JP5468768B2 - 電界効果トランジスタ及びその製造方法 - Google Patents
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Description
このJFETでは、サファイアからなる基板601上に、AlNバッファ層602と、アンドープGaN層603と、アンドープAlGaNバリア層604と、p型GaN層605とが順次形成されている。そして、p型GaN層605上にはゲート電極608が形成され、アンドープAlGaNバリア層604上にはソース電極606及びドレイン電極607が形成されている。
T. Kawasaki et al,Solid State Devices and Materials 2005 tech.digest pp206. M. Kuroda et al,Solid State Devices and Materials 2005 tech.digest pp470.
図1は、本発明の第1の実施形態に係るJFETの構造を示す断面図である。
図3は、本実施形態に係るJFETの製造方法を説明するための断面図である。
ここで、本実施の形態における変形例について説明する。
本変形例のJFETは、図3で示したJFETの製造方法における図3(c)で示すエピタキシャル成長の工程で、アンドープAlGaN層401とp型GaN層107とを、アンドープGaN層105及びアンドープAlGaN層106のゲート領域の凹部内のアンドープAlGaN層104上に順に成長させることにより得られる。このエピタキシャル成長におけるゲート領域の下地層と成長層との格子定数の不整合を緩和し、より結晶性の良好なp型GaN層107を成長させるため、アンドープAlGaN層401のAl組成比は、アンドープAlGaN層104のAl組成比と同一か、またはそれよりも小さくされる。
図5は、本発明の第2の実施形態に係るJFETの構造を示す断面図である。
102、602 AlNバッファ層
103、105、501、603 アンドープGaN層
104、106、401、502 アンドープAlGaN層
107、605 p型GaN層
108、606 ソース電極
109、607 ドレイン電極
110、608 ゲート電極
604 アンドープAlGaNバリア層
Claims (10)
- 接合型の電界効果トランジスタであって、
第1導電型の第1の窒化物半導体層と、
前記第1の窒化物半導体層の上に形成され、前記第1の窒化物半導体層よりもバンドギャップエネルギーが大きい第1導電型の第2の窒化物半導体層と、
前記第2の窒化物半導体層の上に形成された第1導電型の第3の窒化物半導体層と、
前記第3の窒化物半導体層の上に形成され、前記第3の窒化物半導体層よりもバンドギャップエネルギーが大きい第1導電型の第4の窒化物半導体層と、
前記第4の窒化物半導体層に設けられた凹部内に形成された第2導電型の第5の半導体層と、
前記第5の半導体層の上に形成されたゲート電極と、
前記ゲート電極の両側方の領域に形成されたソース電極及びドレイン電極とを備え、
前記第1の窒化物半導体層及び前記第2の窒化物半導体層のヘテロ接合界面には、チャネルが形成され、
前記凹部は、
前記第3の窒化物半導体層及び前記第4の窒化物半導体層を貫通して前記第2の窒化物半導体層まで達し、さらに、前記第2の窒化物半導体層と前記第5の半導体層との間に形成され、かつ前記凹部の底面および側面に形成された第6の窒化物半導体層を備える
電界効果トランジスタ。 - 前記第2の窒化物半導体層と前記第6の窒化物半導体層との間の格子定数の差は、前記第2の窒化物半導体層と前記第5の半導体層との間の格子定数の差よりも小さい
請求項1に記載の電界効果トランジスタ。 - 接合型の電界効果トランジスタであって、
第1導電型の第1の窒化物半導体層と、
前記第1の窒化物半導体層の上に形成され、前記第1の窒化物半導体層よりもバンドギャップエネルギーが大きい第1導電型の第2の窒化物半導体層と、
前記第2の窒化物半導体層の上に形成された第1導電型の第3の窒化物半導体層と、
前記第3の窒化物半導体層の上に形成され、前記第3の窒化物半導体層よりもバンドギャップエネルギーが大きい第1導電型の第4の窒化物半導体層と、
前記第4の窒化物半導体層の上に形成された第1導電型の第7の窒化物半導体層と、
前記第4の窒化物半導体層および前記第7の窒化物半導体層に設けられた凹部内に形成された第2導電型の第5の半導体層と、
前記第5の半導体層の上に形成されたゲート電極と、
前記ゲート電極の両側方の領域に形成されたソース電極及びドレイン電極とを備え、
前記第1の窒化物半導体層及び前記第2の窒化物半導体層のヘテロ接合界面には、チャネルが形成され、
前記凹部は、前記第7の窒化物半導体層、前記第3の窒化物半導体層及び前記第4の窒化物半導体層を貫通して前記第2の窒化物半導体層まで達し、
さらに、前記第2の窒化物半導体層と前記第5の半導体層との間に形成され、かつ前記凹部の底面および側面に形成された第6の窒化物半導体層を備える
電界効果トランジスタ。 - 前記ソース電極及び前記ドレイン電極は、それぞれ前記第1の窒化物半導体層及び前記第2の窒化物半導体層のヘテロ接合界面と、前記第3の窒化物半導体層及び前記第4の窒化物半導体層のヘテロ接合界面とに接触する
請求項1〜3のいずれか1項に記載の電界効果トランジスタ。 - 前記第1の窒化物半導体層はGaNからなり、
前記第2の窒化物半導体層はAlxGa1-xN(0<x≦1)からなり、
前記第3の窒化物半導体層はAlyGa1-yN(0≦y≦1)からなり、
前記第4の窒化物半導体層はAlzGa1-zN(0≦z≦1)からなり、
前記第5の半導体層はAlαGa1-αN(0≦α≦1)からなる
請求項1〜4のいずれか1項に記載の電界効果トランジスタ。 - 前記電界効果トランジスタは、ノーマリーオフ型のトランジスタである
請求項1〜5のいずれか1項に記載の電界効果トランジスタ。 - 第1の窒化物半導体層上に、前記第1の窒化物半導体よりもバンドギャップエネルギーが大きい第1導電型又はアンドープの第2の窒化物半導体層、第1導電型又はアンドープの第3の窒化物半導体層、及び前記第3の窒化物半導体層よりもバンドギャップエネルギーが大きい第1導電型又はアンドープの第4の窒化物半導体層を順にエピタキシャル成長させる第1成長工程と、
前記第4の窒化物半導体層の一部を選択的に除去して凹部を形成する凹部形成工程と、
前記凹部の底面および側面に第6の半導体層を形成した後、前記凹部内かつ前記第6半導体層の上に第2導電型の第5の半導体層をエピタキシャル成長させる第2成長工程と、
前記第5の半導体層の上にゲート電極を形成するゲート形成工程とを含む
電界効果トランジスタの製造方法。 - 前記凹部形成工程において、前記第4の窒化物半導体層の除去により露出した前記第3の窒化物半導体を、前記第3の窒化物半導体層のエッチング速度よりも前記第2の窒化物半導体層のエッチング速度の方が遅くなるエッチング方法を用いて除去する
請求項7に記載の電界効果トランジスタの製造方法。 - 前記凹部形成工程において、前記第4の窒化物半導体層の一部を選択的に除去した後、前記第3の窒化物半導体層の一部を除去して前記第2の窒化物半導体層を露出させる
請求項7または8に記載の電界効果トランジスタの製造方法。 - 前記第1成長工程において、前記第4の窒化物半導体層の上に第7の窒化物半導体層を形成し、
前記凹部形成工程において、前記第7の窒化物半導体層の一部を選択的に除去して前記凹部を形成する
請求項7〜9のいずれか1項に記載の電界効果トランジスタの製造方法。
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