KR940009260A - 마이크로 렌즈용 감방사선성 수지 조성물 - Google Patents

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아쯔후미 시마다
마사유끼 엔도
노부오 벳쇼
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Abstract

(구성) (a)알킬기 가용성 수지, (b) 1,2-퀴논디아지드 화합물, (c)에폭시기를 분자 내에 2개 이상 함유하는 화합물, (d)멜라민류 및 (e)트리할로메틸트리아진류 또는 오늄염류를 함유하는 마이크로 렌즈용 방사선 감응성 수지 조성물.
(효과) 렌즈 패턴 형성시에 고감도, 고해상도, 고잔막률이라는 우수한 성능을 나타내며, 또한, 마이크로 렌즈를 작성할 때의 가열 조건 의존성이 작고, 더 나아가 얻어진 마이크로 렌즈가 고굴절률이며, 서브 미크론 오더의 내열 변형성, 내용 제성, 투명성, 밑바탕과의 밀착성이 우수하다.

Description

마이크로 렌즈용 감방사선성 수지 조성물
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 레지스트 패턴의 단면 형상의 모식도.

Claims (1)

  1. (a)알칼리 가용성 수지, (b)1,2-퀴논디아지 화합물, (c)에폭시기를 분자내에 2개 이상 함유하는 화합물, (d)일반식(I)
    (식중, R1내지 R6은 동일하거나 상이해도 좋으며, 각각 수소 원자 또는 -CH2OR기를 나타내고, R은 수소 원자 또는 C1내지 C6의 알킬기를 나타낸다)로 나타내는 멜라민류 및 (e)일반식(II)
    (식중, X는 할로겐을 나타내고, A는 CX3또는 하기 일반식
    로 나타내는 기를 나타내고, B,D 및 E는 각각 독립적으로 수소, C1내지 C10의 알킬기, 아릴기 또는 알콕시기, 아릴옥시기, 티오알킬기, 티오아릴기, 할로겐, 시아노기, 니트로기, C1내지 C10알킬기를 갖는 3급 아미노기, 카르복실기, 수산기, C1내지 C10의 케토알킬기 또는 케토아릴기, C1내지 C20의 알콕시카르보닐기 또는 알킬카르보닐옥시기를 나타내고, m은 1 내지 5의 정수를 나타낸다)로 나타내는 트리할로메틸트리아진류 또는 일반식(III)
    (식중, A의 정의는 상기 식과 같으며, Z는 유황 또는 요오드를 나타내고, Y는 BF4, PF6, SbF6, A5F6, P-톨루엔 술포네이트, 트리플루오로메탄술포네이트 또는 트리플루오로아세테이트를 나타내고, n은 2또는 3을 나타낸다)로 나타내는 광산 발생제로서 기능하는 오늄염류를 함유하는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈용 방사선 감응성 수지 조성물.
    ※참고사항:최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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