KR20050048507A - 기판처리장치, 슬릿노즐, 피충전체에서의 액체 충전도판정구조 및 기체 혼입도 판정구조 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (24)
- 기판을 유지하는 유지대와,소정의 처리액을 토출하는 슬릿노즐과,상기 슬릿노즐을 상기 기판의 표면을 따른 거의 수평방향으로 이동시키는 이동수단과,상기 슬릿노즐에 소정의 처리액 공급원으로부터 상기 소정의 처리액을 공급하는 처리액 공급수단을 구비하고,상기 슬릿노즐을 상기 거의 수평방향으로 이동시키는 것에 의해 상기 슬릿노즐에 상기 기판의 표면을 주사시키면서, 상기 슬릿노즐의 내부에 충전된 상기 소정의 처리액을 토출시키는 것에 의해, 상기 소정의 처리액을 기판에 도포하는 기판처리장치로서,상기 슬릿노즐에 있어서는,상기 처리액 공급수단이 접속되고, 상기 소정의 처리액을 상기 슬릿노즐의 매니폴드로 공급하는 공급구가, 상기 매니폴드의 길이방향의 양측단부 중 적어도 한쪽의 측단부에 설치되어 있으며,상기 슬릿노즐 내부에 존재하는 유체를 상기 슬릿노즐의 외부로 배출하는 배출구가, 상기 매니폴드의 상단부에 설치되어 있으며,상기 배출구가 상기 공급구보다도 높은 위치에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 공급구가, 상기 매니폴드의 길이방향의 양측단부 중 제1의 측단부에 설치되어 있고,상기 배출구는, 상기 매니폴드의 길이방향의 양측단부 중 제2의 측단부에 설치되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 적어도 1개의 공급구가 상기 매니폴드의 길이방향의 양측단부에 각각 설치된 제1과 제2의 공급구인 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 배출구는, 상기 제1과 제2의 공급구를 연결하는 구간의 거의 중앙위치에 설치되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한항에 있어서,상기 매니폴드의 상면이 상기 공급구로부터 상기 배출구를 향해 경사져 있는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한항에 있어서,상기 매니폴드의 하면에서 상면까지의 높이가 상기 공급구측에서 상기 배출구측을 향할 만큼 크게 되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한항에 있어서,상기 매니폴드의 단면적이 상기 공급구측에서 상기 배출구측을 향할 만큼 크게 되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한항에 있어서,상기 유체가 상기 슬릿노즐 내부에 존재하는 기체 및 기체가 혼입한 상기 처리액인 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제 8 항에 있어서,상기 배출구에 접속된 배출경로와,상기 배출경로의 도중에 배치되어, 상기 배출경로 내의 처리액의 충전상태를 검지하는 검지수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제 9 항에 있어서,상기 슬릿노즐에 대한 상기 소정의 처리액의 충전도를 판정하는 판정수단을 더 구비하고,상기 배출경로는, 광학적으로 투명하고 U자형으로 곡절된 곡절부분을 가지며, 상기 곡절부분이 상측을 향해 이루어지고,상기 검지수단은, 상기 곡절부분의 근방에 배치되며, 상기 곡절부분의 소정 위치에 대해 제1의 광 빔을 발함과 함께, 상기 제1의 광 빔의 조사에 따라 상기 소정 위치로부터 얻어지는 제2의 광 빔을 수광하는 것이며,상기 판정수단은,상기 검지수단에 의해 수광되는 상기 제2의 광 빔의 광강도의 변동에 의거해 상기 충전도를 판정하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제 8 항에 있어서,상기 배출구에 접속된 배출경로와,상기 배출경로의 도중에 배치되어, 상기 배출경로 내의 처리액의 기체 혼입상태를 검지하는 검지수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제 11 항에 있어서,상기 슬릿노즐에 대한 상기 소정의 처리액으로의 기체의 혼입을 판정하는 판정수단을 더 구비하고,상기 배출경로는, 광학적으로 투명하고 U자형으로 곡절된 곡절부분을 가지며, 상기 곡절부분이 상측을 향해 이루어지고,상기 검지수단은, 상기 곡절부분의 근방에 배치되며, 상기 곡절부분의 소정 위치에 대해 제1의 광 빔을 발함과 함께, 상기 제1의 광 빔의 조사에 따라 상기 소정 위치로부터 얻어지는 제2의 광 빔을 수광하는 것이며,상기 판정수단은,상기 검지수단에 의해 수광되는 상기 제2의 광 빔의 광강도의 변동에 의거해 상기 기체의 혼입을 판정하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한항에 있어서,상기 처리액 공급수단은, 상기 소정의 처리액과, 소정의 세정액 공급원으로부터 취득되는 상기 슬릿노즐의 내부를 세정하는 세정액을 선택적으로 공급 가능한 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한항에 있어서,상기 처리액 공급수단은, 상기 소정의 처리액을 상기 슬릿노즐의 내부를 세정하는 세정액으로 치환한 후에, 상기 세정액을 공급할 수 있는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 소정의 이동수단에 의해 이동되는 것에 의해 피처리체의 표면을 주사하면서, 소정의 처리액 공급수단에 의해 공급되는 소정의 처리액을 토출함으로써, 상기 피처리체에 상기 소정의 처리액을 부여하는 슬릿노즐로서,상기 처리액 공급수단이 접속되며, 상기 소정의 처리액을 상기 슬릿노즐의 매니폴드로 공급하는 공급구가, 상기 매니폴드의 길이방향의 양측단부 중의 적어도 한쪽의 측단부에 설치되어 있으며,상기 슬릿노즐 내부에 존재하는 유체를 상기 슬릿노즐의 외부로 배출하는 배출구가, 상기 매니폴드의 상단부에 설치되어 있고,상기 배출구가 상기 공급구보다도 높은 위치에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 슬릿노즐.
- 제 15 항에 있어서,상기 공급구가, 상기 매니폴드의 길이방향의 양측단부 중의 제1의 측단부에 설치되어 있고,상기 배출구는, 상기 매니폴드의 길이방향의 양측단부 중의 제2의 측단부에 설치되는 것을 특징으로 하는 슬릿노즐.
- 제 15 항에 있어서,상기 적어도 1개의 공급구가 상기 매니폴드의 길이방향의 양측단부에 각각 설치된 제1과 제2의 공급구인 것을 특징으로 하는 슬릿노즐.
- 제 17 항에 있어서,상기 배출구는, 상기 제1과 제2의 공급구를 연결하는 구간의 거의 중앙위치에 설치되는 것을 특징으로 하는 슬릿노즐.
- 제 15 항 내지 제 18 항 중 어느 한항에 있어서,상기 매니폴드의 상면이 상기 공급구로부터 상기 배출구를 향해 경사져 있는 것을 특징으로 하는 슬릿노즐.
- 제 15 항 내지 제 18 항 중 어느 한항에 있어서,상기 매니폴드의 하면에서 상면까지의 높이가 상기 공급구측에서 상기 배출구측을 향할 만큼 크게 되는 것을 특징으로 하는 슬릿노즐.
- 제 15 항 내지 제 18 항 중 어느 한항에 있어서,상기 매니폴드의 단면적이 상기 공급구측으로부터 상기 배출구측을 향할 만큼 크게 되는 것을 특징으로 하는 슬릿노즐.
- 제 15 항 내지 제 18 항 중 어느 한항에 있어서,상기 유체가 상기 슬릿노즐 내부에 존재하는 기체 및 기체가 혼입한 상기 처리액인 것을 특징으로 하는 슬릿노즐.
- 소정의 공급수단에 의해 소정의 액체가 공급되는 것에 의해 상기 소정의 액체가 충전되는 피충전체에서 상기 소정의 액체의 충전도를 판정하기 위한 구조로서,상기 피충전체 내부의 기체 및 충전물을 상기 피충전체의 외부로 배출하는 배출구와,상기 배출구에 접속되어, 광학적으로 투명하고 U자형으로 곡절된 곡절부분을 가지며, 상기 곡절부분이 상측을 향해 이루어지는 배출경로와,상기 곡절부분의 근방에 배치되어, 상기 곡절부분의 소정 위치에 대해 제1의 광 빔을 발함과 함께, 상기 제1의 광 빔의 조사에 따라 상기 소정 위치로부터 얻어지는 제2의 광 빔을 수광하는 검지수단과,상기 검지수단에 의해 수광되는 상기 제2의 광 빔의 광강도의 변동에 의거해 상기 피충전체에 대한 상기 소정의 액체의 충전도를 판정하는 판정수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 피충전체에서의 액체 충전도 판정구조.
- 소정의 공급수단에 의해 소정의 액체가 공급되는 것에 의해 상기 소정의 액체가 충전되는 피충전체에 충전된 상기 소정의 액체에 대한 기체의 혼입도를 판정하기 위한 구조로서,상기 피충전체 내부의 기체 및 충전물을 상기 피충전체의 외부로 배출하는 배출구와,상기 배출구에 접속되어, 광학적으로 투명하고 U자형으로 곡절된 곡절부분을 가지며, 상기 곡절부분이 상측을 향해 이루어지는 배출경로와,상기 곡절부분의 근방에 배치되어, 상기 곡절부분의 소정 위치에 대해 제1의 광 빔을 발함과 함께, 상기 제1의 광 빔의 조사에 따라 상기 소정 위치로부터 얻어지는 제2의 광 빔을 수광하는 검지수단과,상기 검지수단에 의해 수광되는 상기 제2의 광 빔의 광강도의 변동에 의거해 상기 소정의 액체에 대한 기체의 혼입도를 판정하는 판정수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 피충전체에서의 기체 혼입도 판정구조.
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