JP5048382B2 - 半導体装置とその製造方法 - Google Patents
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Description
上記の課題は、MOSFET100に限ったことではない。他の種類の半導体装置においても、p型窒化物半導体領域の表面に電極を形成することがある。この場合も、p型窒化物半導体領域と電極の間の接触抵抗を小さく抑えることが難しいという問題がある。
本発明は、p型窒化物半導体領域の表面に電極が形成されている半導体装置に関する。本発明は、p型窒化物半導体領域と電極の間の接触抵抗が小さく抑えられている半導体装置を提供することを目的としている。本発明はまた、そのような半導体装置を製造する方法を提供することも目的としている。
上記の半導体装置は、転位の密度が高い高転位密度領域の表面に電極が形成されているために、p型窒化物半導体領域と電極の接触抵抗を低く抑えることができる。この半導体装置の場合、p型窒化物半導体領域にホールが蓄積することを防止する必要があるような場合に、p型窒化物半導体領域からホールをスムーズに排出することができる。あるいは、p型窒化物半導体領域の電位を安定する必要があるときに、その電位を安定させることができる。
格子不整合層とp型窒化物半導体領域の格子定数が不一致であると、格子不整合層の表面からp型窒化物半導体領域を結晶成長させたときに、格子不整合層の表面には転位の密度が高い高転位密度領域が形成される。上記の半導体装置は、p型窒化物半導体領域の一部に高転位密度領域を容易に形成することが可能な形態を備えている。
ここで、「格子不整合層がp型窒化物半導体領域中の一部に形成されている」とは、格子不整合層がp型窒化物半導体領域によって取り囲まれた形態をいい、また格子不整合層がp型窒化物半導体領域によって他の領域から隔てられていることをいう。
上記形態の半導体装置では、高転位密度領域がp型窒化物半導体領域を貫通して存在することなく、格子不整合層と電極の間の限られた範囲に存在している。このため、高転位密度領域が影響を及ぼす範囲は、格子不整合層と電極の間の限られた範囲に留まることができ、この結果、リーク電流の増加や耐圧特性の変化を抑制できる半導体装置が得られる。
上記の半導体装置によると、下地層とp型窒化物半導体領域の格子定数の差が格子不整合層とp型窒化物半導体領域の格子定数の差よりも小さいために、下地層と格子不整合層の表面からp型窒化物半導体領域を結晶成長したときに、下地層の表面には転位の少ない領域が形成されるのに対して格子不整合層の表面には転位の多い領域が形成される。平面視したときに格子不整合層が存在する範囲のp型窒化物半導体領域の表面に電極を形成すると、その電極はp型窒化物半導体領域に形成されている高転位密度領域に接する。この結果、電極とp型窒化物半導体領域の接触抵抗が下がり、ドレイン電極とソース電極の間に高電圧が印加されたときにアバランシェ現象で発生したホールはp型窒化物半導体領域から電極に円滑に排出される。平面視したときに、格子不整合層が存在しない範囲はきれいな結晶であって転位が少ない。この低転位密度領域にスイッチング構造体が形成されているために、スイッチング構造体はすぐれた特性を発揮する。
上記の半導体装置では、格子不整合層がp型窒化物半導体領域を介して下地層から隔てられている。このため、格子不整合層と下地層の間には、転位の少ないp型窒化物半導体領域が存在しているので、半導体装置の安定した特性が得られる。
この場合、下地層とp型半導体領域の格子定数が一致している。したがって、下地層の表面からp型半導体領域を結晶成長させたときに、下地層の上方には転位が少ない低転位密度領域が形成される。
(第1特徴) p型不純物としては、マグネシウム、ベリリウム、カルシウムを用いるのが好ましい。
(第2特徴) n型不純物としては、珪素、セレン等を用いるのが好ましい。
(第3特徴) 窒化物半導体は、一般式がAlXGaYIn1-X-YN(ただし、0≦X≦1、0≦Y≦1、0≦1−X−Y≦1)であるのが好ましい。
(第4特徴) 格子不整合層は、窒化物半導体であるのが好ましい。この場合、下地層と格子不整合層とp型窒化物半導体領域を形成する窒化物の一般式がAlXGaYIn1-X-YN(ただし、0≦X≦1、0≦Y≦1、0≦1−X−Y≦1)であるのが好ましい。この場合、格子不整合層を形成する窒化物の一般式中のX、Y、1−X−Yは、下地層とp型窒化物半導体領域を形成する窒化物の一般式中のX、Y、1−X−Yと不一致であるのが好ましい。
(第5特徴) 格子不整合層がp型窒化物半導体領域中の一部に形成されており、格子不整合層の上方に存在するp型窒化物半導体領域の膜厚と格子不整合層の下方に存在するp型窒化物半導体領域の膜厚が略等しいのが好ましい。
図1に、スイッチング構造体としてMISFET構造体を備えた半導体装置1の断面図を模式的に示す。半導体装置1は、基板10と、基板10上に形成されている下地層12を備えている。基板10の材料には、サファイア(Al2O3)が用いられている。基板10の材料には、珪素(Si)、炭化珪素(SiC)、窒化ガリウム(GaN)を用いても良い。下地層12には、不純物を含まない窒化ガリウムが用いられている。下地層12の表面の一部には、窒化アルミニウムの格子不整合層14が形成されている。格子不整合層14は、下地層12の表面の周縁の一部に形成されており、その厚みは約10nmである。下地層12と格子不整合層14の表面には、p型の不純物を含むp型窒化ガリウム領域16(p型窒化物半導体領域の一例)が形成されている。p型窒化ガリウム領域16は、下地層12の表面から格子不整合層14の表面に跨る範囲に連続して形成されている。p型窒化ガリウム領域16の不純物にはマグネシウム(Mg)が用いられており、そのキャリア濃度は約1×1017cm-3に調整されている。p型窒化ガリウム領域16の厚みは、約1000nmである。p型窒化ガリウム領域16は、結晶内に転位が高密度に存在する高転位密度領域18と転位が低密度にしか存在しない低転位密度領域19を備えている。高転位密度領域18は、平面視したときに、格子不整合層14が存在する範囲に形成されている。低転位密度領域19は、平面視したときに、格子不整合層14が存在しない範囲に形成されている。
半導体装置1はさらに、ゲート電極30を備えている。ゲート電極30は、ドレイン領域22とソース領域24を隔てているp型窒化ガリウム領域16の表面に、ゲート絶縁膜29を介して対向している。ゲート電極30には、ニッケル(Ni)、アルミニウム(Al)、多結晶シリコン(Poly-Si)などが用いられている。ゲート絶縁膜29には、シリコン酸化膜(SiO)、あるいはシリコン窒化膜(SiN)が用いられている。
ドレイン領域22とソース領域24は、p型窒化ガリウム領域16で隔てられている。ゲート電極30に電圧が印加されていない状態では、ドレイン領域22とソース領域24を隔てているp型窒化ガリウム領域16に反転層が形成されず、ドレイン領域22とソース領域24の間に電流経路が形成されない。
ゲート電極30に正の電圧が印加されると、p型窒化ガリウム領域16とゲート絶縁膜29の境界面に電子が誘起し、ドレイン領域22とソース領域24を隔てているp型窒化ガリウム領域16にn型の反転層が形成される。したがって、ドレイン領域22とソース領域24の間に電流経路が形成される。
半導体装置1では、p型窒化ガリウム領域16のうちの高転位密度領域18の表面にボディ電極20が形成されている。高転位密度領域18には、転位が高密度に存在している。高転位密度領域18の表面にボディ電極20を形成すると、ボディ電極20を形成する導電性物質が転位に沿って高転位密度領域18に侵入する。高転位密度領域18の表面にボディ電極20を形成すると、ボディ電極20と高転位密度領域18の接触抵抗が低くなる。このため、p型窒化ガリウム領域内に生成されたホールは、ボディ電極20に円滑に排出される。
まず図7に示すように、サファイアなどを主材料とする基板10を用意し、MOCVD法を利用して、その表面全体に窒化ガリウムの下地層12となる窒化ガリウム層を結晶成長させる。この下地層12には不純物は導入しない。次に、MOCVD法を利用して、下地層12の表面全体に窒化アルミニウムの格子不整合層14を結晶成長させる。下地層12を結晶成長させるときの温度は約1100℃に調整されており、格子不整合層14を結晶成長させるときの温度は約600℃以下に調整されている。
次に、図8に示すように、格子不整合層14の表面にシリコン酸化膜またはシリコン窒化膜を主成分とする絶縁膜13をパターニングする。次に、ウェットエッチング技術を利用して、露出した格子不整合層14の一部を除去する。ウェットエッチングは、水酸化カリウム(KOH)をベースとしたウェットエッチング(J.R.Mileham et.al., Appl. Phys. Lett., vol.67(1995), p.1119等)を利用することができる。ウェットエッチングに代えて、ICPドライエッチングなどを用いてもよい。
格子不整合層14の一部を除去した後、絶縁膜13を除去して、図9に示すように、MOCVD法を利用して、格子不整合層14と下地層12の表面からp型不純物を含む窒化ガリウムを結晶成長させる。p型不純物としてはマグネシウム(Mg)などをドープする。これによって、p型窒化ガリウム領域16が形成される。p型窒化ガリウム領域16と下地層12は、ともに窒化ガリウムであり、両者の格子定数は一致している。一方、格子不整合層14は窒化アルミニウムなので、p型窒化ガリウム領域16と格子不整合層14の格子定数は一致していない。したがって、p型窒化ガリウム領域16を結晶成長させたときに、格子定数の違いから格子不整合層14の表面には転位が高密度に存在する高転位密度領域18が形成される。一方、格子定数が一致することから、下地層12の表面には転位が低密度にしか存在しない低転位密度領域19が形成される。
その後で、一旦自然酸化膜を全て除去した後、再び、図10に示すように、全面に絶縁膜29を形成する。次に、低転位密度領域19に対応する絶縁膜29の一部を除去し、ドレイン領域22およびソース領域24を形成する。ドレイン領域22およびソース領域24は、イオン注入技術を利用して形成することができる。その後、一旦絶縁膜29を全て除去した後、再び図10に示すように全面に絶縁膜29を形成する。その後、高転位密度領域18に対応する絶縁膜29を除去し、高転位密度領域18の表面にボディ電極20を形成する。次に、図1に示すように、ドレイン領域22およびソース領域24の内側の絶縁膜29の一部を除去し、ドレイン領域22の表面の一部にドレイン電極26を形成し、ソース領域24の表面の一部にソース電極28を形成する。最後にドレイン領域22とソース領域24を隔てている絶縁膜29の表面に、ニッケル(Ni)、アルミニウム(Al)、多結晶シリコン(Poly-Si)などを主材料とするゲート電極30を形成する。これらの工程を経て、図1に示す半導体装置1を形成することができる。
図2に、スイッチング構造体としてMISFET構造体を備えた他の半導体装置2の断面図を模式的に示す。半導体装置2の構造は、p型窒化ガリウム領域16中の一部に格子不整合層14が形成されている点で半導体装置1と異なる。格子不整合層14は、p型窒化ガリウム領域16によって下地層12から隔てられている。p型窒化ガリウム領域16は、結晶内に転位が高密度に存在する高転位密度領域18と転位が低密度にしか存在しない低転位密度領域19を備えている。高転位密度領域18は、平面視したときに、格子不整合層14が存在する範囲の格子不整合層14の上方に形成されている。即ち、高転位密度領域18は、格子不整合層14とボディ電極20の間の領域に局在している。一方、低転位密度領域19は、平面視したときに、格子不整合層14が存在しない範囲および格子不整合層14が存在する範囲の格子不整合層14の下方に形成されている。
下地層12を結晶成長させる工程までは第1実施例の製造方法で示した手順と同様であるため、説明を省略する。次に、図11に示すように、下地層12の表面からp型不純物を含む窒化ガリウムを、所望するp型窒化ガリウム領域16の膜厚の半分程度まで結晶成長させる。これにより、p型窒化ガリウム領域16aが形成される。次に、MOCVD法を利用して、p型窒化ガリウム領域16aの表面全体に窒化アルミニウムの格子不整合層14を結晶成長させる。次に、図12に示すように、格子不整合層14の表面に絶縁膜13をパターニングした後、格子不整合層14の一部を除去する。この工程は、第1実施例と同様に、ウェットエッチング技術を利用することができる。
格子不整合層14の一部を除去した後、絶縁膜13を除去して、図13に示すように、MOCVD法を利用して、格子不整合層14とp型窒化ガリウム領域16aの表面からp型不純物を含む窒化ガリウムを、所望の窒化ガリウム領域16の膜厚の半分程度までさらに結晶成長させる。これにより、p型窒化ガリウム領域16中に格子不整合層14が形成されている構造となる。格子定数の違いから格子不整合層14の表面には転位が高密度に存在する高転位密度領域18が形成される。一方、格子定数が一致することから、格子不整合層14の下面の領域を含む下地層12の表面には転位が低密度にしか存在しない低転位密度領域19が形成される。
次に、一旦自然酸化膜を全て除去した後、図14に示すように、再び全面に絶縁膜29を形成する。次に、スイッチング構造体を形成する工程は実施例1と同じであるため、説明を省略する。スイッチング構造体を形成する工程を経て、図2に示す半導体装置2を形成することができる。
図3に、スイッチング構造体として横型のHEMT構造体を備えた半導体装置3の断面図を模式的に示す。基板10からp型窒化ガリウム領域16までの構造は図1に示したMISFET構造体を備えた半導体装置1と同様であるため、その説明を省略する。
半導体装置3は、低転位密度領域19の表面に形成されている窒化物半導体下層52を備えている。窒化物半導体下層52は、n型の不純物を含んでいる窒化ガリウムで形成されている。n型の不純物にはシリコン(Si)が用いられており、そのキャリア濃度は約1×1016cm-3に調整されている。窒化物半導体下層52の厚みは、約50nm〜300nmである。
半導体装置3はさらに、窒化物半導体下層52の表面に形成されている窒化物半導体上層54を備えている。窒化物半導体上層54は、不純物が含まれていない窒化アルミニウムガリウム(AlGaN)で形成されている。窒化物半導体上層54の厚さは約30nmである。窒化ガリウムで形成されている窒化物半導体下層52のバンドギャップの幅は、窒化アルミニウムガリウムで形成されている窒化物半導体上層54のバンドギャップの幅よりも小さい。窒化物半導体上層54と窒化物半導体下層52の接合面はヘテロ接合であり、界面付近には二次元電子ガス層53が形成されている。
半導体装置3はさらに、ドレイン電極66とソース電極68の間に配置されているゲート電極60を備えている。ゲート電極60は、窒化物半導体上層54の表面にゲート絶縁膜59を介して対向している。ゲート電極60の材料にはニッケル(Ni)、アルミニウム(Al)、多結晶シリコン(Poly-Si)などが用いられている。ゲート絶縁膜59の材料にはシリコン酸化膜(SiO)、あるいはシリコン窒化膜(SiN)が用いられている。ゲート絶縁膜は省略することができる。ゲート絶縁膜59を省略しても、ゲート電極60と窒化物半導体上層54はオーミック接触しない。ゲート電極60は低転位密度領域19の表面に形成されることになり、その接触抵抗が高く、ショットキー特性となる。
上記したように、窒化物半導体下層52と窒化物半導体上層54の界面付近には二次元電子ガス層53が形成されている。このため、ゲート電極60に電圧を印加していない状態では、二次元電子ガス層53がチャネルとなり、ドレイン電極66からソース電極68まで電流経路が形成されている。半導体装置3は、ノーマリオンとして動作する。
ゲート電極60に負の電圧を印加すると、ニ次元電子ガス層53の一部に空乏層が形成され、電子の移動が遮断される。半導体装置3は、ゲート電極60に印加する電圧を切換えることで、導通状態と非導通状態を経時的に切換えることができる。
p型窒化ガリウム領域16を結晶成長させる工程まで(図7から図9まで)は第1実施例の製造方法で示した手順と同様であるため、説明を省略する。
図9の状態まで進めた後、図15に示すように、p型窒化ガリウム領域16の表面にn型の不純物を含む窒化物半導体下層52をエピタキシャル成長させる。n型不純物としてはシリコンをドープする。さらに窒化物半導体下層52の表面に不純物を含まない窒化物半導体上層54をエピタキシャル成長させる。
次に、図16に示すように、窒化物半導体上層54の表面に絶縁膜59を形成する。次に、高転位密度領域18の表面上に形成された窒化物半導体下層52と窒化物半導体上層54および絶縁膜59を除去し、高転位密度領域18の表面にボディ電極20を形成する。次に、ドレイン電極66およびソース電極68に対応する絶縁膜59を除去し、ドレイン電極66とソース電極68を形成する。最後に、ドレイン電極66とソース電極68の間の絶縁膜59の表面に、ニッケル(Ni)、アルミニウム(Al)、多結晶シリコン(Poly-Si)などを主材料とするゲート電極60を形成する。これらの工程を経て、図3に示す半導体装置3を形成することができる。
図4に、スイッチング構造体として横型のHEMT構造体を備えた他の半導体装置4の断面図を模式的に示す。半導体装置4の構造は、p型窒化ガリウム領域16中の一部に格子不整合層14が形成されている点で半導体装置3と異なる。
図5に、スイッチング構造体として電流を縦方向に流すことが可能なHEMT構造体を備えた半導体装置5の断面図を模式的に示す。半導体装置5は、第3実施例の半導体装置3の変形例である。以下、第3実施例の半導体装置3と異なる点を中心に説明する。
半導体装置5の基板70と下地層12は、n型の不純物を含んでいることを特徴としている。さらに、半導体装置5は、平面視したときに、格子不整合層14が存在しない範囲のp型窒化物半導体領域19の表面から裏面まで貫通して下地層12に接しており、n型の不純物を含む窒化ガリウムのn型窒化物半導体領域12aを備えていることを特徴としている。これにより、下地層12と窒化物半導体下層52は、n型窒化物半導体領域12aを介して電気的に接続している。半導体装置5は、下地層12の裏面に形成されており、n型の不純物を含む窒化ガリウムの半導体基板70を備えている。なお、半導体基板70は、下地層12の一部と評価することもできる。n型窒化物半導体領域12aと下地層12と半導体基板70のn型の不純物には、シリコンが用いられている。半導体装置5はさらに、半導体基板70の裏面に形成されているドレイン電極86を備えている。ドレイン電極86は、第3実施例の半導体装置3とは異なり、裏面側に配置されている。
窒化物半導体下層52と窒化物半導体上層54の界面付近には二次元電子ガス層53が形成されている。このため、ゲート電極60に電圧を印加していない状態では、二次元電子ガス層53に多量の電子が誘起される。これらの電子は、窒化物半導体下層52とn型半導体領域12aとn型の下地層12とn型の半導体基板70を縦方向に移動し、ドレイン電極86にまで達する。半導体装置5では、ゲート電極60に電圧を印加していない状態でソース電極68とドレイン電極86の間に電流経路が形成されるので、ノーマリオンとして動作する。
ゲート電極60に負の電圧を印加すると、窒化物半導体下層52と窒化物半導体上層54の接合面の一部に空乏層が形成され、窒化物半導体下層52と窒化物半導体上層54の接合面の一部に電子が存在できない状態が形成される。半導体装置5では、平面視したときに、ソース電極68とn型窒化物半導体領域12aを分離している範囲にゲート電極60が配置されているので、ゲート電極60の直下の窒化物半導体下層52と窒化物半導体上層54の接合面に電子が存在できない状態が形成される。この結果、電子の移動は、ソース電極68とn型半導体領域12aの間で遮断されるので、ソース電極68とドレイン電極86の間に電流を流すことができない。半導体装置5は、ゲート電極60に印加する電圧を切換えることで、導通状態と非導通状態を経時的に切換えることができる。
本実施例では、高転位密度領域18にボディ電極20が形成されているので、ボディ電極20とp型窒化物半導体領域12の接触抵抗が低く、p型窒化物半導体領域12の電位を安定させることができる。半導体装置5の動作を安定させることができる。
まず図19に示すように、n型不純物としてシリコンを含む窒化ガリウムの半導体基板70を用意し、MOCVD法を利用して、その表面全体にn型不純物としてシリコンを含む下地層12を結晶成長させる。その後、p型窒化ガリウム領域16を形成する工程までは第1実施例の半導体装置製造方法で示した手順と同じである。
次に、図20に示すように、ドライエッチング技術を利用して低転位密度領域19においてp型窒化ガリウム16を貫通するトレンチを形成する。
次に、図21に示すように、p型窒化ガリウム領域16と下地層12の表面に、n型の窒化物半導体を連続してエピタキシャル成長させる。これによって、トレンチ内にn型の窒化物半導体12aとp型窒化ガリウム領域16の表面に、窒化物半導体下層52が形成される。n型の窒化物半導体12aとn型の窒化物半導体下層52には、n型不純物であるシリコンを導入する。
さらに窒化物半導体下層52の表面に不純物を含まない窒化物半導体上層54をエピタキシャル成長させる。窒化物半導体上層54の材料には窒化アルミニウムガリウム(AlGaN)を用いる。窒化物半導体上層54には不純物はドープしない。
次に、図22に示すように、窒化物半導体上層54の表面に絶縁膜59を形成する。その後に、高転位密度領域18の表面上に形成された窒化物半導体下層52と窒化物半導体上層54と絶縁膜59を除去し、高転位密度領域18の表面にボディ電極20を形成する。次に、1対のソース電極68に対応する領域の絶縁膜59を除去し、1対のソース電極68を形成する。次に、1対のソース電極68を隔てている絶縁膜59の表面に、ニッケル(Ni)、アルミニウム(Al)、多結晶シリコン(Poly-Si)などを主材料とするゲート電極60を形成する。最後に、半導体基板70の裏面全体にドレイン電極86を形成する。これらの工程を経て、図5に示す半導体装置5を形成することができる。
図6に、スイッチング構造体として電流を縦方向に流すことが可能なHEMT構造体を備えた他の半導体装置6の断面図を模式的に示す。半導体装置6の構造は、p型窒化ガリウム領域16中の一部に格子不整合層14が形成されている点で半導体装置5と異なる。
p型窒化ガリウム領域16は、ボディ電極20に電気的に接続されている。ボディ電極20とソース電極68は同電位なので、ドレイン・ソース間電圧は、p型窒化ガリウム領域16と下地層12の間のpn接合に高電圧が印加される。例えば、半導体装置3のように格子不整合層14がp型窒化ガリウム領域16の下面に設けられていると、前記したように、転位が格子不整合層14内にも存在している場合は、格子不整合層14と下地層12の間に高電圧が印加され、リーク電流の増加や耐圧の劣化を引き起こす。しかし半導体装置6では、格子不整合層14がp型窒化ガリウム領域16中に形成されており、下地層12から隔てられている。このため、p型窒化ガリウム領域16と下地層12の間には、良好なpn接合が形成されているので、リーク電流の増加や耐圧の劣化が抑制される。
格子不整合層14の一部を除去した後、MOCVD法を利用して、格子不整合層14とp型窒化ガリウム領域16aの表面からp型不純物を含む窒化ガリウムを、所望の窒化ガリウム領域16の膜厚の半分程度までさらに結晶成長させる。これにより、p型窒化ガリウム領域16中に格子不整合層14が形成されている構造となる。
その後、図24に示すように、p型窒化ガリウム領域16を貫通するトレンチを形成する。HEMT構造体を形成する工程(図25、図26)は第5実施例の製造方法で示した手順と同じであるため、説明を省略する。これらの工程を経て、図6に示す半導体装置6を形成することができる。
12:半導体下地層
13、29、59、129:絶縁膜
14:格子不整合層
16、16a、116:p型窒化物半導体領域(p型窒化ガリウム領域)
18:高転位密度領域
19:低転位密度領域
20、120:ボディ電極
22、122:ドレイン領域
24、124:ソース領域
26、66、86、126:ドレイン電極
28、68、128:ソース電極
30、60、130:ゲート電極
52:半導体下層
53:二次元電子ガス層
54:半導体上層
70:半導体基板
Claims (17)
- 高転位密度領域と低転位密度領域を有するとともに、p型の不純物を含むp型窒化物半導体領域と、
p型窒化物半導体領域の高転位密度領域の表面の少なくとも一部に形成されている電極と、
を備えている半導体装置。 - 高転位密度領域を介して前記電極に対向している格子不整合層をさらに備えており、
格子不整合層とp型窒化物半導体領域の格子定数が不一致であることを特徴とする請求項1の半導体装置。 - 格子不整合層は、p型窒化物半導体領域中の一部に形成されており、
格子不整合層と電極の間に高転位密度領域が存在することを特徴とする請求項2の半導体装置。 - 窒化物半導体の下地層と、
下地層の表面の一部に形成されている格子不整合層と、
下地層から格子不整合層に跨って伸びる範囲の下地層と格子不整合層の表面に形成されているとともに、p型の不純物を含むp型窒化物半導体領域と、
平面視したときに格子不整合層が存在する範囲のp型窒化物半導体領域の表面の少なくとも一部に形成されている電極と、
平面視したときに格子不整合層が存在しない範囲に形成されているスイッチング構造体とを備えており、
下地層とp型窒化物半導体領域の格子定数の差が、格子不整合層とp型窒化物半導体領域の格子定数の差よりも小さいことを特徴とする半導体装置。 - 窒化物半導体の下地層と、
下地層の表面に形成されているとともに、p型の不純物を含むp型窒化物半導体領域と、
p型窒化物半導体領域中の一部に形成されている格子不整合層と、
平面視したときに格子不整合層が存在する範囲のp型窒化物半導体領域の表面の少なくとも一部に形成されている電極と、
平面視したときに格子不整合層が存在しない範囲に形成されているスイッチング構造体とを備えており、
下地層とp型窒化物半導体領域の格子定数の差が、格子不整合層とp型窒化物半導体領域の格子定数の差よりも小さいことを特徴とする半導体装置。 - 前記スイッチング構造体が、
平面視したときに格子不整合層が存在しない範囲のp型窒化物半導体領域の表面の一部に形成されているとともに、n型の不純物を含むドレイン領域と、
平面視したときに格子不整合層が存在しない範囲のp型窒化物半導体領域の表面の一部に形成されており、p型窒化物半導体領域によってドレイン領域から隔てられているとともに、n型の不純物を含むソース領域と、
ドレイン領域とソース領域を隔てているp型窒化物半導体領域にゲート絶縁膜を介して対向しているゲート電極を備えていることを特徴とする請求項4又は5の半導体装置。 - 前記スイッチング構造体が、
平面視したときに格子不整合層が存在しない範囲のp型窒化物半導体領域の表面に形成されている窒化物半導体下層と、
窒化物半導体下層の表面に形成されている窒化物半導体上層と、
窒化物半導体上層の表面の一部に形成されているドレイン電極と、
窒化物半導体上層の表面の他の一部に形成されているソース電極と、
ドレイン電極とソース電極を隔てている窒化物半導体上層の表面上の少なくとも一部に形成されているゲート電極を備えており、
窒化物半導体下層のバンドギャップの幅は、窒化物半導体上層のバンドギャップの幅よりも小さいことを特徴とする請求項4又は5の半導体装置。 - 前記スイッチング構造体が、
平面視したときに格子不整合層が存在しない範囲のp型窒化物半導体領域の表面から裏面まで貫通して下地層に接しているとともに、n型の不純物を含むn型窒化物半導体領域と、
平面視したときに格子不整合層が存在しない範囲のp型窒化物半導体領域とn型窒化物半導体領域の表面に形成されている窒化物半導体下層と、
窒化物半導体下層の表面に形成されている窒化物半導体上層と、
平面視したときにn型窒化物半導体領域が存在していない範囲の窒化物半導体上層の表面の一部に形成されているソース電極と、
平面視したときにソース電極とn型窒化物半導体領域を隔てている窒化物半導体上層の表面上の少なくとも一部に形成されているゲート電極と、
下地層の裏面に電気的に接続されているドレイン電極を備えており、
窒化物半導体下層のバンドギャップの幅が窒化物半導体上層のバンドギャップの幅よりも小さいことを特徴とする請求項4又は5の半導体装置。 - 下地層とp型窒化物半導体領域に同一種類の半導体が用いられていることを特徴とする請求項4〜8のいずれかの半導体装置。
- 下地層とp型窒化物半導体領域に窒化ガリウムが用いられており、
格子不整合層に窒化アルミニウムが用いられている、
ことを特徴とする請求項9の半導体装置。 - 半導体装置を製造する方法であって、
窒化物半導体の下地層の表面の一部に格子不整合層を形成する工程と、
下地層から格子不整合層に跨って伸びる範囲の下地層と格子不整合層の表面にp型窒化物半導体領域を結晶成長させる工程と、
平面視したときに格子不整合層が存在する範囲のp型窒化物半導体領域の表面の少なくとも一部に電極を形成する工程と、
平面視したときに格子不整合層が存在しない範囲にスイッチング構造体を形成する工程とを備えており、
下地層とp型窒化物半導体領域の格子定数の差が、格子不整合層とp型窒化物半導体領域の格子定数の差よりも小さいことを特徴とする製造方法。 - 半導体装置を製造する方法であって、
下地層の表面にp型窒化物半導体領域を結晶成長させる工程と、
p型窒化物半導体領域の表面の一部に格子不整合層を形成する工程と、
p型窒化物半導体領域の表面から格子不整合層に跨って伸びる範囲のp型窒化物半導体領域と格子不整合層の表面にさらにp型窒化物半導体領域を結晶成長させる工程と、
平面視したときに格子不整合層が存在する範囲のp型窒化物半導体領域の表面の少なくとも一部に電極を形成する工程と、
平面視したときに格子不整合層が存在しない範囲にスイッチング構造体を形成する工程とを備えており、
下地層とp型窒化物半導体領域の格子定数の差が、格子不整合層とp型窒化物半導体領域の格子定数の差よりも小さいことを特徴とする製造方法。 - スイッチング構造体を形成する工程が、
平面視したときに格子不整合層が存在しない範囲のp型窒化物半導体領域の表面の一部にn型の不純物を含むドレイン領域を形成する工程と、
平面視したときに格子不整合層が存在しない範囲のp型窒化物半導体領域の表面の一部であってp型窒化物半導体領域によってドレイン領域から隔てられている領域に、n型の不純物を含むソース領域を形成する工程と
ドレイン領域とソース領域を隔てているp型窒化物半導体領域にゲート絶縁膜を介して対向しているゲート電極を形成する工程と、
を備えていることを特徴とする請求項11又は12の製造方法。 - スイッチング構造体を形成する工程が、
平面視したときに格子不整合層が存在しない範囲のp型窒化物半導体領域の表面に窒化物半導体下層を形成する工程と、
半導体下層の表面に窒化物半導体上層を形成する工程と、
窒化物半導体上層の表面の一部にドレイン電極を形成する工程と、
窒化物半導体上層の表面の他の一部にソース電極を形成する工程と、
ドレイン電極とソース電極を隔てている半導体上層の表面上の少なくとも一部にゲート電極を形成する工程と、
を備えていることを特徴とする請求項11又は12の製造方法。 - スイッチング機能構造体を形成する工程は、
平面視したときに格子不整合層が存在しない範囲のp型窒化物半導体領域の表面から裏面まで貫通して下地層に接しているとともに、n型の不純物を含むn型窒化物半導体領域を形成する工程と、
平面視したときに格子不整合層が存在しない範囲のp型窒化物半導体領域とn型窒化物半導体領域の表面に窒化物半導体下層を形成する工程と、
窒化物半導体下層の表面に窒化物半導体上層を形成する工程と、
平面視したときにn型半導体領域が存在していない範囲の窒化物半導体上層の表面の一部にソース電極を形成する工程と、
平面視したときにソース電極とn型半導体領域を隔てている半導体上層の表面上の少なくとも一部にゲート電極を形成する工程と、
を備えていることを特徴とする請求項11又は12の製造方法。 - 下地層とp型窒化物半導体領域に同一種類の半導体が用いられることを特徴とする請求項11〜15のいずれかの製造方法。
- 下地層とp型窒化物半導体領域に窒化ガリウムが用いられ、
格子不整合層に窒化アルミニウムが用いられる、
ことを特徴とする請求項16の製造方法。
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