RU2007137547A - Источник для методов осаждения из газовой фазы, устройство для монтажа этого источника и способ монтажа и извлечения этого источника - Google Patents

Источник для методов осаждения из газовой фазы, устройство для монтажа этого источника и способ монтажа и извлечения этого источника Download PDF

Info

Publication number
RU2007137547A
RU2007137547A RU2007137547/02A RU2007137547A RU2007137547A RU 2007137547 A RU2007137547 A RU 2007137547A RU 2007137547/02 A RU2007137547/02 A RU 2007137547/02A RU 2007137547 A RU2007137547 A RU 2007137547A RU 2007137547 A RU2007137547 A RU 2007137547A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
source
chamber
casing
rod
fitting
Prior art date
Application number
RU2007137547/02A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2398048C2 (ru
Inventor
Пекка СОИНИНЕН (FI)
Пекка Соининен
Original Assignee
Бенек Ой (Fi)
Бенек Ой
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Бенек Ой (Fi), Бенек Ой filed Critical Бенек Ой (Fi)
Publication of RU2007137547A publication Critical patent/RU2007137547A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2398048C2 publication Critical patent/RU2398048C2/ru

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/243—Crucibles for source material
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/228—Gas flow assisted PVD deposition
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B23/00—Single-crystal growth by condensing evaporated or sublimed materials
    • C30B23/02—Epitaxial-layer growth
    • C30B23/06—Heating of the deposition chamber, the substrate or the materials to be evaporated
    • C30B23/066—Heating of the material to be evaporated
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B25/00—Single-crystal growth by chemical reaction of reactive gases, e.g. chemical vapour-deposition growth
    • C30B25/02—Epitaxial-layer growth
    • C30B25/14—Feed and outlet means for the gases; Modifying the flow of the reactive gases
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B35/00—Apparatus not otherwise provided for, specially adapted for the growth, production or after-treatment of single crystals or of a homogeneous polycrystalline material with defined structure
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49826—Assembling or joining
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/53—Means to assemble or disassemble

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Abstract

1. Источник для методов осаждения из газовой фазы, выполненный с возможностью установки по меньшей мере частично в фитинге источника, имеющемся в реакторе для осаждения из газовой фазы, где источник содержит камеру (1) для твердого или жидкого материала (3) источника, имеющую по меньшей мере одну по меньшей мере частично открытую стенку, и изолирующие средства в виде кожуха, выполненные с возможностью установки на стенке камеры (1) для изоляции камеры от окружающей среды, причем изолирующие средства в виде кожуха и камера (1) выполнены с возможностью скольжения друг относительно друга для открытия и/или закрытия камеры (1) после установки источника в фитинге источника, отличающийся тем, что содержит стержень (5), имеющий первый конец (11) и второй конец (9) и камеру (1), расположенную у второго конца (9) или рядом с ним. ! 2. Источник по п.1, отличающийся тем, что содержит средства управления, выполненные с возможностью перемещения изолирующих средств в виде кожуха относительно камеры (1) или перемещения камеры (1) относительно изолирующих средств для открытия и/или закрытия камеры (1), по существу, изолированной от окружающей среды. ! 3. Источник по п.1, отличающийся тем, что камера (1) является тиглем источника, выполненным с возможностью приема твердого или жидкого материала (3) источника. ! 4. Источник по п.1, отличающийся тем, что изолирующие средства в виде кожуха дополнительно содержат уплотнения (19), предусмотренные на стержне (5) по меньшей мере на одной стороне камеры (1) в продольном направлении стержня, так что уплотнения (19) прижимаются к внутренней поверхности трубы (7) после установки трубы (7) на стержне (5). ! 5. Источник по п.1, отлич�

Claims (30)

1. Источник для методов осаждения из газовой фазы, выполненный с возможностью установки по меньшей мере частично в фитинге источника, имеющемся в реакторе для осаждения из газовой фазы, где источник содержит камеру (1) для твердого или жидкого материала (3) источника, имеющую по меньшей мере одну по меньшей мере частично открытую стенку, и изолирующие средства в виде кожуха, выполненные с возможностью установки на стенке камеры (1) для изоляции камеры от окружающей среды, причем изолирующие средства в виде кожуха и камера (1) выполнены с возможностью скольжения друг относительно друга для открытия и/или закрытия камеры (1) после установки источника в фитинге источника, отличающийся тем, что содержит стержень (5), имеющий первый конец (11) и второй конец (9) и камеру (1), расположенную у второго конца (9) или рядом с ним.
2. Источник по п.1, отличающийся тем, что содержит средства управления, выполненные с возможностью перемещения изолирующих средств в виде кожуха относительно камеры (1) или перемещения камеры (1) относительно изолирующих средств для открытия и/или закрытия камеры (1), по существу, изолированной от окружающей среды.
3. Источник по п.1, отличающийся тем, что камера (1) является тиглем источника, выполненным с возможностью приема твердого или жидкого материала (3) источника.
4. Источник по п.1, отличающийся тем, что изолирующие средства в виде кожуха дополнительно содержат уплотнения (19), предусмотренные на стержне (5) по меньшей мере на одной стороне камеры (1) в продольном направлении стержня, так что уплотнения (19) прижимаются к внутренней поверхности трубы (7) после установки трубы (7) на стержне (5).
5. Источник по п.1, отличающийся тем, что содержит средства управления, выполненные с возможностью перемещения стержня (5) в направлении его продольной оси относительно изолирующих средств в виде кожуха или перемещения изолирующих средств в виде кожуха в направлении продольной оси стержня (5) относительно стержня (5) для открытия и/или закрытия камеры (1), по существу, изолированной от окружающей среды.
6. Источник по п.1, отличающийся тем, что изолирующие средства в виде кожуха содержат трубу (7), имеющую первый конец (15) и второй конец (13), выполненную с возможностью установки по меньшей мере частично вокруг стержня (5) так, чтобы, по существу, изолировать камеру (1) от окружающей среды.
7. Источник по п.1, отличающийся тем, что изолирующие средства в виде кожуха содержат, по существу, плоский или изогнутый кожух, выполненный с возможностью установки по меньшей мере частично на открытой стенке камеры (1) так, чтобы, по существу, изолировать камеру (1) от окружающей среды.
8. Источник по п.6, отличающийся тем, что стержень (5) является более длинным, чем труба (7), так что камера (1) может открываться или закрываться за счет того, что стержень (5) выполнен с возможностью перемещения в направлении его продольной оси в трубе (7) до тех пор, пока по меньшей мере часть камеры (1) у второго конца (9) стержня (5) или рядом с ним не выйдет из второго конца (13) трубы (7) или, таким же образом, пока камера (1) снова не войдет полностью в трубу (7).
9. Источник по п.5, отличающийся тем, что средства управления для открытия и/или закрытия камеры (1) содержат первый фланец (25), установленный на первом конце (11) стержня (5), и второй фланец (27), установленный на первом конце (15) трубы (7) или кожуха, причем средства управления содержат по меньшей мере одну пружину (17), расположенную между первым фланцем (25) стержня (5) и вторым фланцем (27) трубы (7) или кожуха.
10. Источник по п.9, отличающийся тем, что при несжатом состоянии пружины (17) камера (1), по существу, изолирована от окружающей среды и закрыта и при сжатом состоянии пружины (17) камера (1) по меньшей мере частично открыта.
11. Источник по п.9, отличающийся тем, что средства управления дополнительно содержат средства для сжатия пружины (17) для открытия камеры (1) и/или для отпускания пружины (17) для закрытия камеры (1).
12. Источник по п.1, отличающийся тем, что содержит средства управления, выполненные с возможностью поворота стержня (5) вокруг его оси относительно трубы (7) или кожуха или поворота кожуха вокруг продольной оси стержня (5) относительно стержня (5) для открытия и/или закрытия камеры (1), по существу, изолированной от окружающей среды.
13. Источник по п.6, отличающийся тем, что труба (7) содержит отверстие, углубление или пористую часть, которые при помощи средств управления могут перемещаться так, чтобы находиться рядом с камерой (1) и/или на расстоянии от нее для открытия и/или закрытия камеры.
14. Источник по п.1, отличающийся тем, что содержит средства управления, выполненные с возможностью поворота стержня (5) в направлении его продольной оси относительно трубы (7) или кожуха или перемещения трубы (7) или кожуха в направлении продольной оси стержня (5) относительно стержня (5) и поворота стержня (5) вокруг его оси относительно трубы (7) или кожуха или поворота трубы (7) или кожуха вокруг оси стержня (5) относительно стержня (5) для открытия и/или закрытия камеры (1), по существу, изолированной от окружающей среды.
15. Источник по п.1, отличающийся тем, что средства управления соединены со средствами управления, предусмотренными в реакторе для осаждения из газовой фазы, таким образом, чтобы обеспечить возможность приведения в действие средств управления для открытия и/или закрытия камеры (1).
16. Источник по п.1, отличающийся тем, что камера (1), и/или стержень (5), и/или изолирующее устройство в виде кожуха изготовлены по меньшей мере частично из стекла.
17. Источник по п.1, отличающийся тем, что стержень (5) дополнительно содержит канал (30) для направления потока газа-носителя, продувочного газа и тому подобного над камерой (1).
18. Устройство для установки источника в реакторе для осаждения из газовой фазы, содержащее по меньшей мере один фитинг источника для источника, соединенный с реакционной емкостью реактора для осаждения из газовой фазы, источник, выполненный с возможностью установки по меньшей мере частично в фитинге источника или пространстве источника, соединенном с фитингом источника, принимающее устройство в фитинге источника для приема источника, загрузочное устройство для установки источника на своем месте в фитинге источника для использования, камеру (1), предусмотренную в источнике, для твердого или жидкого материала (3) источника и изолирующие средства в виде кожуха (7, 19), по существу, изолирующие камеру (1) от окружающей среды, отличающееся тем, что загрузочные устройства выполнены с возможностью снятия изоляции и открытия камеры (1) источника при закрытии фитинга источника и/или для создания изоляции и закрытия камеры при открытии фитинга источника.
19. Устройство по п.18, отличающееся тем, что изолирующие средства в виде кожуха (7, 19) выполнены с возможностью создания изоляции и открытия камеры (1) и/или снятия изоляции и закрытия камеры (1), когда источник находится в фитинге источника, посредством скольжения изолирующих средств в виде кожуха и камеры (1) друг относительно друга.
20. Устройство по п.18, отличающееся тем, что дополнительно содержит средства управления, содержащиеся в источнике, для открытия и/или закрытия камеры (1), изолированной изолирующими средствами (7, 19) в виде кожуха.
21. Устройство по п.18, отличающееся тем, что принимающее устройство содержит соединительную выемку или приемник для приема источника и/или по меньшей мере камеры (1) источника.
22. Устройство по п.18, отличающееся тем, что загрузочные устройства выполнены с возможностью фиксации источника на месте в фитинге источника и его освобождения.
23. Устройство по п.18, отличающееся тем, что загрузочные устройства имеют ручное управление.
24. Устройство по п.18, отличающееся тем, что загрузочные устройства содержат люк для фиксации источника внутри приемника, содержащегося в фитинге источника.
25. Устройство по п.18, отличающееся тем, что содержит отдельные средства управления, предусмотренные в фитинге источника, для снятия и/или создания изоляции камеры (1) источника изолирующими средствами.
26. Устройство по п.18, отличающееся тем, что дополнительно содержит по меньшей мере один комплект средств для подачи газа-носителя, продувочного газа и тому подобного в фитинг источника.
27. Устройство по п.18, отличающееся тем, что дополнительно содержит нагревающие устройства, предусмотренные в фитинге источника, для нагрева твердого или жидкого материала источника, содержащегося в камере источника.
28. Способ установки источника в реакторе для осаждения из газовой фазы и извлечения этого источника из реактора, включающий в себя следующие стадии:
a) введение источника, содержащего камеру для твердого или жидкого материала, источника, выполненную с возможностью открытия и закрытия, по существу, с изоляцией от окружающей среды, по меньшей мере частично внутрь фитинга источника реактора для осаждения из газовой фазы или емкости источника, соединенной с фитингом источника, когда камера закрыта;
b) закрытие фитинга источника, когда источник находится на месте;
c) открытие камеры источника для использования материала источника посредством скольжения друг относительно друга камеры и изолирующих средств в виде кожуха, установленных по меньшей мере частично на открытой стенке камеры;
d) закрытие камеры источника после использования твердого или жидкого материала источника посредством скольжения друг относительно друга камеры и изолирующих средств в виде кожуха, установленных по меньшей мере частично на открытой стенке камеры;
e) открытие фитинга источника для извлечения источника и
f) извлечение источника из фитинга источника реактора для осаждения из газовой фазы,
отличающийся тем, что стадии b) и с), а также стадии d) и е) объединяют таким образом, что закрытие фитинга источника автоматически открывает камеру, а открытие фитинга источника автоматически закрывает камеру.
29. Способ по п.28, отличающийся тем, что камеру источника, когда она находится в фитинге источника, открывают и закрывают по желанию в соответствии с последовательностью рабочих операций.
30. Способ по п.28 или 29, отличающийся тем, что его применяют для замены источника в фитинге источника.
RU2007137547/02A 2005-04-22 2006-04-21 Источник для методов осаждения из газовой фазы, устройство для монтажа этого источника и способ монтажа и извлечения этого источника RU2398048C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI20055189 2005-04-22
FI20055189A FI118803B (fi) 2005-04-22 2005-04-22 Lähde, järjestely lähteen asentamiseksi sekä menetelmä lähteen asentamiseksi ja poistamiseksi

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2007137547A true RU2007137547A (ru) 2009-05-27
RU2398048C2 RU2398048C2 (ru) 2010-08-27

Family

ID=34508188

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2007137547/02A RU2398048C2 (ru) 2005-04-22 2006-04-21 Источник для методов осаждения из газовой фазы, устройство для монтажа этого источника и способ монтажа и извлечения этого источника

Country Status (7)

Country Link
US (1) US7922821B2 (ru)
EP (1) EP1871923A4 (ru)
JP (1) JP4819879B2 (ru)
CN (1) CN101163815B (ru)
FI (1) FI118803B (ru)
RU (1) RU2398048C2 (ru)
WO (1) WO2006111618A1 (ru)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2025774B1 (en) * 2006-05-19 2014-03-05 Ulvac, Inc. Vapor deposition apparatus for organic vapor deposition material and process for producing organic thin film
US8741062B2 (en) * 2008-04-22 2014-06-03 Picosun Oy Apparatus and methods for deposition reactors
JP2012229476A (ja) * 2011-04-27 2012-11-22 Hitachi High-Technologies Corp 蒸発源および蒸着装置
EP2861781A4 (en) * 2012-06-15 2016-02-24 Picosun Oy COATING APPLICATION ON A SUBSTRATE CONTINUOUS SHEET BY ATOMIC LAYER DEPOSITION
US10685750B2 (en) 2016-03-08 2020-06-16 TerraPower, LLC. Fission product getter
US10636532B2 (en) 2016-05-20 2020-04-28 Terrapower, Llc Sodium cesium vapor trap system and method
CN207038182U (zh) 2017-03-29 2018-02-23 泰拉能源有限责任公司 铯收集器
CA3143290A1 (en) * 2019-08-23 2021-03-04 Terrapower, Llc Sodium vaporizer and method for use of sodium vaporizer

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1588960A (en) * 1976-12-10 1981-05-07 Balfour & Co Ltd H Evaporators particularly wiped film evaporators
CH651592A5 (de) * 1982-10-26 1985-09-30 Balzers Hochvakuum Dampfquelle fuer vakuumbedampfungsanlagen.
US4506815A (en) 1982-12-09 1985-03-26 Thiokol Corporation Bubbler cylinder and dip tube device
FR2549857B1 (fr) * 1983-07-26 1985-10-04 Allovon Michel Dispositif d'evaporation sous vide
JPS6442392A (en) * 1987-08-07 1989-02-14 Nec Corp Apparatus for molecular beam epitaxy
ES2067381B1 (es) 1993-01-14 1995-10-16 Consejo Superior Investigacion Celula de efusion de fosforo para epitaxia de haces moleculares.
US6030458A (en) * 1997-02-14 2000-02-29 Chorus Corporation Phosphorus effusion source
US6162300A (en) * 1998-09-25 2000-12-19 Bichrt; Craig E. Effusion cell
US6447734B1 (en) 1999-02-02 2002-09-10 The University Of Utah Research Foundation Vaporization and cracker cell apparatus
US6743473B1 (en) * 2000-02-16 2004-06-01 Applied Materials, Inc. Chemical vapor deposition of barriers from novel precursors
GB0008286D0 (en) 2000-04-04 2000-05-24 Applied Materials Inc A vaporiser for generating feed gas for an arc chamber
WO2002081390A1 (en) * 2001-03-20 2002-10-17 Ppg Industries Ohio, Inc. Method and apparatus for forming patterned and/or textured glass and glass articles formed thereby
JP3684343B2 (ja) 2001-09-25 2005-08-17 株式会社日本ビーテック 薄膜堆積用分子線源セル
US20040040502A1 (en) * 2002-08-29 2004-03-04 Micron Technology, Inc. Micromachines for delivering precursors and gases for film deposition
JP2004288907A (ja) * 2003-03-24 2004-10-14 Victor Co Of Japan Ltd 分子線発生装置

Also Published As

Publication number Publication date
EP1871923A4 (en) 2010-05-26
RU2398048C2 (ru) 2010-08-27
US20090277390A1 (en) 2009-11-12
FI118803B (fi) 2008-03-31
FI20055189A (fi) 2006-10-23
JP4819879B2 (ja) 2011-11-24
FI20055189A0 (fi) 2005-04-22
JP2008537022A (ja) 2008-09-11
WO2006111618A1 (en) 2006-10-26
CN101163815A (zh) 2008-04-16
EP1871923A1 (en) 2008-01-02
US7922821B2 (en) 2011-04-12
CN101163815B (zh) 2010-12-08
WO2006111618A8 (en) 2006-12-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2007137547A (ru) Источник для методов осаждения из газовой фазы, устройство для монтажа этого источника и способ монтажа и извлечения этого источника
WO2003047725A3 (fr) Procede et installation pour le traitement de gaz effluent contenant des hydrocarbures
CN111731677A (zh) 自驱动型样品真空转移系统及方法
KR102196440B1 (ko) 진자 밸브
EP1025385A1 (en) Gas hydrate storage reservoir
US20120118721A1 (en) Device for compensating deviations from a coaxial arrangement of components of a regulating organ to control the gas pressure in a coke oven chamber
US11156085B2 (en) System and method for sampling formation fluid
EP1577453A3 (de) Bodenablauf
RU2667020C2 (ru) Усовершенствованная система питания ракетным топливом для космического аппарата
RU2020115013A (ru) Способы и устройство для установки компонентов сальника клапана
US4197164A (en) Coke oven apparatus
CN1055289A (zh) 烟草膨胀方法
CN202660039U (zh) 燃气安全阀及其定时传动装置
US9866090B2 (en) Inspection device for a machine
EP0158168B1 (fr) Procédé pour dépolluer un détecteur de fuite à hélium et dispositif pour la mise en oeuvre du procédé
US4304413A (en) Seal for the gas offtake piping of a coke oven
KR910008223B1 (ko) 코우크스로의 가스 배출장치
JP2000283363A (ja) 埋込み型ガス栓の取付け構造及び取付け方法
RU2413661C1 (ru) Устройство обеспечения теплового режима криогенной емкости при эксплуатации космического объекта
CN102720873B (zh) 燃气安全阀及其定时传动装置
KR102670752B1 (ko) 증착 공정용 유기금속 전구체의 진공 환경 열안정성 평가를 위한 샘플링 장치 및 샘플링 방법
CN107290205B (zh) 用于解析热稀烃的装置
CN219910696U (zh) 一种煤矿瓦斯抽采封孔装置
RU6156U1 (ru) Камера для запуска и приема поточных снарядов при эксплуатации трубопроводов
KR20130031669A (ko) 시료 운반 장치