JPWO2007135870A1 - 有機蒸着材料用蒸着装置、有機薄膜の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
蒸着容器212の内部には、粉体の有機蒸着材料200が配置されている。
有機蒸着材料200が蒸発温度以上の温度に加熱されると、蒸着容器212内に、有機材料蒸気が充満し、放出口224から真空槽211内に放出される。
上記のような蒸着容器は下記文献に記載されている。
また、発光層を形成する母材の有機化合物と、発色剤の有機化合物を混合した有機蒸着材料を蒸着容器212の内部に配置して成膜すると、蒸発温度が低い方が蒸気が放出され易いため、複数の基板205に成膜した後では、含有割合が加熱初期の状態から変化してしまい、加熱初期と複数の基板205に成膜した後とでは、放出口224から放出される有機材料蒸気の母材と発色剤の含有割合が大きく異なるという問題がある。
従って、従来技術の蒸着装置では、母材の蒸発容器と発色剤の蒸発容器は同じ真空槽内に別々に配置する必要があった。
また、本発明は、前記供給装置は、前記蒸着材料を貯留する貯留槽と、前記貯留槽の内部と前記搭載槽の内部を接続し、前記貯留槽内部の前記蒸着材料を前記搭載槽内部に移動させる接続装置とを有する蒸着装置である。
また、本発明は、前記貯留槽は、前記搭載槽上に配置され、前記貯留槽の内部と前記搭載槽の内部が接続されると、前記貯留槽内部の前記蒸着材料は、前記搭載槽内部の前記搬送装置上に落下して配置されるように構成された蒸着装置である。
また、本発明は、前記搭載槽の内部雰囲気を前記蒸着容器の内部雰囲気から隔離する隔離板を有する蒸着装置である。
また、本発明は、前記真空槽内には、成膜対象物を保持し、前記放出口と対面する位置を通過させる搬送機構が配置された蒸着装置である。
また、本発明は、真空槽内に配置された蒸着容器に有機蒸着材料を配置し、前記蒸着容器を加熱し、前記蒸着容器の放出口から前記有機蒸着材料の有機材料蒸気を放出させ、複数の成膜対象物に前記放出口と対面する位置を逐次通過させ、前記成膜対象物に有機薄膜を形成する有機薄膜の製造方法であって、前記蒸着容器内に前記有機蒸着材料を配置し、前記有機材料蒸気の放出を開始させ、前記成膜対象物への有機薄膜形成を開始した後、前記蒸着容器を前記真空槽内に配置した状態で、前記蒸着容器内に前記有機蒸着材料を供給する有機薄膜の製造方法である。
また、本発明は、前記成膜対象物毎に、前記有機蒸着材料を前記蒸着容器に供給する有機薄膜の製造方法である。
また、本発明は、前記蒸着容器に供給する前記有機蒸着材料は、前記有機蒸着材料の蒸発温度よりも低温で真空雰囲気中に保管しておく有機薄膜の製造方法である。
また、本発明は、前記有機蒸着材料は粉体の状態で供給する有機薄膜の製造方法である。
また、本発明は、前記蒸着容器に供給される前記有機蒸着材料の粉体には、異なる種類の有機化合物が混合された有機薄膜の製造方法である。
また、本発明は、前記有機蒸着材料は、粉体を固めた錠剤である有機薄膜の製造方法である。
また、本発明は、前記錠剤にされる前記有機蒸着材料の粉体には、異なる種類の有機化合物が混合された有機薄膜の製造方法である。
また、蒸着容器内に基板毎に有機蒸着材料を供給すれば、有機蒸着材料に異なる有機化合物を混合する場合でも、各基板に対する混合割合の変化はない。
5、105……成膜対象物(基板)
11、111……真空槽
12、112……蒸着容器
13a、13b……供給装置
14、114……基板搬送機構
23、123……加熱装置
24、124……放出口
30a、30b……搬送装置
32a、32b……搭載槽
33a、33b……密閉板
図1の斜視図、図2の概略断面図の符号1は、本発明の実施例であり、有機薄膜形成用の第一例の蒸着装置を示している。
この蒸着装置1は、真空槽11と、蒸着容器12と、一乃至複数台の供給装置13a、13bを有している(図1では真空槽11は省略してある)。
蒸着容器12は、真空槽11の内部に配置されている。
蒸着容器12は、細長の容器本体21と、細長の板状の蓋部22とを有している。容器本体21は、蓋部22によって蓋がされている。
貯留槽34a、34bの内部と、搭載槽32a、32bの内部は、接続装置39a、39bを介して接続可能に構成されている。
貯留槽34a、34bは、搭載槽32a、32bの上方に配置されている。
このとき、有機蒸着材料40a、40bは、制御装置によって設定された分量だけ接続装置39a、39bを通過するように構成されている。移動後は、接続装置39a、39bは閉状態にする。供給される有機蒸着材料40a、40bは、一定重量が供給されるように構成してもよいし、一定体積が供給されるように構成してもよい。
蒸着容器12内に移動された搬送装置30a、30bは、充満板26と容器本体21の底面との間に位置している。
有機蒸着材料が蒸気放出温度以上の温度に昇温すると、有機蒸着材料から有機材料蒸気が放出される。
真空槽11と、搭載槽32a、32bと、貯留槽34a、34bには真空排気系15がそれぞれ接続されており、真空排気系15を動作させると、真空槽11と、搭載槽32a、32bと、貯留槽34a、34bは真空排気される。真空排気により、蒸着容器12の内部の気体は、真空槽11を通って排出される。
貯留槽34a、34bは、搭載槽32a、32bの内部を介して真空排気するように構成してもよい。
貯留槽34a、34bには、予め有機蒸着材料40a、40bが配置されており、接続装置39a、39bを開け、一時貯留室34a、34b内の有機蒸着材料40a、40bを、予め設定された分量だけ落下させ、搬送装置30a、30bの収容部31a、31b上に配置する。
ホルダ10には、成膜面が放出口24と面する向きに、成膜対象物である基板5が保持されている。
ここでは、蒸着容器12の放出口24と対面する位置を、複数の基板5が一枚ずつ通過する。
密閉板33a、33bは、搬送装置30a、30bの内部と搭載槽32a、32bの内部とが接続された開口部分よりも大径であり、開口部分の周囲又は密閉板33a、33bの縁付近には、オーリングが配置されている。
なお、有機蒸着材料41a、41bが落下する位置の容器本体21の底面上には、受け皿を配置することができる。
移動管36a、36bには、開閉バルブ38a、38bが設けられている。
保管槽35a、35bから貯留槽34a、34b内に有機蒸着材料が供給されるときに攪拌装置51a、51bで攪拌するようにしてもよい。
容器本体121の開口は鉛直に配置された蓋部122によって塞がれている。蓋部122は、長手方向に沿って一乃至複数個の放出口124が列設されている。蓋部122の長手方向は鉛直であり、従って、放出口124は鉛直に配置されている。
ここでは、供給装置13a、13bは二個であり、一方が蒸着容器112の上端側に、他方が下端側に配置されている。
搭載槽32a、32b内に配置された搬送装置30a、30bは、容器本体121内の容器本体121の底面と充満板126の間の位置に挿入できるように構成されている。
貯留槽34a、34bの内部と、搭載槽32a、32bの内部は、接続装置39a、39bを介して接続可能に構成されており、接続装置39a、39bを開状態にし、搬送装置30a、30bの収容部31a、31bに、設定された量の有機蒸着材料41a、41bを乗せた状態で蒸着容器112の内部に挿入すると、有機蒸着材料41a、41bは、容器本体121等の蒸着容器112の輻射熱によって短時間で蒸発温度以上の温度に昇温され、搬送装置30a、30b上の有機蒸着材料41a、41bから有機材料蒸気が放出される。
基板105の通過後、収容部31a、31b上の有機蒸着材料41a、41bは蒸発して消滅する。
この錠剤状の有機蒸着材料60にも、母材の有機化合物と発色剤の有機化合物等の異なる有機化合物を一定の配合量で均一に分散して含有させることができる。
また、異なる化合物は母材と発色剤に限定されるものではない。
また、本発明は、前記供給装置は、前記蒸着材料を貯留する貯留槽と、前記貯留槽の内部と前記搭載槽の内部を接続し、前記貯留槽内部の前記蒸着材料を前記搭載槽内部に移動させる接続装置とを有する蒸着装置である。
また、本発明は、前記貯留槽は、前記搭載槽上に配置され、前記貯留槽の内部と前記搭載槽の内部が接続されると、前記貯留槽内部の前記蒸着材料は、前記搭載槽内部の前記搬送装置上に落下して配置されるように構成された蒸着装置である。
また、本発明は、前記搭載槽の内部雰囲気を前記蒸着容器の内部雰囲気から隔離する隔離板を有する蒸着装置である。
また、本発明は、前記真空槽の内部には、成膜対象物を保持し、前記放出口と対面する位置を通過させる基板搬送機構が配置された蒸着装置である。
また、本発明は、真空槽の内部に配置された蒸着容器に有機蒸着材料を配置し、前記蒸着容器を加熱し、前記蒸着容器の複数の放出口から前記有機蒸着材料の有機材料蒸気を放出させ、前記放出口と対面する前記成膜対象物に有機薄膜を形成する有機薄膜の製造方法であって、前記蒸着容器内に前記有機蒸着材料を配置し、前記有機材料蒸気の放出を開始させ、前記成膜対象物への有機薄膜形成を開始した後、前記蒸着容器を前記真空槽内に配置した状態で、前記蒸着容器内に前記有機蒸着材料を供給する有機薄膜の製造方法である。
また、本発明は、前記成膜対象物毎に、前記有機蒸着材料を前記蒸着容器に供給する有機薄膜の製造方法である。
また、本発明は、前記蒸着容器に供給する前記有機蒸着材料は、前記有機蒸着材料の蒸発温度よりも低温で真空雰囲気中に保管しておく有機薄膜の製造方法である。
また、本発明は、前記有機蒸着材料は粉体の状態で供給する有機薄膜の製造方法である。
また、本発明は、前記蒸着容器に供給される前記有機蒸着材料の粉体には、異なる種類の有機化合物が混合された有機薄膜の製造方法である。
また、本発明は、前記有機蒸着材料は、粉体を固めた錠剤である有機薄膜の製造方法である。
また、本発明は、前記錠剤にされる前記有機蒸着材料の粉体には、異なる種類の有機化合物が混合された有機薄膜の製造方法である。
また、本発明は、真空槽と、前記真空槽の内部に配置され、成膜対象物に対向する面に設けられた複数の放出口を有する中空の蒸着容器と、蒸着材料を貯留する貯留槽と、前記蒸着容器と前記貯留槽に接続された搭載槽と、前記貯留槽から前記搭載槽へ所定量の前記蒸着材料を移動させる接続装置と、前記搭載槽から前記蒸着容器に前記蒸着材料を移送する搬送装置と、前記蒸着容器を加熱し、前記蒸着容器の前記放出口から前記真空槽内に前記蒸着材料の蒸気を放出させる加熱装置と、を有する蒸着装置である。
また、本発明は、真空槽の内部に配置され、成膜対象物に対向した複数の放出口を有する中空の蒸着容器に有機蒸着材料を供給し、前記蒸着容器を加熱し、前記蒸着容器の複数の放出口から前記有機蒸着材料の有機材料蒸気を放出させ前記放出口と対面する前記成膜対象物に有機薄膜を形成する有機薄膜の製造方法であって、前記蒸着容器内に前記有機蒸着材料を配置し、前記有機材料蒸気の放出を開始させ、一枚もしくは決められた複数枚の成膜対象物への有機薄膜形成を終了した後、次の成膜対象物の成膜開始前に、前記蒸着容器を前記真空槽内に配置した状態で、前記蒸着容器内に前記有機蒸着材料を供給する有機薄膜の製造方法である。
Claims (12)
- 真空槽と、
前記真空槽の内部に配置された蒸着容器と、
蒸着材料が配置される供給装置と、
前記蒸着容器と前記供給装置に接続された搭載槽と、
前記搭載槽内と前記真空槽内との間を移動可能に構成され、前記搭載槽内に位置するときに前記供給装置から前記蒸着材料が供給されるように構成された搬送装置と、
前記蒸着容器を加熱し、前記蒸着容器内に位置する前記蒸着材料から材料蒸気を発生させ、前記蒸着容器の放出口から前記真空槽内に前記材料蒸気を放出させる加熱装置とを有する蒸着装置。 - 前記供給装置は、前記蒸着材料を貯留する貯留槽と、前記貯留槽の内部と前記搭載槽の内部を接続し、前記貯留槽内部の前記蒸着材料を前記搭載槽内部に移動させる接続装置とを有する請求項1記載の蒸着装置。
- 前記貯留槽は、前記搭載槽上に配置され、前記貯留槽の内部と前記搭載槽の内部が接続されると、前記貯留槽内部の前記蒸着材料は、前記搭載槽内部の前記搬送装置上に落下して配置されるように構成された請求項2記載の蒸着装置。
- 前記搭載槽の内部雰囲気を前記蒸着容器の内部雰囲気から隔離する隔離板を有する請求項1記載の蒸着装置。
- 前記真空槽の内部には、成膜対象物を保持し、前記放出口と対面する位置を通過させる搬送機構が配置された請求項1記載の蒸着装置。
- 真空槽の内部に配置された蒸着容器に有機蒸着材料を配置し、前記蒸着容器を加熱し、前記蒸着容器の放出口から前記有機蒸着材料の有機材料蒸気を放出させ、複数の成膜対象物に前記放出口と対面する位置を逐次通過させ、前記成膜対象物に有機薄膜を形成する有機薄膜の製造方法であって、
前記蒸着容器内に前記有機蒸着材料を配置し、前記有機材料蒸気の放出を開始させ、前記成膜対象物への有機薄膜形成を開始した後、前記蒸着容器を前記真空槽内に配置した状態で、前記蒸着容器内に前記有機蒸着材料を供給する有機薄膜の製造方法。 - 前記成膜対象物毎に、前記有機蒸着材料を前記蒸着容器に供給する請求項6記載の有機薄膜の製造方法。
- 前記蒸着容器に供給する前記有機蒸着材料は、前記有機蒸着材料の蒸発温度よりも低温で真空雰囲気中に保管しておく請求項6項記載の有機薄膜の製造方法。
- 前記有機蒸着材料は粉体の状態で供給する請求項6記載の有機薄膜の製造方法。
- 前記蒸着容器に供給される前記有機蒸着材料の粉体には、異なる種類の有機化合物が混合された請求項9記載の有機薄膜の製造方法。
- 前記有機蒸着材料は、粉体を固めた錠剤である請求項6記載の有機薄膜の製造方法。
- 前記錠剤にされる前記有機蒸着材料の粉体には、異なる種類の有機化合物が混合された請求項10記載の有機薄膜の製造方法。
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