JP5400266B2 - 電界効果トランジスタ - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1の実施形態におけるヘテロ接合電界効果トランジスタの断面図である。図1において、101はサファイア基板、102はAlNバッファ層、103はAlGaN下地層、104はGaNチャネル層、105はAlGaN電子供給層、106はTi/Alソース電極、107はPdSiゲート電極、108はTi/Alドレイン電極、109は素子分離層である。
図5は、本発明の第1の実施形態における変形例を示す電界効果トランジスタの断面図である。
第2の変形例においては、上記の第1の変形例1におけるAl0.05Ga0.95N下地層504/組成傾斜層503/GaN下地層502の代わりに、例えばAl0.05Ga0.95N下地層504/組成傾斜層/AlN下地層を用い、組成傾斜層のAl組成をAl0.05Ga0.95N下地層504の下面からAlN下地層の上面に向かってAl組成が0.05から1に増加するように形成することにより、Al0.05Ga0.95N下地層504/組成傾斜層/AlN下地層の付近に分極差よるキャリアが減少し、閾値電圧が負電圧側にシフトすることがなくなり、ノーマリオフ動作を実現することができる。
図8は、本発明の第2の実施形態におけるヘテロ接合電界効果トランジスタの断面図である。図8において、701はSi基板、702はAlNバッファ層、703はAlGaNバッファ層、704はAlN/GaN周期構造、705はAlGaN下地層、706はGaNチャネル層、707はAlGaN電子供給層、708はTi/Alソース電極、709はPdSiゲート電極、710はTi/Alドレイン電極、711は素子分離層である。
図9は、本発明の第3の実施形態におけるヘテロ接合電界効果トランジスタの断面図である。図9において、801はSi基板、802はAlNバッファ層、803はAlGaNバッファ層、804はAlN/GaN周期構造、805はAlGaN下地層、806はGaNチャネル層、807はAlGaN電子供給層、808はTi/Alソース電極、809はPdSiゲート電極、810はTi/Alドレイン電極、811は素子分離層、812はp型GaN層である。
102 AlNバッファ層
103 AlGaN下地層
104 GaNチャネル層
105 AlGaN電子供給層
106 ソース電極
107 ゲート電極
108 ドレイン電極
109 素子分離層
501 サファイア基板
502 GaNバッファ層
503 組成傾斜AlGaN層
504 AlGaN下地層
505 GaNチャネル層
506 AlGaN電子供給層
507 ソース電極
508 ゲート電極
509 ドレイン電極
510 素子分離層
701 Si基板
702 AlNバッファ層
703 AlGaNバッファ層
704 AlN/GaN周期構造層
705 AlGaN下地層
706 GaNチャネル層
707 AlGaN電子供給層
708 ソース電極
709 ゲート電極
710 ドレイン電極
711 素子分離層
801 Si基板
802 AlNバッファ層
803 AlGaNバッファ層
804 AlN/GaN周期構造層
805 AlGaN下地層
806 GaNチャネル層
807 AlGaN電子供給層
808 ソース電極
809 ゲート電極
810 ドレイン電極
811 素子分離層
812 p型GaN層
Claims (11)
- サファイア基板、SiC基板またはGaN基板の (0001)面である主面上、またはSi基板の(111)面である主面上に、III族窒化物半導体より構成される下地層とチャネル層と電子供給層とp型層とがこの順に形成されており、前記p型層の上にはゲート電極が形成され、
前記下地層が前記基板側よりAlN層とその上に形成されたAlxGa1-xN層(0<x<1)とにより構成され、かつ前記チャネル層の禁制帯幅が前記AlxGa1-xN層及び前記電子供給層の禁制帯幅よりも小さいことを特徴とするノーマリオフ型の電界効果トランジスタ。 - 前記下地層のうち前記チャネル層に接する部分の禁制帯幅が、前記電子供給層のうち前記チャネル層に接する部分の禁制帯幅よりも小さいことを特徴とする請求項1に記載の電界効果トランジスタ。
- 前記電子供給層に凹部が設けられており、前記凹部の底面に接してゲート電極が形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の電界効果トランジスタ。
- 前記p型層は、GaNよりなることを特徴とする請求項1〜3のうちのいずれか1項に記載の電界効果トランジスタ。
- 前記電子供給層がAlxGa1-xN(0<x<1)により構成されることを特徴とする請求項1に記載の電界効果トランジスタ。
- 前記チャネル層がGaN又はInxGa1-xN(0<x≦1)により構成されることを特徴とする請求項1に記載の電界効果トランジスタ。
- サファイア基板、SiC基板またはGaN基板の (0001)面である主面上、またはSi基板の(111)面である主面上に、III族窒化物半導体より構成される下地層とチャネル層と電子供給層とp型層とがこの順に形成されており、前記p型層の上にはゲート電極が形成され、
前記下地層は、前記基板側よりAlN層、互いに組成の異なる2層のInyAlzGa1-y-zN(0≦y≦1、0≦z≦1)よりなる周期構造、およびAlxGa1-xN層(0<x<1)を有し、
かつ前記チャネル層の禁制帯幅が前記AlxGa1-xN層及び前記電子供給層の禁制帯幅よりも小さいことを特徴とするノーマリオフ型の電界効果トランジスタ。 - 前記周期構造がGaN及びAlNの2層が周期的に形成されてなる層により構成されていることを特徴とする請求項7に記載の電界効果トランジスタ。
- 前記下地層は、前記AlN層と前記AlxGa1-xN層(0<x<1)との間にAlyGa1-yN層(0<y<1かつx<y)を有し、前記AlyGa1-yN層のAl組成が前記基板側より単調に減少し、前記AlxGa1-xN層が前記チャネル層に接していることを特徴とする請求項1に記載の電界効果トランジスタ。
- 前記AlxGa1-xN層が0.5μm以上であることを特徴とする請求項1に記載の電界効果トランジスタ。
- 前記チャネル層が10nm以下であることを特徴とする請求項1に記載の電界効果トランジスタ。
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