし4の何れかに記載の磁気記録媒体。
- 前記密着層および前記シード層の膜厚がそれぞれ3nm以上、50nm以下であり、かつ前記密着層の膜厚と前記シード層の膜厚の合計が100nm以下である事を特徴とする請求項1ないし5の何れかに記載の磁気記録媒体。
- 前記磁性層に反強磁性結合が形成されることを特徴とする請求項1ないし6の何れかに記載の磁気記録媒体。
- ガラス基板上に少なくとも非磁性下地層、磁性層を順次形成した磁気記録媒体において、
前記ガラス基板の円周方向にテクスチャー加工を施し、
前記ガラス基板と前記非磁性下地層との間に、非磁性アモルファス材料からなる密着層、非磁性アモルファス材料からなるシード層を順次形成し、
円周方向の残留磁化膜厚積と半径方向の残留磁化膜厚積の比を1.2以上とすることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004002162A JP2005196874A (ja) | 2004-01-07 | 2004-01-07 | 磁気記録媒体およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004002162A JP2005196874A (ja) | 2004-01-07 | 2004-01-07 | 磁気記録媒体およびその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005196874A true JP2005196874A (ja) | 2005-07-21 |
Family
ID=34817467
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004002162A Withdrawn JP2005196874A (ja) | 2004-01-07 | 2004-01-07 | 磁気記録媒体およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005196874A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007234198A (ja) * | 2006-03-03 | 2007-09-13 | Hoya Corp | 磁気記録媒体 |
US20110076514A1 (en) * | 2009-09-30 | 2011-03-31 | Fuji Electric Device Technology Co., Ltd. | Magnetic recording medium |
JP2012160242A (ja) * | 2011-02-02 | 2012-08-23 | Fuji Electric Co Ltd | 熱アシスト記録装置用の磁気記録媒体およびその製造方法 |
-
2004
- 2004-01-07 JP JP2004002162A patent/JP2005196874A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007234198A (ja) * | 2006-03-03 | 2007-09-13 | Hoya Corp | 磁気記録媒体 |
US20110076514A1 (en) * | 2009-09-30 | 2011-03-31 | Fuji Electric Device Technology Co., Ltd. | Magnetic recording medium |
JP2012160242A (ja) * | 2011-02-02 | 2012-08-23 | Fuji Electric Co Ltd | 熱アシスト記録装置用の磁気記録媒体およびその製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5103097B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体及びそれを用いた磁気記録再生装置 | |
JP5061307B2 (ja) | 磁気記録媒体および磁気記録再生装置 | |
WO2009119708A1 (ja) | 垂直磁気記録媒体および垂直磁気記録媒体の製造方法 | |
WO2009119709A1 (ja) | 垂直磁気記録媒体および垂直磁気記録媒体の製造方法 | |
JP2004247010A (ja) | 磁気ディスク | |
JPWO2006003922A1 (ja) | 垂直磁気記録ディスク及びその製造方法 | |
JP2007179598A (ja) | 磁気記録媒体、その製造方法および、磁気記録再生装置 | |
KR20060054100A (ko) | 수직 자기 기록 매체 | |
JP2009059431A (ja) | 磁気記録媒体および磁気記録再生装置 | |
JPWO2009014205A1 (ja) | 垂直磁気記録媒体、その製造方法および磁気記録再生装置 | |
JP2011014191A (ja) | 垂直磁気記録媒体及び磁気記憶装置 | |
JP2008192249A (ja) | 垂直磁気記録媒体、その製造方法および磁気記録再生装置 | |
JP2006302426A (ja) | 垂直磁気記録媒体およびその製造方法 | |
JP2007073136A (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 | |
JP5627223B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
JP2008276859A (ja) | 磁気記録媒体、その製造方法および磁気記録再生装置 | |
JP5126674B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
JP4564933B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体とその磁気特性評価法、及び磁気記録再生装置 | |
JP2005196874A (ja) | 磁気記録媒体およびその製造方法 | |
JP6085088B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体の製造方法 | |
JP2007102833A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
JP2005174531A (ja) | 粒状垂直記録用途の非反応処理のための磁性体 | |
JP2001093139A (ja) | 磁気記録媒体および磁気記録再生装置 | |
JP2009064501A (ja) | 磁気記録媒体および磁気記録再生装置 | |
JP2004273046A (ja) | 垂直磁気記録媒体用ディスク基板及び垂直磁気記録ディスク |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20060703 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Effective date: 20060704 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060914 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080925 |
|
A761 | Written withdrawal of application |
Effective date: 20081126 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 |