KR101431967B1 - 도포 장치 및 도포체의 제조 방법 - Google Patents

도포 장치 및 도포체의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

일 실시 형태에 따르면, 도포 대상물이 적재되는 적재면을 갖는 스테이지와, 상기 스테이지를 회전시키는 회전 기구와, 상기 스테이지 상의 상기 도포 대상물에 도포 재료를 토출하는 도포 노즐과, 상기 스테이지에 적재된 상기 도포 대상물에 대하여 상기 도포 노즐을 이동시키는 이동 기구와, 상기 도포 노즐에 재료를 공급하는 공급 장치와, 상기 재료를 배출하는 배출 장치와, 상기 공급 장치, 상기 도포 노즐 및 상기 배출 장치를 연통하는 연통관과, 상기 연통관에 설치되며, 상기 공급 장치 및 상기 도포 노즐, 상기 공급 장치 및 상기 배출 장치, 및 상기 도포 노즐 및 상기 배출 장치 중 어느 하나를 도통시킴과 함께, 상기 도통을 전환 가능한 밸브체를 구비하는 밸브 장치를 구비한다.

Description

도포 장치 및 도포체의 제조 방법{COATING APPARATUS AND METHOD FOR PRODUCING COATED MATTER}
(관련 문헌의 인용)
본 출원은, 2012년 3월 8일에 출원한 선행하는 일본 특허 출원 2012-051525호에 의한 우선권의 이익에 기초를 두고, 또한, 그 이익을 주장하고 있으며, 그 내용 전체가 인용에 의해 본원에 포함된다.
여기서 설명하는 실시 형태는, 도포 장치 및 도포체의 제조 방법에 관한 것이다.
예를 들면, 반도체의 제조 등의 분야에 있어서, 기판 등의 도포 대상물을 회전시키고, 이 도포 대상물 상에 재료를 도포함으로써 성막하는 도포 장치가 알려져 있다. 이와 같은 도포 장치에는, 재료를 도포 대상물 상에 나선 형상의 궤적을 그리며 도포하는 소위 스파이럴 도포를 행하는 도포 방법을 사용하는 기술이 알려져 있다.
이 도포 방법은, 원 형상의 회전 스테이지 상에 원반 형상의 도포 대상물을 고정하고, 도포 노즐의 토출면과 기판 표면의 거리를 소정의 값으로 유지한다. 이어서, 회전 스테이지를 회전시키고, 도포 노즐로부터 도포 재료를 토출시키면서, 그 도포 노즐을 도포 대상물의 중앙으로부터 외주연(外周緣)을 향하여 직선 형상으로 이동시킨다. 이와 같이, 이 도포 방법은, 회전하는 도포 대상물 상에 재료를 토출하여, 나선 형상(소용돌이 형상)의 도포 궤적을 그림으로써 도포 대상물의 전체면에 막을 형성하는 방법이다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 막 두께를 균일하게 형성 가능한 도포 장치 및 도포체의 제조 방법을 제공하는 것에 있다.
일 실시 형태에 따르면, 도포 장치는, 도포 대상물이 적재되는 적재면을 갖는 스테이지와, 상기 스테이지를 회전시키는 회전 기구와, 상기 스테이지 상의 상기 도포 대상물에 도포 재료를 토출하는 도포 노즐과, 상기 스테이지에 적재된 상기 도포 대상물에 대하여 상기 도포 노즐을 이동시키는 이동 기구와, 상기 도포 노즐에 재료를 공급하는 공급 장치와, 상기 재료를 배출하는 배출 장치와, 상기 공급 장치, 상기 도포 노즐 및 상기 배출 장치를 연통하는 연통관과, 상기 연통관에 설치되며, 상기 공급 장치 및 상기 도포 노즐, 상기 공급 장치 및 상기 배출 장치, 및 상기 도포 노즐 및 상기 배출 장치 중 어느 하나를 도통시킴과 함께, 상기 도통을 전환 가능한 밸브체를 구비하는 밸브 장치를 구비한다. 또한, 도포 장치는, 상기 도포 대상물이 적재된 상기 스테이지를 상기 회전 기구에 의해 회전시키고, 상기 밸브 장치를 전환하여 상기 공급 장치 및 상기 도포 노즐을 도통시키고, 상기 이동 기구를 구동함으로써 상기 도포 노즐을 이동시켜, 상기 스테이지 상의 도포 대상물에 상기 도포 재료를 도포하는 제어부를 구비한다.
본 발명은, 막 두께를 균일하게 형성 가능한 도포 장치 및 도포체의 제조 방법을 제공할 수 있다.
도 1은 일 실시 형태에 관한 도포 장치의 구성을 모식적으로 도시하는 설명도.
도 2는 상기 도포 장치에 사용되는 밸브 장치의 구성을 모식적으로 도시하는 설명도.
도 3은 상기 밸브 장치의 구성을 모식적으로 도시하는 설명도.
도 4는 상기 도포 장치에 사용되는 노즐의 압력과 밸브 장치의 전환의 관계를 도시하는 설명도.
도 5는 상기 도포 장치를 사용한 제조 방법의 일례를 설명하는 흐름도.
이하, 본 실시 형태에 관한 도포 장치(1) 및 도포 장치(1)를 사용한 도포체(120)의 제조 방법을, 도 1 내지 도 5를 사용하여 설명한다.
도 1은 본 실시 형태에 관한 도포 장치(1)의 구성을 모식적으로 도시하는 설명도, 도 2는 도포 장치(1)에 사용되는 밸브 장치(43)의 구성을 모식적으로 도시하는 단면도, 도 3은 밸브 장치(43)의 구성을 모식적으로 도시하는 단면도, 도 4는 도포 장치(1)에 사용되는 도포 노즐(24)의 압력과 밸브 장치(43)의 전환의 관계를 도시하는 설명도, 도 5는 도포 장치(1)를 사용한 제조 방법의 일례를 설명하는 흐름도이다.
도포 장치(1)는, 도포 대상물, 예를 들면 반도체의 제조에 있어서 사용되는 웨이퍼(100) 상에, 웨이퍼(100)를 회전시키면서 액상의 도포 재료를 도포하는 소위 스파이럴 도포에 의해, 도포막(110)을 성막 가능하게 형성되어 있다. 즉, 도포 장치(1)는, 웨이퍼(100) 상에 도포막(110)이 도포된 도포체(120)를 제조 가능하게 형성되어 있다.
도 1에 도시한 바와 같이, 도포 장치(1)는, 웨이퍼(100)가 적재되는 스테이지(10)와, 스테이지(10)를 회전시키는 회전 기구(11)를 구비하고 있다. 도포 장치(1)는, 스테이지(10) 상에 도포 재료를 도포하는 노즐 장치(12)와, 노즐 장치(12)에 도포 재료를 공급하는 공급 장치(13)와, 도포 재료의 일부를 배출하는 배출 장치(14)와, 도포 재료의 유로를 형성하는 연통로(15)와, 연통로(15)의 압력을 검출 가능한 압력 검출 장치(16)를 구비하고 있다. 도포 장치(1)는, 스테이지(10) 상의 도포 재료[도포막(110)]를 검출하는 막 검출 장치(17)와, 각 구성품을 제어 가능한 제어부(19)를 구비하고 있다.
스테이지(10)는, 예를 들면 원반 형상으로 형성되어 있다. 스테이지(10)는, 그 상면이 평탄하게 형성됨과 함께, 당해 상면의 면 방향이 수평 방향으로 연장 형성되어 있다. 스테이지(10)는, 회전 기구(11)에 의해 당해 면 방향을 따라서 회전 가능하게 형성되어 있다. 스테이지(10)는, 그 상면이, 웨이퍼(100)를 유지 가능, 또한, 웨이퍼(100)를 고정 가능하게 형성된 적재면(10a)을 형성한다. 또한, 스테이지(10)는, 웨이퍼(100)를 고정하여 유지하는 수단으로서, 예를 들면 에어에 의해 적재면(10a) 상에 웨이퍼(100)를 흡착 가능한 흡착 기구를 갖고 있다.
회전 기구(11)는, 스테이지(10)를 회전 가능하게 지지하는 회전축(21)과, 회전축(21)을 회전 구동하는 구동부(22)를 구비하고 있다. 구동부(22)는, 회전축(21)을 회전 가능한 모터 등이다. 구동부(22)는, 제어부(19)에 접속되며, 회전축(21)의 회전 및 정지의 전환이 가능하고, 회전축(21)을 소정의 회전수로 회전 가능, 또한, 회전수를 가변 가능하게 형성되어 있다.
노즐 장치(12)는, 적재면(10a) 상의 웨이퍼(100)의 상면에 재료를 토출하여 도포하는 도포 노즐(24)과, 도포 노즐(24)을 이동 가능한 이동 기구(25)와, 도포 노즐(24)의 건조를 방지하는 건조 방지 장치(26)와, 도포 노즐(24)의 도포 재료의 액면을 검출하는 액면 검출 수단(27)을 구비하고 있다.
도포 노즐(24)은, 도포막(110)으로 되는 재료를 토출 가능하게 형성되어 있다. 도포 노즐(24)은, 그 내부에, 도포 재료를 통과 가능한, 원 형상의 유로 단면을 갖는 통로부(31)가 형성되어 있다.
이동 기구(25)는, 도포 노즐(24)을 지지 가능, 또한, 지지한 도포 노즐(24)을, 스테이지(10)의 적재면(10a)의 면 방향 및 당해 면 방향과 직교하는 방향으로 이동 가능하게 형성되어 있다. 환언하면, 이동 기구(25)는, 도포 노즐(24)을 스테이지(10)의 상방으로 이동 및 배치 가능, 또한, 도포 노즐(24)을 스테이지(10)에 대하여 멀어지게 하거나 가까워지게 할 수 있도록 형성되어 있다.
구체적으로는, 이동 기구(25)는, 도포 노즐(24)을 이동시키는 제1 이동 기구(33) 및 제2 이동 기구(34)를 구비하고 있다. 제1 이동 기구(33)는, 스테이지(10)의 적재면(10a)의 면 방향이며, 스테이지(10)의 대략 중심을 통과하는 일방향으로 도포 노즐(24)을 이동 가능하게 형성되어 있다.
제2 이동 기구(34)는, 제1 이동 기구(33)의 이동 방향과 직교하는 방향이며, 스테이지(10)로부터 이격하는 방향으로 도포 노즐(24)을 이동 가능하게 형성되어 있다. 제2 이동 기구(34)는, 제1 이동 기구(33)에 의해, 도포 노즐(24)과 함께, 스테이지(10)의 면 방향으로 이동 가능하게 형성되어 있다. 또한, 제2 이동 기구(34)는 반사형 레이저 센서 등의 거리 측정부(35)를 구비하고 있다.
제1 이동 기구(33) 및 제2 이동 기구(34)는, 리니어 모터를 구동원으로 하는 리니어 모터 이동 기구나 모터를 구동원으로 하는 이송 나사 이동 기구 등이 사용된다.
거리 측정부(35)는, 제2 이동 기구(34)와 함께 적재면(10a)의 면 방향으로 이동하고, 적재면(10a) 상의 웨이퍼(100)까지의 거리를 측정 가능하게 형성되어 있다. 거리 측정부(35)는, 측정한 웨이퍼(100)까지의 거리에 의해, 웨이퍼(100)의 도포면의 표면 거칠기, 환언하면, 그 도포면의 높이 프로파일을 검출 가능하게 형성되어 있다. 거리 측정부(35)는, 제어부(19)에 접속되어, 이들 검출한 정보를 제어부(19)에 송신 가능하게 형성되어 있다.
건조 방지 장치(26)는, 도포 노즐(24)의 선단에 용제를 공급함으로써, 도포 노즐(24)의 선단의 건조를 방지 가능하게 형성되어 있다. 예를 들면, 건조 방지 장치(26)는, 도포 노즐(24)의 선단에 공급하는 용제(37)를 저류 가능, 또한, 저류한 용제(37)에 도포 노즐(24)을 침지 가능한 저류조이다. 여기서, 용제(37)는, 도포 재료를 용융 가능한 것이며, 예를 들면 감마 부티로락톤이 사용된다.
건조 방지 장치(26)는, 웨이퍼(100) 상에 도포 재료의 도포가 완료된 도포 노즐(24)을 저류한 용제(37)에 침지시킴으로써, 도포 노즐(24)의 선단의 건조를 방지하여, 도포 노즐(24) 선단의 수지 재료의 건조에 의한 더스트의 발생을 방지한다. 또한, 건조 방지 장치(26)는, 도포 노즐(24)의 선단을 저류한 용제(37)에 침지시키는 구성이 아니라, 용제(37)의 증기를 도포 노즐(24)의 선단에 공급하는 구성이나, 당해 용제(37)를 분무하는 구성이어도 된다.
액면 검출 수단(27)은, 도포 노즐(24)의 선단으로부터, 통로부(31) 내의 도포 재료의 선단의 액면인 메니스커스까지의 거리를 검출 가능하게 형성되어 있다. 액면 검출 수단(27)은, 예를 들면 레이저 변위계이다. 액면 검출 수단(27)은, 제어부(19)에 접속되어, 검출한 액면의 거리 정보를 제어부(19)에 송신 가능하게 형성되어 있다.
공급 장치(13)는, 도포 재료를 저류하는 공급 탱크(41)와, 공급 탱크(41) 내의 도포 재료를 증압하는 공급 펌프(42)와, 공급 탱크(41) 및 도포 노즐(24)을 접속하는 연통로(15)에 설치된 밸브 장치(43)를 구비하고 있다. 또한, 공급 장치(13)는, 공급하는 도포 재료의 유량을 조정하는 유량 조정 밸브 등을 갖고 있다. 공급 펌프(42)는, 펌프부 및 모터를 구비하고, 제어부(19)에 접속되어 있다.
밸브 장치(43)는, 예를 들면 전자기 제어 밸브이며, 제어부(19)에 접속되어 있다. 밸브 장치(43)는, 공급 탱크(41) 및 도포 노즐(24), 공급 탱크(41) 및 배출 탱크(55), 및 도포 노즐(24) 및 배출 탱크(55)를 도통 가능하게, 연통로(15) 상에 설치된다. 즉, 밸브 장치(43)는, 공급 탱크(41) 및 도포 노즐(24)을 도통시킴과 함께, 제어부(19)의 지시에 의해 전환됨으로써, 공급 탱크(41) 및 배출 탱크(55), 또는, 도포 노즐(24) 및 배출 탱크(55)를 도통시키는, 도포 재료의 흐름을 3방향으로 전환 가능한 3방 밸브이다.
구체적으로 설명하면, 도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이, 밸브 장치(43)는, 외곽 부재(45)와, 3개의 유로부(46)와, 밸브체인 볼체(47)와, 회전축(48)과, 전환 수단(49)을 구비하고 있다.
외곽 부재(45)는, 그 내부에, 유로부(46), 볼체(47) 및 회전축(48)의 일부를 배치 가능하게 형성되어 있다. 외곽 부재(45)는, 외면 형상을 형성하는 외체(51)와, 볼체(47)를 지지 가능한 내체(52)를 구비하고 있다. 외곽 부재(45)는, 그 내부, 더 말하면, 외체(51) 및 내체(52) 사이에, 유체인 도포 재료의 저류 공간(53)이 형성된다.
외체(51)는, 예를 들면 그 상면이 경사져서 형성됨과 함께, 그 상면의 일부, 바람직하게는 경사지는 상면의 높이가 높은 부위에, 저류 공간(53) 및 외부를 연통 가능, 또한, 저류 공간(53) 내의 공기 빼기가 가능한 공기 빼기부(54)를 구비하고 있다. 공기 빼기부(54)는, 구멍부(54a) 및 구멍부(54a)를 폐색하는 마개(54b)를 갖고 있다.
외체(51)는, 회전축(48)을 회전 지지 가능, 또한, 회전축(48)을 축봉(軸封) 가능하게 형성되어 있다. 외체(51)는 연통로(15)를 접속 가능하게 형성되어 있다.
내체(52)는 외체(51) 내에 고정되어 있다. 내체(52)는, 볼체(47)를 지지함과 함께, 유로부(46) 및 볼체(47)를 연속 가능한 3개의 개구부(52a)가 형성되어 있다. 개구부(52a)는, 3개의 유로부(46)에 각각 대향하여 배치된다. 내체(52)는, 그 내면 및 볼체(47)의 외면 사이에, 저류 공간(53)과 연속하는 간극을 형성한다. 내체(52)는 저류 공간(53) 내의 도포 재료에 침지된다. 내체(52)는, 또한, 그 외면 및 유로부(46)의 단부 사이에, 저류 공간(53)과 연속하는 간극을 갖고 있어도 된다.
유로부(46)는, 외체(51)에 접속된 연통로(15) 및 내체(52)의 개구부(52a) 간에, 유체, 여기서는 도포 재료의 유로를 형성한다. 유로부(46)는, 공급 탱크(41)에 접속된 연통로(15)에 접속되는 제1 유로부(46a)와, 도포 노즐(24)에 접속된 연통로(15)에 접속되는 제2 유로부(46b)와, 배출 탱크(55)에 접속된 연통로(15)에 접속되는 제3 유로부(46c)를 구비하고 있다. 유로부(46)는, 제1 유로부(46a), 제2 유로부(46b) 및 제3 유로부(46c)가, 볼체(47)의 회전축(48)을 중심으로 등간격, 즉 120도 간격으로 외체(51) 내에 배치된다.
볼체(47)는, 도 3에 도시한 바와 같이, 제1 유로부(46a), 제2 유로부(46b) 및 제3 유로부(46c) 중 어느 2개와 접속 가능하게, 120도로 경사지는 유로(47a)를 갖고 있다. 볼체(47)는, 회전축(48)에 접속되어, 회전축(48)을 중심으로 회동 가능하게 형성되어 있다. 볼체(47)는, 저류 공간(53) 내의 도포 재료에 침지된다.
전환 수단(49)은, 회전축(38)을, 120도 간격으로 회동 가능한, 전자기 액추에이터이다. 전환 수단(49)은, 제어부(19)에 신호선 등을 통하여 접속되어, 제어부(19)의 지시에 따라서, 회전축(38)을 회동시킨다.
배출 장치(14)는, 연통로(15)에 접속되며, 배출된 도포 재료를 저류하는 배출 탱크(55)와, 배출 탱크(55)에 접속된 연통로(15)의 단부에 형성되며, 배출 탱크(55) 내와 연통하는 도포 재료의 배출구(56)와, 배출구(56)의 높이를 조절하는 조정 장치(57)를 구비하고 있다.
조정 장치(57)는, 제어부(19)에 접속되어 있다. 조정 장치(57)는, 배출구(56)의 높이를 조정함으로써, 배출구(56)와 도포 노즐(24)의 수두 차를 가변시켜, 도포 노즐(24)의 도포 재료의 액면 높이를 조정 가능하게 형성된 액면 조정 장치이다.
연통로(15)는, 공급 탱크(41) 및 밸브 장치(43)를 접속하는 제1 연통로(61)와, 밸브 장치(43) 및 도포 노즐(24)을 접속하는 제2 연통로(62)와, 밸브 장치(43) 및 배출 탱크(55)를 접속하는 제3 연통로(63)를 구비하고 있다. 제1 연통로(61)는 밸브 장치(43)의 제1 유로부(46a)에 접속되어 있다. 제2 연통로(62)는 밸브 장치(43)의 제2 유로부(46b)에 접속되어 있다.
제3 연통로(63)는 밸브 장치(43)의 제3 유로부(46c)에 접속되어 있다. 또한, 제3 연통로(63)는 그 배출 탱크(55)에 접속되는 단부의 개구가, 배출구(56)를 구성한다. 제3 연통로(63)는 조정 장치(57)에 의해, 그 단부의 높이가 조정됨으로써, 배출구(56)의 높이가 조정된다.
압력 검출 장치(16)는 제1 연통로(61) 또는 제2 연통로(62)에 설치되며, 공급 장치(13)로부터 공급된 도포 재료의 압력을 검출 가능하게 형성되어 있다. 압력 검출 장치(16)는, 제어부(19)에 접속되어, 제어부(19)에 검출한 압력의 정보를 송신 가능하게 형성되어 있다.
막 검출 장치(17)는, 스테이지(10)에 적재된 웨이퍼(100)의 도포막(110)의 화상을 취득하는 화상 취득부(65)와, 그 화상 취득부(65)에 의해 취득된 화상을 처리하는 화상 처리부(66)와, 화상 처리된 화상 등을 표시하는 표시부(67)를 구비하고 있다.
화상 취득부(65)는, 적재면(10a)의 웨이퍼(100)의 전체면을 관찰 가능하게 스테이지(10)의 상방에 설치되어 있다. 화상 취득부(65)는, 웨이퍼(100) 상의 도포막(110)의 전체면의 화상을 취득한다. 화상 취득부(65)는, 예를 들면 CCD(Charge Coupled Device) 카메라 등의 촬상부나, 재료에 광을 쏘아 그 반사광을 검출하는 센서 등이 사용된다.
화상 처리부(66)는, 제어부(19)에 접속되어, 제어부(19)와 서로 통신이 가능하게 형성되어 있다. 화상 처리부(66)는, 화상 처리 후의 화상을 표시부(67) 및 제어부(19)에 송신 가능하게 형성되어 있다. 또한, 화상 처리부(66)는, 막 검출 장치(17)에 설치하는 구성을 사용하고 있지만 이것에 한정되지 않고, 예를 들면 제어부(19)에 화상 처리부(66)를 설치하고, 제어부(19)에서 화상 처리를 행하는 구성이어도 된다. 표시부(67)는, 예를 들면 액정 디스플레이(LCD)가 사용된다.
제어부(19)는, 압력 검출 장치(16), 구동부(22), 액면 검출 수단(27), 제1 이동 기구(33), 제2 이동 기구(34), 거리 측정부(35), 공급 펌프(42), 화상 처리부(66) 및 조정 장치(57)에 전기적으로 접속되어 있다.
제어부(19)는, 압력 검출 장치(16)에 의해 검출된 압력 정보, 액면 검출 수단(27)에 의해 검출한 액면의 거리 정보, 거리 측정부(35)에서 측정한 거리 정보 및 화상 처리부(66)로부터 송신된 화상 데이터 등을 기억하는 기억부(71)를 구비하고 있다. 기억부(71)는 메모리나 하드디스크 드라이브(HDD) 등이 사용된다.
제어부(19)는, 구동부(22), 이동 기구(25) 및 공급 펌프(42)를 구동하여, 스테이지(10)의 회전수가 소정의 회전수에 도달한 후, 도포 노즐(24)로부터 도포 재료를 토출시키면서 도포 노즐(24)을 이동시켜, 웨이퍼(100) 상에 도포 재료를 도포 가능하게 형성되어 있다.
제어부(19)는, 거리 측정부(35)에서 검출한 높이 프로파일로부터 구해진 도포 노즐(24)과 웨이퍼(100)의 도포면의 수직 방향의 거리(갭)를 측정 가능하게 형성되어 있다. 제어부(19)는, 당해 측정한 갭으로부터, 면 방향의 도포 노즐(24)의 각 위치에 있어서의 이동량, 환언하면 제2 이동 기구(34)의 구동량인 보정값을 산출 가능하게 형성되어 있다.
또한, 제어부(19)는, 산출된 보정값 및 압력 검출 장치(16)에 의해 검출된 압력에 따라서, 제2 이동 기구(34)를 구동하여, 도포 노즐(24)의 도포 위치, 즉, 웨이퍼(100)로부터 도포 노즐(24)의 선단까지의 높이를 제어 가능하게 형성되어 있다.
예를 들면, 제어부(19)는, 갭으로부터 산출된 보정값에 기초한 도포 노즐(24)의 높이 방향의 도포 위치를 소정의 위치로 설정하고, 압력 검출 장치(16)에 의해 검출된 압력이 소정의 압력보다도 높은 경우에는, 도포 노즐(24)을 웨이퍼(100)로부터 이격시킨다. 또한, 압력 검출 장치(16)에 의해 검출된 압력이 소정의 압력보다도 낮은 경우에는, 제어부(19)는, 당해 소정의 위치로부터 도포 노즐(24)을 웨이퍼(100)에 근접시킨다.
제어부(19)는, 화상 처리부(66)로부터 송신된 화상 데이터와, 기억부(71)에 기억된 막 두께와 농담(화상 농도)의 관계 정보로부터, 도포 누락이나 이물의 발생, 막 두께의 변동 정도, 도포막(110)의 형상을 판단 가능하게 형성되어 있다.
또한, 제어부(19)는 이하의 기능 (1) 내지 (3)을 갖고 있다.
기능 (1) 밸브 장치(43)를 전환하여, 도포 재료의 도포 및 배출을 전환하는 기능.
기능 (2) 웨이퍼(100)에의 도포 재료의 도포 완료 후, 도포 노즐(24) 내의 도포 재료의 액면을 조정하는 기능.
기능 (3) 도포 노즐(24)의 액면 조정 후, 도포 노즐(24)에 용제를 공급하는 기능.
이어서, 이들 기능 (1) 내지 (3)에 대하여 설명한다.
기능 (1)은, 제어부(19)가, 밸브 장치(43)의 전환 수단(49)을 구동하여 볼체(47)를 회동시켜, 제1 유로부(46a) 및 제2 유로부(46b)의 접속, 제1 유로부(46a) 및 제3 유로부(46c)의 접속, 또는, 제2 유로부(46b) 및 제3 유로부(46c)의 접속을 전환하는 기능이다.
즉, 기능 (1)은, 제어부(19)가 밸브 장치(43)를 전환함으로써, 제1 연통로(61), 제2 연통로(62) 및 제3 연통로(63) 중 어느 2개를 접속하여, 공급 탱크(41) 및 도포 노즐(24), 공급 탱크(41) 및 배출 탱크(55), 및 도포 노즐(24) 및 배출 탱크(55) 중 어느 하나를 도통시키는 기능이다.
여기서, 제어부(19)는, 도포 재료를 웨이퍼(100) 상에 도포할 때, 더 말하면, 당해 도포하는 경우이며, 스테이지(10)의 회전수가 소정의 회전수에 도달한 후에 밸브 장치(43)를 전환하여, 제1 유로부(46a) 및 제2 유로부(46b)를 접속한다. 이 밸브 장치(43)의 전환에 의해, 공급 탱크(41) 및 도포 노즐(24)이, 제1 연통로(61), 밸브 장치(43) 및 제2 연통로(63)를 통하여 도통하게 된다.
제어부(19)는, 도포 재료의 도포로부터 배출로의 변경 시, 더 말하면, 웨이퍼(100)에 도포 재료의 도포가 완료될 때에 밸브 장치(43)를 전환하여, 제2 유로부(46b) 및 제3 유로부(46c)의 접속으로의 전환을 행한다. 이 밸브 장치(43)의 전환에 의해, 도포 노즐(24) 및 배출 탱크(55)는, 제2 연통로(62), 밸브 장치(43) 및 제3 연통로(63)를 통하여 도통한다.
제어부(19)는, 밸브 장치(43)를 전환하여 도포 노즐(24) 및 배출 탱크(55)를 도통시킴으로써, 도 4에 도시한 바와 같이, 도포 노즐(24) 내의 잔압(노즐 압력)을 급격하게 저하시켜, 도포 재료의 도포량을 저감하고, 잔압에 의한 여분의 도포를 방지하여, 도포량을 제어한다.
제어부(19)는, 도포 재료를 공급 장치(13)로부터 배출할 때에 밸브 장치(43)를 전환하여, 제1 유로부(46a) 및 제3 유로부(46c)의 접속으로의 전환을 행한다. 또한, 예를 들면 공급 장치(13)로부터 도포 재료를 배출하는 경우의 일례로서는, 연통로(15) 및 밸브 장치(43) 내의 공기 빼기 등이 있다.
기능 (2)는, 제어부(19)가, 액면 검출 수단(27)에 의해 도포 노즐(24) 내의 도포 재료의 액면을 검출하고, 검출한 액면에 따라서 배출구(56)의 높이를 가변시켜, 도포 노즐(24) 내의 액면을 소정의 액면으로 조정하는 기능이다.
구체적으로는, 제어부(19)는, 웨이퍼(100)의 도포 완료 후, 또한, 도포 노즐(24) 및 배출 탱크(55)를 도통한 후, 도포 노즐(24)을 이동 기구(25)에 의해 액면 검출 수단(27)까지 구동하고, 액면 검출 수단(27)을 구동하여 도포 노즐(24)의 도포 재료의 액면을 검출한다. 제어부(19)는, 이 검출 데이터를 수신함과 함께, 당해 데이터에 기초하여, 조정 장치(57)를 구동하여 배출구(56)의 높이를 가변하여, 도포 노즐(24) 내의 액면을 소정의 액면으로 조정한다. 이와 같이 하여, 제어부(19)는, 도포 노즐(24)의 통로부(31) 내의 액면을 소정의 액면으로 조정한다.
기능 (3)은, 기능(2)에 있어서 도포 노즐(24) 내의 액면을 조정한 후, 제어부(19)가 제1 이동 기구(33) 및 제2 이동 기구(34)를 구동하고, 건조 방지 장치(26)에 의해, 도포 노즐(24)의 선단에 용제(37)를 공급하는 기능이다. 구체적으로는, 제어부(19)는, 제1 이동 기구(33) 및 제2 이동 기구(34)를 구동하여, 건조 방지 장치(26)에 저류한 용제(37)에 도포 노즐(24)의 선단을 침지시킨다. 그 후, 제어부(19)는, 제1 이동 기구(33) 및 제2 이동 기구(34)를 구동하여, 도포 노즐(24)을 건조 방지 장치(26)로부터 이탈시킴으로써, 도포 노즐(24)의 선단에 용제(37)를 공급한다.
이어서, 이와 같이 구성된 도포 장치(1)를 사용하여 도포 대상물인 웨이퍼(100) 상에 도포 재료를 도포하여, 도포체(120)를 제조하는 제조 방법에 대하여, 이하, 도 5에 도시한 흐름도를 사용하여 설명한다.
도 5의 흐름도에 도시한 바와 같이, 우선, 제어부(19)에 의해, 원점 복귀 및 액면 제어 등의 초기 동작이 행해진다(스텝 ST1). 예를 들면, 제어부(19)는, 원점복귀로서, 이동 기구(25)를 구동하여, 도포 노즐(24)을 스테이지(10)의 소정의 위치, 구체적으로는, 도포 개시 위치인 스테이지(10)에 유지되는 웨이퍼(100)의 중앙에 대향하는 위치로 이동시킨다.
또한, 제어부(19)는, 액면 제어로서, 조정 장치(57)를 구동하여, 배출구(56)의 높이를 소정의 높이로 설정함으로써, 도포 노즐(24) 내의 액면을, 도포 노즐(24)의 선단과 배출구(56)의 수두 차에 의해 조정한다. 이때, 제어부(19)는, 밸브 장치(43)를 제어하여 제2 연통로(62) 및 제3 연통로(63)를 도통시킨다. 또한, 제어부(19)는, 예를 들면 기억부(71)에 기억된 도포 재료의 점성 및 도포 노즐(24)의 통로부(31)의 유로 면적 등에 기초하여, 최적의 양을 도포 노즐(24)의 선단으로부터 도포 가능하게, 통로부(31) 내의 액면의 높이를 조정한다.
이어서, 웨이퍼(100)를, 로봇 핸들링 등의 반송 장치에 의해 스테이지(10)의 적재면(10a) 상에 적재시킨다(스텝 ST2). 적재면(10a)에 웨이퍼(100)를 반송한 후, 흡착 기구를 구동함으로써, 웨이퍼(100)를 적재면(10a) 상에 고정한다.
이어서, 도포 노즐(24)과 웨이퍼(100)의 도포면의 높이를 조정한다(스텝 ST3). 구체적으로는, 스테이지(10) 상에 웨이퍼(100)를 고정한 후, 제어부(19)는, 제1 이동 기구(33) 및 거리 측정부(35)를 구동하여 높이 프로파일을 검출하고, 갭을 측정한다. 이어서, 제어부(19)는, 검출한 갭으로부터, 도포 노즐(24)과 웨이퍼(100)의 도포면의 수직 방향의 거리(갭)가 설정값으로 되도록 제2 이동 기구(34)의 보정값을 산출한다. 제어부(19)는, 산출된 보정값에 기초하여 제2 이동 기구(34)를 구동시켜, 도포 노즐(24)의 높이 방향의 위치를 조정한다.
이어서, 웨이퍼(100) 상에 도포 재료를 도포하는 도포 처리가 행해진다(스텝 ST4). 이 도포 처리로서, 우선, 제어부(19)는, 구동부(22)를 구동함으로써, 웨이퍼(100)가 적재면(10a)에 고정된 스테이지(10)를 소정의 회전수로 회전시킨다.
스테이지(10)를 소정의 회전수로 회전한 후, 제어부(19)는, 도포 재료의 도포 개시로서, 도 4에 도시한 바와 같이, 밸브 장치(43)를 전환하여 공급 탱크(41) 및 도포 노즐(24)을 도통시키고, 공급 펌프(42)를 구동시킨다. 동시에, 제어부(19)는, 제1 이동 기구(33)를 구동시켜, 도포 노즐(24)을 원점 위치, 즉, 웨이퍼(100) 상의 중앙으로부터 외측 테두리측을 향하여 면 방향으로 소정의 속도로 이동시킨다.
또한, 제어부(19)는, 예를 들면 미리, 웨이퍼(100)의 형상, 도포 재료의 공급 압력 및 점성, 스테이지(10)의 회전수, 및 도포 노즐(24)의 유로 단면적 등의 조건에 기초하여 도포 노즐(24)의 이동 속도를 산출하고, 당해 이동 속도로부터 구해지는 도포 시간 t, 환언하면 제1 이동 기구(33)의 구동 시간을 구하고, 기억부(71)에 기억시킨다.
제어부(19)는, 이 기억부(71)에 기억된 도포 시간 t에 기초하여, 제1 이동 기구(33)를 구동시킨다. 제어부(19)는, 도포 개시로부터의 시간의 경과, 환언하면 제1 이동 기구(33)의 구동 시간을 카운트한다. 제어부(19)는, 당해 카운트한 도포 시간이, 제1 이동 기구(33)의 구동 시간 종료(도포 완료) 직전, 환언하면, 도포 노즐(24)이 웨이퍼(100)의 외측 테두리, 더 말하면 도포 영역의 외측 테두리의 직전에 도달하였는지의 여부를 판단한다(스텝 ST5).
또한, 도포 완료 직전의 도포 시간은, 웨이퍼(100)의 형상, 도포 재료의 공급 압력 및 점성, 스테이지(10)의 회전수, 및 도포 노즐(24)의 유로 단면적 등의 조건에 기초하여 결정되고, 도포 완료 위치의 수㎜ 전방으로 되는 시간, 예를 들면 도포 완료하는 도포 시간 t의 수초 정도 전으로 설정된다. 또한, 당해 도포 완료 직전으로 되는 도포 시간은, 임계값으로서 기억부(71)에 미리 기억된다.
당해 판단(스텝 ST5)에 의해, 제1 이동 기구(33)의 구동 시간이, 도포 완료 직전으로 되는 도포 시간이 아닌 경우(스텝 ST5의 "아니오")에는, 계속해서 제1 이동 기구(33)를 구동하고, 당해 구동 시간을 카운트함과 함께, 반복하여 판단(스텝 ST5)을 행한다.
당해 판단(스텝 ST5)에 의해, 제1 이동 기구(33)의 구동 시간이, 도포 완료 직전으로 되는 도포 시간인 경우(스텝 ST5의 "예")에는, 제어부(19)는, 도포 노즐(24)이 웨이퍼(100)의 외측 테두리에 위치하기 직전이라고 판단한다. 이 판단에 의해, 제어부(19)는, 밸브 장치(43)를 전환하여 도포 노즐(24) 및 배출 탱크(55)를 도통시킴과 함께, 공급 펌프(42)를 정지시킨다(스텝 ST6).
또한, 제어부(19)는, 조정 장치(57)를 구동하여, 당해 밸브 장치(43)의 전환 이전 또는 동시에 배출구(56)가 도포 노즐(24)의 선단보다도 낮은 위치로 되도록, 배출구(56)의 위치를 조정한다. 배출구(56)가 도포 노즐(24)의 선단보다도 낮은 위치로 됨으로써, 도포 노즐(24)의 선단과 배출구(56)의 수두 차를 설정하는 것이 가능하게 된다.
이와 같이, 제어부(19)는, 도포 노즐(24) 및 배출 탱크(55)의 도통, 및 도포 노즐(24)의 선단 및 배출구(56)의 수두 차에 의해, 도포 노즐(24) 및 제2 연통로(62) 내의 잔압을 급격하게 저하시켜, 도포 노즐(24)로부터 토출되는 도포 재료의 양(도포량)을 감소시킨다.
즉, 제어부(19)는, 웨이퍼(100)의 외측 테두리에 도포 노즐(24)이 위치하였을 때에, 잔압에 의한 여분의 도포를 방지함으로써, 웨이퍼(100)의 도포 영역의 외측 테두리의 도포 재료의 도포량을 조정한다. 또한, 제어부(19)는, 제1 이동 기구(33)의 구동 시간이 종료된 후, 제1 이동 기구(33)의 구동을 정지시킨다.
이와 같이, 제어부(19)는, 공급 탱크(41) 및 도포 노즐(24)을 도통시키고, 구동부(22), 공급 장치(13) 및 이동 기구(25)를 제어함으로써, 도포 노즐(24)이 이동하면서 도포 재료를 연속하여 웨이퍼(100) 상에 토출하여, 웨이퍼(100) 상에 소용돌이 형상으로 재료를 도포(스파이럴 도포)한다. 이와 같이 소용돌이 형상으로 도포된 재료는, 웨이퍼(100)의 회전에 의한 원심력으로 퍼져, 웨이퍼(100)의 도포면 상에 도포막(110)이 형성된다.
이어서, 웨이퍼(100) 상의 도포막(110)이 막 검출 장치(17)에 의해 검사되어(스텝 ST8), 도포막(110)의 도포 누락의 발생의 유무, 도포막(110)의 이물의 유무, 막 두께 이상의 유무 및 도포막(110)의 형상 등이 감시되고, 필요한 경우에는 부분 도포를 행하는 보수 처리가 이루어진다. 이와 같이 하여, 도포 대상물인 웨이퍼(100)에 도포 재료가 도포되어, 웨이퍼(100) 상에 도포막(110)이 성막된 도포체(120)가 제조된다.
이어서, 제어부(19)는, 도포 노즐(24)의 도포 재료의 액면을 조정한다(스텝 ST8). 구체적으로는, 우선, 제어부(19)는, 제1 이동 기구(33) 및 제2 이동 기구(34)를 구동하여, 도포 노즐(24)을 액면 검출 수단(27)으로 이동시킨다. 이어서, 제어부(19)는, 액면 검출 수단(27)에 의해 도포 노즐(24)의 액면을 검출하고, 당해 검출된 액면에 따라서, 조정 장치(57)를 구동시켜 도포 노즐(24)의 선단과 배출구(56)의 수두 차를 가변하여, 도포 노즐(24)의 액면을 소정의 액면 높이로 조정한다.
이어서, 제어부(19)는, 제1 이동 기구(33) 및 제2 이동 기구(34)를 구동하여, 도포 노즐(24)을 건조 방지 장치(26)의 저류된 용제(37)에 도포 노즐(24)의 선단을 침지시켜, 도포 노즐(24)의 선단에 용제(37)를 공급한다(스텝 ST9). 이와 같이 용제(37)를 공급함으로써, 도포 노즐(24)의 건조가 방지되고, 다음 웨이퍼(100)의 성막까지 대기된다.
이와 같이 구성된 도포 장치(1) 및 도포체(120)의 제조 방법에 의하면, 3방 밸브인 밸브 장치(43)에 의해 전환함으로써, 도포 재료의 흐름 방향을 용이하게 전환하는 것이 가능하게 된다.
또한, 도포 장치(1)는, 밸브 장치(43)에 의해 도포 완료 직전에, 도포 노즐(24) 및 배출 탱크(55)를 도통시킴으로써, 도포 노즐(24) 내의 압력(잔압)을 단시간에 감소시키는 것이 가능하게 된다. 더 말하면, 도포 장치(1)는, 도포 노즐(24) 및 배출 탱크(55)의 도통에 의해 도포 노즐(24) 내의 잔압을 배출 탱크(55)로 빠져나가게 하는 것이 가능하게 된다. 이에 의해, 도포 노즐(24) 및 배출 탱크(55)를 도통시킨 경우에는, 도포 장치(1)는, 도 4에 파선으로 나타내는 공급 탱크(41) 및 배출 탱크(55)를 전환한 경우에 비해, 단시간에 잔압을 감소시켜, 도포 노즐(24)로부터 도포하는 도포 재료의 양을 저감할 수 있다.
이에 의해, 도포 완료 위치, 즉, 도포 재료를 도포하는 영역과 도포하지 않는 영역의 경계부에 있어서, 잔압에 의한 여분의 도포를 방지하는 것이 가능하게 되어, 웨이퍼(100) 상의 막 두께를 균일하게 하는 것이 가능, 또한, 웨이퍼(100)의 도포 영역 외의 도포를 방지 가능하게 된다. 도포 영역 외의 도포를 방지함으로써, 웨이퍼(100)의 소위 엣지 커트라 불리는, 여분의 도포 재료의 제거 공정을 방지할 수 있음과 함께, 당해 엣지 커트에 사용하는 시너의 사용량을 저감하는 것이 가능하게 된다.
또한, 밸브 장치(43)는, 외곽 부재(45) 내에 도포 재료를 저류하는 저류 공간(53)을 가짐과 함께, 볼체(47)의 외면과 내체(52)의 내면 사이에, 저류 공간(53)과 연속하는 간극을 갖는 구성이다. 또한, 밸브 장치(43)는, 저류 공간(53)에 도포 재료가 저류된다. 이 때문에, 볼체(47)의 외면 및 내체(52)의 내면 사이에는, 도포 재료가 개재되기 때문에, 도포 재료에 의해 윤활제가 구성되어, 볼체(47) 및 내체(52)의 무윤활의 미끄럼 이동에 의해 발생하는 미끄럼 이동 가루 등의 오염물(contamination) 등의 더스트의 발생을 방지 가능하게 된다.
또한, 윤활을 위해서, 도포 재료를 사용하기 때문에, 미끄럼 이동부에 별도로 윤활제를 사용할 필요가 없다. 이와 같이, 밸브 장치(43)는, 그 내부에 도포 재료를 저류하고, 도포 재료를 윤활재로서 사용함으로써 도포 재료에 이물, 즉, 윤활재나 무윤활 미끄럼 이동에 의해 발생하는 더스트가 함유되는 것을 방지 가능하게 된다.
또한, 외곽 부재(45) 내는, 도포 재료가 충만하기 때문에, 밸브 장치(43)의 전환에 의한 에어의 발생, 더 말하면, 밸브 장치(43)의 전환 시에, 공급되는 도포 재료 내에 에어가 혼입되는 것이 방지 가능하게 된다. 도포 재료 내에 에어가 혼입되는 것을 방지함으로써, 도포 재료의 공급량이 가변할 우려나, 형성한 막 중에 에어가 혼재되는 것을 방지 가능하게 된다.
또한, 웨이퍼(100)에의 도포 재료의 도포는, 스테이지(10)가 소정의 회전수에 도달한 후에 개시함으로써, 도포 재료의 액 부착부, 더 말하면, 도포 개시부의 막 두께가 두꺼워지는 것을 방지하여, 막 두께를 일정하게 하는 것이 가능하게 된다.
즉, 웨이퍼(100) 상의 도포 재료의 습윤 등의 요인은, 정지 시에 작용하고, 회전력에 의해 그 작용이 저감하는 것이다. 또한, 웨이퍼(100) 상에 도포 재료를 소정의 회전수로 도포함으로써, 원심력에 의해 도포 재료가 외주측으로 퍼진다. 이 때문에, 스테이지(10)가 소정의 회전수로 회전한 후에 도포 재료를 웨이퍼(100) 상에 도포함으로써, 웨이퍼(100)의 중심측의 막 두께를 일정하게 하는 것이 가능하게 된다.
또한, 도포 완료 후에, 도포 노즐(24)의 액면을 조정하고, 또한, 도포 노즐(24)의 선단에, 건조 방지 장치(26)에 의해 용제(37)를 공급함으로써, 도포 재료를 최대한 외기에 노출시키지 않는다. 도포 노즐(24)의 선단에 부착된 도포 재료는, 용제(37)에 의해 덮여지기 때문에, 당해 부착된 도포 재료의 건조가 방지된다. 또한, 도포 노즐(24)의 선단에 건조한 도포 재료가 위치해도, 용제(37)에 의해 건조한 도포 재료를 용융하는 것이 가능하게 된다. 이에 의해, 도포 노즐(24)의 선단에 부착된 도포 재료의 건조에 의한 박리 등을 방지하는 것이 가능하게 된다.
구체적으로 설명하면, 이 도포 노즐(24)의 선단에 부착된 도포 재료가 건조되어, 박리되면, 당해 박리된 재료가 더스트로 되어, 도포 재료 내에 혼재될 우려 및 웨이퍼 상의 성막 중에 혼재될 우려가 있다. 그러나, 용제(37)를 도포 노즐(24)의 선단에 공급함으로써, 도포 노즐(24)의 선단에 부착된 도포 재료의 건조를 방지하고, 또한, 건조한 도포 재료가 존재하는 경우에는, 당해 건조한 도포 재료를 용해시키는 것이 가능하게 되어, 더스트의 발생을 방지 가능하게 된다.
상술한 바와 같이 본 실시 형태에 관한 도포 장치(1) 및 도포체(120)의 제조 방법에 의하면, 도포 대상물(100) 상에 나선 형상으로 도포 재료를 도포해도, 막 두께를 균일하게 형성 가능하게 된다.
또한, 본 실시 형태의 도포 장치(1)는, 상술한 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 상술한 실시 형태의 밸브 장치(43)는, 볼 밸브를 사용하는 구성을 설명하였지만 이에 한정되지 않는다. 밸브 장치(43)는, 공급 탱크(41) 및 도포 노즐(24), 공급 탱크(41) 및 배출 탱크(55), 및 도포 노즐(24) 및 배출 탱크(55)를 도통 가능, 또한, 당해 3방향으로의 도통을 전환 가능하면, 예를 들면 로터리 밸브나 리니어 이동에 의해 전환되는 밸브이어도 된다.
또한, 상술한 실시예에서는, 도포 노즐(24) 내의 도포 재료의 액면의 높이는, 액면 조정 장치인 조정 장치(57)를 구동함으로써, 배출구(56)의 높이를 가변시켜, 도포 노즐(24)의 선단과의 수두 차에 의해 액면의 높이를 조정하는 구성을 설명하였지만 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 액면 조정 장치는, 공급 펌프(42) 및 압력 검출 장치(16)에 의해 구성해도 된다. 즉, 액면 조정 장치로서, 도포 노즐(24) 내의 액면의 높이를 조정하는 경우에, 압력 검출 장치(16)에 의해 검출한 압력에 의해, 도포 노즐(24) 내의 압력을 공급 펌프(42)에 의해 가변시켜 액면을 이동시키는 구성이어도 된다.
본 발명의 몇 가지의 실시 형태를 설명하였지만, 이들 실시 형태는, 예로서 제시한 것이며, 발명의 범위를 한정하는 것은 의도하고 있지 않다. 이들 신규의 실시 형태는, 그 밖의 다양한 형태로 실시되는 것이 가능하고, 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서, 다양한 생략, 치환, 변경을 행할 수 있다. 이들 실시 형태나 그 변형은, 발명의 범위나 요지에 포함됨과 함께, 특허 청구 범위에 기재된 발명과 그 균등 범위에 포함된다.

Claims (10)

  1. 도포 장치로서,
    도포 대상물이 적재되는 적재면을 갖는 스테이지와,
    상기 스테이지를 회전시키는 회전 기구와,
    상기 스테이지 상의 상기 도포 대상물에 도포 재료를 토출하는 도포 노즐과,
    상기 스테이지에 적재된 상기 도포 대상물에 대하여 상기 도포 노즐을 이동시키는 이동 기구와,
    상기 도포 노즐에 재료를 공급하는 공급 장치와,
    상기 재료를 배출하는 배출 장치와,
    상기 공급 장치, 상기 도포 노즐 및 상기 배출 장치를 연통하는 연통관과,
    상기 연통관에 설치되며, 상기 공급 장치 및 상기 도포 노즐, 상기 공급 장치 및 상기 배출 장치, 및 상기 도포 노즐 및 상기 배출 장치 중 어느 하나를 도통 시킴과 함께, 상기 도통을 전환 가능한 밸브체를 구비하는 밸브 장치와,
    상기 도포 대상물이 적재된 상기 스테이지를 상기 회전 기구에 의해 회전시키고, 상기 밸브 장치를 전환하여 상기 공급 장치 및 상기 도포 노즐을 도통시키고, 상기 이동 기구를 구동함으로써 상기 도포 노즐을 이동시켜, 상기 스테이지 상의 도포 대상물에 상기 도포 재료를 도포하는 제어부를 구비하고,
    상기 제어부는, 상기 도포 노즐을 상기 도포 대상물의 중심으로부터 외주측을 향하여 이동시켜, 상기 도포 대상물에 상기 도포 재료를 도포함과 함께, 상기 도포 재료의 도포 완료 직전에, 상기 밸브 장치를 전환하여, 상기 도포 노즐 및 상기 배출 장치를 도통시키는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
  2. 도포 장치로서,
    도포 대상물이 적재되는 적재면을 갖는 스테이지와,
    상기 스테이지를 회전시키는 회전 기구와,
    상기 스테이지 상의 상기 도포 대상물에 도포 재료를 토출하는 도포 노즐과,
    상기 스테이지에 적재된 상기 도포 대상물에 대하여 상기 도포 노즐을 이동시키는 이동 기구와,
    상기 도포 노즐에 재료를 공급하는 공급 장치와,
    상기 재료를 배출하는 배출 장치와,
    상기 공급 장치, 상기 도포 노즐 및 상기 배출 장치를 연통하는 연통관과,
    상기 연통관에 설치되며, 상기 공급 장치 및 상기 도포 노즐, 상기 공급 장치 및 상기 배출 장치, 및 상기 도포 노즐 및 상기 배출 장치 중 어느 하나를 도통 시킴과 함께, 상기 도통을 전환 가능한 밸브체를 구비하는 밸브 장치와,
    상기 도포 대상물이 적재된 상기 스테이지를 상기 회전 기구에 의해 회전시키고, 상기 밸브 장치를 전환하여 상기 공급 장치 및 상기 도포 노즐을 도통시키고, 상기 이동 기구를 구동함으로써 상기 도포 노즐을 이동시켜, 상기 스테이지 상의 도포 대상물에 상기 도포 재료를 도포하는 제어부를 구비하고,
    상기 밸브 장치는, 상기 밸브체를 그 내부에 수납함과 함께, 상기 도포 재료를 저류하는 저류 공간이 상기 내부에 형성된 외곽 부재를 더 구비하고, 상기 밸브체는 상기 저류 공간에 저류된 상기 도포 재료에 침지되는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 연통관에 설치되며, 상기 도포 노즐의 압력을 검출하는 압력 검출 장치를 더 구비하고,
    상기 이동 기구는, 상기 도포 노즐을 상기 스테이지에 적재된 상기 도포 대상물에 대하여 멀어지거나 가까워지는 방향으로 이동 가능하게 형성되고,
    상기 제어부는, 상기 압력 검출 장치에서 검출된 상기 도포 노즐의 압력에 따라서 상기 이동 기구를 제어하여, 상기 도포 노즐을 상기 도포 대상물에 대하여 멀어지게 하거나 가까워지게 하는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
  5. 도포 장치로서,
    도포 대상물이 적재되는 적재면을 갖는 스테이지와,
    상기 스테이지를 회전시키는 회전 기구와,
    상기 스테이지 상의 상기 도포 대상물에 도포 재료를 토출하는 도포 노즐과,
    상기 스테이지에 적재된 상기 도포 대상물에 대하여 상기 도포 노즐을 이동시키는 이동 기구와,
    상기 도포 노즐에 재료를 공급하는 공급 장치와,
    상기 재료를 배출하는 배출 장치와,
    상기 공급 장치, 상기 도포 노즐 및 상기 배출 장치를 연통하는 연통관과,
    상기 연통관에 설치되며, 상기 공급 장치 및 상기 도포 노즐, 상기 공급 장치 및 상기 배출 장치, 및 상기 도포 노즐 및 상기 배출 장치 중 어느 하나를 도통 시킴과 함께, 상기 도통을 전환 가능한 밸브체를 구비하는 밸브 장치와,
    상기 도포 대상물이 적재된 상기 스테이지를 상기 회전 기구에 의해 회전시키고, 상기 밸브 장치를 전환하여 상기 공급 장치 및 상기 도포 노즐을 도통시키고, 상기 이동 기구를 구동함으로써 상기 도포 노즐을 이동시켜, 상기 스테이지 상의 도포 대상물에 상기 도포 재료를 도포하는 제어부와,
    상기 도포 노즐 내의 상기 도포 재료의 액면을 검출하는 액면 검출 장치와,
    상기 도포 노즐 내의 상기 액면의 높이를 조정하는 조정 장치를 구비하고,
    상기 제어부는, 상기 액면 검출 장치에서 검출한 상기 액면에 기초하여, 상기 조정 장치를 구동하여, 상기 도포 노즐 내의 상기 액면의 높이를 소정의 액면의 높이로 조정하는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 도포 노즐의 선단에, 상기 도포 재료를 용융시키는 용제를 공급하는 건조 방지 장치를 더 구비하고,
    상기 제어부는, 상기 도포 노즐 내의 액면을 상기 소정의 액면의 높이로 조정한 후, 상기 건조 방지 장치에 의해 상기 도포 노즐에 상기 용제를 공급하는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
  7. 도포체의 제조 방법으로서,
    도포 대상물이 적재된 스테이지를 회전 기구에 의해 회전시키는 단계와,
    상기 도포 대상물에 도포하는 도포 재료를 공급하는 공급 장치 및 공급된 상기 도포 재료를 토출하는 도포 노즐, 상기 공급 장치 및 상기 도포 재료를 배출하는 배출 장치, 및 상기 도포 노즐 및 상기 배출 장치 중 어느 하나의 도통을 전환 가능한 밸브 장치를 전환하여 상기 공급 장치 및 상기 도포 노즐을 도통시키는 단계와,
    회전하는 상기 도포 대상물의 중심측으로부터 외측을 향하여 상기 도포 노즐을 이동시킴과 함께, 상기 공급 장치에 의해 공급된 상기 도포 재료를 상기 도포 노즐로부터 상기 도포 대상물 상에 토출하는 단계와,
    상기 도포 재료의 도포가 완료될 때에, 상기 밸브 장치를 전환하여 상기 도포 노즐 및 상기 배출 장치를 도통시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 도포체의 제조 방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 도포 재료의 도포가 완료될 때의 상기 도포 노즐 및 상기 배출 장치의 도통은, 상기 도포 재료의 도포 완료 직전에 전환되는 것을 특징으로 하는 도포체의 제조 방법.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 도포 노즐은, 상기 스테이지가 소정의 회전수에 도달한 후, 상기 도포 대상물 상에 상기 도포 재료를 도포하는 것을 특징으로 하는 도포체의 제조 방법.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 도포 재료의 도포 완료 후, 상기 도포 노즐 내의 상기 도포 재료의 액면을 검출하고, 검출된 상기 액면을 소정의 액면으로 조정하는 단계와,
    상기 소정의 액면으로 조정하는 단계 후, 상기 도포 노즐의 선단에, 상기 도포 재료를 용융시키는 용제를 공급하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 도포체의 제조 방법.
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