JP2010245240A - ヘテロ接合型電界効果半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1の半導体層(1)と、
前記第1の半導体層内に第1導電型を有する二次元キャリアガス層を形成するために前記第1の半導体層上にヘテロ接合するように形成される第2の半導体層(2)と、
前記第2の半導体層に形成される凹部(3)と、
前記凹部を包囲するように前記第2の半導体層上に形成される第1の絶縁膜(4)と、
少なくとも前記凹部上に形成される第2導電型を有する第3の半導体層(5)と、
少なくとも前記凹部上であって前記第3の半導体層上に形成される第2の絶縁膜(6)と、
前記第2の絶縁膜上に形成される制御電極(7)と、
を備えることを特徴とするヘテロ接合型電界効果半導体装置。
【選択図】図1
Description
特許文献1の方法に従うHEMTは、リセス上に形成されたゲート電極に正のゲート制御電圧を印加すると、比較的大きいゲートリーク電流が流れてしまう。また、特許文献2の方法に従うHEMTは、p型導電型を有するAlGaN層を形成することが困難である。
第1の半導体層と、
前記第1の半導体層内に第1導電型を有する二次元キャリアガス層を形成するために前記第1の半導体層上にヘテロ接合するように形成される第2の半導体層と、
前記第2の半導体層に形成される凹部と、
前記凹部を包囲するように前記第2の半導体層上に形成される第1の絶縁膜と、
少なくとも前記凹部上に形成される第2導電型を有する第3の半導体層と、
少なくとも前記凹部上であって前記第3の半導体層上に形成される第2の絶縁膜と、
前記第2の絶縁膜上に形成される制御電極と、を備えることを特徴とする。
また、請求項8の発明に係る電界効果半導体装置の製造方法は、
第1の半導体層と、前記第1の半導体層内に第1導電型を有する二次元キャリアガス層を形成するために前記第1の半導体層上にヘテロ接合する第2の半導体層と、をエピタキシャル成長させる工程と、
前記第2の半導体層上に第1の絶縁膜を形成する工程と、
前記第1の絶縁膜及び前記第2の半導体層をエッチングして凹部を形成する工程と、
少なくとも前記凹部上に第2導電型を有する第3の半導体層を形成する工程と、
少なくとも前記凹部上であって前記第3の半導体層上に第2の絶縁膜を形成する工程と、
前記第2の絶縁膜上に制御電極を形成する工程と、を備えることを特徴とする。
(1)金属酸化物から成るp型半導体膜5は、従来のp型AlGaN層よりも比較的高い抵抗率(絶縁性)を有するため、ヘテロ接合型電界効果半導体装置のゲートリーク電流を低減することができる。
(2)金属酸化物から成るp型半導体膜5は、従来のp型AlGaN層よりも比較的容易に形成でき且つ化学的に安定している。従って、p型半導体膜5を電子供給層2とゲート電極7との間に配置することによって安定性の高いノーマリオフ特性又はノーマリオフに近い特性を有する電界効果半導体装置を得ることができる。
(3)p型半導体膜5よりも高い抵抗率を有する第2の絶縁膜6が、p型半導体膜5とゲート電極7との間に形成されるため、ゲートリーク電流(漏れ電流)をさらに低減することができる。
(4)第1の絶縁膜4の側面41が傾斜を有し、ゲート電極7が側面41及び第1の絶縁膜4の表面上に延伸して形成されるので、フィールドプレート効果により、ゲート電極7の端部(リセス3の端部)における電界集中を良好に緩和することができ、高耐圧化を図ることができる。
(5)等方性エッチングにより第1の絶縁膜4を除去する工程を含むため、傾斜を有する側面41を容易に形成することができる。
(6)異方性エッチングにより所定の厚さの残存部を残すように第1の絶縁膜4の一部を除去した後、等方性エッチングにより第1の絶縁膜4の残存部を除去するため、第1の絶縁膜4の開口部の後退幅が縮小でき、ゲート領域を小さくすることができる。従って、ソース電極とドレイン電極との距離を近づけることにより、オン抵抗を低減することができる。
2,2’ 電子供給層(第2の半導体層)
3 リセス
4、4’ 第1の絶縁膜
5、5’ p型半導体膜(第3の半導体層)
6、6’、6’’ 第2の絶縁膜
7 ゲート電極
Claims (8)
- 第1の半導体層と、
前記第1の半導体層内に第1導電型を有する二次元キャリアガス層を形成するために前記第1の半導体層上にヘテロ接合するように形成される第2の半導体層と、
前記第2の半導体層に形成される凹部と、
前記凹部を包囲するように前記第2の半導体層上に形成される第1の絶縁膜と、
少なくとも前記凹部上に形成される第2導電型を有する第3の半導体層と、
少なくとも前記凹部上であって前記第3の半導体層上に形成される第2の絶縁膜と、
前記第2の絶縁膜上に形成される制御電極と、
を備えることを特徴とするヘテロ接合型電界効果半導体装置。
- 前記第2の絶縁膜が、少なくとも前記第1の絶縁膜の側面上に延伸して形成されることを特徴とする請求項1記載のヘテロ接合型電界効果半導体装置。
- 前記第2の絶縁膜が、少なくとも前記第1の絶縁膜の表面上に延伸して形成されることを特徴とする請求項1又は2記載のヘテロ接合型電界効果半導体装置。
- 前記第1の絶縁膜の側面が、前記凹部に向かって薄くなる5〜80度の傾斜を有することを特徴とする請求項2記載のヘテロ接合型電界効果半導体装置。
- 前記第3の半導体層が、少なくとも前記第1の絶縁膜の側面上に延伸して形成されることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項記載のヘテロ接合型電界効果半導体装置。
- 前記制御電極が、前記第1の絶縁膜の表面上に延伸して形成されることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項記載のヘテロ接合型電界効果半導体装置。
- 前記第2の半導体層が、前記第1の半導体層に隣接する第1の領域と、前記第1の領域上に形成され且つ前記第1の領域よりも低い電子濃度を有する第2の領域と、を備えることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項記載のヘテロ接合型電界効果半導体装置。
- 第1の半導体層と、前記第1の半導体層内に第1導電型を有する二次元キャリアガス層を形成するために前記第1の半導体層上にヘテロ接合する第2の半導体層と、をエピタキシャル成長させる工程と、
前記第2の半導体層上に第1の絶縁膜を形成する工程と、
前記第1の絶縁膜及び前記第2の半導体層をエッチングして凹部を形成する工程と、
少なくとも前記凹部上に第2導電型を有する第3の半導体層を形成する工程と、
少なくとも前記凹部上であって前記第3の半導体層上に第2の絶縁膜を形成する工程と、
前記第2の絶縁膜上に制御電極を形成する工程と、
を備えることを特徴とするヘテロ接合型電界効果半導体装置の製造方法。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013157396A (ja) * | 2012-01-27 | 2013-08-15 | Fujitsu Semiconductor Ltd | 化合物半導体装置及びその製造方法 |
JP2015072962A (ja) * | 2013-10-02 | 2015-04-16 | トランスフォーム・ジャパン株式会社 | 電界効果型化合物半導体装置及びその製造方法 |
JP2015222816A (ja) * | 2015-06-17 | 2015-12-10 | サンケン電気株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2016092397A (ja) * | 2014-10-29 | 2016-05-23 | サンケン電気株式会社 | 半導体装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005509274A (ja) * | 2001-05-11 | 2005-04-07 | クリー インコーポレイテッド | バリア/スペーサ層を有するiii族窒化物系の高電子移動度トランジスタ(hemt) |
JP2005244072A (ja) * | 2004-02-27 | 2005-09-08 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
WO2006001369A1 (ja) * | 2004-06-24 | 2006-01-05 | Nec Corporation | 半導体装置 |
JP2008091394A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 電界効果トランジスタ及びその製造方法 |
US20090057720A1 (en) * | 2007-08-29 | 2009-03-05 | Sanken Electric Co., Ltd. | Field-Effect Semiconductor Device, and Method of Fabrication |
JP2009054807A (ja) * | 2007-08-27 | 2009-03-12 | Sanken Electric Co Ltd | ヘテロ接合型電界効果半導体装置 |
-
2009
- 2009-04-06 JP JP2009091664A patent/JP2010245240A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005509274A (ja) * | 2001-05-11 | 2005-04-07 | クリー インコーポレイテッド | バリア/スペーサ層を有するiii族窒化物系の高電子移動度トランジスタ(hemt) |
JP2005244072A (ja) * | 2004-02-27 | 2005-09-08 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
WO2006001369A1 (ja) * | 2004-06-24 | 2006-01-05 | Nec Corporation | 半導体装置 |
JP2008091394A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 電界効果トランジスタ及びその製造方法 |
JP2009054807A (ja) * | 2007-08-27 | 2009-03-12 | Sanken Electric Co Ltd | ヘテロ接合型電界効果半導体装置 |
US20090057720A1 (en) * | 2007-08-29 | 2009-03-05 | Sanken Electric Co., Ltd. | Field-Effect Semiconductor Device, and Method of Fabrication |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013157396A (ja) * | 2012-01-27 | 2013-08-15 | Fujitsu Semiconductor Ltd | 化合物半導体装置及びその製造方法 |
JP2015072962A (ja) * | 2013-10-02 | 2015-04-16 | トランスフォーム・ジャパン株式会社 | 電界効果型化合物半導体装置及びその製造方法 |
JP2016092397A (ja) * | 2014-10-29 | 2016-05-23 | サンケン電気株式会社 | 半導体装置 |
JP2015222816A (ja) * | 2015-06-17 | 2015-12-10 | サンケン電気株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
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