JP6981032B2 - ノズルの待機方法、及び塗布装置 - Google Patents
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本発明の塗布装置は、従来の塗布装置が備える、塗布液を吐出するノズルと、ノズルを待機させるノズルポットと、ノズルポットに有機溶剤の貯留槽とに加えて、さらにノズルの先端の位置と有機溶剤の液面の位置とを検出する機構と、ノズルの高さを可変制御する機構と、を備える塗布装置である。
レジストの塗布を行った後、使用したノズルを24時間、ノズルの先端をノズルポット内の溶剤の液面よりも1mm下げた位置で待機させた。次に、該ノズルを使用してレジストを塗布する基板である直径8インチのシリコンウエハに、緑色画素の形成に用いるネガ型カラーレジスト(顔料分散型)を、画素が0.7μmの厚さとなるよう回転塗布しレジスト膜を形成する作業を5枚連続して行った。
実施例1の24時間を48時間とした以外は実施例1と同じ方法でレジスト膜を形成した。
1枚目は従来の溶剤雰囲気での待機と塗布前のノズル先端の清掃とレジスト液出し(ダミーディスペンス)をいずれも行わず、2枚目の塗布前に従来の溶剤雰囲気での12時間の待機とノズル先端の清掃とレジスト液出しを行った以外は実施例1と同じ方法でレジスト膜を形成した。
1枚目の塗布前に従来の溶剤雰囲気での12時間の待機とノズル先端の清掃とレジスト液出しを行った以外は実施例1と同じ方法でレジスト膜を形成した。
実施例1、2及び比較例1、2の1〜5枚目の塗布で発生したパーティクルを検出し、個数を計測した。結果を表1に示す。
10、20、30・・・ノズルポット
2・・・・・・・基板
3、3−1)〜3−6)・・・ノズル
4・・・・・・・ノズルアーム
5・・・・・・・スキャナ
6・・・・・・・駆動機構
7・・・・・・・スピンカップ
8・・・・・・・真空チャック
9・・・・・・・モータ
11・・・・・・タンク
12・・・・・・塗布液
13・・・・・・加圧機構
14・・・・・・チューブ
21、31・・・溶剤の貯留槽
22・・・・・・ノズル保持冶具
23・・・・・・液面検出機構
24・・・・・・サーボモータ
25・・・・・・ノズル高さ制御部
33・・・・・・レジストの乾燥固着物
Claims (2)
- ノズルと、前記ノズルを待機させるノズルポットと、前記ノズルポットに有機溶剤の貯留槽とを備え、ダミーディスペンス作業を行わずに前記ノズルから前記塗布液を塗布可能な塗布装置において、前記ノズルを待機させる方法であって、
前記ノズルの待機中、前記ノズル内には前記塗布液が保持された状態で、前記ノズルの先端を前記貯留槽に貯められた前記有機溶剤の液面から0〜3mm下の位置に保持しながら待機させることを特徴とするノズルの待機方法。 - ノズルと、前記ノズルを待機させるノズルポットと、前記ノズルポットに有機溶剤の貯留槽を備え、ダミーディスペンス作業を行わずに前記ノズルから前記塗布液を塗布可能な塗布装置であって、
前記ノズルの先端の位置と前記有機溶剤の液面の位置とを検出する位置検出機構と、前記位置検出機構の検出結果を用いて前記ノズルの高さを可変制御する可変制御機構と、を備え、
前記可変制御機構は前記ノズル内に前記塗布液が保持された状態の前記ノズルの先端を前記貯留槽に貯められた前記有機溶剤の液面から0〜3mm下の位置に保持できることを特徴とする塗布装置。
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