JP4929384B2 - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4929384B2 JP4929384B2 JP2010166291A JP2010166291A JP4929384B2 JP 4929384 B2 JP4929384 B2 JP 4929384B2 JP 2010166291 A JP2010166291 A JP 2010166291A JP 2010166291 A JP2010166291 A JP 2010166291A JP 4929384 B2 JP4929384 B2 JP 4929384B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- crystal grains
- fine crystal
- medium
- bit patterned
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/855—Coating only part of a support with a magnetic layer
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y10/00—Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/74—Record carriers characterised by the form, e.g. sheet shaped to wrap around a drum
- G11B5/743—Patterned record carriers, wherein the magnetic recording layer is patterned into magnetic isolated data islands, e.g. discrete tracks
- G11B5/746—Bit Patterned record carriers, wherein each magnetic isolated data island corresponds to a bit
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/74—Record carriers characterised by the form, e.g. sheet shaped to wrap around a drum
- G11B5/82—Disk carriers
Description
本発明は、ビットパターンド媒体などの磁気記録媒体に関する。
磁気記録再生装置の高記録密度化および大容量化を実現する技術として、ビットパターンド媒体が注目されている。ビットパターンド媒体の表面には、磁気的に互いに分離した多数の磁性ドットが微細加工によって形成されており、1つの磁性ドットが1ビットの情報の記録のために使用される。
ビットパターンド媒体に用いられる磁性材料の1つとしては、磁性結晶粒が連続的に存在する、所謂連続膜が一般的に多く使用されている。このような磁性連続膜の材料は、磁性連続膜材料に対して微細加工を施さない場合(すなわちAs−grown膜の場合)や、微細加工を施す場合でもその形状が比較的大きい場合には、磁化反転開始磁界(Hn)および保磁力(Hc)は数100Oe程度と小さいのに対し、微細加工を施す場合、連続膜の磁性特性に対してさらに形状による効果が付加されるため、HnおよびHcが増大する。つまり、磁性体の形状に依存して磁気特性が大きく変化する特徴を有する。
ビットパターンド媒体は、ヘッドの位置制御情報を有するサーボ領域と、情報の記録を担うデータ領域とから成るパターンを有する。そのため、ビットパターンド媒体表面には、様々なサイズの磁性体による微細構造が形成されている。したがって、磁性結晶粒が連続的に存在する磁気記録層を用いた場合、磁化反転開始磁界(Hn)、保磁力(Hc)および飽和磁界(Hs)といった磁気特性は、そのような領域および構造ごとに異なる。
特に、サーボ領域では、より大きなサイズの微細構造が形成されているため、HnおよびHcがより小さくなり、浮遊磁界、熱揺らぎ等に起因した逆磁区が発生し易くなる。サーボ領域に逆磁区が発生した場合、ヘッドを目的の磁性ドットへアクセスさせることが困難となる。一方、データ領域では、より小さなサイズの微細構造が形成されているため、構造ごとの加工形状、組成比、結晶粒界等のばらつきに起因して、磁気特性ばらつき(Switching field distribution:SFD)が増大し易い。SFDが大きいと、磁性ドットへのヘッド書き込みマージンが激減し、目的のドットのみへの書き込みが困難となる。また、データ領域における磁性ドットの単磁区特性を確保することも重要である。1つのドット内に複数の磁区を形成しやすい磁性ドットは、磁気記録再生装置に搭載した際に書き込みエラーを生じ易い。
従来の垂直磁気記録媒体で用いられているCoCrPt系グラニュラー膜を用いて、パターンド媒体を構成することは可能である。この場合、結晶粒間の磁気的結合が弱いため、サーボ領域での逆磁区を防止することは可能となる。しかしながら、磁性結晶粒間の磁気的結合が弱いことに起因して、ドットごとの磁気特性ばらつきが大きくなることや、単磁区特性を確保できないという問題が生じる。したがって,従来の垂直磁気記録媒体で用いられているCoCrPt系グラニュラー膜でパターンド媒体を作製することも好ましくない。
以上のようなことを背景として、ビットパターンド媒体には、サーボ領域における逆磁区の発生を防止できるとともに、データ領域におけるSFD低減、単磁区特性の確保を両立した媒体が求められている。
本発明の目的は、サーボ領域における逆磁区の発生が防止され、データ領域におけるSFDが低減されおよび単磁区特性が向上したビットパターンド媒体及びこれを用いた磁気記録再生装置を提供することにある。
実施形態によれば、凸部および凹部から成るパターンが形成された磁気記録層を含み、1つの前記凸部が複数の微細結晶粒から成り、前記凸部内における前記微細結晶粒間の平均距離が0.5nm以上3.0nm以下の範囲であり、媒体径方向の長さが1μm以上の凸部のヒステリシス曲線における磁化反転開始磁界(Hn)および保磁力(Hc)が次式Hn≧1.5kOeおよび0.5kOe≦Hc−Hn≦1.5kOeを満たすビットパターンド媒体が提供される。
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態を説明する。
<ビットパターンド媒体>
図1に、実施形態に係るビットパターンド媒体(BPM)の周方向に沿う平面図を示す。ビットパターンド媒体100の周方向にそって、サーボ領域110とデータ領域120とが交互に形成されている。サーボ領域110には、プリアンブル部111、アドレス部112およびバースト部113が含まれる。データ領域120には、磁性ドット121が形成されている。
<ビットパターンド媒体>
図1に、実施形態に係るビットパターンド媒体(BPM)の周方向に沿う平面図を示す。ビットパターンド媒体100の周方向にそって、サーボ領域110とデータ領域120とが交互に形成されている。サーボ領域110には、プリアンブル部111、アドレス部112およびバースト部113が含まれる。データ領域120には、磁性ドット121が形成されている。
図1に示されるように、実施形態に係るビットパターンド媒体の磁気記録層は、凸部および凹部から成るパターンが形成されている。図中、矩形で表される構造が凸部に対応する。
<第1の実施形態>
図2に、第1の実施形態に係るビットパターンド媒体を示す断面図(図2a)および平面図(図2b)を示す。
図2に、第1の実施形態に係るビットパターンド媒体を示す断面図(図2a)および平面図(図2b)を示す。
図2(a)に示されるように、第1の実施形態に係るビットパターンド媒体では、基板3上に下地層2が積層され、さらにその上に複数の微細結晶粒1が形成されている。なお、図2(a)および(b)では、複数の微細結晶粒1を通して、下地層2からの高さ、微細結晶粒の粒径(図2aでは横幅)および微細結晶粒間の間隔はほぼ一定となっているが、実際の媒体作製においてはばらつきが生じるため、これらの図は説明のために平均的な構造を示しているにすぎない。また、図2では、軟磁性裏打ち層、保護膜等の構造を省略している。
図2(b)に示されるように媒体を上から見た場合、複数の微細結晶粒1が集合して、図2(b)に円で表現されるような磁性ドット4が形成されている。この磁性ドット4は、図1に示される磁性ドット121に対応する。なお、図1におけるサーボ領域110を構成する各種凸部も同様に、複数の微細結晶粒1が集合して形成されている。
凸部内における微細結晶粒間の平均距離は、0.5nm以上3.0nm以下の範囲である。微細結晶粒間の平均距離が0.5nmよりも小さいと、微細結晶粒間の交換結合の強度が連続膜と同程度に強くなる。この結果、媒体径方向の長さが1μm以上の凸部(例えばサーボ領域における凸部)では、その磁気特性が連続膜と同様の振る舞いを示し、逆磁区発生の防止が非常に困難となる。一方、微細結晶粒間の平均距離が3.0nmよりも大きいと、微細結晶粒間の交換結合強度が落ちるため、微細結晶粒毎の磁気特性ばらつきを平均化する効果が弱まり、磁性ドットごとの磁気特性ばらつきが大きくなってしまう。なお、微細結晶粒間の距離は、磁気記録媒体の断面TEM(transmission electron microscopy)により、微細結晶粒1の半分の高さの位置における2つの微細結晶粒1の間の長さとして測定される。
媒体径方向の長さが1μm以上の凸部のヒステリシス曲線における磁化反転開始磁界(Hn)および保磁力(Hc)は、次式を満たす:
Hn≧1.5kOe;および
0.5kOe≦Hc−Hn≦1.5kOe。
Hn≧1.5kOe;および
0.5kOe≦Hc−Hn≦1.5kOe。
媒体径方向の長さが1μm以上の凸部とは、主にサーボ領域110において見られ、例えばプリアンブル部111およびアドレス部112が該当する。特に、サーボ領域110は媒体の内周から外周に向かって広がる構造を有するため、主に媒体の中周から外周におけるサーボ領域110が前記凸部に該当する。
ヒステリシス曲線は、CCD等を有し、希望の測定場所が任意に測定でき、レーザースポット径が1μm程度のカー効果装置等を用いることで測定できる。測定されたヒステリシス曲線からHn及びHc−Hnを算出できる。Hnは、飽和からの磁化の変化量が10%となる点である。なお、MFM、AFM等と前記カー効果装置とを組み合わせて測定することで、さらに正確な測定場所について磁気特性の同定が可能となる。また、磁場中MFMで直接観察することも可能である。
媒体径方向の長さが1μm以上の凸部のヒステリシス曲線におけるHnが1.5kOeよりも小さいと、媒体をHDDといった磁気記録再生装置に搭載した際に、浮遊磁界、熱揺らぎ等の影響で逆磁区が発生してしまう。このことは、サーボ領域におけるヘッド位置の制御情報が変更されることを意味し、正確なヘッドの位置決めが出来なくなることを意味する。一方、媒体径方向の長さが1μm以上の凸部のヒステリシス曲線のHcおよびHnが0.5kOe≦Hc−Hn≦1.5kOeの式を満たすことは、微細結晶粒間の交換結合が適度に強いことを示している。この結果、磁性ドット内の複数の微細結晶粒が、あたかも1つの微細結晶粒のように振舞い、磁性ドットにおける単磁区特性が向上する。Hc−Hnが1.5kOeよりも大きい場合、微細結晶粒間の交換結合が弱くなっていることを示しており、グラニュラー媒体のように個々の結晶粒の磁気特性が強く反映されてしまい、磁性ドットごとの磁気特性ばらつきが大きくなってしまう。また磁性ドットの単磁区特性の確保も困難となる。Hc−Hnが0.5kOeよりも小さい場合、微細結晶粒間の交換結合は非常に強くなり、媒体径方向の長さが1μm以上の凸部の磁気特性が連続膜のような振る舞いを示すため、逆磁区の発生の防止が困難となる。なお、上記に示されているヒステリシス曲線のHn、Hc、Hs等の値は、1700Oe/sec程度の磁界掃引速度による測定によって得られる値を基準としている。
データ領域における凸部に含まれる微細結晶粒の平均数は3個以上であることが好ましい。3個以上であれば、微細結晶粒間の磁気特性ばらつきがより平均化されるため、磁性ドットごとの磁気特性ばらつきを低減することが可能となる。
微細結晶粒の高さは、2nm以上15nm以下であることが好ましい。高さが2nmよりも低い微細結晶粒は形成が困難なため、媒体作製の観点から好ましくない。一方、微細結晶粒の高さが15nmよりも高いとヘッドの浮上特性が悪くなるため、磁気記録媒体の性能の観点から好ましくない。
微細結晶粒1の平均粒径は30nm以下であることが好ましい。粒径が30nmよりも大きいと磁気特性に対する形状の効果が小さく、異方性エネルギーに対して静磁界のエネルギーが相対的に大きくなってしまうため、磁区を形成しやすくなる。結果的に、磁性ドットの単磁区特性の維持が困難となる。粒径が30nm以下であれば、磁気特性に対する形状の効果が大きくなり、静磁気エネルギーに対する異方性エネルギーの影響が相対的に大きくなるため、磁性ドットの単磁区特性を得やすくなる。
微細結晶粒の材料は、Co、CoPt、CoPd、CoCrPt、CoCrPtB、CoRuPtおよびCoCuPtから成る群から選択されることが好ましい。これらの材料であれば、非加熱の固溶体状態で高い一軸磁気異方性を有するため、熱安定性、磁化の双安定性に優れた微細結晶粒の作製が可能である。また、これらのCo合金を使用することは、現行のグラニュラー媒体と共通するため、媒体生産の観点で利点がある。特に、微細結晶粒の材料をCoPtとすることが好ましい。CoPtは、少ないPt添加量(30at%程度以下)でも特に高い一軸磁気異方性を有し、Cr、BおよびRuと比較して、Coへの添加元素数(at%)に対する飽和磁化値は相対的に高い。そのため、CoPtの使用は、微細結晶粒の粒径、高さ、平均の粒間距離等の媒体設計パラメータの選択幅が広くなり、媒体の設計の観点から好ましい。なお、微細結晶粒の材料特定は、断面TEM像による格子像観察やEDX、XPS等による構成組成比の測定により確認することが可能である。
第1の実施形態に係るビットパターンド媒体によれば、サーボ領域における逆磁区の発生を防止し、データ領域におけるSFDを低減し、およびデータ領域における単磁区特性を向上することができる。
実施形態に関して、SFDとは、磁性ドットごとに磁気特性がばらついていることを意味し、特に磁区の反転のために要する磁界の大きさが磁性ドットごとにばらついていることを意味する。SFDの求め方としては、簡易的には、例えば磁場中MFMで反転ドットの数をカウントする方法、ΔHc法を用いてヒステリシス曲線からΔHc/(1.35×Hc)を求める方法や、多数のリコイルループ(マイナーループ)を測定する方法等が存在する。また、HDDまたはスピンスタンドによる測定も可能である。ΔHc/(1.35×Hc)による方法でSFDを算出した場合、12%程度以下がビットパターンド媒体としての使用に適しており、5%以下の場合がさらに適している。SFDの値は、小さければ小さいほど好ましい。なお、ΔHc法で求めたSFD値は、ドット間の静磁気相互作用の影響が除去されたSFDを意味する。したがって、実施形態のSFD低減効果は、ドット間の静磁気相互作用の影響が除去されたSFD値を算出できる方法であれば、ΔHc法に限らずSFD低減効果を確認することができる。
実施形態に関して、単磁区特性とは、1つの磁性ドット内で多磁区が安定的または準安定的に生じない性質を意味する。言い換えれば、1つの磁性ドットが単一の磁区を有する性質を意味する。単磁区特性の測定は、たとえばスピンスタンドで非同期(ランダム)書き込みを行い、その再生信号を解析する方法、またはドットの面内方向に飽和磁界を印加した後の垂直方向の残留磁化状態をMFM等で観察する方法等が存在する。
なお、微細結晶粒1の直径、粒間の距離および高さは、媒体の平面TEMや断面TEM等から得られる平均値として表される。
<第2の実施形態>
図3に、第2の実施形態に係るビットパターンド媒体を示す断面図(図3a)および平面図(図3b)を示す。
図3に、第2の実施形態に係るビットパターンド媒体を示す断面図(図3a)および平面図(図3b)を示す。
図3(a)に示されるように、第2の実施形態に係るビットパターンド媒体では、基板3上に下地層2が積層され、その上に複数の微細結晶粒1が形成されている。さらに、微細結晶粒1の上に第2の磁性体7が積層されている。ここで、1つの凸部内における第2の磁性体間の平均距離は、1つの凸部内における微細結晶粒間の平均距離よりも短い。図3(b)に示されるように媒体を上から見た場合、第1の実施形態と同様に、複数の微細結晶粒1が集合して、図3(b)に円で表現されるような磁性ドット4を形成している。なお、図3では、軟磁性裏打ち層、保護膜等の構造を省略している。また、図3(a)および(b)についても、図2に示される第1の実施形態の場合と同様に、説明のために平均的な構造を示しているにすぎない。
第2の実施形態に係るビットパターンド媒体によれば、サーボ領域における逆磁区の発生を防止し、データ領域におけるSFDを低減し、およびデータ領域における単磁区特性を向上することができる。
第2の実施形態に係るビットパターンド媒体の微細結晶粒子1に関する粒間の平均距離および材料といった各条件は、第1の実施形態と同様である。
第2の磁性体7の材料は、微細結晶粒1の材料と同一であってもよく、または異なってもよい。例えば、微細結晶粒1および第2の磁性体7の両方をCoPtとすることができ、または微細結晶粒1をCoPtとし、第2の磁性体7をCoCrPtBとすることができる。微細結晶粒1の材料が異なる材料である場合はもちろんであるが、同一の材料を使用する場合であっても、第2の磁性体7の材料および膜厚等が変わることで、微細結晶粒間の交換結合強度が変化するため、積層膜全体としての磁気特性は変化する。したがって、微細結晶粒1の材料と第2の磁性体7の材料との組み合わせや、その膜厚等の組み合わせは、逆磁区の発生、SFDおよび単磁区特性についての効果等の観点から適宜選択することが好ましい。
<第3の実施形態>
図4に、第3の実施形態に係るビットパターンド媒体を示す断面図(図4a)および平面図(図4b)を示す。
図4に、第3の実施形態に係るビットパターンド媒体を示す断面図(図4a)および平面図(図4b)を示す。
図4(a)に示されるように、第3の実施形態に係るビットパターンド媒体では、基板3上に下地層2が積層され、その上に複数の微細結晶粒1が形成されている。さらに、微細結晶粒1を第3の磁性体8が覆っている。なお、図4では、軟磁性裏打ち層、保護膜等の構造を省略している。また、図4(a)および(b)についても、図2に示される第1の実施形態の場合や、図3に示される第2の実施形態の場合と同様に、説明のために平均的な構造を示しているにすぎない。
第3の実施形態に係るビットパターンド媒体によれば、サーボ領域における逆磁区の発生を防止し、データ領域におけるSFDを低減し、およびデータ領域における単磁区特性を向上することができる。
第3の実施形態に係るビットパターンド媒体の微細結晶粒子1に関する粒間の平均距離および材料といった各条件は、第1の実施形態と同様である。
第3の磁性体8の材料は、微細結晶粒1の材料と同一であってもよく、または異なってもよい。例えば、微細結晶粒1および第3の磁性体8の両方をCoPtとすることができ、または微細結晶粒1をCoPtとし、第3の磁性体8をCoCrPtBとすることができる。微細結晶粒1の材料が異なる材料である場合はもちろんであるが、同一の材料を使用する場合であっても、第3の磁性体8の材料および膜厚等が変わることで、微細結晶粒間の交換結合強度が変化するため、積層膜全体としての磁気特性は変化する。したがって、微細結晶粒1の材料と第3の磁性体8の材料との組み合わせやその膜厚等の組み合わせは、逆磁区の発生、SFDおよび単磁区特性についての効果等の観点から適宜選択することが好ましい。
<製造方法>
図5(a)−(h)に、第1の実施形態に係るビットパターンド媒体の製造方法の一例を示す。
図5(a)−(h)に、第1の実施形態に係るビットパターンド媒体の製造方法の一例を示す。
図5(a)に示すように、ガラス基板3上に、下地層(図示せず)および厚さ10nmの磁気記録層を成膜する。磁気記録層の成膜は、アネルバ社製のC3010でArをスパッタガスとして用いて7.0Paで成膜する。これによって、多数の微細結晶粒1から成る磁気記録層が形成される。微細結晶粒の材料としては、たとえばCoPtを用いる。なお、第2の実施形態および第3の実施形態に係るビットパターンド媒体を作成する場合は、微細結晶粒1の成膜形成後に、第2の実施形態の場合はたとえばC3010でArをスパッタガスとして用いてCoPtを1.0Paで成膜する。第3の実施形態の場合はたとえばC3010でArをスパッタガスとして用いてCoPtを0.7Paで成膜する。磁気記録層上に厚さ15nmのカーボンからなる第1のハードマスク71と、厚さ3nmのSiからなる第2のハードマスク72を成膜する。なお、カーボン成膜の際、カーボンが微細結晶粒間に入り込むことが考えられるが、磁性微細結晶粒が実施形態の要件を満たすものであれば、それによって得られる媒体も実施形態となる。したがって、微細結晶粒間にカーボンなどの非磁性材が形成されてもかまわない。カーボン層上部については、カーボン膜厚が15nm程度と厚いため、図5(a)に示すようにほぼ平坦な層となっている。第2のハードマスク72上に、レジスト73をスピンコートする。一方、たとえば図1に示すBPMのパターンに対応する所定の凹凸パターンが形成されたスタンパ74を用意する。スタンパ74は、EB描画、Ni電鋳、射出成形を経て製造される。レジスト73に対向するように、スタンパ74の凹凸面を対向させる。
図5(b)に示すように、レジスト73に対してスタンパ74をインプリントして、スタンパ74の凹凸パターンをレジスト73に転写する。その後、スタンパ74を取り外す。レジスト73に転写された凹凸パターンの凹部の底にはレジスト残渣が残っている。
図5(c)に示すように、ドライエッチングにより、凹部のレジスト残渣を除去し、第2のハードマスク72の表面を露出させる。この際、たとえば誘導結合プラズマ(ICP)RIE装置により、エッチングガスとしてO2を用いてレジスト残渣を除去する。
図5(d)に示すように、パターン化されたレジスト73をマスクとし、RIE装置を用いて第2のハードマスク72にレジストパターンを転写する。エッチングガスとしては例えばCF4を用いることができるが、特に限定されない。また、エッチング装置についても特に限定されず、たとえばイオンミリング装置でもよい。
図5(e)に示すように、パターン化された第2のハードマスク72をマスクとして、第1のハードマスク71をエッチングしてパターンを転写し、凹部で磁気記録層の表面を露出させる。エッチングにはたとえば、誘導結合プラズマ(ICP)RIE装置により、エッチングガスとして酸素ガスを用いる。その際、第2のハードマスク72のパターン上部に残存するレジスト73の一部または全部が剥離され、主に第1のハードマスク71と第2のハードマスク72とからなる凹凸パターンが形成される。
図5(f)に示すように、イオンビームエッチングにより、残存する第2のハードマスク72を除去するとともに、パターン凹部で磁気記録層の磁性を失活させて非磁性層を形成する。第2のハードマスク72を除去する際、パターン凹部の磁気記録層の一部がエッチングされうる。しかし、凹部の磁気記録層は磁性を失活して非磁性化している。この工程に用いられるイオンビーム装置としては、たとえば電子サイクロトロン共鳴(ECR)型のイオンガンを用いることができる。エッチングガスとしてはHe、N2、He−N2混合ガス等を用いることができる。
図5(g)に示すように、残存している第1のハードマスク71を除去する。この際、たとえば誘導結合プラズマ(ICP)RIE装置により、エッチングガスとして酸素ガスを用いて第1のハードマスク71を除去する。
図5(h)に示すように、CVD(化学気相堆積)により厚さ3nmの保護膜を形成する。
なお、以上の工程において、各種の膜の厚さおよび凹凸の深さは、たとえばAFM(atomic force microscope)、断面TEM等を用いて容易に測定することができる。
なお、図5による製造方法によれば、磁気記録層の凹凸パターンの凹部が残った媒体が得られるが、パターン凹部の磁気記録層が完全に除去された媒体を製造することもできる。その場合、例えば、図5(f)の工程において、エッチングガスにArを用いるといった方法で凹部の磁気記録層を除去することができる。
<材料等および工程の説明>
以下に、実施形態に係るパターンド媒体に含まれる構造について説明する。
以下に、実施形態に係るパターンド媒体に含まれる構造について説明する。
(基板)
基板としては、たとえばガラス基板、Al系合金基板、セラミック基板、カーボン基板、酸化表面を有するSi単結晶基板などを用いることができる。ガラス基板としては、アモルファスガラスおよび結晶化ガラスが用いられる。アモルファスガラスとしては、汎用のソーダライムガラス、アルミノシリケートガラスが挙げられる。結晶化ガラスとしては、リチウム系結晶化ガラスが挙げられる。セラミック基板としては、汎用の酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、窒化珪素などを主成分とする焼結体や、これらの繊維強化物などが挙げられる。基板としては、上述した金属基板や非金属基板の表面にメッキ法やスパッタ法を用いてNiP層が形成されたものを用いることもできる。
基板としては、たとえばガラス基板、Al系合金基板、セラミック基板、カーボン基板、酸化表面を有するSi単結晶基板などを用いることができる。ガラス基板としては、アモルファスガラスおよび結晶化ガラスが用いられる。アモルファスガラスとしては、汎用のソーダライムガラス、アルミノシリケートガラスが挙げられる。結晶化ガラスとしては、リチウム系結晶化ガラスが挙げられる。セラミック基板としては、汎用の酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、窒化珪素などを主成分とする焼結体や、これらの繊維強化物などが挙げられる。基板としては、上述した金属基板や非金属基板の表面にメッキ法やスパッタ法を用いてNiP層が形成されたものを用いることもできる。
(軟磁性裏打ち層)
軟磁性裏打ち層(SUL)は、垂直磁気記録層を磁化するための単磁極ヘッドからの記録磁界を水平方向に通して、磁気ヘッド側へ還流させるという磁気ヘッドの機能の一部を担っており、記録層に急峻で充分な垂直磁界を印加させ、記録再生効率を向上させる作用を有する。軟磁性裏打ち層には、Fe、NiまたはCoを含む材料を用いることができる。このような材料として、FeCo系合金たとえばFeCo、FeCoVなど、FeNi系合金たとえばFeNi、FeNiMo、FeNiCr、FeNiSiなど、FeAl系合金、FeSi系合金たとえばFeAl、FeAlSi、FeAlSiCr、FeAlSiTiRu、FeAlOなど、FeTa系合金たとえばFeTa、FeTaC、FeTaNなど、FeZr系合金たとえばFeZrNなどを挙げることができる。Feを60at%以上含有するFeAlO、FeMgO、FeTaN、FeZrNなどの微結晶構造または微細な結晶粒子がマトリクス中に分散されたグラニュラー構造を有する材料を用いることもできる。軟磁性裏打ち層の他の材料として、Coと、Zr、Hf、Nb、Ta、TiおよびYのうち少なくとも1種とを含有するCo合金を用いることもできる。Co合金には80at%以上のCoが含まれることが好ましい。このようなCo合金は、スパッタ法により製膜した場合にアモルファス層が形成されやすい。アモルファス軟磁性材料は、結晶磁気異方性、結晶欠陥および粒界がないため、非常に優れた軟磁性を示すとともに、媒体の低ノイズ化を図ることができる。好適なアモルファス軟磁性材料としては、たとえばCoZr、CoZrNbおよびCoZrTa系合金などを挙げることができる。
軟磁性裏打ち層(SUL)は、垂直磁気記録層を磁化するための単磁極ヘッドからの記録磁界を水平方向に通して、磁気ヘッド側へ還流させるという磁気ヘッドの機能の一部を担っており、記録層に急峻で充分な垂直磁界を印加させ、記録再生効率を向上させる作用を有する。軟磁性裏打ち層には、Fe、NiまたはCoを含む材料を用いることができる。このような材料として、FeCo系合金たとえばFeCo、FeCoVなど、FeNi系合金たとえばFeNi、FeNiMo、FeNiCr、FeNiSiなど、FeAl系合金、FeSi系合金たとえばFeAl、FeAlSi、FeAlSiCr、FeAlSiTiRu、FeAlOなど、FeTa系合金たとえばFeTa、FeTaC、FeTaNなど、FeZr系合金たとえばFeZrNなどを挙げることができる。Feを60at%以上含有するFeAlO、FeMgO、FeTaN、FeZrNなどの微結晶構造または微細な結晶粒子がマトリクス中に分散されたグラニュラー構造を有する材料を用いることもできる。軟磁性裏打ち層の他の材料として、Coと、Zr、Hf、Nb、Ta、TiおよびYのうち少なくとも1種とを含有するCo合金を用いることもできる。Co合金には80at%以上のCoが含まれることが好ましい。このようなCo合金は、スパッタ法により製膜した場合にアモルファス層が形成されやすい。アモルファス軟磁性材料は、結晶磁気異方性、結晶欠陥および粒界がないため、非常に優れた軟磁性を示すとともに、媒体の低ノイズ化を図ることができる。好適なアモルファス軟磁性材料としては、たとえばCoZr、CoZrNbおよびCoZrTa系合金などを挙げることができる。
軟磁性裏打ち層の下に、軟磁性裏打ち層の結晶性の向上または基板との密着性の向上のために、さらに下地層を設けてもよい。こうした下地層の材料としては、Ti、Ta、W、Cr、Pt、これらを含む合金、またはこれらの酸化物もしくは窒化物を用いることができる。軟磁性裏打ち層と記録層との間に、非磁性体からなる中間層を設けてもよい。中間層は、軟磁性裏打ち層と記録層との交換結合相互作用を遮断し、記録層の結晶性を制御する、という2つの作用を有する。中間層の材料としては、Ru、Pt、Pd、W、Ti、Ta、Cr、Si、これらを含む合金、またはこれらの酸化物もしくは窒化物を用いることができる。
スパイクノイズ防止のために軟磁性裏打ち層を複数の層に分け、0.5〜1.5nmのRuを挿入することで反強磁性結合させてもよい。また、CoCrPt、SmCo、FePtなどの面内異方性を持つ硬磁性膜またはIrMn、PtMnなどの反強磁性体からなるピン層と軟磁性層とを交換結合させてもよい。交換結合力を制御するために、Ru層の上下に磁性膜(たとえばCo)または非磁性膜(たとえばPt)を積層してもよい。
(非磁性中間層)
実施形態において、軟磁性裏打ち層と磁気記録層との間に、非磁性体からなる中間層を設けてもよい。中間層は、軟磁性裏打ち層と記録層との交換結合相互作用を遮断し、記録層の結晶性を制御する、という2つの作用を有する。中間層は、Ru、Re、Pt、Pd、Ti及びそれらのいずれかを含む結晶質の合金膜であることが好ましい。垂直磁気記録層の結晶配向性を良くするために、中間層の膜厚は0.5nm以上50nm以下であることが好ましい。また、結晶配向面はRu、Re、Tiは(0002)、Pt、Pdは(111)であることが好ましい。高いKu値を得ることができるとともに、高い熱安定性を得ることができる。
実施形態において、軟磁性裏打ち層と磁気記録層との間に、非磁性体からなる中間層を設けてもよい。中間層は、軟磁性裏打ち層と記録層との交換結合相互作用を遮断し、記録層の結晶性を制御する、という2つの作用を有する。中間層は、Ru、Re、Pt、Pd、Ti及びそれらのいずれかを含む結晶質の合金膜であることが好ましい。垂直磁気記録層の結晶配向性を良くするために、中間層の膜厚は0.5nm以上50nm以下であることが好ましい。また、結晶配向面はRu、Re、Tiは(0002)、Pt、Pdは(111)であることが好ましい。高いKu値を得ることができるとともに、高い熱安定性を得ることができる。
Ti以外の上記材料は、CF4、SF6等のドライエッチングガスに耐食性を有するため、中間層材料として好ましい。媒体の製造において、CF4、SF6等のガスをエッチングガスとして用いたドライエッチング工程を行う場合が考えられるが、エッチングを受ける材料は、エッチングガスに対して耐食性を有する必要がある。これは、腐食による磁気特性劣化、微細構造の形状劣化等、中間層劣化に起因する特性劣化を防ぐためである。なお、Tiについては、CF4、SF6等のエッチングガスでは腐食してしまうが、O2などをエッチングガスとして選択すれば耐食性を有するために中間層材料として用いることが可能である。なお、中間層は2層以上の多層になっても良い。
(保護膜)
保護膜は、垂直磁気記録層の腐食を防ぐとともに、磁気ヘッドが媒体に接触したときに媒体表面の損傷を防ぐ目的で設けられる。保護膜の材料としては、たとえばC、SiO2、ZrO2を含むものが挙げられる。保護膜の厚さは1から10nmとすることが好ましい。これにより、ヘッドと媒体の距離を小さくできるので、高密度記録に好適である。カーボンは、sp2結合炭素(グラファイト)とsp3結合炭素(ダイヤモンド)に分類できる。耐久性、耐食性はsp3結合炭素のほうが優れるが、結晶質であることから表面平滑性はグラファイトに劣る。通常、カーボンの成膜はグラファイトターゲットを用いたスパッタリング法で形成される。この方法では、sp2結合炭素とsp3結合炭素が混在したアモルファスカーボンが形成される。sp3結合炭素の割合が大きいものはダイヤモンドライクカーボン(DLC)と呼ばれ、耐久性、耐食性に優れ、アモルファスであることから表面平滑性にも優れるため、磁気記録媒体の表面保護膜として利用されている。CVD(chemical vapor deposition)法によるDLCの成膜は、原料ガスをプラズマ中で励起、分解し、化学反応によってDLCを生成させるため、条件を合わせることで、よりsp3結合炭素に富んだDLCを形成することができる。
保護膜は、垂直磁気記録層の腐食を防ぐとともに、磁気ヘッドが媒体に接触したときに媒体表面の損傷を防ぐ目的で設けられる。保護膜の材料としては、たとえばC、SiO2、ZrO2を含むものが挙げられる。保護膜の厚さは1から10nmとすることが好ましい。これにより、ヘッドと媒体の距離を小さくできるので、高密度記録に好適である。カーボンは、sp2結合炭素(グラファイト)とsp3結合炭素(ダイヤモンド)に分類できる。耐久性、耐食性はsp3結合炭素のほうが優れるが、結晶質であることから表面平滑性はグラファイトに劣る。通常、カーボンの成膜はグラファイトターゲットを用いたスパッタリング法で形成される。この方法では、sp2結合炭素とsp3結合炭素が混在したアモルファスカーボンが形成される。sp3結合炭素の割合が大きいものはダイヤモンドライクカーボン(DLC)と呼ばれ、耐久性、耐食性に優れ、アモルファスであることから表面平滑性にも優れるため、磁気記録媒体の表面保護膜として利用されている。CVD(chemical vapor deposition)法によるDLCの成膜は、原料ガスをプラズマ中で励起、分解し、化学反応によってDLCを生成させるため、条件を合わせることで、よりsp3結合炭素に富んだDLCを形成することができる。
次に、製造方法における各工程の好適な条件について説明する。
(インプリント)
記録トラックとサーボ情報のパターンが埋め込まれたスタンパを、レジストが塗布された基板に圧着しながらレジストを硬化させることで、レジストにその凹凸パターンを転写する。
記録トラックとサーボ情報のパターンが埋め込まれたスタンパを、レジストが塗布された基板に圧着しながらレジストを硬化させることで、レジストにその凹凸パターンを転写する。
レジストとしては、UV硬化樹脂や、ノボラックを主成分とした一般的なレジストなどを用いることができる。UV硬化樹脂を使用する場合は、スタンパ材は石英や樹脂などの光を透過させるものがよい。UV硬化樹脂に紫外線を照射することで硬化させることができる。紫外線の光源としては例えば高圧水銀ランプを用いればよい。ノボラックを主成分とした一般的なレジストを使用する場合は、スタンパにNi、石英、Si、SiCなどの材質を用いることができる。レジストは熱や圧力を加えることで硬化させることができる。
(残渣除去)
O2ガスRIE(反応性イオンエッチング)でインプリント後のレジスト残差除去を行う。プラズマソースは、低圧で高密度プラズマが生成可能なICP(inductively coupled plasma)が好適であるが、ECR(electron cyclotron resonance)プラズマや、一般的な並行平板型RIE装置を用いてもよい。
O2ガスRIE(反応性イオンエッチング)でインプリント後のレジスト残差除去を行う。プラズマソースは、低圧で高密度プラズマが生成可能なICP(inductively coupled plasma)が好適であるが、ECR(electron cyclotron resonance)プラズマや、一般的な並行平板型RIE装置を用いてもよい。
(保護膜形成および後処理)
カーボン保護膜は、凹凸へのカバレッジをよくするためにCVD法で成膜することが望ましいが、スパッタ法または真空蒸着法により成膜してもよい。CVD法によれば、sp3結合炭素を多く含むDLC膜が形成される。保護膜上に潤滑剤を塗布する。潤滑剤としては、たとえばパーフルオロポリエーテル、フッ化アルコール、フッ素化カルボン酸などを用いることができる。
カーボン保護膜は、凹凸へのカバレッジをよくするためにCVD法で成膜することが望ましいが、スパッタ法または真空蒸着法により成膜してもよい。CVD法によれば、sp3結合炭素を多く含むDLC膜が形成される。保護膜上に潤滑剤を塗布する。潤滑剤としては、たとえばパーフルオロポリエーテル、フッ化アルコール、フッ素化カルボン酸などを用いることができる。
<磁気記録再生装置>
次に、上記磁気抵抗効果素子を用いた磁気記録再生装置(HDD)について説明する。図6は、実施形態に係るビットパターンド媒体を搭載した磁気記録再生装置を示す斜視図である。
次に、上記磁気抵抗効果素子を用いた磁気記録再生装置(HDD)について説明する。図6は、実施形態に係るビットパターンド媒体を搭載した磁気記録再生装置を示す斜視図である。
図6に示すように、実施形態に係る磁気記録再生装置150は、ロータリーアクチュエータを用いた形式の装置である。パターンド媒体は、スピンドルモータ140に装着され、図示しない駆動装置制御部からの制御信号に応答する図示しないモータにより矢印Aの方向に回転する。磁気記録再生装置150は、複数のパターンド媒体を備えたものでもよい。
パターンド媒体に対して情報の記録再生を行うヘッドスライダー130は、薄膜状のサスペンション154の先端に取り付けられている。ヘッドスライダー130の先端付近には磁気ヘッドが設けられている。パターンド媒体が回転すると、サスペンション154による押付け圧力とヘッドスライダー130の媒体対向面(ABS)で発生する圧力とがつりあい、ヘッドスライダー130の媒体対向面は、パターンド媒体の表面から所定の浮上量をもって保持される。
サスペンション154は、図示しない駆動コイルを保持するボビン部などを有するアクチュエータアーム155の一端に接続されている。アクチュエータアーム155の他端には、リニアモータの一種であるボイスコイルモータ156が設けられている。ボイスコイルモータ156は、アクチュエータアーム155のボビン部に巻き上げられた図示しない駆動コイルと、このコイルを挟み込むように対向して配置された永久磁石及び対向ヨークからなる磁気回路とから構成することができる。アクチュエータアーム155は、ピボット157の上下2箇所に設けられた図示しないボールベアリングによって保持され、ボイスコイルモータ156により回転摺動が自在にできるようになっている。その結果、磁気ヘッドをパターンド媒体の任意の位置にアクセスできる。
<実施例1>
図1に示される第1の実施形態に係るビットパターンド媒体を作製した。微細結晶粒間の距離が異なる5種類を作製した。微細結晶粒間の距離はAr成膜ガス圧を変えることで調整した。全ての媒体において、微細結晶粒の直径は約10nmであり、高さは10nmであり、磁性ドットを80nmピッチとし、微細結晶粒の材料をCoPtとした。微細結晶粒間の平均距離は、媒体の断面TEMにより確認したところ、それぞれ(1)0.2nm、(2)0.5nm、(3)2.5nm、(4)3nmおよび(5)5nmであった。
図1に示される第1の実施形態に係るビットパターンド媒体を作製した。微細結晶粒間の距離が異なる5種類を作製した。微細結晶粒間の距離はAr成膜ガス圧を変えることで調整した。全ての媒体において、微細結晶粒の直径は約10nmであり、高さは10nmであり、磁性ドットを80nmピッチとし、微細結晶粒の材料をCoPtとした。微細結晶粒間の平均距離は、媒体の断面TEMにより確認したところ、それぞれ(1)0.2nm、(2)0.5nm、(3)2.5nm、(4)3nmおよび(5)5nmであった。
これらの媒体に対して後処理およびDC着磁を行った後、スピンスタンドを用いてリードテストを行ったところ、(1)以外の媒体でサーボ領域に逆磁区が無いことを確認した。(1)の媒体についてはサーボ領域に逆磁区が発生していることが確認された。また、データ領域については、すべての媒体の磁性ドットにおいて、磁区の形成は確認されず単磁区特性を有していた。しかしながら、磁性ドットに対して非同期書き込みを行った後に磁性ドットの単磁区特性を確認したところ、(5)の媒体のみ、一部の磁性ドット内に磁区が形成されていることがわかった。また、5種類の媒体に膜面内方向へ20kOeの磁界を印加した後、データ領域の磁性ドットのMFM観察を行ったところ、(5)の媒体のみ磁性ドット内に磁区が形成されていることが確認された。
さらに、これらの媒体を局部測定可能なカー装置を用いて、サーボ領域およびデータ領域のヒステリシスをそれぞれ測定したところ、サーボ領域の媒体径方向の長さが1μm以上の凸部はHn=1.1〜3kOe程度であった。データ領域はHc=5〜9kOe程度であった。データ領域の磁性ドットについて、ΔHc法を用いてSFD測定したところ、SFD値は8.5%〜16%程度であり、特に(5)の媒体のみSFDが大きかった。サーボ領域の媒体径方向の長さが1μm以上の凸部のHcからHnを引いた値は、(1)から(5)の媒体について、順に0.2kOe、0.5kOe、1.3kOe、1.5kOeおよび2.0kOeであった。
また、図7にサーボ領域におけるHnと微細結晶粒間の距離との関係を示すグラフを示し、図8にデータ領域におけるSFDと微細結晶粒間の距離との関係を示すグラフを示し、図9にデータ領域におけるSFDと、サーボ領域の媒体径方向の長さが1μm以上の凸部におけるHcの値からHnの値を引いた差との関係を示すグラフを示す。
表1および図7から、微細結晶粒間の距離が0.5nm以上(すなわちHn≧1.5kOeおよび0.5kOe≦Hc−Hn)である場合にサーボ領域に逆磁区が発生しないことがわかる。表1および図8から、微細結晶粒間の距離が3nm以下である場合にSFDを12%以下に抑えることができることがわかる。表1および図9から、媒体径方向の長さが1μm以上の凸部におけるHc−Hnの値が1.5kOe以下であれば、SFDを12%以下に抑えることができることがわかる。以上より、微細結晶粒間の距離が0.5nm以上3nm以下であり、媒体径方向の長さが1μm以上の凸部がHn≧1.5kOeおよび0.5kOe≦Hc−Hn≦1.5kOeである媒体において、サーボ領域における逆磁界の防止、データ領域における単磁区特性の向上およびSFDの低減が良好に実現できることがわかる。
また、微細結晶粒の材料として、Co、CoPd、CoCrPt、CoCrPtB、CoRuPtまたはCoCuPtを用いて同様に媒体を製造し、各試験を行った。その結果、CoPtを用いる場合と同等の結果が得られた。
<比較例1>
図10に示されるような従来の磁気記録媒体を製造した。当該媒体は、磁性結晶粒と非磁性材料とから成るグラニュラー膜によってパターン凸部が形成されている。すなわち、図10に示す磁気記録媒体では、磁性ドット4内において複数の微細結晶粒1が存在し、その周囲に非磁性体5が充填されている。
図10に示されるような従来の磁気記録媒体を製造した。当該媒体は、磁性結晶粒と非磁性材料とから成るグラニュラー膜によってパターン凸部が形成されている。すなわち、図10に示す磁気記録媒体では、磁性ドット4内において複数の微細結晶粒1が存在し、その周囲に非磁性体5が充填されている。
具体的には次のように製造した。基板3上に、0.7PaでRuを成膜し、さらに4PaでRuを成膜することで下地層を形成した。その上に、0.7PaにてCoCrPt−SiO2を成膜した。その後、図5に記載される方法と同様に、凹凸パターンを形成した。これにより、微細結晶粒1がSiO2を多く含む酸化物から成る非磁性体5によって孤立化された媒体が得られた。このとき、微細結晶粒1の高さは10nmであり、結晶粒の粒径は10nm程度、粒間の距離は1nmであった。
このビットパターンド媒体を、実施例1と同様の方法で、サーボ領域における逆磁区およびデータ領域における単磁区特性を測定した。その結果、スピンスタンドによる非同期書き込みおよび面内磁界飽和後のMFM観察の双方において、磁性ドット内における磁区の形成が確認された。さらに、局部測定可能なカー測定を行った結果、サーボ領域の媒体径方向の長さが1μm以上の凸部におけるHc−Hnの値は3kOe程度と非常に大きいことがわかった。微細磁性粒子間の交換結合強度が弱いため、粒子間の磁気特性ばらつきの平均化効果が低下し、個々の微細結晶粒の磁気特性の影響が大きくなり、その結果、磁性ドット内での磁区形成が容易になったと考えられる。
以上の結果から、磁性の結晶粒と非磁性材料とから成るグラニュラー膜によってパターン凸部が形成されるビットパターンド媒体では、サーボ領域における逆磁区の防止およびデータ領域における単磁区特性の両立が困難となることがわかった。
<比較例2>
図11に示されるような従来の磁気記録媒体を製造した。当該媒体は、微細結晶粒同士が連続的につながった連続磁性体6によってパターン凸部が形成されている。
図11に示されるような従来の磁気記録媒体を製造した。当該媒体は、微細結晶粒同士が連続的につながった連続磁性体6によってパターン凸部が形成されている。
具体的には、磁気記録層の成膜を0.7Paで行った以外は、図5に記載される方法と同様に行った。これによって、微細結晶粒1の高さは10nmであり、結晶粒の粒径は10nm程度のビットパターンド媒体が得られた。
このビットパターンド媒体を、実施例1と同様の方法で、サーボ領域における逆磁区およびデータ領域における単磁区特性を測定した。その結果、磁性ドットの単磁区特性は良好であるものの、サーボ領域において多数の逆磁区が形成されており、時間の経過とともに磁壁の伝播が生じていることがわかった。なお、サーボ領域の媒体径方向の長さが1μm以上の凸部は、Hn=0.6kOe、Hc−Hn=0.2kOeであった。
以上の結果から、微細結晶粒が連続的につながるビットパターンド媒体は、サーボ領域における逆磁区の防止の観点から好ましくないことがわかった。
<実施例2>
図1に示されるような第1の実施形態に係るビットパターンド媒体を製造した。但し、成膜時のスパッタ圧力およびスパッタ後のアニールを調整することで、微細結晶粒の粒径が異なる4種類の媒体を製造した。微細結晶粒の材料としてはCoPtを使用した。微細結晶粒の高さは10nmとした。磁性ドットの間隔が150nmピッチのスタンパを用いた。1つの磁性ドットに含まれる微細結晶粒の平均個数が3個程度となるように、図5(d)に示される工程において、CF4ガスを用いるRIEによる第2のハードマスク72のエッチング時間を調整した。なお、1つの磁性ドットに含まれる結晶粒の平均数および微細結晶粒の高さは平面TEM像により確認した。ここで、媒体の断面TEMおよび平面TEMにより、結晶粒間の距離および粒径を確認したところ、粒径はそれぞれ(1)5nm、(2)10nm、(3)30nmおよび(4)35nmであり、結晶粒間の距離は全てにおいて約1nm程度であった。
図1に示されるような第1の実施形態に係るビットパターンド媒体を製造した。但し、成膜時のスパッタ圧力およびスパッタ後のアニールを調整することで、微細結晶粒の粒径が異なる4種類の媒体を製造した。微細結晶粒の材料としてはCoPtを使用した。微細結晶粒の高さは10nmとした。磁性ドットの間隔が150nmピッチのスタンパを用いた。1つの磁性ドットに含まれる微細結晶粒の平均個数が3個程度となるように、図5(d)に示される工程において、CF4ガスを用いるRIEによる第2のハードマスク72のエッチング時間を調整した。なお、1つの磁性ドットに含まれる結晶粒の平均数および微細結晶粒の高さは平面TEM像により確認した。ここで、媒体の断面TEMおよび平面TEMにより、結晶粒間の距離および粒径を確認したところ、粒径はそれぞれ(1)5nm、(2)10nm、(3)30nmおよび(4)35nmであり、結晶粒間の距離は全てにおいて約1nm程度であった。
これら4種類の媒体を実施例1と同様の方法で測定した。その結果、(1)、(2)および(3)の媒体について、サーボ領域の媒体径方向の長さが1μm以上の凸部がHn≧1.5kOeおよび0.5kOe≦Hc−Hn≦1.5kOeとなり、サーボ領域において逆磁区が発生しておらず、データ領域が単磁区特性を有することがわかった。さらに、(1)、(2)および(3)の媒体では、データ領域におけるSFDが9−10%程度であった。一方、(4)の媒体では、スピンスタンドによる非同期書き込みおよび面内磁界飽和後のMFM観察の双方において、磁性ドット内における磁区形成が確認され、単磁区特性を得ることができなかった。詳細を表2にまとめる。
<実施例3>
図1に示されるような第1の実施形態に係るビットパターンド媒体を製造した。但し、図5(d)に示される工程においてCF4ガスを用いたRIEによる第2のハードマスク72のエッチング時間を調整することで、1つの磁性ドットに含まれる微細磁性粒の平均個数が異なる3種類のビットパターンド媒体を製造した。使用したスタンパは磁性ドットが100nmピッチとなるものを用いた。微細結晶粒の材料としてCoPtを用いた。断面TEMにより確認したところ、微細結晶粒の高さは10nmであり、微細結晶粒の粒径は10nmであり、結晶粒間の距離は0.5nmであった。さらに、平面TEM像により1つの磁性ドットに含まれる結晶粒の平均数を確認すると、それぞれ(1)2個、(2)3個および(3)5個であった。
図1に示されるような第1の実施形態に係るビットパターンド媒体を製造した。但し、図5(d)に示される工程においてCF4ガスを用いたRIEによる第2のハードマスク72のエッチング時間を調整することで、1つの磁性ドットに含まれる微細磁性粒の平均個数が異なる3種類のビットパターンド媒体を製造した。使用したスタンパは磁性ドットが100nmピッチとなるものを用いた。微細結晶粒の材料としてCoPtを用いた。断面TEMにより確認したところ、微細結晶粒の高さは10nmであり、微細結晶粒の粒径は10nmであり、結晶粒間の距離は0.5nmであった。さらに、平面TEM像により1つの磁性ドットに含まれる結晶粒の平均数を確認すると、それぞれ(1)2個、(2)3個および(3)5個であった。
これら3種類の媒体を実施例1と同様の方法で測定した。全ての媒体で、サーボ領域の媒体径方向の長さが1μm以上の凸部がHn≧1.5kOeおよび0.5kOe≦Hc−Hn≦1.5kOeとなり、サーボ領域の逆磁区防止とデータ領域の単磁区特性が両立していることが確認できた。ヒステリシス曲線を用いたΔHc法によってデータ領域のSFDを求めると、(1)−(3)の媒体について、それぞれ16%、9.4%および8.5%のSFDとなり、(1)の媒体のみ非常に大きかった。これは、磁性ドット内の微細結晶粒の数が減り、交換結合による結晶粒毎の磁気特性ばらつきの平均化効果が低下したことに起因すると考えられる。詳細を表3にまとめる。また、図12にデータ領域におけるSFDと1ドット内の微細結晶粒の平均数との関係を示す。
1つの磁性ドットに含まれる微細磁性粒の平均数が3個以上である場合、サーボ領域における逆磁区の防止、データ領域における単磁区特性の向上およびSFDの低減が特に良好であることがわかった。
<実施例4>
図1に示されるような第1の実施形態に係るビットパターンド媒体を製造した。但し、磁性膜成膜時のスパッタ時間を調整することで、微細結晶粒の高さが異なる4種類のビットパターンド媒体を製造した。断面TEMにより確認したところ、微細結晶粒の高さは、それぞれ(1)2nm、(2)10nm、(3)15nmおよび(4)20nmであった。また、微細結晶粒径および結晶粒間の距離も媒体の断面TEMおよび平面TEMにより確認し、それぞれ10nmおよび1.0nmであった。なお、作製したビットパターンド媒体のパターン凹凸は微細結晶粒の高さと同等であり、埋め込み平坦化等は行っていない。
図1に示されるような第1の実施形態に係るビットパターンド媒体を製造した。但し、磁性膜成膜時のスパッタ時間を調整することで、微細結晶粒の高さが異なる4種類のビットパターンド媒体を製造した。断面TEMにより確認したところ、微細結晶粒の高さは、それぞれ(1)2nm、(2)10nm、(3)15nmおよび(4)20nmであった。また、微細結晶粒径および結晶粒間の距離も媒体の断面TEMおよび平面TEMにより確認し、それぞれ10nmおよび1.0nmであった。なお、作製したビットパターンド媒体のパターン凹凸は微細結晶粒の高さと同等であり、埋め込み平坦化等は行っていない。
これら4種類の媒体を実施例1と同様の方法で測定した。その結果、媒体径方向の長さが1μm以上の凸部がHn≧1.5kOeおよび0.5kOe≦Hc−Hn≦1.5kOeであり、サーボ領域で逆磁区が発生しておらず、データ領域において良好な単磁区特性が確認された。また、データ領域におけるSFDは、全ての媒体において10%程度であった。なお、(4)の媒体については、パターン凹凸の影響でヘッドの浮上特性が悪化するため、スピンスタンド評価による実験は15000rpmの回転数で行った。さらに、(4)の媒体については、スピンスタンドの回転数をHDDの回転数と同程度の7200rpmにしたところ、ヘッドの浮上を確認することができなかった。以上の結果を表4にまとめる。
以上より、作製した4種のビットパターンド媒体は、サーボ領域の逆磁区防止、データ領域の単磁区特性およびSFDの低減効果に関して良好な結果を得られたものの、ヘッドの浮上性という観点から、(1)−(3)の媒体がより好ましいことがわかった。すなわち、微細結晶粒の高さが2nm以上15nm以下であることがより好ましいことがわかった。
<実施例5>
図3に示されるような第2の実施形態に係るビットパターンド媒体を製造した。すなわち、微細結晶粒1上に第2の磁性体7が積層されており、凸部内における第2の磁性体7間の平均距離が、凸部内における微細結晶粒1間の平均距離よりも短い媒体を作製した。第2の磁性体7の材料としてはArガス圧1.0Paで成膜したCoPt3nmとした。その他のパターン形成方法は図5の媒体作製方法と同様である。
図3に示されるような第2の実施形態に係るビットパターンド媒体を製造した。すなわち、微細結晶粒1上に第2の磁性体7が積層されており、凸部内における第2の磁性体7間の平均距離が、凸部内における微細結晶粒1間の平均距離よりも短い媒体を作製した。第2の磁性体7の材料としてはArガス圧1.0Paで成膜したCoPt3nmとした。その他のパターン形成方法は図5の媒体作製方法と同様である。
なお、微細結晶粒1の材料はCoPtを使用した。これによって得られた媒体の断面TEMから、第2の磁性体7間の距離が1.0nmであり、微細結晶粒1の高さは10nm、粒径は10nmおよび粒間距離は2.5nmであることがわかった。微細結晶粒1におけるこの条件は、実施例1において、サーボ領域の逆磁区防止およびデータ領域の単磁区特性について良好な結果が得られた条件の範囲内である。
この媒体を実施例1と同様の方法で測定した。その結果、媒体径方向の長さが1μm以上の凸部がHn=1.5kOeおよびHc−Hn=1.0kOeとなり、サーボ領域において逆磁区は確認されなかった。さらに、データ領域において、単磁区特性は良好であり、SFDは8.5%という良好な値が得られた。詳細を表5にまとめる。
以上より、第2の実施形態に係るビットパターンド媒体が、サーボ領域における逆磁区の防止、データ領域における単磁区特性の向上およびSFDの低減について良好であることがわかった。
<実施例6>
図4に示されるような第3の実施形態に係るビットパターンド媒体を製造した。すなわち、微細結晶粒1を第3の磁性体8が覆ったビットパタード媒体を製造した。第3の磁性体8は、CoZrTaを材料として、Arガス圧を0.7Paで、3nmで成膜した。その他のパターン形成方法は図5の媒体作製方法と同様である。なお、微細結晶粒1の材料はCoPtを使用した。これによって得られた媒体の断面TEMから、微細結晶粒1の高さは10nm、粒径は10nmおよび粒間距離は2.5nmであることがわかった。微細結晶粒1におけるこの条件は、実施例1において、サーボ領域の逆磁区防止およびデータ領域の単磁区特性について良好な結果が得られた条件の範囲内である。
図4に示されるような第3の実施形態に係るビットパターンド媒体を製造した。すなわち、微細結晶粒1を第3の磁性体8が覆ったビットパタード媒体を製造した。第3の磁性体8は、CoZrTaを材料として、Arガス圧を0.7Paで、3nmで成膜した。その他のパターン形成方法は図5の媒体作製方法と同様である。なお、微細結晶粒1の材料はCoPtを使用した。これによって得られた媒体の断面TEMから、微細結晶粒1の高さは10nm、粒径は10nmおよび粒間距離は2.5nmであることがわかった。微細結晶粒1におけるこの条件は、実施例1において、サーボ領域の逆磁区防止およびデータ領域の単磁区特性について良好な結果が得られた条件の範囲内である。
この媒体を実施例1と同様の方法で測定した。その結果、媒体径方向の長さが1μm以上の凸部がHn=1.5kOeおよびHc−Hn=0.8kOeとなり、サーボ領域において逆磁区は確認されなかった。さらに、データ領域において、単磁区特性は良好であり、SFDは8.0%という良好な値が得られた。詳細を表6にまとめる。
以上より、第3の実施形態に係るビットパターンド媒体が、サーボ領域における逆磁区の防止、データ領域における単磁区特性の向上およびSFDの低減について良好であることがわかった。
<実施例7>
図4に示されるような第3の実施形態に係るビットパターンド媒体を製造した。すなわち、微細結晶粒1を第3の磁性体8で覆ったビットパタード媒体を製造した。
図4に示されるような第3の実施形態に係るビットパターンド媒体を製造した。すなわち、微細結晶粒1を第3の磁性体8で覆ったビットパタード媒体を製造した。
実施例6と同様に製造した。但し、第3の磁性体8の材料として、CoZrTaではなく、CoPtを用いた。得られた媒体における、微細結晶粒1の条件は実施例6と同様となった。
この媒体を実施例1と同様の方法で測定した。その結果、媒体径方向の長さが1μm以上の凸部がHn=1.6kOeおよびHc−Hn=0.3kOeとなり、サーボ領域において逆磁区は確認されなかった。さらに、データ領域において、単磁区特性は良好であり、SFDは8.5%という良好な値が得られた。詳細を表7にまとめる。
以上より、第3の実施形態に係るビットパターンド媒体であって、微細結晶粒1と第3の磁性体8の材料が同一の媒体が、サーボ領域における逆磁区の防止、データ領域における単磁区特性の向上およびSFDの低減について良好であることがわかった。
以上の実施形態および実施例によれば、サーボ領域における逆磁区の発生が防止され、データ領域におけるSFDが低減されおよび単磁区特性が向上したビットパターンド媒体及びこれを用いた磁気記録再生装置を提供することができる。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
1…微細結晶粒、2…下地層、3…基板、4…磁性ドット、5…非磁性体、6…連続磁性体、7…第2の磁性体、8…第3の磁性体、71…第1のハードマスク、72…第2のハードマスク、73…レジスト、74…スタンパ、75…保護膜、100…ビットパターンド媒体、110…サーボ領域、111…プリアンブル部、112…アドレス部、113…バースト部、120…データ領域、121…磁性ドット、130…ヘッドスライダー、140…スピンドルモータ、150…磁気記録再生装置、154…サスペンション、155…アクチュエータアーム、156…ボイスコイルモータ、157…ピボット。
Claims (9)
- 凸部および凹部から成るパターンが形成された磁気記録層を含み、
1つの前記凸部が複数の微細結晶粒から成り、
前記凸部内における前記微細結晶粒間の平均距離が0.5nm以上3.0nm以下の範囲であり、
媒体径方向の長さが1μm以上の凸部のヒステリシス曲線における磁化反転開始磁界(Hn)および保磁力(Hc)が次式
Hn≧1.5kOe、および
0.5kOe≦Hc−Hn≦1.5kOe
を満たすビットパターンド媒体。 - データ領域における前記凸部に含まれる前記微細結晶粒の平均数が3個以上である請求項1に記載のビットパターンド媒体。
- 前記微細結晶粒の高さが2nm以上15nm以下である請求項1に記載のビットパターンド媒体。
- 前記微細結晶粒の平均粒径が30nm以下である請求項1に記載のビットパターンド媒体。
- 前記微細結晶粒の材料がCo、CoPt、CoPd、CoCrPt、CoCrPtB、CoRuPtおよびCoCuPtから成る群から選択される請求項1に記載のビットパターンド媒体。
- 前記微細結晶粒の材料がCoPtである請求項5に記載のビットパターンド媒体。
- 前記微細結晶粒上に第2の磁性体が積層されており、
前記凸部内における前記第2の磁性体間の平均距離は、前記凸部内における前記微細結晶粒間の平均距離よりも短い
請求項1に記載のビットパターンド媒体。 - 前記微細結晶粒を第3の磁性体が覆う請求項1に記載のビットパターンド媒体。
- 請求項1に記載のビットパターンド媒体を搭載した磁気記録再生装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010166291A JP4929384B2 (ja) | 2010-07-23 | 2010-07-23 | 磁気記録媒体 |
US13/175,358 US8748017B2 (en) | 2010-07-23 | 2011-07-01 | Magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010166291A JP4929384B2 (ja) | 2010-07-23 | 2010-07-23 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012027985A JP2012027985A (ja) | 2012-02-09 |
JP4929384B2 true JP4929384B2 (ja) | 2012-05-09 |
Family
ID=45493422
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010166291A Expired - Fee Related JP4929384B2 (ja) | 2010-07-23 | 2010-07-23 | 磁気記録媒体 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8748017B2 (ja) |
JP (1) | JP4929384B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9251831B2 (en) * | 2012-07-20 | 2016-02-02 | Marvell International Ltd. | Recording medium and method of forming the same |
US11948614B2 (en) | 2022-02-21 | 2024-04-02 | Seagate Technology Llc | Methods of manufacturing at least a portion of a magnetic layer of a magnetic recording disk, and related magnetic recording disks |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20050157597A1 (en) * | 2003-05-29 | 2005-07-21 | Seagate Technology Llc | Optimized media grain packing fraction for bit patterned magnetic recording media |
JP4032050B2 (ja) | 2004-10-20 | 2008-01-16 | 株式会社東芝 | 磁気記録媒体およびその製造方法 |
WO2006049259A1 (ja) * | 2004-11-04 | 2006-05-11 | Japan Science And Technology Agency | パターンド磁気記録媒体の設計方法およびパターンド磁気記録媒体 |
US8241766B2 (en) | 2006-01-20 | 2012-08-14 | Seagate Technology Llc | Laminated exchange coupling adhesion (LECA) media for heat assisted magnetic recording |
JP2008103031A (ja) * | 2006-10-19 | 2008-05-01 | Hitachi Maxell Ltd | 磁気記録媒体 |
JP4508183B2 (ja) | 2006-11-15 | 2010-07-21 | Tdk株式会社 | ドット結合型パターン磁気記録媒体 |
JP4292226B1 (ja) | 2007-12-20 | 2009-07-08 | 株式会社東芝 | 垂直磁気記録媒体、及びこれを用いた磁気記録再生装置 |
JP2009187608A (ja) | 2008-02-05 | 2009-08-20 | Toshiba Corp | 垂直磁気記録パターンド媒体および磁気記録再生装置 |
JP5186345B2 (ja) * | 2008-12-01 | 2013-04-17 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体の製造方法 |
JP2010157281A (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-15 | Fujitsu Ltd | 磁気記録媒体、磁気記録装置、および磁気記録媒体製造方法 |
JP5518449B2 (ja) * | 2009-12-02 | 2014-06-11 | エイチジーエスティーネザーランドビーブイ | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
-
2010
- 2010-07-23 JP JP2010166291A patent/JP4929384B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-07-01 US US13/175,358 patent/US8748017B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012027985A (ja) | 2012-02-09 |
US20120019960A1 (en) | 2012-01-26 |
US8748017B2 (en) | 2014-06-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4469774B2 (ja) | 磁気記録媒体および磁気記録装置 | |
JP4489132B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JP4551957B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JP4575499B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JP4309944B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JP4575498B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
US20070026265A1 (en) | Patterned substrate having patterns of protrusions and recesses, method of manufacturing the same, magnetic recording media, and magnetic recording apparatus | |
JP4937371B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JP2008282512A (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 | |
JP4568367B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JP2009301655A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JP4686623B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JP4382843B2 (ja) | 磁気記録媒体およびその製造方法 | |
JP4922441B2 (ja) | 磁気記録媒体およびその製造方法 | |
JP4929384B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
JP4468439B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JP5701784B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体、その製造方法、及び磁気記録再生装置 | |
JP4595025B2 (ja) | 磁気記録装置 | |
JP2009009653A (ja) | 磁気記録媒体、その製造方法および磁気記録装置 | |
JP5444447B2 (ja) | 磁気記録媒体、その製造方法、及び磁気記録再生装置 | |
JP4358068B2 (ja) | 磁気記録媒体、及びこれを用いた磁気記録再生装置 | |
JP4538090B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JP4630850B2 (ja) | パターンド磁気記録媒体およびその製造方法 | |
JP4550776B2 (ja) | パターンド磁気記録媒体および磁気記録装置 | |
JP5044714B2 (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120117 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120213 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150217 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150217 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |