KR101641071B1 - 초격자 크레넬레이트 게이트 전계효과 트랜지스터 - Google Patents

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에릭 제이 스튜워트
베티나 에이 네차이
저스틴 에이 파크
할란 씨 크레머
제프리 디 하트먼
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노스롭 그루먼 시스템즈 코포레이션
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Abstract

본 발명은 최상측 2DxG 채널, 최하측 2DxG 채널 및 최상측 2DxG 채널과 최하측 2DxG 채널 사이에 위치된 적어도 한 중간 2DxG 채널을 갖는 초격자 구조를 포함하는 에피택셜 구조, 2DxG 채널들 각각에 동작적으로 연결된 소스 및 드레인 전극들 및 소스 전극과 드레인 전극 사이에 위치된 복수의 트렌치들을 포함하는, 장치에 관한 것이다. 각 트렌치는 제1 측벽, 제2 측벽 및 이들 사이에 위치된 바닥을 정의하는 길이, 폭 및 깊이 치수들을 가지며, 각 트렌치의 바닥은 최하측 2DxG 채널에 있거나 밑에 있다. 최상측 2DxG 채널 상에 크레넬레이트 게이트 전극이 위치되고, 게이트 전극은, 게이트 전극의 저면이 트렌치들 각각의 제1 측벽 표면, 저면 및 제2 측벽 표면과 병렬로 있게, 트렌치들 각각 내에 위치된다.

Description

초격자 크레넬레이트 게이트 전계효과 트랜지스터{SUPERLATTICE CRENELATED GATE FIELD EFFECT TRANSISTOR}
본 발명은 헤테로구조 전계-효과 트랜지스터("FET")에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 모두가 비교적 낮은 게이트 전압의 인가에 의해 턴 "오프"될 수 있는 것인 복수의 2차원 전자 가스(2DEG) 채널들을 가진 초격자 구조를 갖는 헤테로구조 FET에 관한 것이다. 본 발명은 복수의 2차원 정공 가스(2DHG) 채널들을 가진 초격자 구조에 똑같이 적용될 수 있다. 본 발명은 특히 노멀리 온(normally-on) RF 스위치로서 이용될 수 있다.
고 품질의 RF 스위치는 이상적으로는, 오프-커패시턴스(Coff)를 최소화하면서도, 온-저항(Ron)을 최소화하게 설계된다. 이상적인 RF 스위치는, "온"되었을 때, 신호를 감쇠, 왜곡 혹은 삽입 손실(이들 모두는 온-저항의 함수이다) 없이 통과시키고, "오프"되었을 때는 신호를 격리시키고 이것이 스위치를 통해 누설(누설은 오프-커패시턴스의 함수이다)하지 못하게 한다.
가능한 한 많은 응용들에서 RF 스위치를 사용할 수 있기 위해서, RF 스위치는 RF 스위치에 대한 성능지수(Figure of Merit), RF 스위치 차단 주파수에 비례하는 큰 대역폭을 갖는 것이 바람직하다. RF 스위치 차단 주파수(FCO)에 대한 공식은 다음과 같다:
FCO = 1/(2πRonC0ff) [식1]
통상의 FET 설계에서, 이를테면 장치의 주변(periphery)을 증가시킴으로써 온-저항을 낮추려는 어떠한 시도이든 일반적으로 오프-커패시턴스가 비례적으로 증가되게 한다. 온-저항과 오프-커패시턴스 간에 반비례 관계를 감안하면, 손실을 개선함(예를 들면, 낮춤)과 동시에 격리에 악영향을 미치지 않기는(예를 들면, 낮추기는) 어렵다.
종래의 기술은 실험실 세팅에서, 복수의 2DEG 채널을 갖는 헤테로구조 FET를 제작함으로써 온-저항을 감소시키려고 시도하였다. "헤테로구조"(또한, "헤테로-접합")라는 용어는 서로 밀접히 접촉하는 서로 상이한 물질의 2개의 별개의 층들을 갖는 구조를 지칭한다. 초격자 구조는 적층된 관계로 서로 적재하여 복수의 주기적으로 반복되는 헤테로접합을 제조함으로써 형성된다.
알루미늄 갈륨 나이트라이드(AlGaN) 및 갈륨 나이트라이드(GaN)와 같은 어떤 헤테로구조 물질은 2개의 서로 상이한 물질들 간에 계면에, 이들 간에 압전 효과 및 자발 분극 효과로부터 비롯되는 전자 웰(즉, 전자 시트(sheet))을 생성한다. 이 계면에 형성되는 결과적인 전자 시트를 일반적으로 2차원 전자 가스("2DEG") 채널이라고 한다. 2DEG 채널 내에 전자를 발생시키고 제어함으로써 동작하는 FET를 통상적으로 고 전자 이동도 트랜지스터("HEMT")라고 한다.
복수의 이들 두 물질 헤테로구조를 적층함으로써, 그리고 복수의 헤테로구조 층들을 적층하였을 때 2DEG 채널들의 존재를 유지하기 위해 층들에 적합한 도핑을 추가하여, 전자 시트는 병렬로 작용할 수 있고, 초격자 장치를 통해 더 큰 전류 흐름을 가능하게 한다.
이 유형의 FET가 "온"하였을 때, 다수의 2DEG 채널들은 비례적으로 더 큰 전류가 소스와 드레인 간에 흐를 수 있게 하여 온-저항에 전체적 감소를 초래하기 때문에, 초격자 장치는 단일의 헤테로구조-층 장치에 비해 더 낮은 온-저항을 갖는다.
공교롭게도, 복수의 적층된 헤테로구조 층들은 적층된 층들의 수에 비례하여 오프-커패시턴스를 증가시키지 않는다. 온-저항은 2차원 측정(즉, 소스와 드레인 간에)이며, 반면 오프-커패시턴스는 3차원 측정인 것으로, 오프-상태 차단 전압은, 프린징 필드 커패시턴스를 가지며 오프-상태 커패시턴스의 상당 부분을 형성하는 것인 3차원 프린징 필드를 야기하는데, 이는 소스와 드레인 간에 물질의 용적 및 유형 뿐만 아니라, 이들 사이에 간격의 함수이다. 헤테로구조 층들이 상대적으로 얇은 경우, 소스와 드레인 간에 용적 면에서 물질은 비례적으로 증가되지 않는다. 이에 따라, 박막의 적층된 헤테로구조 구성은 오프-커패시턴스에 비례적으로 영향을 미침이 없이 온-저항을 감소시키며, 그렇게 함으로써 더 높은 차단 주파수 및 이에 따라 더 큰 대역폭을 가능하게 한다.
종래의 기술이 실험실 세팅에서, 적층된 헤테로구조 FET를 제작할 수 있었지만, 종래의 기술 장치는 과도하게 큰 누설 전류를 나타내며, 비교적 높은 게이트 전압을 인가하여도 완전히 턴 "오프"될 수 없어, 이러한 장치의 이용이 제한적이게 된다. 예로서, 본원의 참조문헌에 포함되는, T. Palacios, et al., "Use of Double-Channel Heterostructures to Improve the Access Resistance and Linearity in GaN-Based HEMTs", IEEE Transactions on Electron Devices, Vol. 53, No. 3, pgs. 562-65 (Mar. 2006) [참조문헌 1]; R. Chu, "AlGaN-GaN Double-Channel HEMTs", IEEE Transactions on Electron Devices, Vol. 52, No. 4, pgs. 438-46 (Apr. 2005) [참조문헌 2]; S. Heikman, et al., "High conductivity modulation doped AlGaN/GaN multiple Channel Heterostructures", J. of Applied Physics, Vol. 94, No. 8, pgs. 5321-25 (Oct. 15, 2003) [참조문헌 3]; 및 N.H. Sheng, et al., "Multiple-Channel GaAs/AlGaAs High Electron Mobility Transistors", IEEE Electron Device Letters, Vol. EDL-6, No. 6, pgs. 307-10 (Jun. 1985) [참조문헌 4]을 참조한다.
본 발명의 장치가 복수의 2DEG 채널을 갖는 초격자 구조에 관련하여 기술되지만, 본 발명의 크레넬레이트(crenelated) 게이트는 복수의 2차원 정공 가스(2DHG) 채널들을 갖는 초격자 구조에 똑같이 적용될 수 있음이 이해될 것이다. 따라서, 본원에서 사용되는 바와 같이, "2DxG 채널(들)"이라는 용어는 일반적으로, 유사한 2DHG 채널(들) 뿐만 아니라, 2DEG 채널(들)을 지칭한다.
일반적으로, 본 발명은 자체 내에 복수의 2DxG 채널들을 갖는 초격자 구조, 소스, 드레인 및 얼마나 많은 2DxG 채널들이 자체에 내포되어 있는지에 관계없이, 통상의 게이트 전압 레벨을 사용하여 모든 2DxG 채널을 효과적으로 제어할 수 있는 크레넬레이트 게이트를 포함하는 전계-효과 트랜지스터 장치에 관한 것이다.
구체적으로, 본 발명은 최상측 2DxG 채널, 최하측 2DxG 채널 및 최상측 2DxG 채널과 최하측 2DxG 채널 사이에 위치된 적어도 한 중간 2DxG 채널을 갖는 초격자 구조를 포함하는 에피택셜 구조, 2DxG 채널들 각각에 동작적으로 연결된 소스 전극, 2DxG 채널들 각각에 동작적으로 연결된 드레인 전극, 소스 전극과 드레인 전극 사이에 위치된 복수의 트렌치들을 포함하는 장치에 관한 것이다. 트렌치들 각각은 제1 측벽 표면, 제2 측벽 표면 및 이들 사이에 위치된 저면을 정의하는 길이, 폭 및 깊이를 가지며, 트렌치들 각각의 저면은 바람직하게는 최하측 2DxG 채널에 있거나 밑에 있다. 또한, 장치는 최상측 2DxG 채널 상에 위치된 크레넬레이트 게이트 전극을 포함하고 게이트 전극은 트렌치들 각각 내에 위치된다. 게이트 전극은 상면 및 저면을 가지며 게이트 전극의 저면은 트렌치들 각각의 제1 측벽 표면, 저면 및 제2 측벽 표면과 병렬로 있다.
초격자 구조는 바람직하게는 복수의 헤테로구조를 포함하고, 헤테로구조들 각각은 제1 층 상에 위치된 제1 층 및 제2 층을 가지며 각 헤테로구조 내에 각 2DxG 채널은 제1 층과 제2 층 사이에 계면에 근접하여 위치된다.
바람직하게는 헤테로구조들 중 적어도 하나 내에 제1 층과 제2 층 사이에 계면에 근접하여 델타 도핑 물질이 위치된다.
2DxG 채널들 각각은 바람직하게는, 소스 전극의 제1 길이 에지, 드레인 전극의 제1 길이 에지, 드레인 전극의 후방 폭 에지, 드레인 전극의 제2 길이 에지, 소스 전극의 제2 길이 에지, 소스 전극의 후방 폭 에지에 의해 정의되는 4각형 내에 경계를 이룬다.
장치는 소스 전극 아래에 위치된 비아를 더 포함하고, 비아는 폭 및 깊이를 가지며, 비아의 폭은 소스 전극의 폭 미만 혹은 실질적으로 동일하고, 비아의 깊이는 최하측 2DxG 채널에 있거나 밑에 있다. 소스 전극과 2DxG 채널들 각각 사이에 저-저항 오믹 접촉이 될 수 있게 하기 위한 도펀트를 갖는 물질이 비아 내에 위치된다.
저면과 각 트렌치의 제1 측벽 표면 간 각도는 바람직하게는 약 110도 미만이다.
트렌치들 각각의 길이는 소스 전극의 전방 에지와 드레인 전극의 전방 에지 간에 거리 미만이거나 실질적으로 동일하거나 더 클 수 있다.
장치는 바람직하게는 유전체 물질을 갖는 층을 더 포함하고, 층은 초격자 구조의 적어도 부분 상에 위치된다.
도 1은 본 발명의 에피택셜 구조의 바람직한 실시예의 측면도이다.
도 2는 위에 게이트 전극 없이 도시된 본 발명의 전계효과 트랜지스터의 바람직한 실시예의 평면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 채널들 중 하나의 3차원도이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예의 평면도이다.
도 5는 라인 5-5에서 취해진 도 4의 단면도이다.
도 6은 라인 6-6에서 취해진 도 4의 단면도이다.
도 7은 라인 7-7에서 취해진 도 4의 단면도이다.
도 8은 라인 8-8에서 취해진 도 4의 단면도이다.
도 9는 본 발명의 제2 실시예의 평면도이다.
도 10은 라인 10-10에서 취해진 도 4의 단면도이다.
도 11 내지 도 14는 본 발명의 제3 실시예의 여러 단면도이다.
도 15는 본 발명의 제4 실시예의 단면도이다.
본 발명의 장치가 복수의 2DEG 채널을 갖는 초격자 구조에 관련하여 기술되지만, 본 발명의 크레넬레이트 게이트는 복수의 2차원 정공 가스(2DHG) 채널을 갖는 초격자 구조에 똑같이 적용될 수 있음이 이해될 것이다. 따라서, 본원에서 사용되는 바와 같이, "2DxG 채널(들)"이라는 용어는 일반적으로 유사한 2DHG 채널(들) 뿐만 아니라 2DEG 채널(들)을 지칭한다.
본 발명은 자체 내에 복수의 2DxG 채널들을 갖는 초격자 구조, 소스, 드레인 및 얼마나 많은 2DxG 채널들이 자체에 내포되어 있는지에 관계없이, 통상의 게이트 전압 레벨을 사용하여 모든 2DxG 채널을 효과적으로 제어할 수 있는 크레넬레이트 게이트를 포함하는 전계-효과 트랜지스터 장치에 관한 것이다.
이제 도 1로 가면, 본 발명의 에피택셜 구조의 바람직한 실시예의 측면도가 도시되었다. 에피택셜 구조(100)는 바람직하게는 베이스 구조(102) 및 초격자 구조(110)를 포함한다.
베이스 구조(102)는 이 위에 초격자 구조(110)의 성장, 피착 혹은 이외 다른 형성을 할 수 있게 하며, 당업자가 알게 되는 바와 같이, 호모에피택셜 프로세스(즉, 베이스 물질이 초격자 물질과 동일하다) 혹은 헤테로에피택셜 프로세스(즉, 베이스 물질이 초격자 물질과는 상이하며, 버퍼를 채용한다)의 부분일 수 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 베이스 구조는 바람직하게는, 각각, 실리콘 카바이드(SiC), 알루미늄 나이트라이드(AlN) 및 알루미늄 갈륨 나이트라이드(AlGaN)의 기판층(104), 핵형성(nucleation) 층(106) 및 버퍼층(108)을 포함한다. 선택적으로, 베이스 구조는 사파이어의 기판층, 저온 GaN 층 및 고온 GaN 층과의 조합을 포함하는 핵형성 층 및 요구된다면, 위에 위치될 초격자 구조의 물질에 기반한 버퍼층을 포함할 수 있다. 베이스 구조는 대안적으로, (111)-방위의 결정질 실리콘의 기판층, AlN을 포함하는 핵형성 층, 및 각 개별 층이 상이한 알루미늄 조성을 갖는 것인 일련의 개별 AlGaN 층들(일반적으로 2 내지 8개의 층)을 포함하는 버퍼층을 포함할 수 있다. 이외 다른 베이스 구조들이 당업자에게 명백할 것이다.
바람직한 실시예에서, AlGaN 버퍼 층 내 알루미늄의 백분률은 바람직하게는 0% 내지 약 10% 사이의 범위 내이다. 저 AlGaN 합금은 이 층을, 장치가 "온"되었을 때 초격자 구조로부터 베이스 구조로 임의의 전류 누설을 실질적으로 최소화하기 위한 효과적인 백 배리어(back barrier) 층 뿐만 아니라, 버퍼층으로서도 작용할 수 있게 함이 발견되어졌다. 이외 다른 물질 및/또는 물질 조성들이 당업자에게 명백할 것이다.
초격자 구조(110)는 복수의 헤테로구조를 포함하며, 각 헤테로구조는 바람직하게는 2개의 서로 상이한 물질들 사이에 계면에 전자 시트(즉 2DEG 채널) 혹은 정공 시트(즉, 2DHG 채널)를 생성하게 설계된 서로 상이한 물질들의 2개의 층을 포함한다. 사이에 계면에 2DEG 채널과 2DHG 채널을 생성하기 위한, 알루미늄 갈륨 나이트라이드(AlGaN) 및 갈륨 나이트라이드(GaN), 알루미늄 갈륨 비소(AlGaAs) 및 갈륨 비소(GaAs), 인듐 알루미늄 나이트라이드(InAIN) 및 갈륨 나이트라이드(GaN), 실리콘(Si) 및 게르마늄(Ge)의 합금, 및 비중심대칭(noncentrosymmetric) 산화물을 포함하여 -그러나 이들로 제한되지 않는다-, 다양한 헤테로구조 물질이 공지되어 있다. 예로서, M. Myronov, et al, "Observation of two-dimensional hole gas with mobility and carrier density exceeding those of two-dimensional electron gas at room temperature in the SiGe heterostructures", Appl. Phys. Lett. 91, 082108 (2007) [참조문헌 5]; 및 P. Shiv Halasyamati, et al, "Noncentrosymmetric oxides", Chem. Mater. 1998, 10, 2753-2769 [참조문헌 6]을 참조한다.
바람직한 실시예에서, 초격자 구조(110)는 2 내지 N 사이의 복수의 헤테로구조를 포함하며, N은 층들 혹은 2DEG 채널들 내에 크랙 혹은 이외 다른 기계적 결함 없이 서로의 위에 성장되거나, 피착되거나, 아니면 형성될 수 있는 헤테로구조들의 최대의 수로서 정의된다. 당업자가 알게 되는 바와 같이, N의 값은 각 층의 특정한 헤테로구조 물질들 및 두께의 함수이다.
초격자 구조(110)는 각 헤테로구조가 각 헤테로구조 내에 계면에 연속된 2DEG 채널(도시되지 않음)을 형성하는 것인 GaN(층(112, 116, 120, 124, 128, 132)) 및 AlGaN(층(114, 118, 122, 126, 130, 134))이 교번하는 층들을 포함하는, 6개의 헤테로구조들, 즉, 층들(112/114, 116/118, 120/122, 124/126, 128/130, 132/134)을 갖는 것으로서 도 1에 도시되었다. 당업자가 알게 되는 바와 같이, 초격자 구조 및 헤테로물질들 내에 헤테로구조들의 구체적 개수는 다양할 수 있고, AlGaN 및 GaN의 상대적 위치들은 반대가 될 수도 있다.
초격자 구조의 AlGaN 층들 내 알루미늄의 백분률은 약 0.1 내지 100 퍼센트의 범위일 수 있다. 바람직한 실시예에서, 초격자 구조의 AlGaN 층 내 알루미늄의 백분률은 바람직하게는 약 20% 내지 100% 알루미늄-함량 알루미늄 갈륨 나이트라이드(각각, Al0.2Ga0.8N 및 AlN) 사이이다. 구체적 조성은 당업자에게 명백할 것이다.
층(114, 118, 122, 126, 130, 134) 내 피착되는 AlGaN는 그레이드(grade)되거나 그레이드되지 않을 수 있다. 바람직한 실시예에서, 초격자 구조 내에 각 AlGaN 층은 그레이드되는데, "그레이드된"이라는 용어는, 이 기술에 공지된 바와 같이, 갈륨의 백분률에 비해 알루미늄의 백분률이 이의 특정된 백분률까지 점차적으로 변하는 프로세스를 나타내기 위해 사용된다.
층(112-134)의 치수상의 두께는 중대하지 않지만, GaN 층(112)의 바람직한 두께는 적어도 약 30 나노미터이며, GaN 층(116, 120, 124, 128, 132)의 바람직한 두께는 약 1 나노미터 내지 약 50 나노미터 사이이며, AlGaN 층(114, 118, 122, 126, 130, 134)의 바람직한 두께는 약 1 나노미터 내지 약 50 나노미터 사이이다. 구체적 층 두께는 당업자에게 명백하게 되는 바와 같이, 요망되는 에피택셜 특징의 함수이다.
AlGaN 층(114, 118, 122, 126, 130) 각각의 피착, 성장 혹은 이외 다른 형성 프로세스 동안에, 실리콘(Si)과 같은 n-형 도펀트의 델타 도핑은 바람직하게는 짧은 시간 동안 도펀트 가스를 도입함으로써 이러한 AlGaN 층들 각각의 초반에서 첨가되어, AlGaN 층들 내 국한된 두께에 대한 델타-도핑이 각 헤테로구조 내에 2DEG 채널을 유발시킬 수 있게 한다. 유사하게, 적용할 수 있을 때, 관련된 헤테로구조들 내 2DHG 채널을 유발시키기 위해 마그네슘(Mg)과 같은 p-형 도펀트가 도입될 것이다. 이외 다른 n-형 도펀트 및 p-형 도펀트는 당업자에게 명백할 것이다.
단일의 헤테로구조에서, 서로 상이한 물질들은, 헤테로구조에 의해 형성되는 포텐셜 웰(potential well) 내에 형성하기 위한, 즉 2DxG 채널을 생성하기 위한 캐리어들이 분극 및/또는 압전 효과에 의해 유발될 수 있게 하는 불균형 스트레스를 시스템 내에 야기한다. 다수의 헤테로구조들이 서로 적재되어 적층되는 초격자 구조에서, 맨 위에 헤테로구조 밑에 모든 헤테로구조들은 균형이 맞게 될 것이며, 아니었다면 이들 포텐셜 웰 내에 유발되었을 캐리어들은 유발되지 않을 것이다. 포텐셜 웰이 형성되는 계면에 근접하여 도핑층을 추가하는 것은 이 포텐셜 웰에 캐리어들이 유발되게 작용하여, 다수의 대칭 헤테로구조들의 균형 효과가 없었다면 발생하였을 수도 있었을 효과를 대체할 것이다. 바람직한 실시예에서, 델타-도핑 농도은 바람직하게는 약 1E17 cm-3 내지 약 1E20 cm-3 사이이다. 이외 다른 델타-도핑 농도는 당업자에게 명백할 것이다.
층(136)은 선택적으로, 초격자 구조의 맨 위에 층 상에, 최종의 패시베이션 층으로서 혹은 MISFET(즉, 금속 절연체 반도체 전계효과 트랜지스터)을 위한 유전체로서 위치될 수 있다. 어느 경우이든, 층(136)은 예를 들면, 나이트라이드(예를 들면, SiN, Si3N4 및 AlN) 혹은 산화물(예를 들면, SiO2, ZrO2, Hf02 및 TiO2)을 포함할 수 있고, 바람직하게는 실리콘 나이트라이드(Si3N4 혹은 SiNx)이다. 층의 치수적 두께는 중요하진 않지만, 이의 바람직한 두께는, 포함되었을 때, 약 1 나노미터 내지 약 200 나노미터 사이이고, 더 바람직하게는 약 10 나노미터이다. 이외 다른 층 물질 및/또는 치수는 당업자에게 명백할 것이다.
본 발명의 에피택셜 구조의 바람직한 실시예가 도 1에 관련하여 기술되었지만, 복수의 2DEG 채널을 가진 초격자 구조를 포함하는 전계-효과 트랜지스터는 이전에는 소스와 드레인 사이에 플래나(planar) 게이트를 사용함으로써 제어하기가 어려웠다. 예를 들면, 참조문헌 1 내지 4를 참조한다.
예 1
각 헤테로구조가 GaN 층 상에 40% 그레이드된 AlGaN 층에 의해 형성되고 자체 내에 2D EG 채널을 내포하는 것인 6개의 헤테로구조들을 포함하는 초격자 구조를 갖는 에피택시 상에 피착된 소스, 드레인 및 게이트를 갖는 노멀리 온 전계효과 트랜지스터가 설계되었다. 6개의 AlGaN 층들 각각은 약 7.5 나노미터 두께이었다. 상부에 5개의 GaN 층들은 각각 약 8 나노미터 두께이었고, 맨 밑에 GaN 층은 약 50 나노미터 두께이었다. 이 위에 플래나 쇼트키 게이트(planar Schottky gate)가 소스와 드레인 사이에 피착되었다. 장치 내에 모든 2DEG 채널들을 턴 "오프"하기 위해 요구되는 유효 게이트 전압을 결정하려는 노력으로 다양한 게이트 전압들이 인가되었다. -20V의 게이트 전압은 제2 2DEG 채널 바로 밑에까지 초격자 구조를 침투하여, 상부에 2개의 2DEG 채널들을 통하는 전류 흐름을 멈추게 하고 반면 전류가 그 밑에 다른 4개의 2DEG 채널들을 통해서는 흐를 수 있게 함을 보였다. -100V의 게이트 전압은 상측 4개의 2DEG 채널을 침투하여, 이를 통한 전류 흐름을 멈추게 하지만 전류가 맨 밑에 2개의 2DEG 채널들에서는 줄지 않고 흐를 수 있게 함을 보였다. 이 후에 실험은 -100V을 초과하는 게이트 전압의 인가는 상업적으로 비현실적이라는 합의에 기초하여 계속되지 않았다.
이제 도 2로 가면, 본 발명의 노멀리 온(normally-on) 전계효과 트랜지스터의 바람직한 실시예의 평면도가 도시되었다. 장치(200)는 바람직하게는, 초격자 구조(110)의 상부 내로 에칭된 복수의 트렌치(206) 뿐만 아니라, 도 1에 관련하여 하여 도시되고 기술된 초격자 구조(110) 상에 위치된 소스 전극(202) 및 드레인 전극(204)을 포함한다. 장치(200)는 초격자 구조(110) 상에 선택적인 층(136)을 포함하지 않는다.
소스 전극(202) 및 드레인 전극(204)은 바람직하게는 통상의 방법으로 초격자 구조 상에 피착되고, 각각은 초격자 구조(110)와의 오믹 접촉을 갖는다. 도 1에 관련하여 기술된 AlGaN 초격자 구조에 있어서, 소스 전극 및 드레인 전극은 바람직하게는, 이 기술에 공지된 바와 같이, 티타늄, 알루미늄 및 금의 층들을 포함하는 통상의 전극 물질이다. 이외 다른 소스 및 드레인 전극 조성들은 당업자에게 명백할 것이다.
바람직한 실시예에서, 게이트 전극(도 2엔 도시되지 않음; 도 4에서는 402; 및 도 9에서는 902)은 트렌치(206) 위에 초격자 구조(110) 상에 피착된다. 도 1에 관련하여 기술된 AlGaN 초격자 구조에 있어서, 게이트 전극은 바람직하게는 이 기술에 공지된 바와 같이 니켈 및 금의 층들을 포함하는 통상의 전극 물질이다. 이외 다른 게이트 전극 조성들은 당업자에게 명백할 것이다.
도 3를 참조하면, 트렌치 치수적 길이(L), 폭(W) 및 깊이(D)를 나타내는 트렌치들 중 하나의 3차원도가 도시되었다. 각 트렌치의 깊이는 바람직하게는 초격자 구조(110) 내에 내포된 맨 밑에 2DxG 채널에 있거나, 더 바람직하게는 밑에 있다. 각 트렌치의 깊이가 정밀하게 혹은 실질적으로 맨 밑에 2DxG 채널에 있게 함에 있어 현재의 제조 기술의 부정확을 감안하면, 각 트렌치의 깊이는 초격자 구조(110) 내에 내포된 맨 밑에 2DxG 채널 밑에 있는 것이 가장 바람직하다. 각 트렌치의 길이는 가변적이며, 툴링(tooling)이 허용한다면 0.01 미크론 이하만큼 작을 수 있고, 소스 전극(202)과 드레인 전극(204) 간 거리만큼 클 수 있다. 각 트렌치의 폭 또한 가변적이며 툴링이 허용한다면 0.01 미크론 이하일 수 있다.
각 트렌치는 장치(200)로부터 초격자 구조(110)의 부분을 제거함으로써 형성된다. 초격자 구조에 마스크를 사용하여 트렌치(206)가 형성되지만, 트렌치는 바람직하게는 에칭 프로세스에 의해 형성된다. 예로서, 참조문헌으로 본원에 포함하는, D. Paramanik, et al, "Formation of large-area GaN nanostructures with controlled geometry and morphology using top-down fabrication scheme", J. Vac. Sci. Technol. B 30, 052202 (2012) [참조문헌 7]을 참조한다. 초격자 구조 내에 트렌치(206)을 형성하는 이외 다른 방법은 당업자에게 명백할 것이다.
각 트렌치 간 간격 뿐만 아니라, 트렌치들의 수, 각 트렌치의 길이 및 폭은 요망되는 장치 특징 및 초격자 구조를 포함하는 헤테로구조 물질의 함수이다. 각 트렌치(즉, 초격자 구조(110)의 에칭되지 않은 부분) 간 간격은 에칭될 트렌치의 수, 각 트렌치의 폭 및 장치의 전체 폭의 함수이다.
각 트렌치에 대해 주어진 길이 및 주어진 폭을 특정하는 것은 제조의 용이성과 이를테면 파워 취급 용량, 삽입 손실, 격리 및 장치를 턴 "오프"하기 위한 임계 전압과 같은 전체 장치 특징 간에 절충이다. 예를 들면, 더 긴 L 및 더 넓은 W를 갖는 트렌치가 제조하기가 더 쉽고, 이에 따라 수율이 더 높아질 수 있게 하지만, 이러한 치수 선택은 초격자 구조를 통하는 감소된 전류 흐름 및 증가된 장치 저항(더 적은 초격자 구조가 남아 있기 때문에)을 초래한다. 반대로, 더 짧은 L 및 더 좁은 W은 개선된 전류 흐름 및 감소된 장치 저항(더 많은 초격자 구조가 남아 있기 때문에)을 초래하지만 제조하기는 더 어려울 수 있어 수율이 감소되게 한다. 유사하게, 트렌치들 간 간격이 증가함에 따라, 장치의 저항은 감소하지만(더 많은 초격자 구조가 남아 있기 때문에) 피치-오프 전압은 증가한다.
도 1에 관련하여 기술된 AlGaN/GaN 초격자 구조에 있어서, 각 트렌치의 길이(L)는 바람직하게는 약 0.1 내지 약 1 미크론 사이이며; 각 트렌치의 폭(W)은 바람직하게는 약 0.04 내지 약 0.1 미크론 사이이며; 트렌치들 간 간격은 바람직하게는 약 0.04 내지 약 0.1 미크론 사이이며; 트렌치들의 수는 바람직하게는 하나인데, 트렌치들 수에 상한은 소스 및 드레인 전극들의 폭(혹은, 대안적으로, 장치의 폭) 및 모든 트렌치의 누적된 폭에 따른다.
바람직한 실시예에서, 트렌치 사이에 간격 뿐만 아니라, 각 트렌치의 치수들은 모든 트렌치에 대해 동일하다. 또한, 트렌치들은 바람직하게는 이하 논의되는 이유로, 일 단부 상에 소스 전극 및 드레인 전극의 맨 왼쪽에 에지와 다른 단부 상에 소스 전극 및 드레인 전극의 맨 오른쪽에 에지 사이에 위치된다.
이상적인 제조 환경에서, 측벽들 중 하나와 트렌치의 바닥 간 각도로서 정의되는 각도(302) 및 다른 측벽과 트렌치의 바닥 간 각도로서 정의되는 각도(304)는 90도가 될 것이다. 이러한 이상적인 환경은 현재 가용하지 않다. 트렌치 에칭 프로세스 동안에, 트렌치 측벽은 트렌치의 바닥에 관하여 둔각이 되게 경사진다. 도 1에 관련하여 기술된 AlGaN/GaN 초격자 구조에 있어서, 각도들(302, 304)는 바람직하게는 약 110도 미만이고, 더 바람직하게는 약 96 내지 약 98도이다.
이제 도 4로 가면, 초격자 구조(110) 및 트렌치(206) 상에 게이트 전극(402)이 위치된 본 발명의 제1 실시예의 평면도가 도시되었다. 게이트 전극(402)의 길이는 트렌치(206)의 길이 미만이거나, 같거나, 더 클 수 있다. [당업자가 알게 되는 바와 같이, "길이"는 통상적으로 소스 전극 및 드레인 전극에 수직한 그의 치수로서 정의된다. 유사하게, "폭"은 일반적으로 소스 전극 및 드레인 전극에 평행한 그의 치수로서 정의된다. 본원에서는 이 관례에 따른다]. 도 4에 도시된 바와 같이, 게이트 전극의 길이는 트렌치의 길이 미만이다. 도 5, 도 6, 도 7 및 도 8는 각각 라인 5-5, 라인 6-6, 라인 7-7 및 라인 8-8에서의 도 4의 단면도이다.
도 5 - 도 8에 관련하여, 초격자 구조(110) 내에 6개의 2DEG 채널이 그 내에 점선으로서 도시되었고 소스 전극(202) 및 드레인 전극(204)은 초격자 구조(110)의 최상측 헤테로구조 상에 위치된다.
도 7 및 도 8에 도시된 트렌치들의 수(즉, 9개의 트렌치들)는 도 4에 도시된 트렌치들의 수(즉, 15개의 트렌치들) 미만이며, 이는 도 7 및 도 8을 단순화하려는 노력으로 행해졌다. 그러나, 도 7 및 도 8은 전체가 도시되지 않을지라도 도 4에 도시된 것과 동일한 수의 트렌치들을 갖는 것으로서 해석되어야 한다. 이 때문에, 도 7 - 도 8에 도시된 트렌치(206-1) 및 트렌치(206-n)는 각각 도 4에 도시된 맨 왼쪽에 트렌치 및 맨 오른쪽에 트렌치에 대응한다.
바람직한 실시예에서, 비아(502) 및 비아(504)는 각각 소스 전극(202) 및 드레인 전극(204) 밑에 초격자 구조(110) 내에 위치된다. 비아(502) 및 비아(504)는 바람직하게는, 각각 모든 2DxG 채널과 소스 전극(202) 및 드레인 전극(204) 간에 저-저항 오믹 접촉을 제공하기 위해 포함된다. 비아들은 위에 논의된 바와 같이, 트렌치(206)를 형성하기 위해 사용되는 방법들 중 어느 것에 의해 형성될 수 있고, 바람직하게는 위에 논의된 바와 같이, 초격자 안으로 에칭함으로써 형성된다.
비아의 길이, 폭 및 깊이는 가변적이다. 비아(502) 및 비아(504)의 길이는 바람직하게는, 소스 전극 및 드레인 전극의 길이보다 짧다. 비아(502) 및 비아(504)의 폭은 바람직하게는 각각 소스 전극(202) 및 드레인 전극(204)의 폭과 실질적으로 같다. 비아(502, 504)의 폭은 바람직하게는 최하측 2DEG 채널 미만이다.
비아(502, 504)는 X+ 재성장 물질로 채워지고, 이의 조성은 초격자 구조를 포함하는 헤테로물질의 함수이다. 2DEG 채널들을 갖는 초격자 구조에 있어서, 비아는 이 내에 N+ 재성장 물질, 바람직하게는 고농도로 도핑된 실리콘을 가진 GaN으로 채워진다. 유사하게, 2DHG 채널들을 갖는 초격자 구조에 있어서, 비아는 이 내에 P+ 재성장 물질, 바람직하게는 고농도로 도핑된 마그네슘을 가진 GaN으로 채워진다. 어느 경우이든, 도펀트 농도는 바람직하게는 약 1E17 cm-3 내지 약 1E20 cm-3, 더 바람직하게는 약 5E19 cm-3이다.
도 6을 참조하면, 트렌치(206-x)의 깊이는 초격자 구조의 최하측 2DEG 채널 밑에 위치된다. 트렌치(206-x)의 이 바람직한 깊이는 게이트 전극(402)의 저면이 초격자 구조(110)의 최하측 2DEG 채널 밑에 위치될 수 있게 한다.
도 7을 참조하면, 게이트 전극(402)은 모든 트렌치(206) 내에 위치되고, 반면 도 8는 안에 게이트 전극 없이 트렌치들의 단면도이다.
도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 초격자 구조의 어떤 구간들, 구체적으로, 장치의 비아(502)와 맨 오른쪽에 에지 사이의 구간 및 장치의 비아(504)와 맨 왼쪽에 에지 사이의 구간은 바람직하게는 어떠한 작용가능한 2DEG 채널들도 없다. 유사한 구간들, 특히 장치의 맨 왼쪽에 트렌치(206-1)와 맨 왼쪽에 에지 사이의 구간 및 장치의 맨 오른쪽에 트렌치(206-n)와 맨 오른쪽에 에지 사이의 구간이 도 7 및 도 8에 도시되었다. "격리 지역"이라는 용어는 본원에서는 작용가능한 2DEG 채널들이 없는 위에서 명시된 초격자 구조의 구간으로서 정의된다.
격리 지역 내 내포된 2DEG 채널들을 효과적으로 제거하고 작용가능하지 않게 하기 위한 몇가지 방법들이 가용하다. 예를 들면, 이온-주입 기술이 사용될 수 있는데 이에 의해서 헬륨 원자는 초격자 구조 내로 고 속도로 발사되어 이의 결정질 기하구조를 와해시키고 그럼으로써 목표 지역 내에 2DEG 채널들을 제거할 수 있게 한다. 대안적으로, 동일 결과를 달성하기 위해 메사 에칭이 수행될 수 있다. 바람직한 실시예에서, 위에 정의된 격리 지역을 생성하기 위해 이온-주입 기술이 수행된다.
도 4, 도 7 및 도 8을 참조하면, 장치의 좌측 및 우측 상에 제1 및 제2 격리된 주입된 지역(즉, 각각, 장치의 맨 왼쪽에 트렌치(206-1)와 맨 왼쪽에 에지 사이에 구간 및 장치의 맨 오른쪽에 트렌치(206-n)와 맨 오른쪽에 에지 사이의 구간)을 갖는 것은 일측 상에 소스 및 드레인 전극들의 맨 왼쪽에 부분들 사이 및 다른 측 상에 소스 및 드레인 전극들의 맨 오른쪽에 부분들 사이에 전류가 흐를 가능성을 제거하며, 이는 트렌치 영역을 효과적으로 우회할 것이다.
유사하게, 도 4, 도 5 및 도 6을 참조하면, 각각, 장치의 비아(502)와 맨 오른쪽에 에지 사이의 구간 및 장치의 비아(504)와 맨 왼쪽에 에지 사이의 구간 내 제3 및 제4 격리된 주입된 지역을 갖는 것은 다수의 장치들이 동일 베이스 구조 상에 서로 근접하여 제조되었을 때 전류가 장치를 주위로 흐를 가능성을 제거한다. 이들 제3 및 제4 격리된 주입된 지역이 제1의 두 개의 격리된 주입된 영역들만큼 중대하지 않을 수 있지만, 바람직한 실시예는 모든 시나리오를 포괄하기 위해 모든 4개의 격리된 주입된 지역을 내포한다.
각각이 위에 논의된 바와 같은 것인, 소스 전극, 드레인 전극, 복수의 트렌치들, 트렌치들 각각 내에 위치된 크레넬레이트 게이트 전극 및 모든 4개의 격리된 주입된 지역을 갖는 초격자 구조가 주어졌을 때, 본 발명의 크레넬레이트 게이트 전극은 통상의 게이트 전압의 인가에 의해 소스 전극와 드레인 전극 사이에 흐르는 모든 전류를 핀치 오프할 수 있다.
예 2
대략 1000개의 트렌치를 더 포함하고, 각 트렌치는 0.6 미크론의 길이, 0.05 미크론의 폭 및 모든 6개의 2DEG 채널들 밑의 깊이를 가지며, 트렌치들은 서로로부터 0.08 미크론 이격된 노멀리 온 전계효과 트랜지스터가 예 1에 관련하여 기술된 바와 같이 설계되었다. 트렌치 측벽(즉, 각도(302) 및 각도(304))의 각도는 약 96도이었다. 약 0.25 미크론의 길이 및 약 67 미크론의 폭을 가진 게이트 전극은 초격자 구조 상에, 그리고 게이트 전극의 저면 부분 또한 모든 6개의 2DEG 채널들 밑에 있게 되도록 트렌치들 각각 내에 피착되었다. 장치는 다음의 특징을 갖는다: 5Vd에서 2.68 A/mm의 드레인 전류; Ron은 0.49 ohmsㆍmm이었으며; Coff는 0.2 pF/mm이었다. 장치 내에 모든 2DEG 채널들을 턴 "오프"하기 위해 요구되는 유효 게이트 전압 [Vg]을 결정하려는 노력으로 다양한 게이트 전압들이 인가되었다. 몇개의 장치가 시간에 걸쳐 제조되었고, 각 실험은 약 -8V와 약 -14V 사이의 게이트 전압의 인가시, 어떠한 전류 누설도 없이, 모든 6개의 2DEG 채널들이 턴 "오프"되는 결과가 되었다.
이제 도 9로 가면, 본 발명의 제2 실시예의 평면도가 도시되어 있다. 장치(900)는, 게이트 전극(902)이 이 밑에 위치된 트렌치들(단지 명확성을 위해 점선으로서 도 9에 도시된)의 길이보다 큰 것을 제외하고, 위에 장치(200) 및 도 2 - 도 8에 관련하여 기술된 바와 실질적으로 같다. 도 10은 단면 라인 9-9에서 취해진 도 9의 단면도이다.
당업자가 알게 되는 바와 같이, 트렌치들의 길이가 짧을수록, 장치 저항은 더 낮아진다. 장치 저항이 낮을수록 장치 수행은 더 나아진다. 예를 들면, 낮은 장치 저항은 낮은 삽입 손실(RF 스위치 응용을 위해서)과 더 높은 전류 스루풋 및 더 많은 파워(증폭기 응용을 위해서)로 이어진다.
장치(200)(도 2) 및/또는 장치(900)(도 9)의 저항을 최소화하는 한 방법은 트렌치(206)(도 2)의 길이를 최소화하는 것이다. 이 길이가 짧을수록, 현재의 리소그래프 툴 혹은 e-빔 기술을 사용하여 트렌치 내에 들어맞는 게이트 전극을 제조하기가 비교적 더 비용이 들 수 있다. 길이가 트렌치의 길이보다 큰 게이트 전극을 제조함으로써, 게이트 전극을 제조하기 위해 비교적 덜 비용이 드는 제조 기술을 사용할 수 있다.
위에 논의된 바와 같이, 장치(200)와 장치(900) 모두 초격자 구조(110) 상에 선택적 층(136)(도 1)을 포함하지 않는다.
본 발명의 제3 실시예에서, 장치(200)는 MISFET 응용을 위한 유전체층으로서 층(136)을 포함하고, 바람직하게는, 소스 전극과 드레인 전극 사이에 초격자 구조(110)의 맨 위에 헤테로구조 층 상에 위치된다. 도 11 내지 도 14는 장치(200) 상에 층(136)의 위치를 도시하며 각각 도 5 내지 도 8와 유사하다.
본 발명의 제4 실시예에서, 장치(900)는 MISFET 응용을 위한 유전체층으로서 층(136)을 포함하고, 바람직하게는 소스 전극과 드레인 전극 사이에 초격자 구조(110)의 맨 위에 헤테로구조 층 상에 위치된다. 도 15는 장치(900) 상에 층(136)의 위치를 도시하며 도 10과 유사하다.
본 발명의 예시적 실시예가 동반된 도면을 참조하여 상세히 기술되었을지라도, 발명은 이들 정밀한 실시예들로 제한되지 않음이 이해되어야 한다. 발명의 범위 혹은 정신 내에서 당업자에 의해 다양한 변경 혹은 수정이 행해질 수 있다.

Claims (21)

  1. 전계효과 트랜지스터 장치에 있어서,
    베이스 구조;
    상기 베이스 구조 상에 위치된 제1 층, 상기 제1 층 상에 위치된 제2 층 및 상기 제1 층과 상기 제2 층 사이의 계면에 근접하여 위치된 제1 2DxG 채널을 갖는 제1 헤테로구조;
    상기 제1 층과 상기 제2 층 간 상기 계면 근처에 상기 제2 층 내에 위치된 제1 델타(delta) 도핑 물질;
    상기 제2 층에 직접 접촉하여 위치된 제3 층, 상기 제3 층 상에 위치된 제4 층, 상기 제3 층과 상기 제4 층 사이의 계면에 근접하여 위치된 제2 2DxG 채널을 갖는 제2 헤테로구조;
    상기 제3 층과 상기 제4 층 간 상기 계면 근처에 상기 제4 층 내에 위치된 제2 델타 도핑 물질;
    상기 제4 층 상에 위치된 제5 층, 상기 제5 층 상에 위치된 제6 층 및 상기 제5 층과 상기 제6 층 사이의 계면에 근접하여 위치된 제3 2DxG 채널을 갖는 제3 헤테로구조;
    상기 제6 층 상에 위치되고 상기 2DxG 채널들 각각에 오믹으로(ohmically) 연결된 소스 전극;
    상기 제6 층 상에 위치되고 상기 2DxG 채널들 각각에 오믹으로 연결된 드레인 전극;
    상기 소스 전극과 상기 드레인 전극 사이에 위치된 복수의 트렌치들로서, 상기 트렌치들 각각은 제1 측벽 표면, 제2 측벽 표면 및 이들 사이에 위치된 저면을 정의하는 길이, 폭 및 깊이를 가지며, 상기 트렌치들 각각의 상기 저면은 상기 제1 2DxG 채널에 있거나 밑에 있는 것인 상기 복수의 트렌치들; 및
    상기 2DxG 채널들 모두는 2DEG 채널들이거나 혹은 2DHG 채널들이며;
    상기 제6 층 상에 위치된 크레넬레이트(crenelated) 게이트 전극으로서, 상기 게이트 전극은 상기 트렌치들 각각 내에 위치되고, 상기 게이트 전극은 상면 및 저면을 가지며, 상기 게이트 전극의 상기 저면은 상기 트렌치들 각각의 상기 제1 측벽 표면, 상기 저면 및 상기 제2 측벽 표면과 병렬로 있는 것인 상기 크레넬레이트 게이트 전극을 포함하는 전계효과 트랜지스터 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 소스 전극은 제1 길이 에지, 제2 길이 에지, 전방 폭 에지 및 후방 폭 에지를 가지며;
    상기 드레인 전극은 제1 길이 에지, 제2 길이 에지, 전방 폭 에지 및 후방 폭 에지를 가지며;
    상기 2DxG 채널들 각각은 상기 소스 전극의 상기 제1 길이 에지, 상기 드레인 전극의 상기 제1 길이 에지, 상기 드레인 전극의 상기 후방 폭 에지, 상기 드레인 전극의 상기 제2 길이 에지, 상기 소스 전극의 상기 제2 길이 에지 및 상기 소스 전극의 상기 후방 폭 에지에 의해 정의되는 4각형 내에 경계를 이루는 전계효과 트랜지스터 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 소스 전극은 폭 및 길이를 가지며, 상기 장치는
    상기 소스 전극 밑에 위치된 비아로서, 상기 비아는 폭 및 깊이를 가지며, 상기 비아의 상기 폭은 상기 소스 전극의 상기 폭의 미만이거나 실질적으로 동일하며 상기 비아의 상기 깊이는 상기 제1 2DxG 채널에 있거나 밑에 있는 것인 상기 비아; 및
    상기 비아 내에 위치되고, 상기 소스 전극과 상기 2DxG 채널들 각각 사이에 저 저항 오믹 접촉이 될 수 있게 하는 도펀트를 갖는 물질을 더 포함하는 전계효과 트랜지스터 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 드레인 전극은 폭 및 길이를 가지며, 상기 장치는
    상기 드레인 전극 아래에 위치된 비아로서, 상기 비아는 폭 및 깊이를 가지며, 상기 비아의 상기 폭은 상기 드레인 전극의 상기 폭의 미만이거나 실질적으로 동일하며, 상기 비아의 상기 깊이는 상기 제1 2DxG 채널에 있거나 밑에 있는 것인 상기 비아; 및
    상기 비아 내에 위치되고, 상기 드레인 전극과 상기 2DxG 채널들 각각 사이에 저 저항 오믹 접촉이 될 수 있게 하는 도펀트를 갖는 물질을 더 포함하는 전계효과 트랜지스터 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 트렌치들 각각 내에, 상기 저면과 상기 제1 측벽 표면 사이에 각도는 110도 미만인 전계효과 트랜지스터 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 소스 전극은 제1 길이 에지, 제2 길이 에지, 전방 폭 에지 및 후방 폭 에지를 가지며;
    상기 드레인 전극은 제1 길이 에지, 제2 길이 에지, 전방 폭 에지 및 후방 폭 에지를 가지며;
    상기 트렌치들 각각의 상기 길이는 상기 소스 전극의 상기 전방 폭 에지와 상기 드레인 전극의 상기 전방 폭 에지 간 거리 미만이거나 실질적으로 동일한 전계효과 트랜지스터 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 크레넬레이트 게이트 전극은 폭 및 길이를 가지며, 상기 크레넬레이트 게이트 전극의 상기 길이는 상기 트렌치들 각각의 상기 길이 미만이거나 실질적으로 동일한 전계효과 트랜지스터 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 크레넬레이트 게이트 전극은 폭 및 길이를 가지며, 상기 크레넬레이트 게이트 전극의 상기 길이는 상기 트렌치들 각각의 상기 길이보다 큰 전계효과 트랜지스터 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 장치는 유전체 물질을 갖는 제7 층을 더 포함하며, 상기 제7 층은 상기 제6 층의 적어도 부분 상에 위치된 전계효과 트랜지스터 장치.
  10. 최상측 2DxG 채널, 제1 델타 도핑층의 존재에 의해 유발된 최하측 2DxG 채널 및 상기 최상측 2DxG 채널과 상기 최하측 2DxG 채널 간에 위치되고 제2 델타 도핑층의 존재에 의해 유발된 적어도 한 중간 2DxG 채널을 갖는 초격자 구조를 포함하는 에피택셜 구조;
    상기 최상측 2DxG 채널 상에 위치되고 상기 2DxG 채널들 각각에 오믹으로 연결된 소스 전극;
    상기 최상측 2DxG 채널 상에 위치되고 상기 2DxG 채널들 각각에 오믹으로 연결된 드레인 전극;
    상기 소스 전극과 상기 드레인 전극 사이에 위치된 복수의 트렌치들로서, 상기 트렌치들 각각은 제1 측벽 표면, 제2 측벽 표면 및 이들 사이에 위치된 저면을 정의하는 길이, 폭 및 깊이를 가지며, 상기 트렌치들 각각의 상기 저면은 상기 최하측 2DxG 채널에 있거나 밑에 있는 것인 상기 복수의 트렌치들; 및
    상기 2DxG 채널들 모두는 2DEG 채널들이거나 혹은 2DHG 채널들이며;
    상기 최상측 2DxG 채널 상에 위치된 크레넬레이트 게이트 전극으로서, 상기 게이트 전극은 상기 트렌치들 각각 내에 위치되고, 상기 게이트 전극은 상면 및 저면을 가지며, 상기 게이트 전극의 상기 저면은 상기 트렌치들 각각의 상기 제1 측벽 표면, 상기 저면 및 상기 제2 측벽 표면과 병렬로 있는 것인 상기 크레넬레이트 게이트 전극을 포함하는 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 초격자 구조는 복수의 헤테로구조들을 포함하고, 상기 헤테로구조들 각각은 제1 층, 및 상기 제1 층 상에 위치된 제2 층을 가지며, 상기 2DxG 채널들 중 하나는 상기 제1 층과 상기 제2 층 사이에 계면에 근접하여 위치된 장치.
  12. 삭제
  13. 제10항에 있어서,
    상기 소스 전극은 제1 길이 에지, 제2 길이 에지, 전방 폭 에지 및 후방 폭 에지를 가지며;
    상기 드레인 전극은 제1 길이 에지, 제2 길이 에지, 전방 폭 에지 및 후방 폭 에지를 가지며;
    상기 2DxG 채널들 각각은 상기 소스 전극의 상기 제1 길이 에지, 상기 드레인 전극의 상기 제1 길이 에지, 상기 드레인 전극의 상기 후방 폭 에지, 상기 드레인 전극의 상기 제2 길이 에지, 상기 소스 전극의 상기 제2 길이 에지, 및 상기 소스 전극의 상기 후방 폭 에지에 의해 정의된 4각형 내에 경계를 이루는 장치.
  14. 제10항에 있어서,
    상기 소스 전극은 폭 및 길이를 가지며, 상기 장치는
    상기 소스 전극 아래에 위치된 비아로서, 상기 비아는 폭 및 깊이를 가지며, 상기 비아의 상기 폭은 상기 소스 전극의 상기 폭의 미만이거나 실질적으로 동일하며, 상기 비아의 상기 깊이는 상기 최하측 2DxG 채널에 있거나 밑에 있는 것인 상기 비아; 및
    상기 비아 내에 위치되고, 상기 소스 전극과 상기 2DxG 채널들 각각 사이에 저 저항 오믹 접촉이 될 수 있게 하는 도펀트를 갖는 것인 물질을 더 포함하는 장치.
  15. 제10항에 있어서,
    상기 드레인 전극은 폭 및 길이를 가지며, 상기 장치는
    상기 드레인 전극 아래에 위치된 비아로서, 상기 비아는 폭 및 깊이를 가지며, 상기 비아의 상기 폭은 상기 드레인 전극의 상기 폭의 미만이거나 실질적으로 동일하며, 상기 비아의 상기 깊이는 상기 최하측 2DxG 채널에 있거나 밑에 있는 것인 상기 비아; 및
    상기 비아 내에 위치되고, 상기 드레인 전극과 상기 2DxG 채널들 각각 사이에 저 저항 오믹 접촉이 될 수 있게 하는 도펀트를 갖는 것인 물질을 더 포함하는 장치.
  16. 제10항에 있어서,
    상기 트렌치들 각각 내에, 상기 저면과 상기 제1 측벽 표면 간 각도는 110도 미만인 장치.
  17. 제10항에 있어서,
    상기 소스 전극은 제1 길이 에지, 제2 길이 에지, 전방 폭 에지 및 후방 폭 에지를 가지며;
    상기 드레인 전극은 제1 길이 에지, 제2 길이 에지, 전방 폭 에지 및 후방 폭 에지를 가지며;
    상기 트렌치들 각각의 상기 길이는 상기 소스 전극의 상기 전방 폭 에지와 상기 드레인 전극의 상기 전방 폭 에지 간 거리 미만이거나 실질적으로 동일한 장치.
  18. 제10항에 있어서,
    상기 크레넬레이트 게이트 전극은 폭 및 길이를 가지며, 상기 크레넬레이트 게이트 전극의 상기 길이는 상기 트렌치들 각각의 상기 길이 미만이거나 실질적으로 동일한 장치.
  19. 제10항에 있어서,
    상기 크레넬레이트 게이트 전극은 폭 및 길이를 가지며, 상기 크레넬레이트 게이트 전극의 상기 길이는 상기 트렌치들 각각의 상기 길이보다 큰 장치.
  20. 제10항에 있어서,
    상기 장치는 유전체 물질을 갖는 층을 더 포함하고, 상기 층은 상기 초격자 구조의 적어도 부분 상에 위치된 장치.
  21. 상측 2DxG 채널 및 하측 2DxG 채널을 가지며 상기 하측 2DxG 채널은 제1 델타 도핑층의 존재에 의해 유발된 것인 초격자 구조를 포함하는 에피택셜 구조;
    제1 길이 에지, 제2 길이 에지, 전방 폭 에지 및 후방 폭 에지를 갖는 소스 전극으로서, 상기 소스 전극은 상기 상측 2DxG 채널 상에 위치되고 상기 2DxG 채널들 각각에 오믹으로 연결된 것인 상기 소스 전극;
    제1 길이 에지, 제2 길이 에지, 전방 폭 에지 및 후방 폭 에지를 갖는 드레인 전극으로서, 상기 드레인 전극은 상기 상측 2DxG 채널 상에 위치되고 상기 2DxG 채널들 각각에 오믹으로 연결된 상기 드레인 전극;
    상기 소스 전극의 상기 제1 길이 에지와 상기 드레인 전극의 상기 제1 길이 에지 사이에 위치된 제1 전류 흐름 경계;
    상기 소스 전극의 상기 제2 길이 에지와 상기 드레인 전극의 상기 제2 길이 에지 사이에 위치된 제2 전류 흐름 경계로서, 상기 제1 전류 흐름 경계 및 상기 제2 전류 흐름 경계는 상기 제1 전류 흐름 경계 및 상기 제2 전류 흐름 경계에 의해 정의되는 영역 밖에 상기 소스 전극과 상기 드레인 전극 사이에 전류 흐름을 실질적으로 차단시키는 것인 상기 제2 전류 흐름 경계;
    상기 소스 전극과 상기 드레인 전극 사이에 위치된 적어도 한 트렌치로서, 상기 트렌치는 제1 측벽 표면, 제2 측벽 표면 및 이들 사이에 위치된 저면을 정의하는 길이, 폭 및 깊이를 가지며, 상기 트렌치의 상기 저면은 상기 하측 2DxG 채널에 있거나 밑에 있는 것인 상기 트렌치;
    상기 상측 2DxG 채널 상에 위치된 게이트 전극으로서, 상기 게이트 전극은 상기 트렌치 내에 위치되고, 상기 게이트 전극은 상면 및 저면을 가지며, 상기 게이트 전극의 상기 저면은 상기 트렌치의 상기 제1 측벽 표면, 상기 저면 및 상기 제2 측벽 표면과 병렬로 있는 것인 상기 게이트 전극을 포함하고,
    상기 2DxG 채널들 모두는 2DEG 채널들이거나 혹은 2DHG 채널들인 장치.
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