FI118803B - Lähde, järjestely lähteen asentamiseksi sekä menetelmä lähteen asentamiseksi ja poistamiseksi - Google Patents

Lähde, järjestely lähteen asentamiseksi sekä menetelmä lähteen asentamiseksi ja poistamiseksi Download PDF

Info

Publication number
FI118803B
FI118803B FI20055189A FI20055189A FI118803B FI 118803 B FI118803 B FI 118803B FI 20055189 A FI20055189 A FI 20055189A FI 20055189 A FI20055189 A FI 20055189A FI 118803 B FI118803 B FI 118803B
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
source
chamber
tube
rod member
opening
Prior art date
Application number
FI20055189A
Other languages
English (en)
Swedish (sv)
Other versions
FI20055189A (fi
FI20055189A0 (fi
Inventor
Pekka Soininen
Original Assignee
Beneq Oy
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Beneq Oy filed Critical Beneq Oy
Priority to FI20055189A priority Critical patent/FI118803B/fi
Publication of FI20055189A0 publication Critical patent/FI20055189A0/fi
Priority to JP2008507108A priority patent/JP4819879B2/ja
Priority to RU2007137547/02A priority patent/RU2398048C2/ru
Priority to PCT/FI2006/050159 priority patent/WO2006111618A1/en
Priority to EP06725934A priority patent/EP1871923A4/en
Priority to US11/918,125 priority patent/US7922821B2/en
Priority to CN2006800135430A priority patent/CN101163815B/zh
Publication of FI20055189A publication Critical patent/FI20055189A/fi
Application granted granted Critical
Publication of FI118803B publication Critical patent/FI118803B/fi

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24Vacuum evaporation
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24Vacuum evaporation
    • C23C14/243Crucibles for source material
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/228Gas flow assisted PVD deposition
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B23/00Single-crystal growth by condensing evaporated or sublimed materials
    • C30B23/02Epitaxial-layer growth
    • C30B23/06Heating of the deposition chamber, the substrate or the materials to be evaporated
    • C30B23/066Heating of the material to be evaporated
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B25/00Single-crystal growth by chemical reaction of reactive gases, e.g. chemical vapour-deposition growth
    • C30B25/02Epitaxial-layer growth
    • C30B25/14Feed and outlet means for the gases; Modifying the flow of the reactive gases
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B35/00Apparatus not otherwise provided for, specially adapted for the growth, production or after-treatment of single crystals or of a homogeneous polycrystalline material with defined structure
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49826Assembling or joining
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/53Means to assemble or disassemble

Description

118803 Lähde, järjestely lähteen asentamiseksi sekä menetelmä lähteen asentamiseksi ja poistamiseksi
Keksinnön tausta
Keksintö liittyy patenttivaatimuksen 1 johdannon mukaiseen lähtee-5 seen, patenttivaatimuksen 18 johdannon mukaiseen järjestelyyn lähteen asentamiseksi kaasukasvatusreaktoriin sekä patenttivaatimuksen 30 johdannon mukaiseen menetelmään lähteen asentamiseksi kaasukasvatusreaktoriin. Erityisesti keksintö liittyy lähteeseen kaasukasvatusmenetelmiä varten, joka lähde on asetettavissa ainakin osittain kaasukasvatusreaktorissa olevan lähdeyhteen 10 tai lähdeyhteeseen yhteydessä lähdetilan sisälle, järjestelyyn lähteen asentamiseksi kaasukasvatusreaktoriin, joka jäijestely käsittää ainakin yhden kaasu-kasvatusreaktorin reaktioillaan yhteydessä olevan lähdeyhteen lähdettä varten sekä lähteen, joka on asennettavissa ainakin osittain lähdeyhteen tai lähdeyhteeseen yhteydessä lähdetilan sisälle, sekä menetelmään lähteen asentami-15 seksi ja poistamiseksi kaasukasvatusreaktorista.
Tehtäessä rakenteita kaasukasvatusmenetelmillä, kuten ALD- (Atomic Layer Deposition) ja muilla CVD-menetelmillä (Chemical Vapor Deposition) on lähdeaineet saatava kaasumaiseen muotoon ennen reaktorin reaktiollaan syöttämistä. Moniin prosesseihin ei ole olemassa sopivia nesteinä tai 20 kaasuina olevia iähdeaineita, joten tällaisissa prosesseissa on hyödynnettävä :T: kiinteitä aineita. Koska kiinteiden aineiden höyrynpaineet ovat varsin alhaisia :Y: (tyypillisesti alle 1 mbar huoneenlämpötilassa), pitää niitä lämmittää riittävän • m .....· höyrynpaineen aikaansaamiseksi. Tätä varten on suunniteltu kiinteitä lähteitä.
: .·. Tunnetun tekniikan mukaisesti kiinteät lähteet ovat olleet uuniin si- * · · ΓΥ 25 joitettavia putkia, joiden sisälle on puolestaan asetettu lähdeupokas. Tällaises-sa ratkaisussa reaktorin lähdeputkisto muodostuu monihaaraisesta kynttelik- · *···* kömäisesti putkituksesta, joka on edullisesti valmistettu lasista, ja jossa erilai set kiinteät lähteet ovat eri haaroissa, joita voidaan lämmittää itsenäisesti, ja ·· : *·· reaktorin reaktiotila kynttelikkömäisen putkiston jalassa. Kiinteiden lähteiden • * · ·*...·* 30 lataus suoritetaan työntämällä avonainen lähdeupokas esimerkiksi termoele- mentin avulla lähdeputken sisälle. Eräässä toisessa suoritusmuodossa läh- • · · deupokas sijoitettiin muovipussiin asetettaessa sitä lähdeputken sisälle, jotta • *!* lähdeaine ei hapettuisi tai reagoisi muun huoneilmassa olevan aineen kanssa • · · : tai puolestaan höyrystyisi huonetilaan.
35 Ongelmana yllä kuvatussa järjestelyssä on se, että kiinteän lähde- aineen asentaminen kaasukasvatusreaktoriin ei ole inertti toimenpide, vaan 2 118803 järjestely on altis kiinteän lähteen asentamisen ja poistamisen yhteydessä tapahtuvalle kontaminaatiolle, koska käytettävät kiinteät lähdeaineet saattavat olla hyvin reaktiivisia ja herkkiä hapelle ja kosteudelle sekä niistä voi höyrystyä haitallisia yhdisteitä. Lisäksi tämä tunnetun tekniikan mukainen ratkaisu kiinte-5 än lähteen asentamiseksi ja poistamiseksi on monimutkainen, epävarma sekä hankala käyttää.
Eräs toinen tunnetun tekniikan mukainen ratkaisu kiinteän lähteen asentamiseksi kaasukasvatusreaktoriin on hyödyntää venttiileillä varustettuja metallipulloa, joiden sisälle kiinteä lähdeaine asetetaan, ja joka pullo sijoitetaan 10 venttiileineen vakuumi- tai kiertoilmauuniin. Tämä ratkaisu tarjoaa inertin tavan kiinteän lähteen asentamiseksi, mutta ylimmän mahdollisen käyttölämpötilan, noin 200 - 250 °C, määrittävät venttiilit, joiden käyttöikä lyhenee merkittävästi korkeissa lämpötiloissa. Mikäli venttiilit sijoitetaan uunin ulkopuolelle, joudutaan aikaansaadaan ylimääräisiä yhteitä ja lisäksi rakenteeseen syntyy kyl-15 mäsiltoja. Lisäksi pullot ja putkiston osat ovat metallia, mikä mahdollisten kemiallisten reaktioiden takia rajoittaa mahdollisia käytettävissä olevia kiinteitä lähdeaineita. Edelleen tällaisten pullojen asentaminen ja irrottaminen on hankalaa ja vaatii työkaluja, koska pullot ovat isoja ja painavia, ja vielä lisäksi kalliita. Myös putkistojen huuhteluvaade vaihdon yhteydessä lisää ratkaisun moni-20 mutkaisuutta.
·*:*. Keksinnön lyhyt selostus ·*·'· Keksinnön tavoitteena on siten kehittää lähde, järjestely lähteen • · asentamiseksi sekä menetelmä lähteen asentamiseksi ja poistamiseksi siten, : .·, että yllä mainitut ongelmat saadaan ratkaistua. Keksinnön tavoite saavutetaan • · |*V 25 patenttivaatimuksen 1 tunnusmerkkiosan mukaisella lähteellä jolle on tunnusti/ omaista se, että lähde käsittää kammion kiinteää tai nestemäistä lähdeainetta • · *··** varten, eristysvälineet kammion eristämiseksi olennaisesti ympäristöstä sekä käyttövälineet eristetyn kammion avaamiseksi ja/tai sulkemiseksi lähteen ol-: *** lessa asetettuna lähdeyhteeseen. Keksinnön tavoite saavutetaan lisäksi pa- 30 tenttivaatimuksen 18 tunnusmerkkiosan mukaisella järjestelyllä, jolle on tun-nusomaista se, että järjestely käsittää lähdeyhteeseen aikaansaadut vastaan- • ·· V.( ottovälineet lähteen vastaanottamiseksi sekä latausvälineet lähteen asentami- V seksi käyttöä varten paikoilleen lähdeyhteeseen, ja kiinteään lähteeseen ai- • · · • V kaansaadun kammion kiinteää tai nestemäistä lähdeainetta varten sekä eris- 35 tysvälineet kammion eristämiseksi olennaisesti ympäristöstä. Keksinnön tavoite saavutetaan edelleen patenttivaatimuksen 30 tunnusmerkkiosan mukaisella 3 118803 menetelmällä, jolle on tunnusomaista, että menetelmä käsittää seuraavat vaiheet: a) asetetaan lähde, joka käsittää olennaisesti ympäristöstä eriste-tysti suljettavissa ja avattavissa olevan kammion kiinteää tai nestemäistä läh- 5 deainetta varten, ainakin osittain sisälle kaasukasvatusreaktorin lähdeyhtee-seen tai lähdeyhteeseen yhteydessä lähdetilan kammion ollessa suljettuna; b) suljetaan lähdeyhde lähteen ollessa asetettuna paikoilleen; c) avataan lähteen kammio lähdeaineen käyttöä varten; d) suljetaan lähteen kammio lähdeaineen käytön jälkeen; 10 e) avataan lähdeyhde lähteen poistamista varten; ja f) poistetaan lähde kaasukasvatusreaktorin lähdeyhteestä.
Keksinnön edulliset suoritusmuodot ovat epäitsenäisten patenttivaatimusten kohteena.
15 Keksintö perustuu siihen, että aikaansaadaan lähde, joka on asetet tavissa ainakin osittain, edullisesti kokonaan, sisälle kaasukasvatusreaktorissa olevaan lähdeyhteeseen tai lähdeyhteeseen aikaansaatuun pesään tai liitos-syvennykseen, tai erilliseen lähdeyhteeseen yhteydessä olevaan tilaan, joka on sovitettu lähteen vastaanottamista varten. Lähde käsittää kammion kiinteää 20 tai nestemäistä lähdeainetta varten, joka kammio on normaalisti suljettuna ja olennaisesti ympäristöstä eristettynä, kun lähde ei ole asetettuna kaasukasva- «»· ·,· · tusreaktorissa olevan lähdeyhteen pesään. Lähteen kammio on muodostettu : V: siten, että se on edelleen avattavissa ja suljettavissa lähteen ollessa asetettu- *:··; na sisälle lähdeyhteen pesään. Kammion avaaminen voidaan suorittaa auto- : 25 maattisesti asennettaessa lähde lähdeyhteen pesään tai erilliseen lähdeyhtee- seen yhteydessä olevaan tilaan, jolloin kammio myös edullisesti sulkeutuu • · · poistettaessa lähde pesästä tai tilasta. Toisaalta lähteen kammion avaaminen "** voidaan suorittaa täysin riippumattomasti lähteen paikalleen asentamisesta, jolloin aikaansaadaan erilliset välineet kammion avaamiseksi ja sulkemiseksi • · i"” 30 lähteen ollessa asennettuna sisälle lähdeyhteeseen. Tällaisessa järjestelyssä lähde voi käsittää eristysvälineet kammion eristämiseksi sekä käyttövälineet eristysvälineillä eristetyn kammion avaamiseksi ja/tai sulkemiseksi. Lähdeyh- .··*. teeseen voidaan puolestaan aikaansaada lisäksi latausvälineet lähteen asen- • · tamiseksi ja/tai lukitsemiseksi paikoilleen lähdeyhteeseen ja/tai lähteen pesän : *.· 35 sulkemiseksi ja tiivistämiseksi lähteen ollessa pesässä. Vaihtoehtoisesti edellä • · · • • · • · · 4 118803 mainitut latausvälineet sekä voidaan aikaansaada erillisen tilan yhteyteen, johon kiinteä lähde on asennettavissa.
Kammiolla tarkoitetaan tässä yhteydessä lähteeseen aikaansaatua tilaa, johon lähdeaine on sijoitettavissa. Täten kammio voi vaihdella muodol-5 taan rakenteeltaan ja ominaisuuksiltaan, kunhan se on kykenevä vastaanottamaan kulloinkin käytettävän lähdeaineen.
Lähteellä tarkoitetaan tässä yhteydessä kiinteää lähdettä kiinteitä lähdeaineita varten tai nestelähdettä nestemäisiä lähdeaineita varten. Kiinteällä ja nestemäisellä aineella tarkoitetaan puolestaan aineita, jotka normaaliolo-10 suhteissa (NTP-olosuhde, paine 1atm ja lämpötila 0°C).
Keksinnön mukaisen ratkaisun etuna on se, että se aikaansaa lähteen, joka toimii kuin patruuna sisältäen kaiken tarvittavan käyttöä varten. Lähteen kammion ollessa eristettynä olennaisesti ympäristöstä, sekä kontrolloidusti avattavissa ja suljettavissa ei keksinnön mukaisessa ratkaisussa tarvita 15 venttiileitä, jolloin voidaan käyttää erittäin korkeitakin käyttölämpötiloja, mikä puolestaan laajentaa käytettävissä olevien lähdeaineiden valikoimaa. Lisäksi yksinkertainen patruunamainen rakenne sallii lähteen yksinkertaisen helpon ja nopean vaihtamisen. Eristetyn ja haluttaessa avattavan ja suljettavan kammion ansiosta lähteen vaihtaminen voidaan suorittaa inertisti, koska kammio voi-20 daan pitää eristettynä ennen lähteen asentamista ja se voidaan eristää uudelleen poistettaessa lähde lähdeyhteestä. Edelleen keksinnön mukainen lähde •X· on halpa valmistaa ja se voidaan valmistaa kokonaan inertistä materialista, ku- ten lasista. Keksinnön mukaisella lähteellä voidaan käsitellä pieniä määriä kal-····· liita/vaikeasti syntetisoitavia lähtöaineita, jotka saadaan lisäksi pidettyä aina : .*. 25 tuoreina. Lähteen rakenne myös yhdistää lähdeaineen inertin siirron varmaan : .·. lähdetekniikkaan, mikä puolestaan pienentää turvallisuuteen liittyviä riskejä.
• * · ··· · ···
Kuvioiden lyhyt selostus
Keksintöä selostetaan nyt lähemmin edullisten suoritusmuotojen yh- φ · : **· teydessä, viitaten oheiseen piirrokseen, joka 30 Kuvio 1 esittää kaavamaisesti esillä olevan keksinnön erästä suori- tusmuotoa, jossa lähde on asennettu lähdeyhteeseen.
• ·· *··
Keksinnön yksityiskohtainen selostus ΓΛ Kuviossa 1 on esitetty kaavamaisesti poikkileikkaus eräästä esillä olevan keksinnön mukaisesta suoritusmuodosta lähteen ollessa asennettuna 35 sisälle lähdeyhteeseen. Kuvion 1 tapauksessa lähde on asetettu sisälle läh- 5 118803 deyhteeseen mutta sitä ei ole asennettu vielä käyttöasentoon, vaan se on vai-miina lopullista asentamista varten.
Kuvion 1 mukaisessa suoritusmuodossa on esitetty lähde kaasu-kasvatusmenetelmiä varten, joka lähde on asetettu kaasukasvatusreaktorissa 5 olevan lähdeyhteen sisälle. Lähde käsittää tankoelimen 5, jolla on ensimmäinen pää 11 ja toinen pää 9, ja jonka toiseen päähän 9 tai sen läheisyyteen on aikaansaatu kammio 1. Tankoelin, ja siten myös kammio 1, on valmistettu edullisesti lasista, koska se on hyvin inerttiä materiaalia eikä aiheuta reaktiota lähteen käytön aikana ja mahdollistaa korkeat käyttölämpötilat. Kammio 1 on 10 edullisesti aikaansaatu tankoelimen 5 toisen pään 9 läheisyyteen tankoelimen 5 valmistuksen yhteydessä tai vaihtoehtoisesti se on työstetty siiten esimerkiksi kovertamalla. Tankoelin 5 asetetaan lähdeyhteeseen kuvion 1 mukaisesti sen toinen pää 9 edellä. Kammio 1 toimii lähdeupokkaana, joka on sovitettu vastaanottamaan kiinteä tai nestemäinen lähdeaine 3, jota käytetään kaasu-15 kasvatusmenetelmässä. Tankoelin 5 sekä siihen aikaansaatu kammio 1 voidaan valmistaa kooltaan halutun suuruiseksi ja muodoltaan halutuksi. Tässä suoritusmuodossa tankoelin 5 on pitkänomainen tanko, jolla on olennaisesti pyöreä poikkileikkaus.
Keksinnön mukaisesti tankoelimessä 5 oleva kammio 1 on eristetty-20 nä eristysvälineillä, kun lähdettä ei ole asennettu paikoilleen käyttöasemaansa. Eritysvälineet käsittävät putken 7, tai putkimaisen hoikin, jolla on ensimmäinen ·· v : pää 15 ja toinen pää 13, ja joka on asetettavissa tankoelimen 5 ympärille siten, että se eristää kammion 1 olennaisesti ympäristöstä. Putki 7 voi olla sellainen, ·:··: että se on asetettavissa tankoelimen 5 päälle sen koko pituudelle tai vain osal- : 25 le tankoelimen 5 pituutta. Oleellista on, että putki 7 asettuu ainakin tankoeli- : .·. meen 5 aikaansaadun kammion 1 päälle, kun lähde ei ole asennettuna käyttö- φ · · [··/ asemaansa lähdeyhteen sisälle. Putki 7 on edullisesti mitoitettu suhteessa • · "* tankoelimeen 5 siten, että se asettuu tarkasti tankoelimen 5 ympärille, jotta se voi eristää kammion 1 olennaisesti ympäristöstä. Myös putki 7 on edullisesti • · ' " 30 valmistettu lasista, jolloin se myös varmistaa lähteen sekä kammion 1 inerttiy- den käytön aikana.
·*·,. Kuten kuviossa 1 on esitetty, voivat eristysvälineet käsittää lisäksi • .···. tiivisteet 19, jotka on aikaansaatu tankoelimeen 5 kammion 1 kummallekin puolelle tankoelimen 5 pituussuunnassa siten, että tiivisteet 19 puristuvat put-ϊ ·* 35 ken 7 sisäpintaa vasten putken 7 ollessa asetettuna tankoelimen 5 päälle. Tii- visteet 19 voidaan aikaansaada myös ainoastaan kammion 1 toiselle puolelle 6 118803 tankoelimen 5 pituussuunnassa. Edelleen on mahdollista aikaansaada tiivisteet 19 vastaavalla tavalla putkeen 7, eikä tankoelimeen 5. Tiivisteet voivat olla esimerkiksi elastomeeri- tai grafiittitiivisteet tai jotkin muut vastaavat tiivisteet, jotka kykenevät tiivistämään kammion 1 ympäristöstä.
5 Tässä esitetyssä suoritusmuodossa tankoelin 5 on aikaansaatu put kea 7 pidemmäksi, jolloin kammio 1 on avattavissa työntämällä tankoelintä 5 putken 7 sisään kunnes tankoelimen toinen pää 9 työntyy ulos putken 7 toisesta päästä 13. Tällöin tankoelimen 5 toiseen päähän 9 aikaansaatu kammio 1 työntyy ainakin osittain ulos putken 7 toisesta päästä 13 avaten kammion 1 ja 10 asettaen siinä olevan kiinteän tai nestemäisen lähdeaineen 3 esille. Vastaavasti kammio 1 on suljettavissa vetämällä tankoelintä 5 putken 7 sisään siten, että tankoelimen 5 toinen pää 9 menee putken 7 sisälle. Tällöin kammio 1 sulkeutuu siten, että se on eristetyssä tilassa suhteessa ympäristöön.
Lähde voi edelleen käsittää käyttövälineet eristetyn kammion 1 15 avaamiseksi ja/tai sulkemiseksi lähteen ollessa asennettuna lähdeyhteeseen. Käyttövälineet aikaansaadaan tässä suoritusmuodossa siten, että eristysväli-neet, putki 7, on liikutettavissa käyttövälineillä suhteessa kammioon 1 tai tankoelimeen 5, tai että kammio 1 tai tankoelin 5 on liikutettavissa käyttövälineillä suhteessa eristysvälineisiin, putkeen 7, olennaisesti ympäristöstä eristetyn 20 kammion 1 avaamiseksi ja/tai sulkemiseksi. Kuvion 1 mukaisessa ratkaisussa käyttövälineet on aikaansaatu siten, että tankoelin 5 on liikutettavissa sen pi-:T: tuusakselin suunnassa suhteessa putkeen 7, tai että putki 7 on liikutettavissa :v. sen pituusakselin suunnassa suhteessa tankoelimeen 5 olennaisesti ympäris- • · töstä eristetyn kammion 1 avaamiseksi ja/tai sulkemiseksi. Kuvion 1 ratkaisus- : .·. 25 sa käyttövälineet kammion 1 avaamiseksi ja/tai sulkemiseksi käsittävät tan- • · j*Y koelimen 5 ensimmäiseen päähän 11 aikaansaadun ensimmäisen laipan 25 ja “Y putken 7 ensimmäiseen päähän 15 aikaansaadun toisen laipan 27, jolloin tan- • · *···* koelimen 5 ensimmäisen laipan 25 ja putken 7 toisen laipan 27 välille on ai kaansaatu jousi 17. Jousi 17 asennettu siten, että jousen 17 ollessa lepotilas- : *·· 30 sa, kuten kuviossa 1, kammio 1 on olennaisesti ympäristöstä eristetyssä tilas- *·· sa suljettuna ja jousen 17 ollessa puristetussa tilassa kammio 1 on ainakin osittain avoimessa tilassa. Jousi 17 voi olla asennettu myös jollakin muulla * ·· I·... vaihtoehtoisella tavalla, joka mahdollistaa kammion 1 avaamisen ja sulkemi- • · . sen.
·· · : Y 35 Käyttövälineet voivat käsittää lisäksi välineet jousen 17 kokoonpu- ·”*: ristamiseksi kammion 1 avaamista varten ja/tai vapauttamiseksi kammion 1 7 118803 sulkemista varten. Nämä välineet on voitu aikaansaada lähteeseen tai vaihtoehtoisesti esimerkiksi kaasukasvatusreaktorin lähdeyhteeseen. Välineet voivat toimia esimerkiksi siten, että asennettaessa lähde paikoilleen lähdetyhteeseen avaavat nämä välineet kammion automaattisesti käyttöä varten, ja poistettaes-5 sa lähde kammiosta 1 sulkevat nämä välineet kammion automaattisesti eristettyyn tilaan. Tällöin nämä välineet esimerkiksi puristavat jousen 17 kokoon työntäen siten tankoelimen 5 toisen pään 9 ulos putken 7 toisesta päästä 13 avaten kammion, kun lähde asennetaan lähdeyhteeseen. Vastaavasti nämä välineet vapauttavat jousen 17 poistettaessa tankoelin 5 lähdeyhteestä sulkien 10 kammioni
Tankoelin 5 voi lisäksi käsittää edelleen kanavan 30 kammion 1 yli johdettavan kantokaasun, huuhtelukaasun tai vastaavan virtausta varten. Tämä kanava mahdollistaa esimerkiksi kaasuvirran syöttämisen putken 7 ja tankoelimen 5 välistä siten, että kaasuvirtaa kulkee avonaisen kammion 1 ylitse 15 lähdeaineen kuljettamiseksi reaktorin realtiotilaan.
Tankoelin 5 sekä putki 7 voidaan suunnitella myös sellaisiksi, että tankoelin 5 on käännettävissä sen pituusakselin ympäri suhteessa putkeen 7, tai että putki 7 on käännettävissä sen pituusakselin ympäri suhteessa tan-koelimeen 5 olennaisesti ympäristöstä eristetyn kammion 1 avaamiseksi ja/tai 20 sulkemiseksi. Tällöin putkeen 7 voi olla on aikaansaatu aukko tai loveus, joka on liikutettavissa käyttövälineillä kammion 1 kohdalle ja/tai siitä pois kammion 1 avaamiseksi ja/tai sulkemiseksi. Kuvion 1 mukaisessa tapauksessa putki 7 voi sisältää aukon, joka kammion 1 ollessa eristettynä on tankoelimen alapuo-lella, jolloin kammio 1 suljettuna, ja kammion 1 ollessa avattuna se on kammi- • ,·. 25 on 1 yläpuolella aukaisten kammion 1. Aukon sijaan voidaan esimerkiksi käyt- • · · "V tää putken 7 toiseen päähän 13 aikaansaatua loveusta, joka ulottuu putken 7 toisen pään 13 reunasta kohti ensimmäistä päätä 15. Tällöin voidaan edelleen • » ’···* aikaansaada käyttövälineet putken 7 ja tankoelimen 5 suhteellista kääntämistä varten.
• · : *·· 30 Esillä olevan keksinnön mukaisesti lähteen toiminta voidaan ai- kaansaada myös sellaiseksi, että tankoelin 5 on liikutettavissa sen pituusakseli Iin suunnassa suhteessa putkeen 7, tai putki 7 on liikutettavissa sen pituusak- • «· \..t selin suunnassa suhteessa tankoelimeen 5, ja että tankoelin 5 on käännettä- *·:*’ vissä sen pituusakselin ympäri suhteessa putkeen 7, tai putki 7 on käännettä- • 35 vissä sen pituusakselin ympäri suhteessa tankoelimeen 5 olennaisesti ympäri: ristöstä eristetyn kammion 1 avaamiseksi ja/tai sulkemiseksi. Täten kammion 1 8 118803 avaamiseksi ja sulkemiseksi yhdistetään putken 7 sekä tankoeiimen 5 suhteellinen pituussuuntainen liike sekä suhteellinen kiertoliike pituusakselin ympäri. Tämä voidaan edelleen suorittaa kammion 1 avaamista ja sulkemista varten suunniteltujen käyttövälineiden avulla.
5 Käyttövälineet voidaan kaikissa edellä kuvatuissa tapauksissa muo dostaa itsenäisiksi ja yhdistää kaasukasvatusreaktoriin aikaansaatuihin ohjausvälineisiin, joiden avulla käyttövälineet ovat aktivoitavissa kammion 1 avaamiseksi ja/tai sulkemiseksi.Tällöin käyttövälineet voivat olla käsikäyttöiset, sähkökäyttöiset tai käytettävissä jollakin muulla vastaavalla tavalla.
10 Vastaavasti kantokaasuvirtaus voidaan ohjata lähteen sisäkautta tai sen pinnalla, eli joko putken ja tankoeiimen välissä tai putken ulkopinnalla.
Putken pää tai osa putkesta edullisesti pään toisen pään 13 läheisyydessä voi olla myös huokoista materiaalia, kuten sintteriä, jolloin tämä huokoinen kohta on käännettävissä kammion kohdalle siten, että se sallii lähdeai-15 neen virtauksen huokoisen kohdan läpi. Tällöin kammio aukeaa ympäröivään tilaan tämän huokoisen kohdan kautta, joka voi toimia myös suodattimena. Tällöin saadaan vältettyä lähdeaineen pölyämisestä johtuvat haitat.
Esillä olevan keksinnön mukaisesti lähde voidaan toteuttaa hyvin monella vaihtoehtoisella tavalla, joista yksi esimerkki on kuvattu yllä. Olennais-20 ta keksinnössä on se, että lähde käsittää kammion, johon kiinteä tai nestemäinen lähdeaine voidaan asettaa, ja jossa se voidaan eristää olennaisesti ympä-ristöstä. Lähde on edelleen toteutettu siten, että kiinteä tai nestemäinen lähde-aine voidaan asettaa kaasukasvatusreaktoriin eristettynä ympäristöstä, ja että lähteen ollessa asennettuna paikoilleen reaktoriin voidaan kammio avata käyt- • · . . 25 töä varten. Edelleen on keksinnössä edullista, että kammio saadaan suljettua i*Y takaisin eristettyyn tilaan kun se poistetaan reaktorista. Täten lähde toimii pat- • · * ruunamaisesti, jolloin se asetetaan reaktorissa olevaan pesään, jossa se ava-*···: taan käyttöä varten ja suljetaan käytön jälkeen, sekä josta se poistetaan käy tön jälkeen. Näin lähde käsittää tarvittavat rakenteet, jotka mahdollistavat sen ·« • *·· 30 käyttämisen ilman erillisiä eristysvälineitä tai venttiilejä. Täten on selvää, ettei lähdettä tarvitse valmistaa kuvion 1 mukaisena pitkänomaisena rakenteena, ··! vaan sen muoto ja rakenne voivat vaihdella, samoin eristämisjärjestelyt sekä käyttövälineet ja -tavat kammion avaamiseksi voivat vaihdella. Lähdettä ei tar-vitse asettaa kokonaan reaktorin lähdeyhteen sisälle vaan se voidaan asettaa \\i 35 sinne vain kammion osalta. Lisäksi samaankin lähdeyhteeseen asennettavaksi • ·· • · • ♦ ·** 9 118803 tarkoitetut lähteet voivat vaihdella muodoltaan ja rakenteeltaan tarvittaessa kunkin lähdeaineen ominaisuuksien mukaan.
Esillä olevan keksinnön mukaisesti voidaan aikaansaada lisäksi järjestely lähteen asentamiseksi kaasukasvatusreaktoriin. Järjestely käsittää ai-5 nakin yhden kaasukasvatusreaktorin reaktiotilaan yhteydessä olevan lähdeyh-teen lähdettä varten sekä lähteen, joka on asennettavissa ainakin osittain läh-deyhteen sisälle. Käytettävä lähde on edullisesti edellä selitetyn kaltainen, mutta vaihtoehtoisesti se voi olla myös erilainen.
Tämä järjestely käsittää lähdeyhteeseen aikaansaadut vastaanotto-10 välineet lähteen vastaanottamiseksi sekä latausvälineet lähteen asentamiseksi käyttöä varten paikoilleen lähdeyhteeseen, ja lähteeseen aikaansaadun kammion 1 kiinteää tai nestemäistä lähdeainetta 3 varten sekä eristysvälineet 7,19 kammion 1 eristämiseksi olennaisesti ympäristöstä. Eristysvälineet 7, 19 on aikaansaatu siten, että kammion 1 eristys on valinnaisesti avattavissa ja/tai 15 suljettavissa lähteen ollessa asennettuna lähdeyhteeseen.
Lähdeyhteeseen aikaansaadut vastaanottovälineet käsittävät putkimaisten osien 31 ja 33 määrittämän liitossyvennyksen tai pesän, joka on soviteta lähteen vastaanottamista varten. Sisempi ja ulompi putkimainen osa 31 ja 33 on valmistettu edullisesti metallista ja niiden osittain muodostama läh-20 deyhde on edelleen yhteydessä kaasukasvatusreaktorin reaktiotilaan. Vastaanottovälineet voivat muodostaa myös jonkin muun tyyppisen pesän, johon lähde on asennettavissa.
Lähdeyhteeseen aikaansaadut latausvälineet on sovitettu lukitse- ."· maan lähde paikoilleen lähdeyhteeseen sekä avaamaan lähteen lukitus ja/tai • · . . 25 sulkemaan sekä avaamaan lähdeyhteen pesään. Latausvälineet käsittävät |*V edullisesti luukun, joka on asetettavissa kuvion 1 mukaisessa ratkaisussa läh- • · · teen tankoelimen 5 sekä putken 7 ensimmäisten päiden 11 sekä 15 päälle si-ten, että lähdeyhde sulkeutuu, jolloin lähde jää kokonaan lähdeyhteen sisälle. Luukku on edullisesti käsikäyttöinen, jolloin sen avaaminen ja sulkeminen on f*·· 30 helppoa ja nopeaa. Vaihtoehtoisesti luukku voidaan valmistaa käytettäväksi :***: erillisillä välineillä esimerkiksi sähköisesti. Kuvion 1 mukaisessa suoritusmuo- dossa luukku voidaan lisäksi muodostaa avaamaan lähteen kammion 1 eristys suljettaessa lähdeyhde ja/tai sulkemaan kammion eristys avattaessa lähdeyh- • · *·;·* de. Tällöin luukun sulkeminen ja avaaminen aiheuttaa tankoelimen sekä put- 35 ken suhteellisen liikkeen siten, että kammio 1 aukeaa. Tällöin latausvälineiden • käyttö saa käyttövälineet avaamaan tai sulkemaan eristysvälineillä 7,19 eriste- ··* 10 118803 tyn kammion. Kuviossa 1 luukku puristaa jousen 17 kokoon, jolloin tankoelin 5 työntyy ulos putken 7 toisesta päästä 13 avaten kammion 1. Luukku on voitu varustaa edelleen tiivisteillä, jotka tiivistävät lähdeyhteen kun luukku suljetaan. Vaihtoehtoisesti latausvälineet on voitu aikaansaada siten, että lähde lukittuu 5 automaattisesti lähdeyhteen pesään kun se työnnetään paikoilleen, jolloin lähteen lukitus voidaan avata erillisellä painikkeella tai vastaavilla välineillä. Vaihtoehtoisesti latausvälineet voivat olla täysin sähkökäyttöiset siten, että ne lukitsevat lähteen käyttöasentoonsa ja vapauttavat sen siitä.
Järjestely voi kuitenkin käsittää myös iähdeyhteeseen aikaansaadut 10 erilliset käyttövälineet lähteen kammion 1 avaamiseksi ja/tai sulkemiseksi eris-tysvälineillä aikaansaadusta eristyksestä. Tällöin kammion 1 avaaminen ja sulkeminen ovat täysin riippumattomia lähteen asentamisesta Iähdeyhteeseen. Tällöin käyttäjälle jää myös vapaus avata ja sulkea kammio 1 haluamiensa käyttösekvenssien mukaan, eikä lähdettä tarvitse välttämättä poistaa lähdeyh-15 teestä kammion 1 sulkemiseksi.
Järjestely voi käsittää lisäksi ainakin yhdet kaasunsyöttövälineet kantokaasun, huuhtelukaasun tai vastaavan puhaltamiseksi Iähdeyhteeseen, edullisesti tankoelimen 5 ja putken 7 väliin. Edelleen Iähdeyhteeseen voidaan aikaansaada lämmitysvälineet lähteen kammioon sijoitetun kiinteän tai neste-20 mäisen lähdeaineen lämmittämiseksi. Lämitysvälineet voivat olla esimerkiksi vastuksia. Lähteen ollessa asennettuna Iähdeyhteeseen voidaan lähde eristää :*·*; eristyssovitelmalla kokonaan ympäristöstä. Tähän voidaan käyttää edellä mai- nittua luukkua tai jotakin muuta eristyssovitelmaa, jolla pienennetään tai pois-tetaan kontaminaatio riskiä lähteen ollessa asennettuna paikoilleen lähdeyh- • · . . 25 teeseen.
• · · "Y Esillä olevan keksinnön mukaisessa menetelmässä lähteen asen- • · Y tamiseksi ja poistamiseksi kaasukasvatusreaktorista, lähde, joka käsittää olen- *···* naisesti ympäristöstä eristetysti suljettavissa ja avattavissa olevan kammion kiinteää tai nestemäistä lähdeainetta varten, asetetaan aluksi ainakin osittain, • * • *·· 30 siis ainakin osa kammiosta, sisälle kaasukasvatusreaktorin Iähdeyhteeseen kammion ollessa suljettuna. Tämän jälkeen lähdeyhde suljetaan ja lähteen ;·) kammio avataan lähdeaineen käyttöä varten. Lähteen käytön loputtua tai käy- t · · tön lopettamiseksi lähteen kammio suljetaan ja lähdeyhde avataan lähteen '"·* poistamista varten, minkä jälkeen lähde poistetaan kaasukasvatusreaktorin lv 35 lähdeyhteestä. Lisäksi lähteen ollessa asennettuna paikoilleen ja kammion oi- • • « • * • · · 11 118803 lessa avattuna voidaan menetelmässä syöttää kantokaasua kammion yli kiinteän tai nestemäisen iähdeaineen hyödyntämiseksi.
On kuitenkin huomioitava, että jäijestely voi käsittää myös erillisen lähdeyhteeseen yhteydessä olevan tilan, johon lähde on asennettavissa. Täl-5 löin lähde voidaan asentaa ainakin osittain tämän tilan sisälle. Tämä tila voi olla mikä tahansa lataustila, joka on sovitettu vastaanottamaan lähde, ja joka on yhteydessä lähdeyhteeseen tai jopa suoraan reaktiotilaan. Muuten tämä tila voi toimia edellä selitetyn lähdeyhteen tavoin.
Menetelmässä kammion avaaminen sekä lähdeyhteen sulkeminen 10 voidaan ja kammion sulkeminen sekä lähdeyhteen avaaminen voidaan yhdistää siten, että lähdeyhteen sulkeminen avaa kammion automaattisesti, ja että lähdeyhteen avaaminen puolestaan sulkee kammion automaattisesti. Toisaalta kammion avaaminen ja sulkeminen voivat olla täysin itsenäisiä toimenpiteitä, jotka eivät liity lähdeyhteen sulkemiseen tai avaamiseen. Tällöin lähteen kam-15 miota voidaan avata ja sulkea sen ollessa asennettuna lähdeyhteeseen kulloinkin haluttujen käyttöjaksojen mukaisesti. Keksinnön mukaista menetelmää voidaan haluttaessa käyttää vaihdettaessa lähde ja varsinkin kiinteä tai nestemäinen lähdeaine, jota kulloinkin käytetään. Menetelmää voidaan soveltaa yksityiskohtaisemmin edellä selitetyn lähteen sekä järjestelyn yhteydessä käyttä-20 en niissä esitettyjä rakenteellisia ominaisuuksia.
Alan ammattilaiselle on ilmeistä, että tekniikan kehittyessä keksin-nön perusajatus voidaan toteuttaa monin eri tavoin. Keksintö ja sen suoritus- t muodot eivät siten rajoitu yllä kuvattuihin esimerkkeihin vaan ne voivat vaihdel-la patenttivaatimusten puitteissa.
• » • * • · · • « · *** * • • « « • · · ··# · • · · • · • · ··· • · • · • ·· ··· • · t * ·«· • t • · • #· »i· • · • · ·«· t· · • * · • · ··· t » • · *··

Claims (30)

118803
1. Lähde kaasukasvatusmenetelmiä varten, joka lähde on asetettavissa ainakin osittain kaasukasvatusreaktorissa olevan lähdeyhteen tai läh-deyhteeseen yhteydessä lähdetilan sisälle, tunnettu siitä, että lähde käsit-5 tää tankoelimen (5), jolla on ensimmäinen pää (11) ja toinen pää (9), ja jonka toiseen päähän (9) tai sen läheisyyteen on aikaansaatu kammio (1) kiinteää tai nestemäistä lähdeainetta (3) varten, eristysvälineet kammion eristämiseksi olennaisesti ympäristöstä sekä käyttövälineet eristetyn kammion (1) avaamiseksi ja/tai sulkemiseksi lähteen ollessa asetettuna lähdeyhteeseen.
2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen lähde, tunnettu siitä, että käyttövälineet on aikaansaatu siten, että eristysvälineet on liikutettavissa käyttövälineillä suhteessa kammioon (1), tai että kammio (1) on liikutettavissa käyttövälineillä suhteessa eristysvälineisiin olennaisesti ympäristöstä eristetyn kammion (1) avaamiseksi ja/tai sulkemiseksi.
3. Patenttivaatimuksen 1 tai 2 mukainen lähde, tunnettu siitä, että kammio (1) on lähdeupokas, joka on sovitettu vastaanottamaan kiinteä tai nestemäinen lähdeaine (3).
4. Jonkin edellisen patenttivaatimuksen 1-3 mukainen lähde, tunnettu siitä, että eristysvälineet käsittävät putken (7), jolla on ensimmäi- 20 nen pää (15) ja toinen pää (13), ja joka on asetettavissa tankoelimen (5) ympä-((< rille siten, että se eristää kammion (1) olennaisesti ympäristöstä.
’·* * 5. Patenttivaatimuksen 4 mukainen lähde, tunnettu siitä, että \v eristysvälineet käsittävät lisäksi tiivisteet (19), jotka on aikaansaatu tankoeli- meen (5) kammion (1) ainakin toiselle puolelle tankoelimen pituussuunnassa ·.·*: 25 siten, että tiivisteet (19) puristuvat putken (7) sisäpintaa vasten putken (7) ol- : lessa asetettuna tankoelimen (5) päälle.
:’**· 6. Jonkin edellisen patenttivaatimuksen 1-5 mukainen lähde, ·· tunnettu siitä, että käyttövälineet on aikaansaatu siten, että tankoelin (5) :·, on liikutettavissa sen pituusakselin suunnassa suhteessa putkeen (7), tai että • «· 30 putki (7) on liikutettavissa sen pituusakselin suunnassa suhteessa tankoeli- • · "* meen (5) olennaisesti ympäristöstä eristetyn kammion (1) avaamiseksi ja/tai m i *·· sulkemiseksi.
7. Patenttivaatimuksen 6 mukainen lähde, tunnettu siitä, että •v. tankoelin (5) on aikaansaatu putkea (7) pidemmäksi, jolloin kammio (1) on • * \«t 35 avattavissa tai vastaavasti suljettaessa siten, että tankoelin (5) on liikutettavis- "* sa sen pituusakselin suunnassa putkessa (7) kunnes ainakin osa tankoelimen 118803 (5) toisessa päässä (9) tai sen läheisyydessä olevasta kammiosta (1) työntyy ulos putken (7) toisesta päästä (13) tai kunnes kammio (1) vastaavasti menee kokonaisuudessaan takaisin putken (7) sisään.
8. Patenttivaatimuksen 6 tai 7 mukainen lähde, tunnettu siitä, 5 että käyttövälineet kammion (1) avaamiseksi ja/tai sulkemiseksi käsittävät tan-koelimen (5) ensimmäiseen päähän (11) aikaansaadun ensimmäisen laipan (25) ja putken (7) ensimmäiseen päähän (15) aikaansaadun toisen laipan (27), jolloin käyttövälineet käsittävät ainakin yhden jousen (17), joka on aikaansaatu tankoelimen (5) ensimmäisen laipan (25) ja putken (7) toisen laipan (27) välille.
9. Patenttivaatimuksen 8 mukainen lähde, tunnettu siitä, että jousen (17) ollessa lepotilassa kammio (1) on olennaisesti ympäristöstä eristetyssä tilassa suljettuna ja jousen (17) ollessa puristetussa tilassa kammio (1) on ainakin osittain avoimessa tilassa.
10. Patenttivaatimuksen 8 tai 9 mukainen lähde, tunnettu siitä, 15 että käyttövälineet käsittävät lisäksi välineet jousen (17) kokoonpuristamiseksi kammion (1) avaamista varten ja/tai vapauttamiseksi kammion (1) sulkemista varten.
11. Jonkin edellisen patenttivaatimuksen 1-5 mukainen lähde, tunnettu siitä, että käyttövälineet on aikaansaatu siten, että tankoelin (5) 20 on käännettävissä sen pituusakselin ympäri suhteessa putkeen (7), tai että putki (7) on käännettävissä sen pituusakselin ympäri suhteessa tankoelimeen y : (5) olennaisesti ympäristöstä eristetyn kammion (1) avaamiseksi ja/tai sulkemi- *\v seksi.
12. Patenttivaatimuksen 6 tai 11 mukainen lähde, tunnettu siitä, {,·*: 25 että putkeen (7) on aikaansaatu aukko, loveus tai huokoinen alue, joka on lii- : kutettavissa käyttövälineillä kammion (1) kohdalle ja/tai siitä pois kammion :***· avaamiseksi ja/tai sulkemiseksi. ··*
13. Jonkin edellisen patenttivaatimuksen 1-5 mukainen lähde, :·. tunnettu siitä, että käyttövälineet on aikaansaatu siten, että tankoelin (5) • *♦ ,*··.' 30 on liikutettavissa sen pituusakselin suunnassa suhteessa putkeen (7) tai putki *!* (7) on liikutettavissa sen pituusakselin suunnassa suhteessa tankoelimeen (5), ·· : *·· ja että tankoelin (5) on käännettävissä sen pituusakselin ympäri suhteessa *·.]/· putkeen (7) tai putki (7) on käännettävissä sen pituusakselin ympäri suhteessa :v. tankoelimeen (5) olennaisesti ympäristöstä eristetyn kammion (1) avaamiseksi • · !··!. 35 ja/tai sulkemiseksi. 118803
14. Jonkin edellisen patenttivaatimuksen 1-13 mukainen lähde, tunnettu siitä, että käyttövälineet on yhdistetty kaasukasvatusreaktoriin aikaansaatuihin ohjausvälineisiin, joiden avulla käyttövälineet ovat aktivoitavissa kammion (1) avaamiseksi ja/tai sulkemiseksi.
15. Jonkin edellisen patenttivaatimuksen 1 - 14 mukainen lähde, tunnettu siitä, että kammio (1)ja/taitankoelin (5)ja/tai putki (7)on aikaansaatu ainakin osittain lasista.
16. Jonkin edellisen patenttivaatimuksen 1-15 mukainen lähde, tunnettu siitä, että tankoelin (5) käsittää edelleen kanavan (30) kammion 10 (1) yli johdettavan kantokaasun, huuhtelukaasun tai vastaavan virtausta varten.
17. Järjestely lähteen asentamiseksi kaasukasvatusreaktoriin, joka järjestely käsittää ainakin yhden kaasukasvatusreaktorin reaktioillaan yhteydessä olevan lähdeyhteen lähdettä varten, lähteen, joka on asennettavissa ai- 15 nakin osittain lähdeyhteen tai lähdeyhteeseen yhteydessä lähdetilan sisälle, lähdeyhteeseen aikaansaadut vastaanottovälineet lähteen vastaanottamiseksi sekä ja lähteeseen aikaansaadun kammion (1) kiinteää tai nestemäistä läh-deainetta (3) varten sekä eristysvälineet (7, 19) kammion (1) eristämiseksi olennaisesti ympäristöstä, tunnettu siitä, että järjestely käsittää edelleen 20 latausvälineet lähteen asentamiseksi käyttöä varten paikoilleen lähdeyhteeseen, jotka latausvälineet sovitettu avaamaan lähteen kammion (1) eristys sul- v : jettaessa lähdeyhde ja/tai sulkemaan kammion eristys avattaessa lähdeyhde. · \v
18. Patenttivaatimuksen 17 mukainen järjestely, tunnettu siitä, "**: että eristysvälineet on (7, 19) aikaansaatu siten, että kammion (1) eristys on 25 valinnaisesti avattavissa ja/tai suljettavissa lähteen ollessa asennettuna läh- • :*· deyhteeseen.
*·· · .*··. 19. Patenttivaatimuksen 17 tai 18 mukainen järjestely, tunnettu siitä, että järjestely käsittää lisäksi lähteeseen aikaansaadut käyttövälineet eris-tysvälineillä (7,19) eristetyn kammion (1) avaamiseksi ja/tai sulkemiseksi.
20. Jonkin edellisen patenttivaatimuksen 17-19 mukainen järjeste- *·;·* ly, tunnettu siitä, että vastaanottovälineet käsittävät liitossyvennyksen tai {’··· pesän lähteen ja/tai ainakin lähteen kammion (1) vastaanottamiseksi.
21. Jonkin edellisen patenttivaatimuksen 17-20 mukainen järjeste-;.\t ly, tunnettu siitä, että latausvälineet on sovitettu lukitsemaan lähde pai- 35 koilleen lähdeyhteeseen sekä avaamaan lähteen lukitus. • · • · »»« 118803
22. Patenttivaatimuksen 20 tai 21 mukainen jäijestely, tunnettu siitä, että latausvälineet ovat käsikäyttöiset.
23. Jonkin edellisen patenttivaatimuksen 20 - 22 mukainen järjestely, tunnettu siitä, että latausvälineet käsittävät luukun, joka sulkee lähteen 5 lähdeyhteeseen aikaansaadun pesän sisälle.
24. Patenttivaatimuksen 17 tai 18 mukainen järjestely, tunnettu siitä, että jäijestely käsittää lähdeyhteeseen aikaansaadut erilliset käyttövälineet lähteen kammion (1) avaamiseksi ja/tai sulkemiseksi eristysvälineillä aikaansaadusta eristyksestä.
25. Jonkin edellisen patenttivaatimuksen 17-24 mukainen järjeste ly, tunnettu siitä, että järjestely käsittää lisäksi ainakin yhdet kaasunsyöt-tövälineet kantokaasun, huuhtelukaasun tai vastaavan puhaltamiseksi lähdeyhteeseen.
26. Jonkin edellisen patenttivaatimuksen 17-25 mukainen järjeste-15 ly, t u n n e 11 u siitä, että jäijestely käsittää edelleen lähdeyhteeseen aikaansaadut lämmitysvälineet lähteen kammioon sijoitetun kiinteän tai nestemäisen lähdeaineen lämmittämiseksi.
27. Jonkin edellisen patenttivaatimuksen 17-26 mukainen järjestely, tunnettu siitä, että se käsittää eristyssovitelman ainakin osan lähteestä 20 eristämiseksi ympäristöstä lähteen ollessa asennettuna lähdeyhteeseen.
28. Menetelmä lähteen asentamiseksi ja poistamiseksi kaasukasva- v : tus reaktorista, joka menetelmä käsittää seuraavat vaiheet: φ · •*.v a) asetetaan lähde, joka käsittää olennaisesti ympäristöstä eristetys- *:·*: ti suljettavissa ja avattavissa olevan kammion kiinteää tai nestemäistä läh- : 25 deainetta varten, ainakin osittain sisälle kaasukasvatusreaktorin lähdeyhtee- iseen tai lähdeyhteeseen yhteydessä lähdetilan kammion ollessa suljettuna; *11 · .·**. b) suljetaan lähdeyhde lähteen ollessa asetettuna paikoilleen; c) avataan lähteen kammio lähdeaineen käyttöä varten; ... d)suljetaan lähteen kammio kiinteän tai nestemäisen lähdeaineen *..!* 30 käytön jälkeen; • « **"* e) avataan lähdeyhde lähteen poistamista varten; ja j*'·· f) poistetaan lähde kaasukasvatusreaktorin lähdeyhteestä, tunnettu siitä, että vaiheet b) ja c) sekä vaiheet d) ja e) on yh-distetty siten, että lähdeyhteen sulkeminen avaa kammion automaattisesti, ja 35 että lähdeyhteen avaaminen puolestaan sulkee kammion automaattisesti. • · * • Il 118803
29. Patenttivaatimuksen 28 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että lähteen kammiota avataan ja suljetaan sen ollessa asennettuna läh-deyhteeseen kulloinkin haluttujen käyttöjaksojen mukaisesti.
30. Patenttivaatimuksen 28 mukainen menetelmä, tunnettu sii-5 tä, että menetelmää sovelletaan lähteen vaihtamiseen lähdeyhteessä. ··· * * · • * 4 • · * * · • « * • · • · • ♦ • · t • ♦ · ··· • · • · · • * · ··* · ·«» • « • · ·«· • * • · * ·· *«· • · • * ··* »* * · • «· «·· • · • * ··· a • a * • · * • · • · **· * · • · ·*» 118803
FI20055189A 2005-04-22 2005-04-22 Lähde, järjestely lähteen asentamiseksi sekä menetelmä lähteen asentamiseksi ja poistamiseksi FI118803B (fi)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI20055189A FI118803B (fi) 2005-04-22 2005-04-22 Lähde, järjestely lähteen asentamiseksi sekä menetelmä lähteen asentamiseksi ja poistamiseksi
JP2008507108A JP4819879B2 (ja) 2005-04-22 2006-04-21 ソース、ソースを取り付けるための構成、およびソースを取り付け取り出すための方法
RU2007137547/02A RU2398048C2 (ru) 2005-04-22 2006-04-21 Источник для методов осаждения из газовой фазы, устройство для монтажа этого источника и способ монтажа и извлечения этого источника
PCT/FI2006/050159 WO2006111618A1 (en) 2005-04-22 2006-04-21 Source, an arrangement for installing a source, and a method for installing and removing a source
EP06725934A EP1871923A4 (en) 2005-04-22 2006-04-21 SOURCE, SOURCE INSTALLATION ARRANGEMENT, AND SOURCE INSTALLATION AND REMOVAL METHOD
US11/918,125 US7922821B2 (en) 2005-04-22 2006-04-21 Source, an arrangement for installing a source, and a method for installing and removing a source
CN2006800135430A CN101163815B (zh) 2005-04-22 2006-04-21 源部件、安装源部件的设备、以及安装和移走源部件的方法

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI20055189A FI118803B (fi) 2005-04-22 2005-04-22 Lähde, järjestely lähteen asentamiseksi sekä menetelmä lähteen asentamiseksi ja poistamiseksi
FI20055189 2005-04-22

Publications (3)

Publication Number Publication Date
FI20055189A0 FI20055189A0 (fi) 2005-04-22
FI20055189A FI20055189A (fi) 2006-10-23
FI118803B true FI118803B (fi) 2008-03-31

Family

ID=34508188

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI20055189A FI118803B (fi) 2005-04-22 2005-04-22 Lähde, järjestely lähteen asentamiseksi sekä menetelmä lähteen asentamiseksi ja poistamiseksi

Country Status (7)

Country Link
US (1) US7922821B2 (fi)
EP (1) EP1871923A4 (fi)
JP (1) JP4819879B2 (fi)
CN (1) CN101163815B (fi)
FI (1) FI118803B (fi)
RU (1) RU2398048C2 (fi)
WO (1) WO2006111618A1 (fi)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007135870A1 (ja) * 2006-05-19 2007-11-29 Ulvac, Inc. 有機蒸着材料用蒸着装置、有機薄膜の製造方法
US8741062B2 (en) 2008-04-22 2014-06-03 Picosun Oy Apparatus and methods for deposition reactors
JP2012229476A (ja) * 2011-04-27 2012-11-22 Hitachi High-Technologies Corp 蒸発源および蒸着装置
KR20150023016A (ko) * 2012-06-15 2015-03-04 피코순 오와이 원자층 퇴적에 의한 기판 웹 코팅
RU2726648C1 (ru) 2016-03-08 2020-07-15 ТерраПауэр, ЭлЭлСи Геттер продуктов деления
WO2018044370A2 (en) 2016-05-20 2018-03-08 Terrapower, Llc Sodium-cesium vapor trap system and method
CN207038182U (zh) 2017-03-29 2018-02-23 泰拉能源有限责任公司 铯收集器
EP4018014A1 (en) * 2019-08-23 2022-06-29 TerraPower, LLC Sodium vaporizer and method for use of sodium vaporizer
CN117822107A (zh) * 2024-03-05 2024-04-05 南京大学 一种化学气相沉积法生成拓扑绝缘体薄膜的方法及设备

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1588960A (en) * 1976-12-10 1981-05-07 Balfour & Co Ltd H Evaporators particularly wiped film evaporators
CH651592A5 (de) * 1982-10-26 1985-09-30 Balzers Hochvakuum Dampfquelle fuer vakuumbedampfungsanlagen.
US4506815A (en) * 1982-12-09 1985-03-26 Thiokol Corporation Bubbler cylinder and dip tube device
FR2549857B1 (fr) * 1983-07-26 1985-10-04 Allovon Michel Dispositif d'evaporation sous vide
JPS6442392A (en) * 1987-08-07 1989-02-14 Nec Corp Apparatus for molecular beam epitaxy
ES2067381B1 (es) * 1993-01-14 1995-10-16 Consejo Superior Investigacion Celula de efusion de fosforo para epitaxia de haces moleculares.
US6030458A (en) * 1997-02-14 2000-02-29 Chorus Corporation Phosphorus effusion source
US6162300A (en) * 1998-09-25 2000-12-19 Bichrt; Craig E. Effusion cell
US6447734B1 (en) * 1999-02-02 2002-09-10 The University Of Utah Research Foundation Vaporization and cracker cell apparatus
US6743473B1 (en) * 2000-02-16 2004-06-01 Applied Materials, Inc. Chemical vapor deposition of barriers from novel precursors
GB0008286D0 (en) * 2000-04-04 2000-05-24 Applied Materials Inc A vaporiser for generating feed gas for an arc chamber
CN1501892A (zh) * 2001-03-20 2004-06-02 PPG��ҵ����˾ 形成压花和/或花纹玻璃的方法和设备及由其形成的玻璃制品
JP3684343B2 (ja) 2001-09-25 2005-08-17 株式会社日本ビーテック 薄膜堆積用分子線源セル
US20040040502A1 (en) * 2002-08-29 2004-03-04 Micron Technology, Inc. Micromachines for delivering precursors and gases for film deposition
JP2004288907A (ja) * 2003-03-24 2004-10-14 Victor Co Of Japan Ltd 分子線発生装置

Also Published As

Publication number Publication date
FI20055189A (fi) 2006-10-23
WO2006111618A8 (en) 2006-12-28
JP4819879B2 (ja) 2011-11-24
RU2007137547A (ru) 2009-05-27
EP1871923A4 (en) 2010-05-26
US7922821B2 (en) 2011-04-12
JP2008537022A (ja) 2008-09-11
US20090277390A1 (en) 2009-11-12
CN101163815B (zh) 2010-12-08
EP1871923A1 (en) 2008-01-02
CN101163815A (zh) 2008-04-16
WO2006111618A1 (en) 2006-10-26
RU2398048C2 (ru) 2010-08-27
FI20055189A0 (fi) 2005-04-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FI118803B (fi) Lähde, järjestely lähteen asentamiseksi sekä menetelmä lähteen asentamiseksi ja poistamiseksi
TWI678737B (zh) 高壓蒸氣退火處理設備
RU2630731C2 (ru) Устройство и способ для реакторов осаждения
CN108660419B (zh) 一种基于超高真空条件下挥发性腐蚀性物质薄膜沉积与催化反应测试装置
CN104911545A (zh) 用于蒸发单元的再加载方法
AU731080B2 (en) Gas hydrate storage reservoir
US5048801A (en) Sintering furnace
US4158639A (en) Method of storing gases
KR101124687B1 (ko) 승화정제장치
JP7470624B2 (ja) 気体捕集装置および気体捕集方法
US20210047731A1 (en) Method and apparatus for precursor gas injection
CN211376583U (zh) 扫描电镜原位物化反应样品台
US5160578A (en) Separating of fibers from a fiber-containing solid sample
US5171693A (en) Method for the determination of N-methyl-2-pyrrolidone (NMP) content in polyimide resin pre-impregnated fabric
CN210506514U (zh) 一种冷壁化学气相沉积装置
CN112770839B (zh) 将样品插置于腔室中的系统和方法
KR101957054B1 (ko) 승화정제기용 ln2 트랩 장치
RU2665646C2 (ru) Футеровка корпуса реактора установок для металлирования заготовок
KR20210021192A (ko) 인시츄 물성 평가 장치
Serghini‐Monim et al. New doser for chemical vapor deposition of low vapor‐pressure solid precursors
US9259702B2 (en) Method and apparatus for synthetizing composite using simultaneous vaporization, vaporizer for composite synthesis apparatus, vaporizer heater, and composite
EP4001475A1 (en) Improved furnace apparatus for crystal production
KR100459900B1 (ko) 원자층 적층 분석기
EP3765191A1 (en) Vacuum device, system and methods
WO2021181211A1 (en) A kit for volumetric measurements of gas adsorption