KR20110033109A

KR20110033109A - 시트 첩부 장치 및 첩부 방법

Info

Publication number: KR20110033109A
Application number: KR1020107025699A
Authority: KR
Inventors: 칸 나카타
Original assignee: 린텍 가부시키가이샤
Priority date: 2008-06-06
Filing date: 2009-05-22
Publication date: 2011-03-30
Also published as: JP4723614B2; CN102047408A; JP2009295846A; KR101543630B1; US20110061808A1; CN102047408B; WO2009147954A1

Abstract

반도체 웨이퍼(W)를 지지하는 테이블(11)을 수용함과 아울러 내부에 감압실(C)을 형성하는 개폐 가능한 케이스(14)와, 반도체 웨이퍼(W)에 면하는 위치에 접착시트(S)를 공급하는 공급 수단(15)과, 테이블(11)에 마주 대하는 위치에서 상기 케이스(14) 내에 배치된 끼워넣기 수단(29)을 구비하여 시트 첩부 장치(10)가 구성되어 있다. 끼워넣기 수단(29)은, 상기 케이스(14)을 폐색하여 단일의 감압실(C)이 형성된 상태에서, 테이블(11)과 서로 작용하여 반도체 웨이퍼(W)의 외주부만을 접착시트(S)와 함께 끼워넣는다. 그 후, 감압실(C)의 감압을 해제함으로써 접착시트(S)가 반도체 웨이퍼(W)에 첩부된다.

Description

시트 첩부 장치 및 첩부 방법{APPARATUS AND METHOD FOR ATTACHING SHEET}

본 발명은 시트 첩부 장치 및 첩부 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 감압분위기에서 피착체에 접착시트를 첩부할 수 있는 시트 첩부 장치 및 첩부 방법에 관한 것이다.

종래부터, 반도체 웨이퍼(이하, 단지 「웨이퍼」라고 칭함)는 그 회로면이나 이면에 접착시트가 첩부되고, 이면 연삭이나 다이싱 등, 여러 처리가 시행된다.

특허문헌 1에는, 상기 접착시트의 첩부 장치가 개시되어 있다. 이 장치는 웨이퍼를 지지하는 고무 시트의 하면측과, 웨이퍼에 마주 대하여 배치된 다이싱용 시트의 상면측에 공간을 각각 형성하고, 이들 공간을 감압한 후에, 일방의 공간을 대기 개방함으로써 상기 시트를 웨이퍼에 첩부하는 구성이 채용되어 있다.

특허문헌 1: 일본 특개 2005-26377호 공보

(발명의 개시)

(발명이 해결하고자 하는 과제)

그렇지만, 특허문헌 1의 시트 첩부 장치에서는, 상기 고무 시트의 하면측과 상면측에 위치하는 공간의 압력을 동일하게 유지하면서 감압하지 않으면 안 되는 구성이기 때문에, 그 압력 제어가 대단히 복잡하게 된다는 문제가 있다.

또, 웨이퍼는 그 하면측 전체 영역이 고무 시트에 접촉하는 상태에서 지지되는 전체 접촉형으로, 웨이퍼의 하면과 고무 시트 사이에 먼지 등의 이물이 부착되어 있었을 경우에는, 다이싱 시트를 첩부하기 위한 압력이 작용했을 때에, 웨이퍼에 갈라짐 등의 손상을 초래한다.

[발명의 목적]

본 발명은 이러한 문제에 주목하여 안출된 것으로, 그 목적은 복잡한 감압 제어를 하지 않고, 접착시트를 피착체에 첩부할 수 있는 시트 첩부 장치 및 첩부 방법을 제공하는 것에 있다.

또, 본 발명의 다른 목적은 피착체를 지지하는 영역을 한정적으로 설치함으로써, 피착체에 압력이 부여되었을 때에 발생할 수 있는 손상 요인을 효과적으로 배제할 수 있는 시트 첩부 장치 및 첩부 방법을 제공하는 것에 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 피착체를 지지하는 테이블과, 당해 테이블을 수용함과 아울러 내부에 감압실을 형성하는 개폐 가능한 케이스와, 상기 피착체에 면하는 위치에 접착시트를 공급하는 공급 수단을 포함하고, 상기 케이스를 폐색하여 감압실의 압력을 소정 제어하여 접착시트를 피착체에 첩부하는 시트 첩부 장치에 있어서,

상기 테이블에 마주 대하는 위치에서 케이스 내에 배치된 끼워넣기 수단을 더 포함하고, 당해 끼워넣기 수단은, 상기 케이스를 폐색하여 단일의 감압실이 형성된 상태에서, 상기 테이블과 서로 작용하여 피착체의 외주부만을 접착시트와 함께 끼워넣는다고 하는 구성을 채용하고 있다.

본 발명에 있어서, 상기 끼워넣기 수단은, 상기 접착시트와 피착체 사이에, 상기 감압실로부터 독립된 첩부전 공간을 형성하도록 설치되어 있다.

또, 상기 테이블은 상기 피착체의 외주부를 하방에서 지지하는 지지 볼록부를 구비하는 한편, 상기 끼워넣기 수단은 상기 지지 볼록부에 대응함과 아울러 접착시트의 상방으로부터 당해 접착시트를 끼워넣는 끼워넣기 볼록부를 구비한다고 하는 구성을 채용하고 있다.

또, 본 발명은 피착체를 지지하는 테이블과, 당해 테이블을 수용함과 아울러 내부에 감압실을 형성하는 개폐 가능한 케이스와, 상기 피착체에 면하는 위치에 접착시트를 공급하는 공급 수단을 포함하는 시트 첩부 장치를 사용한 시트 첩부 방법에 있어서,

상기 테이블에 판 형상 부재를 지지하는 공정과, 상기 판 형상 부재에 마주 대하는 위치에 접착시트를 공급하는 공정과, 상기 케이스를 폐색하여 감압실을 형성하는 공정과, 상기 감압실을 감압하는 공정과, 상기 테이블과 서로 작용하여 판 형상 부재의 외주부만을 접착시트와 함께 끼워넣는 공정과, 상기 감압실의 감압을 해제하여 접착시트를 판 형상 부재에 첩부하는 공정을 포함하는 수법을 채용하고 있다.

또한 상기 시트 첩부 방법에 있어서, 상기 피착체의 외주부를 하방에서 지지하는 지지 볼록부와, 이 지지 볼록부에 대응함과 아울러 접착시트의 상방으로부터 당해 접착시트를 끼워넣는 끼워넣기 볼록부에 의하여 판 형상 부재의 외주부를 접착시트와 함께 끼워넣는다고 하는 수법을 채용하고 있다.

본 발명에 의하면, 감압실을 감압한 상태에서, 테이블과 끼워넣기 수단에 의하여, 피착체의 외주부만이 접착시트와 함께 끼워넣어지는 구성이기 때문에, 감압실을 대기 개방하도록 압력 제어하는 것만으로 접착시트가 피착체에 첩부되게 된다.

이것에 의해, 복수의 감압실을 설치한 경우에 요구되는 복수의 압력 제어 밸브, 배관 및 압력의 밸런스 조정 등은 일체 불필요하게 되어, 복잡한 구성, 압력 제어 혹은 관리가 불필요하게 된다.

또, 피착체는 외주부만이 테이블에 지지되게 되기 때문에, 피착체와 테이블과의 접촉면적을 적게 할 수 있다. 그 때문에 테이블 위의 이물이 피착체에 눌려지는 것과 같은 일이 없기 때문에, 웨이퍼 등의 취성을 가진 피착체이더라도 손상을 효과적으로 회피할 수 있다.

또한, 감압실을 감압한 상태에서, 테이블과 끼워넣기 수단에 의하여, 피착체와 접착시트 사이에 독립된 첩부전 공간이 형성되도록 구성함으로써, 감압실을 대기개방하도록 압력 제어를 행함으로써, 첩부전 공간이 대기압에 의해 실질적으로 소실되어 접착시트가 피착체에 첩부되게 된다.

또한, 본 명세서에 있어서, 감압이란 진공도 포함하는 개념으로서 사용되고, 또, 「첩부전 공간」이란 피착체와 접착시트를 끼워넣는 힘이 작용하지 않는 영역에 있어서의 피착체와 접착시트 사이에 발생하는 간극에 대하여 사용된다.

도 1은 본 실시형태에 따른 시트 첩부 장치의 일부를 단면한 개략 정면도.
도 2는 도 1의 일부를 생략한 개략 평면도.
도 3은 감압실이 형성된 상태를 나타내는 개략 정면도.
도 4는 끼워넣기 수단이 접착시트와 함께 웨이퍼를 끼운 상태를 나타내는 개략 단면도.
도 5는 웨이퍼와 접착시트 사이에 첩부전 공간이 형성된 상태를 나타내는 확대 단면도.
도 6은 첩부전 공간이 소실되어 접착시트가 웨이퍼에 첩부된 상태를 나타내는 확대 단면도.
도 7은 외주부의 두께가 상대적으로 큰 것을 피착체로 한 변형예를 나타내는 도 5와 같은 단면도.
도 8은 외주부의 두께가 상대적으로 큰 것을 피착체로 한 변형예를 나타내는 도 6과 같은 단면도.

(발명을 실시하기 위한 최선의 형태)

이하, 본 발명의 바람직한 실시형태에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다.

도 1에는 본 실시형태에 따른 시트 첩부 장치의 개략 정면도가 도시되고, 도 2에는 도 1의 일부를 생략한 개략 평면도가 도시되어 있다. 이들 도면에서, 시트 첩부 장치(10)는 피착체로서의 판 형상 부재, 구체적으로는, 대략 원형의 웨이퍼(W)를 지지하는 테이블(11)과, 당해 테이블(11)을 수용함과 아울러, 내부에 감압실(C)을 형성하는 개폐 가능한 케이스(14)와, 당해 케이스(14)를 개방한 상태에서, 웨이퍼(W)의 상면이 되는 피착면에 면하는 위치에 감압접착성의 접착시트(S)를 공급하는 공급 수단(15)을 구비하여 구성되어 있다. 여기에서, 접착시트(S)는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 감압실(C)을 상하로 차단하지 않는 폭 치수의 것이 채용되어, 접착시트(S)를 웨이퍼(W)의 피착면에 면하는 위치에 공급했을 때에, 케이스(14)의 내주 전역을 접착시트(S)가 막아버리지 않고 간극(C1)이 형성되고, 이것에 의해 감압실(C)이 단일 공간으로서 형성되게 되어 있다. 또한, 간극(C1)은 감압실(C)을 복수의 공간으로 차단하지 않기 위한 배관, 관통구멍 등의 통로이어도 된다.

상기 테이블(11)은 웨이퍼(W)의 크기보다도 큰 평면적을 구비하고 있음과 아울러, 그 상면에, 웨이퍼(W)의 하면측 외주부에만 접하여 당해 웨이퍼(W)를 하방에서 지지하는 둥근 고리 형상의 지지 볼록부(11A)를 구비하여 구성되어 있다. 따라서, 테이블(11)이 웨이퍼(W)를 지지한 상태에서는, 웨이퍼(W)의 외주부를 제외한 하면측과 테이블(11)의 상면(11B) 사이에 공간(C2)이 형성되게 된다. 여기에서, 테이블(11)은 그 외주면(11C)과 상면(11B) 사이에 연통구멍(11D)이 형성되고, 공간(C2)이 감압실(C)에 연통하여 당해 감압실(C)의 일부를 구성하게 되어 있다. 또, 테이블(11) 하면측에는 직동 모터(16)의 출력축(17)이 고정되어 있고, 당해 직동 모터(16)의 구동에 의해 테이블(11)이 상하로 이동할 수 있게 설치되어 있다.

상기 케이스(14)는 도 1 중 하부측에 위치하는 제 1 케이스(20)와, 상부측에 위치하는 제 2 케이스(21)로 이루어진다. 제 1 케이스(20)는 직동 모터(16)를 통하여 테이블(11)을 지지하는 바닥부(22)와, 중앙부에 대략 원형의 오목부(23)를 형성하는 기립부(24)로 이루어진다. 제 1 케이스(20)는 기립부(24)에 접속된 배관(25) 및 3방향 전자 밸브(26)에 접속되어 있음과 아울러, 도시하지 않은 승강 수단을 통하여 승강 가능하게 설치되어 있다. 또한, 3방향 전자 밸브(26)는 도시하지 않은 감압 펌프에 접속되는 배관(37)과, 대기 도입을 위한 배관(38)에 접속되고, 감압실(C) 내를 감압하거나, 그 감압을 해제하여 대기압으로 하거나 할 수 있다.

상기 제 2 케이스(21)는 정상부(27)와 수하(垂下)부(28)로 구성되고, 테이블(11)에 마주 대하는 위치에서, 정상부(27)의 하면측에 끼워넣기 수단(29)이 배치되어 있다. 이 끼워넣기 수단(29)은 직동 모터(30)를 통하여 상하로 이동 가능하게 설치된 끼워넣기 플레이트(31)와, 당해 끼워넣기 플레이트(31)의 하면 외주측에 설치된 둥근 고리 형상의 끼워넣기 볼록부(32)를 포함한다. 끼워넣기 볼록부(32)는 지지 볼록부(11A)와 대략 동일 형상으로 되고, 이것에 의해, 끼워넣기 볼록부(32)가 상방으로부터 접착시트(S)를 통하여 웨이퍼(W)의 외주부 상면측만을 눌러서 끼워넣게 되어 있다. 끼워넣기 플레이트(31)의 면 내에는, 관통구멍(31A)이 복수 형성되어 있고, 끼워넣기 수단(29)에 의해 접착시트(S) 및 웨이퍼(W)를 테이블(11)과의 사이에 끼운 상태에서도, 접착시트(S)와 끼워넣기 플레이트(31) 사이에 형성되는 공간(C3)(도 4 참조)은 감압실(C)에 연통하여 당해 감압실(C)의 일부를 구성하게 된다. 또한, 수하부(28)의 하단면에는 O링(33)이 수용되어 있다.

상기 제 2 케이스(21)는 도시하지 않은 이동 수단을 통하여 상하방향으로 이동 가능하게 지지되어 있고, 제 1 케이스(20)측으로 하강하여 수하부(28)의 하단면이 기립부(24)의 상단측에 눌러 덮였을 때에, 제 1 케이스(20)와 서로 작용하여 감압실(C)을 형성한다.

상기 공급 수단(15)은 띠 형상의 접착시트(S)의 접착제층측에 띠 형상의 박리시트(RL)가 가부착된 원재료 시트(R)를 지지하는 로킹 기구를 갖는 지지 롤러(40)와, 박리시트(RL)를 회수하는 권취 수단(41)과, 접착시트(S)를 박리시트(RL)로부터 박리하는 필 플레이트(42)와, 접착시트(S)를 웨이퍼(W)의 피착면 즉 상면에 면하는 위치로 끌어냄과 아울러, 웨이퍼(W)에 첩부된 접착시트(S)의 외주측이 되는 불필요 접착시트(S1)를 권취하는 끌어내기·권취 수단(45)과, 웨이퍼(W)에 첩부된 접착시트(S)를 웨이퍼(W)의 크기에 맞추어 절단하는 도시하지 않은 절단 수단과, 끌어내기·권취 수단(45)을 도 1 중 좌우방향으로 이동 가능하게 지지하는 이동 수단(48)을 구비하여 구성되어 있다. 또한, 절단 수단으로서는 본 출원인에 의해 이미 출원된 일본 특원 2006-115106호에 기재된 다관절형 로봇을 사용할 수 있다.

상기 권취 수단(41)은 프레임(F1)에 지지된 모터(M1)의 구동에 의해 회전하는 구동 롤러(50)와, 이 구동 롤러(50)와의 사이에 박리시트(RL)를 끼워넣는 핀치 롤러(51)와, 모터(M1)에 의해 구동 롤러(50)와 동기 회전하여 박리시트(RL)를 권취하는 박리시트 권취 롤러(44)에 의해 구성되어 있다.

상기 끌어내기·권취 수단(45)은 프레임(F2)에 지지된 모터(M2)의 구동에 의해 회전하는 구동 롤러(53)와, 이 구동 롤러(53)와의 사이에 불필요 접착시트(S1)를 끼워넣는 핀치 롤러(54)와, 모터(M2)에 의해 구동 롤러(53)와 동기 회전하여 불필요 접착시트(S1)를 권취하는 불필요 시트 권취 롤러(47)로 구성되어 있다.

상기 이동 수단(48)은 도 1 중 좌우방향으로 뻗는 단축 로봇(55)에 의해 구성되고, 당해 단축 로봇(55)의 슬라이더(56)에 프레임(F2)이 고정되어 끌어내기·권취 수단(45)이 좌우방향으로 이동 가능하게 되어 있다.

다음에 본 실시형태에 따른 시트 첩부 방법에 대하여 도 3 내지 도 6도 참조하면서 설명한다.

우선, 제 1 및 제 2 케이스(20, 21)가 서로 이간하여 케이스(14)를 개방하고 있는 상태에서, 지지 롤러(40)에 지지된 원재료 시트(R)의 리드단을 소정 길이 끌어내고, 필 플레이트(42)의 선단 위치에서 박리시트(RL)를 접착시트(S)로부터 박리하고, 당해 박리시트(RL)를 박리시트 권취 롤러(44)에 고정한다. 한편, 접착시트(S)는, 도 1 중 2점쇄선으로 표시되는 위치에 있는 끌어내기·권취 수단(45)의 불필요 시트 권취 롤러(47)에 고정한다.

웨이퍼(W)가 도시하지 않은 옮겨싣기 수단을 통하여 당해 웨이퍼(W)의 외주부하면측만이 지지 볼록부(11A)에 지지되면, 구동 롤러(53)의 회전을 로킹한 상태에서, 끌어내기·권취 수단(45)이 도 1 중 2점쇄선 위치로부터 실선으로 표시되는 위치로 이동하고, 이 동작에 동기하여, 권취 수단(41)이 구동하여 박리시트(RL)의 회수가 행해진다. 이것에 의해, 제 1 케이스(20)의 상방을 가로질러, 웨이퍼(W)의 상면에 면하는 위치에 접착시트(S)가 공급되게 된다.

이어서, 제 1 케이스(20)가 상승함과 아울러, 제 2 케이스(21)가 하강하여 제 1 케이스(20)에서 단일의 감압실(C)이 형성된다(도 3 참조). 이 상태에서, 전자 밸브(26)를 제어하고, 배관(37)을 통하여 감압실(C)을 감압한다.

그리고, 감압실(C)이 감압상태로 되었을 때에, 테이블(11)이 상승함과 아울러, 끼워넣기 플레이트(31)가 하강하고, 끼워넣기 볼록부(32)가 지지 볼록부(11A)와 서로 작용하여 웨이퍼(W)의 외주부만을 접착시트(S)와 함께 끼워넣는다. 이것에 의해, 취약한 웨이퍼(W)의 내측의 면에 압력이 가해지는 것을 방지하여, 회로가 형성된 면에 외력이 가해지는 것을 방지할 수 있게 되어 있다. 또, 이 끼워넣기에 의해, 웨이퍼(W)의 내측과 접착시트(S) 사이에, 협지력이 부여되지 않음으로써 생기는 첩부전 공간(C4)(도 4, 도 5 참조)이 형성된다. 이때, 웨이퍼(W) 하면측의 공간(C2)과, 접착시트(S)의 상면측의 공간(C3)은 테이블(11)에 형성된 연통구멍(11D)과, 끼워넣기 플레이트(31)에 형성된 연통구멍(31A)에 의해, 케이스(14) 내에 단일의 감압실(C)을 형성하고 있는 상태에 있어, 첩부전 공간(C4)은 감압실(C)로부터 차단되어 독립된 공간으로 된다.

이렇게 하여 첩부전 공간(C4)이 형성된 후, 3방향 전자 밸브(26)를 제어하고, 배관(38)으로부터 대기를 도입하여 감압실(C)이 대기압으로 된다. 이 대기 개방에 의해, 첩부전 공간(C4)은, 도 6에 도시되는 바와 같이, 대기압에 의해 실질적으로 소실되어 접착시트(S)가 웨이퍼(W)에 첩부되게 된다.

접착시트(S)의 첩부가 완료되면, 제 2 케이스(21)가 상승하여 케이스(14)를 개방한다. 그리고, 도시하지 않은 절단 수단을 통하여, 웨이퍼(W)의 외주를 따라 접착시트(S)가 폐루프 형상으로 절단된다.

접착시트(S)의 절단이 행해진 후는, 지지 롤러(40)와 구동 롤러(50)를 로킹한 상태에서, 구동 롤러(53) 및 불필요 시트 권취 롤러(47)가 회전하면서 도 1 중 2점쇄선으로 표시되는 위치로 이동하고, 이것에 의해, 상기 절단에 의해 생긴 불필요 접착시트(S1)가 권취되게 된다.

접착시트(S)가 첩부된 웨이퍼(W)는 도시하지 않은 반송 수단을 통하여 다음 공정 혹은 소정의 스토커에 반송되고, 다음 첩부대상이 되는 웨이퍼(W)가 테이블(11) 위에 옮겨 실리고, 이후, 동일하게 접착시트(S)의 첩부가 행해지게 된다.

따라서, 이러한 실시형태에 의하면, 단일 감압실(C) 내에서 웨이퍼(W)의 내측의 면에 압력을 부여하지 않고 접착시트(S)를 첩부할 수 있다. 또, 첩부전 공간(C4)을 형성하고, 감압실(C)을 대기압으로 되돌리는 압력 제어에 의해 첩부전 공간(C4)을 소실시켜 접착시트(S)를 웨이퍼(W)에 첩부할 수 있어, 종래와 같은, 복수의 감압실을 동일한 압력으로 유지하면서 감압하는 것과 같은 복잡한 압력 제어는 불필요하게 되어, 감압실(C) 내의 감압 제어도 극히 간단한 것으로 된다. 또, 웨이퍼(W)는 그 외주측 하면이 테이블(11)에 지지되는 구성이기 때문에, 테이블(11)의 상면에 먼지 등의 이물이 존재하는 경우가 있어도, 웨이퍼(W)를 손상시켜 버리는 것과 같은 문제는 발생하지 않는다. 또한, 웨이퍼(W)의 피착면측에 범프 등의 요철이 존재하는 경우에도, 기포를 혼입시키지 않고 시트(S)를 첩부할 수 있다.

본 발명을 실시하기 위한 최선의 구성, 방법 등은 이상의 기재에서 개시되어 있지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다.

즉, 본 발명은 주로 특정 실시형태에 대하여 특별히 도시하고, 또한, 설명되어 있지만, 본 발명의 기술적 사상 및 원하는 범위로부터 일탈하지 않고, 이상에 기술한 실시형태에 대하여, 형상, 수량, 그 밖의 상세한 구성에 있어서, 당업자가 여러 변형을 가할 수 있는 것이다.

따라서, 상기에 개시한 형상 등을 한정한 기재는 본 발명의 이해를 쉽게 하기 위하여 예시적으로 기재한 것으로, 본 발명을 한정하는 것은 아니므로, 그것들의 형상 등의 한정의 일부 혹은 전부의 한정을 벗어난 부재의 명칭으로의 기재는 본 발명에 포함되는 것이다.

예를 들면, 상기 실시형태에서는, 접착시트(S)로서 감압성 접착시트를 사용했지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니고, 다이본딩용의 감열접착성의 접착시트 등을 채용할 수도 있다. 이 경우, 테이블(11)에 히터를 내장시키거나, 배관(25)을 통하여 공급되는 공기를 온풍으로 하면 된다. 또, 접착시트(S)는 낱장 타입의 접착시트를 사용하여 공급할 수 있게 해도 된다.

또한, 피착체는 웨이퍼(W)에 한하지 않고, 유리판, 강판, 또는, 수지판 등, 그 밖의 판 형상 부재도 대상으로 할 수 있고, 반도체 웨이퍼는 실리콘 웨이퍼나 화합물 웨이퍼이어도 된다. 또, 웨이퍼(W) 혹은 판 형상 부재는 두께가 동일한 것에 한하지 않고, 예를 들면, 도 7, 도 8에 도시하는 바와 같이, 외주부의 두께가 상대적으로 큰 타입의 피착체에도 적용할 수 있다.

10 시트 첩부 장치
11 테이블
11A 지지 볼록부
14 케이스
15 공급 수단
29 끼워넣기 수단
32 끼워넣기 볼록부
C 감압실
C4 첩부전 공간
S 접착시트
W 반도체 웨이퍼(피착체)

Claims

피착체를 지지하는 테이블과, 당해 테이블을 수용함과 아울러 내부에 감압실을 형성하는 개폐 가능한 케이스와, 상기 피착체에 면하는 위치에 접착시트를 공급하는 공급 수단을 포함하고, 상기 케이스를 폐색하고 감압실의 압력을 소정 제어하여 접착시트를 피착체에 첩부하는 시트 첩부 장치에 있어서,
상기 테이블에 마주 대하는 위치에서 케이스 내에 배치된 끼워넣기 수단을 더 포함하고, 당해 끼워넣기 수단은, 상기 케이스를 폐색하여 단일의 감압실이 형성된 상태에서, 상기 테이블과 서로 작용하여 피착체의 외주부만을 접착시트와 함께 끼워넣는 것을 특징으로 하는 시트 첩부 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 끼워넣기 수단은 상기 접착시트와 피착체 사이에, 상기 감압실로부터 독립한 첩부전 공간을 형성하는 것을 특징으로 하는 시트 첩부 장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 테이블은 상기 피착체의 외주부를 하방에서 지지하는 지지 볼록부를 구비하는 한편, 상기 끼워넣기 수단은 상기 지지 볼록부에 대응함과 아울러 접착시트의 상방으로부터 당해 접착시트를 끼워넣는 끼워넣기 볼록부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 시트 첩부 장치.
피착체를 지지하는 테이블과, 당해 테이블을 수용함과 아울러 내부에 감압실을 형성하는 개폐 가능한 케이스와, 상기 피착체에 면하는 위치에 접착시트를 공급하는 공급 수단을 포함하는 시트 첩부 장치를 사용한 시트 첩부 방법에 있어서,
상기 테이블에 판 형상 부재를 지지하는 공정과, 상기 판 형상 부재에 마주 대하는 위치에 접착시트를 공급하는 공정과, 상기 케이스를 폐색하여 감압실을 형성하는 공정과, 상기 감압실을 감압하는 공정과, 상기 테이블과 서로 작용하여 판 형상 부재의 외주부만을 접착시트와 함께 끼워넣는 공정과, 상기 감압실의 감압을 해제하여 접착시트를 판 형상 부재에 첩부하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 시트 첩부 방법.
제 4 항에 있어서, 상기 피착체의 외주부를 하방에서 지지하는 지지 볼록부와, 이 지지 볼록부에 대응함과 아울러 접착시트의 상방으로부터 당해 접착시트를 끼워넣는 끼워넣기 볼록부에 의해 판 형상 부재의 외주부를 접착시트와 함께 끼워넣는 것을 특징으로 하는 시트 첩부 방법.