JPWO2013145043A1 - ビルドアップ基板およびその製造方法ならびに半導体集積回路パッケージ - Google Patents
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Abstract
Description
(i)配線パターンを備えた回路基板の両面または片面に対して、光反応性の金属酸化物前駆体原料を塗布し、その光反応性の金属酸化物前駆体原料を乾燥処理に付して絶縁膜を形成する工程、
(ii)絶縁膜を露光・現像処理に付すことを通じて絶縁膜にバイアホール用開口部を形成する工程、
(iii)「バイアホール用開口部が形成された絶縁膜」を熱処理に付して絶縁膜を無機金属酸化物膜とし、それによって無機金属酸化物膜から成るビルドアップ絶縁層を得る工程、ならびに
(iv)ビルドアップ絶縁層に対して全体的にめっき処理を施すことによって前記開口部にバイアホールを形成すると共にビルドアップ絶縁層上に金属層を形成し、その金属層にはエッチング処理を施してビルドアップ配線パターンを形成する工程
を含み、
(v)前記の工程(i)〜(iv)を少なくとも1回以上繰返し行う、ビルドアップ基板の製造方法が提供される。
ビルドアップ絶縁層が、光反応性の金属酸化物前駆体原料から形成された無機金属酸化物膜から構成されている。
(製造プロセス態様1)
製造プロセス態様1として、図1および図2を参照しながら本発明のビルドアップ基板の製造方法について説明する。
次に、製造プロセス態様2として、図5および図6を参照して本発明のビルドアップ基板の製造方法について説明する(説明の重複を避けるため“製造プロセス態様1”と同様の事項は原則除いて説明する)。
次に、製造プロセス態様3として、図7(a)〜(h)を参照して本発明のビルドアップ基板の製造方法について説明する(説明の重複を避けるため“製造プロセス態様1”および“製造プロセス態様2”と同様の事項は原則除いて説明する)。
本発明の製造方法では、工程(iii)における絶縁膜の加熱処理(例えば焼成処理)が250℃以下であることが望ましい。なぜなら、配線パターンを有する回路基板の選択肢が広がるからである。例えばガラスエポキシ樹脂に限らず、PPS、PENなどの有機フィルムをベースとするフレキシブル基板を利用することが可能となる。また、工程(iii)における絶縁膜の加熱処理(例えば焼成処理)は、その雰囲気条件が真空雰囲気もしくは不活性ガス雰囲気であることが望ましい。なぜなら、銅などの配線パターンの酸化を防止できるからである。
次の本発明の特徴部分の1つである「光反応性の金属酸化物前駆体原料」について詳述する。
次に、本発明のビルドアップ基板および半導体集積回路パッケージについて説明する。
本発明のビルドアップ基板100は、上述の製造方法で得られる基板である。図8に示されるように、配線パターン103を備えた回路基板104の両面または片面にてビルドアップ絶縁層106とビルドアップ配線パターン110(電極層)とが積層しており、ビルドアップ絶縁層106が、「光反応性の金属酸化物前駆体原料から形成された無機金属酸化物膜」から構成されている。ビルドアップ層106は、1層に限らず、複数の層設けられていてよい(尚、ビルドアップ層に設けられているバイアホール109は、異なる層の配線パターン層同士を電気的に相互接続するために供されている)。上述したように、本発明のビルドアップ基板100では、ビルドアップ絶縁層106の“金属酸化物の無機膜”が、例えば、酸化アルミニウム、酸化ケイ素、酸化マグネシウムおよびそれらの化合物から成る群から選択される少なくとも1種を含んで成っている。また、ビルドアップ絶縁層106は、その厚さが好ましくは1μm以上かつ20μm以下、より好ましくは1μm以上かつ15μm以下、更に好ましくは1μm以上かつ10μm以下となっている(場合によってはビルドアップ絶縁層の厚さは1μm未満にも成り得る)。このようなビルドアップ絶縁層は、絶縁性および熱伝導性に優れる層としてより好適に機能を発揮し得る。また、薄いビルドアップ絶縁層に起因して、モバイル用途における電子機器の薄型化には大きく貢献する(あくまでも1つの例示にすぎないが、ビルドアップ絶縁層が20μmの厚さであった場合、それが10層積層しても積層厚さが0.2mm程度になるにすぎず、薄い基板が実現される)。
本発明では、極めて薄いビルドアップ基板が提供される。かかる基板は、上述の「製造プロセス態様2(図5〜6参照)」で得られる多層ビルドアップ基板100’である(図10参照)。
本発明のビルドアップ基板は、ビルドアップ絶縁層が「光反応性の金属酸化物前駆体原料」に起因して、極めて薄くなっており、有機系絶縁材では得られない高い絶縁性を有しているので、更に高い機能を発揮させることができる。例えば、図12に示すように、トランジスタをビルドアップ基板内又は表層に備えたビルドアップ基板が実現される。
第1態様:回路基板上に絶縁層と配線パターン層とが積層されたビルドアップ基板の製造方法であって、
(i)配線パターンを備えた回路基板の両面または片面に対して、光反応性の金属酸化物前駆体原料を塗布し、該光反応性の金属酸化物前駆体原料を乾燥処理に付して絶縁膜を形成する工程、
(ii)前記絶縁膜を露光および現像処理に付すことを通じて該絶縁膜にバイアホール用開口部を形成する工程、
(iii)前記絶縁膜を熱処理に付して該絶縁膜を金属酸化物膜とし、それによって該金属酸化物膜から成るビルドアップ絶縁層を得る工程、ならびに
(iv)前記ビルドアップ絶縁層に対してめっき処理を施すことによって前記開口部にバイアホールを形成すると共に前記ビルドアップ絶縁層上に金属層を形成し、該金属層にエッチング処理を施してビルドアップ配線パターンを形成する工程
を含んで成り、
(v)前記(i)〜(iv)の工程を少なくとも1回以上繰返し行う、ビルドアップ基板の製造方法。
第2態様:上記第1態様において、前記工程(iii)における前記絶縁膜の前記熱処理を500℃以下かつ100℃以上の温度で行うことを特徴とするビルドアップ基板の製造方法。例えば、絶縁膜の熱処理を好ましくは400℃以下、より好ましくは300℃以下、例えば250℃以下の温度で行ってよい。これにつき1つ例示すると、“焼成”に付すことによって絶縁膜を金属酸化物絶縁膜とし、それによってビルドアップ絶縁膜を得てよい。
第3態様:上記第1態様または第2態様において、前記工程(iii)における前記絶縁膜の前記熱処理を真空下もしくは不活性ガス雰囲気下で行うことを特徴とするビルドアップ基板の製造方法。
第4態様:上記第1態様〜第3態様のいずれかにおいて、前記工程(i)で用いる前記光反応性の金属酸化物前駆体原料が、感光性ゾルゲル原料を含んで成ることを特徴とするビルドアップ基板の製造方法。
第5態様:上記第4態様において、前記工程(i)で用いる前記光反応性の金属酸化物前駆体原料が、アルコキシド化合物を含んで成ることを特徴とするビルドアップ基板の製造方法。
第6態様:上記第5態様において、前記(iii)では、前記アルコキシド化合物の加水分解反応を通じて、該アルコキシド化合物から前記金属酸化物膜を得ることを特徴とするビルドアップ基板の製造方法。
第7態様:上記第1態様〜第6態様のいずれかにおいて、前記工程(i)で用いる前記光反応性の金属酸化物前駆体原料が、無機ネットワーク中に有機官能基を含んだハイブリッド材料を含んで成ることを特徴とするビルドアップ基板の製造方法。
第8態様:上記第7態様において、前記ハイブリッド材料が、有機官能基を含んだシロキサンオリゴマーであることを特徴とするビルドアップ基板の製造方法。
第9態様:上記第1態様〜第8態様のいずれかにおいて、前記工程(i)では、前記光反応性の金属酸化物前駆体原料の前記塗布をスプレー法またはスリットコータ法によって行うことを特徴とするビルドアップ基板の製造方法。これは「感光性の金属酸化物前駆体原料」がペースト形態ないしは液体形態を有し得るので、光反応性の金属酸化物前駆体原料をスプレー法またはスリットコータ法によって塗布することができることを意味している。
第10態様:上記第1態様〜第9態様のいずれかにおいて、前記回路基板が、配線パターンを備えた金属箔または有機フィルムから構成されており、
前記工程(i)では、前記回路基板の片面に前記光反応性の金属酸化物前駆体原料を塗布し、また
前記工程(v)の後において、前記金属箔または前記有機フィルムを除去することを特徴とするビルドアップ基板の製造方法。かかる第10態様の製造方法では、コア基板の無いビルドアップ基板を得ることができる。つまり、極めて薄い多層ビルドアップ基板を得ることができる。
第11態様:上記第1態様〜第10態様のいずれかにおいて、前記工程(iv)に代えて、(iv)’として、前記ビルドアップ絶縁層の表面にレジストを形成した後で該ビルドアップ絶縁層および該レジストに対して全体的にめっき処理を施し、最終的に該レジストを除去することによって、該レジストの非形成部に前記バイアホールおよび前記ビルドアップ配線パターンを設けることを特徴とするビルドアップ基板の製造方法。つまり、本発明の製造方法では、バイアホールおよびビルドアップ配線パターンは、レジストを用いることを通じて形成してもよい。
第12態様:上記第1態様〜第11態様のいずれかにおいて、前記光反応性の金属酸化物前駆体原料が、Al2O3、SiO2、MgOおよびTiO2から成る群から選択される材料から成る粒子(粒径:0.1μm〜0.5μm)を含んで成ることを特徴とするビルドアップ基板の製造方法。
第13態様:ビルドアップ基板であって、
配線パターンを備えた回路基板の両面または片面にてビルドアップ絶縁層とビルドアップ配線パターンとが積層しており、
前記ビルドアップ絶縁層が、光反応性の金属酸化物前駆体原料から形成された金属酸化物膜から成る、ビルドアップ基板。
第14態様:上記第13態様において、前記ビルドアップ絶縁層の前記金属酸化物膜が、酸化アルミニウム、酸化ケイ素および酸化マグネシウムから成る群から選択される少なくとも1種の金属酸化物を含んで成ることを特徴とするビルドアップ基板。
第15態様:上記第13態様または第14態様において、前記ビルドアップ絶縁層が1μm以上かつ20μm以下の厚さを有していることを特徴とするビルドアップ基板。つまり、本発明におけるビルドアップ絶縁層は、その厚さが例えば1μm以上かつ20μm以下と非常に薄い絶縁層を成し得る。
第16態様:上記第13態様〜第15態様のいずれかにおいて、前記回路基板の絶縁性基板部(絶縁部)が有機材料から成り、該絶縁性基板部(絶縁部)を貫通する少なくとも1つの貫通スルーホールが該回路基板に設けられていることを特徴とするビルドアップ基板。
第17態様:上記第16態様において、前記絶縁性基板部の前記有機材料が、エポキシ樹脂、フェノール樹脂およびポリイミド樹脂から成る群から選択される少なくとも1種を含んで成ることを特徴とするビルドアップ基板。
第18態様:上記第13態様〜第15態様のいずれかにおいて、前記回路基板の絶縁性基板部(絶縁部)が無機材料から成り、該絶縁性基板部(絶縁部)を貫通する少なくとも1つの貫通スルーホールが該回路基板に設けられていることを特徴とするビルドアップ基板。
第19態様:上記第18態様において、前記絶縁性基板部の前記無機材料が、ガラス成分およびセラミック成分から成る群から選択される少なくとも1種を含んで成ることを特徴とするビルドアップ基板。
第20態様:上記第19態様において、前記ガラス成分が、硼ケイ酸ガラス、アルミノケイ酸ガラスおよびアルミノ硼ケイ酸ガラスから成る群から選択される少なくとも1種のガラス成分であることを特徴とするビルドアップ基板。
第21態様:上記第19態様において、前記セラミック成分が、アルミナ、ムライトおよびジルコニアから成る群から選択される少なくとも1種のセラミック成分となっていることを特徴とするビルドアップ基板。
第22態様:上記第13態様〜第21態様のいずれかにおいて、前記ビルドアップ基板にトランジスタ素子が設けられており、
前記ビルドアップ絶縁層の前記金属酸化物膜の少なくとも一部がゲート絶縁膜として作用し、
前記ビルドアップ基板が、
前記金属酸化物膜の上にて金属酸化物半導体から構成された半導体膜、
前記半導体膜上と接するように前記ビルドアップ配線パターンの少なくとも一部から構成されたソース電極・ドレイン電極、および
前記ゲート絶縁膜の「前記半導体膜を形成した面の反対面側」に位置する前記ビルドアップ配線パターンの少なくとも一部から構成されたゲート電極
を有して成ることを特徴とするビルドアップ基板。
第23態様:上記第13態様〜第22態様のいずれかにおいて、前記ビルドアップ絶縁層の前記金属酸化物膜が、Al2O3、SiO2、MgOおよびTiO2から成る群から選択される材料から成る粒子(粒径:0.1μm〜0.5μm)を含んで成ることを特徴とするビルドアップ基板。
第24態様:上記第13態様〜第23態様のいずれかのビルドアップ基板を有して成る半導体集積回路パッケージであって、
バンプを介して前記ビルドアップ絶縁層上の前記ビルドアップ配線パターンに対して半導体ベアチップがフリップチップ実装されている、半導体集積回路パッケージ。
● 本発明に係るビルドアップ基板の製造方法では、コアとなる回路基板の両面または片面にて感光性の金属酸化物前駆体溶液から絶縁膜を形成し、バイアホール用開口部の加工を行った後、焼成などの加熱処理により金属酸化物絶縁膜を得るので、薄く絶縁信頼性に優れたビルドアップ絶縁膜を得ることができる。
● 感光性の金属酸化物前駆体溶液を塗布し、乾燥の後、一括してマスク露光し、更に現像処理で一括してバイアホール用開口部の加工が行えるので、バイアホールの位置精度が良好であり、且つ5〜20μm程度の小径化バイアホールが安価に大型基板サイズで簡易に得ることができる。さらに、ビルドアップ絶縁膜として緻密な金属酸化物絶縁膜が得られるので、有機物のような残渣が生じず、ビルドアップ基板のようなデスミア処理は不要となる。加えて、金属酸化物前駆体溶液を塗布する工程が、スプレー法やスリットコータ法によって行うことできるので、均一な製膜が大きさサイズで簡易に行うことができる。
● 本願発明の製造方法によれば、金属酸化物前駆体膜の焼成を好ましくは250℃以下の低温度で行うことができる。このため、各種のコア用回路基板の選択が自由である。本発明の基板構成としては絶縁材料層と配線パターン層とが積層しており、絶縁材料層が、感光性の無機金属酸化物前駆体膜を焼成して得られる無機ビルドアップ絶縁材からなり、それゆえ、緻密で絶縁性及び絶縁信頼性に優れている。このように、本発明に係るビルドアップ基板は、薄く微細な配線パターンに対応でき、かつ高い弾性率と高い信頼性の絶縁膜を備えている。
● 無機のビルドアップ絶縁層は、焼成などの加熱処理により酸化アルミニウム、酸化ケイ素、酸化マグネシウムなどから形成され得るので、絶縁信頼性に優れるばかりか、高い熱伝導性がもたらされ、高集積半導体パッケージ用のビルドアップ基板として望ましい。また例えば、ビルドアップ絶縁層が、無機ネットワーク中に分子レベルで有機官能基を有する無機/有機ハイブリッド材料より構成される場合では、容易に感光性などの機能を付与することが可能で、無機材料としての耐熱性、配線パターンとの接着性などの利点を踏襲しながら、容易なバイアホール加工性が得られる。また、金属酸化物膜のビルドアップ絶縁膜であるため、1μm以上かつ20μm以下の薄さでも高い弾性率と緻密絶縁膜とを具備した基板が得られることになり、モバイル用途などに好適な薄型半導体パッケージが実現される。
● 本発明の基板構成では、配線パターンを有する回路基板として、有機材料を絶縁材とするものが利用できるので、ある程度の屈曲性を発揮できる。これにより高い絶縁信頼性と柔軟性とを備えたビルドアップ基板が実現される。一方、配線パターンを有する回路基板が、無機材料のガラス基板の場合、ビルドアップ絶縁層及び配線パターンの全てが無機材料からなるため、基板としての信頼性が増すばかりか、熱膨張係数もシリコン半導体に近いため、高い実装信頼性が得られる。さらに、回路基板の絶縁材がセラミック基板であると、ガラス基板と同様、シリコン半導体と同程度の熱膨張係数となり、高い信頼性を有するビルドアップ基板が実現され、かつ熱伝導度に優れたビルドアップ基板が実現される。
● 本発明では、無機金属酸化膜から成る絶縁材料層が好適に利用されたトランジスタ素子を含んだビルドアップ基板を実現することができ、能動素子も含む多機能なビルドアップ基板が供される。
● 本発明では、ビルドアップ基板に半導体ベアチップがバンプを介してフリップチップ実装されている半導体集積回路パッケージも提供されるが、基板部分が無機金属酸化物膜と配線パターンとで構成されているため、耐熱性と熱伝導性に優れ、かつ半導体チップの熱膨張とほぼ一致した高い実装信頼性を有す高集積した半導体パッケージを実現することができる。
●本発明に係るビルドアップ基板は、大型の薄い基板とした場合であっても、高い弾性および適度な熱膨張性のため、ビルドアップ基板の割れやクラックなどが抑制されている。このように、本発明のビルドアップ基板は薄く大型化しても割れ・クラックや反りなどが抑制されるので、本発明に従えばプリント基板の製造インフラを利用してビルドアップ基板の製造を好適に行うことができる。
● 更には、本発明のビルドアップ基板は、金属酸化物の絶縁材として利用するので、種々の誘電率を選択できる(1つ例示すると、ε=2.5程度)。低誘電率材を選択した場合、高周波特性に優れた基板となり得る。
● このように、本発明では、従来のビルドアップ基板では得られない格別な効果がある。即ち、本発明の無機系ビルドアップ絶縁膜は、微細な配線化、薄型化に伴う絶縁材料の絶縁信頼性に優れ、かつ感光性と現像、加熱処理により一括してバイアホール形成が行えるので、レーザ加工法のような高価な装置が不要であり、高い加工位置精度が実現できるばかりか、バイアホールの好適な小径化(1つ例示すると、径サイズ20μm以下)を実現することができる。
101 絶縁性基板部
102 バイアホール/ビア/貫通スルーホール
103 配線パターン
104 回路基板
105 絶縁膜(金属酸化物前駆体膜)
106 ビルドアップ絶縁膜(金属酸化物の無機膜)
107 バイアホール用開口部
108 金属層
109 めっき充填バイアホール/ビア
110 ビルドアップ配線パターン
201 ステージ
202 基板
203 スプレーノズル
204 貯留タンク
205 金属酸化物前駆体原料
206 供給配管
207 圧縮ポンプ
208 配管
209 スプレー噴霧
210 スプレー法で形成される塗布膜
301 ステージ
302 基板
303 スリットコータノズル
304 マニホールド
305 スリット
306 貯留タンク
307 配管
308 ポンプ
310 スリットコータ法で形成される塗布膜
400、400’ 半導体集積回路パッケージ(高集積半導体パッケージ)
414、414’ 半導体チップ
415、415’ はんだバンプ
500 離型キャリア
501 配線パターン
601a〜d ビルドアップ絶縁層(無機金属酸化物膜)
602 バイアホール/ビア
603 配線パターン
604a〜c 金属酸化物半導体
605a〜c ドレイン電極
606a〜c ソース電極
607a〜c ゲート電極
608 コンデンサ層
701 絶縁性基板部
702 バイアホール
703 配線パターン
704 回路基板
705 絶縁膜(金属酸化物前駆体膜)
706 ビルドアップ絶縁膜(無機金属酸化物膜)
707 バイアホール用開口部
708 レジスト
710 金属層/ビルドアップ配線パターン
711 めっき充填バイアホール/ビア
Claims (22)
- 回路基板上に絶縁層と配線パターン層とが積層されたビルドアップ基板の製造方法であって、
(i)配線パターンを備えた回路基板の両面または片面に対して、光反応性の金属酸化物前駆体原料を塗布し、該光反応性の金属酸化物前駆体原料を乾燥処理に付して絶縁膜を形成する工程、
(ii)前記絶縁膜を露光および現像処理に付すことを通じて該絶縁膜にバイアホール用開口部を形成する工程、
(iii)前記絶縁膜を熱処理に付して該絶縁膜を金属酸化物膜とし、それによって該金属酸化物膜から成るビルドアップ絶縁層を得る工程、ならびに
(iv)前記ビルドアップ絶縁層に対してめっき処理を施すことによって前記開口部にバイアホールを形成すると共に前記ビルドアップ絶縁層上に金属層を形成し、該金属層にエッチング処理を施してビルドアップ配線パターンを形成する工程
を含んで成り、
(v)前記(i)〜(iv)の工程を少なくとも1回以上繰返し行う、ビルドアップ基板の製造方法。 - 前記工程(iii)における前記絶縁膜の前記熱処理を500℃以下かつ100℃以上の温度で行うことを特徴とする、請求項1に記載のビルドアップ基板の製造方法。
- 前記工程(iii)における前記絶縁膜の前記熱処理を真空下もしくは不活性ガス雰囲気下で行うことを特徴とする、請求項1に記載のビルドアップ基板の製造方法。
- 前記工程(i)で用いる前記光反応性の金属酸化物前駆体原料が、感光性ゾルゲル原料を含んで成ることを特徴とする、請求項1に記載のビルドアップ基板の製造方法。
- 前記工程(i)で用いる前記光反応性の金属酸化物前駆体原料が、アルコキシド化合物を含んで成ることを特徴とする、請求項4に記載のビルドアップ基板の製造方法。
- 前記(iii)では、前記アルコキシド化合物の加水分解反応を通じて、該アルコキシド化合物から前記金属酸化物膜を得ることを特徴とする、請求項5に記載のビルドアップ基板の製造方法。
- 前記工程(i)で用いる前記光反応性の金属酸化物前駆体原料が、無機ネットワーク中に有機官能基を含んだハイブリッド材料を含んで成ることを特徴とする、請求項1に記載のビルドアップ基板の製造方法。
- 前記ハイブリッド材料が、有機官能基を含んだシロキサンオリゴマーであることを特徴とする、請求項7に記載のビルドアップ基板の製造方法。
- 前記工程(i)では、前記光反応性の金属酸化物前駆体原料の前記塗布をスプレー法またはスリットコータ法によって行うことを特徴とする、請求項1に記載のビルドアップ基板の製造方法。
- 前記回路基板が、配線パターンを備えた金属箔または有機フィルムから構成されており、
前記工程(i)では、前記回路基板の片面に前記光反応性の金属酸化物前駆体原料を塗布し、また
前記工程(v)の後において、前記金属箔または前記有機フィルムを除去することを特徴とする、請求項1に記載のビルドアップ基板の製造方法。 - 前記工程(iv)に代えて、(iv)’として、前記ビルドアップ絶縁層の表面にレジストを形成した後で該ビルドアップ絶縁層および該レジストに対して全体的にめっき処理を施し、最終的に該レジストを除去することによって、該レジストの非形成部に前記バイアホールおよび前記ビルドアップ配線パターンを設けることを特徴とする、請求項1に記載のビルドアップ基板の製造方法。
- ビルドアップ基板であって、
配線パターンを備えた回路基板の両面または片面にてビルドアップ絶縁層とビルドアップ配線パターンとが積層しており、
前記ビルドアップ絶縁層が、光反応性の金属酸化物前駆体原料から形成された金属酸化物膜から成る、ビルドアップ基板。 - 前記ビルドアップ絶縁層の前記金属酸化物膜が、酸化アルミニウム、酸化ケイ素および酸化マグネシウムから成る群から選択される少なくとも1種の金属酸化物を含んで成ることを特徴とする、請求項12に記載のビルドアップ基板。
- 前記ビルドアップ絶縁層が1μm以上かつ20μm以下の厚さを有していることを特徴とする、請求項12に記載のビルドアップ基板。
- 前記回路基板の絶縁性基板部が有機材料から成り、該絶縁性基板部を貫通する少なくとも1つの貫通スルーホールが該回路基板に設けられていることを特徴とする、請求項12に記載のビルドアップ基板。
- 前記絶縁性基板部の前記有機材料が、エポキシ樹脂、フェノール樹脂およびポリイミド樹脂から成る群から選択される少なくとも1種を含んで成ることを特徴とする、請求項15に記載のビルドアップ基板。
- 前記回路基板の絶縁性基板部が無機材料から成り、該絶縁性基板部を貫通する少なくとも1つの貫通スルーホールが該回路基板に設けられていることを特徴とする、請求項12に記載のビルドアップ基板。
- 前記絶縁性基板部の前記無機材料が、ガラス成分およびセラミック成分から成る群から選択される少なくとも1種を含んで成ることを特徴とする、請求項17に記載のビルドアップ基板。
- 前記ガラス成分が、硼ケイ酸ガラス、アルミノケイ酸ガラスおよびアルミノ硼ケイ酸ガラスから成る群から選択される少なくとも1種のガラス成分であることを特徴とする、請求項18に記載のビルドアップ基板。
- 前記セラミック成分が、アルミナ、ムライトおよびジルコニアから成る群から選択される少なくとも1種のセラミック成分となっていることを特徴とする、請求項18に記載のビルドアップ基板。
- 前記ビルドアップ基板にトランジスタ素子が設けられており、
前記ビルドアップ絶縁層の前記金属酸化物膜の少なくとも一部がゲート絶縁膜として作用し、
前記ビルドアップ基板が、
前記金属酸化物膜の上にて金属酸化物半導体から構成された半導体膜、
前記半導体膜上と接するように前記ビルドアップ配線パターンの少なくとも一部から構成されたソース電極・ドレイン電極、および
前記ゲート絶縁膜の前記半導体膜を形成した面の反対面側に位置する前記ビルドアップ配線パターンの少なくとも一部から構成されたゲート電極
を有して成ることを特徴とする、請求項12に記載のビルドアップ基板。 - 請求項12に記載のビルドアップ基板を有して成る半導体集積回路パッケージであって、
バンプを介して前記ビルドアップ絶縁層上の前記ビルドアップ配線パターンに対して半導体ベアチップがフリップチップ実装されている、半導体集積回路パッケージ。
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