JP2007179598A - 磁気記録媒体、その製造方法および、磁気記録再生装置 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title abstract description 5
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 28
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims abstract description 28
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 20
- 229910000929 Ru alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 15
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 10
- 229910003321 CoFe Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 37
- 239000000463 material Substances 0.000 description 11
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 8
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000001050 lubricating effect Effects 0.000 description 4
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 4
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 3
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229910052755 nonmetal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010702 perfluoropolyether Substances 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005374 Kerr effect Effects 0.000 description 1
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005354 aluminosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 238000005280 amorphization Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006911 nucleation Effects 0.000 description 1
- 238000010899 nucleation Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 239000005361 soda-lime glass Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
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Abstract
【解決手段】非磁性基板上に、少なくとも裏打ち層、下地膜、中間膜、垂直磁気記録膜を有する構成とし、裏打ち層を構成する軟磁性膜を非晶質構造、下地膜をNiW合金、中間膜をRu合金とする。また、NiW合金のNi含有量を、80原子%以上、W含有量が20原子%以下、W含有量を、1原子%〜12原子%の範囲内とする。
【選択図】 図1
Description
(1)非磁性基板上に、少なくとも裏打ち層、下地膜、中間膜、垂直磁気記録膜を有する垂直磁気記録媒体であって、前記裏打ち層を構成する軟磁性膜が非晶質構造であり、下地膜がNiW合金であり、中間膜がRu合金であることを特徴とする磁気記録媒体。
(2)NiW合金のNi含有量が、80原子%以上、W含有量が20原子%以下であることを特徴とする(1)に記載の磁気記録媒体。
(3)NiW合金のW含有量が、1原子%〜12原子%の範囲内であることを特徴とする(1)または(2)に記載の磁気記録媒体。
(4)NiW合金の飽和磁束密度Msが、50(emu/cm3)以上であることを特徴とする(1)〜(3)の何れか1項に記載の磁気記録媒体。
(5)下地膜に含まれるNiと、中間膜に含まれるRuの、Ni(111)とRu(0002)における結晶格子の比(Ni(111)/Ru(0002))が、0.90〜0.95の範囲内であることを特徴とする(1)〜(4)の何れか1項に記載の磁気記録媒体。
(6)下地膜がさらにB、Mn、Si、Alからなる群から選ばれる何れか1種以上を含むことを特徴とする(1)〜(5)の何れか1項に記載の磁気記録媒体。
(7)下地膜の厚さが、10nm以下であることを特徴とする(1)〜(6)の何れか1項に記載の磁気記録媒体。
(8)Ru合金のΔθ50が、6°以下であることを特徴とする(1)〜(7)の何れか1項に記載の磁気記録媒体。
(9)軟磁性膜が、CoFe合金を含むことを特徴とする(1)〜(8)の何れか1項に記載の磁気記録媒体。
(10)CoFe合金のFeの含有量が、5原子%〜40原子%の範囲内であることを特徴とする(9)に記載の磁気記録媒体。
(11)裏打ち層の膜厚が、20nm〜80nmの範囲内であることを特徴とする(1)〜(10)の何れか1項に記載の磁気記録媒体。
(12)中間膜の厚さが、16nm以下であることを特徴とする(1)〜(11)の何れか1項に記載の磁気記録媒体。
(13)磁気記録媒体と、該磁気記録媒体に情報を記録再生する磁気ヘッドとを備えた磁気記録再生装置であって、磁気ヘッドが単磁極ヘッドであり、磁気記録媒体が、(1)〜(12)の何れか1項に記載の磁気記録媒体であることを特徴とする磁気記録再生装置。
(実施例1)
ガラス基板(MYG社製非晶質基板MEL3、直径2.5インチ)をDCマグネトロンスパッタ装置(アネルバ社製C−3010)の成膜チャンバ内に収容して、到達真空度1×10−5Paとなるまで成膜チャンバ内を排気した。この基板上に軟磁性膜1として71Co−20Fe−5Zr−4Nb(Co含有量71原子%、Fe含有量20原子%、Zr含有量5原子%、Nb含有量4原子%)を30nm、Ruを0.8nm、軟磁性膜2として71Co−20Fe−5Zr−4Nbを30nm成膜して裏打ち層を形成した。軟磁性膜の結晶構造が非晶質構造であることをXRDで確認した。
(比較例1〜3)
下地膜の材料をNi−20Fe、Ti、Taとしたこと以外は実施例1に準じて磁気記録媒体を作製した。
実施例1は、比較例1〜5に比較してSNRが上回ることが確認できた。Ruが12nmと薄い条件でも優れた記録再生特性を得ることできることがわかった。
(実施例14〜20)
下地膜であるNiW合金の組成と厚さを変えたこと以外は実施例1に準じて磁気記録媒体を作製した。評価結果を表2に示す。
(実施例21〜32)
軟磁性膜および中間膜の材料および厚さを変えた以外は実施例1に準じて磁気記録媒体を作製した。評価結果を表3に示す。表3に示すように、優れた特性を得ることができた。
a 裏打ち層
1 非磁性基板
2 第1軟磁性膜
3 Ru膜
4 第2軟磁性膜
5 下地膜
6 中間層
7 垂直磁気記録膜
8 保護膜
9 潤滑膜
10 磁気記録媒体
11 媒体駆動部
12 磁気ヘッド
13 ヘッド駆動部
14 記録再生信号処理系
Claims (13)
- 非磁性基板上に、少なくとも裏打ち層、下地膜、中間膜、垂直磁気記録膜を有する垂直磁気記録媒体であって、前記裏打ち層を構成する軟磁性膜が非晶質構造であり、下地膜がNiW合金であり、中間膜がRu合金であることを特徴とする磁気記録媒体。
- NiW合金のNi含有量が、80原子%以上、W含有量が20原子%以下であることを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体。
- NiW合金のW含有量が、1原子%〜12原子%の範囲内であることを特徴とする請求項1または2に記載の磁気記録媒体。
- NiW合金の飽和磁束密度Msが、50(emu/cm3)以上であることを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の磁気記録媒体。
- 下地膜に含まれるNiと、中間膜に含まれるRuの、Ni(111)とRu(0002)における結晶格子の比(Ni(111)/Ru(0002))が、0.90〜0.95の範囲内であることを特徴とする請求項1〜4の何れか1項に記載の磁気記録媒体。
- 下地膜がさらにB、Mn、Si、Alからなる群から選ばれる何れか1種以上を含むことを特徴とする請求項1〜5の何れか1項に記載の磁気記録媒体。
- 下地膜の厚さが、10nm以下であることを特徴とする請求項1〜6の何れか1項に記載の磁気記録媒体。
- Ru合金のΔθ50が、6°以下であることを特徴とする請求項1〜7の何れか1項に記載の磁気記録媒体。
- 軟磁性膜が、CoFe合金を含むことを特徴とする請求項1〜8の何れか1項に記載の磁気記録媒体。
- CoFe合金のFeの含有量が、5原子%〜40原子%の範囲内であることを特徴とする請求項9に記載の磁気記録媒体。
- 裏打ち層の膜厚が、20nm〜80nmの範囲内であることを特徴とする請求項1〜10の何れか1項に記載の磁気記録媒体。
- 中間膜の厚さが、16nm以下であることを特徴とする請求項1〜11の何れか1項に記載の磁気記録媒体。
- 磁気記録媒体と、該磁気記録媒体に情報を記録再生する磁気ヘッドとを備えた磁気記録再生装置であって、磁気ヘッドが単磁極ヘッドであり、磁気記録媒体が、請求項1〜12の何れか1項に記載の磁気記録媒体であることを特徴とする磁気記録再生装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005373681A JP4470881B2 (ja) | 2005-12-27 | 2005-12-27 | 磁気記録媒体、および磁気記録再生装置 |
CN2006800498082A CN101351842B (zh) | 2005-12-27 | 2006-11-02 | 磁记录介质以及使用该磁记录介质的磁记录和再现装置 |
PCT/JP2006/322415 WO2007074585A1 (en) | 2005-12-27 | 2006-11-02 | Magnetic recording medium and magnetic recording and reproducing device using the magnetic recording medium |
US12/158,552 US8088504B2 (en) | 2005-12-27 | 2006-11-02 | Magnetic recording medium and magnetic recording and reproducing device using the magnetic recording medium |
TW095147092A TWI352984B (en) | 2005-12-27 | 2006-12-15 | Magnetic recording medium and magnetic recording a |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005373681A JP4470881B2 (ja) | 2005-12-27 | 2005-12-27 | 磁気記録媒体、および磁気記録再生装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007179598A true JP2007179598A (ja) | 2007-07-12 |
JP4470881B2 JP4470881B2 (ja) | 2010-06-02 |
Family
ID=38217810
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005373681A Active JP4470881B2 (ja) | 2005-12-27 | 2005-12-27 | 磁気記録媒体、および磁気記録再生装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8088504B2 (ja) |
JP (1) | JP4470881B2 (ja) |
CN (1) | CN101351842B (ja) |
TW (1) | TWI352984B (ja) |
WO (1) | WO2007074585A1 (ja) |
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- 2006-11-02 US US12/158,552 patent/US8088504B2/en active Active
- 2006-11-02 WO PCT/JP2006/322415 patent/WO2007074585A1/en active Application Filing
- 2006-11-02 CN CN2006800498082A patent/CN101351842B/zh active Active
- 2006-12-15 TW TW095147092A patent/TWI352984B/zh not_active IP Right Cessation
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US10192571B2 (en) | 2015-04-13 | 2019-01-29 | Showa Denko K.K. | Perpendicular magnetic recording medium and magnetic recording and reproducing apparatus |
US10127932B2 (en) | 2015-05-29 | 2018-11-13 | Showa Denko K.K. | Perpendicular magnetic recording medium and magnetic storage apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20090296276A1 (en) | 2009-12-03 |
CN101351842A (zh) | 2009-01-21 |
WO2007074585A1 (en) | 2007-07-05 |
CN101351842B (zh) | 2011-02-02 |
TWI352984B (en) | 2011-11-21 |
JP4470881B2 (ja) | 2010-06-02 |
TW200739543A (en) | 2007-10-16 |
US8088504B2 (en) | 2012-01-03 |
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Legal Events
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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