KR101374096B1 - 스핀리스 코터 및 이를 이용한 코팅방법 - Google Patents

스핀리스 코터 및 이를 이용한 코팅방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 코팅물질을 기판에 분사하기 위한 슬릿노즐; 상기 슬릿노즐을 구동시키기 위한 슬릿노즐 구동부; 및 상기 슬릿노즐에 코팅물질을 공급하기 위한 코팅물질 공급부를 포함하여 이루어지고, 상기 슬릿노즐은 2개의 코팅물질 공급부와 연결되는 것을 특징으로 하는 스핀리스 코터에 관한 것으로서,
본 발명에 따르면, 슬릿노즐이 2개의 코팅물질 공급부와 연결되므로, 하나의 코팅물질 공급부가 코팅물질을 충전하고 있는 도중이라도 슬릿노즐은 다른 하나의 코팅물질 공급부로부터 코팅물질을 공급받을 수 있어, 공정시간을 단축시킬 수 있다.
스핀리스, 코팅물질 공급부

Description

스핀리스 코터 및 이를 이용한 코팅방법{Spinless Coater and Coating Method Using The Same}
도 1은 종래 기술에 따른 스핀리스 코터를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 스핀리스 코터를 개략적으로 도시한 블록도이다.
도 3은 도 2의 A영역을 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 스핀리스 코터의 슬릿노즐을 개략적으로 도시한 단면도로서, 도 3의 B-B'라인의 단면도이다.
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 스핀리스 코터를 개략적으로 도시한 사시도이다.
<도면의 주요부의 부호에 대한 설명>
100 : 슬릿노즐 200 : 슬릿노즐 구동부
300a, 300b : 코팅물질 공급부 400a, 400b : 연결라인
500a, 500b : 코팅물질 공급라인 600 : 기판
700 : 코팅물질 보관탱크 800 : 기포제거부
900 : 코팅물질 임시보관부
본 발명은 코팅장비에 관한 것으로 보다 구체적으로는 노즐분사방식을 사용하는 스핀리스 코터(Spinless Coater)에 관한 것이다.
표시화면의 두께가 수 센티미터(cm)에 불과한 초박형의 평판표시장치(Flat Panel Display), 그 중에서도 액정표시장치는 동작 전압이 낮아 소비전력이 적고 휴대용으로 쓰일 수 있는 등의 이점으로 노트북 컴퓨터, 모니터, 우주선, 항공기 등에 이르기까지 응용분야가 넓고 다양하다.
이런 액정표시장치의 제조공정에는 다수의 코팅공정이 적용되는데, 종래기술에 따르면 코팅공정은 스핀코터(Spin Coater) 또는 스피너(Spinner)라 불리는 도포기를 이용하여 이루어진다.
스핀코터를 이용한 코팅방법은 스핀(Spin)시 발생하는 원심력을 이용한 스핀 코팅방법인데, 그 과정을 살펴보면 소정의 점도를 가지는 코팅물질을 스핀코터의 회전판 상에 로딩된 기판에 적하하는 단계와, 상기 기판이 로딩된 회전판이 고속으로 회전하면서 원심력을 이용해 소정의 점도를 가지는 코팅물질을 균일하게 도포하는 단계로 구분될 수 있다.
상기 스핀 코팅방법에 의하면, 기판에 도포되는 양 이외에 많은 양의 코팅물질이 원심력에 의해 기판 밖으로 비산되기 때문에, 실제 코팅을 위해 사용되는 코팅물질의 양보다 낭비되는 코팅물질의 양이 훨씬 많다.
또한, 상기 기판 밖으로 비산되는 코팅물질은 이후 박막 형성공정에서 이물 로 작용되기 쉽고 환경오염의 원인이 되기도 한다.
상기 문제를 해결하고자, 스핀리스(Spinless) 코터를 이용하는 코팅방법이 제안되었다.
이하에서, 도면을 참조로 종래의 스핀리스 코터를 설명하기로 한다.
도 1은 종래 기술에 따른 스핀리스 코터를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 1에서 알 수 있듯이, 종래 기술에 따른 스핀리스 코터는 코팅물질을 기판(60) 상에 도포하는 슬릿노즐(10), 상기 슬릿노즐(10)을 일정한 방향으로 이동시키는 한 쌍의 슬릿노즐 구동부(20), 상기 슬릿노즐 구동부(20)의 일 측에 부착되는 코팅물질 공급부(30), 상기 코팅물질 공급부(30)로부터 상기 슬릿노즐(10)로 코팅물질을 공급하는 코팅물질 공급라인(40), 상기 코팅물질 공급부(30)에 코팅물질을 공급하는 연결라인(50)을 포함하여 이루어진다.
상기 슬릿노즐(10)은 긴 바(Bar) 형의 노즐로, 기판(60)과 대향하는 슬릿노즐(10)의 하단 중앙에는 미세한 슬릿형상의 분사구가 형성되며, 슬릿노즐(10)이 기판의 일 측에서 다른 일 측으로 일정한 속도록 이동할 때 상기 분사구를 통해 코팅물질이 기판(60)에 분사된다.
상기 슬릿노즐(10)에 코팅물질을 공급하며 공급되는 코팅물질에 소정의 압력을 가하여 코팅물질을 분사시키는 수단이 코팅물질 공급부(30)인데, 상기 코팅물질 공급부(30)는 펌프가 포함되어 일정한 압력을 슬릿노즐에 가하고 그 압력에 의해 슬릿노즐에 저장된 코팅물질은 분사된다.
상기 코팅물질 공급부(30)에 포함된 펌프는 외부로부터 코팅물질을 유입하여 충전된 후, 슬릿노즐(10)에 코팅물질을 공급한다.
상기 슬릿노즐(10)로 공급된 코팅물질은 슬릿노즐(10)이 슬릿노즐 구동부(20)에 의해 이동할 때 분사구를 통해 기판(60)에 분사된다.
상기 코팅물질이 기판(10)에 분사된 후, 코팅물질 공급부(30)는 다시 외부로부터 코팅물질을 유입하여 충전된다.
다만, 상기 코팅물질 공급부(30)의 펌프에 코팅물질이 충전되는 공정이 너무 길어, 스핀리스 코터에 새로운 기판(60)이 로딩된 후에도 일정시간동안 충전이 계속된다.
이 때, 슬릿노즐(10)은 대기상태에 있게 되므로, 장비의 효율성이 떨어지며, 공정시간 또한 길어지는 단점이 있다.
코팅물질 충전 속도가 빠른 펌프를 이용하는 것도 가능하나, 그 경우 고가의 펌프가격으로 인하여 제조비용이 증가하게 되고, 코팅물질 충전 속도가 빠른 펌프를 이용하면 코팅의 품질 또한 떨어진다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로,
본 발명의 목적은 슬릿노즐의 양 측에 코팅물질 공급부를 형성하여, 이를 교대로 가동하여 슬릿노즐에 코팅물질을 공급함으로써, 슬릿노즐이 대기상태에 있는 시간을 없애 장비의 효율성을 높이고, 공정시간을 단축시킬 수 있는 스핀리스 코터 및 이를 이용한 코팅방법을 제공하는 것이다.
본 발명은 상기와 같은 목적을 달성하기 위해서, 코팅물질을 기판에 분사하기 위한 슬릿노즐; 상기 슬릿노즐을 구동시키기 위한 슬릿노즐 구동부; 및 상기 슬릿노즐에 코팅물질을 공급하기 위한 코팅물질 공급부를 포함하여 이루어지고, 상기 슬릿노즐은 2개의 코팅물질 공급부와 연결되는 것을 특징으로 하는 스핀리스 코터를 제공한다.
상기 코팅물질 공급부는 상기 슬릿노즐에 코팅물질을 공급하는 펌프; 및 상기 펌프로부터 슬릿노즐에 공급되는 코팅물질의 이물질을 제거하기 위한 필터부를 포함하여 이루어질 수 있다.
상기 스핀리스 코터는 코팅물질을 저장, 공급하기 위한 코팅물질 보관탱크; 상기 코팅물질 보관탱크로부터 공급되는 코팅물질의 기포를 제거하기 위한 기포제거부; 및 상기 기포제거부로부터의 코팅물질을 코팅물질 공급부에 공급하기 전 임시로 보관하기 위한 코팅물질 임시보관부를 추가로 포함하여 이루어질 수 있다.
또한 본 발명은 상기와 같은 목적을 달성하기 위해서, 제 1 코팅물질 공급부에 코팅물질을 충전하는 공정; 상기 제 1 코팅물질 공급부에 충전된 코팅물질을 슬릿노즐에 공급하는 공정; 상기 슬릿노즐을 이동시켜 제 1 코팅물질 공급부로부터 공급된 코팅물질을 기판 상에 도포하는 공정; 제 2 코팅물질 공급부에 코팅물질을 충전하는 공정; 상기 제 2 코팅물질 공급부에 충전된 코팅물질을 상기 슬릿노즐에 공급하는 공정; 상기 슬릿노즐을 이동시켜 제 2 코팅물질 공급부로부터 공급된 코팅물질을 기판 상에 도포하는 공정을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 코팅방법을 제공한다.
제 2 코팅물질 공급부에 코팅물질을 충전하는 공정은 상기 슬릿노즐을 이동시켜 제 1 코팅물질 공급부로부터 공급된 코팅물질을 기판 상에 도포하는 공정 중에 이루어질 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 스핀리스 코터를 개략적으로 도시한 블록도이다.
본 발명의 실시예에 따른 스핀리스 코터는 코팅물질을 보관, 공급하기 위한 코팅물질 보관탱크(700), 기포제거부(800), 코팅물질 임시보관부(900), 코팅물질 공급부(300a, 300b), 코팅물질을 기판에 도포하는 슬릿노즐(100)을 포함하여 이루어진다.
상기 기포제거부(800)는 상기 코팅물질 보관탱크(700)로부터 공급된 코팅물질의 기포를 제거하기 위해 형성된다. 코팅물질에 기포가 포함된 채로 기판에 도포되는 경우 균일한 막을 얻을 수 없기 때문이다.
상기 코팅물질 임시보관부(900)는 코팅물질을 펌프(310)에 공급하기 전 임시적으로 보관하기 위해 형성된다. 기판에 도포되는 코팅물질의 양은 코팅물질 보관탱크(700)에 보관된 코팅물질의 양에 비해 극히 작으므로, 코팅물질은 코팅물질 보관탱크(700)보다 작은 코팅물질 임시보관부(900)에 저장되었다가 펌프(310)의 작용에 의해 펌프(310)로 코팅에 필요한 만큼 유입된다.
상기 코팅물질 공급부(300a, 300b)는 코팅물질 임시보관부(900)로부터의 코팅물질을 슬릿노즐(100)로 공급하기 위해 형성되며, 하나가 아닌 제 1 코팅물질 공 급부(300a) 및 제 2 코팅물질 공급부(300b)로 나누어 형성되어 슬릿노즐(100)의 양 측과 연결되어 있다. 상기 코팅물질 공급부(300a, 300b)는 코팅물질 공급라인(500a, 500b)에 의해 코팅물질 임시보관부(900)와 연결되고, 상기 슬릿노즐(100)과는 연결라인(400a, 400b)에 의해 연결된다.
제 1 코팅물질 공급부(300a) 및 제 2 코팅물질 공급부(300b)가 동일한 코팅물질 임시보관부(900)와 연결된 경우를 도시하였으나, 서로 다른 코팅물질 임시보관부(900)와 연결되어도 무방하다. 즉, 코팅물질 임시보관부(900)가 둘 이상 형성되고, 제 1 코팅물질 공급부(300a) 및 제 2 코팅물질 공급부(300b)가 각각의 코팅물질 임시보관부(900)와 연결될 수도 있다.
상기 코팅물질 공급부(300a, 300b)는 코팅물질 임시보관부(900)로부터의 코팅물질을 저장하였다가 펌핑작용에 의해 저장된 코팅물질을 슬릿노즐(100)로 압출하는 펌프(310a, 310b) 및 상기 펌프(310a, 310b)로부터 슬릿노즐(100)로 공급되는 코팅물질에 섞인 이물질 또는 응고된 코팅물질을 걸러주는 필터부(320a, 320b)를 포함하여 이루어진다.
본 발명의 제1실시예에 따른 스핀리스 코터는 두 개의 코팅물질 공급부(300a, 300b)를 구비하고 있기 때문에, 하나의 코팅물질 공급부가 고장 나더라도 다른 코팅물질 공급부를 이용해 코팅물질을 슬릿노즐(100)에 공급할 수 있어, 장비 가동의 탄력성이 좋아진다.
도 3은 도 2의 A영역을 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 3에서 알 수 있듯이, 본 발명의 실시예에 따른 스핀리스 코터는 기판(600) 상에 코팅물질을 분사하는 바(Bar) 형으로 구성되며 기판(600)을 가로질러 형성되는 슬릿노즐(100), 기판(600)의 양 측에 형성되어 상기 슬릿노즐(100)을 이동시키는 슬릿노즐 구동부(200), 상기 슬릿노즐 구동부(200)의 외측에 형성되는 코팅물질 공급부(300a, 300b), 슬릿노즐(100)을 연결하고 상기 코팅물질 공급부(300a, 300b)에서 슬릿노즐(100)로 코팅물질을 공급하는 연결라인(400a, 400b), 상기 코팅물질 공급부에 코팅물질을 공급하는 코팅물질 공급라인(500)을 포함하여 이루어진다.
상기 슬릿노즐 구동부(200)는 리니어(Linear) 모터(도시하지 않음)를 포함하고, 상기 리니어 모터에 의해 상기 슬릿노즐(100)을 기판(600)의 일 방향으로 이동시킨다.
상기 슬릿노즐(100)은 상기 슬릿노즐(100)의 양 측에 형성되는 슬릿노즐 구동부(200)에 연결되어 상기 슬릿노즐 구동부(200)의 이동에 따라 상기 기판(600) 상을 일정한 속도로 이동한다. 이 때, 상기 슬릿노즐(100)과 기판(600) 사이의 간격은 도포되는 코팅물질의 양과 점도를 고려하여 미세하게 제어된다. 코팅물질은 기판(600)에 도포되는 즉시 건조가 발생하기 때문에 도포된 후, 지연되는 시간에 따라 점도가 변할 수 있어 슬릿노즐(100)과 기판(600)의 간격이 미세하게 조절되어야 한다.
코팅물질 공급부(300a, 300b)를 하나의 블록으로 도시하였으나, 그 내부에는 코팅물질을 슬릿노즐(100)로 압출하는 펌프(310) 및 상기 펌프(310)로부터 슬릿노즐(100)로 공급되는 코팅물질에 섞인 이물질 또는 응고된 코팅물질을 걸러주는 필터부(320)가 포함되어 있다.
본 발명의 제1실시예에 따른 스핀리스 코터는 슬릿노즐(100) 양측의 슬릿노즐 구동부(200) 각각의 일측 모두에 코팅물질 공급부(300a, 300b)가 형성되어 있어, 한 쪽에만 코팅물질 공급부가 형성된 종래기술보다 균형의 측면에서 더 우수하다.
상기 연결라인(400a, 400b)은 슬릿노즐 구동부(300)로부터 인쇄노즐(100)로 코팅물질을 공급하기 위한 것으로, 도시하지는 않았으나, 밸브를 포함하여 이루어진다.
제 1 코팅물질 공급부(300a)로부터 코팅물질이 슬릿노즐(100)로 공급될 때, 제 2 연결라인(400b)에 형성된 밸브가 닫히고, 제 2 코팅물질 공급부(300b)로부터 코팅물질이 슬릿노즐(100)로 공급될 때, 제 1 연결라인(400a)에 형성된 밸브가 닫힌다.
즉, 어느 한 코팅물질 공급부(300a, 300b)로부터 슬릿노즐(100)로 코팅물질이 공급될 때, 슬릿노즐(100)에 연결된 다른 코팅물질 공급부(300a, 300b)로 코팅물질이 침투하지 못하도록 하기 위하여 밸브가 형성된다.
상기 밸브는 상기 연결라인(400a, 400b)에 형성되며, 코팅물질 공급부(300a, 300b)에 가까운 쪽에 형성되는 것이 바람직하다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 스핀리스 코터의 슬릿노즐을 개략적으로 도시한 단면도로서, 도 3의 B-B'라인의 단면도이다.
도 4에서 알 수 있듯이, 본 발명의 실시예에 따른 슬릿노즐(100)은 공급되는 코팅물질을 분사하기 전에 잠시 공급된 코팅물질을 저장하는 저장공간(120)이 구비되는데, 상기 저장공간(120)은 코팅물질 분사구(110)보다 그 지름이 크게 형성되면서 상기 슬릿노즐(100)의 길이방향으로 라인 형상으로 형성되어 있다.
상기 코팅물질 저장공간(120)은 상기 코팅물질 공급부(300a, 300b)에서 공급되는 코팅물질을 잠시 저장하였다가 상기 저장공간(120) 내에서 응축되는 코팅물질의 압력과 코팅물질 공급부(300a, 300b)에서 공급되는 압력에 의해 기판으로 코팅물질을 분출시킨다.
또한, 슬릿노즐(100)의 상단부는 제 2 코팅물질 공급부(300b)와 연결되는 제 2 연결라인(400b)과 나사선(130)에 의해 연결되어 있다.
본 발명의 제1실시예에 따른 스핀리스 코터의 동작을 도 2를 참조하여 살펴본다.
우선, 코팅물질 보관탱크(700)에 보관된 코팅물질은 기포제거부(800)를 거치면서 그 내부에 포함된 기포가 제거된 후, 코팅물질 임시보관부(900)에 보관된다.
그 후, 상기 코팅물질 임시보관부(900)에 보관된 코팅물질은 코팅물질 공급라인(500a)을 통하여 제 1 코팅물질 공급부(300a)의 펌프(310a)에 충전된 후, 필터부(320a)를 거쳐 연결라인(400a)을 통하여 슬릿노즐(100)에 공급된다. 슬릿노즐(100)에 코팅물질이 충전되면, 슬릿노즐 구동부(300a, 300b)에 의해 슬릿노즐(100)이 이동하여 기판 상에 코팅물질을 도포한다.
상기 코팅물질이 제 1 코팅물질 공급부(300a)의 펌프(310a)에 충전된 후, 필터부(320a)를 거쳐 연결라인(400a)을 통하여 슬릿노즐(100)에 공급되고, 슬릿노즐(100)이 기판 상에 코팅물질을 도포할 때, 코팅물질 임시보관부(900)에 보관된 코팅물질이 코팅물질 공급라인(500b)을 통하여 제 2 코팅물질 공급부(300b)의 펌프(310b)에 충전된다.
제 1 코팅물질 공급부(300a)의 펌프(310a)로부터 공급된 코팅물질의 코팅이 끝나면 코터에 새로운 기판이 로딩되고, 제 2 코팅물질 공급부(300b)의 펌프(310b)에 충전된 코팅물질이 필터부(320b)를 거쳐 제 2 연결라인(400b)을 통하여 슬릿노즐(100)에 공급된다. 슬릿노즐(100)에 코팅물질이 충전되면, 슬릿노즐 구동부(200)에 의해 슬릿노즐(100)이 이동하여 새로 로딩된 기판 상에 코팅물질을 도포한다.
상기 코팅물질이 제 2 코팅물질 공급부(300b)의 펌프(310b)에 충전된 후, 필터부(320b)를 거쳐 연결라인(400b)을 통하여 슬릿노즐(100)에 공급되고, 슬릿노즐(100)이 기판 상에 코팅물질을 도포할 때, 코팅물질 임시보관부(900)에 보관된 코팅물질이 코팅물질 공급라인(500a)을 통하여 제 1 코팅물질 공급부(300a)의 펌프(310a)에 충전된다.
이와 같이, 코팅물질을 제 1 코팅물질 공급부(300a) 및 제 2 코팅물질 공급부(300b)에 의해 번갈아 슬릿노즐(100)에 공급함으로써, 제 1 코팅물질 공급부(300a)에 의해 공급된 코팅물질이 기판 상에 도포될 때 제 2 코팅물질 공급부(300b)에 코팅물질이 충전되고, 제 2 코팅물질 공급부(300b)에 의해 공급된 코팅물질이 기판 상에 도포될 때 제 1 코팅물질 공급부(300a)에 코팅물질이 충전될 수 있어, 상기 슬릿노즐(100)은 대기시간 없이 계속적으로 기판 상에 코팅물질을 도포할 수 있다.
슬릿노즐(100)이 대기시간 없이 계속적으로 기판 상에 코팅물질을 도포할 수 있기 때문에, 공정시간이 단축되는 효과가 있다.
또한, 제 1 코팅물질 공급부(300a)에 의해 공급된 코팅물질이 기판 상에 도 포되는 동안, 제 2 코팅물질 공급부(300b)에 코팅물질이 충전되기 때문에 코팅물질 충전시간이 길어진다.
코팅물질 충전시간이 길어짐에 따라, 코팅물질 충전 속도가 느린 펌프(310)를 사용하더라도 대기시간 없이 계속적으로 기판 상에 코팅물질을 도포하는데 아무런 문제가 없다.
코팅물질 충전 속도가 느린 펌프(310)를 사용여도 문제없기 때문에, 생산설비에 드는 비용을 절감할 수 있다.
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 스핀리스 코터를 개략적으로 도시한 사시도이다.
본 발명의 제2실시예에 따른 스핀리스 코터는 제 1 코팅물질 공급부(300a) 및 제 2 코팅물질 공급부(300b)로부터 슬릿노즐(100)로 코팅물질을 공급하는 연결라인(400a, 400b)을 제외하고는 전술한 제1실시예에 따른 스핀리스 코터와 그 구성 및 동작이 동일하다.
도 5에서 알 수 있듯이, 본 발명의 제2실시예에 따른 스핀리스 코터의 연결라인(400a, 400b)은 슬릿노즐(100)의 양 측과 연결되는 것이 아니라, 중간에서 하나로 합쳐져 슬릿노즐의 가운데 부분과 연결된다.
상기 구성에 의한 본 발명에 따르면,
슬릿노즐이 2개의 코팅물질 공급부와 연결됨에 따라, 하나의 코팅물질 공급부가 코팅물질을 충전하고 있는 도중이라도 슬릿노즐은 다른 하나의 코팅물질 공급 부로부터 코팅물질을 공급받을 수 있어, 대기시간 없이 계속적으로 기판 상에 코팅물질을 도포할 수 있다.
대기시간 없이 계속적으로 기판 상에 코팅물질을 도포할 수 있기 때문에 장비의 효율성이 좋아지고, 공정시간 또한 단축시킬 수 있다.
또한, 하나의 코팅물질 공급부가 고장 나더라도 다른 코팅물질 공급부를 이용해 코팅물질을 슬릿노즐에 공급할 수 있어, 장비 가동의 탄력성이 좋아지고, 슬릿노즐 구동부의 양 측 모두에 코팅물질 공급부가 형성되어 있어, 한 쪽에만 코팅물질 공급부가 형성된 종래기술보다 균형의 측면에서 더 우수하다.
또한, 충분한 코팅시간이 확보되기 때문에, 코팅물질 충전 속도가 느린 펌프를 사용할 수 있어, 생산설비에 드는 비용을 절감할 수 있을 뿐 아니라 코팅의 품질까지 향상시킬 수 있다.

Claims (13)

  1. 코팅물질을 기판에 분사하기 위한 슬릿노즐;
    상기 슬릿노즐의 양측에 각각 형성되고, 상기 슬릿노즐을 일 방향으로 이동시키는 슬릿노즐 구동부;
    상기 슬릿노즐의 일측에 형성되고, 코팅물질을 보유하는 제 1 코팅물질 공급부;
    상기 슬릿노즐의 다른 일측에 형성되고, 상기 제 1 코팅물질 공급부와 동일한 코팅물질을 보유하는 제 2 코팅물질 공급부;
    상기 제 1 코팅물질 공급부와 상기 슬릿노즐 사이를 연결하도록 형성되고, 상기 제 1 코팅물질 공급부에 보유된 코팅물질을 상기 슬릿노즐로 공급하는 통로인 제 1 연결라인;
    상기 제 2 코팅물질 공급부와 상기 슬릿노즐 사이를 연결하도록 형성되고, 상기 제 2 코팅물질 공급부의 코팅물질을 상기 슬릿노즐로 공급하는 통로인 제 2 연결라인;
    상기 코팅물질을 저장, 공급하기 위한 코팅물질 보관탱크;
    상기 코팅물질 보관탱크로부터 공급되는 코팅물질의 기포를 제거하기 위한 기포제거부; 및
    상기 기포제거부로부터의 코팅물질을 상기 제 1 및 제 2 코팅물질 공급부에 공급하기 전 임시로 보관하기 위한 코팅물질 임시보관부를 포함하고,
    상기 제 1 및 제 2 코팅물질 공급부 각각은
    상기 슬릿노즐에 코팅물질을 공급하는 펌프; 및
    상기 펌프로부터 슬릿노즐에 공급되는 코팅물질의 이물질을 제거하기 위한 필터부를 포함하며,
    상기 제 1 및 제 2 코팅물질 공급부는 상기 슬릿노즐에 상기 코팅물질을 번갈아 공급하고,
    상기 제 1 및 제 2 연결라인 중 어느 하나를 통해 상기 코팅물질이 상기 슬릿노즐에 공급되는 동안, 다른 하나의 밸브는 닫히는 것이며,
    상기 제 1 및 제 2 연결라인은 하나로 합쳐져서, 상기 슬릿노즐과 연결되는 것이고,
    상기 슬릿노즐은 코팅물질 공급부로부터의 코팅물질을 저장할 수 있는 저장공간을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 스핀리스 코터.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 코팅물질 공급부 중 어느 하나는 상기 슬릿노즐의 일측에 형성된 상기 슬릿노즐 구동부의 측면에 형성되고, 다른 나머지 하나는 상기 슬릿노즐의 다른 일측에 형성된 상기 슬릿노즐 구동부의 측면에 형성되는 것을 특징으로 하는 스핀리스 코터.
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 슬릿노즐 구동부는 리니어(Linear) 모터를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 스핀리스 코터.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 슬릿노즐은 바(Bar) 형으로, 기판을 가로지르도록 형성되는 것을 특징으로 하는 스핀리스 코터.
  7. 삭제
  8. 제 1 코팅물질 공급부에 코팅물질을 충전하는 공정;
    제 1 연결라인을 통해 상기 제 1 코팅물질 공급부에 충전된 코팅물질을 슬릿노즐에 공급하는 공정;
    상기 슬릿노즐을 이동시켜 제 1 코팅물질 공급부로부터 공급된 코팅물질을 기판 상에 도포하고, 그와 동시에, 제 2 코팅물질 공급부에 상기 제 1 코팅물질 공급부와 동일한 코팅물질을 충전하는 공정;
    제 2 연결라인을 통해 상기 제 2 코팅물질 공급부에 충전된 코팅물질을 상기 슬릿노즐에 공급하는 공정;
    상기 슬릿노즐을 이동시켜 제 2 코팅물질 공급부로부터 공급된 코팅물질을 기판 상에 도포하고, 그와 동시에, 상기 제 1 코팅물질 공급부에 코팅물질을 충전하는 공정을 포함하여 이루어지고,
    상기 제 1 및 제 2 코팅물질 공급부 중 어느 하나는 상기 슬릿노즐의 일측에 형성되고, 다른 나머지 하나는 상기 슬릿노즐의 다른 일측에 형성되는 것이며,
    상기 제 2 코팅물질 공급부에 상기 코팅물질을 충전하는 공정에서, 상기 제 2 연결라인의 밸브를 닫고,
    상기 제 1 코팅물질 공급부에 상기 코팅물질을 충전하는 공정에서, 상기 제 1 연결라인의 밸브를 닫으며,
    상기 제 1 및 제 2 연결라인은 하나로 합쳐져서, 상기 슬릿노즐과 연결되는 것을 특징으로 하는 코팅방법.
  9. 삭제
  10. 제8항에 있어서,
    상기 제 1 코팅물질 공급부에 코팅물질을 충전하는 공정에서, 코팅물질 임시보관부에 보관된 코팅물질을 상기 제 1 코팅물질 공급부에 충전하고,
    상기 제 2 코팅물질 공급부에 코팅물질을 충전하는 공정에서, 상기 코팅물질 임시보관부에 보관된 코팅물질을 상기 제 2 코팅물질 공급부에 충전하는 것을 특징으로 하는 코팅방법.
  11. 제10항에 있어서,
    코팅물질을 코팅물질 보관탱크부터 기포제거부로 공급하는 공정;
    상기 기포제거부에 의해 기포가 제거된 코팅물질을 코팅물질 임시보관부에 공급하는 공정을 추가로 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 코팅방법.
  12. 삭제
  13. 삭제
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