JP4472655B2 - 垂直磁気記録媒体および磁気記録再生装置 - Google Patents
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Description
その他、本願発明と類似の合金組成を用いる例として、面内の磁気記録媒体がある(例えば、特許文献4参照。)。この例は、CoIr系層の膜厚も薄く、c軸配向していない。
また、軟磁性体部分にIrは用いるものの、多孔質体に機能性材料を充填した垂直磁気記録媒体も知られている(例えば、特許文献5参照。)。さらに、軟磁性層の分断層としてIrを用いた垂直磁気記録媒体も知られている(例えば、特許文献6参照。)。
(1)磁界を半径方向に均一に制御することが困難である、
(2)基板の内周部で磁界が小さくなる。
今後、さらに媒体の小型化が進んだときには、(2)は大きな問題となると推測される。
また、上記のように単に裏打ち層を設けた場合では、半径方向に均一な磁化容易軸を形成することは非常に困難であり、この問題を解決しかつ安易に製造が可能な磁気記録媒体が要望されている。
また、以上のようなさまざまな工夫をもって磁化容易軸を制御した場合においても、軟磁性裏打ち層の膜中にわずかな垂直磁化成分が残ることが原因となってWATE現象が発生することがありうると考えられている。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、裏打ち層の磁気異方性のはたらきを改めて見直し、高密度の情報の記録再生が可能な垂直磁気記録媒体および磁気記録再生装置を提供することを目的とする。
(1)非磁性基板上に少なくとも軟磁性裏打ち層と垂直磁気記録層とを有する垂直磁気記録媒体であって、Ms(emu/cc)なる飽和磁化を有する前記軟磁性裏打ち層が、負の一軸結晶磁気異方性エネルギーKu grain を持つ材料を用いて構成され、その磁化困難軸が基板面に対して垂直な方向を向いているとともに、CoとIrとを主成分とする合金から成り、媒体面に対して垂直磁気異方性エネルギーKu⊥(erg/cc)として−2πMs2より小さい負の値を持つことを特徴とする垂直磁気記録媒体、
(2)前記軟磁性裏打ち層をなすCoとIrとの合金のIr含有量が5原子%以上、20原子%以下である(1)に記載の垂直磁気記録媒体、
(4)前記非磁性基板が半径28mm以下の円盤状基板である(1)から(3)のいずれか1つに記載の垂直磁気記録媒体、
(5)垂直磁気記録媒体と、該垂直磁気記録媒体に情報を記録再生する磁気ヘッドとを備えた磁気記録再生装置であって、前記垂直磁気記録媒体(1)から(4)のいずれか1つに記載の垂直磁気記録媒体である磁気記録再生装置、
の各発明を提供する。
C軸に対して結晶磁気異方性エネルギーKugrain<0である材料はC軸に対して直角な方向に、したがってC軸が基板面に対して垂直方向を向いている場合は基板面内に、強力に磁化しようとする性質をもつ。このため、軟磁性裏打ち層の垂直磁気異方性Ku⊥は−2πMs2−Kugrainとなり、従来の軟磁性裏打ち層が持っていたKu⊥よりも小さい値となる。このため、軟磁性裏打ち層は、従来よりも強い力で基板面内方向に磁化するようになるため、面直方向の磁化成分によりWATE現象が発生するという可能性が著しく低くなる。
既に述べたように、垂直磁気記録媒体においては、その軟磁性裏打ち層の磁気異方性、容易磁化軸方向の制御が媒体デザインにおいて極めて重要となる。特にWATE(WideArea/Adjacent Track Erasure)現象や軟磁性層の磁区の動きに付随するといわれるスパイクノイズ現象などを抑制するためには、この軟磁性層の磁化容易軸方向を基板面内に配向させたり、軟磁性裏打ち層の下にピン止め層と呼ばれる強磁性膜を設けて軟磁性層の磁壁が動きにくくするなどの工夫が必要といわれている。
本発明は、これら垂直磁気記録媒体の軟磁性裏打ち層に起因する問題点を、軟磁性材料の選定を適切に行うことにより解決しようとするものである。
非磁性基板としては、アルミニウム、アルミニウム合金等の金属材料からなる金属基板を用いてもよいし、ガラス、セラミック、シリコン、シリコンカーバイド、カーボンなどの非金属材料からなる非金属基板を用いてもよい。
ガラス基板としては、アモルファスガラスや結晶化ガラス等があり、アモルファスガラスとしては汎用のソーダライムガラス、アルミノシリケートガラスを使用できる。また、結晶化ガラスとしては、リチウム系結晶化ガラスを用いることができる。
非磁性基板として、特にガラス基板またはシリコン基板が好ましい。
また、表面の微小うねり(Wa)が0.3nm以下(より好ましくは0.25nm以下)であるのがヘッドを低浮上させた高記録密度記録に適している点から好ましい。
テクスチャリング処理した処理後の基板の平均表面粗さRaが0.1nm以上0.8nm以下であることが好ましい。0.1nm未満であると、テクスチャリング処理した溝の効果が不十分となり、裏打ち層の磁気異方性が溝からずれるために好ましくない。0.8nmを超えると、磁気ヘッドの浮上量を十分に小さくすることができないため好ましくない。また、垂直磁気記録層の配向が悪化することによるSNRの低下を引き起こすので好ましくない。
軟磁性裏打ち層としては、基板面に対して垂直な軸に対する結晶磁気異方性エネルギーKugrainが負の値をとるものが特に適していることを見出した。
ここで、結晶磁気異方性エネルギーKugrainの決定方法は以下のようにした。すなわち、軟磁性裏打ち層材料の薄膜を基板上に成膜し、同試料の小片をトルクメーターにかけ、基板内に直交する面内で磁界を回転させることにより得られる垂直磁気トルク曲線の2θ成分の磁界飽和外挿値が、垂直磁気異方性エネルギーKu⊥であると定義した。
また、一軸結晶磁気異方性を持つ材料のc軸(一軸性対称軸)を膜面に垂直な方向に配向させた軟磁性裏打ち層については、Ku⊥=−2πMs2−Kugrainの関係を用いて一軸異方性エネルギーKugrainを算出した。
一般的に膜面に垂直な方向には強力な反磁界が働くことが知られており、そのときのKu⊥の値は、試料の飽和磁化をMsとしたとき、−2πMs2となる。本発明にいう軟磁性裏打ち層とは、このときのKu⊥の値を仮に Ku⊥=−2πMs2+Xと表すとしたときに、Xが負の値をとるような性質のものを指す。
従来の軟磁性裏打ち層の場合には、欠陥や不純物の存在によりXの値は小さな正値となることがほとんどであった。しかるに本発明では、Xの値が負になることにより、大きな│Ku⊥│の力で磁化を基板面内方向に向けることができる。また、基板面内に磁化が向いた方向がより安定になるので、外部環境の影響により磁化が動揺する可能性も低くすることができる。
Ku⊥が負の値をとる場合、その材料の磁化状態は磁化方向が基板面内方向であるとしたときに、最もエネルギー的に安定である。従って、このような軟磁性膜は特別な工夫を必要とせずに、自ら基板面内方向に磁化しようとする。
すなわち、Ir含有量が5原子%以上の領域において、Co−Ir合金のC軸方向に対する結晶磁気異方性エネルギーKu⊥は負の値をとるようになり、本発明の用途に適する性質を示す。ただし、Ir添加量が増えるに従って飽和磁束磁化量Msは減少するため、目的に合致する濃度に制御する必要がある。
Co−Irを成膜する際の基板温度は室温から400℃程度までの範囲が好ましい。
軟磁性裏打ち層の飽和磁束密度Bsは、0.6T以上、好ましくは1T以上とするのが望ましい。
軟磁性裏打ち層を構成する軟磁性膜の膜厚は20nm以上120nm以下、好ましくは20nm以上100nm以下、さらに好ましくは20nm以上60nm以下である。
また、本発明に含まれるCo−Ir合金薄膜においては、その磁化モードがネール磁壁構造からブロッホ磁壁構造に変化する膜厚(以後、磁壁臨界膜厚とする)が、Coの原子比の変化に伴って変わることが確認されている。すなわち、Ir濃度を5原子%以上20原子%以下の範囲内のある値に固定した場合、Co−Ir合金薄膜の膜厚を少しずつ厚くしていくと、ある厚さを境にして磁壁の磁化モードがネール型からブロッホ型に変わる。一般的にはWATE現象の抑制にはネール磁界の方が好ましいと考えられるが、ブロッホ磁界構造は、媒体ノイズを抑制する点で有利であることも考えられる。膜厚の設定にはこれらの事実を勘案して決定されるべきである。
軟磁性膜の形成方法としては、スパッタリング法を用いることができる。
軟磁性裏打ち層は、軟磁性膜と、Ru膜またはRe膜とのサンドイッチ構造をとっていてもよい。軟磁性膜と、Ru膜またはRe膜とを設け、所定の厚さに設定することで軟磁性膜を反強磁性結合させることができるためである。このとき、RuまたはReの膜厚は一般に0.3nm以上1.5nm以下、好ましくは0.5nm以上1.2nm以下であるような構成とすることで、垂直媒体特有の問題であるWATE現象をより改善することができる。
配向制御層5は、シード層5−1と中間層5−2の2層から形成する。シード層5−1に用いられる材料は、例えばPdが適する。中間層5−2に用いられる材料は、特にRuが好ましい。配向制御層の厚さは30nm以下であることが好ましい。配向制御層の厚さが30nmを超えると記録再生時における磁気ヘッドと軟磁性裏打ち層の距離が大きくなるため、OW特性や再生信号の分解能が低下するため好ましくない。
垂直磁気記録層を構成する酸化物としては、SiO2 、SiO、Cr2O3、CoO、Ta2 O3 、TiO2を挙げることができる。酸化物の体積率は15〜40体積%であることが好ましい。酸化物の体積率が15体積%未満であると、SNR特性が不十分となるため好ましくない。酸化物の体積率が40体積%を超えると、高記録密度に対応するだけの保磁力を得ることができないため好ましくない。
また、これ以外にもCo/Pt・Co/Pd人工格子系,FePt・FePd規則合金系、RE−TM系等の垂直磁気記録媒体材料を使用することができる。
垂直磁気記録層のニュークリエーション磁界(−Hn)は1.5(kOe)以上であることが好ましい。−Hnが1.5(kOe)未満であると、熱揺らぎが発生するので好ましくない。
垂直磁気記録層の厚さは6〜18nmであることが好ましい。垂直磁気記録層の厚さがこの範囲であると、十分な出力を確保することができ、OW特性の悪化が生じないために好ましい。
垂直磁気記録層は、単層構造とすることもできるし、組成の異なる材料からなる2層以上の構造とすることもできる。
(実施例1)
ガラス基板(オハラ社製結晶化基板TS10−SX、直径2.5インチ)を洗浄した後、基板をDCマグネトロンスパッタ装置(アネルバ社製C−3010)の成膜チャンバ内に収容して、到達真空度1×10−5Paとなるまで成膜チャンバ内を排気した。この基板上に下地層であるTi膜を7nm成膜した。その上にRu膜を3nm成膜し、さらにその上に88Co−12Ir(Ir;12原子%)軟磁性膜を20nm成膜して、2層構造からなる軟磁性裏打ち層を形成した。
この上にスパッタリング法でPdシード層を6nm、Ru中間層を20nm、CoCrPt−SiO2垂直磁気記録層を10nm、及び保護層としてC膜を5nm成膜した。 次いで、ディッピング法によりパーフルオロポリエーテルからなる潤滑層を形成し、垂直磁気記録媒体を得た。
一方、実施例1と同様の基板、手法を用いて、基板上に軟磁性裏打ち層となる第1の軟磁性膜として91Co−5Zr−4Nb(Co含有量91at%、Zr含有量5at%、Nb含有量4at%)を60nm、Ru膜を0.8nm、第2の軟磁性膜として91Co−5Zr−4Nbを60nm成膜した。
軟磁性裏打ち層を形成した後、実施例1と同様に、Pdシード層を6nm、Ru中間層を20nm、CoCrPt−SiO2垂直磁気記録層を10nm、及び保護層としてC膜を5nm成膜した。
次いで、ディッピング法によりパーフルオロポリエーテルからなる潤滑層を形成し、垂直磁気記録媒体を得た。このようにして得た直磁気記録媒体を比較例とした。
(1)媒体表面±6μmにわたって156kfciの基本パターンを記録する。
(2)各トラックの平均出力を全トラックにわたって測定し、初期状態でのトラックプロファイルとする。
(3)真ん中の1トラックを選び、937kfciの信号を10000回繰り返し記録する。
(4)もう一度トラックプロファイルを測定し、初期状態と比較する。
こうして得られた実施例と比較例のトラックプロファイルをそれぞれ図3、図4に示す。
また、それぞれについて、C軸に対する結晶磁気異方性エネルギーKugrain、トラッキングプロファイル中の出力減衰幅、垂直磁気異方性Ku⊥および−2πMs2の値を表1に示した。
次に、基板として半径22mmのシリコン製基板を用いて実施例1、比較例1と同様のプロセスを用いて垂直磁気記録媒体を作製した。ただし、スパッタリング装置内にて成膜を行う際、基板は計5枚をセットし同時成膜を行った。すなわち実施例1と同じプロセスのものを5枚、比較例1と同じプロセスのものを5枚作製した。この成膜時の基板の配置を図5に示した。
実施例1にならった試料を実施例2〜6、比較例1にならった試料を比較例2〜6とする。
これら試料についてやはり実施例1、比較例1と同様にWATE測定を実施した。ターゲットに対する位置関係の異なる5枚の媒体間にWATE現象の起こり方に差が生じるかどうかを比べた。結果を表2に示した。
一方の比較例2〜比較例6ではWATE現象が観測されるとともに、その強度も基板位置により変動している可能性が認められる。これは裏打ち軟磁性層の軟磁気特性がターゲット裏のマグネトロン磁界や、ターゲットからのスパッタ粒子入射角などによって影響を受けているためであると考えられる。
2つのターゲットを回転させることができるようになっており、2種類のターゲット材料による混合スパッタリング成膜が可能なマグネトロンスパッタリング装置(アネルバ C−3010)の真空チャンバ内に、結晶化ガラス基板をセットして、同チャンバ内を到達真空度1×10−5Paとなるまで排気した。ターゲット材料としては、純Coと純Irをそれぞれセットした。
先ずランプヒーターを用いて結晶化ガラス基板を350℃に加熱した。次いで、Ti膜を7nm、Ru膜を3nm順次成膜し、引き続いてCoとIrの回転同時成膜を利用してCo100−xIrxを20nm成膜した。このとき、CoとIrの放電出力を加減してxを変化させた。
さらに、試料最上部にCの保護膜を成膜した。
このようにしてできた各種組成のCo100−xIrxについて、結晶磁気異方性エネルギーKugrainを測定した。測定には前述の通り磁気トルクメーターを用いた。また2つのターゲットの放電出力を変化させて得られた組成を、蛍光X線分析を用いて求めた。これらの測定結果を表3にまとめた。なお、Co100−xIrx合金膜を成膜する際のAr分圧は3.0Paと0.6Paの2種類について調べた。
本発明においてはKugrainが負であることが必要である。Kugrainの値は成膜時のArガス分圧によっても挙動が変わるが、上記結果を基に判断するとIr濃度5at%〜30at%の範囲が最も適当であることがわかった。
直径の異なる5種類の基板について、実施例1及び比較例1と同様の方法を用いて垂直磁気記録媒体を作成し、そのWATE特性を測定した。
基板サイズは直径95mm(実施例8)、65mm(実施例9)、48mm(実施例10)、28mm(実施例11)及び22mm(実施例12)の5種類で、それぞれのサイズについて4枚の試料を作成して評価した。裏打ち磁性層材料としてCo−Irを用いたものを実施例8〜実施例12、裏打ち磁性層材料としてCo−Zr−Nbを用いたものを比較例8〜比較例12とした。測定結果を表4に示す。
Claims (5)
- 非磁性基板上に少なくとも軟磁性裏打ち層と垂直磁気記録層とを有する垂直磁気記録媒体であって、Ms(emu/cc)なる飽和磁化を有する前記軟磁性裏打ち層が、負の一軸結晶磁気異方性エネルギーKu grain を持つ材料を用いて構成され、その磁化困難軸が基板面に対して垂直な方向を向いているとともに、CoとIrとを主成分とする合金から成り、媒体面に対して垂直磁気異方性エネルギーKu⊥(erg/cc)として−2πMs2より小さい負の値を持つことを特徴とする垂直磁気記録媒体。
- 前記軟磁性裏打ち層をなすCoとIrとの合金のIr含有量が5原子%以上、30原子%以下であることを特徴とする請求項1に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記軟磁性裏打ち層の下に2次元の六方最密格子面を基板面と平行に配向させた結晶質下地膜を有することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記非磁性基板が半径28mm以下の円盤状基板であることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の垂直磁気記録媒体。
- 垂直磁気記録媒体と、該垂直磁気記録媒体に情報を記録再生する磁気ヘッドとを備えた磁気記録再生装置であって、前記垂直磁気記録媒体が請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の垂直磁気記録媒体であることを特徴とする磁気記録再生装置。
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