本発明は、第一に、
(A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)多官能性単量体、並びに(D)光重合開始剤、ならびに(E)オキシラニル基、オキセタニル基、エピスルフィド基、ビニル基、アリル基、(メタ)アクリロイル基、カルボキシル基、ヒドロキシル基、メルカプト基、イソシアネート基、アミノ基、ウレイド基およびスチリル基の群から選ばれる少なくとも1種の官能基を含有するシロキサンオリゴマーを含有することを特徴とする着色層形成用感放射線性組成物、
からなる。
本発明でいう「放射線」は、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等を含むものを意味する。
本発明は、第二に、
前記着色層形成用感放射線性組成物を用いて形成されたカラーフィルタ、からなる。
本発明は、第三に、
前記カラーフィルタを具備するカラー液晶表示素子、からなる。
以下、本発明について詳細に説明する。
着色層形成用感放射線性組成物
−(A)着色剤−
本発明における着色剤は、色調が特に限定されるものではなく、得られるカラーフィルタの用途に応じて適宜選定され、顔料、染料あるいは天然色素の何れでもよい。
カラーフィルタには高精細な発色と耐熱性が求められることから、本発明における着色剤としては、発色性が高く、かつ耐熱性の高い着色剤、特に耐熱分解性の高い着色剤が好ましく、通常、有機顔料あるいは無機顔料が用いられ、特に好ましくは、有機顔料、カーボンブラックが用いられる。
前記有機顔料としては、例えば、カラーインデックス(C.I.;The Society of Dyers and Colourists 社発行)においてピグメント( Pigment )に分類されている化合物、具体的には、下記のようなカラーインデックス(C.I.)番号が付されているものを挙げることができる。
C.I.ピグメントイエロー1、C.I.ピグメントイエロー3、C.I.ピグメントイエロー12、C.I.ピグメントイエロー13、C.I.ピグメントイエロー14、C.I.ピグメントイエロー15、C.I.ピグメントイエロー16、C.I.ピグメントイエロー17、C.I.ピグメントイエロー20、C.I.ピグメントイエロー24、C.I.ピグメントイエロー31、C.I.ピグメントイエロー55、C.I.ピグメントイエロー60、C.I.ピグメントイエロー61、C.I.ピグメントイエロー65、C.I.ピグメントイエロー71、C.I.ピグメントイエロー73、C.I.ピグメントイエロー74、C.I.ピグメントイエロー81、C.I.ピグメントイエロー83、C.I.ピグメントイエロー93、C.I.ピグメントイエロー95、C.I.ピグメントイエロー97、C.I.ピグメントイエロー98、C.I.ピグメントイエロー100、C.I.ピグメントイエロー101、C.I.ピグメントイエロー104、C.I.ピグメントイエロー106、C.I.ピグメントイエロー108、C.I.ピグメントイエロー109、C.I.ピグメントイエロー110、C.I.ピグメントイエロー113、C.I.ピグメントイエロー114、C.I.ピグメントイエロー116、C.I.ピグメントイエロー117、C.I.ピグメントイエロー119、C.I.ピグメントイエロー120、C.I.ピグメントイエロー126、C.I.ピグメントイエロー127、C.I.ピグメントイエロー128、C.I.ピグメントイエロー129、C.I.ピグメントイエロー138、C.I.ピグメントイエロー139、C.I.ピグメントイエロー150、C.I.ピグメントイエロー151、C.I.ピグメントイエロー152、C.I.ピグメントイエロー153、C.I.ピグメントイエロー154、C.I.ピグメントイエロー155、C.I.ピグメントイエロー156、C.I.ピグメントイエロー166、C.I.ピグメントイエロー168、C.I.ピグメントイエロー175、C.I.ピグメントイエロー180、C.I.ピグメントイエロー185;
C.I.ピグメントオレンジ1、C.I.ピグメントオレンジ5、C.I.ピグメントオレンジ13、C.I.ピグメントオレンジ14、C.I.ピグメントオレンジ16、C.I.ピグメントオレンジ17、C.I.ピグメントオレンジ24、C.I.ピグメントオレンジ34、C.I.ピグメントオレンジ36、C.I.ピグメントオレンジ38、C.I.ピグメントオレンジ40、C.I.ピグメントオレンジ43、C.I.ピグメントオレンジ46、C.I.ピグメントオレンジ49、C.I.ピグメントオレンジ51、C.I.ピグメントオレンジ61、C.I.ピグメントオレンジ63、C.I.ピグメントオレンジ64、C.I.ピグメントオレンジ71、C.I.ピグメントオレンジ73;
C.I.ピグメントバイオレット1、C.I.ピグメントバイオレット19、C.I.ピグメントバイオレット23、C.I.ピグメントバイオレット29、C.I.ピグメントバイオレット32、C.I.ピグメントバイオレット36、C.I.ピグメントバイオレット38;
C.I.ピグメントレッド1、C.I.ピグメントレッド2、C.I.ピグメントレッド3、C.I.ピグメントレッド4、C.I.ピグメントレッド5、C.I.ピグメントレッド6、C.I.ピグメントレッド7、C.I.ピグメントレッド8、C.I.ピグメントレッド9、C.I.ピグメントレッド10、C.I.ピグメントレッド11、C.I.ピグメントレッド12、C.I.ピグメントレッド14、C.I.ピグメントレッド15、C.I.ピグメントレッド16、C.I.ピグメントレッド17、C.I.ピグメントレッド18、C.I.ピグメントレッド19、C.I.ピグメントレッド21、C.I.ピグメントレッド22、C.I.ピグメントレッド23、C.I.ピグメントレッド30、C.I.ピグメントレッド31、C.I.ピグメントレッド32、C.I.ピグメントレッド37、C.I.ピグメントレッド38、C.I.ピグメントレッド40、C.I.ピグメントレッド41、C.I.ピグメントレッド42、C.I.ピグメントレッド48:1、C.I.ピグメントレッド48:2、C.I.ピグメントレッド48:3、C.I.ピグメントレッド48:4、C.I.ピグメントレッド49:1、C.I.ピグメントレッド49:2、C.I.ピグメントレッド50:1、C.I.ピグメントレッド52:1、C.I.ピグメントレッド53:1、C.I.ピグメントレッド57、C.I.ピグメントレッド57:1、C.I.ピグメントレッド57:2、C.I.ピグメントレッド58:2、C.I.ピグメントレッド58:4、C.I.ピグメントレッド60:1、C.I.ピグメントレッド63:1、C.I.ピグメントレッド63:2、C.I.ピグメントレッド64:1、C.I.ピグメントレッド81:1、C.I.ピグメントレッド83、C.I.ピグメントレッド88、C.I.ピグメントレッド90:1、C.I.ピグメントレッド97、
C.I.ピグメントレッド101、C.I.ピグメントレッド102、C.I.ピグメントレッド104、C.I.ピグメントレッド105、C.I.ピグメントレッド106、C.I.ピグメントレッド108、C.I.ピグメントレッド112、C.I.ピグメントレッド113、C.I.ピグメントレッド114、C.I.ピグメントレッド122、C.I.ピグメントレッド123、C.I.ピグメントレッド144、C.I.ピグメントレッド146、C.I.ピグメントレッド149、C.I.ピグメントレッド150、C.I.ピグメントレッド151、C.I.ピグメントレッド166、C.I.ピグメントレッド168、C.I.ピグメントレッド170、C.I.ピグメントレッド171、C.I.ピグメントレッド172、C.I.ピグメントレッド174、C.I.ピグメントレッド175、C.I.ピグメントレッド176、C.I.ピグメントレッド177、C.I.ピグメントレッド178、C.I.ピグメントレッド179、C.I.ピグメントレッド180、C.I.ピグメントレッド185、C.I.ピグメントレッド187、C.I.ピグメントレッド188、C.I.ピグメントレッド190、C.I.ピグメントレッド193、C.I.ピグメントレッド194、C.I.ピグメントレッド202、C.I.ピグメントレッド206、C.I.ピグメントレッド207、C.I.ピグメントレッド208、C.I.ピグメントレッド209、C.I.ピグメントレッド215、C.I.ピグメントレッド216、C.I.ピグメントレッド220、C.I.ピグメントレッド224、C.I.ピグメントレッド226、C.I.ピグメントレッド242、C.I.ピグメントレッド243、C.I.ピグメントレッド245、C.I.ピグメントレッド254、C.I.ピグメントレッド255、C.I.ピグメントレッド264、C.I.ピグメントレッド265;
C.I.ピグメントブルー15、C.I.ピグメントブルー15:3、C.I.ピグメントブルー15:4、C.I.ピグメントブルー15:6、C.I.ピグメントブルー60;
C.I.ピグメントグリーン7、C.I.ピグメントグリーン36;
C.I.ピグメントブラウン23、C.I.ピグメントブラウン25;
C.I.ピグメントブラック1、C.I.ピグメントブラック7。
これらの有機顔料は、例えば、硫酸再結晶法、溶剤洗浄法や、これらの組み合わせ等により精製して使用することができる。
また、前記無機顔料としては、例えば、酸化チタン、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、亜鉛華、硫酸鉛、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら(赤色酸化鉄(III))、カドミウム赤、群青、紺青、酸化クロム緑、コバルト緑、アンバー、チタンブラック、合成鉄黒、カーボンブラック等を挙げることができる。
本発明において、前記有機顔料および無機顔料は、それぞれ単独でまたは2種以上を混合して使用することができ、また有機顔料と無機顔料とを併用することができるが、画素を形成する際には、好ましくは1種以上の有機顔料が使用され、またブラックマトリックスを形成する際には、好ましくは2種以上の有機顔料および/またはカーボンブラックが使用される。
本発明においては、前記各顔料は、所望により、その粒子表面をポリマーで改質して使用することができる。顔料の粒子表面を改質するポリマーとしては、例えば、特許文献5等に記載されたポリマーや、市販の各種の顔料分散用のポリマーまたはオリゴマー等を挙げることができる。
また、本発明において、着色剤は、所望により、分散剤と共に使用することができる。 前記分散剤としては、例えば、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性、シリコーン系、フッ素系等の界面活性剤を挙げることができる。
前記界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルエーテル類;ポリオキシエチレン n−オクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレン n−ノニルフェニルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類;ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート等のポリエチレングリコールジエステル類;ソルビタン脂肪酸エステル類;脂肪酸変性ポリエステル類;3級アミン変性ポリウレタン類;ポリエチレンイミン類等のほか、以下商品名で、KP(信越化学工業(株)製)、ポリフロー(共栄社化学(株)製)、エフトップ(トーケムプロダクツ社製)、メガファック(大日本インキ化学工業(株)製)、フロラード(住友スリーエム(株)製)、アサヒガード、サーフロン(以上、旭硝子(株)製)、BYK、Disperbyk(以上、ビックケミー・ジャパン(株)製)、ソルスパース(セネカ(株)製)等を挙げることができる。
これらの界面活性剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
界面活性剤の使用量は、着色剤100重量部に対して、通常、50重量部以下、好ましくは0〜30重量部である。
本発明において、感放射線性組成物は、適宜の方法により調製することができ、例えば、(A)〜(E)成分を、場合により、後述する溶媒や添加剤と共に、混合することにより調製することができるが、着色剤として顔料を用いる場合、該顔料を溶媒中、分散剤の存在下で、場合により(B)成分の一部と共に、例えばビーズミル、ロールミル等を用いて、粉砕しつつ混合・分散して顔料分散液とし、これを、(B)〜(E)成分と、必要に応じてさらに追加の溶媒や添加剤を添加し、混合することにより調製することが好ましい。
顔料分散液を調製する際の分散剤の使用量は、顔料100重量部に対して、通常、100重量部以下、好ましくは0.5〜100重量部、さらに好ましくは1〜70重量部、特に好ましくは10〜50重量部である。この場合、分散剤の使用量が100重量部を超えると、現像性等が損なわれるおそれがある。
また、顔料分散液を調製する際に使用される溶媒としては、例えば、後述する感放射線性樹脂組成物の液状組成物について例示する溶媒と同様のものを挙げることができる。
顔料分散液を調製する際の溶媒の使用量は、顔料100重量部に対して、通常、200〜1,200重量部、好ましくは300〜1,000重量部である。
顔料分散液の調製に際し、ビーズミルを用いて調製する際には、例えば、直径0.5〜10mm程度のガラスビーズやチタニアビーズ等を使用し、顔料、溶媒および分散剤からなる顔料混合液を、好ましくは冷却水等で冷却しながら混合・分散することにより実施することができる。
この場合、ビーズの充填率は、通常、ミル容量の50〜80%であり、顔料混合液の注入量は、通常、ミル容量の20〜50%程度である。また処理時間は、通常、2〜50時間、好ましくは2〜25時間である。
また、ロールミルを用いて調製する際には、例えば、3本ロールミルや2本ロールミル等を使用し、顔料混合液を、好ましくは冷却水等で冷却しながら処理することにより実施することができる。
この場合、ロール間隔は10μm以下であることが好ましく、剪断力は、通常、108 dyn/秒程度である。また処理時間は、通常、2〜50時間、好ましくは2〜25時間である。
−(B)アルカリ可溶性樹脂−
本発明におけるアルカリ可溶性樹脂は、(A)着色剤に対してバインダーとして作用し、かつカラーフィルタを製造する際の現像工程で用いられる現像液、特に好ましくはアルカリ現像液に対して可溶性を有し、場合によって後述する(E)成分と熱によりまたは放射線の露光により架橋反応する成分である。なかでも、酸性基を有するアルカリ可溶性樹脂が好ましく、特に、1個以上の酸性基を有するエチレン性不飽和単量体(以下、「以下、「不飽和化合物(b1)」という。)と他の共重合可能なエチレン性不飽和単量体(以下、「不飽和化合物(b2)」という。)との共重合体(以下、「共重合体(B)」という。)が好ましい。
不飽和化合物(b1)としては、例えば、
(メタ)アクリル酸、クロトン酸、α−クロルアクリル酸、けい皮酸の如き不飽和モノカルボン酸;
マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコン酸、メサコン酸の如き不飽和ジカルボン酸またはその無水物;
3価以上の不飽和多価カルボン酸またはその無水物;
こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕、フタル酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕の如き2価以上の多価カルボン酸のモノ〔(メタ)アクリロイロキシアルキル〕エステル;
ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレートの如き両末端にカルボキシ基と水酸基とを有するポリマーのモノ(メタ)アクリレート;
N−o−ヒドロキシフェニルマレイミド、N−m−ヒドロキシフェニルマレイミド、N−p−ヒドロキシフェニルマレイミド、p−ヒドロキシ−α−メチルスチレンの如きフェノール骨格を有する不飽和化合物
等を挙げることができる。
これらの不飽和化合物(b1)のうち、カルボキシル基やフェノール骨格を有する不飽和化合物は、後述する(E)成分がオキシラニル基、オキセタニル基またはエピスルフィド基を有する場合に、(E)成分と架橋反応する。また、不飽和化合物(b1)のうち、不飽和多価カルボン酸の無水物は、後述する(E)成分がヒドロキシル基、メルカプト基またはアミノ基を有する場合に、(E)成分と架橋反応する。
不飽和化合物(b1)は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
不飽和化合物(b2)としては、(E)成分が有する官能基の種類に応じて、(E)成分と架橋反応しうる不飽和化合物(以下、「不飽和化合物(b2−1)」という。)を適宜選択することができる。
(E)成分がビニル基、アリル基、(メタ)アクリロイル基またはスチリル基を有するときには、不飽和化合物(b2−1)としては、例えば、(メタ)アクリル酸アリル等を選択することができる。
(E)成分がカルボキシル基、ヒドロキシル基、メルカプト基、ウレイド基またはアミノ基を有するときには、不飽和化合物(b2−1)としては、例えば、
アクリル酸グリシジル、アクリル酸2−メチルグリシジル、4−ヒドロキシブチルアクリレートグリシジルエーテル、アクリル酸3,4−エポキシブチル、アクリル酸6,7−エポキシヘプチル、アクリル酸3,4−エポキシシクロヘキシル等のアクリル酸エポキシ(シクロ)アルキルエステル;
メタクリル酸グリシジル、メタクリル酸2−メチルグリシジル、メタクリル酸3,4−エポキシブチル、メタクリル酸6,7−エポキシヘプチル、メタクリル酸3,4−エポキシシクロヘキシルメチル等のメタクリル酸エポキシ(シクロ)アルキルエステル;
α−エチルアクリル酸グリシジル、α−n−プロピルアクリル酸グリシジル、α−n−ブチルアクリル酸グリシジル、α−エチルアクリル酸6,7−エポキシヘプチル、α−エチルアクリル酸3,4−エポキシシクロヘキシル等の他のα−アルキルアクリル酸エポキシ(シクロ)アルキルエステル;
o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテル等のグリシジルエーテル類等を選択することができる。
(E)成分がオキシラニル基またはイソシアネート基を有するときには、不飽和化合物(b2−1)としては、例えばアクリル酸2−ヒドロキシエチルエステル、アクリル酸3−ヒドロキシプロピルエステル、アクリル酸4−ヒドロキシブチルエステル、アクリル酸5−ヒドロキシペンチルエステル、アクリル酸6−ヒドロキシヘキシルエステル、アクリル酸7−ヒドロキシヘプチルエステル、アクリル酸8−ヒドロキシオクチルエステル、アクリル酸9−ヒドロキシノニルエステル、アクリル酸10−ヒドロキシデシルエステル、アクリル酸11−ヒドロキシウンデシルエステル、アクリル酸12−ヒドロキシドデシルエステルの如きアクリル酸ヒドロキシアルキルエステル;
メタクリル酸2−ヒドロキシエチルエステル、メタクリル酸3−ヒドロキシプロピルエステル、メタクリル酸4−ヒドロキシブチルエステル、メタクリル酸5−ヒドロキシペンチルエステル、メタクリル酸6−ヒドロキシヘキシルエステル、メタクリル酸7−ヒドロキシヘプチルエステル、メタクリル酸8−ヒドロキシオクチルエステル、メタクリル酸9−ヒドロキシノニルエステル、メタクリル酸10−ヒドロキシデシルエステル、メタクリル酸11−ヒドロキシウンデシルエステル、メタクリル酸12−ヒドロキシドデシルエステルの如きメタクリル酸ヒドロキシアルキルエステル;
さらに、アクリル酸4−ヒドロキシ−シクロヘキシルエステル、アクリル酸4−ヒドロキシメチル−シクロヘキシルメチルエステル、アクリル酸4−ヒドロキシエチル−シクロヘキシルエチルエステル、アクリル酸3−ヒドロキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2−イルエステル、アクリル酸3−ヒドロキシメチル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2−イルメチルエステル、アクリル酸3−ヒドロキシエチル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2−イルエチルエステル、アクリル酸8−ヒドロキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2−イルエステル、アクリル酸2−ヒドロキシ−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルエステル、アクリル酸2−ヒドロキシメチル−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルメチルエステル、アクリル酸2−ヒドロキシエチル−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルエチルエステル、アクリル酸3−ヒドロキシ−アダマンタン−1−イルエステル、アクリル酸3−ヒドロキシメチル−アダマンタン−1−イルメチルエステル、アクリル酸3−ヒドロキシエチル−アダマンタン−1−イルエチルエステルの如き脂環式構造を有するアクリル酸ヒドロキシアルキルエステル;
メタクリル酸4−ヒドロキシ−シクロヘキシルエステル、メタクリル酸4−ヒドロキシメチル−シクロヘキシルメチルエステル、メタクリル酸4−ヒドロキシエチル−シクロヘキシルエチルエステル、メタクリル酸3−ヒドロキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2−イルエステル、メタクリル酸3−ヒドロキシメチル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2−イルメチルエステル、メタクリル酸3−ヒドロキシエチル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2−イルエチルエステル、メタクリル酸8−ヒドロキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2−イルエステル、メタクリル酸2−ヒドロキシ−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルエステル、メタクリル酸2−ヒドロキシメチル−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルメチルエステル、メタクリル酸2−ヒドロキシエチル−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルエチルエステル、メタクリル酸3−ヒドロキシ−アダマンタン−1−イルエステル、メタクリル酸3−ヒドロキシメチル−アダマンタン−1−イルメチルエステル、メタクリル酸3−ヒドロキシエチル−アダマンタン−1−イルエチルエステルの如き脂環式構造を有するメタクリル酸ヒドロキシアルキルエステル;
アクリル酸1,2−ジヒドロキシエチルエステル、アクリル酸2,3−ジヒドロキシプロピルエステル、アクリル酸1,3−ジヒドロキシプロピルエステル、アクリル酸3,4−ジヒドロキシブチルエステル、アクリル酸3−[3−(2,3−ジヒドロキシプロポキシ)−2−ヒドロキシプロポキシ]−2−ヒドロキシプロピルエステル等のアクリル酸ジヒドロキシアルキルエステル;
メタクリル酸1,2−ジヒドロキシエチルエステル、メタクリル酸2,3−ジヒドロキシプロピルエステル、メタクリル酸1,3−ジヒドロキシプロピルエステル、メタクリル酸3,4−ジヒドロキシブチルエステル、メタクリル酸3−[3−(2,3−ジヒドロキシプロポキシ)−2−ヒドロキシプロポキシ]−2−ヒドロキシプロピルエステル等のメタクリル酸ジヒドロキシアルキルエステル等を選択することができる。
前記不飽和化合物(b2−1)は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
また、不飽和化合物(b2)としては、(E)成分と架橋反応を示さない不飽和化合物(以下、「不飽和化合物(b2−2)」という。)を選択することもできる。化合物(a2−2)としては、上記化合物(b2−1)の他、例えば、
N−フェニルマレイミド、N−ベンジルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、N−スクシンイミジル−3−マレイミドベンゾエート、N−スクシンイミジル−4−マレイミドブチレート、N−スクシンイミジル−6−マレイミドカプロエート、N−スクシンイミジル−3−マレイミドプロピオネート、N−(アクリジニル)マレイミドの如きN−位置換マレイミド;
スチレン、α−メチルスチレン、o−ビニルトルエン、m−ビニルトルエン、p−ビニルトルエン、p−クロルスチレン、o−メトキシスチレン、m−メトキシスチレン、p−メトキシスチレン、o−ビニルベンジルメチルエーテル、m−ビニルベンジルメチルエーテル、p−ビニルベンジルメチルエーテルの如き芳香族ビニル化合物;
インデン、1−メチルインデンの如きインデン類;
(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸n−プロピル、(メタ)アクリル酸i−プロピル、(メタ)アクリル酸n−ブチル、(メタ)アクリル酸i−ブチル、(メタ)アクリル酸sec−ブチル、(メタ)アクリル酸t−ブチル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシル、(メタ)アクリル酸ベンジル、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸フェニル、(メタ)アクリル酸2−メトキシエチル、(メタ)アクリル酸2−フェノキシエチル、イソボルニル(メタ)アクリレート、トリシクロ[ 5.2.1.02,6 ] デカン−8−イル(メタ)アクリレートの如き不飽和カルボン酸エステル;
酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、安息香酸ビニルの如きカルボン酸ビニルエステル;
ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテルの如き他の不飽和エーテル;
(メタ)アクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデンの如きシアン化ビニル化合物;
(メタ)アクリルアミド、α−クロロアクリルアミドの如き不飽和アミド;
1,3−ブタジエン、イソプレン、クロロプレンの如き脂肪族共役ジエン;
ポリスチレン、ポリメチル(メタ)アクリレート、ポリ−n−ブチル(メタ)アクリレート、ポリシロキサンの如き重合体分子鎖の末端にモノ(メタ)アクリロイル基を有するマクロモノマー等を挙げることができる。
これらの共重合性不飽和単量体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
本発明における共重合体(B)としては、(b1)(メタ)アクリル酸を必須成分とし、場合によりこはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕および/またはω−カルボキシポリカクロラクトンモノ(メタ)アクリレートを含有する不飽和化合物(b1)と、(b2)(メタ)アクリル酸アリル、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシエチルエステル、(メタ)アクリル酸2,3−ジヒドロキシプロピルエステル、N−位置換マレイミド、スチレン、α−メチルスチレン、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸n−ブチル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシル、(メタ)アクリル酸ベンジル、ポリスチレンマクロモノマーおよびポリメチルメタクリレートマクロモノマーの群から選ばれる不飽和化合物(b2)の少なくとも1種との共重合体が好ましい。
共重合体(B)の好ましい具体例としては、
(メタ)アクリル酸/(メタ)アクリル酸メチル共重合体、
(メタ)アクリル酸/(メタ)アクリル酸ベンジル共重合体、
(メタ)アクリル酸/(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシエチルエステル/(メタ)アクリル酸ベンジル共重合体、
(メタ)アクリル酸/(メタ)アクリル酸2,3−ジヒドロキシプロピルエステル/(メタ)アクリル酸ベンジル共重合体、
(メタ)アクリル酸/(メタ)アクリル酸アリル/(メタ)アクリル酸ベンジル共重合体、
(メタ)アクリル酸/スチレン/(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシエチルエステル/(メタ)アクリル酸ベンジル共重合体、
(メタ)アクリル酸/スチレン/(メタ)アクリル酸2,3−ジヒドロキシプロピルエステル/(メタ)アクリル酸ベンジル共重合体、
(メタ)アクリル酸/スチレン/(メタ)アクリル酸アリル/(メタ)アクリル酸ベンジル共重合体、
(メタ)アクリル酸/(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシエチルエステル/(メタ)アクリル酸ベンジル/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/(メタ)アクリル酸2,3−ジヒドロキシプロピルエステル/(メタ)アクリル酸ベンジル/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/(メタ)アクリル酸アリル/(メタ)アクリル酸ベンジル/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシエチルエステル/(メタ)アクリル酸ベンジル/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/(メタ)アクリル酸2,3−ジヒドロキシプロピルエステル/(メタ)アクリル酸ベンジル/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/(メタ)アクリル酸アリル/(メタ)アクリル酸ベンジル/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/スチレン/(メタ)アクリル酸ベンジル共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−シクロヘキシルマレイミド/スチレン/(メタ)アクリル酸ベンジル共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/α−メチルスチレン/(メタ)アクリル酸ベンジル共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/スチレン/(メタ)アクリル酸n−ブチル共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/スチレン/(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシル共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/スチレン/n−ブチル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/スチレン/(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシル共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/スチレン/(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシエチルエステル/(メタ)アクリル酸ベンジル共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/スチレン/(メタ)アクリル酸2,3−ジヒドロキシプロピルエステル/(メタ)アクリル酸ベンジル共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/スチレン/(メタ)アクリル酸アリル/(メタ)アクリル酸ベンジル共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/スチレン/(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシエチルエステル/(メタ)アクリル酸ベンジル/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/スチレン/(メタ)アクリル酸2,3−ジヒドロキシプロピルエステル/(メタ)アクリル酸ベンジル/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/スチレン/(メタ)アクリル酸アリル/(メタ)アクリル酸ベンジル/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕/N−フェニルマレイミド/スチレン/(メタ)アクリル酸ベンジル共重合体、
(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕/N−フェニルマレイミド/スチレン/(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシエチルエステル共重合体、
(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕/N−フェニルマレイミド/スチレン/(メタ)アクリル酸2,3−ジヒドロキシプロピルエステル共重合体、
(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕/N−フェニルマレイミド/スチレン/(メタ)アクリル酸アリル共重合体、
(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕/N−シクロヘキシルマレイミド/スチレン/(メタ)アクリル酸ベンジル共重合体、
(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕/N−シクロヘキシルマレイミド/スチレン/(メタ)アクリル酸アリル共重合体、
(メタ)アクリル酸/ω−カルボキシポリカクロラクトンモノ(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド/スチレン/(メタ)アクリル酸ベンジル/(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシエチルエステル共重合体、
(メタ)アクリル酸/ω−カルボキシポリカクロラクトンモノ(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド/スチレン/(メタ)アクリル酸ベンジル/(メタ)アクリル酸2,3−ジヒドロキシプロピルエステル共重合体、
(メタ)アクリル酸/ω−カルボキシポリカクロラクトンモノ(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド/スチレン/(メタ)アクリル酸ベンジル/(メタ)アクリル酸アリル共重合体
等を挙げることができる。
共重合体(B)において、不飽和化合物(b1)の共重合割合は、好ましくは5〜30重量%、特に好ましくは10〜25重量%であり、不飽和化合物(b2−1)の共重合割合は、好ましくは5〜30重量%、特に好ましくは10〜25重量%であり、不飽和化合物(b2−2)の共重合割合は、好ましくは30〜70重量%、特に好ましくは30〜60重量%である。
本発明においては、共重合体(B1)における各不飽和化合物の共重合割合を前記範囲とすることにより、優れた現像性および密着性を示す着色層形成用感放射線性組成物を得ることができる。
本発明においては、例えば、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシエチルエステル等のヒドロキシ基を有する不飽和化合物を共重合した共重合体(B1)に、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルイソシアネート等の不飽和イソシアナート化合物を反応させることにより、共重合体(B1)の側鎖に重合性不飽和結合を導入することができる。
本発明における共重合体(B1)のゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC、溶出溶媒:テトラヒドロフラン)で測定したポリスチレン換算重量平均分子量(以下、「Mw」という。)は、通常、1,000〜45,000、好ましくは3,000〜20,000である。
また、本発明における共重合体(B1)および他のアルカリ可溶性樹脂のゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC、溶出溶媒:テトラヒドロフラン)で測定したポリスチレン換算数平均分子量(以下、「Mn」という。)は、通常、1,000〜45,000、好ましくは3,000〜20,000である。
この場合、Mwが1,000未満であると、得られる被膜の残膜率等が低下したり、パターン形状、耐熱性等が損なわれたり、また電気特性が悪化するおそれがあり、一方45,000を超えると、解像度が低下したり、パターン形状が損なわれたり、またスリットノズル方式による塗布時に乾燥異物が発生し易くなるおそれがある。
本発明において、アルカリ可溶性樹脂は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
共重合体(B1)は、例えば、(メタ)アクリル酸等を、適当な溶媒中、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)、2,2’−アゾビス(4−メトキシ−2,4−ジメチルバレロニトリル)等のラジカル重合開始剤の存在下で重合することにより製造することができる。
また、共重合体(B1)は、上記のように重合性不飽和化合物をラジカル重合した後に、極性の異なる有機溶媒を2種以上用いる再沈殿法を経て精製することができる。即ち、重合後の良溶媒中の溶液を、必要に応じてろ過あるいは遠心分離などによって不溶な不純物を除去したのち、大量(通常は、ポリマー溶液体積の5〜10倍量)の沈殿剤(貧溶媒)中に注いで、共重合体を再沈殿させることにより精製する。その際、ポリマー溶液中に残っている不純物のうち、沈殿剤に可溶な不純物は液相に残り、精製された共重合体(B1)等から分離される。
この再沈殿法に使用される良溶媒/沈殿剤の組み合わせとしては、例えば、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート/n−ヘキサン、メチルエチルケトン/n−ヘキサン、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート/n−ヘプタン、メチルエチルケトン/n−ヘプタン等を挙げることができる。
また、共重合体(B1)は、例えば、その構成成分となる各不飽和化合物を、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)、2,2’−アゾビス(4−メトキシ−2,4−ジメチルバレロニトリル)等のラジカル重合開始剤、およびピラゾール−1−ジチオカルボン酸シアノ(ジメチル)メチルエステル、ピラゾール−1−ジチオカルボン酸ベンジルエステル、テトラエチルチウラムジスルフィド、ビス(ピラゾール−1−イルチオカルボニル)ジスルフィド、ビス(3−メチル−ピラゾール−1−イルチオカルボニル)ジスルフィド、ビス(4−メチル−ピラゾール−1−イルチオカルボニル)ジスルフィド、ビス(5−メチル−ピラゾール−1−イルチオカルボニル)ジスルフィド、ビス(3,4,5−トリメチル−ピラゾール−1−イルチオカルボニル)ジスルフィド、ビス(ピロール−1−イルチオカルボニル)ジスルフィド、ビスチオベンゾイルジスルフィド等のイニファターとして作用する分子量制御剤の存在下、不活性溶媒中で、反応温度を、通常、0〜150℃、好ましくは50〜120℃として、リビングラジカル重合することにより製造することができる。
本発明において、共重合体(B)は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができ、また、アルカリ可溶性樹脂も同様である。
本発明において、アルカリ可溶性樹脂の合計使用量は、(A)着色剤100重量部に対して、通常、10〜1,000重量部、好ましくは20〜500重量部である。この場合、アルカリ可溶性樹脂の合計使用量が10重量部未満では、例えば、アルカリ現像性が低下したり、未露光部の基板上あるいは遮光層上に残渣や地汚れが発生するおそれがあり、一方1,000重量部を超えると、相対的に着色剤濃度が低下するため、薄膜として目的とする色濃度を達成することが困難となるおそれがある。
−(C)多官能性単量体−
本発明における多官能性単量体は、2個以上の重合性不飽和結合を有する単量体であり、後述する(E)成分がビニル基、アリル基、(メタ)アクリロイル基、メルカプト基またはスチリル基を有する場合に、熱によりまたは放射線の露光により(E)成分と架橋反応する。
このような多官能性単量体としては、例えば、
エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルキレングリコールのジ(メタ)アクリレート類;
ジエチレングリコール以上のポリエチレングリコール、ジプロピレングリコール以上のポリプロピレングリコール等のポリアルキレングリコールのジ(メタ)アクリレート類;
グリセリン、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール等の3価以上の多価アルコールのポリ(メタ)アクリレート類やそれらのジカルボン酸変性物;
ポリエステル、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、アルキド樹脂、シリコーン樹脂、スピラン樹脂等のオリゴ(メタ)アクリレート類;
両末端に水酸基を有するポリ−1,3−ブタジエン、両末端に水酸基を有するポリイソプレン、両末端に水酸基を有するポリカプロラクトン等の両末端に水酸基を有する重合体のジ(メタ)アクリレート類や、
トリス〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕フォスフェート
等を挙げることができる。
これらの多官能性単量体のうち、3価以上の多価アルコールのポリ(メタ)アクリレート類やそれらのジカルボン酸変性物が好ましく、具体的には、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等が好ましく、特に、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレートおよびジペンタエリスリトールヘキサアクリレートが、画素強度が高く、画素表面の平滑性に優れ、かつ未露光部の基板上および遮光層上に地汚れ、膜残り等を発生し難い点で好ましい。 前記多官能性単量体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
本発明における多官能性単量体の使用量は、(B)アルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、通常、5〜500重量部、好ましくは20〜300重量部である。この場合、多官能性単量体の使用量が5重量部未満では、画素の強度や表面平滑性が低下する傾向があり、一方500重量部を超えると、例えば、アルカリ現像性が低下したり、未露光部の基板上あるいは遮光層上に地汚れ、膜残り等が発生しやすくなる傾向がある。
本発明においては、多官能性単量体の一部を、1個の重合性不飽和結合を有する単官能性単量体で置き換えることもできる。
前記単官能性単量体としては、例えば、前記(B)アルカリ可溶性樹脂について例示したカルボキシル基含有不飽和単量体、共重合性不飽和単量体や、N−ビニルサクシンイミド、N−ビニルピロリドン、N−ビニルフタルイミド、N−ビニル−2−ピペリドン、N−ビニル−ε−カプロラクタム、N−ビニルピロール、N−ビニルピロリジン、N−ビニルイミダゾール、N−ビニルイミダゾリジン、N−ビニルインドール、N−ビニルインドリン、N−ビニルベンズイミダゾ−ル、N−ビニルカルバゾール、N−ビニルピペリジン、N−ビニルピペラジン、N−ビニルモルフォリン、N−ビニルフェノキサジン等のN−ビニル含窒素複素環式化合物;N−(メタ)アクリロイルモルフォリンのほか、市販品として、M−5300、M−5400、M−5600(商品名、東亞合成(株)製)等を挙げることができる。
これらの単官能性単量体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
単官能性単量体の使用割合は、多官能性単量体と単官能性単量体の合計に対して、通常、90重量%以下、好ましくは50重量%以下である。この場合、単官能性単量体の使用割合が90重量%を超えると、画素の強度や表面平滑性が低下する傾向がある。
−(D)光重合開始剤−
本発明における光重合開始剤は、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等の放射線の露光により、前記(C)多官能性単量体および場合により使用される単官能性単量体の重合を開始しうる活性種を発生する化合物である。
このような光重合開始剤としては、例えば、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物、O−アシルオキシム系化合物、オニウム塩系化合物、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、α−ジケトン系化合物、多核キノン系化合物、キサントン系化合物、ジアゾ系化合物、イミドスルホナート系化合物等を挙げることができる。これらの化合物は、露光によって活性ラジカルまたは活性酸、あるいは活性ラジカルと活性酸の両方を発生する成分である。
本発明において、光重合開始剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができるが、本発明における光重合開始剤としては、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物、O−アシルオキシム系化合物の群から選ばれる少なくとも1種が好ましい。
本発明において、光重合開始剤の一般的な使用量は、(C)多官能性単量体と単官能性単量体との合計100重量部に対して、通常、0.01〜120重量部、好ましくは1〜100重量部である。この場合、光重合開始剤の使用量が0.01重量部未満では、露光による硬化が不十分となり、着色層パターンが所定の配列に従って配置されたカラーフィルタを得ることが困難となるおそれがあり、一方120重量部を超えると、形成された着色層が現像時に基板から脱落しやすくなる傾向がある。
本発明における好ましい光重合開始剤のうち、アセトフェノン系化合物の具体例としては、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシル・フェニルケトン、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン、1,2−オクタンジオン等を挙げることができる。
これらのアセトフェノン系化合物のうち、特に、2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オン、1,2−オクタンジオン等が好ましい。
前記アセトフェノン系化合物は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
本発明において、光重合開始剤としてアセトフェノン系化合物を使用する場合の使用量は、(C)多官能性単量体と単官能性単量体との合計100重量部に対して、通常、0.01〜80重量部、好ましくは1〜70重量部、さらに好ましくは1〜60重量部である。この場合、アセトフェノン系化合物の使用量が0.01重量部未満では、露光による硬化が不十分となり、着色層パターンが所定の配列に従って配置されたカラーフィルタを得ることが困難となるおそれがあり、一方80重量部を超えると、形成された着色層が現像時に基板から脱落しやすくなる傾向がある。
また、前記ビイミダゾール系化合物の具体例としては、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−ブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−ブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール等を挙げることができる。
これらのビイミダゾール系化合物のうち、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール等が好ましく、特に、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾールが好ましい。
これらのビイミダゾール系化合物は、溶剤に対する溶解性に優れ、未溶解物、析出物等の異物を生じることがなく、しかも感度が高く、少ないエネルギー量の露光により硬化反応を十分進行させるとともに、未露光部で硬化反応が生じることがないため、露光後の塗膜は、現像液に対して不溶性の硬化部分と、現像液に対して高い溶解性を有する未硬化部分とに明確に区分され、それにより、アンダーカットのない着色層パターンが所定の配列に従って配置された高精細なカラーフィルタを形成することができる。
前記ビイミダゾール系化合物は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
本発明において、光重合開始剤としてビイミダゾール系化合物を使用する場合の使用量は、(C)多官能性単量体と単官能性単量体との合計100重量部に対して、通常、0.01〜40重量部、好ましくは1〜30重量部、さらに好ましくは1〜20重量部である。この場合、ビイミダゾール系化合物の使用量が0.01重量部未満では、露光による硬化が不十分となり、着色層パターンが所定の配列に従って配置されたカラーフィルタを得ることが困難となるおそれがあり、一方40重量部を超えると、現像する際に、形成された着色層の基板からの脱落や着色層表面の膜あれを来しやすくなる傾向がある。
本発明においては、光重合開始剤としてビイミダゾール系化合物を用いる場合、下記する水素供与体を併用することが、感度をさらに改良することができる点で好ましい。
ここでいう「水素供与体」とは、露光によりビイミダゾール系化合物から発生したラジカルに対して、水素原子を供与することができる化合物を意味する。
本発明における水素供与体としては、下記で定義するメルカプタン系化合物、アミン系化合物等が好ましい。
前記メルカプタン系化合物は、ベンゼン環あるいは複素環を母核とし、該母核に直接結合したメルカプト基を1個以上、好ましくは1〜3個、さらに好ましくは1〜2個有する化合物(以下、「メルカプタン系水素供与体」という。)からなる。
前記アミン系化合物は、ベンゼン環あるいは複素環を母核とし、該母核に直接結合したアミノ基を1個以上、好ましくは1〜3個、さらに好ましくは1〜2個有する化合物(以下、「アミン系水素供与体」という。)からなる。
なお、これらの水素供与体は、メルカプト基とアミノ基とを同時に有することもできる。
以下、水素供与体について、より具体的に説明する。
メルカプタン系水素供与体は、ベンゼン環あるいは複素環をそれぞれ1個以上有することができ、またベンゼン環と複素環との両者を有することができ、これらの環を2個以上有する場合、縮合環を形成しても形成しなくてもよい。
また、メルカプタン系水素供与体は、メルカプト基を2個以上有する場合、少なくとも1個の遊離メルカプト基が残存する限りでは、残りのメルカプト基の1個以上がアルキル、アラルキルまたはアリール基で置換されていてもよく、さらには少なくとも1個の遊離メルカプト基が残存する限りでは、2個の硫黄原子がアルキレン基等の2価の有機基を介在して結合した構造単位、あるいは2個の硫黄原子がジスルフィドの形で結合した構造単位を有することができる。
さらに、メルカプタン系水素供与体は、メルカプト基以外の箇所で、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、置換アルコキシカルボニル基、フェノキシカルボニル基、置換フェノキシカルボニル基、ニトリル基等によって置換されていてもよい。
このようなメルカプタン系水素供与体の具体例としては、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、2−メルカプトベンゾイミダゾール、2,5−ジメルカプト−1,3,4−チアジアゾール、2−メルカプト−2,5−ジメチルアミノピリジン等を挙げることができる。
これらのメルカプタン系水素供与体のうち、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾールが好ましく、特に2−メルカプトベンゾチアゾールが好ましい。
また、アミン系水素供与体は、ベンゼン環あるいは複素環をそれぞれ1個以上有することができ、またベンゼン環と複素環との両者を有することができ、これらの環を2個以上有する場合、縮合環を形成しても形成しなくてもよい。
また、アミン系水素供与体は、アミノ基の1個以上がアルキル基または置換アルキル基で置換されてもよく、またアミノ基以外の箇所で、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、置換アルコキシカルボニル基、フェノキシカルボニル基、置換フェノキシカルボニル基、ニトリル基等によって置換されていてもよい。
このようなアミン系水素供与体の具体例としては、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4−ジエチルアミノアセトフェノン、4−ジメチルアミノプロピオフェノン、エチル−4−ジメチルアミノベンゾエート、4−ジメチルアミノ安息香酸、4−ジメチルアミノベンゾニトリル等を挙げることができる。
これらのアミン系水素供与体のうち、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが好ましく、特に4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが好ましい。
なお、アミン系水素供与体は、ビイミダゾール系化合物以外のラジカル発生剤の場合においても、増感剤としての作用を有するものである。
本発明において、水素供与体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができるが、1種以上のメルカプタン系水素供与体と1種以上のアミン系水素供与体とを組み合わせて使用することが、形成された着色層が現像時に基板から脱落し難く、また着色層強度および感度も高い点で好ましい。
メルカプタン系水素供与体とアミン系水素供与体との組み合わせの具体例としては、2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾオキサゾール/4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾオキサゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン等を挙げることができ、さらに好ましい組み合わせは、2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾオキサゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンであり、特に好ましい組み合わせは、2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンである。
メルカプタン系水素供与体とアミン系水素供与体との組み合わせにおけるメルカプタン系水素供与体とアミン系水素供与体との重量比は、通常、1:1〜1:4、好ましくは1:1〜1:3である。
本発明において、水素供与体をビイミダゾール系化合物と併用する場合の使用量は、(C)多官能性単量体と単官能性単量体との合計100重量部に対して、好ましくは0.01〜40重量部、さらに好ましくは1〜30重量部、特に好ましくは1〜20重量部である。この場合、水素供与体の使用量が0.01重量部未満であると、感度の改良効果が低下する傾向があり、一方40重量部を超えると、形成された着色層が現像時に基板から脱落しやすくなる傾向がある。
また、前記トリアジン系化合物の具体例としては、2,4,6−トリス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−メチル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−〔2−(5−メチルフラン−2−イル)エテニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−〔2−(フラン−2−イル)エテニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−〔2−(4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)エテニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−〔2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−エトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−n−ブトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン等のハロメチル基を有するトリアジン系化合物を挙げることができる。
これらのトリアジン系化合物のうち、特に、2−〔2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジンが好ましい。
前記トリアジン系化合物は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
本発明において、光重合開始剤としてトリアジン系化合物を使用する場合の使用量は、(C)多官能性単量体と単官能性単量体との合計100重量部に対して、好ましくは0.01〜40重量部、さらに好ましくは1〜30重量部、特に好ましくは1〜20重量部である。この場合、トリアジン系化合物の使用量が0.01重量部未満であると、露光による硬化が不十分となり、着色層パターンが所定の配列に従って配置されたカラーフィルタを得ることが困難となるおそれがあり、一方40重量部を超えると、形成された着色層が現像時に基板から脱落しやすくなる傾向がある。
また、前記O−アシルオキシム系化合物の具体例としては、1−〔4−(フェニルチオ)フェニル〕−ヘプタン−1,2−ジオン 2−(O−ベンゾイルオキシム)、1−〔4−(フェニルチオ)フェニル〕−オクタン−1,2−ジオン 2−(O−ベンゾイルオキシム)、1−〔4−(ベンゾイル)フェニル〕−オクタン−1,2−ジオン 2−(O−ベンゾイルオキシム)、1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−エタノン 1−(O−アセチルオキシム)、1−[9−エチル−6−(3−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−エタノン 1−(O−アセチルオキシム)、1−(9−エチル−6−ベンゾイル−9H−カルバゾール−3−イル)−エタノン 1−(O−アセチルオキシム)、エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロフラニルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、エタノン−1−〔9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロピラニルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル〕−1−(O−アセチルオキシム)、エタノン−1−〔9−エチル−6−(2−メチル−5−テトラヒドロフラニルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル〕−1−(O−アセチルオキシム)、エタノン−1−〔9−エチル−6−(2−メチル−5−テトラヒドロピラニルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル〕−1−(O−アセチルオキシム)、エタノン−1−〔9−エチル−6−{2−メチル−4−(2,2−ジメチル−1,3−ジオキソラニル)ベンゾイル}−9.H.−カルバゾール−3−イル〕−1−(O−アセチルオキシム)、エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)、エタノン−1−〔9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル〕−1−(O−アセチルオキシム)、エタノン−1−〔9−エチル−6−(2−メチル−5−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル〕−1−(O−アセチルオキシム)、エタノン−1−〔9−エチル−6−(2−メチル−5−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル〕−1−(O−アセチルオキシム)、エタノン−1−〔9−エチル−6−{2−メチル−4−(2,2−ジメチル−1,3−ジオキソラニル)メトキシベンゾイル}−9.H.−カルバゾール−3−イル〕−1−(O−アセチルオキシム)等を挙げることができる。
これらのO−アシルオキシム系化合物のうち、特に、1−〔4−(フェニルチオ)フェニル〕−オクタン−1,2−ジオン 2−(O−ベンゾイルオキシム)、1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−エタノン 1−(O−アセチルオキシム)、エタノン−1−〔9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル〕−1−(O−アセチルオキシム)、エタノン−1−〔9−エチル−6−{2−メチル−4−(2,2−ジメチル−1,3−ジオキソラニル)メトキシベンゾイル}−9.H.−カルバゾール−3−イル〕−1−(O−アセチルオキシム)等が好ましい。
前記O−アシルオキシム系化合物は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
本発明において、光重合開始剤としてO−アシルオキシム系化合物を使用する場合の使用量は、(C)多官能性単量体と単官能性単量体との合計100重量部に対して、好ましくは0.01〜80重量部、さらに好ましくは1〜70重量部、特に好ましくは1〜60重量部である。この場合、O−アシルオキシム系化合物の使用量が0.01重量部未満であると、露光による硬化が不十分となり、着色層パターンが所定の配列に従って配置されたカラーフィルタを得ることが困難となるおそれがあり、一方80重量部を超えると、形成された着色層が現像時に基板から脱落しやすくなる傾向がある。
−(E)シロキサンオリゴマー−
本発明における(E)成分は、前記(B)アルカリ可溶性樹脂または(C)多官能性単量体と熱によりまたは放射線の露光により架橋反応しうる官能基を有するシロキサンオリゴマーであり、オキシラニル基、オキセタニル基、エピスルフィド基、ビニル基、アリル基、(メタ)アクリロイル基、カルボキシル基、ヒドロキシル基、メルカプト基、イソシアネート基、アミノ基、ウレイド基およびスチリル基の群から選ばれる少なくとも1種の官能基を含有する。
本発明における(E)成分は、好ましくは下記式(1)および下記式(2)で表されるアルコキシシランを共加水分解することにより製造することができる。
(ここでR1はエポキシ基、オキセタニル基、エピスルフィド基、ビニル基、アリル基、(メタ)アクリロイル基、カルボキシル基、ヒドロキシル基、メルカプト基、イソシアネート基、アミノ基、ウレイド基またはスチリル基の群から選ばれる少なくとも1種の官能基を含有する置換基を表わし、R2、R3は同一でも異なっていてもよく、R2はR1とは異なる1価の有機基、R3は1価の有機基であり、l、nはそれぞれ1〜3の整数であり、mは0〜2の整数である。但し、l+m+n=4である。)
(ここでR4、R5は、同一でも異なっていてもよく、それぞれ水素原子または1価の有機基であり、そして、xは0〜3の整数である。)
上記加水分解物には、原料中の加水分解されうる部分の全部が加水分解されたもの、およびその一部が加水分解され一部が加水分解されずに残存するものも包含されると理解すべきである。
オキシラニル基を含有する化合物(1)の具体例としては、3−グリシドキシメチルトリメトキシシラン、3−グリシドキシメチルトリエトキシシラン、3−グリシドキシメチルトリ−n−プロピルオキシシラン、3−グリシドキシメチルトリ−i−プロピルオキシシラン、3−グリシドキシメチルトリアセトキシシラン、3−グリシドキシメチルメチルジメトキシシラン、3−グリシドキシメチルメチルジエトキシシラン、3−グリシドキシメチルメチルジ−n−プロピルオキシシラン、3−グリシドキシメチルメチルジ−i−プロピルオキシシラン、3−グリシドキシメチルメチルジアセトキシシラン、3−グリシドキシメチルエチルジメトキシシラン、3−グリシドキシメチルエチルジエトキシシラン、3−グリシドキシメチルエチルジ−n−プロピルオキシシラン、3−グリシドキシメチルエチルジ−i−プロピルオキシシラン、3−グリシドキシメチルエチルジアセトキシシラン、3−グリシドキシメチルフェニルジメトキシシラン、3−グリシドキシメチルフェニルジエトキシシラン、3−グリシドキシメチルフェニルジ−n−プロピルオキシシラン、3−グリシドキシメチルフェニルジ−i−プロピルオキシシラン、3−グリシドキシメチルフェニルジアセトキシシラン、3−グリシドキシエチルトリメトキシシラン、3−グリシドキシエチルトリエトキシシラン、3−グリシドキシエチルトリ−n−プロピルオキシシラン、3−グリシドキシエチルトリ−i−プロピルオキシシラン、3−グリシドキシエチルトリアセトキシシラン、3−グリシドキシエチルメチルジメトキシシラン、3−グリシドキシエチルメチルジエトキシシラン、3−グリシドキシエチルメチルジ−n−プロピルオキシシラン、3−グリシドキシエチルメチルジ−i−プロピルオキシシラン、3−グリシドキシエチルメチルジアセトキシシラン、3−グリシドキシエチルエチルジメトキシシラン、3−グリシドキシエチルエチルジエトキシシラン、3−グリシドキシエチルエチルジ−n−プロピルオキシシラン、3−グリシドキシエチルエチルジ−i−プロピルオキシシラン、3−グリシドキシエチルエチルジアセトキシシラン、3−グリシドキシエチルフェニルジメトキシシラン、3−グリシドキシエチルフェニルジエトキシシラン、3−グリシドキシエチルフェニルジ−n−プロピルオキシシラン、3−グリシドキシエチルフェニルジ−i−プロピルオキシシラン、3−グリシドキシエチルフェニルジアセトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリ−n−プロピルオキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリ−i−プロピルオキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリアセトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジ−n−プロピルオキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジ−i−プロピルオキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジアセトキシシラン、3−グリシドキシプロピルエチルジメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルエチルジエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルエチルジ−n−プロピルオキシシラン、3−グリシドキシプロピルエチルジ−i−プロピルオキシシラン、3−グリシドキシプロピルエチルジアセトキシシラン、3−グリシドキシプロピルフェニルジメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルフェニルジエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルフェニルジ−n−プロピルオキシシラン、3−グリシドキシプロピルフェニルジ−i−プロピルオキシシラン、3−グリシドキシプロピルフェニルジアセトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)メチルトリメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)メチルトリエトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)メチルトリ−n−プロピルオキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)メチルトリアセトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)メチルメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)メチルメチルジエトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)メチルメチルジ−n−プロピルオキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)メチルメチルジアセトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)メチルエチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)メチルエチルジエトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)メチルエチルジ−n−プロピルオキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)メチルエチルジアセトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)メチルフェニルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)メチルフェニルジエトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)メチルフェニルジ−n−プロピルオキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)メチルフェニルジアセトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリエトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリ−n−プロピルオキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリアセトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルメチルジエトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルメチルジ−n−プロピルオキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルメチルジアセトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルエチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルエチルジエトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルエチルジ−n−プロピルオキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルエチルジアセトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルフェニルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルフェニルジエトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルフェニルジ−n−プロピルオキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルフェニルジアセトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)プロピルトリメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)プロピルトリエトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)プロピルトリ−n−プロピルオキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)プロピルトリアセトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)プロピルメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)プロピルメチルジエトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)プロピルメチルジ−n−プロピルオキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)プロピルメチルジアセトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)プロピルエチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)プロピルエチルジエトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)プロピルエチルジ−n−プロピルオキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)プロピルエチルジアセトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)プロピルフェニルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)プロピルフェニルジエトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)プロピルフェニルジ−n−プロピルオキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)プロピルフェニルジアセトキシシランなど;
エピスルフィド基を含有する化合物(1)の具体例としては、2,3−エピチオプロピルオキシメチルトリメトキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシメチルトリエトキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシメチルトリ−n−プロピルオキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシメチルトリ−i−プロピルオキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシメチルトリアセトキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシメチルメチルジメトキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシメチルメチルジエトキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシメチルメチルジ−n−プロピルオキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシメチルメチルジ−i−プロピルオキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシメチルメチルジアセトキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシメチルエチルジメトキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシメチルエチルジエトキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシメチルエチルジ−n−プロピルオキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシメチルエチルジ−i−プロピルオキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシメチルエチルジアセトキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシメチルフェニルジメトキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシメチルフェニルジエトキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシメチルフェニルジ−n−プロピルオキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシメチルフェニルジ−i−プロピルオキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシメチルフェニルジアセトキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシエチルトリメトキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシエチルトリエトキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシエチルトリ−n−プロピルオキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシエチルトリ−i−プロピルオキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシエチルトリアセトキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシエチルメチルジメトキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシエチルメチルジエトキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシエチルメチルジ−n−プロピルオキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシエチルメチルジ−i−プロピルオキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシエチルメチルジアセトキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシエチルエチルジメトキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシエチルエチルジエトキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシエチルエチルジ−n−プロピルオキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシエチルエチルジ−i−プロピルオキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシエチルエチルジアセトキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシエチルフェニルジメトキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシエチルフェニルジエトキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシエチルフェニルジ−n−プロピルオキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシエチルフェニルジ−i−プロピルオキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシエチルフェニルジアセトキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシプロピルトリメトキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシプロピルトリエトキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシプロピルトリ−n−プロピルオキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシプロピルトリ−i−プロピルオキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシプロピルトリアセトキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシプロピルメチルジメトキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシプロピルメチルジエトキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシプロピルメチルジ−n−プロピルオキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシプロピルメチルジ−i−プロピルオキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシプロピルメチルジアセトキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシプロピルエチルジメトキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシプロピルエチルジエトキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシプロピルエチルジ−n−プロピルオキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシプロピルエチルジ−i−プロピルオキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシプロピルエチルジアセトキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシプロピルフェニルジメトキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシプロピルフェニルジエトキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシプロピルフェニルジ−n−プロピルオキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシプロピルフェニルジ−i−プロピルオキシシラン、2,3−エピチオプロピルオキシプロピルフェニルジアセトキシシランなど;
オキセタニル基を含有する化合物(1)の具体例としては、(オキセタン−3−イル)メチルトリメトキシシラン、(オキセタン−3−イル)メチルトリエトキシシラン、(オキセタン−3−イル)メチルトリ−n−プロピルオキシシラン、(オキセタン−3−イル)メチルトリ−i−プロピルオキシシラン、(オキセタン−3−イル)メチルトリアセトキシシラン、(オキセタン−3−イル)メチルメチルジメトキシシラン、(オキセタン−3−イル)メチルメチルジエトキシシラン、(オキセタン−3−イル)メチルメチルジ−n−プロピルオキシシラン、(オキセタン−3−イル)メチルメチルジ−i−プロピルオキシシラン、(オキセタン−3−イル)メチルメチルジアセトキシシラン、(オキセタン−3−イル)メチルエチルジメトキシシラン、(オキセタン−3−イル)メチルエチルジエトキシシラン、(オキセタン−3−イル)メチルエチルジ−n−プロピルオキシシラン、(オキセタン−3−イル)メチルエチルジ−i−プロピルオキシシラン、(オキセタン−3−イル)メチルエチルジアセトキシシラン、(オキセタン−3−イル)メチルフェニルジメトキシシラン、(オキセタン−3−イル)メチルフェニルジエトキシシラン、(オキセタン−3−イル)メチルフェニルジ−n−プロピルオキシシラン、(オキセタン−3−イル)メチルフェニルジ−i−プロピルオキシシラン、(オキセタン−3−イル)メチルフェニルジアセトキシシラン、(オキセタン−3−イル)エチルトリメトキシシラン、(オキセタン−3−イル)エチルトリエトキシシラン、(オキセタン−3−イル)エチルトリ−n−プロピルオキシシラン、(オキセタン−3−イル)エチルトリ−i−プロピルオキシシラン、(オキセタン−3−イル)エチルトリアセトキシシラン、(オキセタン−3−イル)エチルメチルジメトキシシラン、(オキセタン−3−イル)エチルメチルジエトキシシラン、(オキセタン−3−イル)エチルメチルジ−n−プロピルオキシシラン、(オキセタン−3−イル)エチルメチルジ−i−プロピルオキシシラン、(オキセタン−3−イル)エチルメチルジアセトキシシラン、(オキセタン−3−イル)エチルエチルジメトキシシラン、(オキセタン−3−イル)エチルエチルジエトキシシラン、(オキセタン−3−イル)エチルエチルジ−n−プロピルオキシシラン、(オキセタン−3−イル)エチルエチルジ−i−プロピルオキシシラン、(オキセタン−3−イル)エチルエチルジアセトキシシラン、(オキセタン−3−イル)エチルフェニルジメトキシシラン、(オキセタン−3−イル)エチルフェニルジエトキシシラン、(オキセタン−3−イル)エチルフェニルジ−n−プロピルオキシシラン、(オキセタン−3−イル)エチルフェニルジ−i−プロピルオキシシラン、(オキセタン−3−イル)エチルフェニルジアセトキシシラン、(オキセタン−3−イル)プロピルトリメトキシシラン、(オキセタン−3−イル)プロピルトリエトキシシラン、(オキセタン−3−イル)プロピルトリ−n−プロピルオキシシラン、(オキセタン−3−イル)プロピルトリ−i−プロピルオキシシラン、(オキセタン−3−イル)プロピルトリアセトキシシラン、(オキセタン−3−イル)プロピルメチルジメトキシシラン、(オキセタン−3−イル)プロピルメチルジエトキシシラン、(オキセタン−3−イル)プロピルメチルジ−n−プロピルオキシシラン、(オキセタン−3−イル)プロピルメチルジ−i−プロピルオキシシラン、(オキセタン−3−イル)プロピルメチルジアセトキシシラン、(オキセタン−3−イル)プロピルエチルジメトキシシラン、(オキセタン−3−イル)プロピルエチルジエトキシシラン、(オキセタン−3−イル)プロピルエチルジ−n−プロピルオキシシラン、(オキセタン−3−イル)プロピルエチルジ−i−プロピルオキシシラン、(オキセタン−3−イル)プロピルエチルジアセトキシシラン、(オキセタン−3−イル)プロピルフェニルジメトキシシラン、(オキセタン−3−イル)プロピルフェニルジエトキシシラン、(オキセタン−3−イル)プロピルフェニルジ−n−プロピルオキシシラン、(オキセタン−3−イル)プロピルフェニルジ−i−プロピルオキシシラン、(オキセタン−3−イル)プロピルフェニルジアセトキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)メチルトリメトキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)メチルトリエトキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)メチルトリ−n−プロピルオキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)メチルトリ−i−プロピルオキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)メチルトリアセトキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)メチルメチルジメトキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)メチルメチルジエトキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)メチルメチルジ−n−プロピルオキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)メチルメチルジ−i−プロピルオキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)メチルメチルジアセトキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)メチルエチルジメトキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)メチルエチルジエトキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)メチルエチルジ−n−プロピルオキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)メチルエチルジ−i−プロピルオキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)メチルエチルジアセトキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)メチルフェニルジメトキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)メチルフェニルジエトキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)メチルフェニルジ−n−プロピルオキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)メチルフェニルジ−i−プロピルオキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)メチルフェニルジアセトキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)エチルトリメトキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)エチルトリエトキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)エチルトリ−n−プロピルオキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)エチルトリ−i−プロピルオキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)エチルトリアセトキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)エチルメチルジメトキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)エチルメチルジエトキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)エチルメチルジ−n−プロピルオキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)エチルメチルジ−i−プロピルオキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)エチルメチルジアセトキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)エチルエチルジメトキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)エチルエチルジエトキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)エチルエチルジ−n−プロピルオキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)エチルエチルジ−i−プロピルオキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)エチルエチルジアセトキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)エチルフェニルジメトキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)エチルフェニルジエトキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)エチルフェニルジ−n−プロピルオキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)エチルフェニルジ−i−プロピルオキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)エチルフェニルジアセトキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)プロピルトリメトキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)プロピルトリエトキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)プロピルトリ−n−プロピルオキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)プロピルトリ−i−プロピルオキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)プロピルトリアセトキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)プロピルメチルジメトキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)プロピルメチルジエトキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)プロピルメチルジ−n−プロピルオキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)プロピルメチルジ−i−プロピルオキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)プロピルメチルジアセトキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)プロピルエチルジメトキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)プロピルエチルジエトキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)プロピルエチルジ−n−プロピルオキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)プロピルエチルジ−i−プロピルオキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)プロピルエチルジアセトキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)プロピルフェニルジメトキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)プロピルフェニルジエトキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)プロピルフェニルジ−n−プロピルオキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)プロピルフェニルジ−i−プロピルオキシシラン、(3−メチルオキセタン−3−イル)プロピルフェニルジアセトキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)メチルトリメトキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)メチルトリエトキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)メチルトリ−n−プロピルオキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)メチルトリ−i−プロピルオキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)メチルトリアセトキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)メチルメチルジメトキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)メチルメチルジエトキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)メチルメチルジ−n−プロピルオキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)メチルメチルジ−i−プロピルオキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)メチルメチルジアセトキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)メチルエチルジメトキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)メチルエチルジエトキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)メチルエチルジ−n−プロピルオキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)メチルエチルジ−i−プロピルオキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)メチルエチルジアセトキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)メチルフェニルジメトキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)メチルフェニルジエトキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)メチルフェニルジ−n−プロピルオキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)メチルフェニルジ−i−プロピルオキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)メチルフェニルジアセトキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)エチルトリメトキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)エチルトリエトキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)エチルトリ−n−プロピルオキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)エチルトリ−i−プロピルオキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)エチルトリアセトキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)エチルメチルジメトキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)エチルメチルジエトキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)エチルメチルジ−n−プロピルオキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)エチルメチルジ−i−プロピルオキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)エチルメチルジアセトキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)エチルエチルジメトキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)エチルエチルジエトキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)エチルエチルジ−n−プロピルオキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)エチルエチルジ−i−プロピルオキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)エチルエチルジアセトキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)エチルフェニルジメトキシシラン、(3
−エチルオキセタン−3−イル)エチルフェニルジエトキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)エチルフェニルジ−n−プロピルオキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)エチルフェニルジ−i−プロピルオキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)エチルフェニルジアセトキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)プロピルトリメトキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)プロピルトリエトキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)プロピルトリ−n−プロピルオキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)プロピルトリ−i−プロピルオキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)プロピルトリアセトキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)プロピルメチルジメトキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)プロピルメチルジエトキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)プロピルメチルジ−n−プロピルオキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)プロピルメチルジ−i−プロピルオキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)プロピルメチルジアセトキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)プロピルエチルジメトキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)プロピルエチルジエトキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)プロピルエチルジ−n−プロピルオキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)プロピルエチルジ−i−プロピルオキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)プロピルエチルジアセトキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)プロピルフェニルジメトキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)プロピルフェニルジエトキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)プロピルフェニルジ−n−プロピルオキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)プロピルフェニルジ−i−プロピルオキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)プロピルフェニルジアセトキシシランなど;
ビニル基を含有する化合物(1)の具体例としては、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリ−n−プロピルオキシシラン、ビニルトリ−i−プロピルオキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、ビニルトリ(メトキシエトキシ)シラン、ビニルメチルジメトキシシラン、ビニルメチルジエトキシシラン、ビニルメチルジ−n−プロピルオキシシラン、ビニルメチルジ−i−プロピルオキシシラン、ビニルメチルジアセトキシシラン、ビニルエチルジメトキシシラン、ビニルエチルジエトキシシラン、ビニルエチルジ−n−プロピルオキシシラン、ビニルエチルジ−i−プロピルオキシシラン、ビニルエチルジアセトキシシラン、ビニルエチルジ(メトキシエトキシ)シラン、ビニルフェニルジメトキシシラン、ビニルフェニルジエトキシシラン、ビニルフェニルジ−n−プロピルオキシシラン、ビニルフェニルジ−i−プロピルオキシシラン、ビニルフェニルジアセトキシシラン、ビニルフェニルジ(メトキシエトキシ)シランなど;
アリル基を含有する化合物(1)の具体例としては、アリルトリメトキシシラン、アリルトリエトキシシラン、アリルトリ−n−プロピルオキシシラン、アリルトリ−i−プロピルオキシシラン、アリルトリアセトキシシラン、アリルトリ(メトキシエトキシ)シラン、アリルメチルジメトキシシラン、アリルメチルジエトキシシラン、アリルメチルジ−n−プロピルオキシシラン、アリルメチルジ−i−プロピルオキシシラン、アリルメチルジアセトキシシラン、アリルエチルジメトキシシラン、アリルエチルジエトキシシラン、アリルエチルジ−n−プロピルオキシシラン、アリルエチルジ−i−プロピルオキシシラン、アリルエチルジアセトキシシラン、アリルエチルジ(メトキシエトキシ)シラン、アリルフェニルジメトキシシラン、アリルフェニルジエトキシシラン、アリルフェニルジ−n−プロピルオキシシラン、アリルフェニルジ−i−プロピルオキシシラン、アリルフェニルジアセトキシシラン、アリルフェニルジ(メトキシエトキシ)シランなど;
(メタ)アクリロイル基を含有する化合物(1)の具体例としては、3−(メタ)アクリロキシメチルトリメトキシシラン、3−(メタ)アクリロキシメチルトリエトキシシラン、3−(メタ)アクリロキシメチルトリ−n−プロピルオキシシラン、3−(メタ)アクリロキシメチルトリ−i−プロピルオキシシラン、3−(メタ)アクリロキシメチルトリアセトキシシラン、3−(メタ)アクリロキシメチルメチルジメトキシシラン、3−(メタ)アクリロキシメチルメチルジエトキシシラン、3−(メタ)アクリロキシメチルメチルジ−n−プロピルオキシシラン、3−(メタ)アクリロキシメチルメチルジ−i−プロピルオキシシラン、3−(メタ)アクリロキシメチルメチルジアセトキシシラン、3−(メタ)アクリロキシメチルエチルジメトキシシラン、3−(メタ)アクリロキシメチルエチルジエトキシシラン、3−(メタ)アクリロキシメチルエチルジ−n−プロピルオキシシラン、3−(メタ)アクリロキシメチルエチルジ−i−プロピルオキシシラン、3−(メタ)アクリロキシメチルエチルジアセトキシシラン、3−(メタ)アクリロキシメチルフェニルジメトキシシラン、3−(メタ)アクリロキシメチルフェニルジエトキシシラン、3−(メタ)アクリロキシメチルフェニルジ−n−プロピルオキシシラン、3−(メタ)アクリロキシメチルフェニルジ−i−プロピルオキシシラン、3−(メタ)アクリロキシメチルフェニルジアセトキシシラン、3−(メタ)アクリロキシエチルトリメトキシシラン、3−(メタ)アクリロキシエチルトリエトキシシラン、3−(メタ)アクリロキシエチルトリ−n−プロピルオキシシラン、3−(メタ)アクリロキシエチルトリ−i−プロピルオキシシラン、3−(メタ)アクリロキシエチルトリアセトキシシラン、3−(メタ)アクリロキシエチルメチルジメトキシシラン、3−(メタ)アクリロキシエチルメチルジエトキシシラン、3−(メタ)アクリロキシエチルメチルジ−n−プロピルオキシシラン、3−(メタ)アクリロキシエチルメチルジ−i−プロピルオキシシラン、3−(メタ)アクリロキシエチルメチルジアセトキシシラン、3−(メタ)アクリロキシエチルエチルジメトキシシラン、3−(メタ)アクリロキシエチルエチルジエトキシシラン、3−(メタ)アクリロキシエチルエチルジ−n−プロピルオキシシラン、3−(メタ)アクリロキシエチルエチルジ−i−プロピルオキシシラン、3−(メタ)アクリロキシエチルエチルジアセトキシシラン、3−(メタ)アクリロキシエチルフェニルジメトキシシラン、3−(メタ)アクリロキシエチルフェニルジエトキシシラン、3−(メタ)アクリロキシエチルフェニルジ−n−プロピルオキシシラン、3−(メタ)アクリロキシエチルフェニルジ−i−プロピルオキシシラン、3−(メタ)アクリロキシエチルフェニルジアセトキシシラン、3−(メタ)アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−(メタ)アクリロキシプロピルトリエトキシシラン、3−(メタ)アクリロキシプロピルトリ−n−プロピルオキシシラン、3−(メタ)アクリロキシプロピルトリ−i−プロピルオキシシラン、3−(メタ)アクリロキシプロピルトリアセトキシシラン、3−(メタ)アクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、3−(メタ)アクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、3−(メタ)アクリロキシプロピルメチルジ−n−プロピルオキシシラン、3−(メタ)アクリロキシプロピルメチルジ−i−プロピルオキシシラン、3−(メタ)アクリロキシプロピルメチルジアセトキシシラン、3−(メタ)アクリロキシプロピルエチルジメトキシシラン、3−(メタ)アクリロキシプロピルエチルジエトキシシラン、3−(メタ)アクリロキシプロピルエチルジ−n−プロピルオキシシラン、3−(メタ)アクリロキシプロピルエチルジ−i−プロピルオキシシラン、3−(メタ)アクリロキシプロピルエチルジアセトキシシラン、3−(メタ)アクリロキシプロピルフェニルジメトキシシラン、3−(メタ)アクリロキシプロピルフェニルジエトキシシラン、3−(メタ)アクリロキシプロピルフェニルジ−n−プロピルオキシシラン、3−(メタ)アクリロキシプロピルフェニルジ−i−プロピルオキシシラン、3−(メタ)アクリロキシプロピルフェニルジアセトキシシランなど;
カルボキシル基を含有する化合物(1)の具体例としては、カルボキシメチルトリメトキシシラン、カルボキシメチルトリエトキシシラン、カルボキシメチルトリ−n−プロピルオキシシラン、カルボキシメチルトリ−i−プロピルオキシシラン、カルボキシメチルトリアセトキシシラン、カルボキシメチルトリ(メトキシエトキシ)シラン、カルボキシメチルメチルジメトキシシラン、カルボキシメチルメチルジエトキシシラン、カルボキシメチルメチルジ−n−プロピルオキシシラン、カルボキシメチルメチルジ−i−プロピルオキシシラン、カルボキシメチルメチルジアセトキシシラン、カルボキシメチルエチルジメトキシシラン、カルボキシメチルエチルジエトキシシラン、カルボキシメチルエチルジ−n−プロピルオキシシラン、カルボキシメチルエチルジ−i−プロピルオキシシラン、カルボキシメチルエチルジアセトキシシラン、カルボキシメチルエチルジ(メトキシエトキシ)シラン、カルボキシメチルフェニルジメトキシシラン、カルボキシメチルフェニルジエトキシシラン、カルボキシメチルフェニルジ−n−プロピルオキシシラン、カルボキシメチルフェニルジ−i−プロピルオキシシラン、カルボキシメチルフェニルジアセトキシシラン、カルボキシメチルフェニルジ(メトキシエトキシ)シラン、2−カルボキシエチルトリメトキシシラン、2−カルボキシエチルトリエトキシシラン、2−カルボキシエチルトリ−n−プロピルオキシシラン、2−カルボキシエチルトリ−i−プロピルオキシシラン、2−カルボキシエチルトリアセトキシシラン、2−カルボキシエチルトリ(メトキシエトキシ)シラン、2−カルボキシエチルメチルジメトキシシラン、2−カルボキシエチルメチルジエトキシシラン、2−カルボキシエチルメチルジ−n−プロピルオキシシラン、2−カルボキシエチルメチルジ−i−プロピルオキシシラン、2−カルボキシエチルメチルジアセトキシシラン、2−カルボキシエチルエチルジメトキシシラン、2−カルボキシエチルエチルジエトキシシラン、2−カルボキシエチルエチルジ−n−プロピルオキシシラン、2−カルボキシエチルエチルジ−i−プロピルオキシシラン、2−カルボキシエチルエチルジアセトキシシラン、2−カルボキシエチルエチルジ(メトキシエトキシ)シラン、2−カルボキシエチルフェニルジメトキシシラン、2−カルボキシエチルフェニルジエトキシシラン、2−カルボキシエチルフェニルジ−n−プロピルオキシシラン、2−カルボキシエチルフェニルジ−i−プロピルオキシシラン、2−カルボキシエチルフェニルジアセトキシシラン、2−カルボキシエチルフェニルジ(メトキシエトキシ)シランなど;
ヒドロキシル基を含有する化合物(1)の具体例としては、ヒドロキシメチルトリメトキシシラン、ヒドロキシメチルトリエトキシシラン、ヒドロキシメチルトリ−n−プロピルオキシシラン、ヒドロキシメチルトリ−i−プロピルオキシシラン、ヒドロキシメチルトリアセトキシシラン、ヒドロキシメチルトリ(メトキシエトキシ)シラン、ヒドロキシメチルメチルジメトキシシラン、ヒドロキシメチルメチルジエトキシシラン、ヒドロキシメチルメチルジ−n−プロピルオキシシラン、ヒドロキシメチルメチルジ−i−プロピルオキシシラン、ヒドロキシメチルメチルジアセトキシシラン、ヒドロキシメチルエチルジメトキシシラン、ヒドロキシメチルエチルジエトキシシラン、ヒドロキシメチルエチルジ−n−プロピルオキシシラン、ヒドロキシメチルエチルジ−i−プロピルオキシシラン、ヒドロキシメチルエチルジアセトキシシラン、ヒドロキシメチルエチルジ(メトキシエトキシ)シラン、ヒドロキシメチルフェニルジメトキシシラン、ヒドロキシメチルフェニルジエトキシシラン、ヒドロキシメチルフェニルジ−n−プロピルオキシシラン、ヒドロキシメチルフェニルジ−i−プロピルオキシシラン、ヒドロキシメチルフェニルジアセトキシシラン、ヒドロキシメチルフェニルジ(メトキシエトキシ)シラン、2−ヒドロキシエチルトリメトキシシラン、2−ヒドロキシエチルトリエトキシシラン、2−ヒドロキシエチルトリ−n−プロピルオキシシラン、2−ヒドロキシエチルトリ−i−プロピルオキシシラン、2−ヒドロキシエチルトリアセトキシシラン、2−ヒドロキシエチルトリ(メトキシエトキシ)シラン、2−ヒドロキシエチルメチルジメトキシシラン、2−ヒドロキシエチルメチルジエトキシシラン、2−ヒドロキシエチルメチルジ−n−プロピルオキシシラン、2−ヒドロキシエチルメチルジ−i−プロピルオキシシラン、2−ヒドロキシエチルメチルジアセトキシシラン、2−ヒドロキシエチルエチルジメトキシシラン、2−ヒドロキシエチルエチルジエトキシシラン、2−ヒドロキシエチルエチルジ−n−プロピルオキシシラン、2−ヒドロキシエチルエチルジ−i−プロピルオキシシラン、2−ヒドロキシエチルエチルジアセトキシシラン、2−ヒドロキシエチルエチルジ(メトキシエトキシ)シラン、2−ヒドロキシエチルフェニルジメトキシシラン、2−ヒドロキシエチルフェニルジエトキシシラン、2−ヒドロキシエチルフェニルジ−n−プロピルオキシシラン、2−ヒドロキシエチルフェニルジ−i−プロピルオキシシラン、2−ヒドロキシエチルフェニルジアセトキシシラン、2−ヒドロキシエチルフェニルジ(メトキシエトキシ)シラン、3−ヒドロキシプロピルトリメトキシシラン、3−ヒドロキシプロピルトリエトキシシラン、3−ヒドロキシプロピルトリ−n−プロピルオキシシラン、3−ヒドロキシプロピルトリ−i−プロピルオキシシラン、3−ヒドロキシプロピルトリアセトキシシラン、3−ヒドロキシプロピルトリ(メトキシエトキシ)シラン、3−ヒドロキシプロピルメチルジメトキシシラン、3−ヒドロキシプロピルメチルジエトキシシラン、3−ヒドロキシプロピルメチルジ−n−プロピルオキシシラン、3−ヒドロキシプロピルメチルジ−i−プロピルオキシシラン、3−ヒドロキシプロピルメチルジアセトキシシラン、3−ヒドロキシプロピルエチルジメトキシシラン、3−ヒドロキシプロピルエチルジエトキシシラン、3−ヒドロキシプロピルエチルジ−n−プロピルオキシシラン、3−ヒドロキシプロピルエチルジ−i−プロピルオキシシラン、3−ヒドロキシプロピルエチルジアセトキシシラン、3−ヒドロキシプロピルエチルジ(メトキシエトキシ)シラン、3−ヒドロキシプロピルフェニルジメトキシシラン、3−ヒドロキシプロピルフェニルジエトキシシラン、3−ヒドロキシプロピルフェニルジ−n−プロピルオキシシラン、3−ヒドロキシプロピルフェニルジ−i−プロピルオキシシラン、3−ヒドロキシプロピルフェニルジアセトキシシラン、3−ヒドロキシプロピルフェニルジ(メトキシエトキシ)シラン、4−ヒドロキシ−(p−ヒドロキシフェニルカルボニルオキシ)ベンジルトリメトキシシラン、4−ヒドロキシ−(p−ヒドロキシフェニルカルボニルオキシ)ベンジルトリエトキシシラン、4−ヒドロキシ−(p−ヒドロキシフェニルカルボニルオキシ)ベンジルトリ−n−プロピルオキシシラン、4−ヒドロキシ−(p−ヒドロキシフェニルカルボニルオキシ)ベンジルトリ−i−プロピルオキシシラン、4−ヒドロキシ−(p−ヒドロキシフェニルカルボニルオキシ)ベンジルトリアセトキシシラン、4−ヒドロキシ−(p−ヒドロキシフェニルカルボニルオキシ)ベンジルトリ(メトキシエトキシ)シラン、4−ヒドロキシ−(p−ヒドロキシフェニルカルボニルオキシ)ベンジルメチルジメトキシシラン、4−ヒドロキシ−(p−ヒドロキシフェニルカルボニルオキシ)ベンジルメチルジエトキシシラン、4−ヒドロキシ−(p−ヒドロキシフェニルカルボニルオキシ)ベンジルメチルジ−n−プロピルオキシシラン、4−ヒドロキシ−(p−ヒドロキシフェニルカルボニルオキシ)ベンジルメチルジ−i−プロピルオキシシラン、4−ヒドロキシ−(p−ヒドロキシフェニルカルボニルオキシ)ベンジルメチルジアセトキシシラン、4−ヒドロキシ−(p−ヒドロキシフェニルカルボニルオキシ)ベンジルエチルジメトキシシラン、4−ヒドロキシ−(p−ヒドロキシフェニルカルボニルオキシ)ベンジルエチルジエトキシシラン、4−ヒドロキシ−(p−ヒドロキシフェニルカルボニルオキシ)ベンジルエチルジ−n−プロピルオキシシラン、4−ヒドロキシ−(p−ヒドロキシフェニルカルボニルオキシ)ベンジルエチルジ−i−プロピルオキシシラン、4−ヒドロキシ−(p−ヒドロキシフェニルカルボニルオキシ)ベンジルエチルジアセトキシシラン、4−ヒドロキシ−(p−ヒドロキシフェニルカルボニルオキシ)ベンジルエチルジ(メトキシエトキシ)シラン、4−ヒドロキシ−(p−ヒドロキシフェニルカルボニルオキシ)ベンジルフェニルジメトキシシラン、4−ヒドロキシ−(p−ヒドロキシフェニルカルボニルオキシ)ベンジルフェニルジエトキシシラン、4−ヒドロキシ−(p−ヒドロキシフェニルカルボニルオキシ)ベンジルフェニルジ−n−プロピルオキシシラン、4−ヒドロキシ−(p−ヒドロキシフェニルカルボニルオキシ)ベンジルフェニルジ−i−プロピルオキシシラン、4−ヒドロキシ−(p−ヒドロキシフェニルカルボニルオキシ)ベンジルフェニルジアセトキシシラン、4−ヒドロキシ−(p−ヒドロキシフェニルカルボニルオキシ)ベンジルフェニルジ(メトキシエトキシ)シランなど;
メルカプト基を含有する化合物(1)の具体例としては、メルカプトメチルトリメトキシシラン、メルカプトメチルトリエトキシシラン、メルカプトメチルトリ−n−プロピルオキシシラン、メルカプトメチルトリ−i−プロピルオキシシラン、メルカプトメチルトリアセトキシシラン、メルカプトメチルトリ(メトキシエトキシ)シラン、メルカプトメチルメチルジメトキシシラン、メルカプトメチルメチルジエトキシシラン、メルカプトメチルメチルジ−n−プロピルオキシシラン、メルカプトメチルメチルジ−i−プロピルオキシシラン、メルカプトメチルメチルジアセトキシシラン、メルカプトメチルエチルジメトキシシラン、メルカプトメチルエチルジエトキシシラン、メルカプトメチルエチルジ−n−プロピルオキシシラン、メルカプトメチルエチルジ−i−プロピルオキシシラン、メルカプトメチルエチルジアセトキシシラン、メルカプトメチルエチルジ(メトキシエトキシ)シラン、メルカプトメチルフェニルジメトキシシラン、メルカプトメチルフェニルジエトキシシラン、メルカプトメチルフェニルジ−n−プロピルオキシシラン、メルカプトメチルフェニルジ−i−プロピルオキシシラン、メルカプトメチルフェニルジアセトキシシラン、メルカプトメチルフェニルジ(メトキシエトキシ)シラン、2−メルカプトエチルトリメトキシシラン、2−メルカプトエチルトリエトキシシラン、2−メルカプトエチルトリ−n−プロピルオキシシラン、2−メルカプトエチルトリ−i−プロピルオキシシラン、2−メルカプトエチルトリアセトキシシラン、2−メルカプトエチルトリ(メトキシエトキシ)シラン、2−メルカプトエチルメチルジメトキシシラン、2−メルカプトエチルメチルジエトキシシラン、2−メルカプトエチルメチルジ−n−プロピルオキシシラン、2−メルカプトエチルメチルジ−i−プロピルオキシシラン、2−メルカプトエチルメチルジアセトキシシラン、2−メルカプトエチルエチルジメトキシシラン、2−メルカプトエチルエチルジエトキシシラン、2−メルカプトエチルエチルジ−n−プロピルオキシシラン、2−メルカプトエチルエチルジ−i−プロピルオキシシラン、2−メルカプトエチルエチルジアセトキシシラン、2−メルカプトエチルエチルジ(メトキシエトキシ)シラン、2−メルカプトエチルフェニルジメトキシシラン、2−メルカプトエチルフェニルジエトキシシラン、2−メルカプトエチルフェニルジ−n−プロピルオキシシラン、2−メルカプトエチルフェニルジ−i−プロピルオキシシラン、2−メルカプトエチルフェニルジアセトキシシラン、2−メルカプトエチルフェニルジ(メトキシエトキシ)シラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリエトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリ−n−プロピルオキシシラン、3−メルカプトプロピルトリ−i−プロピルオキシシラン、3−メルカプトプロピルトリアセトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリ(メトキシエトキシ)シラン、3−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、3−メルカプトプロピルメチルジエトキシシラン、3−メルカプトプロピルメチルジ−n−プロピルオキシシラン、3−メルカプトプロピルメチルジ−i−プロピルオキシシラン、3−メルカプトプロピルメチルジアセトキシシラン、3−メルカプトプロピルエチルジメトキシシラン、3−メルカプトプロピルエチルジエトキシシラン、3−メルカプトプロピルエチルジ−n−プロピルオキシシラン、3−メルカプトプロピルエチルジ−i−プロピルオキシシラン、3−メルカプトプロピルエチルジアセトキシシラン、3−メルカプトプロピルエチルジ(メトキシエトキシ)シラン、3−メルカプトプロピルフェニルジメトキシシラン、3−メルカプトプロピルフェニルジエトキシシラン、3−メルカプトプロピルフェニルジ−n−プロピルオキシシラン、3−メルカプトプロピルフェニルジ−i−プロピルオキシシラン、3−メルカプトプロピルフェニルジアセトキシシラン、3−メルカプトプロピルフェニルジ(メトキシエトキシ)シランなど;
イソシアネート基を含有する化合物(1)の具体例としては、イソシアネートメチルトリメトキシシラン、イソシアネートメチルトリエトキシシラン、イソシアネートメチルトリ−n−プロピルオキシシラン、イソシアネートメチルトリ−i−プロピルオキシシラン、イソシアネートメチルトリアセトキシシラン、イソシアネートメチルトリ(メトキシエトキシ)シラン、イソシアネートメチルメチルジメトキシシラン、イソシアネートメチルメチルジエトキシシラン、イソシアネートメチルメチルジ−n−プロピルオキシシラン、イソシアネートメチルメチルジ−i−プロピルオキシシラン、イソシアネートメチルメチルジアセトキシシラン、イソシアネートメチルエチルジメトキシシラン、イソシアネートメチルエチルジエトキシシラン、イソシアネートメチルエチルジ−n−プロピルオキシシラン、イソシアネートメチルエチルジ−i−プロピルオキシシラン、イソシアネートメチルエチルジアセトキシシラン、イソシアネートメチルエチルジ(メトキシエトキシ)シラン、イソシアネートメチルフェニルジメトキシシラン、イソシアネートメチルフェニルジエトキシシラン、イソシアネートメチルフェニルジ−n−プロピルオキシシラン、イソシアネートメチルフェニルジ−i−プロピルオキシシラン、イソシアネートメチルフェニルジアセトキシシラン、イソシアネートメチルフェニルジ(メトキシエトキシ)シラン、2−イソシアネートエチルトリメトキシシラン、2−イソシアネートエチルトリエトキシシラン、2−イソシアネートエチルトリ−n−プロピルオキシシラン、2−イソシアネートエチルトリ−i−プロピルオキシシラン、2−イソシアネートエチルトリアセトキシシラン、2−イソシアネートエチルトリ(メトキシエトキシ)シラン、2−イソシアネートエチルメチルジメトキシシラン、2−イソシアネートエチルメチルジエトキシシラン、2−イソシアネートエチルメチルジ−n−プロピルオキシシラン、2−イソシアネートエチルメチルジ−i−プロピルオキシシラン、2−イソシアネートエチルメチルジアセトキシシラン、2−イソシアネートエチルエチルジメトキシシラン、2−イソシアネートエチルエチルジエトキシシラン、2−イソシアネートエチルエチルジ−n−プロピルオキシシラン、2−イソシアネートエチルエチルジ−i−プロピルオキシシラン、2−イソシアネートエチルエチルジアセトキシシラン、2−イソシアネートエチルエチルジ(メトキシエトキシ)シラン、2−イソシアネートエチルフェニルジメトキシシラン、2−イソシアネートエチルフェニルジエトキシシラン、2−イソシアネートエチルフェニルジ−n−プロピルオキシシラン、2−イソシアネートエチルフェニルジ−i−プロピルオキシシラン、2−イソシアネートエチルフェニルジアセトキシシラン、2−イソシアネートエチルフェニルジ(メトキシエトキシ)シラン、3−イソシアネートプロピルトリメトキシシラン、3−イソシアネートプロピルトリエトキシシラン、3−イソシアネートプロピルトリ−n−プロピルオキシシラン、3−イソシアネートプロピルトリ−i−プロピルオキシシラン、3−イソシアネートプロピルトリアセトキシシラン、3−イソシアネートプロピルトリ(メトキシエトキシ)シラン、3−イソシアネートプロピルメチルジメトキシシラン、3−イソシアネートプロピルメチルジエトキシシラン、3−イソシアネートプロピルメチルジ−n−プロピルオキシシラン、3−イソシアネートプロピルメチルジ−i−プロピルオキシシラン、3−イソシアネートプロピルメチルジアセトキシシラン、3−イソシアネートプロピルエチルジメトキシシラン、3−イソシアネートプロピルエチルジエトキシシラン、3−イソシアネートプロピルエチルジ−n−プロピルオキシシラン、3−イソシアネートプロピルエチルジ−i−プロピルオキシシラン、3−イソシアネートプロピルエチルジアセトキシシラン、3−イソシアネートプロピルエチルジ(メトキシエトキシ)シラン、3−イソシアネートプロピルフェニルジメトキシシラン、3−イソシアネートプロピルフェニルジエトキシシラン、3−イソシアネートプロピルフェニルジ−n−プロピルオキシシラン、3−イソシアネートプロピルフェニルジ−i−プロピルオキシシラン、3−イソシアネートプロピルフェニルジアセトキシシラン、3−イソシアネートプロピルフェニルジ(メトキシエトキシ)シランなど;
アミノ基を含有する化合物(1)の具体例としては、アミノメチルトリメトキシシラン、アミノメチルトリエトキシシラン、アミノメチルトリ−n−プロピルオキシシラン、アミノメチルトリ−i−プロピルオキシシラン、アミノメチルトリアセトキシシラン、アミノメチルトリ(メトキシエトキシ)シラン、アミノメチルメチルジメトキシシラン、アミノメチルメチルジエトキシシラン、アミノメチルメチルジ−n−プロピルオキシシラン、アミノメチルメチルジ−i−プロピルオキシシラン、アミノメチルメチルジアセトキシシラン、アミノメチルエチルジメトキシシラン、アミノメチルエチルジエトキシシラン、アミノメチルエチルジ−n−プロピルオキシシラン、アミノメチルエチルジ−i−プロピルオキシシラン、アミノメチルエチルジアセトキシシラン、アミノメチルエチルジ(メトキシエトキシ)シラン、アミノメチルフェニルジメトキシシラン、アミノメチルフェニルジエトキシシラン、アミノメチルフェニルジ−n−プロピルオキシシラン、アミノメチルフェニルジ−i−プロピルオキシシラン、アミノメチルフェニルジアセトキシシラン、アミノメチルフェニルジ(メトキシエトキシ)シラン、2−アミノエチルトリメトキシシラン、2−アミノエチルトリエトキシシラン、2−アミノエチルトリ−n−プロピルオキシシラン、2−アミノエチルトリ−i−プロピルオキシシラン、2−アミノエチルトリアセトキシシラン、2−アミノエチルトリ(メトキシエトキシ)シラン、2−アミノエチルメチルジメトキシシラン、2−アミノエチルメチルジエトキシシラン、2−アミノエチルメチルジ−n−プロピルオキシシラン、2−アミノエチルメチルジ−i−プロピルオキシシラン、2−アミノエチルメチルジアセトキシシラン、2−アミノエチルエチルジメトキシシラン、2−アミノエチルエチルジエトキシシラン、2−アミノエチルエチルジ−n−プロピルオキシシラン、2−アミノエチルエチルジ−i−プロピルオキシシラン、2−アミノエチルエチルジアセトキシシラン、2−アミノエチルエチルジ(メトキシエトキシ)シラン、2−アミノエチルフェニルジメトキシシラン、2−アミノエチルフェニルジエトキシシラン、2−アミノエチルフェニルジ−n−プロピルオキシシラン、2−アミノエチルフェニルジ−i−プロピルオキシシラン、2−アミノエチルフェニルジアセトキシシラン、2−アミノエチルフェニルジ(メトキシエトキシ)シラン、3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−アミノプロピルトリ−n−プロピルオキシシラン、3−アミノプロピルトリ−i−プロピルオキシシラン、3−アミノプロピルトリアセトキシシラン、3−アミノプロピルトリ(メトキシエトキシ)シラン、3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、3−アミノプロピルメチルジエトキシシラン、3−アミノプロピルメチルジ−n−プロピルオキシシラン、3−アミノプロピルメチルジ−i−プロピルオキシシラン、3−アミノプロピルメチルジアセトキシシラン、3−アミノプロピルエチルジメトキシシラン、3−アミノプロピルエチルジエトキシシラン、3−アミノプロピルエチルジ−n−プロピルオキシシラン、3−アミノプロピルエチルジ−i−プロピルオキシシラン、3−アミノプロピルエチルジアセトキシシラン、3−アミノプロピルエチルジ(メトキシエトキシ)シラン、3−アミノプロピルフェニルジメトキシシラン、3−アミノプロピルフェニルジエトキシシラン、3−アミノプロピルフェニルジ−n−プロピルオキシシラン、3−アミノプロピルフェニルジ−i−プロピルオキシシラン、3−アミノプロピルフェニルジアセトキシシラン、3−アミノプロピルフェニルジ(メトキシエトキシ)シラン、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルトリ−n−プロピルオキシシラン、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルトリ−i−プロピルオキシシラン、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルトリアセトキシシラン、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルトリ(メトキシエトキシ)シラン、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジエトキシシラン、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジ−n−プロピルオキシシラン、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジ−i−プロピルオキシシラン、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジアセトキシシラン、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルエチルジメトキシシラン、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルエチルジエトキシシラン、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルエチルジ−n−プロピルオキシシラン、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルエチルジ−i−プロピルオキシシラン、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルエチルジアセトキシシラン、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルエチルジ(メトキシエトキシ)シラン、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルフェニルジメトキシシラン、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルフェニルジエトキシシラン、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルフェニルジ−n−プロピルオキシシラン、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルフェニルジ−i−プロピルオキシシラン、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルフェニルジアセトキシシラン、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルフェニルジ(メトキシエトキシ)シラン、アミノメチルトリメトキシシラン、アミノメチルトリエトキシシラン、アミノメチルトリ−n−プロピルオキシシラン、アミノメチルトリ−i−プロピルオキシシラン、アミノメチルトリアセトキシシラン、アミノメチルトリ(メトキシエトキシ)シラン、アミノメチルメチルジメトキシシラン、アミノメチルメチルジエトキシシラン、アミノメチルメチルジ−n−プロピルオキシシラン、アミノメチルメチルジ−i−プロピルオキシシラン、アミノメチルメチルジアセトキシシラン、アミノメチルエチルジメトキシシラン、アミノメチルエチルジエトキシシラン、アミノメチルエチルジ−n−プロピルオキシシラン、アミノメチルエチルジ−i−プロピルオキシシラン、アミノメチルエチルジアセトキシシラン、アミノメチルエチルジ(メトキシエトキシ)シラン、アミノメチルフェニルジメトキシシラン、アミノメチルフェニルジエトキシシラン、アミノメチルフェニルジ−n−プロピルオキシシラン、アミノメチルフェニルジ−i−プロピルオキシシラン、アミノメチルフェニルジアセトキシシラン、アミノメチルフェニルジ(メトキシエトキシ)シラン、2−アミノエチルトリメトキシシラン、2−アミノエチルトリエトキシシラン、2−アミノエチルトリ−n−プロピルオキシシラン、2−アミノエチルトリ−i−プロピルオキシシラン、2−アミノエチルトリアセトキシシラン、2−アミノエチルトリ(メトキシエトキシ)シラン、2−アミノエチルメチルジメトキシシラン、2−アミノエチルメチルジエトキシシラン、2−アミノエチルメチルジ−n−プロピルオキシシラン、2−アミノエチルメチルジ−i−プロピルオキシシラン、2−アミノエチルメチルジアセトキシシラン、2−アミノエチルエチルジメトキシシラン、2−アミノエチルエチルジエトキシシラン、2−アミノエチルエチルジ−n−プロピルオキシシラン、2−アミノエチルエチルジ−i−プロピルオキシシラン、2−アミノエチルエチルジアセトキシシラン、2−アミノエチルエチルジ(メトキシエトキシ)シラン、2−アミノエチルフェニルジメトキシシラン、2−アミノエチルフェニルジエトキシシラン、2−アミノエチルフェニルジ−n−プロピルオキシシラン、2−アミノエチルフェニルジ−i−プロピルオキシシラン、2−アミノエチルフェニルジアセトキシシラン、2−アミノエチルフェニルジ(メトキシエトキシ)シラン、N−フェニル−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−フェニル−3−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−フェニル−3−アミノプロピルトリ−n−プロピルオキシシラン、N−フェニル−3−アミノプロピルトリ−i−プロピルオキシシラン、N−フェニル−3−アミノプロピルトリアセトキシシラン、N−フェニル−3−アミノプロピルトリ(メトキシエトキシ)シラン、N−フェニル−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−フェニル−3−アミノプロピルメチルジエトキシシラン、N−フェニル−3−アミノプロピルメチルジ−n−プロピルオキシシラン、N−フェニル−3−アミノプロピルメチルジ−i−プロピルオキシシラン、N−フェニル−3−アミノプロピルメチルジアセトキシシラン、N−フェニル−3−アミノプロピルエチルジメトキシシラン、N−フェニル−3−アミノプロピルエチルジエトキシシラン、N−フェニル−3−アミノプロピルエチルジ−n−プロピルオキシシラン、N−フェニル−3−アミノプロピルエチルジ−i−プロピルオキシシラン、N−フェニル−3−アミノプロピルエチルジアセトキシシラン、N−フェニル−3−アミノプロピルエチルジ(メトキシエトキシ)シラン、N−フェニル−3−アミノプロピルフェニルジメトキシシラン、N−フェニル−3−アミノプロピルフェニルジエトキシシラン、N−フェニル−3−アミノプロピルフェニルジ−n−プロピルオキシシラン、N−フェニル−3−アミノプロピルフェニルジ−i−プロピルオキシシラン、N−フェニル−3−アミノプロピルフェニルジアセトキシシラン、N−フェニル−3−アミノプロピルフェニルジ(メトキシエトキシ)シラン、3−トリメトキシシリル−N−(1,3−ジメチル−ブチリデン)プロピルアミン、3−トリエトキシシリル−N−(1,3−ジメチル−ブチリデン)プロピルアミン、3−トリ−n−プロピルオキシシリル−N−(1,3−ジメチル−ブチリデン)プロピルアミンなど;
ウレイド基を含有する化合物(1)の具体例としては、イソシアネートメチルトリメトキシシラン、ウレイドメチルトリエトキシシラン、ウレイドメチルトリ−n−プロピルオキシシラン、ウレイドメチルトリ−i−プロピルオキシシラン、ウレイドメチルトリアセトキシシラン、ウレイドメチルトリ(メトキシエトキシ)シラン、ウレイドメチルメチルジメトキシシラン、ウレイドメチルメチルジエトキシシラン、ウレイドメチルメチルジ−n−プロピルオキシシラン、ウレイドメチルメチルジ−i−プロピルオキシシラン、ウレイドメチルメチルジアセトキシシラン、ウレイドメチルエチルジメトキシシラン、ウレイドメチルエチルジエトキシシラン、ウレイドメチルエチルジ−n−プロピルオキシシラン、ウレイドメチルエチルジ−i−プロピルオキシシラン、ウレイドメチルエチルジアセトキシシラン、ウレイドメチルエチルジ(メトキシエトキシ)シラン、ウレイドメチルフェニルジメトキシシラン、ウレイドメチルフェニルジエトキシシラン、ウレイドメチルフェニルジ−n−プロピルオキシシラン、ウレイドメチルフェニルジ−i−プロピルオキシシラン、ウレイドメチルフェニルジアセトキシシラン、ウレイドメチルフェニルジ(メトキシエトキシ)シラン、2−ウレイドエチルトリメトキシシラン、2−ウレイドエチルトリエトキシシラン、2−ウレイドエチルトリ−n−プロピルオキシシラン、2−ウレイドエチルトリ−i−プロピルオキシシラン、2−ウレイドエチルトリアセトキシシラン、2−ウレイドエチルトリ(メトキシエトキシ)シラン、2−ウレイドエチルメチルジメトキシシラン、2−ウレイドエチルメチルジエトキシシラン、2−ウレイドエチルメチルジ−n−プロピルオキシシラン、2−ウレイドエチルメチルジ−i−プロピルオキシシラン、2−ウレイドエチルメチルジアセトキシシラン、2−ウレイドエチルエチルジメトキシシラン、2−ウレイドエチルエチルジエトキシシラン、2−ウレイドエチルエチルジ−n−プロピルオキシシラン、2−ウレイドエチルエチルジ−i−プロピルオキシシラン、2−ウレイドエチルエチルジアセトキシシラン、2−ウレイドエチルエチルジ(メトキシエトキシ)シラン、2−ウレイドエチルフェニルジメトキシシラン、2−ウレイドエチルフェニルジエトキシシラン、2−ウレイドエチルフェニルジ−n−プロピルオキシシラン、2−ウレイドエチルフェニルジ−i−プロピルオキシシラン、2−ウレイドエチルフェニルジアセトキシシラン、2−ウレイドエチルフェニルジ(メトキシエトキシ)シラン、3−ウレイドプロピルトリメトキシシラン、3−ウレイドプロピルトリエトキシシラン、3−ウレイドプロピルトリ−n−プロピルオキシシラン、3−ウレイドプロピルトリ−i−プロピルオキシシラン、3−ウレイドプロピルトリアセトキシシラン、3−ウレイドプロピルトリ(メトキシエトキシ)シラン、3−ウレイドプロピルメチルジメトキシシラン、3−ウレイドプロピルメチルジエトキシシラン、3−ウレイドプロピルメチルジ−n−プロピルオキシシラン、3−ウレイドプロピルメチルジ−i−プロピルオキシシラン、3−ウレイドプロピルメチルジアセトキシシラン、3−ウレイドプロピルエチルジメトキシシラン、3−ウレイドプロピルエチルジエトキシシラン、3−ウレイドプロピルエチルジ−n−プロピルオキシシラン、3−ウレイドプロピルエチルジ−i−プロピルオキシシラン、3−ウレイドプロピルエチルジアセトキシシラン、3−ウレイドプロピルエチルジ(メトキシエトキシ)シラン、3−ウレイドプロピルフェニルジメトキシシラン、3−ウレイドプロピルフェニルジエトキシシラン、3−ウレイドプロピルフェニルジ−n−プロピルオキシシラン、3−ウレイドプロピルフェニルジ−i−プロピルオキシシラン、3−ウレイドプロピルフェニルジアセトキシシラン、3−ウレイドプロピルフェニルジ(メトキシエトキシ)シランなど;
スチリル基を含有する化合物(1)の具体例としては、スチリルトリメトキシシラン、スチリルトリエトキシシラン、スチリルトリ−n−プロピルオキシシラン、スチリルトリ−i−プロピルオキシシラン、スチリルトリアセトキシシラン、スチリルトリ(メトキシエトキシ)シラン、スチリルメチルジメトキシシラン、スチリルメチルジエトキシシラン、スチリルメチルジ−n−プロピルオキシシラン、スチリルメチルジ−i−プロピルオキシシラン、スチリルメチルジアセトキシシラン、スチリルエチルジメトキシシラン、スチリルエチルジエトキシシラン、スチリルエチルジ−n−プロピルオキシシラン、スチリルエチルジ−i−プロピルオキシシラン、スチリルエチルジアセトキシシラン、スチリルエチルジ(メトキシエトキシ)シラン、スチリルフェニルジメトキシシラン、スチリルフェニルジエトキシシラン、スチリルフェニルジ−n−プロピルオキシシラン、スチリルフェニルジ−i−プロピルオキシシラン、スチリルフェニルジアセトキシシラン、スチリルフェニルジ(メトキシエトキシ)シランなど;
を挙げることができる。
これらのうち、オキシラニル基、オキセタニル基、(メタ)アクリロイル基、メルカプト基を含有する化合物(1)が好ましく用いられ、特に3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリエトキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)プロピルトリメトキシシラン、(3−エチルオキセタン−3−イル)プロピルトリエトキシシラン、3−(メタ)アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリエトキシシランが(B)成分または(C)成分との反応性および保存安定性の点からとりわけ好ましい。
化合物(2)の具体例としては、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン(通称TEOS)、テトラ−n−プロピルオキシシラン、テトライソプロピルオキシシラン、テトラ−n−ブトキシシランの如きテトラアルコキシシラン;メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、メチルトリ−n−プロピルオキシシラン、エチルトリエトキシシラン、シクロヘキシルトリエトキシシランの如きモノアルキルトリアルコキシシラン;フェニルトリエトキシシラン、ナフチルトリエトキシシラン、4−クロロフェニルトリエトキシシラン、4−シアノフェニルトリエトキシシラン、4−アミノフェニルトリエトキシシラン、4−ニトロフェニルトリエトキシシラン、4−メチルフェニルトリエトキシシラン、4−ヒドロキシフェニルトリエトキシシランの如きモノアリールトリアルコキシシラン;フェノキシトリエトキシシラン、ナフチルオキシトリエトキシシラン、4−クロロフェニルオキシトリエトキシシラン、4−シアノフェニルトリオキシエトキシシラン、4−アミノフェニルオキシトリエトキシシラン、4−ニトロフェニルオキシトリエトキシシラン、4−メチルフェニルオキシトリエトキシシラン、4−ヒドロキシフェニルオキシトリエトキシシランの如きモノアリールオキシトリアルコキシシラン;モノヒドロキシトリメトキシシラン、モノヒドロキシトリエトキシシラン、モノヒドロキシトリ−n−プロピルオキシシランの如きモノヒドロキシトリアルコキシシラン;ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジメチルジ−n−プロピルオキシシラン、メチル(エチル)ジエトキシシラン、メチル(シクロヘキシル)ジエトキシシランの如きジアルキルジアルコキシシラン;メチル(フェニル)ジエトキシシランの如きモノアルキルモノアリールジアルコキシシラン;ジフェニルジエトキシシランの如きジアリールジアルコキシシラン;ジフェノキシジエトキシシランの如きジアリールオキシジアルコキシシラン;メチル(フェノキシ)ジエトキシシランの如きモノアルキルモノアリールオキシジアルコキシシラン;フェニル(フェノキシ)ジエトキシシランの如きモノアリールモノアリールオキシジアルコキシシラン;ジヒドロキシジメトキシシラン、ジヒドロキシジエトキシシラン、ジヒドロキシジ−n−プロピルオキシシランの如きジヒドロキシジアルコキシシラン;メチル(ヒドロキシ)ジメトキシシランの如きモノアルキルモノヒドロキシジアルコキシシラン;フェニル(ヒドロキシ)ジメトキシシランの如きモノアリールモノヒドロキシジアルコキシシラン;トリメチルメトキシシラン、トリメチルエトキシシラン、トリメチル−n−プロピルオキシシラン、ジメチル(エチル)エトキシシラン、ジメチル(シクロヘキシル)エトキシシランの如きトリアルキルモノアルコキシシラン;ジメチル(フェニル)エトキシシランの如きジアルキルモノアリールモノアルコキシシラン;メチル(ジフェニル)エトキシシランの如きモノアルキルジアリールモノアルコキシシラン;トリフェノキシエトキシシランの如きトリアリールオキシモノアルコキシシラン;メチル(ジフェノキシ)エトキシシランの如きモノアルキルジアリールオキシモノアルコキシシラン;フェニル(ジフェノキシ)エトキシシランの如きモノアリールジアリールオキシモノアルコキシシラン;ジメチル(フェノキシ)エトキシシランの如きジアルキルモノアリールオキシモノアルコキシシラン;ジフェニル(フェノキシ)エトキシシランの如きジアリールモノアリールオキシモノアルコキシシラン;メチル(フェニル)(フェノキシ)エトキシシランの如きモノアルキルモノアリールモノアリールオキシモノアルコキシシラン;トリヒドロキシメトキシシラン、トリヒドロキシエトキシシラン、トリヒドロキシ−n−プロピルオキシシランの如きトリヒドロキシモノアルコキシシランを挙げることができる。
これらのうち、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン、ジフェニルジエトキシシランが反応性、基板に対する密着性の点で好ましい。
これらの化合物は任意の複数を任意の組成で併用してもよい。
上記の化合物を、共加水分解反応に付すことより本発明で使用される(E)成分とすることができる。
加水分解反応は、好ましくは適当な溶媒中で行われる。このような溶媒としては、例えばメタノール、エタノール、n−プロパノール、イソプロピルアルコール、n−ブタノール、イソブチルアルコール、t−ブチルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、テトラヒドロフラン、ジオキサン、アセトニトリルの如き水溶性溶剤またはそれらの水溶液が挙げられる。
これらの水溶性溶剤は後の工程で除去されるので、メタノール、エタノール、n−プロパノール、イソプロピルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、テトラヒドロフラン等の比較的沸点の低いものが好適であり、原料溶解性の点でアセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン類がさらに好ましく、最も好ましいのはメチルイソブチルケトンである。
(E)成分を合成するための加水分解反応は、好ましくは、酸触媒(例えば、塩酸、硫酸、硝酸、蟻酸、シュウ酸、酢酸、トリフルオロ酢酸、トリフルオロメタンスルホン酸、酸性イオン交換樹脂、各種ルイス酸等)または塩基触媒(例えば、アンモニア、1級アミン類、2級アミン類、3級アミン類、ピリジン等の含窒素芳香族化合物、塩基性イオン交換樹脂、水酸化ナトリウム等の水酸化物、炭酸カリウム等の炭酸塩、酢酸ナトリウム等のカルボン酸塩、各種ルイス塩基等)存在下で行われる。水の使用量、反応温度、反応時間は適宜設定される。例えば下記の条件が採用できる。
水の使用量は上記式(1)で表わされる化合物および上記式(2)で表される化合物中のアルコキシル基の合計量1モルに対して、好ましくは1.5モル以下、より好ましくは1モル以下、さらに好ましくは0.9モル以下の量である。
反応温度は、好ましくは40〜200℃、より好ましくは50〜150℃である。
反応時間は、好ましくは30分〜24時間、より好ましくは1〜12時間である。
(E)成分のゲルパーミエーションクロマトグラフィ(GPC)によるポリスチレン換算重量平均分子量(以下、「Mw」ということがある。)は、通常500〜10,000、好ましくは1,000〜3,000である。Mwが500未満であると、十分な密着性を発現することが難しく、一方が10,000を超えると、塗布性が悪化するおそれがある。
本発明の着色層形成用感放射線性樹脂組成物において、(E)成分の使用量は、(B)アルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、好ましくは0.5〜50重量部、さらに好ましくは1〜30重量部である。(E)成分の使用量が0.5重量部未満では、十分な密着性や剥離液耐性を発現することが難しく、一方50重量部を超えると、着色層形成用感放射線性樹脂組成物の現像残渣が生じやすくなる傾向がある。
また、シロキサンオリゴマーのモノマーである上記式(1)及び(2)で示される化合物もそれ自体を、必要に応じて、シロキサンオリゴマーと併用して用いることができる。その使用量は、(B)アルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、好ましくは0.5〜20重量部、さらに好ましくは1〜10重量部である。使用量が0.5重量部未満では、十分な密着性や剥離液耐性を発現することが難しく、一方20重量部を超えると、感放射線性樹脂組成物の保存安定性が低下する傾向がある。
−他の添加剤−
本発明の着色層形成用感放射線性組成物は、上記(A)〜(E)成分を含有するものであるが、必要に応じて他の添加剤をさらに含有することもできる。
前記他の添加剤としては、例えば、ガラス、アルミナ等の充填剤;ポリビニルアルコール、ポリ(フロオロアルキルアクリレート)類等の高分子化合物;ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤等の界面活性剤;2,2−チオビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,6−ジ−t−ブチルフェノール等の酸化防止剤;2−(3−t−ブチル−5−メチル−2−ヒドロキシフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン類等の紫外線吸収剤;ポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤等を挙げることができる。
溶媒
本発明の着色層形成用感放射線性組成物は、前記(A)〜(E)成分を必須成分とし、必要に応じて前記添加剤成分を含有するが、通常、溶媒を配合して液状組成物として調製される。
前記溶媒としては、感放射線性組成物を構成する(A)〜(E)成分や添加剤成分を分散または溶解し、かつこれらの成分と反応せず、適度の揮発性を有するものである限り、適宜に選択して使用することができる。
このような溶媒としては、例えば、
エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、プロピレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノエチルエーテル等の(ポリ)アルキレングリコールモノアルキルエーテル類;
エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等の(ポリ)アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類;
ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフラン等の他のエーテル類;
メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン等のケトン類;
乳酸メチル、乳酸エチル等の乳酸アルキルエステル類;
2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、2−ヒドロキシ−3−メチルブタン酸メチル、3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルプロピオネート、酢酸エチル、酢酸n−プロピル、酢酸i−プロピル、酢酸n−ブチル、酢酸i−ブチル、ぎ酸n−アミル、酢酸i−アミル、プロピオン酸n−ブチル、酪酸エチル、酪酸n−プロピル、酪酸i−プロピル、酪酸n−ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸n−プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸エチル等の他のエステル類;
トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類;
N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン等のアミドまたはラクタム類
等を挙げることができる。
これらの溶媒のうち、顔料分散性、顔料以外の成分の溶解性、塗布性等の観点から、プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン、乳酸エチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルプロピオネート、酢酸n−ブチル、酢酸i−ブチル、ぎ酸n−アミル、酢酸i−アミル、プロピオン酸n−ブチル、酪酸エチル、酪酸i−プロピル、酪酸n−ブチル、ピルビン酸エチル等が好ましい。
前記溶媒は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
また、前記溶媒と共に、ベンジルエチルエーテル、ジ−n−ヘキシルエーテル、アセトニルアセトン、イソホロン、カプロン酸、カプリル酸、1−オクタノール、1−ノナノール、ベンジルアルコール、酢酸ベンジル、安息香酸エチル、しゅう酸ジエチル、マレイン酸ジエチル、γ−ブチロラクトン、炭酸エチレン、炭酸プロピレン、エチレングリコールモノフェニルエーテルアセテート等の高沸点溶媒を併用することもできる。
前記高沸点溶媒は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
溶媒の使用量は、特に限定されるものではないが、得られる感放射線性組成物の塗布性、安定性等の観点から、当該組成物の溶媒を除いた各成分の合計濃度が、通常、5〜50重量%、好ましくは10〜40重量%となる量が望ましい。
カラーフィルタ
本発明のカラーフィルタは、本発明の着色層形成用感放射線性組成物を用いて形成された着色層を有するものである。
以下に、本発明のカラーフィルタにおける着色層を形成する方法について説明する。
まず、基板の表面上に、必要に応じて、画素を形成する部分を区画するように遮光層を形成し、この基板上に、例えば赤色の顔料が分散された感放射線性組成物の液状組成物を塗布したのち、プレベークを行って溶媒を蒸発させて、塗膜を形成する。
次いで、この塗膜にフォトマスクを介して露光したのち、アルカリ現像液を用いて現像して、塗膜の未露光部を溶解除去し、その後ポストベークすることにより、赤色の画素パターンが所定の配列で配置された画素アレイを形成する。
その後、緑色または青色の顔料が分散された各感放射線性組成物の液状組成物を用い、前記と同様にして、各液状組成物の塗布、プレベーク、露光、現像およびポストベークを行って、緑色の画素アレイおよび青色の画素アレイを同一基板上に順次形成することにより、赤色、緑色および青色の三原色の画素アレイが基板上に配置されたカラーフィルタを得る。但し、本発明においては、各色の画素を形成する順序は、前記のものに限定されない。
また、ブラックマトリックスは、例えば、黒色の顔料が分散された感放射線性組成物の液状組成物を用い、前記画素の形成の場合と同様にして形成することができる。
画素および/またはブラックマトリックスを形成する際に使用される基板としては、例えば、ガラス、シリコン、ポリカーボネート、ポリエステル、芳香族ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリイミド等を挙げることができる。
また、これらの基板には、所望により、シランカップリング剤等による薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティング、スパッタリング、気相反応法、真空蒸着等の適宜の前処理を施しておくこともできる。
感放射線性組成物の液状組成物を基板に塗布する際には、スプレー法、ロールコート法、回転塗布法(スピンコート法)、スリットダイ塗布法、バー塗布法、インクジェット法等の適宜の塗布法を採用することができるが、特に、スピンコート法、スリットダイ塗布法が好ましい。
塗布厚さは、乾燥後の膜厚として、通常、0.1〜10μm、好ましくは0.2〜8.0μm、特に好ましくは0.2〜6.0μmである。
画素および/またはブラックマトリックスを形成する際に使用される放射線としては、例えば、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等を使用することができるが、波長が190〜450nmの範囲にある放射線が好ましい。
放射線の露光量は、好ましくは10〜10,000J/m2 である。
また、前記アルカリ現像液としては、例えば、炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド、コリン、1,8−ジアザビシクロ−[5.4.0]−7−ウンデセン、1,5−ジアザビシクロ−[4.3.0]−5−ノネン等の水溶液が好ましい。
前記アルカリ現像液には、例えばメタノール、エタノール等の水溶性有機溶剤や界面活性剤等を適量添加することもできる。なお、アルカリ現像後は、通常、水洗する。
現像処理法としては、シャワー現像法、スプレー現像法、ディップ(浸漬)現像法、パドル(液盛り)現像法等を適用することができる。現像条件は、常温で5〜300秒が好ましい。
このようにして得られる本発明のカラーフィルタは、例えば、透過型あるいは反射型のカラー液晶表示素子、カラー撮像管素子、カラーセンサー等に極めて有用である。
カラー液晶表示素子
本発明のカラー液晶表示素子は、本発明のカラーフィルタを具備するものである。
本発明のカラー液晶表示素子は、適宜の構造をとることができる。例えば、カラーフィルタを、薄膜トランジスター(TFT)が配置された駆動用基板とは別の基板上に形成して、駆動用基板とカラーフィルタを形成した基板とが、液晶層を介して対向した構造をとることができ、さらに薄膜トランジスター(TFT)が配置された駆動用基板の表面上にカラーフィルタを形成した基板と、ITO(錫をドープした酸化インジュウム)電極を形成した基板とが、液晶層を介して対向した構造をとることもできる。後者の構造は、開口率を格段に向上させることができ、明るく高精細な液晶表示素子が得られるという利点を有する。