JP5728560B2 - 有機高分子薄膜の形成方法及び形成装置 - Google Patents
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
先ず、原料モノマーとして、1,3−ビス(イソシアネートメチル)シクロヘキサンとメチレンビス(4−シクロヘキシルアミン)の2種類のものを、液体状態において、それぞれ所定量準備した。また、有機高分子薄膜形成装置として、図1に示される如き構造を有する装置を準備した。なお、ここで使用される有機高分子薄膜形成装置は、成膜室の容積を0.10m3 で、混合室の容積を0.01m3 、第一及び第二蒸発源容器における第一及び第二原料モノマー蒸気収容室のそれぞれの容積を150ml、第一及び第二原料モノマー液収容室のそれぞれの容積を100mlとした。
比較のために、原料モノマーとして、1,3−ビス(イソシアネートメチル)シクロヘキサンとメチレンビス(4−シクロヘキシルアミン)の2種類のものを、液体状態において、それぞれ所定量準備する一方、原料モノマー供給機構を何等有しない従来の有機高分子薄膜形成装置を準備した。なお、ここで使用される有機高分子薄膜形成装置は、成膜室の容積を0.10m3 で、混合室の容積を0.01m3 、第一及び第二蒸発源容器のそれぞれの容積を250mlとした。
更なる比較のために、前記実施例1と比較例1とにおいて原料モノマーとして使用された1,3−ビス(イソシアネートメチル)シクロヘキサンとメチレンビス(4−シクロヘキシルアミン)のそれぞれの所定量と、比較例1で使用された有機高分子薄膜形成装置と同じ装置とを、それぞれ準備した。
32a,64a 第一蒸発源容器 32b,64b 第二蒸発源容器
35a 第一原料モノマー液 35b 第二原料モノマー液
36a,66a 第一原料モノマー液収容室
36b,66b 第二原料モノマー液収容室
37a 第一原料モノマー蒸気 37b 第二原料モノマー蒸気
38a,68a 第一原料モノマー蒸気収容室
38b,68b 第二原料モノマー蒸気収容室
42,72 原料モノマー供給機構 44,84 収容槽
45 吸上げ管 46 原料モノマー供給管
74 油圧シリンダ 94 巻回物
Claims (2)
- 真空状態の複数の蒸発源容器内で蒸発させた複数種類の原料モノマーを、真空状態の成膜室内に導入して、該成膜室内に配置された基体の表面上で重合させることにより、該基体の表面上に有機高分子薄膜を形成する真空蒸着重合操作を繰り返し行うことによって、該成膜室内に交替で配置される複数の基体の表面上に、有機高分子薄膜をそれぞれ形成するに際して、
前記繰り返し行われる真空蒸着重合操作において、毎回、前記原料モノマーの蒸発操作の開始時に、該原料モノマーが、前記蒸発源容器において該原料モノマーを液体状態で収容し、且つ収容された該原料モノマーを蒸発させるための原料モノマー液収容室内に液体状態で一定の量だけ存在するようにすると共に、
前記有機高分子薄膜の形成操作の開始時及び該有機高分子薄膜の形成操作中に、前記蒸発源容器において前記原料モノマー液収容室に対して開閉機構を介して接続されて、該原料モノマー液収容室内で蒸発した原料モノマーを収容するための原料モノマー蒸気収容室内における、前記蒸発させられた原料モノマーの蒸気の圧力が、前記成膜室内の圧力より常に高くなるように制御して、該蒸発源容器の原料モノマー蒸気収容室と該成膜室との間の圧力差を利用して、該蒸発源容器内で蒸発させられた原料モノマー蒸気が、該成膜室内に導入せしめられるようにしたことを特徴とする有機高分子薄膜の形成方法。 - 複数の基体が交替で配置される成膜室と、複数種類の原料モノマーをそれぞれ別個に収容し、且つ内部が真空とされた状態下で、該複数種類の原料モノマーをそれぞれ蒸発させて、それらを真空状態の該成膜室内に導入せしめる複数の蒸発源容器とを含み、該複数の蒸発源容器内で蒸発して、真空状態の該成膜室内に導入された該複数種類の原料モノマーを、該成膜室内の前記基体の表面上で重合させて、該基体の表面上に有機高分子薄膜を形成する真空蒸着重合操作を繰り返し行うことにより、該成膜室内に交替で配置される該複数の基体の表面上に、有機高分子薄膜をそれぞれ形成し得るように構成された有機高分子薄膜の形成装置であって、
前記蒸発源容器が、前記原料モノマーを液体状態で収容し、且つ収容された該原料モノマーを蒸発させる原料モノマー液収容室と、該原料モノマー液収容室に対して開閉機構を介して接続されて、該原料モノマー液収容室内で蒸発した原料モノマーを収容する原料モノマー蒸気収容室とを有して構成されており、
(a)前記繰り返し行われる真空蒸着重合操作において、毎回、前記原料モノマーの蒸発操作の開始時に、該原料モノマーが、前記複数の蒸発源容器の原料モノマー液収容室内に、それぞれ液体状態で一定の量だけ収容されているように、該原料モノマーを、液体状態で、該複数の蒸発源容器の原料モノマー液収容室内にそれぞれ供給する供給機構と、(b)前記複数の蒸発源容器をそれぞれ加熱する加熱機構と、(c)前記有機高分子薄膜の形成操作の開始時及び該有機高分子薄膜の形成操作中に、前記複数の蒸発源容器内で蒸発させられた前記原料モノマーの蒸気の圧力が、前記成膜室内の圧力より常に高くなるように、前記加熱機構をそれぞれ制御する制御機構とが、設けられていると共に、
前記蒸発源容器と前記成膜室との間に、コントロールバルブを設けて、該コントロールバルブの開作動により、該蒸発源容器の原料モノマー蒸気収容室と該成膜室との間の圧力差によって、該蒸発源容器内で蒸発した原料モノマー蒸気が、該成膜室内に導入されるようになっていることを特徴とする有機高分子薄膜の形成装置。
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