JP2005108335A - 磁気記録媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 非磁性基板2上に形成された軟磁性層4上に分離して配列された複数の強磁性体ドット6と、それぞれの強磁性体ドット上に形成され強磁性体ドットの中心を通る断面における膜面形状が滑らかで強磁性体ドットの中心から外縁に向かって徐々に減少する膜厚を有するカーボン層8と、を備えている。
【選択図】 図1
Description
本発明の第1実施形態による磁気記録媒体の構成を図1に示す。図1は、本実施形態による磁気記録媒体の構成を示す断面図である。この実施形態による磁気記録媒体は、パターンドメディアであって、非磁性基板2上に形成された軟磁性層4と、この軟磁性層4上に形成された分離した強磁性からなるドット6(以下、強磁性体ドット6ともいう)と、強磁性体ドット6上に形成されたカーボン層8とを備えている。カーボン層8は、断面における膜面形状が滑らかな曲線であって、その膜厚が強磁性体ドット6の中心から強磁性体ドット6の外縁に向かって徐々に減少するように構成されている。
次に、本発明の第2実施形態による磁気記録媒体の構成を図4に示す。図4は本実施形態による磁気記録媒体の構成を示す斜視図である。本実施形態による磁気記録媒体は、記録トラック間が物理的に分離されたディスクリートメディアであって、非磁性基板2上に形成された軟磁性層4と、この軟磁性層4上に形成された強磁性体からなる記録トラック16と、この記録トラック16上に形成されたカーボン層18とを備えている。この実施形態においては、記録トラック16の側面は強磁性体が露出し、カーボンには覆われていない。
次に、本発明の第3実施形態による磁気記録媒体の構成を図5に示す。図5は、本実施形態による磁気記録媒体の構成を示す斜視図である。本実施形態による磁気記録媒体は、図4に示す第2実施形態による磁気記録媒体において、記録トラック16間の溝部(凹部)にもカーボン層18が形成されており、記録トラック16間の溝部に形成されたカーボン層18の厚さは、記録トラック16上に形成されたカーボン層18の厚さよりも薄くなるように構成されている。
次に、本発明の第4実施形態による磁気記録媒体の製造方法を図8乃至図11を参照して説明する。この実施形態の製造方法は、ナノインプリント法を用いた加工方法である。
次に、本発明の第5実施形態による磁気記録媒体の製造方法を、図12乃至図17を参照して説明する。この実施形態の製造方法は、ナノインプリント法を用いてパターンを形成し、形成したパターンにSOG(Spin On Glass)を充填することでパターンを反転させるものである。
次に、本発明の第6実施形態による磁気記録媒体の製造方法を、図18乃至図22を参照して説明する。この実施形態の製造方法は、SOGにナノインプリント法を用いてパターンを形成するものである。SOGは液相のガラスであり、ナノインプリント法で直接パターンを形成することができる。
次に、本発明の第7実施形態による磁気記録媒体の製造方法を、図23乃至図28を参照して説明する。この実施形態の製造方法は、自己組織化現象を用いてパターンを形成するものである。
軟磁性層としては、Fe,Ni,Coのいずれかの元素を組成に含んでいる軟磁性材料、例えば、CoFe、NiFe、CoZrNb、フェライト、珪素鉄、炭素鉄等が使用できる。軟磁性層の微細構造は、強磁性層と同様な構造であれば、結晶性や微細構造制御の点で好ましいが、磁気特性を優先させる場合には敢えて別の構造とすることもできる。例えば、アモルファスの軟磁性層と結晶性の強磁性層、あるいはその逆が考えられる。また、軟磁性層は、軟磁性体微粒子が非磁性体マトリックス中に存在する、いわゆるグラニュラー構造であっても構わないし、磁気特性の異なる複数の層(例えば軟磁性層/非磁性層の多層膜)から構成されていても構わない。
強磁性体層としては、現在の磁気記録媒体で一般的に用いられている強磁性材料を使用できる。すなわち、飽和磁化Isが大きくかつ磁気異方性が大きいものが適している。この観点から、例えばCo、Pt、Sm、Fe、Ni、Cr、Mn、Bi、およびAlならびにこれらの金属の合金からなる群より選択される少なくとも一種を使用することができる。これらのうちでは、結晶磁気異方性の大きいCo合金、特にCoPt、SmCo、CoCrをベースとしたものやFePt,CoPt等の規則合金がより好ましい。具体的には、Co−Cr,Co−Pt,Co−Cr−Ta,Co−Cr−Pt,Co−Cr−Ta−Pt、Fe50Pt50、Co50Pt50、Fe50Pd50、Co75Pt25などである。また、これらの他にも、Tb−Fe,Tb−Fe−Co,Tb−Co, Gd−Tb−Fe−Co,Gd−Dy−Fe−Co,Nd−Fe−Co,Nd−Tb−Fe−Co等の希土類−遷移金属合金、磁性層と貴金属層の多層膜(人工格子:Co/Pt、Co/Pdなど)、PtMnSb等の半金属、Coフェライト、Baフェライト等の磁性酸化物などから幅広く選択することができる。
カーボンは、sp2結合炭素(グラファイト)とsp3結合炭素(ダイヤモンド)に分類できる。耐久性、耐食性はsp3結合炭素のほうが優れるが、結晶質であることから表面平滑性はグラファイトに劣る。通常、カーボンの成膜はグラファイトターゲットを用いたスパッタリング法で形成される。この方法では、sp2結合炭素とsp3結合炭素が混在したアモルファスカーボンが形成される。sp3結合炭素の割合が大きいものはダイヤモンドライクカーボン(DLC)と呼ばれる。耐久性、耐食性に優れ、アモルファスであることから表面平滑性にも優れるため、磁気記録媒体の表面保護膜として利用されている。CVD(Chemical vapor Deposition)法によるDLCの成膜は、原料ガスをプラズマ中で励起、分解し、化学反応によってDLCを生成させるため、条件を合わせることで、よりsp3結合炭素に富んだDLCを形成することができる。
ブロックコポリマーとは、複数の単独高分子を部分構成成分(ブロック)とする直鎖高分子からなるコポリマー(共重合体)である。たとえば、ポリマー鎖AとBが−(AA・・AA)−(BB・・BB)‐というような構造を持つ。ブロックコポリマーは、熱処理を加えることで、ポリマーAが凝集したA相とポリマーBが凝集した相分離構造をとる。例えば、A相とB相が交互に規則正しく現れる「ラメラ」構造、片方の相が棒状になる「シリンダー」構造、片方の相が球状に分布する「海島」構造がある。ブロックコポリマーでミクロ相分離構造を形成するには、2相の体積分率が重要である。ポリマーAとポリマーBはどのようなポリマーを選ぶことも可能であるが、リソグラフィーの観点からは、ドライエッチングレートの差が大きな物を選ぶのが好適である。比較的エッチング耐性のある芳香族ポリマー(例えばポリスチレン、ポリビニルナフタレン、ポリαメチルスチレン、ポリビニルピリジン等)と、ドライエッチングレートの速いアクリル系のポリマー(例えばPMMA、ポリメチルメタクリレート等)などの組み合わせが良い。PS(ポリスチレン)とPMMAが結合したジブロックコポリマーの場合、大きなドライエッチング耐性の違いを利用して、PMMAのみ選択的に除去することが可能である。PSとポリビニルピリジンのジブロックコポリマーはきれいな海島構造に相分離するが、ドライエッチング耐性に違いがほとんど無いため、相分離構造をエッチングマスクにする事は難しい。相分離構造の大きさ(ドット直径、ピッチ)は、ポリマーAとポリマーBの分子量で制御できる。例えばPS−PMMAジブロックコポリマーの場合、PSの分子量を172000、PMMAの分子量を41500にすることで、PMMAドットの直径を40nm、ピッチを80nmにすることができる。分子量を減らすと構造も小さくなる。例えば、PSの分子量を43000、PMMAの分子量を10000にすることで、PMMAドットの直径を10nm、ピッチを29nmにすることができる。
ガラス基板上に軟磁性層であるCoZrNbを膜厚200nm形成した。続けて、スパッタ蒸着法を用いて、強磁性層としてCoCrPt合金を15nm成膜し、その上にカーボンをCVD法で20nm形成した。その後、レジストを膜厚50nmで形成した後、DeepUVカッティングにより形成したピッチ400nm、ランド部200nmのランド/グルーブパターンが全面に形成されたNiスタンパーを用いてナノインプリント法で凹凸を形成した。続けて、酸素ガスを用いた100Wの弱いRIEでインプリント残さを除去し、200Wの強いRIEでカーボン層をエッチングし、カーボンハードマスクを形成した。その後、Arイオンミリングで強磁性層であるCoCrPt合金を15nmをエッチングすることでパターンドメディア(ディスクリート)を得た。
一般的な方法でパターンドメディアを製作した。即ち、ガラス基板上に軟磁性層であるCoZrNbを膜厚200nm形成した。続けて、スパッタ蒸着法を用いて、強磁性層としてCoCrPt合金を15nm成膜、その後、レジストを膜厚50nmで形成した。続けて実施例1で用いたNiスタンパーを用いてインプリントによるパターン形成を行い、酸素RIEでインプリント残さを除去した。Arイオンミリングで磁性層をエッチングした後、レジストの剥離を行い、カーボン保護膜を5nm形成した。即ちパターンドメディアを製作した。
実施例1において、カーボン層の厚さが、中央部の膜厚bと比べて端部の膜厚aが減少するような構造の試料を条件を変えて作製した。それら全てを浮上型記録再生ヘッドによる耐久性試験を行いa/b、と記録再生波形が見えなくなるまでの時間をプロットしたところ、図3に示すように、明らかな閾値があった。即ち、a/bが0.9以下の試料においては、数日〜1週間程度の耐久性が確認できたが、a/bが0.9以上の試料では数時間で記録再生ヘッドが壊れることが判った。
比較例1で製作した従来形態のパターンドメディアを浮上型ヘッドで試験する際、浮上型ヘッドにAEセンサーを取り付け、AEセンサーの出力の積分値を時間でプロットした所、図29のグラフg1に示すようになった。すなわち、試験開始後15分程度からノイズ出力が増大し始めた。これは、潤滑剤のフリー層部分が少ないことを意味しており、遠心力によるスピンオフや、ヘッド接触による潤滑剤の減少を補充できていないことが判る。
4 軟磁性層
6 強磁性体層
8 カーボン層
16 強磁性体層
18 カーボン層
Claims (5)
- 非磁性基板上に形成された軟磁性層上に分離して配列された複数の強磁性体ドットと、
それぞれの強磁性体ドット上に形成され前記強磁性体ドットの中心を通る断面における膜面形状が滑らかで前記強磁性体ドットの中心から外縁に向かって徐々に減少する膜厚を有するカーボン層と、
を備えたことを特徴とする磁気記録媒体。 - 前記カーボン層の中央部における膜厚に対する前記強磁性体ドットの端部から前記強磁性体ドットの半径の1/10の位置における前記カーボン層の膜厚の比が0.9以下であることを特徴とする請求項1記載の磁気記録媒体。
- 前記複数の強磁性体ドット間の軟磁性層上にもカーボン層が形成され、前記強磁性体ドット上に形成されたカーボン層の膜厚は、前記複数の強磁性体ドット間の前記軟磁性層上に形成されたカーボン層の膜厚よりも厚いことを特徴とする請求項1または2記載の磁気記録媒体。
- 非磁性基板上に形成された軟磁性層上に分離して設けられ幅方向の断面が凸形状の強磁性体からなる複数の記録トラックと、
それぞれの記録トラックの上面に形成されたカーボン層と、
を備え、前記記録トラックの側部は強磁性体が露出していることを特徴とする磁気記録媒体。 - 前記複数の記録トラック間の軟磁性層上にもカーボン層が形成され、前記記録トラックの上面に形成されたカーボン層の膜厚は、前記複数の記録トラック間の前記軟磁性層上に形成されたカーボン層の膜厚よりも厚いことを特徴とする請求項4記載の磁気記録媒体。
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