JPWO2019102655A1 - シロキサン樹脂組成物、硬化膜および表示装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明のシロキサン樹脂組成物において、(A)ポリシロキサンとは、主鎖骨格にシロキサン結合を有する、重量平均分子量(Mw)が1,000以上の重合体を指す。ここで、(A)ポリシロキサンのMwとは、ゲルパーエミッションクロマトグラフィー(GPC)で測定したポリスチレン換算値を指す。塗布特性の観点から、(A)ポリシロキサンのMwは、2,000以上がより好ましい。一方、塗布特性および現像液への溶解性の観点から、(A)ポリシロキサンのMwは、100,000以下が好ましく、50,000以下がより好ましい。
本発明のシロキサン樹脂組成物において、(B)感光剤は、ネガ型またはポジ型の感光性を付与し、フォトリソグラフィ法による微細パターン形成を可能とする作用を有する。ネガ型感光性を付与する場合は、(b1)ラジカル重合開始剤を含有することが好ましく、高精細なパターン形状の隔壁を形成することができる。さらに、多官能モノマーを含有することが好ましい。一方、ポジ型感光性を付与する場合は、光酸発生剤を含有することが好ましい。光酸発生剤としては、(b2)キノンジアジド化合物が好ましい。
本発明のシロキサン樹脂組成物において、(C)リン原子を有する重合性化合物とは、リン原子と、ラジカル重合可能な官能基(ラジカル重合性基)を含有する化合物を指す。ラジカル重合性基としては、例えば、ビニル基、α―メチルビニル基、アリル基、スチリル基、(メタ)アクリロイル基、γ−(メタ)アクリロイルエチル基、γ−(メタ)アクリロイルプロピル基などが挙げられる。これらの中でも、光および熱反応性が高い(メタ)アクリロイル基、γ−(メタ)アクリロイルエチル基、γ−(メタ)アクリロイルプロピル基が好ましく、硬化膜の耐薬品性をより向上させることができる。(C)リン原子を有する重合性化合物としては、下記一般式(1)で表される構造を有する化合物が好ましい。
(D)ウレイド基を有するシラン化合物としては、例えば、3−ウレイドプロピルトリメトキシシラン、3−ウレイドプロピルトリエトキシシラン、3−フェニルウレイドプロピルトリメトキシシラン、3−フェニルウレイドプロピルトリエトキシシラン、4−ウレイドブチルトリメトキシシラン、4−ウレイドブチルトリエトキシシラン、4−フェニルウレイドブチルトリメトキシシラン、4−フェニルウレイドブチルトリエトキシシランなどが挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。これらの中でも、金属基板およびガラス基板への密着性をより向上させる観点から、3−ウレイドプロピルトリエトキシシラン、3−ウレイドプロピルトリメトキシシランが好ましい。
当量比((C)/(D))=((C)リン原子を有する重合性化合物の重量(g)/(C)リン原子を有する重合性化合物中のリン原子数(個))/((D)ウレイド基を有するシラン化合物の重量(g)/(D)ウレイド基を有するシラン化合物中のウレイド基の数(個))
(環状エーテル基を有する化合物)
本発明のシロキサン樹脂組成物は、環状エーテル基を有する化合物を含有することが好ましい。環状エーテル基としては、エポキシ基、オキセタニル基が好ましい。環状エーテル基を有する化合物を含有することにより、カチオン重合性が向上することから、耐薬品性と硬度をより向上させることができる。(A)ポリシロキサンが(a1)カチオン重合性基としてエポキシ基を含有する場合、環状エーテル基を有する化合物がオキセタニル基を有することがより好ましく、(A)ポリシロキサンが(a1)カチオン重合性基としてオキセタニル基を含有する場合、環状エーテル基を有する化合物がエポキシ基を有することがより好ましい。シロキサン樹脂組成物中にエポキシ基とオキセタニル基を共存させることにより、エポキシ基とオキセタニル基のカチオン重合の効率が高まり、耐薬品性と硬度をより向上させることができる。
PGMEA:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
PGME:プロピレングリコールモノメチルエーテル
TBC:4−tert−ブチルピロカテコール。
500mlの三口フラスコに、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシランを22.21g(0.090mol)、p−スチリルトリメトキシシランを67.40g(0.300mol)、γ−アクリロイルプロピルトリメトキシシランを28.16g(0.12mol)、3−トリエトキシシリルプロピルコハク酸を27.43g(0.090mol)、TBCを0.287g、PGMEを158.04g仕込み、40℃で撹拌しながら、水34.07gにジシクロヘキシルアミン0.726g(仕込みモノマーに対して0.50重量%)を溶かしたジシクロヘキシルアミン水溶液を30分間かけて添加した。そのまま2時間撹拌した後、フラスコを70℃のオイルバスに浸けて90分間撹拌した。その後、オイルバスを30分間かけて115℃まで昇温した。昇温開始1時間後に溶液の内温が100℃に到達し、そこから2時間加熱撹拌し(内温は100〜110℃)、ポリシロキサン(A−1)の溶液を得た。なお、昇温および加熱撹拌中、圧空を0.05l(リットル)/分流した。反応中に、副生成物であるメタノール、水が合計97.42g留出した。得られた溶液について、固形分濃度が40重量%となるようにPGMEを添加した。得られたポリシロキサン(A−1)の(a1)カチオン重合性基、(a2)ラジカル重合性基および(a3)アルカリ可溶性基の合計含有量100モル%に対するエポキシ基、スチリル基、(メタ)アクリロイル基、アルカリ可溶性基の含有量は、それぞれ15モル%、50モル%、20モル%、15モル%であった。また、得られたポリシロキサン(A−1)の重量平均分子量は2,500であった。
γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン22.21g(0.090mol)にかえて3−[(3−エチルオキセタン−3−イル)メトキシ]プロピルトリメトキシシラン25.10g(0.090mol)を用いたこと以外は合成例1と同様の手順により、固形分濃度40重量%のポリシロキサン(A−2)の溶液を得た。得られたポリシロキサン(A−2)の(a1)カチオン重合性基、(a2)ラジカル重合性基および(a3)アルカリ可溶性基の合計含有量100モル%に対するオキセタニル基、スチリル基、(メタ)アクリロイル基、アルカリ可溶性基の含有量は、それぞれ15モル%、50モル%、20モル%、15モル%であった。また、得られたポリシロキサン(A−2)の重量平均分子量(Mw)は2,400であった。
500mlの三口フラスコに、p−スチリルトリメトキシシランを87.62g(0.390mol)、γ−アクリロイルプロピルトリメトキシシランを28.16g(0.12mol)、3−トリエトキシシリルプロピルコハク酸を27.43g(0.090mol)、TBCを0.347g、PGMEを155.05g仕込み、40℃で撹拌しながら、水34.07gにジシクロヘキシルアミン0.716g(仕込みモノマーに対して0.50重量%)を溶かしたジシクロヘキシルアミン水溶液を30分間かけて添加した。合成例1と同様の手順により、固形分濃度40重量%のポリシロキサン(A−3)の溶液を得た。得られたポリシロキサン(A−3)の(a1)カチオン重合性基、(a2)ラジカル重合性基および(a3)アルカリ可溶性基の合計含有量100モル%に対するスチリル基、(メタ)アクリロイル基、アルカリ可溶性基の含有量は、それぞれ60モル%、20モル%、15モル%であった。また、得られたポリシロキサン(A−3)の重量平均分子量(Mw)は2,500であった。
500mlの三口フラスコに、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシランを1.48g(0.006mol)、p−スチリルトリメトキシシランを86.27g(0.384mol)、γ−アクリロイルプロピルトリメトキシシランを28.16g(0.120mol)、3−トリエトキシシリルプロピルコハク酸を27.43g(0.090mol)、TBCを0.343g、PGMEを155.25g仕込み、40℃で撹拌しながら、水34.07gにジシクロヘキシルアミン0.717g(仕込みモノマーに対して0.50重量%)を溶かしたジシクロヘキシルアミン水溶液を30分間かけて添加した。合成例1と同様の手順により、固形分濃度40重量%のポリシロキサン(A−4)の溶液を得た。得られたポリシロキサン(A−4)の(a1)カチオン重合性基、(a2)ラジカル重合性基および(a3)アルカリ可溶性基の合計含有量100モル%に対するエポキシ基、スチリル基、(メタ)アクリロイル基、アルカリ可溶性基の含有量は、それぞれ1モル%、64モル%、20モル%、15モル%であった。また、得られたポリシロキサン(A−4)の重量平均分子量(Mw)は2,500であった。
500mlの三口フラスコに、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシランを44.42g(0.18mol)、p−スチリルトリメトキシシランを47.18g(0.21mol)、γ−アクリロイルプロピルトリメトキシシランを28.16g(0.12mol)、3−トリエトキシシリルプロピルコハク酸を27.43g(0.090mol)、TBCを0.226g、PGMEを161.02g仕込み、40℃で撹拌しながら、水34.07gにジシクロヘキシルアミン0.736g(仕込みモノマーに対して0.50重量%)を溶かしたジシクロヘキシルアミン水溶液を30分間かけて添加した。合成例1と同様の手順により、固形分濃度40重量%のポリシロキサン(A−5)の溶液を得た。得られたポリシロキサン(A−5)の(a1)カチオン重合性基、(a2)ラジカル重合性基および(a3)アルカリ可溶性基の合計含有量100モル%に対するエポキシ基、スチリル基、(メタ)アクリロイル基、アルカリ可溶性基の含有量は、それぞれ30モル%、35モル%、20モル%、15モル%であった。また、得られたポリシロキサン(A−5)の重量平均分子量(Mw)は2,700であった。
500mlの三口フラスコに、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシランを22.21g(0.090mol)、γ−アクリロイルプロピルトリメトキシシランを98.55g(0.42mol)、3−トリエトキシシリルプロピルコハク酸を27.43g(0.090mol)、TBCを0.296g、PGMEを162.53g仕込み、40℃で撹拌しながら、水34.07gにジシクロヘキシルアミン0.741g(仕込みモノマーに対して0.50重量%)を溶かしたジシクロヘキシルアミン水溶液を30分間かけて添加した。合成例1と同様の手順により、固形分濃度40重量%のポリシロキサン(A−6)の溶液を得た。得られたポリシロキサン(A−6)の(a1)カチオン重合性基、(a2)ラジカル重合性基および(a3)アルカリ可溶性基の合計含有量100モル%に対するエポキシ基、(メタ)アクリロイル基、アルカリ可溶性基の含有量は、それぞれ15モル%、70モル%、15モル%であった。また、得られたポリシロキサン(A−6)の重量平均分子量(Mw)は2,700であった。
500mlの三口フラスコに、3−トリメトキシシリルプロピルコハク酸を15.76g(0.060mol)、メチルトリメトキシシランを40.93g(0.300mol)、フェニルトリメトキシシランを35.74g(0.180mol)、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシランを14.81g(0.060mol)、PGMEを100.28g仕込み、40℃で撹拌しながら、水33.53gとジシクロヘキシルアミン0.54g(仕込みモノマーに対して0.50重量%)を30分間かけて添加した。合成例1と同様の手順により、固形分濃度40重量%のポリシロキサン(A−7)の溶液を得た。得られたポリシロキサン(A−7)の(a1)カチオン重合性基、(a2)ラジカル重合性基および(a3)アルカリ可溶性基の合計含有量100モル%に対するグリシジル基およびアルカリ可溶性基の含有量は、それぞれ50モル%、50モル%であった。また、得られたポリシロキサン(A−7)の重量平均分子量(Mw)は2,600であった。
500mlの三口フラスコに、p−スチリルトリメトキシシランを33.65g(0.150mol)、γ−アクリロイルプロピルトリメトキシシランを35.15g(0.150mol)、TBCを0.206g、PGMEを72.14g仕込み、室温で撹拌しながら、水16.20gとジシクロヘキシルアミン0.34g(仕込みモノマーに対して0.50重量%)を30分間かけて添加した。合成例1と同様の手順により、固形分濃度40重量%のポリシロキサン(A−8)の溶液を得た。得られたポリシロキサン(A−8)の(a1)カチオン重合性基、(a2)ラジカル重合性基および(a3)アルカリ可溶性基の合計含有量100モル%に対するスチリル基、(メタ)アクリロイル基の含有量は、それぞれ50モル%、50モル%であった。また、得られたポリシロキサン(A−8)の重量平均分子量(Mw)は2,600であった。
500mlの三口フラスコに、メチルトリメトキシシランを34.05g(0.250mol)、フェニルトリメトキシシシランを99.15g(0.500mol)、テトラエトキシシランを31.25g(0.150mol)、3−(3,4−エポキシシクロヘキシル)プロピルトリメトキシシランを24.64g(0.100mol)、PGMEAを174.95g仕込み、室温で撹拌しながら水56.70gにリン酸0.945g(仕込みモノマーに対して0.50重量%)を溶かしたリン酸水溶液を30分間かけて添加した。合成例1と同様の手順により、固形分濃度40重量%のポリシロキサン(A−9)の溶液を得た。ポリシロキサン(A−9)における、メチルトリメトキシシラン、フェニルトリメトキシシシラン、テトラエトキシシラン、3−(3,4−エポキシシクロヘキシル)プロピルトリメトキシシランに由来する繰り返し単位のモル比は、それぞれ25モル%、50モル%、15モル%、10モル%であった。また、得られたポリシロキサン(A−9)の重量平均分子量は4,200であった。
各実施例および比較例により得られたシロキサン樹脂組成物を、スピンコーター(ミカサ(株)製「1H−360S(商品名)」)を用いて、ITO基板上にスピンコートし、ホットプレート(大日本スクリーン製造(株)製「SCW−636(商品名)」)を用いて100℃で2分間プリベークし、膜厚2.0μmのプリベーク膜を作製した。
A:未露光部に現像残渣なし
B:未露光部に現像残渣あり。
各実施例および比較例により得られたシロキサン樹脂組成物を、スピンコーター(ミカサ(株)製「1H−360S(商品名)」)を用いて、ガラス基板、表面にITOまたはMAMをスパッタリングしたガラス基板(以下、「ITO基板」または「MAM基板」)上にそれぞれスピンコートし、ホットプレート(大日本スクリーン製造(株)製「SCW−636(商品名)」)を用いて100℃で2分間プリベークし、膜厚2.0μmのプリベーク膜を作製した。
5:剥離面積が0%
4:剥離面積が1%以上5%未満
3:剥離面積が5%以上15%未満
2:剥離面積が15%以上35%未満
1:剥離面積が35%以上65%未満
0:剥離面積が65%以上。
前記(2)に記載の方法により得られたガラス基板、ITO基板、MAM基板上の硬化膜を、ITOエッチャント液である3.5重量%シュウ酸水溶液に42℃で2分間浸漬し、さらにレジスト剥離液であるN300に40℃(条件1)、50℃(条件2)、60℃(条件3)、70℃(条件4)でそれぞれ1分間浸漬した。浸漬後の硬化膜について、JIS「K5600−5−6(制定年月日=1999/04/20)」に準じて上記(2)と同様の手順により基板密着性を評価した。マス目の剥離面積が5%未満である場合に、その条件における耐薬品性があると判断した。
4:条件1,2,3,4いずれも耐薬品性あり
3:条件1,2,3において耐薬品性あり
2:条件1,2のみにおいて耐薬品性あり
1:条件1のみにおいて耐薬品性あり
0:いずれの条件においても耐薬品性なし。
前記(2)に記載の方法により得られた膜厚1.8μmの硬化膜について、JIS K5600−5−4(1999)に準拠して鉛筆硬度を測定した。
各実施例および比較例により得られたシロキサン樹脂組成物について、E型粘度計を用いて、温度25℃、回転数100rpmの条件で1分間保持した後の粘度を測定した後、密封容器に入れ、23℃で7日保管した。保管後の粘度を同様に測定し、下記式により粘度変化率を算出し、以下の基準により保存安定性を評価した。
粘度変化率(%)=(保管後の粘度(mPa・s)−保管前の粘度(mPa・s))×100/(保管前の粘度(mPa・s))
A:粘度変化率が5%未満
B:粘度変化率が5%以上10%未満
C:粘度変化率が10%を超える。
黄色灯下にて、(B)感光剤として、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(o−アセチルオキシム)(「“イルガキュア”(登録商標)OXE−02(商品名)」BASFジャパン(株)製)(以下「OXE02」)0.080g、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド(「“イルガキュア”819(商品名)」BASFジャパン(株)製)(以下「IC−819」)0.160g、ジメチル2,2’−アゾビス(イソブチレート)0.080g、1,3−ジオキソヘキサヒドロ−2H−4,7−メタノイソインドール−2−イルトリフルオロメタンスルホン酸(「CGI−MDT(商品名)」チバジャパン(株)製)0.060g、
重合禁止剤として、エチレンビス(オキシエチレン)ビス[3−(5−tert−ブチル−4−ヒドロキシ−m−トリル)プロピオネート](「“イルガノックス”(登録商標)245(商品名)」BASFジャパン(株)製)のPGME1重量%溶液1.199g、
(C)リン原子を有する重合性化合物として、2−メタクリロイロキシエチルアシッドホスフェート(「ライトエステルP−1M(商品名)」共栄社化学(株)製)(以下「P−1M」)のPGMEA50重量%溶液0.90g、
(D)ウレイド基を有するシラン化合物として、3−ウレイドプロピルトリメトキシシランのPGMEA50重量%溶液0.040g(当量比(C)/(D)=9.6/0.4)、
環状エーテル化合物として、「OXT−191(商品名)」(東亜合成(株)製)(以下「OXT−191」)のPGMEA10重量%溶液0.800g、
多官能モノマーとして、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(「“KAYARAD”(登録商標)DPHA(商品名)」日本化薬(株)製)のPGME50重量%溶液1.999g、γ−アクリロイルプロピルトリメトキシシランのPGME50重量%溶液0.240g、
増感剤として、9.10−ジプロポキシアントラセン(「DPA(商品名)」川崎化成(株)製)0.020gを、PGME4.953gとPGMEA0.075gの混合溶剤に溶解させ、フッ素系界面活性剤である「F−554(商品名)」(大日本インキ化学工業(株)製)のPGME1重量%溶液0.200g(濃度100ppmに相当)を加え、撹拌した。
その後、(A)ポリシロキサンとして合成例1により合成したポリシロキサン(A−1)の溶液4.718gを加え撹拌した。次いで0.45μmのフィルターでろ過を行い、シロキサン樹脂組成物(P−1)を得た。得られたシロキサン樹脂組成物(P−1)について、パターン加工性、基板密着性、耐薬品性、硬度、保存安定性を評価した。結果を表4に示す。
ポリシロキサン(A−1)の溶液の代わりにポリシロキサン(A−2)の溶液4.718g、環状エーテル化合物OXT−191の代わりにエポキシ化合物2,2'−((((1−(4−(2−(4−(オキシラン−2−イルメトキシ)フェニル)プロパン−2−イル)フェニル)エタン−1,1−ジイル)ビス(4,1−フェニレン))ビス(オキシ))ビス(メチレン))ビス(オキシラン)(「VG−3101L(商品名)」プリンテック(株)製)(以下「VG−3101L」)のPGMEA10重量%溶液0.800gを用いたこと以外は実施例1と同様にして、シロキサン樹脂組成物(P−2)を得た。得られたシロキサン樹脂組成物(P−2)を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
ポリシロキサン(A−1)の溶液の代わりにポリシロキサン(A−3)の溶液4.718gを用いたこと以外は実施例1と同様にして、シロキサン樹脂組成物(P−3)を得た。得られたシロキサン樹脂組成物(P−3)を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
ポリシロキサン(A−1)の溶液の代わりにポリシロキサン(A−4)の溶液4.718gを用いたこと以外は実施例1と同様にして、シロキサン樹脂組成物(P−4)を得た。得られたシロキサン樹脂組成物(P−4)を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
ポリシロキサン(A−1)の溶液の代わりにポリシロキサン(A−5)の溶液4.718gを用いたこと以外は実施例1と同様にして、シロキサン樹脂組成物(P−5)を得た。得られたシロキサン樹脂組成物(P−5)を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
ポリシロキサン(A−1)の溶液の代わりにポリシロキサン(A−6)の溶液4.718gを用いたこと以外は実施例1と同様に行い、シロキサン樹脂組成物(P−6)を得た。得られたシロキサン樹脂組成物(P−6)を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
ポリシロキサン(A−1)の溶液の代わりにポリシロキサン(A−7)の溶液4.718gを用いたこと以外は実施例1と同様に行い、シロキサン樹脂組成物(P−7)を得た。得られたシロキサン樹脂組成物(P−7)を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
ポリシロキサン(A−1)の溶液の代わりにポリシロキサン(A−8)の溶液4.718gを用いたこと以外は実施例1と同様に行い、シロキサン樹脂組成物(P−8)を得た。得られたシロキサン樹脂組成物(P−8)を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
リン原子を有する重合性化合物(P1−M)の代わりに、2−アクリロイロキシエチルアシッドホスフェート(「P−1A(商品名)」共栄社化学(株)製)のPGMEA50重量%溶液0.90g(当量比(C)/(D)=9.6/0.4)を用いたこと以外は実施例1と同様に行い、シロキサン樹脂組成物(P−9)を得た。得られたシロキサン樹脂組成物(P−9)を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
リン原子を有する重合性化合物(P1−M)の代わりに、リン酸含有エポキシメタクリレート「S−23A(商品名)」第一工業製薬(株)製)のPGMEA50重量%溶液0.90g(当量比(C)/(D)=9.6/0.4)を用いたこと以外は実施例1と同様に行い、シロキサン樹脂組成物(P−10)を得た。得られたシロキサン樹脂組成物(P−10)を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
ウレイド基を有するシラン化合物(3−ウレイドプロピルトリメトキシシラン)の代わりに、3−ウレイドプロピルトリエトキシシランのPGMEA50重量%溶液0.040g(当量比(C)/(D)=9.6/0.4)を用いたこと以外は実施例1と同様に行い、シロキサン樹脂組成物(P−11)を得た。得られたシロキサン樹脂組成物(P−11)を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
ウレイド基を有するシラン化合物(3−ウレイドプロピルトリメトキシシラン)の代わりに、3−フェニルウレイドプロピルトリメトキシシランのPGMEA50wt%溶液0.040g(当量比(C)/(D)=9.6/0.4)を用いたこと以外は実施例1と同様に行い、シロキサン樹脂組成物(P−12)を得た。得られたシロキサン樹脂組成物(P−12)を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
環状エーテル化合物(OXT−191)の代わりに、3,3'−(オキシビス(メチレン))ビス(3−エチルオキセタン)(「OXT−221(商品名)」東亜合成(株)製)のPGMEA10wt%溶液0.800gを用いたこと以外は実施例1と同様に行い、シロキサン樹脂組成物(P−13)を得た。得られたシロキサン樹脂組成物(P−13)を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
環状エーテル化合物(VG−3101LOXT−191)の代わりに、2,2'−((((9H−フルオレン−9,9−ジイル)ビス(4,1-フェニレン))ビス(オキシ))ビス(メチレン))ビス(オキシラン)(「PG−100(商品名)」東亜合成(株)製)のPGMEA10wt%溶液0.800gを用いたこと以外は実施例2と同様に行い、シロキサン樹脂組成物(P−14)を得た。得られたシロキサン樹脂組成物(P−14)を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
ポリシロキサン(A−1)の溶液を4.918g用いて、環状エーテル化合物を添加しなかったこと以外は実施例1と同様に行い、シロキサン樹脂組成物(P−15)を得た。得られたシロキサン樹脂組成物(P−15)を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
ポリシロキサン(A−2)の溶液を4.918g用いて、環状エーテル化合物を添加しなかったこと以外は実施例2と同様に行い、シロキサン樹脂組成物(P−16)を得た。得られたシロキサン樹脂組成物(P−16)を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
黄色灯下にて(B)感光剤として、THP−17(商品名、東洋合成工業(株)製)0.640g、(C)リン原子を有する重合性化合物として、P−1MのPGMEA50重量%溶液0.950g、(D)ウレイド基を有するシラン化合物として、3−ウレイドプロピルトリメトキシシランのPGMEA50重量%溶液0.050g(当量比(C)/(D)=9.6/0.4)を、PGME4.600gとPGMEA5.900gの混合溶剤に溶解させ、フッ素系界面活性剤である「F−554(商品名)」(大日本インキ化学工業(株)製)のPGME1重量%溶液0.200g(濃度100ppmに相当)を加え、撹拌した。その後、(A)ポリシロキサンとして合成例9により合成したポリシロキサン(A−9)の溶液7.146gを加え撹拌した。次いで0.45μmのフィルターでろ過を行い、シロキサン樹脂組成物(P−17)を得た。得られたシロキサン樹脂組成物(P−16)を用いて、パターン加工性、基板密着性、耐薬品性、硬度、保存安定性を評価した。
(C)リン原子を有する重合性化合物として、P−1MのPGMEA50重量%溶液を0.800g、(D)ウレイド基を有するシラン化合物として、3−ウレイドプロピルトリメトキシシランのPGMEA50重量%溶液を0.200g(当量比(C)/(D)=8.0/2.0)とした以外は実施例1と同様に行い、シロキサン樹脂組成物(P−18)を得た。得られたシロキサン樹脂組成物(P−18)を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
(C)リン原子を有する重合性化合物として、P−1MのPGMEA50重量%溶液を0.990g、(D)ウレイド基を有するシラン化合物として、3−ウレイドプロピルトリメトキシシランのPGMEA50重量%溶液を0.010g(当量比(C)/(D)=9.9/0.1)とした以外は実施例1と同様に行い、シロキサン樹脂組成物(P−19)を得た。得られたシロキサン樹脂組成物(P−19)を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
ポリシロキサン(A−1)の溶液を5.947gとし、(C)リン原子を有する重合性化合物を添加しなかった(当量比(C)/(D)=0.0/10.0)こと以外は実施例1と同様に行い、シロキサン樹脂組成物(P−20)を得た。得られたシロキサン樹脂組成物(P−20)を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
ポリシロキサン(A−1)の溶液を4.738gとし、(D)ウレイド基を有するシラン化合物を添加しなかった(当量比(C)/(D)=10.0/0.0)こと以外は実施例1と同様に行い、シロキサン樹脂組成物(P−21)を得た。得られたシロキサン樹脂組成物(P−21)を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
Claims (10)
- (A)ポリシロキサン、(B)感光剤、(C)リン原子を有する重合性化合物、および、(D)ウレイド基を有するシラン化合物、を含有するシロキサン樹脂組成物。
- 前記(B)感光剤が、(b1)ラジカル重合開始剤である請求項1に記載のシロキサン樹脂組成物。
- 前記(B)感光剤が、(b2)キノンジアジド化合物である請求項1に記載のシロキサン樹脂組成物。
- 前記(C)リン原子を有する重合性化合物の(D)ウレイド基を有するシラン化合物に対する当量比((C)/(D))が、8/2以上9.9/0.1以下である請求項1〜3のいずれかに記載のシロキサン樹脂組成物。
- 前記(A)ポリシロキサンが、(a1)カチオン重合性基、(a2)ラジカル重合性基および(a3)アルカリ可溶性基を有する請求項1〜4のいずれかに記載のシロキサン樹脂組成物。
- 前記(A)ポリシロキサンにおいて、(a1)カチオン重合性基、(a2)ラジカル重合性基および(a3)アルカリ可溶性基の合計含有量100モル%に対する(a1)カチオン重合性基含有量が1〜30モル%、(a2)ラジカル重合性基の含有量が50〜90モル%である請求項5に記載のシロキサン樹脂組成物。
- さらに、環状エーテル基を有する化合物を含有する請求項1〜6のいずれかに記載のシロキサン樹脂組成物。
- 請求項1〜7のいずれかに記載のシロキサン樹脂組成物の硬化膜。
- 請求項8に記載の硬化膜を有するタッチセンサー。
- 液晶セル、有機ELセル、ミニLED、および、マイクロLEDセルからなる群から選ばれる少なくとも一つ、基板、ならびに、請求項8に記載の硬化膜を有する表示装置。
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