CN101356296B - 有机蒸镀材料用蒸镀装置、有机薄膜的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种不会发生有机蒸镀材料的组成变化、分解、变质的蒸镀装置。在输送装置(30a、30b)上载置一张基板量的有机蒸镀材料，将其搬入到预先加热的蒸镀容器(12)内。由于有机蒸镀材料按每个基板而少量地被加热，放出有机材料蒸汽而用尽，所以，缩短了被加热的时间，不会发生基于水分的分解与变质。即使混合有不同的有机化合物，混合组成也不会变化，因此，可以预先将混合有母材和发色剂的有机蒸镀材料贮留在贮留槽(34a、34b)中，然后配置到输送装置(30a、30b)。

Description

有机蒸镀材料用蒸镀装置、有机薄膜的制造方法 

技术领域

本发明涉及有机薄膜的技术领域，尤其涉及一种用于制造品质良好的有机薄膜的技术。 

背景技术

有机EL元件是近年来最受瞩目的显示元件之一，具有高亮度、响应速度快等出色的特性。有机EL元件在玻璃基板上配置有以红、绿、蓝三种不同颜色发色的发光区域。发光区域按顺序层叠有阳极电极膜、空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层及阴极电极膜，通过在发光层中添加的发色剂以红、绿、或蓝发色。 

图8的附图标记203是现有技术的有机薄膜形成装置，在真空槽211的内部配置有蒸镀容器212。蒸镀容器212具有容器主体221，该容器主体221的上部被形成有一个或多个放出口224的盖部222堵塞。 

在蒸镀容器211的内部配置有粉体的有机蒸镀材料200。 

在蒸镀容器212的侧面和底面配置有加热器223，若对真空槽211内进行真空排气，且加热器223进行加热，则蒸镀容器212升温，使得蒸镀容器212内的有机蒸镀材料200被加热。 

如果有机蒸镀材料200被加热到蒸发温度以上的温度，则在蒸镀容器212内会充满有机材料蒸汽，并被从放出口224放出到真空槽211内。 

在放出口224的上方配置有基板输送装置214，若将基板205保持于保持器210并使基板输送装置214动作，则基板205在放出口224的正上方位置处通过，从放出口224放出的有机材料蒸汽会到达基板205的表面，形成空穴注入层与空穴传输层等有机薄膜。 

如果在放出有机材料蒸汽的状态下，使基板205逐一在放出口224上方的位置处通过，则能够在多张基板205上逐一形成有机薄膜。 

上述的蒸镀容器记录在下述文献中。 

专利文献1：特开2003-293120号公报 

但是，为了如上所述对多张基板205进行成膜，需要在蒸镀容器212内配置大量的有机蒸镀材料200，在开始加热、对多张基板205进行了成 膜的状态下，残存于蒸镀容器212内的有机蒸镀材料200由于长时间处于高温之下，所以会与蒸镀容器中的水分反应而变质、或不断基于加热而分解，与加热初期的状态相比，会导致有机蒸镀材料200劣化。 

图7是示意地表示劣化状态的曲线图，横轴表示时间，纵轴是从放出口224放出的有机材料蒸汽的分子量(将刚刚加热之后的分子量设为100％)。 

另外，如果将混合有用于形成发光层的母材的有机化合物、和发色剂有机化合物的有机蒸镀材料配置到蒸镀容器212的内部来进行成膜，则由于蒸发温度低的情况下容易放出蒸汽，所以有下述问题：在对多张基板205实施了成膜之后，含有比例会从加热初期的状态发生变化，在加热初期和对多张基板205实施了成膜之后，从放出口224放出的有机材料蒸汽的母材与发色剂的含有比例大不相同。 

因此，在现有技术的蒸镀装置中，需要在同一真空槽内分别配置母材的蒸发容器和发色剂的蒸发容器。 

发明内容

本发明为了解决上述课题，提出了一种蒸镀装置，具有：真空槽；配置在前述真空槽的内部的蒸镀容器；配置蒸镀材料的供给装置；与前述蒸镀容器和前述供给装置连接的搭载槽；能够在前述搭载槽内与前述真空槽内之间移动，当位于前述搭载槽内时，从前述供给装置供给前述蒸镀材料的输送装置；和对前述蒸镀容器进行加热，从位于前述蒸镀容器内的前述蒸镀材料产生材料蒸汽，从前述蒸镀容器的放出口向前述真空槽内放出前述材料蒸汽的加热装置。 

而且，本发明的蒸镀装置中，前述供给装置具有：贮留前述蒸镀材料的贮留槽；和连接前述贮留槽的内部和前述搭载槽的内部，使前述贮留槽内部的前述蒸镀材料移动到前述搭载槽内部的连接装置。 

并且，本发明的蒸镀装置中，若前述贮留槽被配置在前述搭载槽上而前述贮留槽的内部与前述搭载槽的内部连接，则前述贮留槽内部的前述蒸镀材料下落配置在前述搭载槽内部的前述输送装置上。 

另外，本发明的蒸镀装置中，具有隔离板，用于从前述蒸镀容器的内部气氛隔离前述搭载槽的内部气氛。 

此外，本发明的蒸镀装置中，在前述真空槽内配置有保持成膜对象 物、使成膜对象物从与前述放出口对置的位置通过的输送机构。 

而且，本发明涉及一种有机薄膜的制造方法，在配置于真空槽内的蒸镀容器中配置有机蒸镀材料，对前述蒸镀容器进行加热，从前述蒸镀容器的放出口放出前述有机蒸镀材料的有机材料蒸汽，并使多个成膜对象物从与前述放出口对置的位置依次通过，从而在前述成膜对象物上形成有机薄膜，其中，在将前述有机蒸镀材料配置到前述蒸镀容器内、使前述有机材料蒸汽开始放出、开始向前述成膜对象物形成有机薄膜之后，以将前述蒸镀容器配置在前述真空槽内的状态，向前述蒸镀容器内供给前述有机蒸镀材料。 

并且，本发明的有机薄膜的制造方法中，按每个前述成膜对象物，向前述蒸镀容器供给前述有机蒸镀材料。 

另外，本发明的有机薄膜的制造方法中，向前述蒸镀容器供给的前述有机蒸镀材料以比前述有机蒸镀材料的蒸发温度低的温度，预先保管在真空气氛中。 

此外，本发明的有机薄膜的制造方法中，前述有机蒸镀材料以粉末状态进行供给。 

而且，本发明的有机薄膜的制造方法中，在提供给前述蒸镀容器的前述有机蒸镀材料的粉体中，混合有不同种类的有机化合物。 

并且，本发明的有机薄膜的制造方法中，前述有机蒸镀材料是将粉体固化的片剂。 

另外，本发明的有机薄膜的制造方法中，在被制作成前述片剂的前述有机蒸镀材料的粉体中，混合有不同种类的有机化合物。 

由于有机蒸镀材料不会长时间处于高温下，所以，有机蒸镀材料不会分解或变质。 

而且，如果按每个基板向蒸镀容器内供给有机蒸镀材料，则即使有机蒸镀材料中混合有不同的有机化合物，对各基板的混合比例也不会变化。 

附图说明

图1是用于对本发明第一例的蒸镀装置进行说明的立体图。 

图2是用于对该蒸镀装置的内部进行说明的示意剖视图。 

图3(a)(b)是用于对利用本发明的蒸镀装置来形成有机薄膜的顺 序进行说明的工序图。 

图4(a)(b)是用于对在蒸镀容器底面配置有机蒸镀材料时的顺序进行说明的工序图。 

图5是用于对本发明第二例的蒸镀装置进行说明的示意剖视图。 

图6是表示能够在本发明中使用的片剂状有机蒸镀材料的立体图。 

图7是用于对现有技术的被放出到蒸镀装置的真空槽内的有机材料蒸汽的劣化进行说明的曲线图。 

图8是现有技术的蒸镀装置。 

附图文字说明 

1、2蒸镀装置 

5、105成膜对象物(基板) 

11、111真空槽 

12、112蒸镀容器 

13a、13b供给装置 

14、114基板输送机构 

23、123加热装置 

24、124放出口 

30a、30b输送装置 

32a、32b搭载槽 

33a、33b密闭板 

具体实施方式

利用附图，对本发明进行说明。 

图1的立体图、图2的概略剖视图的附图标记1是本发明的实施例，表示有机薄膜形成用的第一例的蒸镀装置。 

该蒸镀装置1具有：真空槽11、蒸镀容器12和一台或多台供给装置13a、13b(图1中省略了真空槽11)。 

蒸镀容器12被配置在真空槽11的内部。 

蒸镀容器12具有细长的容器主体21、和细长的板状盖部22。容器主体21被盖部22封盖。 

蒸镀容器12上连接着一台或多台搭载槽32a、32b。这里，搭载槽32a、32b为两台，搭载槽32a、32b分别配置在容器主体21的长度方向 的两端部。 

在容器主体21的侧壁的一部分(这里是长度方向两端的侧壁)和搭载槽32a、32b的一部分处形成有开口，容器主体21的开口与搭载槽32a、32b的开口连通，容器主体21的内部与搭载槽32a、32b的内部连接。 

供给装置13a、13b具有搭载槽32a、32b、贮留槽34a、34b、连接装置39a、39b。 

贮留槽34a、34b的内部与搭载槽32a、32b的内部能够经由连接装置39a、39b而连接。 

贮留槽34a、34b被配置在搭载槽32a、32b的上方。 

如果连接装置39a、39b成为闭状态，则会闭塞贮留槽34a、34b的底部，从搭载槽32a、32b的内部遮断贮留槽34a、34b的内部；如果成为开状态，则将贮留槽34a、34b的内部与搭载槽32a、32b的内部连接。在连接装置39a、39b处于闭状态的状态下，贮留槽34a、34b的底部被闭塞，可以在贮留槽34a、34b的内部贮留粉体或液体等具有流动性的有机蒸镀材料40a、40b。这里，有机蒸镀材料40a、40b是粉体。 

连接装置39a、39b的开闭、通过连接装置39a、39b的有机蒸镀材料40a、40b的量，由计算机等控制装置控制，如果连接装置39a、39b被设为开状态，则通过有机蒸镀材料40a、40b在自重的作用下下落，有机蒸镀材料40a、40b会通过连接装置39a、39b，从贮留槽34a、34b移动到搭载槽32a、32b的内部。 

此时，被控制装置设定的份量的有机蒸镀材料40a、40b通过连接装置39a、39b。在移动之后，使连接装置39a、39b处于闭状态。对于被供给的有机蒸镀材料40a、40b而言，可以供给一定的重量，也可以供给一定的体积。 

在各搭载槽32a、32b的内部分别配置有输送装置(舟皿)30a、30b。在各输送装置30a、30b的上部分别形成有收容部31a、31b。收容部31a、31b在这里是形成在输送装置30a、30b上的凹部，但也可以在输送装置30a、30b的上部设置托盘，由托盘构成收容部31a、31b。 

收容部31a、31b朝向铅直上方，位于搭载槽32a、32b与贮留槽34a、34b的连接部分的下方。落入到搭载槽32a、32b内的有机蒸镀材料落到收容部31a、31b上，被配置到收容部31a、31b上。 

输送装置30a、30b与移动机构37a、37b连接，如果移动机构37a、 37b将杆(rod)伸长，则输送装置30a、30b会从搭载槽32a、32b内移动到蒸镀容器12的内部；如果缩回杆，则输送装置30a、30b会从蒸镀容器12的内部移动到搭载槽32a、32b内。 

在蒸镀容器12的内部，与盖22平行地配置有平板状的充满板26。 

移动到蒸镀容器12内的输送装置30a、30b位于充满板26与容器主体21的底面之间。 

在容器主体21的底面的外侧与侧面的外侧配置有加热装置23。加热装置23中设置有基于通电而发热的电阻发热体，如果加热装置23发热，则容器主体21、充满板26、盖22会被加热而升温。容器主体21、充满板26、盖22由碳石墨(carbon graphite)或金属制的热传导率高的物质构成。 

加热装置23除了电阻发热体之外，还广泛包括：基于电磁感应来加热蒸镀容器12的装置、通过红外线放射来加热蒸镀容器12的装置、通过被升温了的热介质的热传导来加热蒸镀容器12的装置、和基于珀耳帖效应来加热的装置等对蒸镀容器12进行加热的装置。 

如后所述，包括蒸镀容器12及搭载槽32a、32b的内部的真空槽11的内部可预先成为真空气氛，位于蒸镀容器12内的输送装置30a、30b接收从容器主体21放出的辐射热、被充满板26反射的该辐射热而被加热，从而配置在收容部31a、31b中的有机蒸镀材料升温。 

如果有机蒸镀材料升温到蒸汽放出温度以上的温度，则从有机蒸镀材料放出有机材料蒸汽。 

在盖部22和充满板26上分别形成有一个或多个放出口24、27，被放出的有机材料蒸汽充满在蒸镀容器12内部的充满板26与容器主体21的底面之间的空间，并向充满板26与盖部22之间的空间流出而充满该空间，并通过放出口24被放出到真空槽11的内部。有机材料蒸汽不会从蒸镀容器12的放出口24以外的部分漏出。 

盖部22的放出口24和充满板26的放出口27能够被调节相对位置，以便能够在被充满板26与盖部22夹持的部分的空间中浓度近似恒定地充满了有机材料蒸汽而从盖部22的任意一个放出口24放出相同程度放出量的有机材料蒸汽。 

在真空槽11的内部配置有基板输送机构14。基板输送机构14上安装有保持器10。如果将成膜对象物的基板保持于保持器、并在真空槽11 内使其移动，则基板会通过与盖部22的放出口24对置的位置。 

放出口24、27沿着盖部22及充满板26的长度方向配置，基板沿着与盖部22的长度方向正交的方向移动。基板的宽度比配置有放出口27的区域的长度短，从放出口24放出到真空槽11的内部的有机材料蒸汽会均匀地到达基板表面，形成有机薄膜。 

接着，对利用本发明第一例的蒸镀装置1，依次对多个成膜对象物(基板)形成有机薄膜的工序进行说明。 

真空槽11、搭载槽32a、32b、贮留槽34a、34b分别与真空排气系统15连接，如果使真空排气系统15动作，则真空槽11、搭载槽32a、32b和贮留槽34a、34b被真空排气。蒸镀容器12内部的气体基于真空排气而通过真空槽11被排出。 

各槽11、32a、32b、34a、34b可以通过同一真空排气系统15进行真空排气，也可以分别独立地设置真空排气系统。 

贮留槽34a、34b经由搭载槽32a、32b的内部进行真空排气。 

在真空槽11、蒸镀容器12、搭载槽32a、32b、贮留槽34a、34b的内部被真空排气到相同程度的真空气氛之后，向加热装置23通电、使其发热，对蒸镀容器12进行加热。 

输送装置30a、30b配置在搭载槽32a、32b的内部，即使加热装置23发热也不会升温。 

在贮留槽34a、34b中预先配置有有机蒸镀材料40a、40b，打开连接装置39a、39b，使贮留槽34a、34b内的有机蒸镀材料40a、40b落下预先设定的份量，将其配置到输送装置30a、30b的收容部31a、31b上。 

图3(a)的附图标记41a、41b表示在收容部31a、31b上配置的有机蒸镀材料(图3、图4中省略了真空槽11、后述的保管槽35a、35b的记载)。 

可在保持器10上沿成膜面面向放出口24的朝向保持作为成膜对象物的基板5。 

在基板5到达蒸镀容器12之前如图3(b)所示，输送装置30a、30b以载置有机蒸镀材料41a、41b的状态在蒸镀容器12的内部移动，由于输送装置30a、30b的热容量小，所以，输送装置30a、30b上的有机蒸镀材料41a、41b会基于容器主体21等的蒸镀容器12所放射的辐射热在短时间内升温到蒸发温度，从而放出有机材料蒸汽。如果基板5到达被 放出有机材料蒸汽的状态的蒸镀容器12，并通过与盖部22的放出口24对置的位置，则会在基板5的表面形成有机薄膜。 

这里，多个基板5逐一通过与蒸镀容器12的放出口24对置的位置。 

有机蒸镀材料41a、41b如果放出有机材料蒸汽，则会缓慢减少。在输送装置30a、30b上配置的有机蒸镀材料41a、41b的量，被设定为在基板5通过之前不会用尽，而在通过之后立即用尽的量，用尽之后，在下一个基板到达蒸镀容器12之前，输送装置30a、30b返回到搭载槽32a、32b，如下所述将有机蒸镀材料补充到输送装置30a、30b上。 

在输送装置30a、30b的蒸镀容器12侧的端部配置有密闭板33a、33b。 

密闭板33a、33b的直径比输送装置30a、30b的内部与搭载槽32a、32b的内部连接的开口部分大，在开口部分的周围或密闭板33a、33b的缘附近配置有O型环。 

在输送装置30a、30b被收容在搭载槽32a、32b的内部的状态下，密闭板33a、33b与容器主体21经由O型环紧贴，搭载槽32a、32b的内部被从蒸镀容器12的内部遮断。 

气体供给系统17与搭载槽32a、32b连接，向搭载槽32a、32b内导入冷却气体(氩气等稀有气体或氮气等惰性气体)，通过气体的热传导将输送装置30a、30b的温度冷却得比蒸汽放出温度低。在搭载槽32a、32b的内部被密闭板33a、33b从蒸镀容器12的内部遮断的状态下，防止导入到搭载槽32a、32b的冷却气体侵入到蒸镀容器12中。 

另外，由于搭载槽32a、32b的温度近似为室温，且输送装置30a、30b的热容量小，所以，基于输送装置30a、30b自身放射的辐射热，输送装置30a、30b的温度容易降低。 

因此，即使通过不导入冷却气体的自然冷却，也可以使输送装置30a、30b的温度比蒸发温度低。该情况下，冷却时间比利用了冷却气体的冷却长。 

在输送装置30a、30b被冷却至既定温度之后，停止冷却气体的导入，在将搭载槽32a、32b内真空排气到与蒸镀容器12和贮留槽34a、34b的压力相同程度之后，打开连接装置39a、39b，从贮留槽34a、34b落下既定量的有机蒸镀材料，将其配置到输送装置30a、30b上。 

然后，与上述工序同样地使输送装置30a、30b移动到蒸镀容器12内，在使温度上升而放出了有机材料蒸汽之后，使下一个基板通过与放 出口24对置的位置，在该基板上形成有机薄膜。 

贮留槽34a、34b的周围是室温，配置在其内部的有机蒸镀材料40a、40b也被维持为室温。而且，贮留槽34a、34b的内部被真空排气。 

因此，在贮留槽34a、34b内配置的有机蒸镀材料40a、40b被保管在室温、真空气氛中，不会发生氧化或分解，从而，可向输送装置30a、30b供给没有劣化的有机蒸镀材料40a、40b。 

而且，有机蒸镀材料被加热了位于蒸镀容器12内的时间。该时间是基板5通过的时间，被加热的时间短，在蒸镀容器12内的劣化非常少。在贮留槽34a、34b与后述的保管槽35a、35b中没有劣化。因此，真空槽11内不会被放入基于分解或劣化而形成的有机化合物的蒸汽。 

在贮留于贮留槽34a、34b的内部的有机蒸镀材料40a、40b中，预先按既定的比例混合着成为有机EL元件的发光层的母材的有机化合物的粉体、和作为发光层的发色剂的有机化合物的粉体，即使不将母材的蒸镀容器和发色剂的蒸镀容器分别配置到真空槽11内，也可以在基板5表面形成有机发光层。 

母材的有机化合物粉体、和发色剂的有机化合物粉体被均匀混合，由于向一张基板表面开始形成发色层(有机薄膜)到形成结束的时间很短，所以，被放出到真空槽11内的有机材料蒸汽中的母材的有机化合物蒸汽、和发色剂的有机化合物蒸汽的含有比例的变化少，即使发生了变化，由于按每个基板5向蒸镀容器12内供给、配置独立的有机蒸镀材料41a、41b，所以，可在各基板5上形成相同组成的发光层。 

上述实施例中，在将有机蒸镀材料41a、41b载置在输送装置30a、30b上的状态下产生有机材料蒸汽，但可以在将载置有有机蒸镀材料41a、41b的输送装置30a、30b插入到蒸镀容器12内之后，如图4(a)所示，使输送装置30a、30b通过旋转等而上下翻转，使收容部31a、31b朝向铅直下方，让有机蒸镀材料41a、41b从收容部31a、31b落到蒸镀容器12的底面上，通过辐射热和来自蒸镀容器12的热传导对有机蒸镀材料41a、41b进行加热。 

如果配置在蒸镀容器12的底面的有机蒸镀材料41a、41b升温到蒸发温度以上的温度，则从盖部22的放出口24放出有机材料蒸汽，在通过与放出口24对置的位置的基板的表面形成有机薄膜。 

在使有机蒸镀材料41a、41b落下之后，让输送装置30a、30b返回 到搭载槽32a、32b，如果在蒸汽放出过程中将输送装置30a、30b收容到搭载槽32a、32b内，则由于输送装置30a、30b不升温，所以，如果在收容输送装置30a、30b之前或收容之后，将输送装置30a、30b的上下翻转恢复如前，使收容部31a、31b朝向铅直上方，并且，将收容部31a、31b配置到有机蒸镀材料从贮留槽34a、34b落入到搭载槽32a、32b内的位置，则即使不冷却，也能够将新的有机蒸镀材料配置到输送装置30a、30b上。 

根据上述蒸镀装置2，如图4(b)所示，可以利用在容器主体21的底面上配置的有机蒸镀材料41a、41b进行向基板表面的薄膜形成，并且，向输送装置30a、30b配置独立的有机蒸镀材料42a、42b，从而能够缩短在先的基板5与在后的基板5的间隔。 

另外，可以在有机蒸镀材料41a、41b落下的位置的容器主体21的底面上配置托盘。 

在以上的蒸镀装置1、2中，如果按通过的每个基板从贮留槽34a、34b向搭载槽32a、32b内落下既定量的有机蒸镀材料，则在贮留槽34a、34b内贮留的有机蒸镀材料40a、40b会减少。 

如图1、图2所示，贮留槽34a、34b通过移动管36a、36b与保管槽35a、35b连接。在保管槽35a、35b的内部配置有有机蒸镀材料。 

在移动管36a、36b中设置有开闭阀38a、38b。 

在贮留槽34a、34b内为真空气氛、保管槽35a、35b的内部处于大气压的情况下，开闭阀38a、38b被关闭，大气不会从保管槽35a、35b侵入到贮留槽34a、34b内。 

在贮留槽34a、34b内的有机蒸镀材料40a、40b减少的情况下，对保管槽35a、35b内进行真空排气，在保管槽35a、35b内的压力降低到与贮留槽34a、34b内的压力相同程度之后，开启开闭阀38a、38b，使保管槽35a、35b内的有机蒸镀材料通过移动管36a、36b移动到贮留槽34a、34b。 

在增加贮留槽34a、34b内的有机蒸镀材料、使其达到既定量之后，关闭开闭阀38a、38b，从保管槽35a、35b遮断贮留槽34a、34b的内部。该状态下，在保管槽35a、35b的内部处于大气状态时，可以将有机蒸镀材料搬入到该保管槽35a、35b内。 

另外，在贮留槽34a、34b中设置有搅拌装置51a、51b。当从贮留槽 34a、34b向输送装置30a、30b供给有机蒸镀材料时，利用搅拌装置51a、51b进行搅拌，以使贮留槽34a、34b内的有机蒸镀材料40a、40b不产生空洞。 

也可以在从保管槽35a、35b向贮留槽34a、34b内供给有机蒸镀材料时，利用搅拌装置51a、51b进行搅拌。 

另外，也能够通过连接装置39a、39b或其他的阀，从搭载槽32a、32b的内部遮断贮留槽34a、34b的内部，在使搭载槽32a、32b的内部处于真空气氛的状态下，将大气导入给贮留槽34a、34b。该情况下，能够在从贮留槽34a、34b的内部遮断搭载槽32a、32b的内部的状态下，使贮留槽34a、34b的内部暴露于大气中，并且将有机蒸镀材料搬入到该贮留槽34a、34b内。 

该情况下，如果在将贮留槽34a、34b内的有机蒸镀材料40a、40b提供给搭载槽32a、32b之前，预先对贮留槽34a、34b的内部进行了真空排气，则大气不会侵入到搭载槽32a、32b内。 

在上述蒸镀装置1中，放出口24配置在蒸镀容器12的上部，基板5在使成膜面朝向铅直下方的状态下通过蒸镀容器12的上方，但本发明不限定于这样的蒸镀装置1，例如也可以将放出口配置在铅直方向，使基板的成膜面铅直。 

图5的附图标记2是如上所述的本发明的蒸镀装置，是本发明的第二例。该第二例的蒸镀装置2中，在真空槽111内配置有细长的蒸镀容器112。蒸镀容器112具有细长的容器主体121和板状盖部122。 

容器主体121被配置成长度方向铅直，因此，开口朝向侧方。 

容器主体121的开口被铅直配置的盖部122闭塞。盖部122沿着长度方向排列设置有一个或多个放出口124。盖部122的长度方向是铅直方向，因此，放出口124被铅直配置。 

在蒸镀容器112的内部，与盖部122平行地配置有长度方向为铅直方向的细长充满板126。该充满板126上也沿着长度方向排列设置有一个或多个放出口127。 

在真空槽111内配置有基板输送机构114。基板输送机构114上安装有保持器110，成膜对象的基板105在被保持器110铅直保持的状态下，通过与盖部122的放出口124对置的位置。 

在该第二例的蒸镀装置2中也具有与第一例的蒸镀装置1相同的供 给装置13a、13b。在该供给装置13a、13b中，对相同的部件赋予相同的附图标记，并省略其说明。 

该蒸镀容器112中，底面构成了蒸镀容器112的一个侧壁，在容器主体121的底面、即蒸镀容器112的一个侧壁，沿上下方向并排配置有一个或多个供给装置13a、13b。 

这里，供给装置13a、13b为两个，一个配置在蒸镀容器112的上端侧，另一个配置在下端侧。 

在容器主体121的底面的一部分(这里是上端附近与下端附近的位置)和搭载槽32a、32b的一部分处形成有开口，容器主体121的开口与搭载槽32a、32b的开口连通，容器主体121的内部与搭载槽32a、32b的内部连接。 

配置在搭载槽32a、32b内的输送装置30a、30b，可以插入到容器主体121内的容器主体121的底面与充满板126之间的位置。 

容器主体121通过加热装置123被升温。 

贮留槽34a、34b的内部与搭载槽32a、32b的内部能够经由连接装置39a、39b连接，如果将连接装置39a、39b设为开状态，在输送装置30a、30b的收容部31a、31b上搭载了设定量的有机蒸镀材料41a、41b的状态下，插入到蒸镀容器112的内部，则有机蒸镀材料41a、41b基于容器主体121等的蒸镀容器112的辐射热，在短时间内升温到蒸发温度以上的温度，可从输送装置30a、30b上的有机蒸镀材料41a、41b放出有机材料蒸汽。 

在有机材料蒸汽充满在蒸镀容器112内、被从盖部122的放出124均匀放出的状态下，若通过基板输送装置114使铅直的基板105的成膜面与放出口124对置，并在该位置通过，则在基板105表面形成有机薄膜。 

在基板105通过之后，收容部31a、31b上的有机蒸镀材料41a、41b会蒸发而消失。 

消失后，使输送装置30a、30b返回到搭载槽32a、32b内，在通过基于冷却气体的冷却或自然冷却使输送装置30a、30b比蒸汽放出温度低之后，从贮留槽34a、34b向输送装置30a、30b的收容部31a、31b落下设定量的有机蒸镀材料，然后，与上述工序同样地向其他基板表面形成有机薄膜。 

另外，在上述第一、第二例的蒸镀装置1、2中，从贮留槽34a、34b落下具有流动性的粉体或液体的有机蒸镀材料40a、40b而将其配置到输送装置30a、30b上，但本发明不限定于基于下落的有机蒸镀材料的输送或有机蒸镀材料的移动，也可以在贮留槽34a、34b与搭载槽32a、32b之间设置材料输送机构，不使有机蒸镀材料40a、40b落下，而从贮留槽34a、34b的内部向搭载槽32a、32b沿水平方向或倾斜方向在真空气氛中移动，将其配置到输送装置30a、30b上。 

该情况下，有机蒸镀材料可以不具有流动性，例如图6所示，可以通过压缩等对粉末进行制片成形，得到片剂状的有机蒸镀材料60，将其提供给输送装置30a、30b。 

该情况下，如果预先将片剂状有机蒸镀材料60的份量设定为与在一张基板表面上形成有机薄膜的量相同，或设定为其几分之一的份量，则可按每个基板向蒸镀容器12内部供给一粒或多粒片剂状有机蒸镀材料60从而形成有机薄膜。 

也可以在该片剂状有机蒸镀材料60中，以一定的配合量均匀地分散含有母材的有机化合物和发色剂的有机化合物等不同的有机化合物。 

另外，以上对利用了两种以上(实施例中为两种)母材的有机化合物和发色剂的有机化合物等不同种类的有机化合物、以一定的配合量混合的粉体有机蒸镀材料41a、41b或片剂状有机蒸镀材料60的情况进行了说明，但也可以在蒸镀容器12、112内配置由一种有机化合物构成的有机蒸镀材料，使其放出有机材料蒸汽。 

而且，不同的化合物不限定于母材和发色剂。 

并且，在上述实施例中，通过本发明的蒸镀装置形成了有机薄膜，但本发明的蒸镀装置还可应用到在真空气氛内使因长时间加热而劣化的蒸镀材料蒸发，对多个成膜对象物依次形成薄膜的制造方法中，在蒸镀容器内产生蒸汽的蒸镀材料不限定于有机化合物。总之，本发明的蒸镀装置除了形成有机化合物的薄膜之外，还能够用于形成无机薄膜或复合材料薄膜。 

Claims (13)

1.一种蒸镀装置，其特征在于，具有：

真空槽；

配置在前述真空槽的内部、具有多个放出口的蒸镀容器；

配置蒸镀材料的供给装置；

与前述蒸镀容器和前述供给装置连接的搭载槽；

能够在前述搭载槽内与前述真空槽内之间移动，当位于前述搭载槽内时，从前述供给装置供给前述蒸镀材料、将前述蒸镀材料输送到前述蒸镀容器的内部的输送装置；

从前述蒸镀容器的内部气氛隔离前述搭载槽的内部气氛的隔离板；和

对前述蒸镀容器进行加热，从位于前述蒸镀容器内的前述蒸镀材料产生材料蒸汽，从前述放出口向前述真空槽内放出前述材料蒸汽的加热装置。

2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，

前述供给装置具有：贮留前述蒸镀材料的贮留槽；和连接前述贮留槽的内部和前述搭载槽的内部，使前述贮留槽内部的前述蒸镀材料移动到前述搭载槽内部的连接装置。

3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，

若前述贮留槽配置在前述搭载槽上而前述贮留槽的内部与前述搭载槽的内部连接，则前述贮留槽内部的前述蒸镀材料下落配置在前述搭载槽内部的前述输送装置上。

4.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，

在前述真空槽的内部配置有保持成膜对象物、使成膜对象物从与前述放出口对置的位置通过的输送机构。

5.一种蒸镀装置，其特征在于，具有：

真空槽；

配置在前述真空槽的内部、具有多个在与成膜对象物对置的面上设置的放出口的蒸镀容器；

贮留蒸镀材料的贮留槽；

与前述蒸镀容器和前述贮留槽连接的搭载槽；

使既定量的前述蒸镀材料从前述贮留槽向前述搭载槽移动的连接装置；

从前述搭载槽向前述蒸镀容器的内部输送前述蒸镀材料的输送装置；

从前述蒸镀容器的内部气氛隔离前述搭载槽的内部气氛的隔离板；和

对前述蒸镀容器进行加热，从前述蒸镀容器的前述放出口向前述真空槽内放出前述材料蒸汽的加热装置。

6.一种有机薄膜的制造方法，在配置于真空槽的内部的蒸镀容器中配置有机蒸镀材料，对前述蒸镀容器进行加热，从前述蒸镀容器的多个放出口放出前述有机蒸镀材料的有机材料蒸汽，在与前述放出口对置的前述成膜对象物上形成有机薄膜，其特征在于，

将输送装置配置在搭载槽内，在前述输送装置上配置前述有机蒸镀材料，使前述输送装置移动到前述蒸镀容器内，将配置在前述输送装置上的前述有机蒸镀材料配置到前述蒸镀容器内、使前述有机材料蒸汽开始放出，

在开始向前述成膜对象物形成有机薄膜之后，以将前述蒸镀容器配置在前述真空槽内的状态，向前述蒸镀容器内供给前述有机蒸镀材料之际，

在前述输送装置被收容在前述搭载槽的内部的状态下，前述搭载槽的内部被从前述蒸镀容器的内部遮断。

7.根据权利要求6所述的有机薄膜的制造方法，其特征在于，

按每个前述成膜对象物，向前述蒸镀容器供给前述有机蒸镀材料。

8.根据权利要求6所述的有机薄膜的制造方法，其特征在于，

向前述蒸镀容器供给的前述有机蒸镀材料以比前述有机蒸镀材料的蒸发温度低的温度，预先保管在真空气氛中。

9.根据权利要求6所述的有机薄膜的制造方法，其特征在于，

前述有机蒸镀材料以粉末状态进行供给。

10.根据权利要求9所述的有机薄膜的制造方法，其特征在于，

在提供给前述蒸镀容器的前述有机蒸镀材料的粉体中，混合有不同种类的有机化合物。

11.根据权利要求6所述的有机薄膜的制造方法，其特征在于，

前述有机蒸镀材料是将粉体固化的片剂。

12.根据权利要求11所述的有机薄膜的制造方法，其特征在于，

在被制作成前述片剂的前述有机蒸镀材料的粉体中，混合有不同种类的有机化合物。

13.一种有机薄膜的制造方法，向配置于真空槽的内部、具有多个与成膜对象物对置的放出口的蒸镀容器的内部供给有机蒸镀材料，

对前述蒸镀容器进行加热，

从前述蒸镀容器的多个放出口放出前述有机蒸镀材料的有机材料蒸汽，在与前述放出口对置的前述成膜对象物上形成有机薄膜，其特征在于，

将输送装置配置在搭载槽内，在前述输送装置上配置前述有机蒸镀材料，使前述输送装置移动到前述蒸镀容器内，将配置在前述输送装置上的前述有机蒸镀材料配置到前述蒸镀容器内，使前述有机材料蒸汽开始放出，结束了向一张或所确定的多张成膜对象物的有机薄膜形成之后，在下一个成膜对象物的成膜开始之前，在将前述蒸镀容器配置在前述真空槽内的状态下，向前述蒸镀容器内供给前述有机蒸镀材料之际，

在前述输送装置被收容在前述搭载槽的内部的状态下，前述搭载槽的内部被从前述蒸镀容器的内部遮断。

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