JPH1078663A - 着色用感光性樹脂組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 露光後における現像時間の許容範囲を拡げた
ままで、かつ化学的、経済的に安定性の良い着色用感光
性樹脂組成物の提供。 【解決手段】 （ａ）アルカリ水溶液に可溶もしくは少
なくとも膨潤するポリマー、（ｂ）活性線照射重合開始
剤、（ｃ）熱架橋剤、（ｄ）顔料および（ｅ）溶剤を必
須成分とし、追加的に一般式（１） 【化１】 （式中、Ｒ¹ 〜Ｒ⁶ は同一または異なる有機基または水
素原子を示す。ただし、Ｒ¹ 〜Ｒ⁶ のいずれかは有機基
である。）で表されるオルガノシロキサン化合物の少な
くとも１種類を含む着色用感光性樹脂組成物。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、着色画像を形成す
るための着色感光性樹脂組成物に関し、特に液晶表示素
子、撮像素子等に用いられるカラーフィルターの製造に
有用な、着色感光性樹脂組成物に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に液晶表示素子や撮像素子等に用い
られるカラーフィルターは、ガラス等の透明な基板上
に、例えばモザイク状あるいはストライプ状の画素を配
置したものであり、その製法として染色法(T. Uchida
等: Record of International Display Res.Conf. (198
2) 166: IEEE Trans. ED-30 (1983) 503) 、電着法(M.
Suginoya et al: Proc. Japan Display '83 (1983) 20
6) 、印刷法( 津田、等：第13回液晶討論会予稿集(198
7) 22)、顔料分散法等が提案されている。

【０００３】これらの内、顔料分散法は、感光性樹脂に
顔料を分散して、これを基板に塗布、乾燥後、活性線照
射、現像を行うことで着色画像を形成するもので、単純
なプロセスで耐久性の高いカラーフィルターを製造する
ことができるという長所を有する。上記顔料分散法に用
いられる感光性樹脂としては、例えば特開昭６０−２３
７４０３号公報などで開示されている感光性ポリイミド
樹脂、特開平１−２００３５３号、特開平４−７３７３
号および特開平４−９１１７３号各公報などに記載され
ているアクリル系ポリマーとアジド化合物からなる感光
性樹脂、特開平１−１５２４４９号公報などに記載され
ているアクリレートモノマー、有機ポリマーバインダー
および光重合開始剤からなるラジカル重合型の感光性樹
脂、あるいは特開平４−１６３５５２号公報等で開示さ
れているフェノール樹脂、Ｎ−メチロール構造をもつ架
橋剤および光酸発生剤からなる化学増幅型感光性樹脂な
ど種々のものが提案されている。

【０００４】オルガノシロキサン化合物やその誘導体を
用いた感光性樹脂組成物としては以下の内容のものが知
られている。特開平６−２７３６１６号公報には、シロ
キサンポリマーをベースポリマーとして光重合開始剤と
熱または光によるシロキサンポリマー同士の高分子化反
応を利用した、感光性樹脂組成物が報告されており、耐
熱性、透明性の向上が記載されている。

【０００５】特開平２−８０４号公報には、段差を有す
る基板上への均一な塗膜を可能とするためにオルガノポ
リシロキサン化合物の添加が開示されている。また特開
平６−７３１６０号、特開平７−１１１３２号公報に
は、オルガノポリシロキサンとアミノ基を有する化合物
またはイミド前駆体を有する化合物の共重合体を用いる
感光性樹脂組成物が記載されており、耐熱性、平滑性、
透明性、密着性の改善が図られている。しかし後者の公
報の技術は、合成工程が増えるために、多大な費用を要
するという欠点を有している。

【０００６】特開平７−２４４３７７号公報では、ジメ
チルシロキサンのポリマーの片末端に重合性不飽和基を
有するマクロモノマーを含有する着色画像形成材料が密
着性、耐湿性に優れていると報告がなされている。しか
し、上記公報では、露光後における現像時間の許容範囲
を広げて製造効率を向上させ得ることには触れられてい
ない。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の課題
は、露光後における現像時間の許容範囲を広げ、製造効
率を向上させ、かつ化学的、経済的に安定性の良い着色
用感光性樹脂組成物を提供することである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記の状
況に鑑みて鋭意研究を重ねた結果、感光性樹脂組成物
に、特定のオルガノシロキサン化合物の少なくとも一種
を添加することにより、活性線の照射後、現像時におけ
る許容時間が著しく拡がった安定な感光性樹脂組成物が
得られることを見出した。ここで現像時間の許容範囲
は、現像液が、感光性樹脂組成物塗膜の未露光部分を完
全に溶解した時から、その後露光部分が溶解あるいは剥
離するまでの時間をいう。

【０００９】従って、本発明は、（ａ）アルカリ水溶液
に可溶もしくは少なくとも膨潤するポリマー、（ｂ）活
性線照射重合開始剤、（ｃ）熱架橋剤、（ｄ）顔料およ
び（ｅ）溶剤を必須成分とする着色用感光性樹脂組成物
において、追加的に一般式（１）

【００１０】

【化２】

【００１１】（式中、Ｒ¹ 〜Ｒ⁶ は同一または異なる有
機基または水素原子を示す。ただし、Ｒ¹ 〜Ｒ⁶ のいず
れかは有機基である。）で表されるオルガノシロキサン
化合物の少なくとも１種類を含むことを特徴とする、上
記着色用感光性樹脂組成物に関する。ここで、シロキサ
ンの重合度が大きすぎると十分な効果が得られないた
め、ｎは９以下が好ましい。ｎが９を超えると、現像融
度の改善の点で十分な効果が得られない。

【００１２】Ｒ¹ およびＲ⁶ は互いに同一であるかまた
は異なり、非置換のアルキル基または置換基としてのア
ミノ基、ハロゲン基、シアノ基、水酸基、メルカプト
基、グリコシドキシ基、エポキシ基、フェニル基、カル
ボキシル基、シクロヘキシル基、アクリロキシメチル
基、メタクリロキシ基で置換されたアルキル基であり、
これらのアルキル基がエーテル結合、エステル結合を含
んでいてもよい。

【００１３】Ｒ² 〜Ｒ⁵ は互いに同一であるかまたは異
なり、炭素数１〜１０の弗素原子によって置換されてい
てもよいアルキル基、またはフェニル基である。Ｒ¹ お
よびＲ⁶ のより好ましい置換基としてはアミノ基、カル
ボキシル基、メルカプト基、グリコシドキシ基で置換さ
れた炭素数２〜１０のアルキル基である。

【００１４】本発明で使用されるオルガノシロキサン化
合物は単独でも、またはそれらを組合せても使用するこ
とができ、その使用量は、〔必須成分（ａ）〜（ｄ）＋
オルガノシロキサン化合物〕の総計を基準として０．０
１〜１０重量％、好ましくは０．１〜３重量％程度であ
る。本発明の着色用感光性樹脂組成物の組成は、顔料を
含むネガ型レジストにも適用可能である。

【００１５】本発明の組成物の（ａ）成分としては、ノ
ボラック樹脂、ヒドロキシスチレン等のフェノール樹
脂、スチレン−無水マレイン酸共重合体、ポリビニルヒ
ドロキシベンゾエート、カルボキシル基含有（メタ）ア
クリル系樹脂、（メタ）アクリル酸と（メタ）アクリル
酸エステルの共重合体、さらにこれらの重合体に重合可
能な不飽和結合を導入したものなどが挙げられる。

【００１６】更に詳しくはフェノールまたはクレゾール
とホルムアルデヒドとの縮合物（ノボラック樹脂）、Ｃ
₁ 〜Ｃ₄ −アルキル基、ハロゲン原子等で置換されてい
てもよいポリビニルフェノール、例えばポリ（４−ヒド
ロキシスチレン）、アクリル酸またはメタクリル酸と下
記一般式で示されるモノマーの少なくとも一種との共重
合体、あるいはこれらのポリマーのブレンドが挙げられ
る。

【００１７】

【化３】

【００１８】〔式中、Ｒ³⁰は、１〜３０個の炭素原子を
有するアルキル基、シクロアルキル基、芳香族炭化水素
基、水酸基もしくは下記一般式

【００１９】

【化４】

【００２０】（式中、ｍは１〜１０の整数であり、ｎは
１〜５の整数である）で示される基を有する１〜１５個
の炭素原子を有するアルキル基または水酸基を有する芳
香炭化水素基を示す。〕

【００２１】

【化５】

【００２２】

【化６】

【００２３】（式中、Ｒ³¹は、Ｒ³⁰と同じ基を示す）

【００２４】

【化７】

【００２５】（式中、Ｒ³²は、１〜１５個の炭素原子を
有するアルキル基、芳香族炭化水素基、水酸基を有する
１〜１５個の炭素原子を有するアルキル基または水酸基
を有する芳香族炭化水素基を示す）。（ｂ）成分の活性
線照射重合開始剤としては、アジド化合物、ハロメチル
オキサゾール系化合物、ハロメチル-s- トリアジン化合
物、オニウム塩、ベンゾインエーテル類、ベンゾフェノ
ン類、キサントン類、アセトフェノン誘導体等種々のも
のが使用できる。

【００２６】アジド化合物の具体例としては、次のもの
が挙げられる。4,4'- ジアジドスチルベン、4,4'- ジア
ジドスチルベン-2,2'-ジスルホン酸-N,N- ジエチレンオ
キシエチルアミド、4,4'- ジアジドスチルベン-2,2'-ジ
スルホン酸-N- プロピルヒドロキシアミド、4,4'- ジア
ジドスチルベン-2,2'-ジスルホン酸、4,4'- ジアジドス
チルベン-2,2'-ジスルホン酸-N,N- ジエチルアミド、4,
4'- ジアジドスチルベン-2,2'-ジスルホン酸ナトリウム
塩等のアジドスチルベン類およびその誘導体；2,6-ジ-
(p-アジドベンザル)-シクロヘキサノン、2,6-ジ-(p-ア
ジドベンザル)-4-メチルシクロヘキサノン、2,6-ジ-(p-
アジドベンザル)-4-tert- アミルシクロヘキサノン、2,
6-ジ-(p-アジドシンナミリデン)-4-tert- アミノシクロ
ヘキサノン等のアジドベンザルシクロヘキサノン類およ
びその誘導体；アジドシンナミリデンシクロヘキサノン
類及びその誘導体；p-アジドベンザルアセトフェノン、
p-アジドベンザルアセトン、4,4'- ジアジドカルコン、
2,6-ビス(4'-アジドベンザル) アセトン、2,6-ビス(4'-
アジドベンザル) アセトン-2'-スルホン酸-N,N- ジエチ
レンオキシエチルアミド、2,6-ビス（4'- アジドベンザ
ル）−アセトン-2,2'-ジスルホン酸-N,N- ジエチレンオ
キシエチルアミド等のアジドベンザルケトン類およびそ
の誘導体等。

【００２７】また、ポリマー鎖にアジド基を導入したも
のを用いることもできる。ハロメチルオキサゾール系化
合物としては、2-トリクロロメチル-5- スチリル-1,3,4
- オキサジアゾール、2-トリクロロメチル-5-(p-シアノ
スチリル)-1,3,4-オキサジアゾール、2-トリクロロメチ
ル-5-(p-メトキシスチリル)-1,3,4-オキサジアゾール等
が挙げられる。

【００２８】また、ハロメチル-s- トリアジン化合物と
しては、特にトリハロメチル-s- トリアジン化合物、例
えば2,4-ビス( トリクロロメチル)-6-p-メトキシスチリ
ル-s- トリアジン、2,4-ビス( トリクロロメチル)-6-(1
-p- ジメチルアミノフェニル-1,3- ブタジエニル)-s-ト
リアジン、2,4-ビス( トリクロロメチル)-6-(p- フェニ
ルスチリル)-s-トリアジン、2,4-ビス( トリクロロメチ
ル)-6-スチリル-s- トリアジン、2,4-ビス( トリクロロ
メチル)-6-フェニル-s- トリアジン、2 〔2'(5'-メチル
フリル) エチリデン〕-4,6- ビス( トリクロロメチル)-
s-トリアジン、2(2'- フリルエチリデン)-4,6-( トリク
ロロメチル)-s-トリアジン、5,7-ビス(トリブロモメチ
ル)-s-トリアゾロ〔1,5-a 〕ピリミジン等が挙げられ
る。

【００２９】これらは、単独で用いてもよいし、複数組
み合わせて用いてもよい。また、ベンゾインエーテル類
としては、例えばベンゾインメチルエーテル、ベンゾイ
ンイソブチルエーテル等が挙げられる。ベンゾフェノン
類としては、例えばアセトフェノン、2,2-ジメトキシ-2
- フェニルアセトフェノン、1,1-ジクロロアセトフェノ
ン、ミヒラーズケトン、o-ベンゾイルメチルベンゾエー
ト等が挙げられる。キサントン類としては、例えばキサ
ントン、チオキサントン、2-クロロチオキサントン、2-
アルキルチオキサントン、2,4-ジアルキルチオキサント
ン等が挙げられる。

【００３０】アセトフェノン誘導体としては、例えばア
セトフェノン、トリクロロアセトフェノン、2,2-ジエト
キシアセトフェノン、2,2-ジメトキシ-2- フェニルアセ
トフェノン等が挙げられる。アジドとしては、例えば4,
4'- ジアジドスチルベン、4,4'- ジアジドスチルベン-
2,2'-ジスルホン酸-N,N- ジエチレンオキシエチルアミ
ド、p-アジドベンザルアセトフェノン、アジドカルコン
等が挙げられる。

【００３１】オニウム塩としては、種々のスルホニウム
塩、ヨードニウム塩、ジアゾニウム塩が挙げられ、具体
例としては、トリフェニルスルホニウムトリフルオロメ
タンスルホネート、ベンジル-4- ヒドロキシフェニルメ
チルスルホニウムヘキサフルオロホスフェート、α−ナ
フチルメチル-4- ヒドロキシフェニルメチルスルホニウ
ムヘキサフルオロホスフェート（またはヘキサフルオロ
アンチモネート）、ジフェニル-t- ブチルフェニルスル
ホニウムトリフルオロメタンスルホネート、ジフェニル
メトキシフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモ
ネート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアン
チモネート、ジ-t- ブチルフェニルヨードニウムトリフ
ルオロメタンスルホネート（またはヘキサフルオロアン
チモネート、またはテトラフルオロボレート）、メトキ
シフェニルフェニルヨードニウムトリフルオロメタンス
ルホネート、ジフェニルヨードニウムトリフルオロメタ
ンスルホネート、アミノフェニルベンゼンジアゾニウム
テトラフルオロボレート、ピレンジアゾニウムテトラフ
ルオロボレート等が挙げられる。

【００３２】これらは単独で用いてもよいし、複数組み
合わせてもよい。また、ｂ）成分の活性照射重合開始剤
の感度向上のために増感剤を組み合わせて用いてもよ
い。増感剤としては、2-ニトロフルオレン、2,4,7-トリ
ニトロフルオレノン、ベンズアンスロン、ピクラミド、
1,2-ベンズアンスラキノン、11- クロロ-6- ヒドロキシ
ベンズアンスロン、フェナンスランキノン、4-(4- ブト
キシフェニル)-2,6-ジフェニルチオピリリウムパークレ
ート等が例示される。

【００３３】また、（ｃ）成分の熱架橋剤としては、ブ
ロックイソシアネートあるいはアルコキシ、アシロキシ
のような同種または異種の少なくとも二つの残基を有す
る化合物、例えばビス−、トリス−またはテトラ−（ヒ
ドロキシメチル）置換芳香族化合物または複素環式芳香
族化合物、ビス−、トリス−またはテトラ−（アセトキ
シメチル）置換芳香族化合物または複素環式芳香族化合
物、N-ヒドロキシメチル基を有するメラミン、N-アルコ
キシメチル基を有するメラミンまたはN-アシロキシメチ
ル基を有するメラミンや、ノボラック型エポキシ樹脂、
ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ハロゲン化ビスフェ
ノールＡ型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂等のエポ
キシ基を含む化合物、ポリビニルブチラール等のアセタ
ール樹脂が用いられる。これらは単独で用いてもよい
し、二種以上を組み合わせて用いてもよい。

【００３４】本発明において、（ｄ）の顔料としては、
例えばアントラキノン系、ペリレン系等の縮合多環顔
料、フタロシアニン顔料、アゾ顔料等の有機顔料の他、
カーボンブラック等の無機顔料も使用できる。これらは
単独または二種以上を混合して用いることができる。ま
た、本発明においては、混合物中の顔料を分散させるの
に分散剤を用いることが好ましい。予め顔料を表面処理
する形で顔料に内添させて用いることもできるし、ある
いは顔料に外添する形で用いることもできる。このよう
なものとしては、非イオン性、アニオン性またはカチオ
ン性の分散剤が用いられる。具体的には、ポリアルキレ
ングリコールおよびそのエステル、ポリオキシアルキレ
ン、多価アルコールエステルアルキレンオキシド付加
物、アルコールアルキレンオキシド付加物、アルキルフ
ェノールアルキレンオキシド付加物、スルホン酸エステ
ル、スルホン酸塩、カルボン酸エステル、カルボン酸
塩、アルキルアミドアルキレンオキシド付加物、アルキ
ルアミン等が挙げられる。これらは単独で添加してもよ
いし、二種以上組み合わせて添加してもよい。また、ロ
ジン、不飽和カルボン酸で変性されたロジン等も用いら
れる。なお、分散剤の添加量は、好ましくは顔料１重量
部に対して０〜２０重量％である。

【００３５】本発明において、（ｅ）成分の溶剤として
は、エチルセロソルブ、プロピレングリコールメチルエ
ーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）、エチルラクテート、
ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、
シクロヘキサノン、プロピレングリコールメチルエーテ
ル等が用いられ、単独あるいは混合溶剤いずれの形で用
いてもよい。なお、本発明の混合物には、さらに安定
剤、酸化防止剤等を添加することもできる。

【００３６】以上、（ａ）成分から（ｅ）成分の必須成
分を含む感光性樹脂の具体例としては、特開昭５９−２
２２８３３号公報などで開示されているフェノール樹脂
とアジド化合物からなる感光性樹脂や、特開昭６０−２
３７４０３号公報などで開示されている感光性ポリイミ
ド樹脂、特開平１−２００３５３号、特開平４−７３７
３号および特開平４−９１１７３号公報などに記載され
ているアクリル系ポリマーとアジド化合物からなる感光
性樹脂、特開平１−１５２４４９号公報などに記載され
ているアクリレートモノマー、有機ポリマーバインダー
および光重合開始剤からなるラジカル重合型の感光性樹
脂、あるいは特開平４−１６３５５２号公報等で開示さ
れているフェノール樹脂、N-メチロール構造をもつ架橋
剤および光酸発生剤からなる化学増幅型感光性樹脂など
がある。

【００３７】本発明の感光性組成物は、カラーフィルタ
ー用のガラス基板上に、スピンコート、ローラーコー
ト、スプレーコート等の適当な方法により、例えば０．
５〜１０μｍの厚さに塗布し、コート層を形成する。し
かる後に、その層にカラーフィルターに必要なパターン
を映すように活性線を照射する。照射に用いる光源とし
ては、例えば、１９０ｎｍ〜４５０ｎｍ、好ましくは２
００ｎｍ〜４００ｎｍ領域のＵＶ照射が使用できるが、
電子線およびＸ線照射も好適である。照射の後、前記コ
ート層を現像液で処理し、コート層の未照射部分を溶解
し、カラーフィルターに必要なパターンを出現させる。
このような工程を必要な色数に応じて繰り返すことによ
り、所望のパターンを有するカラーフィルターが得られ
る。また、上記工程において、現像により得た画像パタ
ーンをさらに加熱あるいは、活性線照射等により硬化さ
せ、耐クラック性、耐溶剤性等を向上させることも可能
である。前記において現像液としては、例えばアルカリ
金属および／またはアルカリ土類金属、特にアンモニウ
ムイオンのケイ酸塩、メタケイ酸塩、水酸化物、リン酸
水素塩、アンモニア等を使用する。なお、金属イオンを
含まない現像剤として、例えばＵＳＰ４，７２９，９４
１号、ＥＰ−Ａ６２，７３３号明細書等に記載の公知の
ものを使用することができる。また、現像時に顔料残渣
の除去を補助する目的で、現像液に界面活性剤、洗浄
剤、有機溶剤等を添加してもよい。上記目的で現像液に
添加するものとしては、例えばノニオン系活性剤、イオ
ン系活性剤、アルコール、カルボン酸、アミンおよびそ
れらの誘導体が挙げられ、具体的には、ポリアルキレン
グリコールおよびそのエステル、ポリオキシアルキレ
ン、多価アルコールエステルアルキレンオキシド付加
物、アルコールアルキレンオキシド付加物、アルキルフ
ェノールアルキレノキシド付加物、スルホン酸エステ
ル、スルホン酸塩、カルボン酸エステル、カルボン酸
塩、アルキルアミドアルキレンオキシド付加物、アルキ
ルアミン等が挙げられる。これらは単独で添加してもよ
いし、二種以上組み合わせて添加してもよい。なお、こ
の場合の添加量は、好ましくは現像液に対して０．１〜
０．３０重量％である。

【００３８】ところで本発明において、現像時間の許容
範囲が拡がる理由については定かでない。しかしなが
ら、これまでに得られた知見によると、従来の感光性樹
脂組成物では現像時間の超過により基板とパターンの間
に現像液が浸入し、パターンの剥がれやエッジの欠損が
起こるため、現像時間を正確に制御する必要があった。
一方、本発明では、一般式（１）で表されるオルガノシ
ロキサン化合物の少なくとも一種の化合物を含有するこ
とで、基板とパターンの接着性が向上し、従来の現像時
間超過によるパターンの剥離やエッジの欠損が防止さ
れ、よって現像時間の許容範囲が拡がり、良好な画像形
成ができる。また、本発明の組成物で用いられるオルガ
ノシロキサン化合物は、シランカップリング剤のように
アルコキシシラン部を必要としないため、経時的安定性
のよい組成物を得ることができる。オルガノシロキサン
の平均重合度が低いものの接着性が向上する原因として
は定かでないが、ガラスなどの基板面に配列して、ま
た、オルガノシロキサンの有機基部が樹脂側に配列する
ためだと考えられる。この時、平均重合度が大きいと相
対的にオルガノシロキサンの有機基部と樹脂の接する部
分が少なくそしてオルガノシロキサンのシロキサン部分
と樹脂の接する部分が大きくなり、接着性が低下すると
考えられる。

【００３９】従って、本発明の組成物を用いることによ
り、カラーフィルターの製造工程における歩留まりや生
産性の向上および経時安定性の向上が可能となり、工業
上の利用価値は極めて大きい。

【００４０】

【実施例】以下、実施例により本発明をさらに具体的に
説明する。なお、本発明はこれらの実施例に限定される
ものではない。実施例１ ：カラーフィルター製造用の透明基板として、
洗浄したガラス基板を用い、一方、着色感光性樹脂組成
物として、下記のように作成した。

【００４１】ポリヒドロキシスチレン（平均分子量約２
０，０００）：４０ｇ 4,4-ジアジドスチルベン-2,2'-ジスルホン酸-N,N- ジエ
チレンオキシエチルアミド：１５ｇ 溶剤をＰＧＭＥＡとしたカーボンブラック分散液（顔料
含率２０重量％）：３０５ｇ ヘキサメトキシメチルメラミン（熱架橋剤）：６ｇ （１，３−ビス（３−アミノプロピル）−１，１，３，
３−テトラメチルジシロキサン）（東芝シリコーン社Ｔ
ＳＬ９３０６：分子量２４８．５）：２ｇ 上記組成物に対して、溶剤としてプロピレングリコール
メチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）を加え、上記
非溶剤成分が１６重量％含有される組成物を調製した。

【００４２】前記の組成物をガラス基板上に膜厚約１．
０μｍにスピン塗布した。次いで、ホットプレート上で
８０℃で１分間乾燥させた。着色感光性樹脂層を所定形
状のマスクを介して、高圧水銀灯で空気雰囲気下で露光
した。次いで、パターン露光した着色感光性樹脂層を、
５％のポリオキシエチレンフェニルエーテルを含む０．
０４規定度の水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液で
現像して、着色パターンを得た。

【００４３】この時、現像時間の許容範囲は、２０秒か
ら５０秒である。溶液組成物調製の１週間後も全く同じ
結果が得られた。凝集物は観察されなかった。実施例２ 実施例 1のカーボンブラック分散液３０８ｇおよび
（１，３−ビス（３−アミノプロピル）−１，１，３，
３−テトラメチルジシロキサン）０．５ｇを用いたこと
以外は、実施例１を繰り返して、同様に組成物を調製
し、実施例１に準じて、ガラス基板へ塗布、乾燥、露
光、現像を行った。この時、現像時間の許容範囲は、２
０秒から４０秒であった。溶液組成物調製の１週間後も
全く同じ結果が得られた。凝集物も観察されなかった。

【００４４】実施例３ 実施例 1のカーボンブラック分散液３０５ｇおよび
（１，３−ビス（３−アミノプロピル）−１，１，３，
３−テトラメチルジシロキサン）６ｇを用いたこと以外
は、実施例１を繰り返して、同様に組成物を調製し、実
施例１に準じてガラス基板へ塗布、乾燥、露光、現像を
行った。この時、現像時間の許容範囲は、２０秒から５
０秒であった。溶液組成物調製の１週間後も全く同じ結
果が得られた。凝集物も観察されなかった。

【００４５】比較例１ 実施例 1のカーボンブラック分散液の添加量を３０５ｇ
を使用しそしてオルガノシロキサン化合物を添加しない
こと以外は、実施例１を繰り返して、同様に組成物を調
製し、実施例１に準じてガラス基板へ塗布、乾燥、露
光、現像を行った。この時、現像時間の許容範囲は、１
５秒から２０秒であった。

【００４６】実施例４ 1,3 −ビス(3- アミノプロピル) −1,1,3,3 −テトラメ
チルジシロキサンの代わりに、下記で表されるα，ω−
ビス（３−アミノプロピル）ポリジメチルシロキサン
〔製造元：東芝シリコーン社、ＴＳＬ９３８６、分子量
８０２〕２g

【００４７】

【化８】

【００４８】平均重合度ｍ＝８ を用いたこと以外は、実施例１を繰り返して、同様に組
成物を調製し、実施例１に準じてガラス基板へ塗布、乾
燥、露光、現像を行った。この時、現像時間の許容範囲
は、２０秒から３５秒であった。比較例２ 実施例４で使用したα，ω−ビス（３−アミノプロピ
ル）ポリジメチルシロキサンと同じ化学式で表せるが、
ｎが１８．８である化合物〔製造元：信越シリコーン
社、商品名Ｘ−２２−１６１Ａ、アミン価から算出され
る分子量１５６４〕２g を用いたことを除いて、実施例
４を繰り返し、同様に組成物を調製し、実施例１に準じ
てガラス基板へ塗布、乾燥、露光、現像を行った。この
時、現像時間の許容範囲は、１５秒から２０秒であっ
た。

【００４９】実施例５ オルガノシロキサン化合物として下記式で表される１，
３−ビス（３−グリコシドキシプロピル）−１，１，
３，３−テトラメチルジシロキサン〔製造元：東芝シリ
コーン社、商品名ＴＳＬ ９９０６、分子量：３６２．
６〕６gを用いたこと以外は、実施例３を繰り返して、
同様に組成物を調製し、実施例１に準じてガラス基板へ
塗布、乾燥、露光、現像を行った。この時、現像時間の
許容範囲は、１５秒から２５秒であった。

【００５０】以上、実施例１〜５と比較例１〜２から、
カーボンブラック分散液を用いた場合、本発明では、現
像の許容時間が３０秒間から１０秒間であるのに対し、
比較例では、５秒間であった。実施例６ カーボンブラック分散液の代わりに、溶剤をＰＧＭＥＡ
として青、赤、緑各色顔料分散液（各液顔料含率１７重
量％）をそれぞれ等重量比で混合したもの３９４ｇを用
いたこと以外は、実施例１を繰り返して、同様に組成物
を調製し、実施例１に準じてガラス基板へ塗布、乾燥、
露光、現像を行った。この時、現像時間の許容範囲は、
５０秒から１２０秒であった。

【００５１】実施例７ 着色感光性樹脂組成物として以下のものを混合に用い
た。 実施例６で用いた青、赤、緑の各色顔料分散液 ２００g メタクリル酸−メタクリル酸メチル共重合体のグリシジル −メタアクリレート付加物（酸価８０、分子量２０，０００、二重 結合当量４５０） ９５g ２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−スチリル−ｓ−トリアジン １０g ヘキサメトキシメチルメラミン ５g １，３−ビス（３−カルボキシプロピル）−１，１，３，３−テトラ メチルシロキサン １．５g 上記の組成物に溶剤としてＰＧＭＥＡを加え、上記非溶
剤成分が２０重量% となる組成物を調製した。

【００５２】この組成物を用い実施例１に準じてガラス
基板へ塗布、乾燥、露光、現像を行った。この時、現像
時間の許容範囲は６０〜１２０秒であった。比較例３ 実施例８において、１，３−ビス（３−カルボキシプロ
ピル）−１，１，３，３−テトラメチルジシロキサンを
加えないで、以下同様に行ったところ、その現像時間の
許容範囲は６０〜７５秒であった。

【００５３】実施例８ 実施例７において、１，３−ビス（３−カルボキシプロ
ピル）−１，１，３，３−テトラメチルジシロキサンの
代わりに１，３−ビス（３−メルカプトプロピル）−
１，１，３，３−テトラメチルジシロキサンを用いて、
以下同様に行ったところ、その現像時間の許容範囲は６
０〜１２０秒であった。

【００５４】以上、実施例６〜８と比較例３から、青、
赤、緑の各色顔料分散液を用いた場合、本発明では現像
の許容時間が７０秒から６０秒であるのに対し、比較例
３では１５秒であった。このことから、本発明による感
光性樹脂組成物によると、現像時間の許容範囲が著しく
広がり、カラーフィルターの効率的な製造に有用である
ことが裏付けられた。

フロントページの続き (72)発明者 南條 有紀 埼玉県川越市南台１−３−２ ヘキストイ ンダストリー株式会社先端材料技術研究所 内 (72)発明者 野崎 優子 埼玉県川越市南台１−３−２ ヘキストイ ンダストリー株式会社先端材料技術研究所 内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 （ａ）アルカリ水溶液に可溶もしくは少
   なくとも膨潤するポリマー、（ｂ）活性線照射重合開始
   剤、（ｃ）熱架橋剤、（ｄ）顔料および（ｅ）溶剤を必
   須成分とする着色用感光性樹脂組成物において、追加的
   に一般式（１） 【化１】 （式中、Ｒ¹ 〜Ｒ⁶ は同一または異なる有機基または水
   素原子を示す。ただし、Ｒ¹ 〜Ｒ⁶ のいずれかは有機基
   である。）で表されるオルガノシロキサン化合物の少な
   くとも１種類を含むことを特徴とする、上記着色用感光
   性樹脂組成物。
2. 【請求項２】 一般式（１）で表される化合物の平均重
   合度ｎが１〜９である請求項１に記載の着色用感光性樹
   脂組成物。
3. 【請求項３】 一般式（１）で表されるオルガノシロキ
   サン化合物が、Ｒ¹およびＲ⁶ の少なくとも一方の基が
   アミノ基を持つ有機基である化合物である請求項１に記
   載の着色用感光性樹脂組成物。
4. 【請求項４】 必須成分の（ａ）〜（ｄ）＋オルガノシ
   ロキサン化合物の総計を基準として０．０１〜１０重量
   ％のオルガノシロキサン化合物を含む請求項１〜３のい
   ずれかに記載の着色用感光性樹脂組成物。