JPH09253556A - 塗布装置および塗布方法並びにカラーフィルタの製造装置および製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 エア抜き作業を簡単に行えると同時に、スリ
ットダイとガラス基板との間のクリアランスを正確かつ
安定して設定することができる塗布装置および塗布方
法、並びに、これら塗布装置および塗布方法を用いたカ
ラーフィルタの製造装置および製造方法を提供する。 【解決手段】 カラーフィルタの製造に用いられる塗布
方法を実施する塗布装置は、スリットダイ４０と、この
スリットダイ４０をその吐出口の長手方向に沿う軸線周
りに回転自在に支持する回転ホルダ６６と、エア抜き作
業のためにスリットダイ４０が上向きに回転された後、
スリットダイ４０を回転ホルダ６６ともに元の作動姿勢
まで回転して戻し、その作動姿勢にて、回転ホルダ６６
をダイホルダ３２に固定するテーパピン７０とを備えて
いる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、特にカラー液晶
ディスプレイ用カラーフィルタの製造に好適し、カラー
フィルタのガラス基板などの被塗布部材に向け、塗布液
を吐出しながら塗膜を形成する塗布装置および塗布方
法、並びに、これらの装置および方法を用いたカラーフ
ィルタの製造およびその製造方法に関する。

【０００２】

【関連する背景技術】カラー液晶ディスプレイ用のカラ
ーフィルタは、そのガラス基板上に３原色の細かな格子
模様を有しており、このような格子模様はガラス基板上
に先ず黒の塗膜を形成した後、赤、青、緑の塗膜により
塗り分けて得られる。それ故、カラーフィルタの製造に
は、ガラス基板上に黒、赤、青、緑の塗布液を塗布し、
これらの塗膜を順次形成していく塗工工程が必要不可欠
となる。この種の塗工工程には、従来塗布装置として、
スピナー、バーコータあるいはロールコータなどが使用
されていたが、塗布液の消費量を削減し、また、塗膜の
物性を向上させるために近年に至ってはダイコータの使
用が検討されている。

【０００３】この種のダイコータは、たとえば特開平4-
346868号公報に開示されているようなスリットダイを塗
布器として備えており、このスリットダイは下向きの吐
出口から塗布液を被塗布部材に向けて吐出可能となって
いる。また、公知のスリットダイは回転可能に支持され
ており、その吐出口を上向きとなるようにスリットダイ
を回転させれば、この状態で、スリットダイ内のエア抜
きが行えるようになっている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た公知のスリットダイは回転可能に支持されているだけ
であるので、エア抜きが完了した後、スリットダイの吐
出口を下向きとすべくスリットダイを元の作動姿勢まで
回転させても、その吐出口と被塗布部材との間のクリア
ランスを元の状態に正確に再現することは困難であり、
しかも、吐出口からの塗布液の吐出中、スリットダイが
不用意に回転変位してしまい、クリアランスが変動して
しまう虞がある。このようにクリアランスが不安定であ
ると、被塗布部材に均一な厚さの塗膜を形成することが
できず、カラーフィルタの歩留まりおよびその品質を十
分に確保できなくなる。

【０００５】この発明は上述した事情に基づいてなされ
たもので、その目的とするところは塗布器のエア抜きに
関し、その作業性を損なうことなく、塗布器の吐出口と
被塗布部材との間のクリアランスの再現性、また、その
安定性を簡単にして確保することができる塗布装置およ
び塗布方法並びにこれら塗布装置および塗布方法を用い
たカラーフィルタの製造装置および製造方法を提供する
ことにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記の目的は、この発明
によって達成され、請求項１の塗布装置は、塗布液を供
給する供給手段と、供給手段から供給された塗布液を吐
出するために一方向に延びる吐出口を有する塗布器と、
塗布器および被塗布部材のうちの少なくとも一方を相対
的に移動させる移動手段と、塗布器をその吐出口の長手
方向に沿う軸線周りに回転可能に支持する支持手段と、
被塗布部材に対し、その吐出口が対向して平行となる作
動姿勢に塗布器を位置決めする位置決め手段とを備えて
いる。

【０００７】請求項１の塗布装置によれば、塗布器を作
動姿勢から回転させて、その吐出口を上向きとし、この
状態で塗布器内のエア抜きが行われる。この後、塗布器
が作動姿勢に向けて回転されると、塗布器は位置決め手
段により作動姿勢にて位置決めされ、これにより、塗膜
の形成時、すなわち、塗工時には、塗布器の吐出口と被
塗布部材との間に元のクリアランスが正確に確保され
る。

【０００８】請求項２の塗布装置は、塗布器が作動姿勢
にあるか否かを検出する検出手段をさらに備えている。
この場合、検出手段からの出力に基づき、塗布装置の作
動が制御される。請求項３のカラーフィルタの製造装置
は、請求項１または２に記載の塗布装置を使用してカラ
ーフィルタを製造するものとなっており、この場合、カ
ラーフィルタの品質および生産性が共に向上する。

【０００９】請求項４の塗布方法は、塗布器に設けられ
てなる一方向に延びる吐出口から塗布液を吐出しなが
ら、塗布器および被塗布部材のうちの少なくとも一方を
相対的に移動させて被塗布部材に塗膜を形成する際、そ
の塗膜の形成に先立ち、塗布器内のエア抜きのために吐
出口の長手方向に沿う軸線周りに塗布器を回転させてそ
の吐出口を上向きとし、この後、被塗布部材に対し吐出
口が対向して平行となる作動姿勢に塗布器を位置決めし
て戻している。

【００１０】請求項４の塗布方法によれば、エア抜きの
ために塗布器が回転されても、そのエア抜きの完了後、
塗布器は元の作動姿勢に位置決めして戻され、塗工時に
は、塗布器の吐出口と被塗布部材との間に元のクリアラ
ンスが正確に確保される。請求項５の塗布方法は、塗布
器が作動姿勢にあるか否かを検出しており、この場合、
その検出結果を受けて、以降の塗工工程が制御される。

【００１１】請求項６のカラーフィルタの製造方法は、
請求項４または５に記載の塗布方法を用いてカラーフィ
ルタを製造し、この場合、カラーフィルタの品質および
生産性がともに向上する。

【００１２】

【発明の実施の態様】図１を参照すると、カラー液晶デ
ィスプレイのためのカラーフィルタの製造に適用される
塗布装置いわゆるダイコータが示されており、このダイ
コータは基台２を備えている。この基台２上には一対の
ガイド溝レール４が設けられており、これらガイド溝レ
ール４にはステージ６が配置されている。このステージ
６はその上面がサクション面として構成され、そして、
一対のスライド脚８を介してガイド溝レール４上を水平
方向に往復動自在となっている。

【００１３】一対のガイド溝レール４間には送り機構が
設けられており、ケーシング１２はそれらを内蔵するよ
うに配置され、ガイド溝レール４に沿って延びている。
送り機構は、図２に示されているようにボールねじから
なるフィードスクリュー１４を有している。このフィー
ドスクリュー１４はステージ６の下部に固定されたナッ
ト状のコネクタ１６にねじ込まれ、このコネクタ１６を
貫通して延びている。フィードスクリュー１４の両端部
は図示しない軸受に回転自在に支持されており、その一
端にはＡＣサーボモータ１８が連結されている。なお、
ケーシング１２の側面にはコネクタ１６の移動を許容す
る開口が形成されているが、図１中、その開口が省略さ
れている。

【００１４】図１に示されているように、基台２の上面
にはほぼ中央に位置にしてダイ支柱２４が配置されてお
り、このダイ支柱２４は逆Ｌ字形をなしている。ダイ支
柱２４の先端はステージ６の往復動経路の上方に位置付
けられており、その先端には昇降機構２６が取り付けら
れている。昇降機構２６は昇降可能な昇降ブラケット
（図示しない）を備えており、この昇降ブラケットは昇
降機構２６におけるケーシング２８内の一対のガイドロ
ッドに昇降自在に取り付けられている。また、ケーシン
グ２８内にはガイドロッド間にボールねじからなるフィ
ードスクリュー（図示しない）もまた回転自在にして配
置されており、昇降ブラケットは、そのフィードスクリ
ューに対しナット型のコネクタを介して連結されてい
る。フィードスクリューの上端にはＡＣサーボモータ３
０が接続されており、このＡＣサーボモータ３０はケー
シング２８の上面に取り付けられている。

【００１５】昇降ブラケットには支持軸（図示しない）
を介してダイホルダ３２が取り付けられており、このダ
イホルダ３２はコ字形をなしかつ一対のガイド溝レール
４の上方をこれらレール４間に亘って水平に延びてい
る。ダイホルダ３２の支持軸は昇降ブラケット内にて回
転自在に支持されており、これにより、ダイホルダ３２
は支持軸とともに垂直面内で回転可能となっている。

【００１６】昇降ブラケットには水平バー３６が固定さ
れており、この水平バー３６はダイホルダ３２の上方に
位置し、ダイホルダ３２に沿って延びている。水平バー
３６の両端部には、電磁作動型のリニアアクチュエータ
３８がそれぞれ取り付けられており、これらリニアアク
チュエータ３８は水平バー３６の下面から突出する伸縮
ロッドを有している。これら伸縮ロッドはそれらの下端
がダイホルダ３２の両端にそれぞれ当接されている。

【００１７】ダイホルダ３２内には塗布器としてのスリ
ットダイ４０が支持手段を介して保持されており、図１
から明らかなようにスリットダイ４０はステージ６の往
復動方向と直交する方向、つまり、ダイホルダ３２の長
手方向に水平に延びている。なお、支持手段に関しては
後述する。図２に示されているようにスリットダイ４０
からは塗布液の供給ホース４２が延びており、この供給
ホース４２の先端はシリンジポンプ４４、つまり、その
電磁切換え弁４６の供給ポートに接続されている。電磁
切換え弁４６の吸引ポートからは吸引ホース４８が延び
ており、この吸引ホース４８の先端部は、塗布液を蓄え
たタンク５０内に挿入されている。

【００１８】シリンジポンプ４４のポンプ本体５２は、
電磁切換え弁４６の切換え作動により、供給ホース４２
および吸引ホース４８の一方に選択的に接続可能となっ
ている。そして、これら電磁切換え弁４６およびポンプ
本体５２はコンピュータ５４に電気的に接続されてお
り、このコンピュータ５４からの制御信号を受けて、そ
れらの作動が制御されるようになっている。

【００１９】さらに、シリンジポンプ４４の作動を制御
するため、コンピュータ５４にはシーケンサ５６もまた
電気的に接続されている。このシーケンサ５６は、ステ
ージ６側のフィードスクリュー１４のためのＡＣサーボ
モータ１８や、昇降機構２６側のＡＣサーボモータ３
０、また、リニアアクチュエータ３８の作動をシーケン
ス制御するものであり、そのシーケンス制御のために、
シーケンサ５６にはＡＣサーボモータ１８，３０の作動
状態を示す信号、ステージ６の移動位置を検出する位置
センサ５８からの信号、そして、スリットダイ４０の作
動状態を検出するセンサ（図示しない）からの信号など
が入力されるようになており、一方、シーケンサ５６か
らはシーケンス動作を示す信号がコンピュータ５４に出
力されるようになっている。なお、位置センサ５８を使
用する代わりに、ＡＣサーボモータ１８にエンコーダを
組み込み、このエンコーダから出力されるパルス信号に
基づき、シーケンサ５６にてステージ６の移動位置を検
出することも可能である。また、シーケンサ５６自体に
コンピュータ５４による制御を組み込むことも可能であ
る。

【００２０】図２に概略的に示されているようにスリッ
トダイ４０は長尺なブロック形をしているフロントリッ
プ５９よびリアリップ６０を有している。これらリップ
５９，６０はステージ６の往復動方向に向かい合わさ
れ、図示しない複数の連結ボルトにより相互に一体的に
結合されている。両リップ５９，６０の結合により、ス
リットダイ４０の下部は先細形状をなしたノズル部とし
て形成されている。

【００２１】スリットダイ４０内にはその中央部分に位
置してマニホールド６２が形成されており、このマニホ
ールド６２はスリットダイ４０の幅方向、すなわち、ス
テージ６の往復動方向と直交する方向に水平に延びてい
る。マニホールド６２は前述した塗布液の供給ホース４
２に内部通路（図示しない）を介して常時接続されてお
り、これにより、マニホールド６２は塗布液の供給を受
けることができる。

【００２２】スリットダイ４０の内部にはその上端がマ
ニホールド６２に連通したスリット６４が形成されてお
り、このスリット６４の下端がノズル部の下面にて開口
している。すなわち、スリット６４の下端開口がスリッ
トダイ４０の吐出口として形成されている。具体的に
は、スリット６４はフロントリップ５９とリアリップ６
０との間に挟み込んだシムによって確保されている。

【００２３】再度、図１を参照すると、基台２の上面に
はダイ支柱２４よりも手前側に位置してセンサ柱２０が
配置されている。このセンサ支柱２０もまた前述したダ
イ支柱２４と同様に逆Ｌ字形をなし、その先端がステー
ジ６の往復動経路の上方に位置付けられている。センサ
支柱２０の先端には昇降アクチュエータ２１を介して厚
みセンサ２２が取り付けられている。この厚みセンサ２
２は、ステージ６上にカラーフィルタの基板、つまり、
ガラス基板Ａが載置されたとき、昇降アクチュエータ２
１により所定の位置まで降下され、この降下位置にて、
ステージ６上のガラス基板Ａの厚さを光学的に検出し、
その厚さに対応した検出信号をコンピュータ５４に出力
する。具体的には、厚みセンサ２２は、測定対象である
ガラス基板Ａに向けて測定光を出射する光源と、ガラス
基板Ａの上面および下面からの反射光をそれぞれ受光す
る受光部と、受光部への反射光の入射位置の差に基づ
き、ガラス基板Ａの厚みを演算する演算回路部とから構
成されている。なお、昇降アクチュエータ２１の作動は
コンピュータ５４によって制御されるようになってお
り、また、厚みセンサ２２としては上述のタイプに限ら
ず、レーザ変位計、電子マイクロ変位計、超音波厚さ計
などを使用することができる。

【００２４】図３〜図５を参照すれば、ダイホルダ３２
に対するスリットダイ４０の支持手段が示されており、
この支持手段は、回転ホルダ６６を備えている。この回
転ホルダ６６はダイホルダ３２と同様なコ字形をなし、
ダイホルダ３２内に配置されている。回転ホルダ６６の
両端部からは回転軸６８がそれぞれ側方に向けて水平に
突出されており、これら回転軸６８はダイホルダ３２の
両端部に回転自在に支持されている。

【００２５】回転ホルダ６６内には前述したスリットダ
イ４０が保持されており、これにより、スリットダイ４
０は回転ホルダ６６の回転軸６８の軸線周り、つまり、
その吐出口の長手方向に沿う軸線周りに回転することが
できる。なお、回転ホルダ６６の一方の回転軸６８はダ
イホルダ３２の端部を貫通し、図示しない回転ハンドル
または駆動モータに接続されている。

【００２６】図３から明らかなようにスリットダイ４０
の吐出口が下向きとなる作動姿勢にあるとき、回転ホル
ダ６６はダイホルダ３２と同様に水平姿勢にあり、回転
ホルダ６６はテーパピン７０を介してダイホルダ３２に
連結されている。すなわち、ダイホルダ３２にはテーパ
孔７２が形成されており、一方、回転ホルダ６６にもダ
イホルダ３２のテーパ孔７２と同軸的に合致し、かつ、
そのテーパ孔７２の先細側の延長部を構成するテーパ孔
７４が形成されている。図３に示されているようにテー
パ孔７２，７４にテーパピン７０が挿入されていると、
回転ホルダ６６は回転不能にしてダイホルダ３２に固定
される。

【００２７】さらに、図４に示されているようにダイホ
ルダ３２には、たとえば渦電流式の近接センサ７６が取
り付けられており、この近接センサ７６は、回転ホルダ
６６がダイホルダ３２内に収納され、かつ、水平姿勢に
あるとき、回転ホルダ６６における一方の端部を検出
し、その検出信号を前述したシーケンサ５６に出力す
る。

【００２８】なお、本実施例では、ステージ６をスリッ
トダイ４０に対して相対的に水平移動させるようにした
が、要は両者のうちの少なくとも一方を移動させればよ
いのである。た図示されていないけれども、ダイコータ
の基台２の近傍には、基台２の一端部側および他端部側
にそれぞれ位置して、ガラス基板Ａのためのローダおよ
びアンローダが配置されている。これらローダおよびア
ンローダはたとえば円筒座標系産業用ロボットから構成
することができる。

【００２９】次に、カラーフィルタの製造に係わる一工
程、つまり、上述したダイコータを使用してガラス基板
Ａに塗膜を形成する塗布方法を説明する。まず、塗膜の
形成に先立ち、ダイコータにおける各作動部の原点復帰
が行われ、ステージ６は図１に示されているように基台
２の一端部に位置付けられ、また、スリットダイ４０は
ダイホルダ３２を介して上昇位置に位置付けられてい
る。ここで、スリットダイ４０はその吐出口が水平とな
っており、この水平調整は前述した一対のリニアアクチ
ュエータ３８の作動によりなされている。

【００３０】そして、この状態で、スリットダイ４０に
向けて塗布液が供給され、タンク５０から吸引ホース４
８および供給ホース４２を経てスリットダイ４０のマニ
ホールド６２およびスリット６４に至る経路内に塗布液
が満たされる。すなわち、シリンジポンプ４４の電磁切
換え弁４６がポンプ本体５２と吸引ホース４８との間を
接続すべく切換え作動され、ポンプ本体５２はその内部
にタンク５０内の塗布液を吸引ホース４８を通じて吸引
する。この後、シリンジポンプ４４の電磁切換え弁４６
はポンプ本体５２と供給ホース４２との間を接続すべく
切換え作動され、ポンプ本体５２はその内部の塗布液を
供給ホース４２を通じてスリットダイ４０に向けて吐出
する。このようなポンプ本体５２における塗布液の吸引
動作および吐出動作が繰り返されることにより、タンク
５０からスリットダイ４０のスリット６４に至る経路内
に塗布液が供給され、その経路内は塗布液で満たされて
いくことになる。なお、スリットダイ４０に塗布液が供
給されると、その吐出口から塗布液が吐出されることに
なるが、この際、スリットダイ４０の下方には図示しな
いガターが配置されており、スリットダイ４０から吐出
された塗布液はガターに受け取られ、そして、そのガタ
ーから廃液タンクに回収される。

【００３１】ここで、タンク５０からスリットダイ４０
内に至る経路内のエアを完全に除去するため、ダイホル
ダ３２と回転ホルダ６６との間を連結しているテーパピ
ン７０が引き抜かれると、回転ホルダ６６、すなわち、
スリットダイ４０の回転が自由になる。この状態で、図
６に示されるようにスリットダイ４０をその作動姿勢か
ら回転ホルダ６６とともに回転させ、スリットダイ４０
の吐出口を上向きとする。この状態で、スリットダイ４
０への塗布液の供給を継続すれば、スリットダイ４０内
のみならず、このスリットダイ４０からタンク５０に至
る経路内からエアが完全に除去される。なお、スリット
ダイ４０が作動姿勢から回転されると、図７に示されて
いるように回転ホルダ６６はダイホルダ３２側の近接セ
ンサ７６に対して非対向状態となるので、近接センサ７
６からシーケンサ５６にオフ信号が出力される。

【００３２】上述したエア抜き作業が完了すると、スリ
ットダイ４０は回転ホルダ６６ととに作動姿勢に向けて
回転され、そして、回転ホルダ６６のテーパ孔７４とダ
イホルダ３２のテーパ孔７２とを同軸的に合致させて、
これらにテーパピン７０を挿通する。これにより、スリ
ットダイ４０は回転ホルダ６６を介してダイホルダ３２
に固定され、その元の作動姿勢が再現される。また、こ
のとき、近接センサ７６は回転ホルダ６６の端部と近接
対向するので、近接センサ７６からオン信号がシーケン
サ５６に出力される。

【００３３】この後、塗工工程の準備作動として、シリ
ンジポンプ４４の電磁切換え弁４６はポンプ本体５２と
吸引ホース４８とを接続すべく切換え作動され、ポンプ
本体５２はタンク５０内の塗布液を吸引ホース４８を通
じて、その内部に所定量の塗布液を吸引し、そして、シ
リンジポンプ４４はその電磁切換え弁４６がポンプ本体
５２と供給ホース４２とを接続すべく切換え作動された
状態で待機する。このとき、前述したガターはスリット
ダイ４０の下方から所定の待機位置、つまり、ステージ
６の移動を妨げない位置まで移動される。

【００３４】一方、ステージ６上には図示しないローダ
を介してガラス基板Ａが位置決めされた状態で載置さ
れ、このガラス基板Ａはステージ６の上面にサクション
により吸着保持される。ガラス基板Ａのローディングが
完了すると、厚みセンサ２２が下降し、この厚みセンサ
２２によりステージ６上のガラス基板Ａの厚さが光学的
に検出され、その検出信号がコンピュータ５４に供給さ
れる。厚みの測定が完了すると、厚みセンサ２２は元の
位置まで上昇される。

【００３５】この後、近接センサ７６からオン信号が出
力されていることを条件として、ステージ６がスリット
ダイ４０に向けて往動され、そのガラス基板Ａ上への塗
膜の形成開始ラインがスリットダイ４０の吐出口位置に
達した時点で、ステージ６の往動が一旦停止される。そ
して、スリットダイ４０は、既に測定されているガラス
基板Ａの厚みを考慮して下降され、スリットダイ４０の
吐出口とガラス基板Ａとの間に所定のクリアランスが確
保される。

【００３６】クリアランスが設定されると、シリンジポ
ンプ４４、すなわち、そのポンプ本体５２は塗布液の吐
出動作を開始し、その内部の塗布液をスリットダイ４０
に向けて吐出する。したがって、スリットダイ４０の吐
出口からガラス基板Ａ上の形成開始ラインに沿って塗布
液が一様に吐出され、この結果、スリットダイ４０とガ
ラス基板Ａとの間にはメニスカスと称される液溜まりＣ
（図２参照）が形成される。

【００３７】このような液溜まりＣの形成と同時に、ス
リットダイ４０、つまり、その吐出口からの塗布液の吐
出を継続しながら、ステージ６を一定の速度で往動方向
に進行させると、図２に示されているようにガイド基板
Ａの上面に塗布液の塗膜Ｄが連続して形成される。ステ
ージ６の進行に伴い、ガラス基板Ａ上にて塗膜Ｄの形成
を終了すべき形成終了ラインがスリットダイ４０の吐出
口の直前位置に到達すると、この時点で、シリンジポン
プ４４の吐出動作が停止される。このようにしてスリッ
トダイ４０からの塗布液の吐出が停止されても、ガラス
基板Ａ上においてはその液溜まりＣの塗布液を消費（ス
キージ）しながら、塗膜Ｄの形成が形成終了ラインまで
継続される。なお、ガラス基板Ａ上の形成終了ラインが
スリットダイ４０の吐出口を通過した時点で、シリンジ
ポンプ４４の吐出動作を停止するようにしてもよい。

【００３８】シリンジポンプ４４の吐出動作が停止され
ると、このシリンジポンプ４４はわずかに吸引動作を行
い、スリットダイ４０におけるスリット６４内の塗布液
をマニホールド６２側に吸い戻す。このようなシリンジ
ポンプ４４の吸い戻し動作と同時に、スリットダイ４０
は元の位置まで上昇される。一方、ステージ６の往動は
スリットダイ４０からの塗布液の吐出が停止されても継
続され、ステージ６がガイド溝レール４の終端に到達し
た時点で、その往動が停止される。この後、ステージ６
上へのガラス基板Ａのサクションが解除され、塗膜Ｄが
形成されたガラス基板Ａはアンローダによりステージ６
から取り外され、そして、次工程に向けて供給される。

【００３９】ステージ６がスリットダイ４０を通過した
後、前述したガター９２は再びスリットダイ４０の下方
に移動され、この状態で、シリンジポンプ４４は吸い戻
した量だけ塗布液を吐出し、スリットダイ４０のスリッ
ト６４内に空気が残るのを防止する。この際、スリット
ダイ４０の吐出口から塗布液が吐出されても、その塗布
液はガターに受け取られる。この後、ガターはその待機
位置までに戻される。

【００４０】この後、ステージ６は図１に示す初期位置
まで戻され、これにより、一連の塗布工程が完了する。
なお、初期位置にて、ステージ６は新たなガラス基板Ａ
がローディングされるまで待機し、そして、シリンジポ
ンプ４４は前述した塗工工程の準備動作を行って待機す
る。なお、ガラス基板Ａ上に形成された塗膜Ｄが黒の塗
膜である場合には、この後、ガラス基板Ａの塗膜Ｄ上に
公知の如くポジ型フォトレジストの塗布、マスク露光、
現像、エッチングによるレリーフパターンの形成、レリ
ーフパターンをマスクとした塗膜のエッチング、レリー
フパターンの除去などの各工程を赤、青、緑の塗膜に対
して繰り返して行うことにより、カラーフィルタが製造
される。

【００４１】上述したダイコータにあっては、そのスリ
ットダイ４０がその吐出口の長手方向に沿う軸線周りに
回転可能であるから、その吐出口を上向きとして前述し
たエア抜き作業を容易に行うことができる。したがっ
て、塗工工程時には、スリットダイ４０の吐出口から塗
布液を安定して吐出させることができ、エアかみ込みに
よる塗工欠点の発生もない。また、エア抜き作業の後、
スリットダイ４０を回転させて、その元の作動姿勢に戻
すとき、回転ホルダ６６はテーパピン７０を介してダイ
ホルダ３２に固定されるので、ダイホルダ３２に対する
スリットダイ４０の取り付け位置は元の状態に正確に戻
されることになる。したがって、ダイホルダ３２の下降
に伴い、スリットダイ４０の吐出口とガラス基板Ａとの
間に所定のクリアランスを確保するとき、そのクリアラ
ンスの設定を再現性よく正確に行うことができる。この
結果、この後の塗工工程により、ガラス基板Ａ上に形成
される塗膜Ｄはその膜厚が均一となり、カラーフィルタ
の品質および生産性が向上する。

【００４２】さらに、ガラス基板Ａに対する塗膜Ｄの塗
工工程は、近接センサ７６からのオン信号の出力を条件
として実施されるので、スリットダイ４０の吐出口が上
向きとなっている状態で、その塗工工程が誤って実施さ
れてしまうことはない。上述したスリットダイ４０の回
転を伴うエア抜き作業は、塗工工程が繰り返して実施さ
れるとき、定期的または必要に応じて実施される。

【００４３】この発明は、上述の一実施例に制約される
ものではなく、図８および図９を参照すると、スリット
ダイ４０の他の支持機構がそれぞれ示されている。図８
の支持機構は前述したテーパピン７０の代わりに下側の
固定ピン７８と、上側のプッシュボルト８０との組合せ
から構成されており、これら固定ピン７８およびプッシ
ュボルト８０は、回転ホルダ６６の回転軸６８を上下か
ら挟むようにして配置されている。固定ピン７８はダイ
ホルダ３２の下部に固定され、回転ホルダ６６に向けて
突出されている。この場合、回転ホルダ６６の外面には
突部８２が形成され、この突部８２に固定ピン７８の先
端が当接することで、回転ホルダ６６は水平姿勢に位置
決めされている。そして、プッシュボルト８０はダイホ
ルダ３２に進退自在にねじ込まれ、その先端が回転ホル
ダ６６の外面に押し付けられている。このように回転ホ
ルダ６６の外面の上下位置にて、プッシュボルト８０お
よび固定ピン７８が当接されていると、回転ホルダ６６
はその回転が不能となり、その作動姿勢に安定して保持
される。

【００４４】上述した図８の支持機構の場合、エア抜き
作業を行うためには、先ずプッシュボルト８０を回し
て、その先端を回転ホルダ６６から離間させると、この
場合、スリットダイ４０はその作動姿勢から回転ホルダ
６６を介して図８中実線の矢印方向のみに回転でき、こ
れにより、スリットダイ４０の吐出口を上向きすること
ができる。この後、エア抜き作業が完了すると、回転ホ
ルダ６６の突部８２が固定ピン７８の先端に当接するま
で図８中破線の矢印方向に回転させて位置決めし、この
後、プッシュボルト８０をねじ込み、その先端を回転ホ
ルダ６６の外面に再び押し付けることで、回転ホルダ６
６、つまり、スリットダイ４０を元の作動姿勢に保持す
ることができる。

【００４５】図９の支持機構は、前述した固定ピン７８
およびプッシュボルト８０の代わりに上下一対のエアシ
リンダ８４を備えており、これらエアシリンダ８４はダ
イホルダ３２に取り付けられている。これらエアシリン
ダ８４のピストンロッドは回転ホルダ６６の外面にそれ
ぞれ当接され、これにより、回転ホルダ６６は水平姿勢
に位置決めされた状態で保持されている。ここで、一対
のエアシリンダ８４はそのピストンロッドの伸縮量がフ
ィードバック制御可能であり、そして、スリットダイ４
０が図９に示す作動姿勢にあるとき、各エアシリンダ８
４におけるピストンロッドの伸縮量は図示しない記憶装
置に記憶されている。

【００４６】図９の支持機構において、エア抜き作業を
行うためには、一対のエアシリンダ８４のピストンロッ
ドを収縮させて、回転ホルダ６６つまりスリットダイ４
０の回転を可能して、その吐出口を上向きとする。エア
抜き作業の完了後、スリットダイ４０をその吐出口が下
向きとなるように回転ホルダ６６を介して回転させ、そ
して、一対のエアシリンダ８４のピストンロッドを記憶
されている伸縮量まで伸張させる。一対のエアシリンダ
８４のピストンロッドはそれらの先端が回転ホルダ６６
の外面に当接すると、回転ホルダ６６の回転角を微調整
しながら、スリットダイ４０を元の作動姿勢に位置決め
して戻す。なお、この一対のエアシリンダ８４にリニア
モータを使用してもよい。図９の支持機構は、スリット
ダイ４０の回転を自動化する上で好適する。

【００４７】

【発明の効果】請求項１，４の塗布装置および塗布方法
によれば、エア抜き作業のために塗布器を回転させて
も、この後、塗布器を元の作動姿勢に正確に位置決めし
て戻すことができるので、塗工工程時には、塗布器の吐
出口と被塗布部材との間に正確なクリアランスを安定し
て確保でき、均一な塗膜の形成が可能となる。

【００４８】請求項２，５の塗布装置および塗布方法に
よれば、塗布器が作動姿勢にあるか否かを検出するよう
にしてあるので、塗布器が作動姿勢から外れ、エア抜き
作業の姿勢にあるときには被塗布部材に対する塗膜の形
成を不能にすることができる。請求項３，６のカラーフ
ィルタの製造装置および製造方法によれば、均一な塗膜
の形成が可能であるから、カラーフィルタの品質および
生産性を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】一実施例のダイコータを概略的に示した斜視図
である。

【図２】図１のダイコータを塗布液の供給系をも含めて
示した概略構成図である。

【図３】ダイホルダに対するスリットダイの支持機構を
一部破断して示す側面図である。

【図４】図３の支持機構を示す平面図である。

【図５】図３の支持機構を示す正面図である。

【図６】スリットダイの吐出口が上向きとなった状態を
一部破断して示す支持機構の側面図である。

【図７】図６の状態での支持機構の平面図である。

【図８】変形例の支持機構を示す図である。

【図９】他の変形例の支持機構を示す図である。

【符号の説明】

６ ステージ １４ フィードスクリュー ２２ 厚みセンサ ３２ ダイホルダ ４０ スリットダイ（塗布器） ４４ シリンジポンプ ５０ タンク ６２ マニホールド ６４ スリット ６６ 回転ホルダ ６８ 回転軸 ７０ テーパピン ７２ テーパ孔 ７４ テーパ孔 ７６ 近接センサ（検出手段） ７８ 固定ピン ８０ プッシュボルト ８２ 突部 ８４ エアシリンダ

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 塗布液を供給する供給手段と、 前記供給手段から供給された塗布液を吐出するために一
   方向に延びる吐出口を有する塗布器と、 前記塗布器および被塗布部材のうちの少なくとも一方を
   相対的に移動させる移動手段とを備えた塗布装置におい
   て、 前記吐出口の長手方向に沿う軸線周りに前記塗布器を回
   転可能に支持する支持手段と、 前記被塗布部材に対し前記吐出口が対向して平行となる
   作動姿勢に前記塗布器を位置決めする位置決め手段とを
   備えたことを特徴とする塗布装置。
2. 【請求項２】 前記塗布器が前記作動姿勢にあるか否か
   を検出する検出手段をさらに備えたことを特徴とする、
   請求項１に記載の塗布装置。
3. 【請求項３】 請求項１または２に記載の塗布装置を使
   用してカラーフィルタを製造することを特徴とするカラ
   ーフィルタの製造装置。
4. 【請求項４】 塗布器に設けられてなる一方向に延びる
   吐出口から塗布液を吐出しながら、前記塗布器および被
   塗布部材うちの少なくとも一方を相対的に移動させて前
   記被塗布部材に塗膜を形成する塗布方法において、 前記被塗布部材への塗膜の形成に先立ち、前記塗布器内
   のエア抜きのために前記吐出口の長手方向に沿う軸線周
   りに前記塗布器を回転させて前記吐出口を上向きとし、
   この後、前記被塗布部材に対し前記吐出口が対向して平
   行となる作動姿勢に前記塗布器を位置決めして戻すこと
   を特徴とする塗布方法。
5. 【請求項５】 前記塗布器が前記作動姿勢にあるか否か
   を検出することを特徴とする請求項４に記載の塗布方
   法。
6. 【請求項６】 請求項４または５に記載の塗布方法を用
   いてカラーフィルタを製造することを特徴とするカラー
   フィルタの製造方法。