KR900015071A - 박막자기헤드 제조방법과 그것을 내장한 자기정보 저장장치 - Google Patents

박막자기헤드 제조방법과 그것을 내장한 자기정보 저장장치 Download PDF

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Abstract

내용 없음.

Description

박막자기헤드 제조방법과 그것을 내장한 자기정보 저장장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명의 응용에 따른 자기헤드에서 자기 디스크장치의 투시도,
제4도는 슬라이더상에 형성된 본 발명의 박막자기헤드를 보여주는 투시도,
제6도는 자기헤드의 효과를 보여주는 다이어그램.

Claims (30)

  1. 상기 제1막의 다음에 형성되는 상기 제2막과, 선단부분(12)과 함께 자기 접촉되는 상부극편의 후단부분(15)을 제공하는 제2막과 상기 자기갭에 인접한 상부극편의 선단부분(12)을 제공하는 제1막으로 구성된 최소한 두개의 상기 막으로 형성된 상부극편과, 상기 하부극편위의 상부극편(12,15)과 하부극편(22)과 자기갭(25)을 갖고 자기회로를 제공하는 상기막과 순서대로 형성된 복수개의 박막을 갖는 기판(21)을 구비하여 상기 선단부분(12)의 비자기 보호막(13)이 상기 후단부분(15)전에 상기 선단부분후에 형성되는 것을 특징으로 하는 자기 정보저장매체에서의 기록과 판독을 위한 자기헤드.
  2. 상기 자기 접촉영역에서 상기 선단부분앞의 상기 후단부분과, 상기 막중의 하나에서 형성된 상기 후단부분(15) 및 상기 선단부분(12)과, 상부극편의 상기 종단표면으로 부터 일정거리를 갖는 자기접촉영역(16)에서 상기 선단부분과 함께 자기 접촉하는 후단부분(15)과 거기에서 상기 종단표면을 제공하는 선단부분(12)을 갖는 상기 상부극편과, 기록이나 판독을 위한 자기매체의 패싱(facing) 사용에서 자기갭(25)에 의하여 분리된 각각의 종단표면을 갖는 상부극편(12,15)과 하부극편(22)을 제공하는 상기 박막과 복수개의 박막을 수용한 기판(21)으로 구성되어 종단표면을 갖는 상기선단부분(12)의 상층면위의 비자기보호막(13)이 자기 접촉영역(16)이 최소한 하나의 모서리영역을 한정하고 모서리영역은 상부극편의 상기 종단표면으로 향하는 것을 특징으로 하는 자기정보 저장매체에서의 기록과 판독을 위한 자기헤드.
  3. 제2항에 있어서, 상기 보호막(13)의 종단표면이 그의 모서리에서 에칭되는 것을 특징으로 하는 자기헤드.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 보호막(13)의 상기 종단표면이 상기 보호막에서 홀(16) 주위의 표면의 적어도 일부분이고 상기 자기접촉영역이 상기 홀에 위치하는 것을 특징으로 하는 자기헤드.
  5. 제1항 내지 4항에 있어서, 상기 상부극편의 상기 후단부분이 보호층의 상기 종단표면에 인접한 상기 보호막(13) 부분에 가로놓여 있는 것을 특징으로 하는 자기헤드.
  6. 제1항 내지 5항중의 어느 한항에 있어서, 상기 보호막(13)이 상기 상부극편(12,15)과 상기 하부극편(22) 사이에 놓인 전기전도체(26)을 제공하는 최소한 하나의 상기막 아래에 놓여있는 것을 특징으로 하는 자기헤드.
  7. 제1항 내지 6항중 어느 한항에 있어서, 상기 보호막(13)이 비유기적인 재료인 것을 특징으로 하는 자기헤드.
  8. 제1항 내지 7항중의 어느 한항에 있어서, 상기 보호막(13)의 두께가 0.5∼2㎛인 것을 특징으로 하는 자기헤드.
  9. 제1항 내지 8항중의 어느 한항에 있어서, 상기 상부극편의 상기 후단부분(15)을 제공하는 상기 막의 두께가 선단부분(13)의 두께보다 큰 것을 특징으로 하는 자기헤드.
  10. 제1항 내지 9항중 어느 한항에 있어서, 상기 기판의 평면도에서 보여주는 바와같이 후단부분(15)과 선단부분(12)의 자기 접촉영역(16)의 범위에서 후단부분이 극편의 기록/판독종단표면에 같은 방향인 선단부분보다 넓은 것을 특징으로 하는 자기헤드.
  11. 제1항 내지 10항중 어느 한항에 있어서, 선단부분(12)이 자기헤드에 제공된 자기 저항요소(81)와 함께 자기 접촉하고, 후단부분(15)과 함께 그의 자기접촉영역뒤에 확장되는 것을 특징으로 하는 자기헤드.
  12. 제1항 내지 11항중 어느 한항에 있어서, 후단부분(15)과 선단부분(12)의 자기 접촉영역의 표면면적이 그의 기록/판독 종단면과 상기 자기 접촉영역 사이의 선단부분(12)의 가장 작은 단면적보다 큰 것을 특징으로 하는 자기헤드.
  13. 제1항 내지 12항중 어느 한항에 있어서, 상기 기판의 평면도에서 보여주는 바와 같이 상기 상부극편의 기록/판독 종단표면보다 기록/판독 종단표면과 같은 방향에서 후단부분(15)과 함께 그의 자기 접촉영역보다 넓은 것을 특징으로 하는 자기헤드.
  14. 제1항 내지 13항중 어느 한항에 있어서, 상기 후단부분(15)과 상기 선단부분(12)이 다른 재료로 만들어진 것을 특징으로 하는 자기헤드.
  15. 제1항 내지 14항중 어느 한항에 있어서, 상부 자기 극편(12,15)의 트랙넓이가 10㎛보다 크지 않는 것을 특징으로 하는 자기헤드.
  16. 상기 자기 접촉영역에서 상기 선단부분위에 있는 상기후단부분과, 상기막의 다른 하나로 부터 형성된 상기 후단부분(15) 및 상기 선단부분(12)과, 상부극편의 상기 종단표면으로 부터 일정거리를 갖는 자기접촉영역(16)에서 상기 선단부분과 함께 자기 접촉하는 후단부분(15)과 거기에서 상기 종표면을 제공하는 선단부분(12)을 갖는 상기 상부극편과, 기록/판독을 위한 자기 매체의 패싱(faci ng) 사용에서 자기갭(25)에 의하여 분리된 각각의 종단표면을 갖는 상부극편 (12,15)과 하부극편(22)을 제공하는 상기 박막과, 복수개의 박막을 수용한 기판으로 구성되어 상기 기판의 평면도에서 보여주는 바와같이 상기 후단부분(15)의 상기 자기접촉영역(16)의 범위가 상기 극편의 상기 종단표면과 같은 방향에서 상기 선단부분(12)보다 넓은 것을 특징으로 하는 자기정보 저장매체에서의 기록과 판독을 위한 자기헤드.
  17. 상기 자기 접촉영역에서 상기 선단부분앞에 있는 상기 후단부분과, 상기 막중의 다른 하나로 부터 형성된 상기 후단부분 및 상기 선단부분과, 상기 선단부분과 함께 자기 접촉영역을 갖는 후단부분과 거기에서 상기 종단표면을 제공하는 선단부분(12)을 갖는 상기 상부극편과, 자기갭(25)에 의해 분리되는 기록/판독 종단표면을 갖는 상부극편(12,15)과 하부극편(22)을 제공하는 박막과, 복수개의 박막을 수용하는 기판(21)으로 구성되어 자기저항요소(81)가 상기 자기 접촉영역보다 상기 극편의 상기 종단표면으로 부터 떨어져 위치하고 상기 자기접촉영역으로 부터 확장된 선단부분(12)은 상기 자기저항요소와 함께 자기접촉하는 것을 특징으로 하는 자기정보저장매체에서의 기록과 판독을 위한 자기헤드.
  18. 상기 자기접촉영역에서 상기 선단부분(12)앞에 있는 상기 후단부분(15)과, 상기 막중의 다른 하나로 부터 형성된 상기 후단부분(15) 및 상기 선단부분(12)과, 상기 극편의 상기 종단표면으로 부터 일정거리를 가는 자기접촉 영역(16)에서 상기 선단부분(12)과 함께 자기 접촉하는 후단부분(15)과 거기에서 상기 종단표면을 제공하는 선단부분(12)을 갖는 상기 상부극편과, 자기갭(25)에 의해 분리된 기록/판독 종단표면을 갖는 상부극편(12,15)과 하부극편(22)을 제공하는 상기막과, 복수개의 박막을 수용하는 기판(21)으로 구성되어 상기 자기접촉영역(16)의 표면영역이 상기 상부극편의 상기 종단표면과 상기 자기 접촉영역(16) 사이에서 상기 선단부분(12)의 상기 기판의 수직방향에서 가장 작은 단면적보다 더 크게 하는 것을 특징으로 하는 자기정보 저장 매체에서의 기록/ 판독을 위한 자기헤드.
  19. (a)최소한 하나의 하부극편 박막(22)에 기판(21)을 적용하고, (b)(a)단계후, 최소한 부분적으로 상기하부극편막을 놓여 있는 상기 제1상부극편에서 자기 갭에 인접하여 종단표면을 제공하는 완성된 자기헤드의 선단부분을 갖는 제1상부 극편층을 상기기판에 형성하고, (c)(b)단계후, 자기접촉영역(16)에서 상기 선단부와 함께 자기저촉하기 위하여 제2상부극편막(15)을 증착하고, (d)완료된 자기헤드에서 상기 선단부분종단 표면의 위치와 상기 자기 접촉영역 사이의 영역에서 제2상부극편막을 제거하도록 단계를 구성하여 (c)단계전과 (b)단계후에, 보호막(13)이 상기 자기 접촉영역에서 상기 선단부분(12)의 영향으로 형성되고 상기 보호막(13)이 (d)단계동안 상기 선단부분 앞 위치에서 보존되는 것을 특징으로 하는 자기정보 저장매체에서의 기록/ 판독을 위한 자기헤드.
  20. 제19항에 있어서, 상기 제2상부 극편막이 (d)단계에서 에칭에 의해 상기영역을 제거하는 것을 특징으로 하는 자기헤드 제조방법.
  21. 제19항 또는 20항에 있어서 상기 제1상부극편막이 상기선단부분(12)을 형성하기 위해 상기박막을 부분적으로 제거한후에 박막의 증착에 의하여 형성되는 것을 특징으로하는 자기헤드 제조방법.
  22. 제19항 내지 21항중의 어느 한항에 있어서 상기보호막(13)이 상기 자기 접촉영역의 영향으로 박막을 부분적으로 제거한후 박막의 증착에 의하여 형성되는 것을 특징으로하는 자기헤드 제조방법.
  23. 제19항 내지 22항중 어느 한항에 있어서, 자기(c)e단계전과 상기보호막(13) 형성후, 상기하부극편막(22)과 상기 제2상부극편막(15) 사이에 놓여있는 전기전도체(26)를 제공한 완료된 자기헤드에서 최소한 하나의 전기적인 전도막을 응용하는 단계를 부가하여 이루어진것을 특징으로 하는 자기헤드 제조방법.
  24. 제19항 내지 23항중 어느 한항에 있어서, 상기보호막(13)이 홀(16)을 갖고 형성되고 상기 자기 접촉영역은 상기 홀에 위치하는 것을 특징으로 하는 자기헤드 제조방법.
  25. 제19항 내지 24항중의 어느 한항의 방법에 의하여 제조되거나 혹은 제1항내지 18항중의 어느 한항에 따른 자기헤드를 포함하는 자기정보 기록장치를 위한 헤드 디스크 어셈블리.
  26. 제19항 내지 24항중의 어느 한항의 방법에 의하여 제조되거나 혹은 제1항내지 18항중의 어느 한항에 따른 자기헤드를 포함하는 자기 정보 저장장치.
  27. 제26항에 있어서, 최소한 하나의 하드 디스크에서 자기 정보 매체를 구비한 자기 정보 저장장치.
  28. 제27항에 있어서, 상기 하드 디스크가 최소한 4메가비트/초의 데이터 전송비에서 최소한 30K비트/인치의 선형비트밀도와 상기 하드 디스크로 부터 기록/판독을 위한 상기 자기헤드와 최소한 1800트랙/인치의 트랙밀도와 최소한 54메가비트/스퀘어인치의 기록 밀도를 갖는 것을 특징으로 한 자기 정보 저장 장치.
  29. 제28항에 있어서, 상기 하드 디스크가 9.5인치의 직경이고, 상기 데이타 전송비가 4.5∼6.0메가비트/시간이며, 상기 하드디스크의 회전속도가 4500∼5500rpm인 것을 특징으로 하는 자기 정보 저장장치.
  30. 상기 제1막 다음에 형성된 상기 제2막과, 선단부분(12)과 함께 자기 접촉하는 상부극편의 후단부분(15)을 제공하는 제2막과 상기 자기갭에 인접하여 상부극편의 선단부분(12)을 제공하여 제1막을 구성하는 최소한 두개의 상기막으로 부터 형성된 상부극편과, 상기하부극편 위에 놓여 있는 상부극편(12,15)과, 단차의 저층부에 형성된 하부극편(2)의 후단붑과 단차의 상층부에 형성된 하부극편(22)의 선단부분이 있는 하부극편(22)과, 자기갭(25)을 갖고 자기 회로를 제공하는 상기막과, 순서에 따라 형성된 복수개의 박막이 단계별로 기판을 구성하여 상기 선단부분(12)에서 비자성보호막(13)이 상기후단부분(15)전에, 상기 선단부분후에 상기 순서에 따라 형성되는 것을 특징으로 하는 자기 정보저장매체에서의 기록/판독을 위한 자기헤드.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019900003715A 1989-03-20 1990-03-20 박막자기헤드 제조방법과 그것을 내장한 자기정보 저장장치 KR940009723B1 (ko)

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