JP5417994B2 - 着色層形成用感放射線性組成物、カラーフィルタおよびカラー液晶表示素子 - Google Patents

着色層形成用感放射線性組成物、カラーフィルタおよびカラー液晶表示素子 Download PDF

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Description

本発明は、着色層形成用感放射線性組成物、カラーフィルタ及び液晶表示素子に関わり、より詳しくは、透過型あるいは反射型のカラー液晶表示装置、カラー撮像管素子等に用いられるカラーフィルタに有用な着色層の形成に用いられる感放射線性組成物、当該感放射線性組成物を用いて形成された着色層を備えるカラーフィルタ、並びに当該カラーフィルタを具備するカラー液晶表示素子に関する。
着色感放射線性組成物を用いてカラーフィルタを形成する方法として、基板上あるいは予め所望のパターンの遮光層を形成した基板上に、着色感放射線組成物の塗膜を形成して、所定のパターンを有するフォトマスクを介して放射線を照射(以下、「露光」という。)し、現像して未露光部を溶解除去し、その後ポストベークすることにより、各色の画素を得る方法(例えば、特許文献1、特許文献2参照。)が知られている。また、黒色材料を含有する光重合性組成物を利用してブラックマトリックスを形成する方法(例えば、特許文献3参照。)も知られている。
そして、近年におけるカラーフィルタの技術分野においては、露光量を下げてタクトタイムを短縮することが主流となっており、低露光量でも十分な現像耐性、耐溶剤性等を有すること、すなわち着色層形成用感放射線性組成物の高感度化が要求されている。特に耐溶剤性に関しては、画素パターンにクラックや欠けが発生したり、画素パターンから着色成分が溶出したりする問題が顕在化しつつあり、これを解決することが要求されている。かかる問題の背景には、近年のカラー液晶表示素子に対する高コントラスト化、高輝度化および高色純度化の要求に対応すべく、着色層形成用感放射線性組成物に用いられる顔料の多くに様々な微細化処理や表面処理がなされていることや、着色層形成用感放射線性組成物中に占める顔料の含有割合がますます高くなる傾向にあることがあるものと考えられている。
一方、例えば特許文献4〜6では、感放射線性組成物を用いて形成される画素パターンの耐溶剤性を向上させるために、オキセタン骨格を有するバインダーポリマーを含有せしめることが提案されている。しかしながら、かかる感放射線性組成物では、露光量が低くなったり特定の顔料を使用したりすると、十分な現像耐性や耐溶剤性が得られないという問題があった。
特開平2−144502号公報 特開平3−53201号公報 特開平6−35188号公報 特開2002−296778号公報 特開2007−316485号公報 特開2007−316506号公報
本発明の課題は、低露光量であっても十分な現像耐性を有し、さらに耐溶剤性に優れた画素およびブラックマトリックスを形成することができる着色層形成用感放射線性組成物を提供することにある。
本発明の他の課題は、前記カラーフィルタ用感放射線性組成物から形成された画素を有するカラーフィルタ、および当該カラーフィルタを具備するカラー液晶表示素子を提供することにある。
本発明者らは、鋭意検討の結果、オキセタニル基および重合性不飽和結合を有する重合体を含有せしめることにより上記課題を解決することができることを見出し、本発明を完成するに至った。
すなわち、本発明は、第一に、(A)着色剤、(B)オキセタニル基および重合性不飽和結合を有する重合体、並びに(C)光重合開始剤を含有することを特徴とする着色層形成用感放射線性組成物を提供するものである。
本発明でいう「放射線」は、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等を含むものを意味する。
本発明は、第二に、該着色層形成用感放射線性組成物を用いて形成された着色層を備えてなるカラーフィルタ、及び該カラーフィルタを具備するカラー液晶表示素子をも提供するものである。
本発明の感放射線性組成物は、低露光量であっても十分な現像耐性を有し、さらに耐溶剤性に優れた画素およびブラックマトリックスを形成することができる。その現像耐性及び耐溶剤性は、特許文献4〜6のようなオキセタニル基のみを有する共重合体を含有する組成物や、オキセタニル基を有する共重合体を含まない組成物を用いた場合に比べて顕著に優れている。
以下、本発明について詳細に説明する。
着色層形成用感放射線性組成物
本発明の着色層形成用感放射線性組成物(以下、単に「感放射線性組成物」ということがある。)における「着色層」とは、カラーフィルタに用いられる画素および/またはブラックマトリックスからなる層を意味する。
以下、本発明の着色層形成用感放射線性組成物の構成成分について説明する。
−(A)着色剤−
本発明における(A)着色剤としては、特に限定されるものではなく、有機顔料、無機顔料のいずれでもよい。
有機顔料としては、例えば、カラーインデックス(C.I.;The Society of Dyers and Colourists 社発行)においてピグメントに分類されている化合物、具体的には、下記のようなカラーインデックス(C.I.)番号が付されているものを挙げることができる。
C.I.ピグメントイエロー12、C.I.ピグメントイエロー13、C.I.ピグメントイエロー14、C.I.ピグメントイエロー17、C.I.ピグメントイエロー20、C.I.ピグメントイエロー24、C.I.ピグメントイエロー31、C.I.ピグメントイエロー55、C.I.ピグメントイエロー83、C.I.ピグメントイエロー93、C.I.ピグメントイエロー109、C.I.ピグメントイエロー110、C.I.ピグメントイエロー138、C.I.ピグメントイエロー139、C.I.ピグメントイエロー150、C.I.ピグメントイエロー153、C.I.ピグメントイエロー154、C.I.ピグメントイエロー155、C.I.ピグメントイエロー166、C.I.ピグメントイエロー168、C.I.ピグメントイエロー180、C.I.ピグメントイエロー211;
C.I.ピグメントオレンジ5、C.I.ピグメントオレンジ13、C.I.ピグメントオレンジ14、C.I.ピグメントオレンジ24、C.I.ピグメントオレンジ34、C.I.ピグメントオレンジ36、C.I.ピグメントオレンジ38、C.I.ピグメントオレンジ40、C.I.ピグメントオレンジ43、C.I.ピグメントオレンジ46、C.I.ピグメントオレンジ49、C.I.ピグメントオレンジ61、C.I.ピグメントオレンジ64、C.I.ピグメントオレンジ68、C.I.ピグメントオレンジ70、C.I.ピグメントオレンジ71、C.I.ピグメントオレンジ72、C.I.ピグメントオレンジ73、C.I.ピグメントオレンジ74;
C.I.ピグメントレッド1、C.I.ピグメントレッド2、C.I.ピグメントレッド5、C.I.ピグメントレッド17、C.I.ピグメントレッド31、C.I.ピグメントレッド32、C.I.ピグメントレッド41、C.I.ピグメントレッド122、C.I.ピグメントレッド123、C.I.ピグメントレッド144、C.I.ピグメントレッド149、C.I.ピグメントレッド166、C.I.ピグメントレッド168、C.I.ピグメントレッド170、C.I.ピグメントレッド171、C.I.ピグメントレッド175、C.I.ピグメントレッド176、C.I.ピグメントレッド177、C.I.ピグメントレッド178、C.I.ピグメントレッド179、C.I.ピグメントレッド180、C.I.ピグメントレッド185、C.I.ピグメントレッド187、C.I.ピグメントレッド202、C.I.ピグメントレッド206、C.I.ピグメントレッド207、C.I.ピグメントレッド209、C.I.ピグメントレッド214、C.I.ピグメントレッド220、C.I.ピグメントレッド221、C.I.ピグメントレッド224、C.I.ピグメントレッド242、C.I.ピグメントレッド243、C.I.ピグメントレッド254、C.I.ピグメントレッド255、C.I.ピグメントレッド262、C.I.ピグメントレッド264、C.I.ピグメントレッド272;
C.I.ピグメントバイオレット1、C.I.ピグメントバイオレット19、C.I.ピグメントバイオレット23、C.I.ピグメントバイオレット29、C.I.ピグメントバイオレット32、C.I.ピグメントバイオレット36、C.I.ピグメントバイオレット38;
C.I.ピグメントブルー15、C.I.ピグメントブルー15:3、C.I.ピグメントブルー15:4、C.I.ピグメントブルー15:6、C.I.ピグメントブルー60、C.I.ピグメントブルー80;
C.I.ピグメントグリーン7、C.I.ピグメントグリーン36、C.I.ピグメントグリーン58;
C.I.ピグメントブラウン23、C.I.ピグメントブラウン25;
C.I.ピグメントブラック1、C.I.ピグメントブラック7。
本発明において、有機顔料は、再結晶法、再沈殿法、溶剤洗浄法、昇華法、真空加熱法や、これらの組み合わせにより精製して使用することもできる。
また、上記無機顔料としては、例えば、酸化チタン、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、亜鉛華、硫酸鉛、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら(赤色酸化鉄(III))、カドミウム赤、群青、紺青、酸化クロム緑、コバルト緑、アンバー、チタンブラック、合成鉄黒、カーボンブラック等を挙げることができる。
これらの着色剤は、所望により、その粒子表面をポリマーで改質して使用してもよい。顔料の粒子表面を改質するポリマーとしては、例えば特開平8−259876号公報に記載されたポリマーや、市販の各種の顔料分散用のポリマー又はオリゴマー等を挙げることができる。カーボンブラック表面のポリマー被覆方法については、例えば特開平9−71733号公報、特開平9−95625号公報、特開平9−124969号公報等に開示されている。
前記着色剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
本発明の感放射線性組成物を画素の形成に用いる場合、画素には高精細な発色と耐熱性が求められることから、(A)着色剤としては、発色性が高く且つ耐熱性の高い着色剤、特に耐熱分解性の高い着色剤が好ましく、具体的には有機着色剤が好ましく、特に有機顔料が好ましく用いられる。
一方、本発明の感放射線性組成物をブラックマトリックスの形成に用いる場合、ブラックマトリックスには遮光性が要求されることから、(A)着色剤としては有機顔料またはカーボンブラックが好ましく用いられる。
また、本発明の感放射線性組成物は、(A)着色剤として、C.I.ピグメントレッド254、C.I.ピグメントグリーン58およびカーボンブラックよりなる群から選ばれる少なくとも1種を含有する感放射線性組成物を用いて形成された着色層の耐溶剤性を向上させる点で特に有用である。
本発明の感放射線性組成物は、着色剤の含有量が、感放射線性組成物の全固形分中、30重量%以上となる場合であっても、優れた耐溶剤性を有する。また、本発明において、着色剤の含有量の上限は、現像性を確保する観点から、感放射線性組成物の全固形分中、好ましくは70重量%以下、特に好ましくは60重量%以下である。ここで、固形分とは、後述する溶媒以外の成分である。
本発明における着色剤は、所望により、分散剤、分散助剤と共に使用することができる。
上記分散剤としては、例えば、カチオン系、アニオン系、ノニオン系や両性等の適宜の分散剤を使用することができるが、ポリマー分散剤が好ましい。具体的には、変性アクリル系共重合体、アクリル系共重合体、ポリウレタン、ポリエステル、高分子共重合体のアルキルアンモニウム塩又はリン酸エステル塩、カチオン性櫛型グラフトポリマー等を挙げることができる。ここで、カチオン性櫛型グラフトポリマーとは、複数の塩基性基(カチオン性の官能基)を有する幹ポリマー1分子に、2分子以上の枝ポリマーがグラフト結合した構造のポリマーをいい、例えば、幹ポリマー部がポリエチレンイミン、枝ポリマー部がε−カプロラクトンの開環重合体で構成されるポリマーが挙げられる。これら分散剤の中で、変性アクリル系共重合体、ポリウレタン、カチオン性櫛型グラフトポリマーが好ましい。
このような分散剤は商業的に入手することができ、例えば、変性アクリル系共重合体として、Disperbyk−2000、Disperbyk−2001(以上、ビックケミー(BYK)社製)、ポリウレタンとして、Disperbyk−161、Disperbyk−162、Disperbyk−165、Disperbyk−167、Disperbyk−170、Disperbyk−182(以上、ビックケミー(BYK)社製)、ソルスパース76500(ルーブリゾール(株)社製)、カチオン性櫛型グラフトポリマーとして、ソルスパース24000(ルーブリゾール(株)社製)、アジスパーPB821、アジスパーPB822、アジスパーPB880(味の素ファインテクノ株式会社製)等を挙げることができる。
これらの分散剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。分散剤の含有量は、(A)着色剤100重量部に対して、通常、100重量部以下、好ましくは0.5〜100重量部、さらに好ましくは1〜70重量部、特に好ましくは10〜50重量部である。分散剤の含有量が多すぎると、現像性等が損なわれるおそれがある。
上記分散助剤としては、例えば青色顔料誘導体、黄色顔料誘導体等を挙げることができ、具体的には、例えば銅フタロシアニン誘導体等を挙げることができる。
−(B)オキセタニル基および重合性不飽和結合を有する重合体−
本発明における(B)オキセタニル基および重合性不飽和結合を有する重合体(以下、「重合体(B)」ということがある。)は、露光およびポストベーク工程の際に架橋反応し、塗膜を硬化させる成分である。本発明の感放射線性組成物は、重合体(B)を含有することにより、低露光量であっても現像耐性と耐溶剤性に優れた着色層を形成することができる。
重合体(B)のゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC、溶出溶媒:テトラヒドロフラン)で測定したポリスチレン換算重量平均分子量(以下、「Mw」という。)は、好ましくは3,000〜50,000、より好ましくは5,000〜30,000である。
また、重合体(B)のMwとゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC、溶出溶媒:テトラヒドロフラン)で測定したポリスチレン換算数平均分子量(以下、「Mn」という。)の比(Mw/Mn)は、好ましくは1〜5、より好ましくは1〜4である。Mwが小さすぎると、所望の効果が得られないおそれがあり、一方大きすぎると、未露光部の基板上あるいは遮光層上に地汚れや膜残りが発生するおそれがある。
重合体(B)におけるオキセタニル基は、置換基を有してもよい。該置換基としては、例えば、フルオロ基、炭素数1〜4のアルキル基、フェニル基、炭素数1〜4のパーフルオロアルキル基等を挙げることができる。重合体(B)は、下記式(1)で表される繰り返し単位を有することが好ましい。
Figure 0005417994
(式中、Zは、−O−、−CO−、−C(=O)O−(*)、−CONH−(*)(但し、「*」がAと結合する結合手である)またはフェニレン基を示し、Aはオキセタニル基を有する基を示し、R7は水素原子またはメチル基を示す。)
また、重合体(B)における重合性不飽和結合としては、例えば、ビニル基、(メタ)アクリロイル基、アリル基等を挙げることができ、(メタ)アクリロイル基が好ましい。また、重合体(B)は、その側鎖に重合性不飽和結合を有することが好ましい。
重合体(B)は、現像耐性と耐溶剤性の点から、0.1〜5.0ミリモル/gのオキセタニル基と0.1〜5.0ミリモル/gの(メタ)アクリロイル基を有する重合体であることが好ましく、0.3〜4.0ミリモル/gのオキセタニル基と0.3〜4.0ミリモル/gの(メタ)アクリロイル基を有する重合体であることがより好ましく、0.3〜2.5ミリモル/gのオキセタニル基と0.5〜4.0ミリモル/gの(メタ)アクリロイル基を有する重合体であることが特に好ましい。
重合体(B)は上記の要件を満たす限り特に限定されるものではないが、例えば、
(B−1)(b1)オキセタニル基を有する重合性不飽和化合物および(b2)水酸基を有する重合性不飽和化合物を含有してなる単量体の共重合体(以下、「前駆共重合体(1)」ということがある。)に、(b3)不飽和イソシアネート化合物を反応させて得られる重合体(以下、「重合体(B−1)」ということがある。)、
(B−2)(b1)オキセタニル基を有する重合性不飽和化合物および(b4)不飽和カルボン酸を含有してなる単量体の共重合体(以下、「前駆共重合体(2)」ということがある。)に、(b5)オキシラニル基を有する重合性不飽和化合物を反応させて得られる重合体(以下、「重合体(B−2)」ということがある。)、ならびに
(B−3)(b1)オキセタニル基を有する重合性不飽和化合物および(b5)オキシラニル基を有する重合性不飽和化合物を含有してなる単量体の共重合体(以下、「前駆共重合体(3)」ということがある。)に、(b4)不飽和カルボン酸を反応させて得られる重合体(以下、「重合体(B−3)」ということがある。)よりなる群から選ばれる少なくとも1種であることができる。
以下、(b1)オキセタニル基を有する重合性不飽和化合物、(b2)水酸基を有する重合性不飽和化合物、(b3)不飽和イソシアネート化合物、(b4)不飽和カルボン酸および(b5)オキシラニル基を有する重合性不飽和化合物を、それぞれ「化合物(b1)」、「化合物(b2)」、「化合物(b3)」、「化合物(b4)」および「化合物(b5)」ということがある。また、上記化合物(b1)〜(b5)以外の重合性不飽和化合物を以下、「化合物(b6)」ということがある。
上記化合物(b1)としては、例えば、
3−(ビニルオキシメチル)−2−メチルオキセタン、3−(ビニルオキシメチル)−3−メチルオキセタン、3−(ビニルオキシメチル)−2−エチルオキセタン、3−(ビニルオキシメチル)−3−エチルオキセタン、3−(ビニルオキシエチル)−2−メチルオキセタン、3−(ビニルオキシエチル)−3−メチルオキセタン、3−(ビニルオキシエチル)−2−エチルオキセタン、3−(ビニルオキシエチル)−3−エチルオキセタン、2−(ビニルオキシメチル)−2−メチルオキセタン、2−(ビニルオキシメチル)−3−メチルオキセタン、2−(ビニルオキシメチル)−2−エチルオキセタン、2−(ビニルオキシメチル)−3−エチルオキセタン、2−(ビニルオキシエチル)−2−メチルオキセタン、2−(ビニルオキシエチル)−3−メチルオキセタン、2−(ビニルオキシエチル)−2−エチルオキセタン、2−(ビニルオキシエチル)−3−エチルオキセタンの如き(ビニルオキシアルキル)アルキルオキセタン;
3−〔(メタ)アクリロイルオキシメチル〕オキセタン、3−〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕オキセタン、2−〔(メタ)アクリロイルオキシメチル〕オキセタン、2−〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕オキセタンの如き(メタ)アクリロイルオキシアルキルオキセタン;
3−〔(メタ)アクリロイルオキシメチル〕−2−メチルオキセタン、3−〔(メタ)アクリロイルオキシメチル〕−3−メチルオキセタン、3−〔(メタ)アクリロイルオキシメチル〕−2−エチルオキセタン、3−〔(メタ)アクリロイルオキシメチル〕−3−エチルオキセタン、3−〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕−2−メチルオキセタン、3−〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕−3−メチルオキセタン、3−〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕−2−エチルオキセタン、3−〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕−3−エチルオキセタン、2−〔(メタ)アクリロイルオキシメチル〕−2−メチルオキセタン、2−〔(メタ)アクリロイルオキシメチル〕−3−メチルオキセタン、2−〔(メタ)アクリロイルオキシメチル〕−4−メチルオキセタン、2−〔(メタ)アクリロイルオキシメチル〕−2−エチルオキセタン、2−〔(メタ)アクリロイルオキシメチル〕−3−エチルオキセタン、2−〔(メタ)アクリロイルオキシメチル〕−4−エチルオキセタン、2−〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕−2−メチルオキセタン、2−〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕−3−メチルオキセタン、2−〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕−4−メチルオキセタン、2−〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕−2−エチルオキセタン、2−〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕−3−エチルオキセタン、2−〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕−4−エチルオキセタンの如き〔(メタ)アクリロイルオキシアルキル〕アルキルオキセタン;
3−〔(メタ)アクリロイルオキシメチル〕−2−トリフルオロメチルオキセタン、3−〔(メタ)アクリロイルオキシメチル〕−2−ペンタフルオロエチルオキセタン、3−〔(メタ)アクリロイルオキシメチル〕−2−フルオロオキセタン、3−〔(メタ)アクリロイルオキシメチル〕−2,2−ジフルオロオキセタン、3−〔(メタ)アクリロイルオキシメチル〕−2,2,4−トリフルオロオキセタン、3−〔(メタ)アクリロイルオキシメチル〕−2,2,4,4−テトラフルオロオキセタン、3−〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕−2−トリフルオロメチルオキセタン、3−〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕−2−ペンタフルオロエチルオキセタン、3−〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕−2−フルオロオキセタン、3−〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕−2,2−ジフルオロオキセタン、3−〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕−2,2,4−トリフルオロオキセタン、3−〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕−2,2,4,4−テトラフルオロオキセタン、2−〔(メタ)アクリロイルオキシメチル〕−2−トリフルオロメチルオキセタン、2−〔(メタ)アクリロイルオキシメチル〕−3−トリフルオロメチルオキセタン、2−〔(メタ)アクリロイルオキシメチル〕−4−トリフルオロメチルオキセタン、2−〔(メタ)アクリロイルオキシメチル〕−2−ペンタフルオロエチルオキセタン、2−〔(メタ)アクリロイルオキシメチル〕−3−ペンタフルオロエチルオキセタン、2−〔(メタ)アクリロイルオキシメチル〕−4−ペンタフルオロエチルオキセタン、
2−〔(メタ)アクリロイルオキシメチル〕−2,3−ジフルオロオキセタン、2−〔(メタ)アクリロイルオキシメチル〕−2,4−ジフルオロオキセタン、2−〔(メタ)アクリロイルオキシメチル〕−3,3−ジフルオロオキセタン、2−〔(メタ)アクリロイルオキシメチル〕−3,4−ジフルオロオキセタン、2−〔(メタ)アクリロイルオキシメチル〕−4,4−ジフルオロオキセタン、2−〔(メタ)アクリロイルオキシメチル〕−3,3,4−トリフルオロオキセタン、2−〔(メタ)アクリロイルオキシメチル〕−3,4,4−トリフルオロオキセタン、2−〔(メタ)アクリロイルオキシメチル〕−3,3,4,4−テトラフルオロオキセタン、2−〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕−2−トリフルオロメチルオキセタン、2−〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕−3−トリフルオロメチルオキセタン、2−〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕−4−トリフルオロメチルオキセタン、2−〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕−2−ペンタフルオロエチルオキセタン、2−〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕−3−ペンタフルオロエチルオセタン、2−〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕−4−ペンタフルオロエチルオキセタン、2−〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕−2,3−ジフルオロオキセタン、2−〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕−2,4−ジフルオロオキセタン、2−〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕−3,3−ジフルオロオキセタン、2−〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕−3,4−ジフルオロオキセタン、2−〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕−4,4−ジフルオロオキセタン、2−〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕−3,3,4−トリフルオロオキセタン、2−〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕−3,4,4−トリフルオロオキセタン、2−〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕−3,3,4,4−テトラフルオロオキセタンの如き〔(メタ)アクリロイルオキシアルキル〕フルオロオキセタンまたは[(メタ)アクリロイルオキシアルキル]フルオロアルキルオキセタン;
2−〔(メタ)アクリロイルオキシメチル〕−2−フェニルオキセタン、2−〔(メタ)アクリロイルオキシメチル〕−3−フェニルオキセタン、2−〔(メタ)アクリロイルオキシメチル〕−4−フェニルオキセタン、2−〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕−2−フェニルオキセタン、2−〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕−3−フェニルオキセタン、2−〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕−4−フェニルオキセタンの如き〔(メタ)アクリロイルオキシアルキル〕フェニルオキセタン;
4−[3−(3−エチルオキセタン−3−イルメトキシ)プロポキシ]スチレン、4−[4−(3−エチルオキセタン−3−イルメトキシ)ブチルオキシ]スチレン、4−[5−(3−エチルオキセタン−3−イルメトキシ)ペンチルオキシ]スチレン、4−[6−(3−エチルオキセタン−3−イルメトキシ)ヘキシルオキシ]スチレン、4−[7−(3−エチルオキセタン−3−イルメトキシ)ヘプチルオキシ]スチレンの如きオキセタニル基を有する芳香族ビニル化合物等を挙げることができる。
これらの化合物(b1)のうち、3−(ビニルオキシメチル)−3−エチルオキセタン、3−〔(メタ)アクリロイルオキシメチル〕オキセタン、3−〔(メタ)アクリロイルオキシメチル〕−3−エチルオキセタン、3−〔(メタ)アクリロイルオキシメチル〕−2−トリフルオロメチルオキセタン、3−〔(メタ)アクリロイルオキシメチル〕−2−フェニルオキセタン、2−〔(メタ)アクリロイルオキシメチル〕オキセタン、2−〔(メタ)アクリロイルオキシメチル〕−4−トリフルオロメチルオキセタンが、得られる着色層の耐溶剤性を高める点から好ましい。
化合物(b1)は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
また、化合物(b2)としては、例えば、
(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシエチルエステル、(メタ)アクリル酸3−ヒドロキシプロピルエステル、(メタ)アクリル酸4−ヒドロキシブチルエステル、(メタ)アクリル酸5−ヒドロキシペンチルエステル、(メタ)アクリル酸6−ヒドロキシヘキシルエステル、(メタ)アクリル酸7−ヒドロキシヘプチルエステル、(メタ)アクリル酸8−ヒドロキシオクチルエステル、(メタ)アクリル酸9−ヒドロキシノニルエステル、(メタ)アクリル酸10−ヒドロキシデシルエステル、(メタ)アクリル酸11−ヒドロキシウンデシルエステル、(メタ)アクリル酸12−ヒドロキシドデシルエステルの如き(メタ)アクリル酸ヒドロキシアルキルエステル;
(メタ)アクリル酸2−(6−ヒドロキシヘキサノイルオキシ)エチルエステル、(メタ)アクリル酸3−(6−ヒドロキシヘキサノイルオキシ)プロピルエステル、(メタ)アクリル酸4−(6−ヒドロキシヘキサノイルオキシ)ブチルエステル、(メタ)アクリル酸5−(6−ヒドロキシヘキサノイルオキシ)ペンチルエステル、(メタ)アクリル酸6−(6−ヒドロキシヘキサノイルオキシ)へキシルエステルの如き(メタ)アクリル酸(6−ヒドロキシヘキサノイルオキシ)アルキルエステル等を挙げることができる。
メタクリル酸(6−ヒドロキシヘキサノイルオキシ)アルキルエステルとメタクリル酸2−ヒドロキシエチルエステルの混合物の市販品としては、商品名で、PLACCEL FM1D、FM2D(ダイセル化学工業(株)製)等を挙げることができる。
また、(メタ)アクリル酸2−(3−ヒドロキシ−2,2−ジメチル−プロポキシカルボニルオキシ)−エチルエステル、(メタ)アクリル酸3−(3−ヒドロキシ−2,2−ジメチル−プロポキシカルボニルオキシ)−プロピルエステル、(メタ)アクリル酸4−(3−ヒドロキシ−2,2−ジメチル−プロポキシカルボニルオキシ)−ブチルエステル、(メタ)アクリル酸5−(3−ヒドロキシ−2,2−ジメチル−プロポキシカルボニルオキシ)−ペンチルエステル、(メタ)アクリル酸6−(3−ヒドロキシ−2,2−ジメチル−プロポキシカルボニルオキシ)−ヘキシルエステルの如き(メタ)アクリル酸(3−ヒドロキシ−2,2−ジメチル−プロポキシカルボニルオキシ)−アルキルエステル等を挙げることができる。
(メタ)アクリル酸(3−ヒドロキシ−2,2−ジメチル−プロポキシカルボニルオキシ)−アルキルエステルとメタクリル酸2−ヒドロキシエチルエステルの混合物の市販品としては、商品名で、HEMAC1(ダイセル化学工業(株)製)等を挙げることができる。
さらに、(メタ)アクリル酸4−ヒドロキシ−シクロヘキシルエステル、(メタ)アクリル酸4−ヒドロキシメチル−シクロヘキシルメチルエステル、(メタ)アクリル酸4−ヒドロキシエチル−シクロヘキシルエチルエステル、(メタ)アクリル酸3−ヒドロキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2−イルエステル、(メタ)アクリル酸3−ヒドロキシメチル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2−イルメチルエステル、(メタ)アクリル酸3−ヒドロキシエチル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2−イルエチルエステル、(メタ)アクリル酸8−ヒドロキシ−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2−イルエステル、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシ−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルエステル、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシメチル−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルメチルエステル、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシエチル−オクタヒドロ−4,7−メタノ−インデン−5−イルエチルエステル、(メタ)アクリル酸3−ヒドロキシ−アダマンタン−1−イルエステル、(メタ)アクリル酸3−ヒドロキシメチル−アダマンタン−1−イルメチルエステル、(メタ)アクリル酸3−ヒドロキシエチル−アダマンタン−1−イルエチルエステルの如き脂環式構造を有する(メタ)アクリル酸ヒドロキシアルキルエステル;
(メタ)アクリル酸1,2−ジヒドロキシエチルエステル、(メタ)アクリル酸2,3−ジヒドロキシプロピルエステル、(メタ)アクリル酸1,3−ジヒドロキシプロピルエステル、(メタ)アクリル酸3,4−ジヒドロキシブチルエステル、(メタ)アクリル酸3−[3−(2,3−ジヒドロキシプロポキシ)−2−ヒドロキシプロポキシ]−2−ヒドロキシプロピルエステルの如き(メタ)アクリル酸ポリヒドロキシアルキルエステル等を挙げることができる。
これらのうち上記前駆共重合体(1)の合成に供される化合物(b2)としては、共重合反応性および化合物(b3)との反応性の点から、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシエチルエステル、(メタ)アクリル酸3−ヒドロキシプロピルエステル、(メタ)アクリル酸4−ヒドロキシブチルエステル、(メタ)アクリル酸2−(6−ヒドロキシヘキサノイルオキシ)エチルエステル、(メタ)アクリル酸2−(3−ヒドロキシ−2,2−ジメチル−プロポキシカルボニルオキシ)−エチルエステル、(メタ)アクリル酸4−ヒドロキシメチル−シクロヘキシルメチルエステル、(メタ)アクリル酸3−ヒドロキシメチル−アダマンタン−1−イルメチルエステル、(メタ)アクリル酸2,3−ジヒドロキシプロピルエステル等が好ましい。
化合物(b2)は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
上記化合物(b3)は、エチレン性不飽和結合とイソシアナト基を有する化合物であり、その具体例としては、例えば、(メタ)アクリロイルオキシイソシアネート、2−(メタ)アクリロイルオキシフェニルイソシアネート、2−(p−ビニルフェニル)プロパン−2−イルイソシアネート、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルイソシアネート、3−(メタ)アクリロイルオキシプロピルイソシアネート、4−(メタ)アクリロイルオキシブチルイソシアネート、6−(メタ)アクリロイルオキシヘキシルイソシアネート、8−(メタ)アクリロイルオキシオクチルイソシアネート、10−(メタ)アクリロイルオキシデシルイソシアネート、1,1−〔ビス(メタ)アクリロイルオキシメチル〕エチルイソシアネート、1,1,1−〔トリス(メタ)アクリロイルオキシメチル〕メチルイソシアネート、(メタ)アクリル酸2−(2−イソシアネートエトキシ)エチル、(メタ)アクリル酸2−〔2−(2−イソシアネートエトキシ)エトキシ〕エチル、(メタ)アクリル酸2−[2−〔2−(2−イソシアネートエトキシ)エトキシ〕エトキシ]エチル、(メタ)アクリル酸2−(2−イソシアネートプロポキシ)エチル、(メタ)アクリル酸2−〔2−(2−イソシアネートプロポキシ)プロポキシ〕エチル等を挙げることができる。
このような化合物(b3)のうち、2−アクリロイルオキシエチルイソシアネートの市販品としては、商品名でカレンズAOI(昭和電工(株)製)、2−メタクリロイルオキシエチルイソシアネートの市販品としては、商品名でカレンズMOI(昭和電工(株)製)、メタクリル酸2−(2−イソシアネートエトキシ)エチルの市販品としては、商品名でカレンズMOI―EG(昭和電工(株)製)、1,1−(ビスアクリロイルオキシメチル)エチルイソシアネートの市販品としては、商品名でカレンズBEI(昭和電工(株)製)を挙げることができる。
これらの化合物(b3)のうち、化合物(b2)との反応性の点から、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルイソシアネート、4−(メタ)アクリロイルオキシブチルイソシアネート、(メタ)メタクリル酸2−(2−イソシアネートエトキシ)エチル、1,1−〔ビス(メタ)アクリロイルオキシメチル〕エチルイソシアネートが好ましい。
重合体(B−1)の合成において、化合物(b3)は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
また、化合物(b4)としては、例えば、
(メタ)アクリル酸、クロトン酸、α−クロルアクリル酸、けい皮酸の如き不飽和モノカルボン酸;
マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコン酸、メサコン酸の如き不飽和ジカルボン酸またはその無水物;
こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕、フタル酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕の如き2価以上の多価カルボン酸のモノ〔(メタ)アクリロイロキシアルキル〕エステル;
ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレートの如き両末端にカルボキシ基と水酸基とを有するポリマーのモノ(メタ)アクリレート等を挙げることができる。
これらの化合物(b4)を前駆共重合体(2)の合成に用いる場合には、共重合反応性および入手が容易である点から、(メタ)アクリル酸、こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレートが好ましい。
一方、化合物(b4)を前駆共重合体(3)と反応させて重合体(B−3)を合成するために用いる場合には、化合物(b5)との反応性、入手容易性等の点から、(メタ)アクリル酸が好ましい。
化合物(b4)は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
また、化合物(b5)としては、例えば、
(メタ)アクリル酸グリシジル、(メタ)アクリル酸2−メチルグリシジル、(メタ)アクリル酸3,4−エポキシブチル、(メタ)アクリル酸6,7−エポキシヘプチル、(メタ)アクリル酸3,4−エポキシシクロヘキシル、(メタ)アクリル酸3,4−エポキシシクロヘキシルメチル、(メタ)アクリル酸2−グリシジルオキシエチル、(メタ)アクリル酸3−グリシジルオキシプロピル、(メタ)アクリル酸4−グリシジルオキシブチルの如きオキシラニル基を有する(メタ)アクリル酸エステル;
α−エチルアクリル酸グリシジル、α−n−プロピルアクリル酸グリシジル、α−n−ブチルアクリル酸グリシジル、α−エチルアクリル酸6,7−エポキシヘプチルの如きオキシラニル基を有するα−アルキルアクリル酸エステル;
1−ビニル−2,3−エポキシシクロヘキサン、1−ビニル−3,4−エポキシシクロヘキサン、o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテルの如きオキシラニル基を有するビニル化合物等を挙げることができる。
これら化合物(b5)のうち、前駆共重合体(3)の合成に供する場合および前駆共重合体(2)と反応させて重合体(B−2)を合成するために用いる場合のいずれにおいても、オキシラニル基を有する(メタ)アクリル酸エステルが好ましく、(メタ)アクリル酸グリシジル、(メタ)アクリル2−メチルグリシジル、(メタ)アクリル酸4−グリシジルオキシブチルまたは(メタ)アクリル酸3,4−エポキシシクロヘキシルメチルが、得られる着色層の現像耐性と耐溶剤性を高める点から好ましい。
化合物(b5)は、単独でまたは2種以上組み合わせて用いることができる。
また、化合物(b6)は、前駆共重合体(1)〜(3)において共重合することができる上記化合物(b1)〜(b5)以外の重合性不飽和化合物であり、その具体例としては、例えば、
マレイミド;
N−フェニルマレイミド、N−o−ヒドロキシフェニルマレイミド、N−m−ヒドロキシフェニルマレイミド、N−p−ヒドロキシフェニルマレイミド、N−ベンジルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、N−スクシンイミジル−3−マレイミドベンゾエート、N−スクシンイミジル−4−マレイミドブチレート、N−スクシンイミジル−6−マレイミドカプロエート、N−スクシンイミジル−3−マレイミドプロピオネート、N−(アクリジニル)マレイミドの如きN−位置換マレイミド;
スチレン、α−メチルスチレン、o−ビニルトルエン、m−ビニルトルエン、p−ビニルトルエン、p−クロルスチレン、o−メトキシスチレン、m−メトキシスチレン、p−メトキシスチレン、o−ビニルフェノール、m−ビニルフェノール、p−ビニルフェノール、p−ヒドロキシ−α−メチルスチレン、o−ビニルベンジルメチルエーテル、m−ビニルベンジルメチルエーテル、p−ビニルベンジルメチルエーテルの如き芳香族ビニル化合物;
アセナフチレン、5−クロロアセナフチレン、5−ヒドロキシメチルアセナフチレン、5−ヒドロキシアセナフチレンの如きアセナフチレン類;
インデン、1−メチルインデンの如きインデン類;
メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、n−プロピル(メタ)アクリレート、i−プロピル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、i−ブチル(メタ)アクリレート、sec−ブチル(メタ)アクリレート、t−ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレートの如き(メタ)アクリル酸アルキルエステル;
シクロヘキシル(メタ)アクリレート、2−メチルシクロヘキシル(メタ)アクリレート、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル(メタ)アクリレート、イソボロニル(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレートの如き(メタ)アクリル酸の脂環族エステル;
フェニル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシフェニル(メタ)アクリレートの如き(メタ)アクリル酸アリールエステル;
2−メトキシエチル(メタ)アクリレート、2−フェノキシエチル(メタ)アクリレート、ポリエチレングルコール(n=2〜100)メチルエーテル(メタ)アクリレート、ポリプロピレングルコール(n=2〜100)メチルエーテル(メタ)アクリレート、パラクミルフェノールのエチレンオキサイド変性(メタ)アクリレートの如きアルキレンオキサイド構造を有する(メタ)アクリル酸エステル;
アリル(メタ)アクリレート;
酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、安息香酸ビニルの如きカルボン酸ビニルエステル;
ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテルの如き不飽和エーテル;
(メタ)アクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデンの如きシアン化ビニル化合物;
(メタ)アクリルアミド、α−クロロアクリルアミド、N−2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリルアミドの如き不飽和アミド;
1,3−ブタジエン、イソプレン、クロロプレンの如き脂肪族共役ジエン;
ポリスチレン、ポリメチル(メタ)アクリレート、ポリ−n−ブチル(メタ)アクリレート、ポリシロキサンの如き重合体分子鎖の末端にモノ(メタ)アクリロイル基を有するマクロモノマー等を挙げることができる。
化合物(b6)は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
さらに、前駆共重合体(1)においては化合物(b4)を共重合しアルカリ可溶性を付与することができ、前駆共重合体(2)、(3)においては化合物(b2)を共重合することができる。
本発明において、化合物(b6)としては、N−位置換マレイミド、芳香族ビニル化合物、アセナフチレン類、(メタ)アクリル酸アルキルエステル、(メタ)アクリル酸の脂環族エステル、(メタ)アクリル酸アリールエステル、アリル(メタ)アクリレート、アルキレンオキサイド構造を有する(メタ)アクリル酸エステルが好ましく、特にN−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、スチレン、α−メチルスチレン、p−ヒドロキシ−α−メチルスチレン、アセナフチレン、メチル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシフェニル(メタ)アクリレート、パラクミルフェノールのエチレンオキサイド変性(メタ)アクリレート、アリル(メタ)アクリレートが好ましい。
前駆共重合体(1)における化合物(b1)の共重合割合は、通常10〜90重量%であり、10〜80重量%であることが好ましい。前駆共重合体(1)における化合物(b2)の共重合割合は、通常5〜90重量%であり、10〜80重量%であることがより好ましい。
前駆共重合体(2)における化合物(b1)の共重合割合は、通常5〜90重量%であり、10〜80重量%であることが好ましい。前駆共重合体(2)における化合物(b4)の共重合割合は、通常5〜50重量%であり、10〜40重量%であることがより好ましい。
前駆共重合体(3)における化合物(b1)の共重合割合は、通常5〜90重量%であり、10〜80重量%であることが好ましい。前駆共重合体(3)における化合物(b5)の共重合割合は、通常5〜90重量%であり、10〜80重量%であることがより好ましい。
前駆共重合体(1)〜(3)を合成するにあたって化合物(b1)〜(b5)の共重合割合を上記の範囲に設定することにより、重合体(B−1)〜(B−3)がゲル化することなく所望の転化率で合成可能となり、また得られる重合体(B−1)〜(B−3)を含有する感放射線性組成物の現像耐性と耐溶剤性が良好となり好ましい。
前駆共重合体(1)〜(3)は、例えば、各重合性不飽和化合物を、適当な溶媒中、2,2'−アゾビスイソブチロニトリル、2,2'−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)、2,2'−アゾビス(4−メトキシ−2,4−ジメチルバレロニトリル)等のラジカル重合開始剤の存在下で重合することにより製造することができる。
前駆共重合体(1)〜(3)は、上記のように重合性不飽和化合物をラジカル重合した後に、極性の異なる有機溶媒を2種以上用いる再沈殿法を経て精製することにより製造することができる。即ち、重合後の良溶媒中の溶液を、必要に応じてろ過あるいは遠心分離などによって不溶な不純物を除去したのち、大量(通常は、ポリマー溶液体積の5〜10倍量)の沈殿剤(貧溶媒)中に注いで、共重合体を再沈殿させることにより精製する。その際、共重合体溶液中に残っている不純物のうち、沈殿剤に可溶な不純物は液相に残り、精製された前駆共重合体(1)〜(3)から分離される。
この再沈殿法に使用される良溶媒/沈殿剤の組み合わせとしては、例えば、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート/n−ヘキサン、メチルエチルケトン/n−ヘキサン、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート/n−ヘプタン、メチルエチルケトン/n−ヘプタン等を挙げることができる。
また、前駆共重合体(1)〜(3)は、各重合性不飽和化合物を、2,2'−アゾビスイソブチロニトリル、2,2'−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)、2,2'−アゾビス(4−メトキシ−2,4−ジメチルバレロニトリル)等のラジカル重合開始剤、およびピラゾール−1−ジチオカルボン酸シアノ(ジメチル)メチルエステル、ピラゾール−1−ジチオカルボン酸ベンジルエステル、テトラエチルチウラムジスルフィド、ビス(ピラゾール−1−イルチオカルボニル)ジスルフィド、ビス(3−メチル−ピラゾール−1−イルチオカルボニル)ジスルフィド、ビス(4−メチル−ピラゾール−1−イルチオカルボニル)ジスルフィド、ビス(5−メチル−ピラゾール−1−イルチオカルボニル)ジスルフィド、ビス(3,4,5−トリメチル−ピラゾール−1−イルチオカルボニル)ジスルフィド、ビス(ピロール−1−イルチオカルボニル)ジスルフィド、ビスチオベンゾイルジスルフィド等のイニファターとして作用する分子量制御剤の存在下、不活性溶媒中で、反応温度を、通常、0〜150℃、好ましくは50〜120℃として、リビングラジカル重合することにより製造することができる。
さらに、前駆共重合体(1)〜(3)は、各重合性不飽和化合物を、上記ラジカル重合開始剤、及び連鎖移動剤として作用する多価チオール化合物の存在下、適当な溶媒中でラジカル重合することにより製造することができる。ここで、多価チオール化合物とは、1分子中に2個以上のチオール基を有する化合物をいい、例えば、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトプロピオネート)、テトラエチレングリコールビス(3−メルカプトプロピオネート)、ジペンタエリスリトールヘキサキス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(チオグリコレート)、1,4―ビス(3−メルカプトブチリルオキシ)ブタン、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)、1,3,5,−トリス(3−メルカブトブチルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン等を挙げることができる。
重合体(B−1)の合成、すなわち前駆共重合体(1)の有する水酸基と化合物(b3)との反応は、前駆共重合体(1)を含有する溶液中において、必要に応じて、触媒および重合禁止剤の存在下に化合物(b3)を加えて反応させる方法により実施することができる。前駆共重合体(1)を含有する溶液としては、前駆共重合体(1)を合成した際の重合体溶液をそのまま用いてもよく、あるいは前駆共重合体(1)を一旦重合体溶液から分離したうえで改めて溶媒に溶解してもよい。
化合物(b3)の使用量は、前駆共重合体(1)の有する水酸基の合計に対して、好ましくは30〜100モル%であり、より好ましくは50〜100モル%である。化合物(b3)の使用量が少なすぎると、所望の効果が得られず、一方多すぎると、反応溶液中に未反応の化合物(b3)が残存し、得られる重合体溶液や感放射線性樹脂組成物の保存安定性が低下するおそれがある。
上記触媒としては、例えばジラウリン酸ジ−n−ブチルすず(IV)等を使用することができる。また、上記重合禁止剤としては、例えばp−メトキシフェノール、p−ベンゾキノン、ファノチアジン等を挙げることができる。好ましい反応条件は、温度が20〜110℃程度、反応時間が1〜10時間程度である。
重合体(B−2)の合成、すなわち前駆共重合体(2)の有するカルボキシル基と化合物(b5)との反応は、前駆共重合体(1)のかわりに前駆共重合体(2)を、また化合物(b3)の代わりに化合物(b5)をそれぞれ用いるほかは、上記重合体(B−1)の合成に準じて行うことができる。化合物(b5)の使用量は、前駆共重合体(2)の有するカルボキシル基の合計に対して、好ましくは30〜100モル%、より好ましくは50〜100モル%である。触媒としては、例えばテトラブチルアンモニウムブロミド、トリエチルアミン等を使用することができる。
重合体(B−2)を合成する際には、未反応のカルボキシル基が残存するよう化合物(b5)の使用量を調整することにより、重合体(B−2)にアルカリ可溶性を付与することもできる。
重合体(B−3)の合成、すなわち前駆共重合体(3)の有するオキシラニル基と化合物(b4)との反応は、前駆共重合体(1)のかわりに前駆共重合体(3)を、また化合物(b3)の代わりに化合物(b4)をそれぞれ用いるほかは、上記重合体(B−1)の合成に準じて行うことができる。化合物(b4)の使用量は、前駆共重合体(3)の有するオキシラニル基の合計に対して、好ましくは30〜100モル%、より好ましくは50〜100モル%である。触媒としては、重合体(B−2)の合成において使用される触媒と同様のものを使用することができる。
本発明において、重合体(B)は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
本発明において、重合体(B)の含有量は、(A)着色剤100重量部に対して、通常、5〜800重量部、好ましくは10〜500重量部である。重合体(B)の含有量が少なすぎると、所望の効果が得られないおそれがあり、一方多すぎると、相対的に顔料濃度が低下するため、薄膜として目的とする色濃度を達成することが困難となるおそれがある。
−(C)光重合開始剤−
本発明における(C)光重合開始剤は、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等の放射線の露光により、前記重合体(B)および場合により使用される(D)重合性不飽和結合を有する単量体の重合を開始しうる活性種を発生する化合物である。
このような光重合開始剤としては、例えば、チオキサントン系化合物、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物、O−アシルオキシム系化合物、オニウム塩系化合物、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、α−ジケトン系化合物、多核キノン系化合物、ジアゾ系化合物、イミドスルホナート系化合物等を挙げることができる。
本発明において、光重合開始剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができるが、光重合開始剤としては、チオキサントン系化合物、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物、O−アシルオキシム系化合物の群から選ばれる少なくとも1種が好ましい。
本発明における好ましい光重合開始剤のうち、チオキサントン系化合物の具体例としては、チオキサントン、2−クロロチオキサントン、2−メチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、4−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジクロロチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン等を挙げることができる。
また、前記アセトフェノン系化合物の具体例としては、2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オン、2−(4−メチルベンジル)−2−(ジメチルアミノ)−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オン等を挙げることができる。
また、前記ビイミダゾール系化合物の具体例としては、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール等を挙げることができる。
なお、光重合開始剤としてビイミダゾール系化合物を用いる場合、水素供与体を併用することが、感度を改良することができる点で好ましい。ここでいう「水素供与体」とは、露光によりビイミダゾール系化合物から発生したラジカルに対して、水素原子を供与することができる化合物を意味する。水素供与体としては、例えば、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール等のメルカプタン系水素供与体、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン等のアミン系水素供与体を挙げることができる。本発明において、水素供与体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができるが、1種以上のメルカプタン系水素供与体と1種以上のアミン系水素供与体とを組み合わせて使用することが、さらに感度を改良することができる点で好ましい。
また、前記トリアジン系化合物の具体例としては、2,4,6−トリス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−メチル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−〔2−(5−メチルフラン−2−イル)エテニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−〔2−(フラン−2−イル)エテニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−〔2−(4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)エテニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−〔2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−エトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−n−ブトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン等のハロメチル基を有するトリアジン系化合物を挙げることができる。
また、O−アシルオキシム系化合物の具体例としては、1,2−オクタンジオン,1−〔4−(フェニルチオ)フェニル〕−,2−(O−ベンゾイルオキシム)、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)、エタノン,1−〔9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル〕−,1−(O−アセチルオキシム)、エタノン,1−〔9−エチル−6−{2−メチル−4−(2,2−ジメチル−1,3−ジオキソラニル)メトキシベンゾイル}−9H−カルバゾール−3−イル〕−,1−(O−アセチルオキシム)等を挙げることができる。
本発明において、アセトフェノン系化合物等のビイミダゾール系化合物以外の光重合開始剤を用いる場合には、増感剤を併用することもできる。このような増感剤としては、例えば、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4−ジエチルアミノアセトフェノン、4−ジメチルアミノプロピオフェノン、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸2−エチルヘキシル、2,5−ビス(4−ジエチルアミノベンザル)シクロヘキサノン、7−ジエチルアミノ−3−(4−ジエチルアミノベンゾイル)クマリン、4−(ジエチルアミノ)カルコン等を挙げることができる。
本発明において、光重合開始剤の含有量は、重合体(B)100質量部に対して、0.01〜120質量部が好ましく、特に1〜100質量部が好ましい。光重合開始剤の含有量が少なすぎると、露光による硬化が不十分となるおそれがあり、一方多すぎると、形成された着色層が現像時に基板から脱落しやすくなる傾向がある。
−(D)重合性不飽和結合を有する単量体−
本発明においては、さらに(D)重合性不飽和結合を有する単量体を使用することにより、感放射線性組成物の感度を高めることができる。重合性不飽和結合を有する単量体としては、2個以上の重合性不飽和結合を有する多官能性単量体、および1個の重合性不飽和結合を有する単官能性単量体を挙げることができる。
前記多官能性単量体としては、例えば、
エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルキレングリコールのジ(メタ)アクリレート類;
ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール等のポリアルキレングリコールのジ(メタ)アクリレート類;
グリセリン、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール等の3価以上の多価アルコールのポリ(メタ)アクリレート類や、それらのジカルボン酸変性物;
ポリエステル、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、アルキド樹脂、シリコーン樹脂、スピラン樹脂等のオリゴ(メタ)アクリレート類;
両末端ヒドロキシポリ−1,3−ブタジエン、両末端ヒドロキシポリイソプレン、両末端ヒドロキシポリカプロラクトン等の両末端ヒドロキシル化重合体のジ(メタ)アクリレート類や、
トリス〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕フォスフェートや、
イソシアヌル酸エチレンオキシド変性トリアクリレート;
ウレタン構造を有するポリ(メタ)アクリレート
等を挙げることができる。
これらの多官能性単量体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
また、前記単官能性単量体としては、例えば、こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕、フタル酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕の如き2価以上の多価カルボン酸のモノ〔(メタ)アクリロイロキシアルキル〕エステル;ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレートの如き両末端にカルボキシ基と水酸基とを有するポリマーのモノ(メタ)アクリレート;N−ビニルサクシンイミド、N−ビニルピロリドン、N−ビニルフタルイミド、N−ビニル−2−ピペリドン、N−ビニル−ε−カプロラクタム、N−ビニルピロール、N−ビニルピロリジン、N−ビニルイミダゾール、N−ビニルイミダゾリジン、N−ビニルインドール、N−ビニルインドリン、N−ビニルベンズイミダゾ−ル、N−ビニルカルバゾール、N−ビニルピペリジン、N−ビニルピペラジン、N−ビニルモルフォリン、N−ビニルフェノキサジン等のN−ビニル含窒素複素環式化合物;N−(メタ)アクリロイルモルフォリンのほか、市販品として、M−5400、M−5600(商品名、東亞合成(株)製)等を挙げることができる。
これらの単官能性単量体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
本発明において、重合性不飽和結合を有する単量体としては、多官能性単量体が好ましく、特に、3価以上の多価アルコールのポリ(メタ)アクリレート類やそれらのジカルボン酸変性物、並びにウレタン構造を有するポリ(メタ)アクリレートが好ましい。3価以上の多価アルコールのポリ(メタ)アクリレート類やそれらのジカルボン酸変性物としては、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレートとこはく酸とのモノエステル化物、ペンタエリスリトールトリメタクリレートとこはく酸とのモノエステル化物、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとこはく酸とのモノエステル化物、ジペンタエリスリトールペンタメタアクリレートとこはく酸とのモノエステル化物が好ましく、特に、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレートとこはく酸とのモノエステル化物およびジペンタエリスリトールペンタアクリレートとこはく酸とのモノエステル化物が、着色層の強度が高く、着色層の表面平滑性に優れ、かつ未露光部の基板上および遮光層上に地汚れ、膜残り等を発生し難い点で好ましい。
本発明における重合性不飽和結合を有する単量体の含有量は、重合体(B)100重量部に対して、好ましくは1〜500重量部、より好ましくは5〜300重量部である。かかる割合で重合性不飽和結合を有する単量体を含有せしめることにより、さらに高感度な感放射線性組成物を得ることができる。
−(E)アルカリ可溶性樹脂−
本発明においては、さらに(E)アルカリ可溶性樹脂((B)成分を除く)を使用することにより、得られる感放射線性組成物の現像性や保存安定性を高めることができる。アルカリ可溶性樹脂は、(A)着色剤に対してバインダーとして作用し、かつ現像処理工程において用いられるアルカリ現像液に対して可溶性を有するものであれば、特に限定されるものではないが、通常、カルボキシル基、フェノール性水酸基等の酸性官能基を有する重合体である。なかでも、カルボキシル基を有する重合体が好ましく、その具体例としては、例えば、1個以上のカルボキシル基を有するエチレン性不飽和単量体(以下、「カルボキシル基含有不飽和単量体」ということがある。)と他の共重合可能なエチレン性不飽和単量体(以下、「不飽和単量体(e)」という。)との共重合体(以下、「重合体(E1)」ということがある。)を挙げることができる。
カルボキシル基含有不飽和単量体の具体例としては、重合体(B)における化合物(b4)として例示した化合物を挙げることができる。
本発明において、カルボキシル基含有不飽和単量体としては、(メタ)アクリル酸、こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート等が好ましく、特に(メタ)アクリル酸が好ましい。
これらのカルボキシル基含有不飽和単量体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
重合体(E1)において、カルボキシル基含有不飽和単量体の共重合割合は、好ましくは5〜50重量%、さらに好ましくは10〜40重量%である。該共重合割合が少なすぎると、得られる感放射線性組成物のアルカリ現像液に対する溶解性が低下する傾向があり、一方多すぎると、アルカリ現像液に対する溶解性が過大となり、アルカリ現像液により現像する際に、画素の基板からの脱落や画素表面の膜荒れを来たしやすくなる傾向がある。
また、不飽和単量体(e)の具体例としては、重合体(B)における化合物(b2)および化合物(b6)として例示した化合物を挙げることができる。
本発明において、不飽和単量体(e)としては、化合物(b2)、N−位置換マレイミド、芳香族ビニル化合物、アセナフチレン類、(メタ)アクリル酸アルキルエステル、(メタ)アクリル酸の脂環族エステル、(メタ)アクリル酸アリールエステル、アルキレンオキサイド構造を有する(メタ)アクリル酸エステル、重合体分子鎖の末端にモノ(メタ)アクリロイル基を有するマクロモノマーが好ましく、特にN−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、スチレン、α−メチルスチレン、p−ヒドロキシ−α−メチルスチレン、アセナフチレン、メチル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、アリル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、グリセロールモノ(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシフェニル(メタ)アクリレート、パラクミルフェノールのエチレンオキサイド変性(メタ)アクリレート、ポリスチレンマクロモノマー、ポリメチルメタクリレートマクロモノマーが好ましい。
これらの不飽和単量体(e)は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
本発明においては、例えば、特開平5−19467号公報、特開平6−230212号公報等に開示されている、側鎖に(メタ)アクリロイル基等の重合性不飽和結合を有するカルボキシル基含有共重合体や、下記式(I)で表される繰り返し単位を有する重合体(以下、「重合体(E2)」という。)を、アルカリ可溶性樹脂として使用することもできる。
Figure 0005417994
(式中、R1、R2およびR3はそれぞれ独立に水素原子または炭素数1〜10のアルキル基を示し、Xはアクリロイル基もしくはメタクリロイル基を有する一価の有機基またはビニル基もしくは1−メチルビニル基を示し、Yは二価の有機基を示し、iは1〜5の整数を示す。)
上記式(I)において、R1は水素原子またはメチル基であることが好ましく、水素原子であることがより好ましい。R2およびR3は水素原子であることが好ましい。iは1であることが好ましい。
上記式(I)において、Xのアクリロイル基もしくはメタクリロイル基を有する一価の有機基としては、下記式(X−1)または下記式(X−2)で表される基であることが好ましい。上記式(I)におけるXとしては、ビニル基または1−メチルビニル基であることが好ましい。
Figure 0005417994
(式中、R4は水素原子またはメチル基を表し、jは0〜10の整数を表し、「*」は結合手であることを表す。)
Figure 0005417994
(式中、R5は水素原子またはメチル基を表し、R6は単結合、メチレン基、炭素数2〜6のアルキレン基、シクロヘキサン−1,2−ジイル基または1,2−フェニレン基を表し、「*」は結合手であることを表す。)
上記式(I)におけるYとしては、メチレン基、炭素数2〜6のアルキレン基、もしくはアルケニレン基(ただしこれらのアルキレン基およびアルケニレン基は途中にエーテル結合を有していてもよい。)、シクロヘキサンジイル基、シクロヘキセンジイル基または炭素数6〜12のアリーレン基(ただしこのアリーレン基はカルボキシル基または酸無水物基を有していてもよい。)であることが好ましく、メチレン基、エチレン基、1,3−プロピレン基、1,2−エテニレン基、1,2−プロペニレン基、1,3−プロペニレン基、2,3−プロペニレン基、シクロヘキサン−1,2−ジイル基、4−シクロヘキセン−1,2−ジイル基、1,2−フェニレン基、ビフェニル−2,2'−ジイル基または−CH2−O−CH2−で表される2価の基がより好ましい。
重合体(E2)において、上記式(I)で表される繰り返し単位は、重合体(E2)の全繰り返し単位に対して5〜80重量%であることが好ましく、10〜60重量%であることがより好ましい。上記式(I)で表される繰り返し単位が少なすぎると、得られる感放射線性組成物のアルカリ現像液に対する溶解性が低下する傾向があり、一方多すぎると、アルカリ現像液に対する溶解性が過大となり、アルカリ現像液により現像する際に、画素の基板からの脱落や画素表面の膜荒れを来たしやすくなる傾向がある。
重合体(E2)においては、上記式(I)で表される繰り返し単位と共に、重合体(E1)について挙げた不飽和単量体(e)と同様の不飽和単量体に由来する繰り返し単位を有することが好ましい。
本発明におけるアルカリ可溶性樹脂のMwは、好ましくは1,000〜45,000、特に好ましくは3,000〜30,000である。また、本発明におけるアルカリ可溶性樹脂のMwとMnの比(Mw/Mn)は、好ましくは1〜5、より好ましくは1〜4である。Mwが小さすぎと、得られる被膜の残膜率等が低下したり、パターン形状、耐熱性等が損なわれたり、また電気特性が悪化するおそれがあり、一方大きすぎると、解像度が低下したり、パターン形状が損なわれたり、またスリットノズル方式による塗布時に乾燥異物が発生し易くなるおそれがある。
重合体(E1)は、上記前駆共重合体(1)〜(3)と同様に製造することができる。
重合体(E2)は、例えば、p−ビニルベンジルグリシジルエーテル等のビニルベンジル(ポリ)グリシジルエーテル類と上記不飽和単量体を、上記前駆共重合体(1)〜(3)と同様に共重合した共重合体中のグリシジル基に、アクリル酸、メタクリル酸、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトンモノアクリレート、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトンモノメタクリレート、2−アクリロイロキシエチルこはく酸、2−メタクリロイロキシエチルこはく酸等の不飽和カルボン酸を付加し、次いで無水こはく酸、無水グルタル酸、無水フタル酸、4−シクロへキセン−1,2−ジカルボン酸無水物等の多塩基酸無水物を付加することにより製造することができる。不飽和カルボン酸および多塩基酸無水物の付加反応は、公知の方法に準じて行うことができる。
本発明において、アルカリ可溶性樹脂は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
本発明において、アルカリ可溶性樹脂の含有量は、(A)着色剤100重量部に対して、好ましくは10〜1,000重量部、より好ましくは20〜500重量部である。かかる割合でアルカリ可溶性樹脂を含有せしめることにより、さらに現像性や保存安定性に優れた感放射線性組成物を得ることができる。
−添加剤−
本発明の感放射線性組成物は、必要に応じて、種々の添加剤を含有することもできる。
添加剤としては、ポストベーク工程の際に重合体(B)が有するオキシラニル基を開環させ硬化反応を促進する熱酸発生剤を挙げることができる。熱酸発生剤としては、例えば、スルホニウム塩類、ベンゾチアゾニウム塩類、アンモニウム塩類、ホスホニウム塩類、スルホン酸エステル化合物、スルホンイミド化合物、ジアゾメタン化合物等を挙げることができる。これらのうち、スルホニウム塩類、ベンゾチアゾニウム塩類、スルホン酸エステル化合物、スルホンイミド化合物、ジアゾメタン化合物が好ましい。
好ましい熱酸発生剤の具体例としては、4−アセトキシフェニルジメチルスルホニウムヘキサフルオロアルセネート、ベンジル−4−ヒドロキシフェニルメチルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、4−アセトキシフェニルベンジルメチルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジベンジル−4−ヒドロキシフェニルスルホニウム ヘキサフルオロアンチモネート、4−アセトキシフェニルベンジルスルホニウム ヘキサフルオロアンチモネート、3−ベンジルベンゾチアゾニウム ヘキサフルオロアンチモネート、N−(トリフルオロメタンスルホニルオキシ)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2,3−ジカルボキシイミド等を挙げることができる。
その他の添加剤としては、例えば、ガラス、アルミナ等の充填剤;ポリビニルアルコール、ポリ(フロオロアルキルアクリレート)類等の高分子化合物;ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤等の界面活性剤;ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロイロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等の密着促進剤;2,2−チオビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,6−ジ−t−ブチルフェノール等の酸化防止剤;2−(3−t−ブチル−5−メチル−2−ヒドロキシフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン類等の紫外線吸収剤;ポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤等を挙げることができる。
−溶媒−
本発明の感放射線性組成物は、前記(A)〜(C)成分、および任意的に加えられる他の成分を含有するものであるが、通常、溶媒を配合して液状組成物として調製される。
前記溶媒としては、感放射線性組成物を構成する(A)〜(C)成分や他の成分を分散または溶解し、かつこれらの成分と反応せず、適度の揮発性を有するものである限り、適宜に選択して使用することができる。
このような溶媒としては、例えば、
メタノール、エタノール、ベンジルアルコール等のアルコール類;
エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノエチルエーテル等の(ポリ)アルキレングリコールモノアルキルエーテル類;
エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノ−n−プロピルエーテルアセテート、エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノ−n−プロピルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテート等の(ポリ)アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類;
ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフラン等の他のエーテル類;
メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン、ジアセトンアルコール(4−ヒドロキシ−4−メチルペンタン−2−オン)、4−ヒドロキシ−4−メチルヘキサン−2−オン等のケトン類;
プロピレングリコールジアセテート、1,3−ブチレングリコールジアセテート、1,6−ヘキサンジオールジアセテート等のジアセテート類;
乳酸メチル、乳酸エチル等の乳酸アルキルエステル類;
酢酸エチル、酢酸n−プロピル、酢酸i−プロピル、酢酸n−ブチル、酢酸i−ブチル、ぎ酸n−ペンチル、酢酸i−ペンチル、3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、プロピオン酸n−ブチル、3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルプロピオネート、酪酸エチル、酪酸n−プロピル、酪酸i−プロピル、酪酸n−ブチル、ヒドロキシ酢酸エチル、エトキシ酢酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸n−プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、2−ヒドロキシ−3−メチル酪酸メチル、2−オキソ酪酸エチル等の他のエステル類;
トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類;
N−メチルピロリドン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド等のアミド類
等を挙げることができる。
これらの溶媒のうち、溶解性、顔料分散性、塗布性等の観点から、ベンジルアルコール、エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン、プロピレングリコールジアセテート、1,3−ブチレングリコールジアセテート、酢酸n−ブチル、酢酸i−ブチル、ぎ酸n−ペンチル、酢酸i−ペンチル、3−メトキシブチルアセテート、プロピオン酸n−ブチル、酪酸エチル、酪酸i−プロピル、酪酸n−ブチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルプロピオネート、ピルビン酸エチル等が好ましい。
前記溶媒は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
さらに、前記溶媒と共に、ベンジルエチルエーテル、ジ−n−ヘキシルエーテル、アセトニルアセトン、イソホロン、カプロン酸、カプリル酸、1−オクタノール、1−ノナノール、酢酸ベンジル、安息香酸エチル、しゅう酸ジエチル、マレイン酸ジエチル、γ−ブチロラクトン、炭酸エチレン、炭酸プロピレン、エチレングリコールモノフェニルエーテルアセテート等の高沸点溶媒を併用することもできる。
前記高沸点溶媒は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
カラーフィルタ
本発明のカラーフィルタは、本発明の感放射線性組成物から形成された着色層を備えるものである。
以下に、本発明のカラーフィルタを形成する方法について説明する。
まず、基板の表面上に、必要に応じて、画素を形成する部分を区画するように遮光層(ブラックマトリックス)を形成し、この基板上に、例えば赤色の顔料が分散された感放射線性組成物の液状組成物を塗布したのち、プレベークを行って溶剤を蒸発させ、塗膜を形成する。次いで、この塗膜にフォトマスクを介して露光したのち、アルカリ現像液を用いて現像して、塗膜の未露光部を溶解除去し、その後ポストベークすることにより、赤色の画素パターンが所定の配列で配置された画素アレイを形成する。
その後、緑色または青色の顔料が分散された各感放射線性組成物の液状組成物を用い、前記と同様にして、各液状組成物の塗布、プレベーク、露光、現像およびポストベークを行って、緑色の画素アレイおよび青色の画素アレイを同一基板上に順次形成することにより、赤色、緑色および青色の三原色の画素アレイが基板上に配置されたカラーフィルタを得る。但し、本発明においては、各色の画素を形成する順序は、前記のものに限定されない。
また、ブラックマトリックスは、本発明の感放射線性組成物を用い、前記画素の形成の場合と同様にして形成することができる。
画素および/またはブラックマトリックスを形成する際に使用される基板としては、例えば、ガラス、シリコン、ポリカーボネート、ポリエステル、芳香族ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリイミド等を挙げることができる。
また、これらの基板には、所望により、シランカップリング剤等による薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティング、スパッタリング、気相反応法、真空蒸着等の適宜の前処理を施しておくこともできる。
本発明の感放射線性組成物の塗膜を形成する方法としては、例えば(1)塗布法、(2)ドライフィルム法によることができる。
(1)塗布法による場合、基板上に本発明の感放射線性組成物を、好ましくは組成物溶液として塗布した後、塗布面をプレベークすることにより、塗膜を形成する。
組成物溶液の塗布法としては、例えば、スプレー法、ロールコート法、回転塗布法(スピンコート法)、スリットダイ塗布法、バー塗布法、インクジェット塗布法などの適宜の方法を採用することができ、特にスピンコート法、スリットダイ塗布法が好ましい。
プレベークの条件は、各成分の種類、配合割合などによっても異なるが、好ましくは70〜120℃で1〜15分程度である。
また、本発明の感放射線性組成物の塗膜を形成する際に、(2)ドライフィルム法を採用する場合、該ドライフィルムは、ベースフィルム、好ましくは可撓性のベースフィルム上に、本発明の感放射線性組成物からなる感放射線性層を積層してなるもの(以下、「感放射線性ドライフィルム」という。)である。
上記感放射線性ドライフィルムは、ベースフィルム上に、本発明の感放射線性を好ましくは液状組成物として塗布した後溶媒を除去することにより、感放射線性層を積層して形成することができる。感放射線性ドライフィルムのベースフィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリカーボネート、ポリ塩化ビニルなどの合成樹脂のフィルムを使用することができる。ベースフィルムの厚さは、15〜125μmの範囲が適当である。得られる感放射線性層の厚さは、1〜30μm程度が好ましい。溶媒の除去は、好ましくは80〜150℃において1〜10分程度加熱することにより行うことができる。
また、感放射線性ドライフィルムは、未使用時に、その感放射線性層上にさらにカバーフィルムを積層して保存することもできる。このカバーフィルムは、未使用時には剥がれず、使用時には容易に剥がすことができるように、適度な離型性を有する必要がある。このような条件を満たすカバーフィルムとしては、例えば、PETフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリ塩化ビニルフィルムなどの合成樹脂フィルムの表面にシリコーン系離型剤を塗布または焼き付けたフィルムを使用することができる。カバーフィルムの厚さは、通常、25μm程度で十分である。
本発明の感放射線性組成物を溶液として使用する場合、その固形分濃度(組成物から溶媒を除いた重量の全組成物重量に対する割合)は、好ましくは5〜80重量%である。さらに好ましい固形分濃度は被膜の形成方法により異なる。被膜の形成に塗布法を採用する場合の固形分濃度としては、5〜50重量%が好ましく、被膜の形成にドライフィルム法を採用する場合の固形分濃度としては、50〜70重量%が好ましい。
塗布厚さは、乾燥後の膜厚として、通常、0.1〜10μm、好ましくは0.2〜8.0μm、特に好ましくは0.2〜6.0μmである。
画素および/またはブラックマトリックスを形成する際に使用される放射線としては、例えば、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等を使用することができるが、波長が190〜450nmの範囲にある放射線が好ましい。放射線の露光量は、好ましくは10〜10,000J/m2 である。従来の感放射線性組成物では、特開2002−296778号公報、特開2007−316485号公報、特開2007−316506号公報の実施例に開示されているよう、十分な耐溶剤性を有するパターンを形成するには、1,500〜2,000J/m2の露光量を要した。本発明の感放射線性組成物によれば、500J/m2 以下の露光量でも優れた現像耐性と耐溶剤性を有する微細パターンを形成することができる。
また、前記アルカリ現像液としては、例えば、炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド、コリン、1,8−ジアザビシクロ−[5.4.0]−7−ウンデセン、1,5−ジアザビシクロ−[4.3.0]−5−ノネン等の水溶液が好ましい。
前記アルカリ現像液には、例えばメタノール、エタノール等の水溶性有機溶剤や界面活性剤等を適量添加することもできる。なお、アルカリ現像後は、通常、水洗する。
現像処理法としては、シャワー現像法、スプレー現像法、ディップ(浸漬)現像法、パドル(液盛り)現像法等を適用することができる。現像条件は、常温で5〜300秒が好ましい。
このようにして得られる本発明のカラーフィルタは、高精細なカラー液晶表素子、カラー撮像管素子、カラーセンサー等に極めて有用である。
カラー液晶表示素子
本発明のカラー液晶表示素子は、本発明のカラーフィルタを具備するものである。
本発明のカラー液晶表示素子は、適宜の構造をとることができる。例えば、カラーフィルタを、薄膜トランジスター(TFT)が配置された駆動用基板とは別の基板上に形成して、駆動用基板とカラーフィルタを形成した基板とが、液晶層を介して対向した構造をとることができ、さらに薄膜トランジスター(TFT)が配置された駆動用基板の表面上にカラーフィルタを形成した基板と、ITO(錫をドープした酸化インジュウム)電極を形成した基板とが、液晶層を介して対向した構造をとることもできる。後者の構造は、開口率を格段に向上させることができ、明るく高精細な液晶表示素子が得られるという利点を有する。
以下、実施例を挙げて、本発明の実施の形態をさらに具体的に説明する。但し、本発明は、下記実施例に限定されるものではない。
<顔料分散液の調製>
調製例1
(A)着色剤としてC.I.ピグメントレッド254(チバスペシャリティケミカルズ社製、商品名BK−CF)15重量部、分散剤としてDisperbyk−2000を4重量部(固形分換算)、溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート/プロピレングリコールモノエチルエーテル=80/20(重量比)混合物を固形分濃度が19%となるよう用いて、ビーズミルにより処理して、顔料分散液(A−1)を調製した。
調製例2
(A)着色剤としてカーボンブラック20重量部、分散剤としてDisperbyk−167を4重量部(固形分換算)、溶媒として3−メトキシブチルアセテートを固形分濃度が24%となるよう用いて、ビーズミルにより処理して、顔料分散液(A−2)を調製した。
調製例3
(A)着色剤としてC.I.ピグメントグリーン58(大日本インキ化学工業株式会社製)/C.I.ピグメントイエロー150=60/40(重量比)混合物15重量部、分散剤としてDisperbyk−2001を4重量部(固形分換算)、溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート/1,3−ブチレングリコールジアセテート=50/50(重量比)混合物を固形分濃度が19%となるよう用いて、ビーズミルにより処理して、ビーズミルにより12時間混合・分散して、顔料分散液(A−3)を調製した。
調製例4
(A)着色剤としてC.I.ピグメントグリーン36/C.I.ピグメントイエロー150=60/40(重量比)混合物15重量部、分散剤としてDisperbyk−2001を4.0重量部(固形分換算)、溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート/1,3−ブチレングリコールジアセテート=50/50(重量比)混合物を固形分濃度が19%となるよう用いて、ビーズミルにより処理して、ビーズミルにより12時間混合・分散して、顔料分散液(A−4)を調製した。
<前駆共重合体および重合体(B)の合成>
前駆共重合体の合成
合成例1
冷却管と攪拌機を備えたフラスコに、3−アクリロイルオキシメチル−3−エチルオキセタン70.0g、アクリル酸15.0gおよびω−カルボキシポリカプロラクトンモノアクリレート15.0gをプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート300gに溶解し、さらに2,2'−アゾビスイソブチロニトリル3.0gおよびα−メチルスチレンダイマー5.0gを投入し、その後15分間窒素パージした。窒素パージの後、反応液を攪拌および窒素バブリングしながら80℃に加熱し、5時間重合することにより、前駆共重合体[b−1]を25重量%含む溶液を得た。この前駆共重合体[b−1]のポリスチレン換算重量平均分子量(Mw)は10,000であった。
合成例2〜9
重合性不飽和化合物である化合物(b1)、化合物(b2)、化合物(b4)および化合物(b6)、重合開始剤、連鎖移動剤ならびに分子量制御剤の種類および使用量を表1に記載の通りとしたほかは、上記合成例1と同様にして実施し、前駆共重合体[b−2]〜[b−9]をそれぞれ25重量%含む溶液を得た。
各合成例において得られた前駆共重合体のポリスチレン換算重量平均分子量(Mw)を表1に示した。
Figure 0005417994
重合体(B)の合成
合成例10
上記合成例1で得られた前駆共重合体[b−1]を含む溶液200g、化合物(b5)としてグリシジルメタクリレート25.6g、重合禁止剤として4−メトキシフェノール0.2gおよび触媒としてテトラブチルアンモニウムブロマイド2.5gをフラスコに仕込み、110℃の温度で9時間反応させた。この反応液につき、1回当たり75gのイオン交換水で4回水洗し、減圧濃縮を行うことにより、重合体[B−1]を33重量%含有する溶液を得た。重合体[B−1]のポリスチレン換算重量平均分子量(Mw)は11,500、オキセタニル基含有量は2.8ミリモル/g、重合性不飽和結合含有量は1.8ミリモル/gであった。
合成例11〜14
使用した前駆共重合体の種類、化合物(b5)、触媒ならびに重合禁止剤の種類および使用量を表2に記載の通りとしたほかは、上記合成例10と同様にして実施し、重合体[B−2]〜[B−5]をそれぞれ33重量%含有する溶液を得た。
各合成例において得られた重合体(B)のポリスチレン換算重量平均分子量(Mw)、オキセタニル基含有量および重合性不飽和結合含有量を表2に示した。
合成例15
上記合成例6で得られた前駆共重合体[b−6]を含む溶液200g、化合物(b3)として2−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート47.6g、重合禁止剤として4−メトキシフェノール0.2gをフラスコに仕込み、110℃の温度で9時間反応させた。この反応液につき、1回当たり75gのイオン交換水で2回水洗し、減圧濃縮を行うことにより、重合体[B−6]を33重量%含有する溶液を得た。重合体[B−6]のポリスチレン換算重量平均分子量(Mw)は13,600、オキセタニル基含有量は1.6ミリモル/g、重合性不飽和結合含有量は3.1ミリモル/gであった。
合成例16〜18
使用した前駆共重合体の種類、化合物(b3)ならびに重合禁止剤の種類および使用量を表2に記載の通りとしたほかは、上記合成例15と同様にして実施し、重合体[B−7]〜[B−9]をそれぞれ33重量%含有する溶液を得た。
各合成例において得られた重合体(B)のポリスチレン換算重量平均分子量(Mw)、オキセタニル基含有量および重合性不飽和結合含有量を表2に示した。
合成例19
冷却管と攪拌機を備えたフラスコに、3−メタクリロイルオキシメチル−3−エチルオキセタン55.0g、メタクリル酸15.0gおよびアリルメタクリレート30.0gをプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート200gに溶解し、さらに2,2'−アゾビスイソブチロニトリル3.0gおよび2,2'−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)4.0gを投入し、その後15分間窒素パージした。窒素パージの後、反応液を攪拌および窒素バブリングしながら80℃に加熱し、この温度を保持して5時間重合することにより、重合体[B−10]を33重量%含む溶液を得た。この重合体[B−10]のポリスチレン換算重量平均分子量(Mw)は11,000、オキセタニル基含有量は2.8ミリモル/g、重合性不飽和結合含有量は2.2ミリモル/gであった。
Figure 0005417994
<(E)アルカリ可溶性樹脂の合成>
合成例20
冷却管と攪拌機を備えたフラスコに、メタクリル酸20.0g、2−ヒドロキシエチルメタクリレート15.0g、N−フェニルマレイミド15.0g、スチレン12.0g、ベンジルメタクリレート10.0gおよび2−エチルヘキシルメタクリレート28.0gをプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート200gに溶解し、さらに2,2'−アゾビスイソブチロニトリル3.0gおよびα−メチルスチレンダイマー5.0gを投入し、その後15分間窒素パージした。窒素パージの後、反応液を攪拌および窒素バブリングしながら80℃に加熱し、この温度を保持して5時間重合することにより、アルカリ可溶性樹脂[E−1]を33重量%含む溶液を得た。このアルカリ可溶性樹脂[E−1]のポリスチレン換算重量平均分子量(Mw)は11,000であった。
合成例21
冷却管と攪拌機を備えたフラスコに、メタクリル酸20.0g、N−フェニルマレイミド25.0g、スチレン15.0g、ベンジルメタクリレート5.0g、2−ヒドロキシエチルメタクリレート15.0gおよびアリルメタクリレート20.0gをプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート200gに溶解し、さらに2,2'−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)7.0gおよびα−メチルスチレンダイマー7.0gを投入し、その後15分間窒素パージした。窒素パージの後、反応液を攪拌および窒素バブリングしながら80℃に加熱し、この温度を保持して5時間重合することにより、アルカリ可溶性樹脂[E−2]を33重量%含む溶液を得た。このアルカリ可溶性樹脂[E−2]のポリスチレン換算重量平均分子量(Mw)は10,000であった。
合成例22
冷却管と攪拌機を備えたフラスコに、メタクリル酸15.0g、アセナフチレン30.0g、ベンジルメタクリレート35.0gおよびグリセロールモノメタクリレート20.0gをプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート200gに溶解し、さらに2,2'−アゾビスイソブチロニトリル4.0gおよびα−メチルスチレンダイマー6.0gを投入し、その後15分間窒素パージした。窒素パージの後、反応液を攪拌および窒素バブリングしながら80℃に加熱し、この温度を保持して5時間重合することにより、アルカリ可溶性樹脂[E−3]を33重量%含む溶液を得た。このアルカリ可溶性樹脂[E−3]のポリスチレン換算重量平均分子量(Mw)は13,000であった。
合成例23
冷却管と攪拌機を備えたフラスコに、p−ビニルベンジルグリシジルエーテル44.0g、N−フェニルマレイミド40.0g、ベンジルメタクリレート16.0gをプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート300gに溶解し、さらに2,2'−アゾビスイソブチロニトリル8.0gおよびα−メチルスチレンダイマー8.0gを投入し、その後15分間窒素パージした。窒素パージの後、反応液を攪拌および窒素バブリングしながら80℃に加熱し5時間重合した。
次いで、この反応溶液にメタクリル酸17.0g、p−メトキシフェノール0.5gおよびテトラブチルアンモニウムブロマイド4.4gを添加し、120℃の温度で9時間反応させた。さらに、無水こはく酸18.5gを添加し、100℃の温度で6時間反応させた後、液温度を85℃に保持したまま2回水洗し、減圧濃縮を行うことにより、アルカリ可溶性樹脂[E−4]を33重量%含む溶液を得た。このアルカリ可溶性樹脂[E−4]のポリスチレン換算重量平均分子量(Mw)は7,800であった。
<比較合成例>
合成例24
上記合成例20で得られたアルカリ可溶性樹脂[E−1]を含む溶液200g、化合物(b5)としてグリシジルメタクリレート12.8g、重合禁止剤として4−メトキシフェノール0.2gおよび触媒としてテトラブチルアンモニウムブロマイド2.0gをフラスコに仕込み、110℃の温度で9時間反応させた。この反応液につき、1回当たり75gのイオン交換水で4回水洗し、減圧濃縮を行うことにより、重合体[R−1]を33重量%含有する溶液を得た。重合体[R−1]のポリスチレン換算重量平均分子量(Mw)は12,500であった。
<感放射線性組成物の調製および評価>
実施例1
感放射線性組成物の調製
(A)着色剤として顔料分散液(A−1)100.0重量部、重合体(B)として重合体[B−1] を含む溶液(固形分濃度33%)40.0重量部、(C)光重合開始剤としてチバ・スペシャルティー・ケミカルズ社製イルガキュア907(2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モルフォリノプロパン−1−オン)4.3重量部、(D)重合性不飽和結合を有する単量体として東亞合成株式会社製M−402(ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート)5.4重量部と東亞合成株式会社製TO−1382(ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとこはく酸とのモノエステル化物、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートならびにジペンタエリスリトールペンタアクリレートの混合物)3.6重量部、(E)アルカリ可溶性樹脂としてアルカリ可溶性樹脂[E−1]10.0重量部とアルカリ可溶性樹脂[E−4]4.0重量部、溶媒として3−エトキシプロピオン酸エチル81.0重量部を混合して、着色層形成用組成物を調製した。
得られた感放射線性組成物について、下記の手順にしたがって評価を行った。評価結果を表3に示す。
パターンの形成
得られた感放射線性組成物を、表面にナトリウムイオンの溶出を防止するSiO2膜が形成されたソーダガラス基板に、スピンコーターを用いて塗布したのち、90℃のホットプレート上で2分間プレベークを行って、膜厚1.7μmの塗膜を形成した。
次いで、基板を室温に冷却したのち、高圧水銀ランプを用い、幅5〜50μmの範囲でサイズの相異なる複数のスリットを有するフォトマスクを介して、塗膜に365nm、405nmおよび436nmの各波長を含む紫外線を40mW/cm2の照度で露光した。このときの露光量は500J/m2であった。その後、基板を23℃の0.04重量%水酸化カリウム水溶液を用いて1分間シャワー現像したのち、超純水で洗浄して風乾した。その後、220℃のクリーンオーブン内で30分間ポストベークを行なって、基板上に赤色のストライプ状画素パターンが配列された画素アレイを形成した。
残渣の評価
上記パターンの形成において得られた基板を観察し、未露光部に残渣が残っているかどうかにつき、以下の三段階で評価した。
○:残渣が認められない。
△:残渣が少し認められる。
×:残渣が多く認められる。
現像耐性の評価
上記パターンの形成において、幅50μmの画素パターンの現像前後での膜厚比(現像後の膜厚/現像前の膜厚)が95%以上である場合を○、現像前後での膜厚比が95%未満であるか、あるいはドットパターンの一部に欠けが認められる場合を△、現像後にパターンが全て基板から剥がれる場合を×、として評価した。
電圧保持率の評価
得られた感放射線性組成物を、表面にナトリウムイオンの溶出を防止するSiO2膜が形成され、さらにITO(インジウム−酸化錫合金)電極を所定形状に蒸着したソーダガラス基板上に、スピンコーターを用いて塗布したのち、90℃のクリーンオーブン内で10分間プレベークを行って、膜厚1.8μmの塗膜を形成した。
次いで、高圧水銀ランプを用い、フォトマスクを介さずに、塗膜に365nm、405nmおよび436nmの各波長を含む放射線を500J/m2の露光量で露光した。その後、この基板を23℃の0.04重量%水酸化カリウム水溶液からなる現像液に1分間浸漬して、現像したのち、超純水で洗浄して風乾し、さらに230℃で30分間ポストベークを行い塗膜を硬化させて、基板上に赤色の画素を形成した。
次いで、液晶セルを60℃の恒温層に入れて、液晶セルの電圧保持率を、東陽テクニカ製液晶電圧保持率測定システムVHR−1A型(商品名)により測定した。このときの印加電圧は5.0Vの方形波、測定周波数は60Hzである。ここで電圧保持率とは、(16.7ミリ秒後の液晶セル電位差/0ミリ秒で印加した電圧)の値である。評価結果を表3に示す。
耐溶剤性評価
上記パターンの形成において得られた基板を、60℃のN−メチルピロリドンに30分間浸漬した。その結果、浸漬前後での膜厚比(浸漬後の膜厚/浸漬前の膜厚)が95%以上100%以下であり且つ浸漬後のN−メチルピロリドンが全く着色しなかった場合を○、浸漬前後での膜厚比が95%未満であるかあるいは浸漬後のN−メチルピロリドンが若干着色した場合を△、浸漬後にクラックが発生したり基板から剥離したりする画素パターンが観察された場合を×、として評価した。
実施例2〜12および比較例1〜8
実施例1において、表3に示すように各成分の種類および含有量(重量部)を変更した以外は実施例1と同様にして、感放射線性組成物を調製した。
次いで、得られた感放射線性組成物を用いて、実施例1と同様にして各種評価を行った。結果を表3に示す。
表3において、各成分は下記のとおりである。
C−1:2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モルフォリノプロパン−1−オン(商品名イルガキュア907、チバ・スペシャルティー・ケミカルズ社製)
C−2:エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)(商品名IRGACURE OX02、チバ・スペシャルティー・ケミカルズ社製)
D−1:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(商品名M−402、東亞合成株式会社製)
D−2:ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとこはく酸とのモノエステル化物、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートならびにジペンタエリスリトールペンタアクリレートの混合物(商品名TO−1382、東亞合成株式会社製)
D−3:ペンタエリスリトールテトラアクリレート(商品名M−450、東亞合成社製)EEP:3−エトキシプロピオン酸エチル
MBA:3−メトキシブチルアセテート
Figure 0005417994
表3より、成分(B)[オキセタニル基および重合性不飽和結合を有する重合体]を含有する本発明の感放射線性組成物は、低露光量であっても十分な現像耐性を有し、さらに耐溶剤性にも優れていることがわかる。これに対し、オキセタニル基、重合性不飽和結合のいずれか一方のみを有する共重合体を含有する感放射線性組成物やオキセタニル基を有する共重合体を含まない感放射線性組成物は、現像耐性及び耐溶剤性が十分でない。アルカリ可溶性樹脂を配合することがより好ましく、また、成分(B)が有する重合性不飽和結合は、アリル基よりも(メタ)アクリロイル基の方がより好ましいことがわかる。また、本発明の感放射線性組成物を用いて成形されたカラーフィルタは電圧保持率も高いことがわかる。

Claims (8)

  1. (A)着色剤、(B)オキセタニル基および重合性不飽和結合を有する重合体、並びに(C)光重合開始剤を含有することを特徴とする着色層形成用感放射線性組成物。
  2. (B)オキセタニル基および重合性不飽和結合を有する重合体が、オキセタニル基および(メタ)アクリロイル基を有する重合体である、請求項1に記載の着色層形成用感放射線性組成物。
  3. (B)オキセタニル基および重合性不飽和結合を有する重合体が、
    (B−1)(b1)オキセタニル基を有する重合性不飽和化合物および(b2)水酸基を有する重合性不飽和化合物を含有してなる単量体の共重合体に、(b3)不飽和イソシアネート化合物を反応させて得られる重合体、
    (B−2)(b1)オキセタニル基を有する重合性不飽和化合物および(b4)不飽和カルボン酸を含有してなる単量体の共重合体に、(b5)オキシラニル基を有する重合性不飽和化合物を反応させて得られる重合体、ならびに
    (B−3)(b1)オキセタニル基を有する重合性不飽和化合物および(b5)オキシラニル基を有する重合性不飽和化合物を含有してなる単量体の共重合体に、(b4)不飽和カルボン酸を反応させて得られる重合体よりなる群から選ばれる少なくとも1種である、請求項1または2に記載の着色層形成用感放射線性組成物。
  4. さらに(D)重合性不飽和結合を有する単量体を含有する請求項1〜3のいずれかに記載の着色層形成用感放射線性組成物。
  5. さらに(E)アルカリ可溶性樹脂(但し、上記(B)成分を除く。)を含有する請求項1〜4のいずれかに記載の着色層形成用感放射線性組成物。
  6. (A)着色剤として、C.I.ピグメントレッド254、C.I.ピグメントグリーン58およびカーボンブラックよりなる群から選ばれる少なくとも1種を含有する請求項1〜5のいずれかに記載の着色層形成用感放射線性組成物。
  7. 請求項1〜6のいずれかに記載の着色層形成用感放射線性組成物を用いて形成された着色層を備えてなるカラーフィルタ。
  8. 請求項7に記載のカラーフィルタを具備するカラー液晶表示素子。
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