JP2004247010A - 磁気ディスク - Google Patents
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Abstract
【課題】ハードディスクドライブなどの小型化、高容量化および低価格化等を目標とし、基板としてガラス基板を用いながら、望ましい磁気特性を有する磁気ディスクを提供する。
【解決手段】テクスチャーを形成したガラス基板1上へ、スパッタリングにより順次成膜を行なった。まず、第1の非晶質下地層2aとしてCrTiを含む非晶質Cr合金層、次に第2の非晶質下地層2bとして、CrNbを含む非晶質Cr合金層を成膜し、非晶質下地層2とした。次に、基板を加熱し、シード層3としてAlRuを、配向制御層4としてCrMoを成膜した。さらに、第1の磁性層5aとしてCoCrTaを、交換結合膜5bとしてRuを、第2の磁性層5cとしてCoCrPtBを成膜し、磁性層5とした。最後に、保護層6と潤滑層7とを設け、磁気ディスク10を得た。
【選択図】 図1
【解決手段】テクスチャーを形成したガラス基板1上へ、スパッタリングにより順次成膜を行なった。まず、第1の非晶質下地層2aとしてCrTiを含む非晶質Cr合金層、次に第2の非晶質下地層2bとして、CrNbを含む非晶質Cr合金層を成膜し、非晶質下地層2とした。次に、基板を加熱し、シード層3としてAlRuを、配向制御層4としてCrMoを成膜した。さらに、第1の磁性層5aとしてCoCrTaを、交換結合膜5bとしてRuを、第2の磁性層5cとしてCoCrPtBを成膜し、磁性層5とした。最後に、保護層6と潤滑層7とを設け、磁気ディスク10を得た。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ハードディスクドライブなどの磁気ディスク装置に搭載される磁気ディスクに関する。
【0002】
【従来の技術】
近年の急速なIT産業の発達に伴い、情報記録技術、特に磁気記録技術に対しては飛躍的な技術革新が要請されている。例えば、ハードディスクドライブ(以下、HDDと記載する。)等に搭載される磁気ディスクでは、高容量化の要請により40Gbit/inch2〜100Gbit/inch2以上の情報記録密度を実現できる技術が求められている。
【0003】
上述した高容量化の要請に伴い、磁気ディスクに対しては、HDDの磁気ヘッドの浮上飛行方向における磁気特性が、特に優れていることが求められる。このため、例えば特許文献1では、磁気ディスクの基板であるアルミ合金等の金属基板表面上に、磁気異方性を誘導するテクスチャーを形成した上で磁性層を成膜することにより、半径方向の磁気特性に対比して、磁気ヘッドの浮上飛行方向の磁気特性を向上させることが提案されている。
【0004】
一方、近年、HDDのモバイル化、小型化の要請から、磁気ディスクの基板として、高剛性で耐衝撃性に優れ、また高い表面平滑性が得られるガラス基板が注目されている。そして、磁気ディスクの基板をアルミ合金等からガラスへ代替すると、ガラス基板は耐衝撃性に優れているので、磁気ディスク製造工程において、アルミ合金製基板のようにNiP等の金属膜を被着して剛性を補強する必要が無くなる。この結果、磁気ディスク製造工程の短縮が可能となり、廉価な磁気ディスクを提供できる上に、HDDの小型化が容易に実現できる。例えば、特許文献2には、ガラス基板上に円周状のテクスチャーを形成し、この上に磁性層等をスパッタリングした磁気記録媒体などが提案されている。
【0005】
【特許文献1】
特開昭62−273619号公報
【特許文献2】
特開2002−32909号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
磁気ディスクの基板としてガラス基板を用いる場合においても、アルミ合金製基板のときと同様に、半径方向の磁気特性に比べて、磁気ヘッドの浮上飛行方向である円周方向の磁気特性が優れていることが望まれる。
【0007】
ここで、磁気ディスクにおける半径方向と円周方向との磁気特性を評価するために、残留磁化膜厚積による磁気異方性比(以下、MrtORと記載する。)が用いられる。そこで、MrtORについて、簡単に説明する。
MrtORとは、残留磁化膜厚積(以下、Mrtと記載する。)から算出する磁気異方性比(Oriented Ratio、以下、ORと記載する。)のことである。そして、磁気ディスク等の磁気記録媒体の主表面上における任意の点において、円周方向のMrtをMrt(c)と、半径方向のMrtをMrt(r)としたとき、Mrt(r)に対するMrt(c)の比、すなわちMrt(c)/Mrt(r)をMrtORとする。尚、Mrtとは、Mr(残留磁化)とt(媒体の磁性層厚さ)との積のことである。
【0008】
すなわち、磁気ディスク等においてMrtORがほぼ1であることは、円周方向と半径方向の磁気特性がほぼ等しいことを示し、当該磁気記録媒体は等方性の磁気記録媒体である。そして、MrtORが、1を越えて大きくなるに従い、円周方向の磁気特性である磁気異方性が向上していることを示している。
【0009】
ここで、磁気ディスクとして40Gbit/inch2以上の記録密度を達成しようとする場合、MrtORは1.2以上であることが求められ、50Gbit/inch2以上の記録密度を達成しようとする場合、MrtORは1.3以上、さらに、60Gbit/inch2以上の高記録密度を達成しようとする場合、MrtORは1.35以上であることが望ましいと考えられる。
そして、磁気ディスクの基板として、アルミ合金製基板や、さらにNiP等の金属膜を被着した基板などを用い、この金属表面上に磁気異方性を誘導するテクスチャーを形成し、この上に磁性層を形成した場合は、望ましいMrtORを得ることができた。
【0010】
ところが、磁気ディスクの基板としてガラス基板を用い、このガラス表面上に直接、磁気異方性を誘導するテクスチャーを形成し、この上に磁性層を形成した場合、MrtORは1.0〜1.1程度しか得られず、高密度記録には不適なものであった。この結果、HDDの小型化、高容量化および低価格化を目標としても、磁気ディスクの基板としてガラス基板を用いることができず、ガラス基板の有する高い耐衝撃性や表面平滑性、製造コストの削減効果を活かすことができないため、この目標の達成が阻害される要因となっていた。
【0011】
本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、基板としてガラス基板を用いることで耐衝撃性を上げ、生産コストを下げながら、望ましい磁気特性を有する磁気ディスクを提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明は以下の構成を有する。
【0013】
(構成1)ガラス基板上に、非晶質下地層と磁性層とを備え、
前記ガラス基板上には、前記磁性層に磁気異方性を誘導するテクスチャーが形成され、
前記非晶質下地層は、前記ガラス基板側にIVa属元素を含み、前記磁性層側にVa属元素を含むものであることを特徴とする磁気ディスクである。
【0014】
上記構成を有する磁気ディスクは、基板としてガラス基板を用いながら、磁性層に高い磁気異方性を誘導することができ、望ましい磁気特性を有する磁気ディスクとなる。
【0015】
(構成2)構成1に記載の磁気ディスクであって、
前記非晶質下地層と前記磁性層との間に、B2結晶構造を有するシード層が形成されていることを特徴とする磁気ディスクである。
【0016】
構成2を有する磁気ディスクは、構成1の効果に加え、磁性層の磁性グレインが均一に微細化されるので、高記録密度化に適したものとなる。
【0017】
(構成3)構成1又は2に記載の磁気ディスクであって、
前記IVa属元素は、Ti及び/又はZrであり、
前記Va属元素は、Nb及び/又はTaであることを特徴とする磁気ディスクである。
【0018】
構成1または2の効果の効果を得るために、前記IVa属元素として、Ti及び/又はZrが、前記Va属元素として、Nb及び/又はTaが好適に選択される。
【0019】
(構成4)構成1から3の何れか1項に記載の磁気ディスクであって、
前記非晶質下地層は、非晶質Cr合金を含む層であることを特徴とする磁気ディスクである。
【0020】
構成1から3の何れか1項に記載の効果の効果を得るために、前記非晶質下地層として、非晶質Cr合金を含む層が好適に選択される。
【0021】
(構成5)構成1から4の何れか1項に記載の磁気ディスクであって、
前記磁性層は、交換結合膜を含むものであることを特徴とする磁気ディスクである。
【0022】
構成5を有する磁気ディスクは、構成1から4の何れか1項に記載の効果に加え、磁気層において、熱磁気余効による熱揺らぎ障害を抑制することができるので、高記録密度化に適したものとなる。
【0023】
【発明の実施の形態】
ガラス基板上にテクスチャーを形成した磁気ディスクの場合、金属基板上にテクスチャーを形成した磁気ディスクに比べて、磁性層に誘導される磁気異方性が小さい理由について本発明者は様々な角度から研究を行ない、ガラス基板を用いながら磁性層に十分な磁気異方性を誘導させることを検討した。そして研究の結果、ガラス基板は、非金属でありかつ非晶質分を含むので、この表面性に適した下地層を選定しガラス基板に接して形成すれば、この下地層が、ガラス基板表面上に形成されたテクスチャーの作用を、好適に磁性層に伝播させることができるではないかとの着想を得るに至った。そこで、この着想に基づき鋭意研究を行なったところ、ガラス基板を用いながら、磁性層に十分な磁気異方性を誘導できる好適な下地層を見出し発明を完成させるに至った。
【0024】
以下、図面を参照しながら、本発明の一実施形態について説明する。
図1は、本発明に係る磁気ディスクの一例の模式的な縦断面図である。
図1において、磁気ディスク10は、ガラス基板1上に、非晶質下地層2、シード層3、配向制御層4、磁性層5、保護層6、潤滑層7が順次、積層されて形成されている。
そして、非晶質下地層2は、第1の非晶質下地層2aと、第2の非晶質下地層2bとが積層されて形成されている。
さらに、磁性層5は、第1の磁性層5aと、交換結合膜5bと、第2の磁性層5cとが積層されて形成されている。ここで、第1の磁性層5aと第2の磁性層5cとは、非磁性層である交換結合膜5bを介して、反平行に交換結合している磁性層である。
尚、図示していないが、ガラス基板1上には、磁性層5に円周方向の磁気異方性を誘導する円周状のテクスチャーが形成されている。
以下、各層毎に詳細に説明する。
【0025】
(ガラス基板)
本発明に係る磁気ディスクの基板へ用いるガラスとしては、例えばアルミノシリケートガラスやソーダライムガラス等が挙げられる。なかでも、アルミノシリケートガラスであれば化学強化ガラスとすることで高い剛性を得ることができるので好ましい。さらに、アモルファスガラス又は、アモルファスと結晶を備える結晶化ガラスを用いることができるが、アモルファスガラスであれば、本発明の作用を好ましく得ることができる。
【0026】
このようなガラスの例として、アモルファスのアルミノシリケートガラスとして、SiO2 :58〜75重量%、Al2 O3 :5〜23重量%、Li2 O:3〜10重量%、Na2 O:4〜13重量%を主成分として含有するアルミノシリケートガラスが好ましい。更には、前記ガラス基板の組成が、SiO2 :62〜75重量%、Al2 O3 :5〜15重量%、Li2 O:4〜10重量%、Na2 O:4〜12重量%、ZrO2 :5.5〜15重量%を主成分として含有するとともに、Na2 O/ZrO2 の重量比が0.5〜2.0、Al2 O3 /ZrO2 の重量比が0.4〜2.5であるアルミノシリケートガラスであることが好ましい。
また、モル%表示で、SiO2を57〜74%、ZnO2を0〜2.8%、Al2O3を3〜15%、LiO2を7〜16%、Na2Oを4〜14%含有する化学強化用ガラス等を使用すると、ZrO2の未溶解物に起因するガラス基板表面の突起を無くすことができるので、好ましい構成である。
上述のアルミノシリケートガラスは、化学強化することによって、抗折強度が増加し、圧縮応力層の深さも深く、ヌープ硬度にも優れたガラス基板となる。
【0027】
上述のガラス基板上に設けられるテクスチャーは、磁性層に磁気異方性を誘導する形状であれば特に限定されず、例えば、円周状テクスチャー、らせん状テクスチャー、クロステクスチャーなどを挙げることができる。特に、円周状のテクスチャーであれば、テクスチャーの方向が、磁気ディスク上を浮上飛行する磁気ヘッドの走行方向に類似するので、本発明の作用を好ましく得ることができる。
尚、基板表面の表面粗さに関しては、Rmaxで6nm以下、Raで6nm以下の平滑表面であることが好ましい。このような平滑な表面粗さの場合、磁気ディスクの高記録密度化に資する事ができる。
【0028】
(非晶質下地層)
本発明に係る非晶質下地層2は、ガラス基板1と磁性層5との間に設けられる。非晶質下地層2は、ガラス基板1側にはIVa属元素が添加され、磁性層5側にはVa属元素が添加されたものであるが、この層を設けることで、磁性層5に高い磁気異方性を誘導することができる。この詳細な機構は、未だ不明であるが概ね、次のように考えられる。
【0029】
まず第1に、非晶質分を含むガラスの表面性に対応して、非晶質下地層2をガラス基板1上に成膜することにより、ガラス基板1上に形成されたテクスチャーの微細なモホロジーを乱すことなく、非晶質下地層2や磁性層5等の金属層の表面へ、受け継ぐことができるからであると考えられる。この観点から、非晶質下地層2はガラス基板1に接して成膜されることが好ましい。
【0030】
第2に、非晶質下地層2の、ガラス基板1側にはIVa属元素を添加し、磁性層5側にはVa属元素を添加することによって、前記テクスチャーのモホロジーにより誘起される膜応力を、好適に磁性層5へ伝播させることができるからであると考えられる。
【0031】
磁性物理学の知見によれば、磁性体の磁気異方性は、主に結晶磁気異方性による磁化容易軸に起因している。例えば、磁性層がCo系合金を含む材料からなる場合では、結晶磁気異方性により、hcp結晶構造のc軸が磁化容易軸となるので、c軸方向に磁気異方性が発現する。ところが、結晶構造に応力等の歪が加わると、前記結晶磁気異方性が変化することが知られており、一般に、ヴィラリ効果による磁歪として説明されている。
即ち、テクスチャーによる磁性層の磁気異方性は、その一つの要因として、テクスチャーが磁性層に応力を加えることにより発現していると考えられる。
本発明においても、ガラス基板1上のテクスチャーは、その上に成膜される非晶質下地層2や磁性層5等の金属層に対して、グレインの配向を制御するとともに、磁歪による磁気異方性を誘導する作用を働くと考えられる。
【0032】
さらに、本発明の構成によれば、ガラス基板1側にはIVa属元素が添加され、
磁性層5側にはVa属元素が添加されているので、非晶質下地層2における短距離秩序である格子間距離が、ガラス基板側から磁性層側に向かって大きくなる。このため、テクスチャーによって、非晶質下地層2のガラス基板1側に誘起された膜応力が、非晶質下地層2内で増幅されつつ磁性層5側に伝播していると考えられる。この結果、磁性層5に高い磁気異方性を誘導することができたと考えられる。
【0033】
前記非晶質下地層2の材料として、例えば、非晶質のCr合金材料を選定すると磁性層5に高い磁気異方性を誘導することができ好ましい。これは非晶質のCr合金材料、等を含む非晶質下地層2が、前記膜応力を好適に磁性層5へ伝播させているためであると考えられる。これは、非晶質Cr合金材料が、長距離秩序を備えない点においてアモルファス材料でありながら、短距離秩序を備えるナノクリスタル構造を具備しているためであると考えられる。
【0034】
そこで本願発明においては、非晶質Cr合金等の材料を、非晶質下地層2の材料とした。そして、前記非晶質下地層2における短距離秩序の格子間距離が、ガラス基板1側から磁性層5側に向かって大きくなるよう、ガラス基板1側にはIVa属元素を添加し、磁性層5側にはVa属元素を添加した。この結果、テクスチャーによって非晶質下地層2のガラス基板1側に誘起された膜応力は、非晶質下地層2内で増幅されつつ磁性層5側に伝播されるという好適な作用が得られ、磁性層5に高い磁気異方性を誘導することができたと考えられる。
【0035】
本発明にあっては、前記非晶質下地層2において、前記IVa属元素及び前記Va属元素の含有量は、35at%〜65at%が好ましい。非晶質下地層2が、非晶質Cr合金を含む材料の場合、この範囲内であれば、好適にナノクリスタル構造を含む非晶質Cr合金材料とすることができるからである。
【0036】
本発明にあっては、前記非晶質下地層2の膜厚としては、本発明の作用を失わない範囲内で選定することができるが、例えば100Å〜500Åの膜厚は、特性、生産性の観点より、好ましい膜厚である。
【0037】
本発明にあっては、前記IVa属元素としてTi及び/又はZr、前記Va属元素としてNb及び/又はTaを選定することが好ましい。特に、非晶質下地層2が、非晶質Cr合金を含む材料の場合、非晶質下地層2中に、これらの元素が含有されると、好適なナノクリスタル構造を具備する非晶質下地層2が形成されるとともに、磁性層5に高い磁気異方性を誘導することができる。
【0038】
なお、好ましい非晶質下地層2の態様としては、まず、ガラス基板1上に接してCrTi合金及び/又はCrZr合金を有する、第1の非晶質下地層2aを成膜し、この上にCrNb合金及び/又はCrTa合金を有する、第2の非晶質下地層2bを備える態様が挙げられる。
【0039】
これは、第1の非晶質下地層2aとしてガラス基板1に接してCrTi合金やCrZr合金を形成すると、これらの合金は、CrNb合金やCrTa合金に比べて膜応力は小さいものの、これ故、ガラス基板1との付着性に優れるという利点を得ることができるからである。ガラス基板1と非晶質下地層2との付着性が高ければ、ガラス基板1からの非晶質下地層2等の膜剥がれを抑制することができ好ましい。他方、磁性層5側の第2の非晶質下地層2bであるCrNb合金やCrTa合金は、CrTi合金やCrZr合金に比べて膜応力が大きいので、磁性層5に高い磁気異方性を誘導することができるからである。
【0040】
上述の構成を採ることにより、膜剥がれなどの付着性の問題を起す事の無い、高い磁気異方性を有する磁気ディスク10を得ることができる。特に、ロードアンロード(以下、LULと記載する。)方式のHDDに用いられる磁気ディスクにあっては、LUL時に磁気ヘッドから磁気ディスクに加えられる撃力により、膜剥がれが起きる場合もあるが、本発明に係る磁気ディスクでは、高い膜付着性を得ることができるので、LUL方式用磁気ディスクとして耐久性の高い、好適なものを得ることができる。
【0041】
本発明にあっては、非晶質下地層2と磁性層5との間に、B2結晶構造のシード層3を形成することも好ましい構成である。Cr合金等を含む非晶質下地層2は、B2結晶構造のシード層3の結晶粒子を微細かつ均一となるように作用するが、この微細かつ均一なB2結晶構造のシード層3は、その上に形成される磁性層5の磁性グレインを均一に微細化することができる。そして、磁性層5の磁性グレインの均一化、微細化は、得られる磁気ディスク10の高記録密度化に資することができるからである。このようなシード層3としては、AlRu合金シード層、NiAl合金シード層、等が挙げられる、本発明の作用を好適なものとするためには、前記Cr合金等の非晶質下地層2に接してAlRu合金のシード層3を形成することが好ましい。
【0042】
本発明にあっては、シード層3と磁性層5との間、シード層3を設けない場合は非晶質下地層2と磁性層5との間に、配向制御層4を形成することも好ましい構成である。配向制御層4を形成することで、磁性層5の磁化容易軸の配向を促進することができる。
製造される磁気ディスク10が、面内磁気記録用磁気ディスクである場合は、磁性層5が面内配向するように配向制御層4として、bcc結晶構造を備える結晶質層を形成する事が好ましい。これらbcc結晶構造の結晶質層としては、CrW合金層、CrMo合金層、CrV合金層、等を好ましいものとして挙げることができる。
【0043】
本発明における磁性層5としては、様々な材料からなる磁性材料を含むものが適用可能であるが、中でもCo合金を含む磁性層であることが好ましく、hcp結晶構造を備える結晶質の磁性層であることが好ましい。このような磁性層5として、CoCr系合金磁性層、CoPt系合金磁性層、CoCrPt系合金磁性層、等を好ましく挙げることができる。これらの合金材料を含む磁性層5は磁気異方性定数が高いので、高い磁気異方性を得ることができる。磁性層5の膜厚は適宜選定することができるが、例えば50Å〜300Åは、特性、生産性の観点より好ましい膜厚である。
【0044】
さらに本発明において磁性層5が、交換結合膜5bを含む構成とし、ガラス基板1側より、第1の磁性層5a、交換結合膜5b、第2の磁性層5cとすることが好ましい。磁性層5が、交換結合膜5bを含む構成であると、製造された磁気ディスク10において、熱磁気余効による熱揺らぎ障害を抑制することができるので、高記録密度化に好適である。特に、交換結合膜5bの上下の、第1の磁性層5aと第2の磁性層5cとの磁性層の磁化方向が、反平行となるように結合を調製することが好ましい。このような調製は、例えば、第1第2の磁性層間に介挿する交換結合膜5bを、膜厚5Å〜10Åの非磁性層とすることで達成することができる。このような非磁性層としては、hcp結晶構造を有するRu層、等を好ましく挙げることができる。
【0045】
本発明にあっては、磁性層5上に保護層6、潤滑層7を形成することが好ましい。保護層6としては炭素系保護層、潤滑層7としてはパーフロロポリエーテル(PFPE)潤滑層、等を好ましく挙げることができる。
【0046】
以下、実施例を参照しながら、本発明を具体的に説明する。
(実施例1)
ガラス基板1は、アモルファスのアルミノシリケートガラスを溶融し、ダイレクトプレスにより得たガラスディスクに対して、形状加工、研削、研磨、化学強化を施して得た、2.5インチ型の化学強化ガラス基板である。
尚、本実施例におけるアルミノシリケートガラスは、SiO2 :63.6重量%、Al2 O3 :14.2重量%、Na2 O:10.4重量%、Li2 O:5.4重量%、ZrO2 :6.0重量%、Sb2 O3 :0.4重量%の組成を有するアルミノシリケートガラスである。
【0047】
化学強化後のガラス基板1の主表面上に対し、枚葉型テープ式テクスチャー装置とダイヤモンドスラリーを用いて、円周状のテクスチャーを形成した。
【0048】
テクスチャーの形成されたガラス基板1において、主表面の5μm平方領域の微細モホロジーを、AFM(原子間力顕微鏡)を用いてを観察した。そして規則的な筋溝からなるテクスチャーが、ディスクの円周方向に沿って配列していることを確認した。
一方、主表面の表面粗さは、Rmaxで4.81nm、Raで0.42nmという平滑な表面であった。なお、表面粗さは前記AFMの観察形状を基に、日本工業規格(JIS)に従って算出した。
【0049】
次に、枚葉静止対向成膜方法を用いて、DCマグネトロンスパッタリングにより、Arガス雰囲気中で、ガラス基板1へ順次、以下の成膜を行なった。
第1の非晶質下地層2aは、CrTi(Cr:55at%、Ti:45at%)を含む非晶質Cr合金層であり、膜厚が100Åになるように成膜した。
第2の非晶質下地層2bは、CrNb(Cr:55at%、Nb:45at%)を含む非晶質Cr合金層であり、膜厚が200Åになるように成膜した。
この結果、非晶質下地層2の膜厚は300Åとなった。
【0050】
さらに、非晶質下地層2が形成されたディスク基板を加熱し、引き続いて、以下の成膜を行なった。
シード層3は、AlRu(Al:50at%、Ru:50at%)を含むB2結晶構造の合金層であり、膜厚が300Åとなるように成膜した
配向制御層4は、bcc結晶構造のCrMo(Cr:80at%、Mo:20at%)を含む結晶質層であり、膜厚が100Åとなるように成膜した。この層により、磁性層5の磁化容易軸がディスク面内に配向するよう制御される。
【0051】
第1の磁性層5aは、hcp結晶構造を備えるCoCrTa(Co:85at%、Cr:10at%、Ta:5at%)の強磁性合金を含み、膜厚が30Åとなるよう成膜した。
交換結合膜5bは、第1、2の磁性層5a、5cへ反強磁性型交換結合を誘導するため、hcp結晶構造を備える非磁性層として、Ru金属層を含んだ層を膜厚7Åとなるように成膜した。
第2の磁性層5cは、hcp結晶構造を備えるCoCrPtB(Co:61at%、Cr:16at%、Pt:13at%、B:10at%)の強磁性合金を含む磁気記録の主体となるよう形成された磁性層であり、膜厚が200Åとなるように成膜した。
この結果、磁性層5としての膜厚は237Åとなった。
【0052】
保護層6は、水素化炭素からなる保護層で、磁気ヘッドの衝撃から磁性層を保護するための層である。スパッタリング雰囲気をArと水素の混合雰囲気とし、膜厚が45Åとなるように成膜はをおこなった。
以上の成膜を終えた磁気ディスク10の表面に、PFPEを含む高分子化合物をディップ法で塗布し潤滑層7とし、磁気ディスク10を得た。この潤滑層7は、磁気ディスク10に対する磁気ヘッドの衝撃を緩和するための層で、膜厚は10Åとした。
【0053】
得られた磁気ディスク10について、透過型電子顕微鏡(TEM)を用いて断面観察を行なった。すると、非晶質下地層2は、長距離秩序は観察されないアモルファスであったが、短距離秩序は観察された。即ち、非晶質下地層2はナノクリスタル構造を備えるアモルファス体であることが確認できた。
【0054】
次に、得られた磁気ディスク10の磁気特性としてMrtORを、振動試料型磁化測定装置(VSM)を用いて評価した。この結果を、本発明にかかる磁気ディスクにの特性一覧表である図2に示す。
尚、併せて磁化曲線を確認したところ、第1および第2の磁性層5a、5cが反平行型交換結合をしている事が確認された。
【0055】
さらに、磁気ディスク10の電磁変換特性を評価した。但し、評価方法は、磁気ヘッド浮上量が12nmのGMRヘッドを用いて、線記録密度700kfclにおける記録再生出力と媒体ノイズを測定しておこなった。そして、このときの再生出力とノイズの比から、S/N比を算出した。この結果も図2に示す。
【0056】
さらに、磁気ディスク10の信頼性を調査するため、LUL方式HDDを用いて、LUL耐久性試験を行なった。通常、LUL方式用磁気ディスクの場合、連続して40万回以上のLUL回数に耐久することが求められる。
本実施例の磁気ディスク10は、60万回のLULを故障無く耐久できた。その上、LUL耐久性試験後にHDDから磁気ディスク10を取り出して観察したところ膜剥がれ、等の異常は観察されなかった。この結果も図2に示す。
【0057】
(実施例2)
実施例1に記載した第1の非晶質下地層2aを、CrTi合金層を含むものから、CrZr合金層を含むものに代替した以外は、実施例1と同様の製造方法により磁気ディスクを製造した。尚、該CrZr合金層は、Cr:55at%、Zr:45at%とした。
【0058】
得られた磁気ディスクに対し、実施例1と同様の観察、試験を行なった。
その結果、非晶質下地層はナノクリスタル構造を備えるアモルファス体であることが確認でき、第1および第2の磁性層が反平行型交換結合をしている事も確認された。
磁気特性評価結果、電磁変換特性評価結果を、図2に示す。
LUL耐久性試験は、60万回のLULを故障無く耐久でき、耐久性試験後の磁気ディスクに膜剥がれ、等の異常は観察されなかった。この結果も図2に示す。
【0059】
(比較例1)
実施例1における、第2の非晶質下地層2bを形成しなかった以外は実施例1と同様に磁気ディスクを製造した。但し、非晶質下地層2の膜厚を、実施例1と同一にするために、第1の非晶質下地層2aの膜厚を300Åとした。
【0060】
得られた磁気ディスクに対し、実施例1と同様の観察、試験を行なった。
その結果、非晶質下地層はナノクリスタル構造を備えるアモルファス体であることが確認でき、第1および第2の磁性層が反平行型交換結合をしている事も確認された。
磁気特性評価結果、電磁変換特性評価結果を、図2に示す。
LUL耐久性試験は、60万回のLULを故障無く耐久でき、耐久性試験後の磁気ディスクに膜剥がれ、等の異常は観察されなかった。この結果も図2に示す。
【0061】
(比較例2)
実施例1における、第1の非晶質下地層2aを形成しなかった以外は実施例1と同様に磁気ディスクを製造した。但し、非晶質下地層2の膜厚を、実施例1と同一にするために、第2の非晶質下地層2bの膜厚を300Åとした。
【0062】
得られた磁気ディスクに対し、実施例1と同様の観察、試験を行なった。
その結果、非晶質下地層はナノクリスタル構造を備えるアモルファス体であることが確認でき、第1および第2の磁性層が反平行型交換結合をしている事も確認された。
磁気特性評価結果、電磁変換特性評価結果を、図2に示す。
LUL耐久性試験は、20万回で磁気ディスクに膜剥がれが発生した。この結果も図2に示す。
【0063】
以上、実施例1、2、および比較例1、2の結果より次のことが判明した。
すなわち、適宜なテクスチャーが形成されたガラス基板上へ、非晶質下地層と磁性層とを設け、非晶質下地層のガラス基板側にIVa属元素を含有させ、磁性層側にVa属族元素を含有させることで、高い磁気異方性(MrtOR)という高記録密度化に適した磁気特性を有し、さらにLUL耐久性も高い磁気ディスクを製造することができる。
【0064】
【発明の効果】
本発明によれば、磁気ディスクを、ガラス基板上に、非晶質下地層と磁性層とを備え、
前記ガラス基板上には、前記磁性層に磁気異方性を誘導するテクスチャーが形成され、
前記非晶質下地層は、前記ガラス基板側にIVa属元素を含み、前記磁性層側にVa属元素を含むものとしたことで、
基板としてガラス基板を用いながら、磁性層に高い磁気異方性を誘導することができ、望ましい磁気特性を有する磁気ディスクを得ることができた。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る磁気ディスクの模式的な縦断面図である。
【図2】本発明に係る磁気ディスクの特性一覧表である。
【符号の説明】
1.ガラス基板
2.非晶質下地層
2a.第1の非晶質下地層
2b.第2の非晶質下地層
3.シード層
4.配向制御層
5.磁性層
5a.第1の磁性層
5b.交換結合膜
5c.第2の磁性層
6.保護層
7.潤滑層
10.磁気ディスク
【発明の属する技術分野】
本発明は、ハードディスクドライブなどの磁気ディスク装置に搭載される磁気ディスクに関する。
【0002】
【従来の技術】
近年の急速なIT産業の発達に伴い、情報記録技術、特に磁気記録技術に対しては飛躍的な技術革新が要請されている。例えば、ハードディスクドライブ(以下、HDDと記載する。)等に搭載される磁気ディスクでは、高容量化の要請により40Gbit/inch2〜100Gbit/inch2以上の情報記録密度を実現できる技術が求められている。
【0003】
上述した高容量化の要請に伴い、磁気ディスクに対しては、HDDの磁気ヘッドの浮上飛行方向における磁気特性が、特に優れていることが求められる。このため、例えば特許文献1では、磁気ディスクの基板であるアルミ合金等の金属基板表面上に、磁気異方性を誘導するテクスチャーを形成した上で磁性層を成膜することにより、半径方向の磁気特性に対比して、磁気ヘッドの浮上飛行方向の磁気特性を向上させることが提案されている。
【0004】
一方、近年、HDDのモバイル化、小型化の要請から、磁気ディスクの基板として、高剛性で耐衝撃性に優れ、また高い表面平滑性が得られるガラス基板が注目されている。そして、磁気ディスクの基板をアルミ合金等からガラスへ代替すると、ガラス基板は耐衝撃性に優れているので、磁気ディスク製造工程において、アルミ合金製基板のようにNiP等の金属膜を被着して剛性を補強する必要が無くなる。この結果、磁気ディスク製造工程の短縮が可能となり、廉価な磁気ディスクを提供できる上に、HDDの小型化が容易に実現できる。例えば、特許文献2には、ガラス基板上に円周状のテクスチャーを形成し、この上に磁性層等をスパッタリングした磁気記録媒体などが提案されている。
【0005】
【特許文献1】
特開昭62−273619号公報
【特許文献2】
特開2002−32909号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
磁気ディスクの基板としてガラス基板を用いる場合においても、アルミ合金製基板のときと同様に、半径方向の磁気特性に比べて、磁気ヘッドの浮上飛行方向である円周方向の磁気特性が優れていることが望まれる。
【0007】
ここで、磁気ディスクにおける半径方向と円周方向との磁気特性を評価するために、残留磁化膜厚積による磁気異方性比(以下、MrtORと記載する。)が用いられる。そこで、MrtORについて、簡単に説明する。
MrtORとは、残留磁化膜厚積(以下、Mrtと記載する。)から算出する磁気異方性比(Oriented Ratio、以下、ORと記載する。)のことである。そして、磁気ディスク等の磁気記録媒体の主表面上における任意の点において、円周方向のMrtをMrt(c)と、半径方向のMrtをMrt(r)としたとき、Mrt(r)に対するMrt(c)の比、すなわちMrt(c)/Mrt(r)をMrtORとする。尚、Mrtとは、Mr(残留磁化)とt(媒体の磁性層厚さ)との積のことである。
【0008】
すなわち、磁気ディスク等においてMrtORがほぼ1であることは、円周方向と半径方向の磁気特性がほぼ等しいことを示し、当該磁気記録媒体は等方性の磁気記録媒体である。そして、MrtORが、1を越えて大きくなるに従い、円周方向の磁気特性である磁気異方性が向上していることを示している。
【0009】
ここで、磁気ディスクとして40Gbit/inch2以上の記録密度を達成しようとする場合、MrtORは1.2以上であることが求められ、50Gbit/inch2以上の記録密度を達成しようとする場合、MrtORは1.3以上、さらに、60Gbit/inch2以上の高記録密度を達成しようとする場合、MrtORは1.35以上であることが望ましいと考えられる。
そして、磁気ディスクの基板として、アルミ合金製基板や、さらにNiP等の金属膜を被着した基板などを用い、この金属表面上に磁気異方性を誘導するテクスチャーを形成し、この上に磁性層を形成した場合は、望ましいMrtORを得ることができた。
【0010】
ところが、磁気ディスクの基板としてガラス基板を用い、このガラス表面上に直接、磁気異方性を誘導するテクスチャーを形成し、この上に磁性層を形成した場合、MrtORは1.0〜1.1程度しか得られず、高密度記録には不適なものであった。この結果、HDDの小型化、高容量化および低価格化を目標としても、磁気ディスクの基板としてガラス基板を用いることができず、ガラス基板の有する高い耐衝撃性や表面平滑性、製造コストの削減効果を活かすことができないため、この目標の達成が阻害される要因となっていた。
【0011】
本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、基板としてガラス基板を用いることで耐衝撃性を上げ、生産コストを下げながら、望ましい磁気特性を有する磁気ディスクを提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明は以下の構成を有する。
【0013】
(構成1)ガラス基板上に、非晶質下地層と磁性層とを備え、
前記ガラス基板上には、前記磁性層に磁気異方性を誘導するテクスチャーが形成され、
前記非晶質下地層は、前記ガラス基板側にIVa属元素を含み、前記磁性層側にVa属元素を含むものであることを特徴とする磁気ディスクである。
【0014】
上記構成を有する磁気ディスクは、基板としてガラス基板を用いながら、磁性層に高い磁気異方性を誘導することができ、望ましい磁気特性を有する磁気ディスクとなる。
【0015】
(構成2)構成1に記載の磁気ディスクであって、
前記非晶質下地層と前記磁性層との間に、B2結晶構造を有するシード層が形成されていることを特徴とする磁気ディスクである。
【0016】
構成2を有する磁気ディスクは、構成1の効果に加え、磁性層の磁性グレインが均一に微細化されるので、高記録密度化に適したものとなる。
【0017】
(構成3)構成1又は2に記載の磁気ディスクであって、
前記IVa属元素は、Ti及び/又はZrであり、
前記Va属元素は、Nb及び/又はTaであることを特徴とする磁気ディスクである。
【0018】
構成1または2の効果の効果を得るために、前記IVa属元素として、Ti及び/又はZrが、前記Va属元素として、Nb及び/又はTaが好適に選択される。
【0019】
(構成4)構成1から3の何れか1項に記載の磁気ディスクであって、
前記非晶質下地層は、非晶質Cr合金を含む層であることを特徴とする磁気ディスクである。
【0020】
構成1から3の何れか1項に記載の効果の効果を得るために、前記非晶質下地層として、非晶質Cr合金を含む層が好適に選択される。
【0021】
(構成5)構成1から4の何れか1項に記載の磁気ディスクであって、
前記磁性層は、交換結合膜を含むものであることを特徴とする磁気ディスクである。
【0022】
構成5を有する磁気ディスクは、構成1から4の何れか1項に記載の効果に加え、磁気層において、熱磁気余効による熱揺らぎ障害を抑制することができるので、高記録密度化に適したものとなる。
【0023】
【発明の実施の形態】
ガラス基板上にテクスチャーを形成した磁気ディスクの場合、金属基板上にテクスチャーを形成した磁気ディスクに比べて、磁性層に誘導される磁気異方性が小さい理由について本発明者は様々な角度から研究を行ない、ガラス基板を用いながら磁性層に十分な磁気異方性を誘導させることを検討した。そして研究の結果、ガラス基板は、非金属でありかつ非晶質分を含むので、この表面性に適した下地層を選定しガラス基板に接して形成すれば、この下地層が、ガラス基板表面上に形成されたテクスチャーの作用を、好適に磁性層に伝播させることができるではないかとの着想を得るに至った。そこで、この着想に基づき鋭意研究を行なったところ、ガラス基板を用いながら、磁性層に十分な磁気異方性を誘導できる好適な下地層を見出し発明を完成させるに至った。
【0024】
以下、図面を参照しながら、本発明の一実施形態について説明する。
図1は、本発明に係る磁気ディスクの一例の模式的な縦断面図である。
図1において、磁気ディスク10は、ガラス基板1上に、非晶質下地層2、シード層3、配向制御層4、磁性層5、保護層6、潤滑層7が順次、積層されて形成されている。
そして、非晶質下地層2は、第1の非晶質下地層2aと、第2の非晶質下地層2bとが積層されて形成されている。
さらに、磁性層5は、第1の磁性層5aと、交換結合膜5bと、第2の磁性層5cとが積層されて形成されている。ここで、第1の磁性層5aと第2の磁性層5cとは、非磁性層である交換結合膜5bを介して、反平行に交換結合している磁性層である。
尚、図示していないが、ガラス基板1上には、磁性層5に円周方向の磁気異方性を誘導する円周状のテクスチャーが形成されている。
以下、各層毎に詳細に説明する。
【0025】
(ガラス基板)
本発明に係る磁気ディスクの基板へ用いるガラスとしては、例えばアルミノシリケートガラスやソーダライムガラス等が挙げられる。なかでも、アルミノシリケートガラスであれば化学強化ガラスとすることで高い剛性を得ることができるので好ましい。さらに、アモルファスガラス又は、アモルファスと結晶を備える結晶化ガラスを用いることができるが、アモルファスガラスであれば、本発明の作用を好ましく得ることができる。
【0026】
このようなガラスの例として、アモルファスのアルミノシリケートガラスとして、SiO2 :58〜75重量%、Al2 O3 :5〜23重量%、Li2 O:3〜10重量%、Na2 O:4〜13重量%を主成分として含有するアルミノシリケートガラスが好ましい。更には、前記ガラス基板の組成が、SiO2 :62〜75重量%、Al2 O3 :5〜15重量%、Li2 O:4〜10重量%、Na2 O:4〜12重量%、ZrO2 :5.5〜15重量%を主成分として含有するとともに、Na2 O/ZrO2 の重量比が0.5〜2.0、Al2 O3 /ZrO2 の重量比が0.4〜2.5であるアルミノシリケートガラスであることが好ましい。
また、モル%表示で、SiO2を57〜74%、ZnO2を0〜2.8%、Al2O3を3〜15%、LiO2を7〜16%、Na2Oを4〜14%含有する化学強化用ガラス等を使用すると、ZrO2の未溶解物に起因するガラス基板表面の突起を無くすことができるので、好ましい構成である。
上述のアルミノシリケートガラスは、化学強化することによって、抗折強度が増加し、圧縮応力層の深さも深く、ヌープ硬度にも優れたガラス基板となる。
【0027】
上述のガラス基板上に設けられるテクスチャーは、磁性層に磁気異方性を誘導する形状であれば特に限定されず、例えば、円周状テクスチャー、らせん状テクスチャー、クロステクスチャーなどを挙げることができる。特に、円周状のテクスチャーであれば、テクスチャーの方向が、磁気ディスク上を浮上飛行する磁気ヘッドの走行方向に類似するので、本発明の作用を好ましく得ることができる。
尚、基板表面の表面粗さに関しては、Rmaxで6nm以下、Raで6nm以下の平滑表面であることが好ましい。このような平滑な表面粗さの場合、磁気ディスクの高記録密度化に資する事ができる。
【0028】
(非晶質下地層)
本発明に係る非晶質下地層2は、ガラス基板1と磁性層5との間に設けられる。非晶質下地層2は、ガラス基板1側にはIVa属元素が添加され、磁性層5側にはVa属元素が添加されたものであるが、この層を設けることで、磁性層5に高い磁気異方性を誘導することができる。この詳細な機構は、未だ不明であるが概ね、次のように考えられる。
【0029】
まず第1に、非晶質分を含むガラスの表面性に対応して、非晶質下地層2をガラス基板1上に成膜することにより、ガラス基板1上に形成されたテクスチャーの微細なモホロジーを乱すことなく、非晶質下地層2や磁性層5等の金属層の表面へ、受け継ぐことができるからであると考えられる。この観点から、非晶質下地層2はガラス基板1に接して成膜されることが好ましい。
【0030】
第2に、非晶質下地層2の、ガラス基板1側にはIVa属元素を添加し、磁性層5側にはVa属元素を添加することによって、前記テクスチャーのモホロジーにより誘起される膜応力を、好適に磁性層5へ伝播させることができるからであると考えられる。
【0031】
磁性物理学の知見によれば、磁性体の磁気異方性は、主に結晶磁気異方性による磁化容易軸に起因している。例えば、磁性層がCo系合金を含む材料からなる場合では、結晶磁気異方性により、hcp結晶構造のc軸が磁化容易軸となるので、c軸方向に磁気異方性が発現する。ところが、結晶構造に応力等の歪が加わると、前記結晶磁気異方性が変化することが知られており、一般に、ヴィラリ効果による磁歪として説明されている。
即ち、テクスチャーによる磁性層の磁気異方性は、その一つの要因として、テクスチャーが磁性層に応力を加えることにより発現していると考えられる。
本発明においても、ガラス基板1上のテクスチャーは、その上に成膜される非晶質下地層2や磁性層5等の金属層に対して、グレインの配向を制御するとともに、磁歪による磁気異方性を誘導する作用を働くと考えられる。
【0032】
さらに、本発明の構成によれば、ガラス基板1側にはIVa属元素が添加され、
磁性層5側にはVa属元素が添加されているので、非晶質下地層2における短距離秩序である格子間距離が、ガラス基板側から磁性層側に向かって大きくなる。このため、テクスチャーによって、非晶質下地層2のガラス基板1側に誘起された膜応力が、非晶質下地層2内で増幅されつつ磁性層5側に伝播していると考えられる。この結果、磁性層5に高い磁気異方性を誘導することができたと考えられる。
【0033】
前記非晶質下地層2の材料として、例えば、非晶質のCr合金材料を選定すると磁性層5に高い磁気異方性を誘導することができ好ましい。これは非晶質のCr合金材料、等を含む非晶質下地層2が、前記膜応力を好適に磁性層5へ伝播させているためであると考えられる。これは、非晶質Cr合金材料が、長距離秩序を備えない点においてアモルファス材料でありながら、短距離秩序を備えるナノクリスタル構造を具備しているためであると考えられる。
【0034】
そこで本願発明においては、非晶質Cr合金等の材料を、非晶質下地層2の材料とした。そして、前記非晶質下地層2における短距離秩序の格子間距離が、ガラス基板1側から磁性層5側に向かって大きくなるよう、ガラス基板1側にはIVa属元素を添加し、磁性層5側にはVa属元素を添加した。この結果、テクスチャーによって非晶質下地層2のガラス基板1側に誘起された膜応力は、非晶質下地層2内で増幅されつつ磁性層5側に伝播されるという好適な作用が得られ、磁性層5に高い磁気異方性を誘導することができたと考えられる。
【0035】
本発明にあっては、前記非晶質下地層2において、前記IVa属元素及び前記Va属元素の含有量は、35at%〜65at%が好ましい。非晶質下地層2が、非晶質Cr合金を含む材料の場合、この範囲内であれば、好適にナノクリスタル構造を含む非晶質Cr合金材料とすることができるからである。
【0036】
本発明にあっては、前記非晶質下地層2の膜厚としては、本発明の作用を失わない範囲内で選定することができるが、例えば100Å〜500Åの膜厚は、特性、生産性の観点より、好ましい膜厚である。
【0037】
本発明にあっては、前記IVa属元素としてTi及び/又はZr、前記Va属元素としてNb及び/又はTaを選定することが好ましい。特に、非晶質下地層2が、非晶質Cr合金を含む材料の場合、非晶質下地層2中に、これらの元素が含有されると、好適なナノクリスタル構造を具備する非晶質下地層2が形成されるとともに、磁性層5に高い磁気異方性を誘導することができる。
【0038】
なお、好ましい非晶質下地層2の態様としては、まず、ガラス基板1上に接してCrTi合金及び/又はCrZr合金を有する、第1の非晶質下地層2aを成膜し、この上にCrNb合金及び/又はCrTa合金を有する、第2の非晶質下地層2bを備える態様が挙げられる。
【0039】
これは、第1の非晶質下地層2aとしてガラス基板1に接してCrTi合金やCrZr合金を形成すると、これらの合金は、CrNb合金やCrTa合金に比べて膜応力は小さいものの、これ故、ガラス基板1との付着性に優れるという利点を得ることができるからである。ガラス基板1と非晶質下地層2との付着性が高ければ、ガラス基板1からの非晶質下地層2等の膜剥がれを抑制することができ好ましい。他方、磁性層5側の第2の非晶質下地層2bであるCrNb合金やCrTa合金は、CrTi合金やCrZr合金に比べて膜応力が大きいので、磁性層5に高い磁気異方性を誘導することができるからである。
【0040】
上述の構成を採ることにより、膜剥がれなどの付着性の問題を起す事の無い、高い磁気異方性を有する磁気ディスク10を得ることができる。特に、ロードアンロード(以下、LULと記載する。)方式のHDDに用いられる磁気ディスクにあっては、LUL時に磁気ヘッドから磁気ディスクに加えられる撃力により、膜剥がれが起きる場合もあるが、本発明に係る磁気ディスクでは、高い膜付着性を得ることができるので、LUL方式用磁気ディスクとして耐久性の高い、好適なものを得ることができる。
【0041】
本発明にあっては、非晶質下地層2と磁性層5との間に、B2結晶構造のシード層3を形成することも好ましい構成である。Cr合金等を含む非晶質下地層2は、B2結晶構造のシード層3の結晶粒子を微細かつ均一となるように作用するが、この微細かつ均一なB2結晶構造のシード層3は、その上に形成される磁性層5の磁性グレインを均一に微細化することができる。そして、磁性層5の磁性グレインの均一化、微細化は、得られる磁気ディスク10の高記録密度化に資することができるからである。このようなシード層3としては、AlRu合金シード層、NiAl合金シード層、等が挙げられる、本発明の作用を好適なものとするためには、前記Cr合金等の非晶質下地層2に接してAlRu合金のシード層3を形成することが好ましい。
【0042】
本発明にあっては、シード層3と磁性層5との間、シード層3を設けない場合は非晶質下地層2と磁性層5との間に、配向制御層4を形成することも好ましい構成である。配向制御層4を形成することで、磁性層5の磁化容易軸の配向を促進することができる。
製造される磁気ディスク10が、面内磁気記録用磁気ディスクである場合は、磁性層5が面内配向するように配向制御層4として、bcc結晶構造を備える結晶質層を形成する事が好ましい。これらbcc結晶構造の結晶質層としては、CrW合金層、CrMo合金層、CrV合金層、等を好ましいものとして挙げることができる。
【0043】
本発明における磁性層5としては、様々な材料からなる磁性材料を含むものが適用可能であるが、中でもCo合金を含む磁性層であることが好ましく、hcp結晶構造を備える結晶質の磁性層であることが好ましい。このような磁性層5として、CoCr系合金磁性層、CoPt系合金磁性層、CoCrPt系合金磁性層、等を好ましく挙げることができる。これらの合金材料を含む磁性層5は磁気異方性定数が高いので、高い磁気異方性を得ることができる。磁性層5の膜厚は適宜選定することができるが、例えば50Å〜300Åは、特性、生産性の観点より好ましい膜厚である。
【0044】
さらに本発明において磁性層5が、交換結合膜5bを含む構成とし、ガラス基板1側より、第1の磁性層5a、交換結合膜5b、第2の磁性層5cとすることが好ましい。磁性層5が、交換結合膜5bを含む構成であると、製造された磁気ディスク10において、熱磁気余効による熱揺らぎ障害を抑制することができるので、高記録密度化に好適である。特に、交換結合膜5bの上下の、第1の磁性層5aと第2の磁性層5cとの磁性層の磁化方向が、反平行となるように結合を調製することが好ましい。このような調製は、例えば、第1第2の磁性層間に介挿する交換結合膜5bを、膜厚5Å〜10Åの非磁性層とすることで達成することができる。このような非磁性層としては、hcp結晶構造を有するRu層、等を好ましく挙げることができる。
【0045】
本発明にあっては、磁性層5上に保護層6、潤滑層7を形成することが好ましい。保護層6としては炭素系保護層、潤滑層7としてはパーフロロポリエーテル(PFPE)潤滑層、等を好ましく挙げることができる。
【0046】
以下、実施例を参照しながら、本発明を具体的に説明する。
(実施例1)
ガラス基板1は、アモルファスのアルミノシリケートガラスを溶融し、ダイレクトプレスにより得たガラスディスクに対して、形状加工、研削、研磨、化学強化を施して得た、2.5インチ型の化学強化ガラス基板である。
尚、本実施例におけるアルミノシリケートガラスは、SiO2 :63.6重量%、Al2 O3 :14.2重量%、Na2 O:10.4重量%、Li2 O:5.4重量%、ZrO2 :6.0重量%、Sb2 O3 :0.4重量%の組成を有するアルミノシリケートガラスである。
【0047】
化学強化後のガラス基板1の主表面上に対し、枚葉型テープ式テクスチャー装置とダイヤモンドスラリーを用いて、円周状のテクスチャーを形成した。
【0048】
テクスチャーの形成されたガラス基板1において、主表面の5μm平方領域の微細モホロジーを、AFM(原子間力顕微鏡)を用いてを観察した。そして規則的な筋溝からなるテクスチャーが、ディスクの円周方向に沿って配列していることを確認した。
一方、主表面の表面粗さは、Rmaxで4.81nm、Raで0.42nmという平滑な表面であった。なお、表面粗さは前記AFMの観察形状を基に、日本工業規格(JIS)に従って算出した。
【0049】
次に、枚葉静止対向成膜方法を用いて、DCマグネトロンスパッタリングにより、Arガス雰囲気中で、ガラス基板1へ順次、以下の成膜を行なった。
第1の非晶質下地層2aは、CrTi(Cr:55at%、Ti:45at%)を含む非晶質Cr合金層であり、膜厚が100Åになるように成膜した。
第2の非晶質下地層2bは、CrNb(Cr:55at%、Nb:45at%)を含む非晶質Cr合金層であり、膜厚が200Åになるように成膜した。
この結果、非晶質下地層2の膜厚は300Åとなった。
【0050】
さらに、非晶質下地層2が形成されたディスク基板を加熱し、引き続いて、以下の成膜を行なった。
シード層3は、AlRu(Al:50at%、Ru:50at%)を含むB2結晶構造の合金層であり、膜厚が300Åとなるように成膜した
配向制御層4は、bcc結晶構造のCrMo(Cr:80at%、Mo:20at%)を含む結晶質層であり、膜厚が100Åとなるように成膜した。この層により、磁性層5の磁化容易軸がディスク面内に配向するよう制御される。
【0051】
第1の磁性層5aは、hcp結晶構造を備えるCoCrTa(Co:85at%、Cr:10at%、Ta:5at%)の強磁性合金を含み、膜厚が30Åとなるよう成膜した。
交換結合膜5bは、第1、2の磁性層5a、5cへ反強磁性型交換結合を誘導するため、hcp結晶構造を備える非磁性層として、Ru金属層を含んだ層を膜厚7Åとなるように成膜した。
第2の磁性層5cは、hcp結晶構造を備えるCoCrPtB(Co:61at%、Cr:16at%、Pt:13at%、B:10at%)の強磁性合金を含む磁気記録の主体となるよう形成された磁性層であり、膜厚が200Åとなるように成膜した。
この結果、磁性層5としての膜厚は237Åとなった。
【0052】
保護層6は、水素化炭素からなる保護層で、磁気ヘッドの衝撃から磁性層を保護するための層である。スパッタリング雰囲気をArと水素の混合雰囲気とし、膜厚が45Åとなるように成膜はをおこなった。
以上の成膜を終えた磁気ディスク10の表面に、PFPEを含む高分子化合物をディップ法で塗布し潤滑層7とし、磁気ディスク10を得た。この潤滑層7は、磁気ディスク10に対する磁気ヘッドの衝撃を緩和するための層で、膜厚は10Åとした。
【0053】
得られた磁気ディスク10について、透過型電子顕微鏡(TEM)を用いて断面観察を行なった。すると、非晶質下地層2は、長距離秩序は観察されないアモルファスであったが、短距離秩序は観察された。即ち、非晶質下地層2はナノクリスタル構造を備えるアモルファス体であることが確認できた。
【0054】
次に、得られた磁気ディスク10の磁気特性としてMrtORを、振動試料型磁化測定装置(VSM)を用いて評価した。この結果を、本発明にかかる磁気ディスクにの特性一覧表である図2に示す。
尚、併せて磁化曲線を確認したところ、第1および第2の磁性層5a、5cが反平行型交換結合をしている事が確認された。
【0055】
さらに、磁気ディスク10の電磁変換特性を評価した。但し、評価方法は、磁気ヘッド浮上量が12nmのGMRヘッドを用いて、線記録密度700kfclにおける記録再生出力と媒体ノイズを測定しておこなった。そして、このときの再生出力とノイズの比から、S/N比を算出した。この結果も図2に示す。
【0056】
さらに、磁気ディスク10の信頼性を調査するため、LUL方式HDDを用いて、LUL耐久性試験を行なった。通常、LUL方式用磁気ディスクの場合、連続して40万回以上のLUL回数に耐久することが求められる。
本実施例の磁気ディスク10は、60万回のLULを故障無く耐久できた。その上、LUL耐久性試験後にHDDから磁気ディスク10を取り出して観察したところ膜剥がれ、等の異常は観察されなかった。この結果も図2に示す。
【0057】
(実施例2)
実施例1に記載した第1の非晶質下地層2aを、CrTi合金層を含むものから、CrZr合金層を含むものに代替した以外は、実施例1と同様の製造方法により磁気ディスクを製造した。尚、該CrZr合金層は、Cr:55at%、Zr:45at%とした。
【0058】
得られた磁気ディスクに対し、実施例1と同様の観察、試験を行なった。
その結果、非晶質下地層はナノクリスタル構造を備えるアモルファス体であることが確認でき、第1および第2の磁性層が反平行型交換結合をしている事も確認された。
磁気特性評価結果、電磁変換特性評価結果を、図2に示す。
LUL耐久性試験は、60万回のLULを故障無く耐久でき、耐久性試験後の磁気ディスクに膜剥がれ、等の異常は観察されなかった。この結果も図2に示す。
【0059】
(比較例1)
実施例1における、第2の非晶質下地層2bを形成しなかった以外は実施例1と同様に磁気ディスクを製造した。但し、非晶質下地層2の膜厚を、実施例1と同一にするために、第1の非晶質下地層2aの膜厚を300Åとした。
【0060】
得られた磁気ディスクに対し、実施例1と同様の観察、試験を行なった。
その結果、非晶質下地層はナノクリスタル構造を備えるアモルファス体であることが確認でき、第1および第2の磁性層が反平行型交換結合をしている事も確認された。
磁気特性評価結果、電磁変換特性評価結果を、図2に示す。
LUL耐久性試験は、60万回のLULを故障無く耐久でき、耐久性試験後の磁気ディスクに膜剥がれ、等の異常は観察されなかった。この結果も図2に示す。
【0061】
(比較例2)
実施例1における、第1の非晶質下地層2aを形成しなかった以外は実施例1と同様に磁気ディスクを製造した。但し、非晶質下地層2の膜厚を、実施例1と同一にするために、第2の非晶質下地層2bの膜厚を300Åとした。
【0062】
得られた磁気ディスクに対し、実施例1と同様の観察、試験を行なった。
その結果、非晶質下地層はナノクリスタル構造を備えるアモルファス体であることが確認でき、第1および第2の磁性層が反平行型交換結合をしている事も確認された。
磁気特性評価結果、電磁変換特性評価結果を、図2に示す。
LUL耐久性試験は、20万回で磁気ディスクに膜剥がれが発生した。この結果も図2に示す。
【0063】
以上、実施例1、2、および比較例1、2の結果より次のことが判明した。
すなわち、適宜なテクスチャーが形成されたガラス基板上へ、非晶質下地層と磁性層とを設け、非晶質下地層のガラス基板側にIVa属元素を含有させ、磁性層側にVa属族元素を含有させることで、高い磁気異方性(MrtOR)という高記録密度化に適した磁気特性を有し、さらにLUL耐久性も高い磁気ディスクを製造することができる。
【0064】
【発明の効果】
本発明によれば、磁気ディスクを、ガラス基板上に、非晶質下地層と磁性層とを備え、
前記ガラス基板上には、前記磁性層に磁気異方性を誘導するテクスチャーが形成され、
前記非晶質下地層は、前記ガラス基板側にIVa属元素を含み、前記磁性層側にVa属元素を含むものとしたことで、
基板としてガラス基板を用いながら、磁性層に高い磁気異方性を誘導することができ、望ましい磁気特性を有する磁気ディスクを得ることができた。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る磁気ディスクの模式的な縦断面図である。
【図2】本発明に係る磁気ディスクの特性一覧表である。
【符号の説明】
1.ガラス基板
2.非晶質下地層
2a.第1の非晶質下地層
2b.第2の非晶質下地層
3.シード層
4.配向制御層
5.磁性層
5a.第1の磁性層
5b.交換結合膜
5c.第2の磁性層
6.保護層
7.潤滑層
10.磁気ディスク
Claims (5)
- ガラス基板上に、非晶質下地層と磁性層とを備え、
前記ガラス基板上には、前記磁性層に磁気異方性を誘導するテクスチャーが形成され、
前記非晶質下地層は、前記ガラス基板側にIVa属元素を含み、前記磁性層側にVa属元素を含むものであることを特徴とする磁気ディスク。 - 請求項1に記載の磁気ディスクであって、
前記非晶質下地層と前記磁性層との間に、B2結晶構造を有するシード層が形成されていることを特徴とする磁気ディスク。 - 請求項1又は2に記載の磁気ディスクであって、
前記IVa属元素は、Ti及び/又はZrであり、
前記Va属元素は、Nb及び/又はTaであることを特徴とする磁気ディスク。 - 請求項1から3の何れか1項に記載の磁気ディスクであって、
前記非晶質下地層は、非晶質Cr合金を含む層であることを特徴とする磁気ディスク。 - 請求項1から4の何れか1項に記載の磁気ディスクであって、
前記磁性層は、交換結合膜を含むものであることを特徴とする磁気ディスク。
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