KR100459900B1 - 원자층 적층 분석기 - Google Patents

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KR100459900B1
KR100459900B1 KR10-2002-0023113A KR20020023113A KR100459900B1 KR 100459900 B1 KR100459900 B1 KR 100459900B1 KR 20020023113 A KR20020023113 A KR 20020023113A KR 100459900 B1 KR100459900 B1 KR 100459900B1
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Abstract

원자층 적층 분석기가 개시된다. 개시된 원자층 적층 분석기는, 시편에 특정 성분의 원자층을 적층시키는 원자층 적층수단과, 원자층 적층수단 내 반응가스와 원자층의 물리적 성질 및 화학적 성질을 분석하는 분석수단과, 원자층 적층수단 또는 분석수단으로 시편을 이송시키는 시편이송수단과, 원자층 적층수단 또는 상기 분석수단의 진공을 유지시키는 진공유지수단과, 원자층 적층수단에 가스를 공급하는 가스공급수단을 구비한다. 본 발명은 원자층 증착을 하면서 실시간으로 인시튜 분석을 실행할 수 있으며 여러 분석 작업을 하나의 장치로 할 수 있다는 잇점이 있다.

Description

원자층 적층 분석기{Atomic layer deposition-analysis apparatus}
본 발명은 원자층을 적층하면서, 원자층을 실시간으로 분석할 수 있는 원자층 적층 분석기에 관한 것이다.
원자층 적층법(Atomic Layer Deposition; ALD)은 반도체 제조공정에서 필수적인 박막성장기술중의 하나로서, 반응물을 순차적으로 주입하고 제거하는 방식으로 막을 증착시키는 방법이다.
이러한 원자층 적층법을 실행하는 종래의 원자층 적층 장치가 도 1에 개략적으로 도시되어 있다.
도 1을 참조하면, 종래의 원자층 적층 장치는, 반응챔버(11)와, 기판(15)이 위치하도록 반응챔버(11)의 바닥에 설치된 서셉터(susceptor; 13)와, 반응가스들이 반응챔버(11)내부로 주입되도록 서셉터(13) 상부에 설치되는 샤워 헤드(shower head; 17)와, 반응챔버(11) 내부의 압력을 조절하기 위해 반응챔버(11)와 연결된 진공펌프(19)를 구비한다. 여기서, 상기 샤워헤드(17)에는 하나 또는 두 개 이상의 가스주입관(A, B)이 설치된다.
제1반응물 및 불활성 가스(inert gas)는 가스주입관(A)을 통하여반응챔버(11)내부로 주입되고, 제2반응물은 가스주입관(B)을 통해 반응챔버(11)내부로 주입된다. 제1밸브(V1) 및 제2밸브(V2)에 의해 상기 제1반응물 및 상기 불활성 가스의 반응챔버(11)내부로의 주입속도가 조절된다.
종래의 원자층 적층 장치는 단지 원자층을 기판상에 증착하기 위하여 공급하는 가스의 공급주기로 박막의 성장속도를 유추하므로, 증착되는 박막의 성장속도, 두께, 밀도, 부산물 생성등에 관한 정보를 얻을 수 없다. 따라서, 이러한 정보들은 성장이 완성된 다음 별도의 측정장비, 예를 들어 투과전자현미경(Transmission Electron Microscopy; TEM), 주사전자현미경(Scaning Electron Microscopy; SEM), 계측계(Ellipsometer)등을 이용하여 얻을 수 밖에 없으며, 특히 박막을 구성하는 원소 성분이나 화학적 결합상태를 알기 위해서는 별도의 엑스선 광전자분광분석기(X-ray photoelectron spectroscopy)를 사용해야 하는 번거로움이 있다.
따라서, 본 발명이 이루고자하는 기술적 과제는 상술한 종래 기술의 문제점을 개선하기 위한 것으로서, 원자층 증착과 분석을 동시에 수행할 수 있는 장치를 제공하는 것이다.
도 1은 종래의 원자층 적층기를 간략히 나타낸 도면,
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 원자층 적층 분석기의 구성을 간략히 나타낸 도면,
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 원자층 적층 분석기의 진공계 및 가스공급계의 구성도,
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 원자층 적층 분석기에 채용되는 원자층 적층 장치의 진공용기를 나타낸 도면,
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 원자층 적층 분석기의 사중극자 질량분석기로 측정한 시간에 따른 반응가스(Al)와 반응물질(H2O)의 변화를 측정한 그래프,
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 단원자층 증착 분석 시스템으로 실리콘 기판 위에 증착한 Al2O3박막에서 측정된 Al 2p 그래프.
<도면의 주요부분에 대한 부호설명>
31 ; 원자층 적층수단 33 ; 분석수단
33-1 ; 사중극자 질량분석기 33-2 ; 광학 분석기
33-3 ; 엑스선 광전자 분광분석기 35 ; 시편이송수단
37; 진공유지수단 39; 가스공급수단
41 ; 냉각장치 43 ; 전원
45 ; 제어장치
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여 본 발명은, 시료가 내부에 마련되어 증착을 위한 반응용기로 사용되는 저진공 용기, 상기 저진공 용기의 내부에 하단부가 위치하여 상기 저진공 용기에서 발생되는 물질의 성분을 분석하는 상기 분석수단이 마련되는 고진공 용기, 상기 고진공 용기와 저진공 용기의 사이에 마련되어 상기 고진공 용기와 저진공 용기의 진공차이를 극복하기 위해 차등 펌핑을 하는 차등 펌핑기, 상기 고진공 용기와 연결되어 상기 고진공 용기를 이동시키는 이동시키는 이동수단, 상기 고진공 용기의 측면에 설치되어 상기 고진공 용기의 이동에 따라 신축하는 제1신축기, 상기 차등 펌핑기의 측면에 설치되어 상기 제1신축기의 신축과 반대로 신축하는 제2신축기를 포함하여 시편에 특정 성분의 원자층을 적층시키는 원자층 적층수단; 상기 원자층 적층수단 내 반응가스와 상기 원자층의 물리적 성질 및 화학적 성질을 분석하는 분석수단; 상기 원자층 적층수단 또는 상기 분석수단으로 상기 시편을 이송시키는 시편이송수단; 상기 원자층 적층수단 또는 상기 분석수단의 진공을 유지시키는 진공유지수단; 및 상기 원자층 적층수단에 가스를 공급하는 가스공급수단;를 구비하는 것을 특징으로 하는 원자층 적층 분석기를 제공한다.
상기 원자층 적층수단은, 상기 고진공 용기 및 저진공 용기와 연결되어 상기 고진공 용기 및 저진공 용기의 진공을 유지하는 진공펌프; 및 상기 저진공 용기와 상기 고진공 용기 사이에 가스가 이동하도록 상기 차등 펌핑기를 관통하여 상기 저진공 용기와 상기 고진공 용기를 연결하는 미세관;을 구비한다.
상기 고진공 용기와 상기 이동수단을 연결하여, 상기 고진공 용기의 적정 위치를 유지시키는 지지대를 더 구비할 수 있다.
상기 미세관은, 상기 저진공 용기와 상기 차등 펌핑기를 연결하는 제1관;과 상기 차등 펌핑기와 상기 고진공 용기를 연결하는 제2관;을 구비할 수 있다.
상기 고진공 용기에 마련되어, 상기 진공펌프와 연결되는 진공펌프용 제1포트 또는, 상기 차등 펌핑기에 마련되어, 상기 진공펌프와 연결되는 진공펌프용 제2포트 또는, 상기 저진공 용기에 마련되어, 상기 저진공 용기에 가스를 공급하는 가스라인과 연결되는 가스라인용 포트 또는, 상기 저진공 용기에 마련되어, 상기 저진공 용기에 전력을 공급하는 전원과 연결되는 가열용 포트 또는, 상기 차등 펌핑기에 마련되어, 상기 차등 펌핑기 내부의 관찰이 가능하도록 하는 관찰용 포트를 더 구비할 수 있다.
상기 분석수단은 사중극자 질량분석기, 광학 분석기 및, 엑스선 광전자 분광분석기 중 적어도 하나를 포함한다.
상기 시편이송수단은, 상기 시편을 탈착할 수 있는 진공공간; 및 상기 시편을 상기 원자층 적층수단으로 이동시키는 이동수단;을 구비한다.
상기 시편이송수단은, 상기 시편을 상기 광전자분광분석기로 이동시키는 이동수단을 더 구비할 수 있다.
본 발명은 원자층 적층 장치와 원자층 분석 장치를 동시에 구비함으로써 원자층 증착과 동시에 원자층을 구성하는 원소 성분이나 화학적 결합상태를 알아내거나 발생하는 부산물등에 관한 분석을 실행할 수 있다.
이하 본 발명의 실시예에 따른 원자층 적층 분석기에 관하여 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 원자층 적층 분석기의 구성을 개략적으로 나타낸 개념도이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 원자층 적층 분석기는 원자층 적층장치(31)를 중심으로 사중극자 질량 분석기(33-1)와, 광학분석기(33-2)와, 엑스선 광전자 분광 분석기(33-3)를 포함하는 분석 장치(33)와, 원자층 적층장치(31)와 엑스선 광전자 분광분석기(33-3)로 시편을 이송하는 시편이송장치(35)와, 원자층 적층장치(31)나 시편이송장치(35)의 진공을 유지시키는 진공유지장치(37)와, 원자층 적층장치(31)에 가스를 공급하는 가스공급장치(39)를 구비한다. 또한, 도시된 바와 같이, 분석수단(33)의 온도를 일정하게 유지하는 냉각장치(41)와, 각 장치에 공급되는 전원(43)과 각 장치를 제어하는 제어장치(45)를 더 구비한다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 원자층 적층 장치에서 원자층 적층 장치(31)를 포함한 다른 구성요소들을 간략히 나타낸 구성도이며, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 원자층 적층 분석기에서 원자층 적층 장치(31)에 사용되는 진공용기를 나타낸 도면이다.
도 3에 도시된 원자층 적층 분석기(31)는, 도 4에 도시된 바와 같이, 시료(52)가 내부에 마련되며 증착을 위한 반응용기로 사용되는 저진공 용기(53)와, 저진공 용기(53)의 내부에 하단부가 위치하며 저진공 용기(53)의 내부에 잔류하는 물질의 성분을 분석하는 분석기가 설치되는 고진공 용기(51)와, 고진공 용기(51)와 저진공 용기(53)의 사이에 마련되며 고진공 용기(51)와 저진공 용기(53)의 진공차이를 극복하기 위해 차등 펌핑을 하는 차등 펌핑기(55)를 구비할 수 있다.
또한 고진공 용기(51) 및 저진공 용기(53)와 연결되어 고진공 용기(51) 및 저진공 용기(53)의 진공을 유지하는 진공펌프(61)와, 저진공 용기(53)와 고진공 용기(51) 사이에 가스가 이동하도록 차등 펌핑기(55)를 관통하여 저진공 용기(53)와 고진공 용기(51)를 연결하는 미세관(69)을 구비하여 고진공 용기(51)내에 마련된 분석기를 이용해 가스 분석을 실행할 수 있다.
여기서, 미세관(orfice)(69)은, 저진공 용기(53)와 고진공 용기(51)를 연결하도록 차등 펌핑기(55)를 관통하는 하나의 관으로 형성되거나, 저진공 용기(53)와 차등 펌핑기(55)를 연결하는 제1관(66)과, 차등 펌핑기(55)와 고진공 용기(51)를 연결하는 제2관(68)으로 이루어질 수 있다.
여기서, 제1관(66)은 저진공 용기(53) 내 미량의 가스만이 차등 펌핑기(55)로 인입될 수 있도록 통로기능을 하며, 제2관(68)은 미량의 가스가 차등 펌핑기(55)에서 고진공 용기(51)로 인입될 수 있는 통로가 된다.
진공용기내의 가스는 압력이 높은 저진공 용기(53)에서 낮은 고진공 용기(51)로 미세관(69)을 통해 이동한다. 이 때 이동하는 가스량은 미세관의 길이, 단면적, 펌핑 스피드 등에 의해 결정된다.
원자층 적층 분석기의 진공용기에는, 일반적인 진공 용기가 사용될 수도 있으며, 시료 표면을 구성하는 원소 분석(TPD : Temperature Pregrammed Desorption)을 실행할 수 있도록 고진공 용기(51)의 높이를 시료(52)에 더욱 근접시키도록 차등 펌핑기(55) 및 고진공 용기(51)에 신축이 가능한 벨로우즈와 같은 신축기(57, 59)가 더 마련되는 진공용기가 사용될 수 있다.
제1신축기(57)는 고진공 용기(51)의 측면에 설치되며 고진공 용기(51)의 위치 이동에 따라 신축되며, 제2신축기(59)는 차등 펌핑기(55)의 측면에 설치되며 제1신축기(57)의 신장 및 수축과 반대로 신장 및 수축을 한다. 즉, 제2신축기(59)는 제1신축기(57)의 수축에 의해 고진공 용기(51)가 시료(52)에 근접하도록 이동되는 경우 반대로 신장되며, 역으로 제1신축기(57)가 신장되어 고진공용기(51)가 시료(52)로부터 멀어지는 경우 수축된다.
즉, 고진공 용기(51)는 이동장치(65)의 구동에 따라 위치가 이동되고, 이에 따라, 상술한 바와 같이, 제1 및 제2 신축기(57, 59)가 신축하게 된다. 또한, 지지대(67)는 고진공 용기(51)와 이동장치를 연결하며 고진공 용기(51)의 적정 위치를 유지시킨다. 이동장치(65)와 제1 및 제2신축기(57, 59)는 진공 용기내 압력을 유지시킨다.
고진공용기(51), 차등 펌핑기(55) 및 저진공용기(53)에는 필요에 따라, 진공펌프용, 가스라인용, 가열용, 관찰용 등의 필요에 따라 복수개의 포트가 설치될 수 있다.
예를 들어, 고진공 용기(51)에 마련되어 진공펌프(61)와 연결되는 진공펌프용 제1포트, 차등 펌핑기(55)에 마련되어 상기 진공펌프와 연결되는 진공펌프용 제2포트, 저진공 용기(53)에 마련되어 저진공 용기(53)에 가스를 공급하는 가스라인과 연결되는 가스라인용 포트, 저진공 용기(53)에 마련되어 저진공 용기(53)에 전력을 공급하는 전원과 연결되는 가열용 포트 및, 차등 펌핑기(55)에 마련되어 차등 펌핑기(55) 내부의 관찰이 가능하도록 하는 관찰용 포트등이 있다.
원자층 증착을 위해, 저진공 용기(53)와 고진공 용기(51)를 10-8torr 이하로 유지시킨 다음 증착하고자 하는 물질의 가스를 필요한 기간동안 반응용기에 넣어준 후에 진공펌프와 연결된 밸브를 열어 진공용기에 잔류하는 반응가스를 배출한다. 이 반응가스의 배출을 용이하게 하기 위해 질소나 아르곤 가스와 같은 이송가스를 유입한다.
일정 시간이 경과한 다음 반응가스의 배출이 완료되면 증착된 물질을 산화시키기 위해 산소를 포함한 가스(물, 오존)과 같은 반응물질을 유입한다. 소정시간이 경과한 다음 다시 질소나 아르곤 가스를 넣으면서 반응물질을 배출시킨다.
이와 같이 반응가스 주입, 반응가스 배출, 반응물질 주입, 반응 물질 배출의 단계를 거치면서 기판상에 원자 한 층 또는 한 층 이상의 박막을 형성시킨다. 이렇게 증착된 원자층 박막을 분석하기 위해서는 종래에 이 반응이 모두 완료된 다음 별도의 분석장비로 시편을 이송시켜 분석을 실행하였으나, 본 발명의 실시예에 따른 원자층 적층 분석기는 분석수단을 원자층 적층기에 결합시켜 인시튜(in-situ)분석을 실행한다.
분석수단(33)에는 박막 적층 중 또는 박막 적층이 완료된 다음 반응용기 즉, 저진공 용기(53)내에 있는 가스를 분석하는 사중극자 질량 분석기(33-1), 박막의 두께나 밀도를 측정하기 위한 광학분석기(33-2)와, 박막 성장이 완료된 다음 시편이송장치(35)를 통해 이송되는 시편의 원소성분과 화학적 결합상태를 분석할 수 있는 엑스선 광전자 분광분석기(33-3)등이 있다. 여기서, 사중극자 질량분석기(33-1)와 광학분석기(33-2)는 반응 용기내에 설치되며, 엑스선 광전자 분광분석기(33-3)는 반응용기 밖에 설치된다.
사중극자 질량분석기(33-1)는, 원자층 적층을 하는 동안 발생하는 가스의 성분과 박막 증착 후 시료(52)를 가열하면서 시료(52) 표면으로부터 탈착되는 원소의 성분 분석을 가능하게 한다. 진공용기내의 가스는 압력이 높은 저진공 용기(53)로부터 압력이 낮은 고진공 용기(51)로 미세관(69)을 통해 이동한다. 이때 이동되는 가스량은 미세관의 길이, 단면적, 진공펌프의 스피드등에 의해 결정된다.
본 발명의 실시예에 따른 원자층 적층 분석기(31)에서는 저진공 용기(53)에서 화학기상증착 반응이나 원자층 적층 반응이 일어나는 동안 발생하는 부산물 가스가 고진공 용기(51)로 이동하게 되면 이를 사중극자 질량분석기(33-1)로 분석하여 반응 메커니즘을 연구하는 것이다. 상기 원자층 적층 분석기(31)에서 사중극자 질량분석기(33-1)가 위치하는 고진공 용기(51)는 위치이동장치에 의해 시료(52)로부터 적절한 거리로 이동하도록 설계된다.
광학분석기(33-2)(Ellipsometer)는 원자층 적층법으로 원자층 박막을 성장시키는 동안 박막의 두께와 밀도에 관한 정보를 제공한다.
엑스선 광전자 분광분석기(33-3)는 저진공 용기(53)로부터 시료(52)를 이송시킨 다음 박막의 원소 조성, 원소의 화학적 결합상태등의 정보를 알아낸다.
시편이송장치(35)는 시편을 탈착할 수 있는 진공공간내에서, 시편을 반응용기로 이동시키는 제1이동장치 또는 시편이송장치(35)에서 광전자 분광분석기로 이동시키는 제2이동장치를 구비한다.
진공유지장치(37)는 저진공 용기(53), 고진공 용기(51), 차등 펌핑기(55),시편이송장치(35) 등에 진공을 유지하기 위하여 터보 몰리큘러 펌프, 로터리 펌프 및 복수개의 밸브등을 포함한다.
가스공급장치(39)는 분말을 가스로 승화시키는 장치, 액체를 가스로 기화시키는 장치, 생성된 가스를 저진공 용기로 이송시키는 이송경로, 반응 후 잔류하는 가스를 배출하는 퍼지 가스경로, 이송경로 각각에 일정한 가스량이 흐르도록 조절하는 장치(MFC; Mass Flow Controller) 및 가스의 흐름을 차단 또는 공급하는 밸브등으로 이루어진다.
냉각장치(41)는, 터보 몰리큘러 펌프와 사중극자 질량분석기를 외부의 고온으로부터 적정온도로 냉각시켜 이를 유지할 수 있도록 냉각수가 순환되며 온도를 유지하는 장치이다.
상술한 장치들에 전력을 공급하는 전원(43)과, 이를 제어하는 제어장치(45)가 마련되어 원자층 적층 분석기의 동작을 원활히 하게 한다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 원자층 적층 분석기를 이용하여 반응가스를 원자층 적층장치로 주입한 다음, 배출하고, 다시 반응물질을 주입하고 배출하는 과정을 반복하면서 사중극자 질량분석기로 시간에 따른 반응가스(Al2O3)에 포함된 알루미늄 (Al)과 반응물질(H2O)의 변화를 측정한 그래프이다.
도 6은 도 5에 도시된 바와 같은 실험을 통해 실리콘 기판상에 증착된 박막인 AL2O3의 스펙트럼을 나타낸 도면이다.
도 5를 참조하면, 수직축은 신호 세기를 나타내고, 수평축은 시간을 나타낸다. 반응물질인 물(H2O)이 주입되는 동안에는 물의 신호가 크게 나타나고, 일정한 시간이 지난 후에 배출하는 과정에서는 물의 신호가 작아진다. 반응물질의 배출이 끝난 후에 반응가스를 주입하면 알루미늄의 신호가 커지고, 주입을 중단하면 알루미늄의 신호가 작아진다.
도 6을 참조하면, 이러한 박막의 성분 중에서 엑스선 광전자 분광분석기로 측정한 Al의 2p 전자껍질에서의 전자의 속박에너지가 77eV로 나타나는 것으로 보아 Al2O3의 박막층이 형성되었음을 알 수 있다. 본 발명을 사용하여 원자층 적층수단을 이용하여 제조한 시료를 공기에 노출하지 않은 상태에서 엑스선 광전지 분광분석기로 이동하여 분석할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 원자층 적층 분석기는 원자층 박막을 기판상에 한층씩 적층할 수 있으며 동시에 실시간으로 인시튜분석을 할 수 있다. 또한 박막의 두께, 밀도, 원소 조성, 화학적 결합상태등을 하나의 장치로 분석할 수 있다.
상기한 설명에서 많은 사항이 구체적으로 기재되어 있으나, 그들은 발명의 범위를 한정하는 것이라기보다, 바람직한 실시예의 예시로서 해석되어야 한다.
예를 들어 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술적 사상에 의해 고진공 용기에 마련되는 분석기를 예시한 분석기 이외의 다른 종류의 분석기를 이용할 수 있을 것이며, 저진공 용기도 예시한 원자층 증착기의 반응용기 이외에 다른 화학적 물리적 반응을 위한 반응용기로 이용할 수 있을 것이다. 때문에 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 의하여 정하여 질 것이 아니고 특허 청구범위에 기재된 기술적 사상에 의해 정하여져야 한다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 원자층 적층 분석기의 장점은, 원자층 증착 과정을 실시간으로 분석할 수 있으며, 여러 분석 작업을 하나의 장치로 할 수 있다는 것이다.

Claims (14)

  1. 시료가 내부에 마련되어 증착을 위한 반응용기로 사용되는 저진공 용기, 상기 저진공 용기의 내부에 하단부가 위치하여 상기 저진공 용기에서 발생되는 물질의 성분을 분석하는 상기 분석수단이 마련되는 고진공 용기, 상기 고진공 용기와 저진공 용기의 사이에 마련되어 상기 고진공 용기와 저진공 용기의 진공차이를 극복하기 위해 차등 펌핑을 하는 차등 펌핑기, 상기 고진공 용기와 연결되어 상기 고진공 용기를 이동시키는 이동시키는 이동수단, 상기 고진공 용기의 측면에 설치되어 상기 고진공 용기의 이동에 따라 신축하는 제1신축기, 상기 차등 펌핑기의 측면에 설치되어 상기 제1신축기의 신축과 반대로 신축하는 제2신축기를 포함하여 시편에 특정 성분의 원자층을 적층시키는 원자층 적층수단;
    상기 원자층 적층수단 내 반응가스와 상기 원자층의 물리적 성질 및 화학적 성질을 분석하는 분석수단;
    상기 원자층 적층수단 또는 상기 분석수단으로 상기 시편을 이송시키는 시편이송수단;
    상기 원자층 적층수단 또는 상기 분석수단의 진공을 유지시키는 진공유지수단; 및
    상기 원자층 적층수단에 가스를 공급하는 가스공급수단;를 구비하는 것을 특징으로 하는 원자층 적층 분석기.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 원자층 적층수단은,
    상기 고진공 용기 및 저진공 용기와 연결되어 상기 고진공 용기 및 저진공 용기의 진공을 유지하는 진공펌프; 및
    상기 저진공 용기와 상기 고진공 용기 사이에 가스가 이동하도록 상기 차등 펌핑기를 관통하여 상기 저진공 용기와 상기 고진공 용기를 연결하는 미세관;을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 원자층 적층 분석기.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 고진공 용기와 상기 이동수단을 연결하며, 상기 고진공 용기의 적정 위치를 유지시키는 지지대를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 원자층 적층 분석기.
  6. 제 4 항 또는 제 5 항에 있어서, 상기 미세관은,
    상기 저진공 용기와 상기 차등 펌핑기를 연결하는 제1관;
    상기 차등 펌핑기와 상기 고진공 용기를 연결하는 제2관;을 구비하는 것을 특징으로 하는 원자층 적층 분석기.
  7. 제 4 항 또는 제 6 항에 있어서,
    상기 고진공 용기에 마련되어, 상기 진공펌프와 연결되는 진공펌프용 제1포트를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 원자층 적층 분석기.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 차등 펌핑기에 마련되어, 상기 진공펌프와 연결되는 진공펌프용 제2포트를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 원자층 적층 분석기.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 저진공 용기에 마련되어, 상기 저진공 용기에 가스를 공급하는 가스라인과 연결되는 가스라인용 포트를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 원자층 적층 분석기.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 저진공 용기에 마련되어, 상기 저진공 용기에 전력을 공급하는 전원과 연결되는 가열용 포트를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 원자층 적층 분석기.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 차등 펌핑기에 마련되어, 상기 차등 펌핑기 내부의 관찰이 가능하도록 하는 관찰용 포트를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 원자층 적층 분석기.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 분석수단은 사중극자 질량분석기, 광학 분석기 및, 엑스선 광전자 분광분석기 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 원자층 적층 분석기.
  13. 제 1 항에 있어서, 상기 시편이송수단은,
    상기 시편을 탈착할 수 있는 진공공간; 및
    상기 시편을 상기 원자층 적층수단으로 이동시키는 이동수단;를 구비하는 것을 특징으로 하는 원자층 적층 분석기.
  14. 제 12 항에 있어서, 상기 시편이송수단은,
    상기 시편을 상기 광전자분광분석기로 이동시키는 이동수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 원자층 적층 분석기.
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