JPH0896340A - 磁気記録媒体およびその製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体およびその製造方法Info
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- JPH0896340A JPH0896340A JP22832494A JP22832494A JPH0896340A JP H0896340 A JPH0896340 A JP H0896340A JP 22832494 A JP22832494 A JP 22832494A JP 22832494 A JP22832494 A JP 22832494A JP H0896340 A JPH0896340 A JP H0896340A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 近年の高密度記録化に十分対応することので
きる程度に高い保磁力を有し、しかも高耐食性および低
ノイズ性をも兼ね備えた磁気記録媒体、およびその様な
磁気記録媒体を製造するための有用な方法を提供する。 【構成】 非磁性材料からなる基板上に、非磁性金属下
地層を介してＣｏ合金磁性膜が形成された磁気記録媒体
において、磁性膜上には、Ａｌ，Ａｇ，Ｚｎ，Ｓｎ，Ｃ
ｕ，ＡｕおよびＰｂよりなる群から選ばれる１種以上の
元素によって構成される非磁性層が形成されると共に、
前記磁性膜の結晶粒界に、前記非磁性層を構成する元素
からなる粒界相が形成されたものである。
きる程度に高い保磁力を有し、しかも高耐食性および低
ノイズ性をも兼ね備えた磁気記録媒体、およびその様な
磁気記録媒体を製造するための有用な方法を提供する。 【構成】 非磁性材料からなる基板上に、非磁性金属下
地層を介してＣｏ合金磁性膜が形成された磁気記録媒体
において、磁性膜上には、Ａｌ，Ａｇ，Ｚｎ，Ｓｎ，Ｃ
ｕ，ＡｕおよびＰｂよりなる群から選ばれる１種以上の
元素によって構成される非磁性層が形成されると共に、
前記磁性膜の結晶粒界に、前記非磁性層を構成する元素
からなる粒界相が形成されたものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、コンピューターやデー
タプロセッサ等における各種磁気記録装置用として有用
な強磁性金属薄膜型磁気記録媒体およびその製造方法等
に関するものであり、殊に高保磁力、高耐食性および低
ノイズ特性を兼ね備えた新しい磁気記録媒体、およびそ
のような磁気記録媒体を製造するための方法に関するも
のである。
タプロセッサ等における各種磁気記録装置用として有用
な強磁性金属薄膜型磁気記録媒体およびその製造方法等
に関するものであり、殊に高保磁力、高耐食性および低
ノイズ特性を兼ね備えた新しい磁気記録媒体、およびそ
のような磁気記録媒体を製造するための方法に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】磁気記録装置における磁気記録媒体とし
ては、従来から有機樹脂結合剤と強磁性酸化物粉末を非
磁性基板上に塗布して磁性膜を形成したいわゆる塗布型
磁気記録媒体が使用されてきた。しかしながら、近年で
は磁気記録媒体の高密度記録化への要求から、スパッタ
リング等の薄膜形成法による強磁性金属薄膜を磁性膜と
する強磁性金属薄膜型磁気記録媒体へと変りつつある。
そしてこの強磁性金属薄膜の組成は、磁気的性質、記録
再生特性および耐候性（耐食性）等を総合的に評価して
決定されている。こうした観点から、上記強磁性金属薄
膜としては、Ｃｏ−Ｃｒ系，Ｃｏ−Ｎｉ系，Ｃｏ−Ｎｉ
−Ｃｒ系，或はＣｏ−Ｃｒ−Ｔａ系合金（但し、Ｃｏ−
１２Ｃｒ−２Ｔａに代表される低Ｔａ含有合金）が一般
的に使用され、またＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ系合金も提案され
ている。尚強磁性金属薄膜を磁性膜とする場合は、磁性
膜の配向性制御や基板との密着性向上という観点から基
板上に非磁性金属下地層が形成されると共に、磁性膜保
護、耐候性や耐摩耗性の向上という観点から磁性膜の表
面にＣ（カーボン）等の保護潤滑膜が形成されるのが一
般的である。
ては、従来から有機樹脂結合剤と強磁性酸化物粉末を非
磁性基板上に塗布して磁性膜を形成したいわゆる塗布型
磁気記録媒体が使用されてきた。しかしながら、近年で
は磁気記録媒体の高密度記録化への要求から、スパッタ
リング等の薄膜形成法による強磁性金属薄膜を磁性膜と
する強磁性金属薄膜型磁気記録媒体へと変りつつある。
そしてこの強磁性金属薄膜の組成は、磁気的性質、記録
再生特性および耐候性（耐食性）等を総合的に評価して
決定されている。こうした観点から、上記強磁性金属薄
膜としては、Ｃｏ−Ｃｒ系，Ｃｏ−Ｎｉ系，Ｃｏ−Ｎｉ
−Ｃｒ系，或はＣｏ−Ｃｒ−Ｔａ系合金（但し、Ｃｏ−
１２Ｃｒ−２Ｔａに代表される低Ｔａ含有合金）が一般
的に使用され、またＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ系合金も提案され
ている。尚強磁性金属薄膜を磁性膜とする場合は、磁性
膜の配向性制御や基板との密着性向上という観点から基
板上に非磁性金属下地層が形成されると共に、磁性膜保
護、耐候性や耐摩耗性の向上という観点から磁性膜の表
面にＣ（カーボン）等の保護潤滑膜が形成されるのが一
般的である。
【０００３】このような強磁性金属薄膜型磁気記録媒体
では、高い保磁力が得られることから塗布型磁気記録媒
体に優る高密度の記録が可能ではある。しかしながら、
記録の高密度化に対応した線記録密度の増加に伴って、
再生時の出力信号が低下し、その分だけノイズ特性の指
標であるＳ／Ｎ比が低下するといった欠点が生じること
になる。
では、高い保磁力が得られることから塗布型磁気記録媒
体に優る高密度の記録が可能ではある。しかしながら、
記録の高密度化に対応した線記録密度の増加に伴って、
再生時の出力信号が低下し、その分だけノイズ特性の指
標であるＳ／Ｎ比が低下するといった欠点が生じること
になる。
【０００４】一般に薄膜磁気記録媒体では、結晶粒間の
磁気的相互作用によって数百個の結晶粒が磁気的なクラ
スターを形成し、そのクラスターが磁化反転の単位とな
って、記録ビット間の磁化遷移領域に不規則なジグザグ
遷移を生じ、媒体ノイズの主な原因となることが知られ
ている。従って、媒体ノイズ低減のためには、結晶粒間
の磁気的相互作用を断ち切り、個々の結晶粒を磁気的に
分離させることが有効であると言われている。即ち媒体
ノイズ低減は、従来の塗布型磁気記録媒体のように、強
磁性結晶粒間に非磁性相を介在させて結晶粒間の磁気的
相互作用を断ち切ることによって達成できると言われて
いる。この様な観点から、強磁性金属薄膜を構成するＣ
ｏ合金の組成や成膜プロセスの検討が行なわれている。
磁気的相互作用によって数百個の結晶粒が磁気的なクラ
スターを形成し、そのクラスターが磁化反転の単位とな
って、記録ビット間の磁化遷移領域に不規則なジグザグ
遷移を生じ、媒体ノイズの主な原因となることが知られ
ている。従って、媒体ノイズ低減のためには、結晶粒間
の磁気的相互作用を断ち切り、個々の結晶粒を磁気的に
分離させることが有効であると言われている。即ち媒体
ノイズ低減は、従来の塗布型磁気記録媒体のように、強
磁性結晶粒間に非磁性相を介在させて結晶粒間の磁気的
相互作用を断ち切ることによって達成できると言われて
いる。この様な観点から、強磁性金属薄膜を構成するＣ
ｏ合金の組成や成膜プロセスの検討が行なわれている。
【０００５】例えばＣｏ−Ｃｒ系合金では、Ｃｒが粒界
に偏析する構造をとることが知られており、このためＣ
ｒ量の増加に伴って結晶粒間の磁気的相互作用が低減す
ることが知られている。しかしながら、Ｃｒはその一方
でＣｏに固溶し、Ｃｏの磁気モーメントを減少させるの
で、Ｃｒ量を増加することは却って飽和磁束密度の低下
を招くことになるという欠点がある。
に偏析する構造をとることが知られており、このためＣ
ｒ量の増加に伴って結晶粒間の磁気的相互作用が低減す
ることが知られている。しかしながら、Ｃｒはその一方
でＣｏに固溶し、Ｃｏの磁気モーメントを減少させるの
で、Ｃｒ量を増加することは却って飽和磁束密度の低下
を招くことになるという欠点がある。
【０００６】強磁性金属薄膜型磁気記録媒体の特性を改
善するという観点から、下記の様な各種技術も提案され
ているが、いずれも若干の問題が指摘されている。例え
ば特開昭６３−９８８２４号には、成膜時に酸素または
酸素プラズマを混入して柱状結晶粒界面に酸化相を形成
し、結晶粒を分離した構造を有する磁気記録媒体が示さ
れている。しかしながら、この技術においては、酸素原
子が磁性相内に混入することが避けられず、磁性相中に
酸素原子が混入すると磁性膜の結晶配向性が低下し、保
磁力をかなり低減する結果を招くことが十分予想され
る。
善するという観点から、下記の様な各種技術も提案され
ているが、いずれも若干の問題が指摘されている。例え
ば特開昭６３−９８８２４号には、成膜時に酸素または
酸素プラズマを混入して柱状結晶粒界面に酸化相を形成
し、結晶粒を分離した構造を有する磁気記録媒体が示さ
れている。しかしながら、この技術においては、酸素原
子が磁性相内に混入することが避けられず、磁性相中に
酸素原子が混入すると磁性膜の結晶配向性が低下し、保
磁力をかなり低減する結果を招くことが十分予想され
る。
【０００７】また「M.Sato et al; IEEE Trans.Magn.(2
9),6,(1993),3685」（熱処理メディアに関する文献、株
式会社神戸製鋼所）には、磁気記録媒体を熱処理するこ
とによって、下地Ｃｒ層からのＣｒの拡散を促進し、非
磁性粒界相を形成する方法が提案されている。しかしな
がらこの方法では、Ｃｒの拡散が促進される高温（例え
ば５００℃を超える温度）では、Ｃｒが磁性相粒内にも
拡散してしまい、飽和磁束密度が大きく減少するという
問題は解消できない。尚この技術においては、下地Ｃｒ
層はＣｏ合金磁性相の結晶配向の制御をも目的として形
成されているので、下地層の材料をＣｒ以外の元素にす
ることはその効果を得られなくなることを意味する。
9),6,(1993),3685」（熱処理メディアに関する文献、株
式会社神戸製鋼所）には、磁気記録媒体を熱処理するこ
とによって、下地Ｃｒ層からのＣｒの拡散を促進し、非
磁性粒界相を形成する方法が提案されている。しかしな
がらこの方法では、Ｃｒの拡散が促進される高温（例え
ば５００℃を超える温度）では、Ｃｒが磁性相粒内にも
拡散してしまい、飽和磁束密度が大きく減少するという
問題は解消できない。尚この技術においては、下地Ｃｒ
層はＣｏ合金磁性相の結晶配向の制御をも目的として形
成されているので、下地層の材料をＣｒ以外の元素にす
ることはその効果を得られなくなることを意味する。
【０００８】更に、特開平３−６３９１９号には、磁性
膜の個々の結晶粒が粒間の相互に連結した間隙領域で実
質的に隔離され、結晶粒間の磁気的相互作用を減少させ
た磁気記録媒体が開示されている。しかしながら、この
ような構造では耐食性が劣化するであろうことが容易に
想像できる。
膜の個々の結晶粒が粒間の相互に連結した間隙領域で実
質的に隔離され、結晶粒間の磁気的相互作用を減少させ
た磁気記録媒体が開示されている。しかしながら、この
ような構造では耐食性が劣化するであろうことが容易に
想像できる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】本発明はこうした情況
の下になされたものであって、その目的は、近年の高密
度記録化に十分対応することのできる程度に高い保磁力
を有し、しかも高耐食性および低ノイズ特性をも兼ね備
えた磁気記録媒体、およびその様な磁気記録媒体を製造
するための有用な方法を提供することにある。
の下になされたものであって、その目的は、近年の高密
度記録化に十分対応することのできる程度に高い保磁力
を有し、しかも高耐食性および低ノイズ特性をも兼ね備
えた磁気記録媒体、およびその様な磁気記録媒体を製造
するための有用な方法を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成し得た本
発明とは、非磁性材料からなる基板上に、非磁性金属下
地層を介してＣｏ合金磁性膜が形成された磁気記録媒体
において、前記磁性膜上には、Ａｌ，Ａｇ，Ｚｎ，Ｓ
ｎ，Ｃｕ，ＡｕおよびＰｂよりなる群から選ばれる１種
以上の元素によって構成される非磁性層が形成されると
共に、前記磁性膜の結晶粒界に、前記非磁性層を構成す
る元素からなる粒界相が形成されたものである点に要旨
を有する磁気記録媒体である。また本発明は、非磁性金
属下地層がＣｒまたはＣｒ合金であるときに、その効果
が最大限に発揮される。
発明とは、非磁性材料からなる基板上に、非磁性金属下
地層を介してＣｏ合金磁性膜が形成された磁気記録媒体
において、前記磁性膜上には、Ａｌ，Ａｇ，Ｚｎ，Ｓ
ｎ，Ｃｕ，ＡｕおよびＰｂよりなる群から選ばれる１種
以上の元素によって構成される非磁性層が形成されると
共に、前記磁性膜の結晶粒界に、前記非磁性層を構成す
る元素からなる粒界相が形成されたものである点に要旨
を有する磁気記録媒体である。また本発明は、非磁性金
属下地層がＣｒまたはＣｒ合金であるときに、その効果
が最大限に発揮される。
【００１１】また上記の様な磁気記録媒体を製造するに
当たっては、磁性膜上に、Ａｌ，Ａｇ，Ｚｎ，Ｓｎ，Ｃ
ｕ，ＡｕおよびＰｂよりなる群から選ばれる１種以上の
元素によって構成される非磁性層を形成した後、該非磁
性層を５００℃以下の温度で熱処理することによって、
前記磁性膜の結晶粒界に、前記非磁性層を構成する元素
からなる粒界相を形成する様にすれば良い。
当たっては、磁性膜上に、Ａｌ，Ａｇ，Ｚｎ，Ｓｎ，Ｃ
ｕ，ＡｕおよびＰｂよりなる群から選ばれる１種以上の
元素によって構成される非磁性層を形成した後、該非磁
性層を５００℃以下の温度で熱処理することによって、
前記磁性膜の結晶粒界に、前記非磁性層を構成する元素
からなる粒界相を形成する様にすれば良い。
【００１２】
【作用】本発明者らは、高性能な磁気記録媒体を実現す
べく、様々な角度から検討を重ねた。その結果、磁性膜
上に、Ａｌ，Ａｇ，Ｚｎ，Ｓｎ，Ｃｕ，ＡｕおよびＰｂ
よりなる群から選ばれる１種以上の元素によって構成さ
れる非磁性層を形成した後、該非磁性層を５００℃以下
の温度で熱処理してやれば、前記磁性膜の結晶粒界に、
前記非磁性層を構成する元素からなる粒界相が形成さ
れ、この様な粒界相が形成された磁気記録媒体は、希望
する諸特性が得られることを見出し、本発明を完成し
た。
べく、様々な角度から検討を重ねた。その結果、磁性膜
上に、Ａｌ，Ａｇ，Ｚｎ，Ｓｎ，Ｃｕ，ＡｕおよびＰｂ
よりなる群から選ばれる１種以上の元素によって構成さ
れる非磁性層を形成した後、該非磁性層を５００℃以下
の温度で熱処理してやれば、前記磁性膜の結晶粒界に、
前記非磁性層を構成する元素からなる粒界相が形成さ
れ、この様な粒界相が形成された磁気記録媒体は、希望
する諸特性が得られることを見出し、本発明を完成し
た。
【００１３】上記非磁性層を構成する上記元素は、いず
れもその融点が１１００℃であり、Ｃｒ（またはＣｒ合
金）よりも非常に低いので、磁性膜や下地層としてを構
成する元素としてＣｒを含むものであっても、５００℃
以下の温度で熱処理してやれば、Ｃｒよりも速やかに磁
性膜の粒界に拡散し、磁性膜の粒界に非磁性層の粒界層
を形成することができる。即ち、図１は、本発明の磁気
記録媒体の一例を示す断面模式図であり、図中１はＡｌ
基板、２はＣｒ下地層、３はＣｏ合金磁性膜、４はのＡ
ｌ，Ａｇ，Ｚｎ，Ｓｎ，Ｃｕ，Ａｕ，Ｐｂ等の元素によ
って構成される非磁性層、５は結晶粒界を夫々示すもの
であるが、柱状の結晶構造を有するＣｏ合金磁性膜３の
結晶粒界５に、非磁性層４を構成する元素が拡散して粒
界相を形成するのである。
れもその融点が１１００℃であり、Ｃｒ（またはＣｒ合
金）よりも非常に低いので、磁性膜や下地層としてを構
成する元素としてＣｒを含むものであっても、５００℃
以下の温度で熱処理してやれば、Ｃｒよりも速やかに磁
性膜の粒界に拡散し、磁性膜の粒界に非磁性層の粒界層
を形成することができる。即ち、図１は、本発明の磁気
記録媒体の一例を示す断面模式図であり、図中１はＡｌ
基板、２はＣｒ下地層、３はＣｏ合金磁性膜、４はのＡ
ｌ，Ａｇ，Ｚｎ，Ｓｎ，Ｃｕ，Ａｕ，Ｐｂ等の元素によ
って構成される非磁性層、５は結晶粒界を夫々示すもの
であるが、柱状の結晶構造を有するＣｏ合金磁性膜３の
結晶粒界５に、非磁性層４を構成する元素が拡散して粒
界相を形成するのである。
【００１４】尚上記熱処理温度を５００℃以下としたの
は、この温度が５００℃を超えると、非磁性層を構成す
る上記元素以外にもＣｒ等の拡散速度が大きくなり、前
記した様に、飽和磁束密度が大きく減少するという不都
合が顕著になるからである。またこの熱処理温度は、上
記各元素を効果的に拡散させるという観点からして、３
００℃以上であることが好ましい。
は、この温度が５００℃を超えると、非磁性層を構成す
る上記元素以外にもＣｒ等の拡散速度が大きくなり、前
記した様に、飽和磁束密度が大きく減少するという不都
合が顕著になるからである。またこの熱処理温度は、上
記各元素を効果的に拡散させるという観点からして、３
００℃以上であることが好ましい。
【００１５】上記粒界相は、非磁性層４を構成する元素
がＡｌ，Ｓｎ，Ｚｎ等の場合には、Ｃｏとこれらの元素
の金属間化合物を形成し、また非磁性層を構成する元素
がＡｇ，Ｃｕ，Ｐｂの場合には、これらの金属単相から
なるものと考えられる。この様に、上記非磁性層４を形
成する共に、５００℃以下の温度で熱処理して粒界相を
形成することによって、Ｃｏ合金磁性層の磁気的分離度
を高めることができ、高保磁力および低ノイズを達成す
ることができるのである。また前記非磁性層４を構成す
る元素がは、いずれもＣｏ合金への固溶度が０．５原子
％以下であって、ほとんどＣｏに固溶しないので、Ｃｒ
の拡散によって問題となっていた飽和磁束密度の低下は
ほとんど無いという利点もある。
がＡｌ，Ｓｎ，Ｚｎ等の場合には、Ｃｏとこれらの元素
の金属間化合物を形成し、また非磁性層を構成する元素
がＡｇ，Ｃｕ，Ｐｂの場合には、これらの金属単相から
なるものと考えられる。この様に、上記非磁性層４を形
成する共に、５００℃以下の温度で熱処理して粒界相を
形成することによって、Ｃｏ合金磁性層の磁気的分離度
を高めることができ、高保磁力および低ノイズを達成す
ることができるのである。また前記非磁性層４を構成す
る元素がは、いずれもＣｏ合金への固溶度が０．５原子
％以下であって、ほとんどＣｏに固溶しないので、Ｃｒ
の拡散によって問題となっていた飽和磁束密度の低下は
ほとんど無いという利点もある。
【００１６】本発明の磁気記録媒体は、非磁性材料から
なる基板上に、非磁性金属下地層を介してＣｏ合金磁性
膜が形成されたものであるが、本発明はＣｒの拡散を抑
制しつつ粒界相を形成するものであるので、非磁性金属
下地層としてＣｒやＣｒ合金（例えばＶ，Ｔａ，Ｍｏ，
Ｗ，Ｔｉ等を添加したＣｒ合金）を使用したときにその
効果が最大限に発揮される。但し、非磁性金属下地層と
して用いる物質はＣｒやＣｒ合金に限らず、例えばＶ，
Ｔａ，Ｍｏ，Ｗ，Ｔｉ等の非磁性金属を用いても良い。
また本発明の磁気記録媒体は、Ｃｏ合金磁性膜上に形成
される非磁性によって、耐食性も良好なものとなるが、
必要によってその上にＣ（カーボン）等の保護潤滑膜が
形成されても良いのは勿論である。更に、本発明の磁気
記録媒体で用いる基板の材質としては、例えば、Ａｌ合
金（ＮｉＰめっきしたものも含む），Ｓｉ，カーボン，
ガラス等が挙げられる。
なる基板上に、非磁性金属下地層を介してＣｏ合金磁性
膜が形成されたものであるが、本発明はＣｒの拡散を抑
制しつつ粒界相を形成するものであるので、非磁性金属
下地層としてＣｒやＣｒ合金（例えばＶ，Ｔａ，Ｍｏ，
Ｗ，Ｔｉ等を添加したＣｒ合金）を使用したときにその
効果が最大限に発揮される。但し、非磁性金属下地層と
して用いる物質はＣｒやＣｒ合金に限らず、例えばＶ，
Ｔａ，Ｍｏ，Ｗ，Ｔｉ等の非磁性金属を用いても良い。
また本発明の磁気記録媒体は、Ｃｏ合金磁性膜上に形成
される非磁性によって、耐食性も良好なものとなるが、
必要によってその上にＣ（カーボン）等の保護潤滑膜が
形成されても良いのは勿論である。更に、本発明の磁気
記録媒体で用いる基板の材質としては、例えば、Ａｌ合
金（ＮｉＰめっきしたものも含む），Ｓｉ，カーボン，
ガラス等が挙げられる。
【００１７】以下本発明を実施例によって更に詳細に説
明するが、下記実施例は本発明を限定する性質のもので
はなく、前・後記の趣旨に徴して設計変更することはい
ずれも本発明の技術的範囲に含まれるものである。
明するが、下記実施例は本発明を限定する性質のもので
はなく、前・後記の趣旨に徴して設計変更することはい
ずれも本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【００１８】
【実施例】Ａｌ合金基板表面にＮｉＰ合金を無電界メッ
キで成膜した非磁性基板上に、Ｃｒ下地膜およびＣｏ−
１２原子％Ｃｒ合金からなる磁性膜をＤＣマグネトロン
スパッタ法にて成膜した後、Ａｌ，Ｚｎ，Ａｇ，Ｐｂ，
Ｓｎ，Ｃｕ等からなる各種の非磁性層を形成して磁気記
録媒体を得た。このとき、Ｃｒ下地膜：１０００Å，磁
性膜：５００Å，非磁性層：３００Åの夫々の厚さとし
た。またスパッタ条件は、Ａｒガス圧：１ｍＴｏｒｒ，
基板温度：２００℃，基板バイアス電圧：なしとした。
得られた磁気記録媒体について、真空熱処理炉（５×１
０-7Ｔｏｒｒ）にて、２００℃，３００℃，４００℃，
５００℃，６００℃の各温度で１０分間熱処理した。
キで成膜した非磁性基板上に、Ｃｒ下地膜およびＣｏ−
１２原子％Ｃｒ合金からなる磁性膜をＤＣマグネトロン
スパッタ法にて成膜した後、Ａｌ，Ｚｎ，Ａｇ，Ｐｂ，
Ｓｎ，Ｃｕ等からなる各種の非磁性層を形成して磁気記
録媒体を得た。このとき、Ｃｒ下地膜：１０００Å，磁
性膜：５００Å，非磁性層：３００Åの夫々の厚さとし
た。またスパッタ条件は、Ａｒガス圧：１ｍＴｏｒｒ，
基板温度：２００℃，基板バイアス電圧：なしとした。
得られた磁気記録媒体について、真空熱処理炉（５×１
０-7Ｔｏｒｒ）にて、２００℃，３００℃，４００℃，
５００℃，６００℃の各温度で１０分間熱処理した。
【００１９】熱処理後の各磁気記録媒体の特性を、保磁
力Ｈｃ、飽和磁化Ｍｓ、および磁気的分離度を表す指標
であるHp／Hkgrain 等で評価した。このとき、保磁力Ｈ
ｃおよび飽和磁化Ｍｓは、振動試料型磁力計（ＶＳＭ）
を用いて測定した。また磁気的分離度を表す指標である
Hp／Hkgrain は、トルク計を用いて測定した。その結果
を、下記表１に示す。尚表１には、非磁性層を形成しな
い以外は、同様にして作成した磁気記録媒体の特性およ
び熱処理を施す前の特性についても、比較例として示し
た。
力Ｈｃ、飽和磁化Ｍｓ、および磁気的分離度を表す指標
であるHp／Hkgrain 等で評価した。このとき、保磁力Ｈ
ｃおよび飽和磁化Ｍｓは、振動試料型磁力計（ＶＳＭ）
を用いて測定した。また磁気的分離度を表す指標である
Hp／Hkgrain は、トルク計を用いて測定した。その結果
を、下記表１に示す。尚表１には、非磁性層を形成しな
い以外は、同様にして作成した磁気記録媒体の特性およ
び熱処理を施す前の特性についても、比較例として示し
た。
【００２０】
【表１】
【００２１】表１から明らかな様に、本発明で規定する
要件を満足する実施例のものは、保磁力ＨｃおよびHp／
Hkgrain が向上していることが分かる。また飽和磁化Ｍ
ｓもそれほど低下しておらず、Ｃｒの粒界への拡散も抑
制されているものと考えられる。
要件を満足する実施例のものは、保磁力ＨｃおよびHp／
Hkgrain が向上していることが分かる。また飽和磁化Ｍ
ｓもそれほど低下しておらず、Ｃｒの粒界への拡散も抑
制されているものと考えられる。
【００２２】
【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、磁性相
の磁気的分離度が改善され、高い保磁力と耐食性を維持
しつつ、媒体の固有ノイズが低減された磁気記録媒体が
実現できた。
の磁気的分離度が改善され、高い保磁力と耐食性を維持
しつつ、媒体の固有ノイズが低減された磁気記録媒体が
実現できた。
【図１】本発明の磁気記録媒体の一例を示す断面模式図
である。
である。
１ Ａｌ基板 ２ Ｃｒ下地層 ３ Ｃｏ合金磁性膜 ４ 非磁性層 ５ 結晶粒界
Claims (3)
- 【請求項１】 非磁性材料からなる基板上に、非磁性金
属下地層を介してＣｏ合金磁性膜が形成された磁気記録
媒体において、前記磁性膜上には、Ａｌ，Ａｇ，Ｚｎ，
Ｓｎ，Ｃｕ，ＡｕおよびＰｂよりなる群から選ばれる１
種以上の元素によって構成される非磁性層が形成される
と共に、前記磁性膜の結晶粒界に、前記非磁性層を構成
する元素からなる粒界相が形成されたものであることを
特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項２】 非磁性金属下地層がＣｒまたはＣｒ合金
である請求項１に記載の磁気記録媒体。 - 【請求項３】 請求項１または２に記載の磁気記録媒体
を製造するに当たり、非磁性金属下地層、Ｃｏ合金磁性
膜、更にその上に非磁性層を形成した後、該非磁性層を
５００℃以下の温度で熱処理することによって、前記磁
性膜の結晶粒界に、前記非磁性層を構成する元素からな
る粒界相を形成することを特徴とする磁気記録媒体の製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22832494A JPH0896340A (ja) | 1994-09-22 | 1994-09-22 | 磁気記録媒体およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22832494A JPH0896340A (ja) | 1994-09-22 | 1994-09-22 | 磁気記録媒体およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0896340A true JPH0896340A (ja) | 1996-04-12 |
Family
ID=16874671
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22832494A Withdrawn JPH0896340A (ja) | 1994-09-22 | 1994-09-22 | 磁気記録媒体およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0896340A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5759617A (en) * | 1996-05-20 | 1998-06-02 | Fujitsu Limited | Production process for a hard disk magnetic recording medium |
| JP2009199683A (ja) * | 2008-02-22 | 2009-09-03 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
| US8361640B2 (en) | 2008-02-22 | 2013-01-29 | HGST Netherlands B.V. | Magnetic recording medium having ion-implanted parts |
| US8383253B2 (en) | 2008-02-22 | 2013-02-26 | HGST Netherlands B.V. | Magnetic recording medium utilizing a recording layer having more and less concentrated parts of a nonmagnetic element in an in-plane direction and manufacturing method thereof |
-
1994
- 1994-09-22 JP JP22832494A patent/JPH0896340A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5759617A (en) * | 1996-05-20 | 1998-06-02 | Fujitsu Limited | Production process for a hard disk magnetic recording medium |
| JP2009199683A (ja) * | 2008-02-22 | 2009-09-03 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
| US8257845B2 (en) | 2008-02-22 | 2012-09-04 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Magnetic recording medium utilizing a recording layer having more and less concentrated parts of a nonmagnetic element in an in-plane direction and a nonmagnetic layer |
| US8361640B2 (en) | 2008-02-22 | 2013-01-29 | HGST Netherlands B.V. | Magnetic recording medium having ion-implanted parts |
| US8383253B2 (en) | 2008-02-22 | 2013-02-26 | HGST Netherlands B.V. | Magnetic recording medium utilizing a recording layer having more and less concentrated parts of a nonmagnetic element in an in-plane direction and manufacturing method thereof |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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