KR101205752B1

KR101205752B1 - 성막원, 증착 장치, 유기 ｅｌ 소자의 제조 장치

Info

Publication number: KR101205752B1
Application number: KR1020107018839A
Authority: KR
Inventors: 도시오 네기시; 다츠히코 고시다
Original assignee: 가부시키가이샤 알박
Priority date: 2008-02-26
Filing date: 2009-02-26
Publication date: 2012-11-28
Also published as: WO2009107733A1; TW201002840A; CN101960041A; CN101960041B; JP5220091B2; TWI438291B; US20110042208A1; JPWO2009107733A1; KR20100114905A

Abstract

막질이 양호한 박막을 성막할 수 있는 성막원을 제공한다. 각 개폐 밸브 (70) 는, 차폐 부재 (72) 가 용융된 금속에 밀착됨으로써 닫힘 상태가 되기 때문에, 닫힘 상태의 기체 차폐성이 높고, 게다가 발진하지 않는다. 복수의 증기 발생 장치 (20) 에서 별개의 증착 재료 (39) 의 증기를 발생시키는 경우, 선택된 증기 발생 장치 (20) 에서 발생된 증기는, 다른 증기 발생 장치로부터의 증기와 혼합되지 않기 때문에, 성막 목적 이외의 증착 재료 (39) 가 혼입되지 않고, 발진에 의한 오염도 발생되지 않는다. 따라서, 막질이 양호한 박막을 얻을 수 있다.

Description

성막원, 증착 장치, 유기 ＥＬ 소자의 제조 장치{FILM FORMING SOURCE, DEPOSITION APPARATUS AND APPARATUS FOR MANUFACTURING ORGANIC EL ELEMENT}

본 발명은 증착 장치에 관한 것으로, 특히 유기 EL 소자의 제조에 사용되는 증착 장치에 관한 것이다.

유기 EL 소자는 최근 가장 주목받는 발광소자의 하나로서, 고휘도이고 응답 속도가 빠르다는 우수한 특성을 갖는다.

유기 EL 소자는 유리 기판 상에, 하부 전극막과, 유기 박막과, 상부 전극막이 기재된 순서대로 적층되어 있다.

유기 박막은 홀 주입층, 홀 수송층, 발광층, 전자 수송층, 전자 주입층 등을 포함하고, 하부 전극막과 상부 전극막에 통전하고, 유기 박막에 전압을 인가하면 발광층이 발광한다.

발광층이 3 색 이상 (예를 들어, 적, 녹, 청, 황) 의 착색층이 동일한 장소에 적층되어 구성되는 경우에는, 백색광을 방출하여 유기 EL 소자를 조명 장치로서 사용할 수 있다. 또, 발광층이 3 색 이상 (예를 들어 적, 녹, 청) 의 착색층이 상이한 장소에 형성되어 구성되는 경우에는, 원하는 색, 원하는 장소의 착색층에 전압을 인가함으로써, 유기 EL 소자를 풀 컬러의 표시장치로서 사용할 수 있다.

유기 박막을 구성하는 각 층은 유기 재료로 구성되어 있고, 이러한 유기 재료막의 성막에는 증착 장치가 널리 사용된다.

도 9 의 부호 203 은 종래 기술의 증착 장치로서, 진공조 (211) 의 내부에 증착 용기 (212) 가 배치되어 있다. 증착 용기 (212) 는, 용기 본체 (221) 를 갖고, 그 용기 본체 (221) 의 상부는 1 내지 복수 개의 방출구 (224) 가 형성된 덮개부 (222) 로 폐색되어 있다.

증착 용기 (212) 의 내부에는, 분체인 유기 증착 재료 (200) 가 배치되어 있다.

증착 용기 (212) 의 측면과 바닥면에는 히터 (223) 가 배치되어 있고, 진공조 (211) 내를 진공 배기하고, 히터 (223) 가 발열되면 증착 용기 (212) 가 승온하여 증착 용기 (212) 내의 유기 증착 재료 (200) 가 가열된다.

유기 증착 재료 (200) 가 증발 온도 이상의 온도로 가열되면, 증착 용기 (212) 내에 유기 재료 증기가 충만하여, 방출구 (224) 로부터 진공조 (211) 내로 방출된다.

방출구 (224) 의 상방에는 홀더 (210) 가 배치되어 있고, 홀더 (210) 에 기판 (205) 을 유지시켜 두면, 방출구 (224) 로부터 방출된 유기 재료 증기가 기판 (205) 표면에 도달하여 홀 주입층이나 홀 수송층 또는 발광층 등의 유기 박막이 형성된다. 유기 재료 증기를 방출시키면서, 기판 (205) 을 1 장씩 방출구 (224) 상을 통과시키면, 복수 장의 기판 (205) 에 순서대로 유기 박막을 형성할 수 있다.

그러나, 복수 장의 기판 (205) 에 성막하기 위해서는, 증착 용기 (212) 내에 다량의 유기 재료를 배치할 필요가 있다. 실제의 생산 현장에서는, 유기 재료를 250 ℃ ~ 450 ℃ 로 가열하면서 120 시간 이상 연속하여 성막 처리를 실시하기 때문에, 증착 용기 (212) 내의 유기 증착 재료 (200) 는 장시간 동안 고온에 노출되게 되어, 증착 용기 (212) 중의 수분과 반응하여 변질되거나 가열에 의한 분해가 진행된다. 그 결과, 초기 상태에 비하여 유기 증착 재료 (200) 가 열화되어 유기 박막의 막질이 나빠진다.

또, 상기 서술한 발광층과 같이, 복수의 착색층을 형성할 필요가 있는 경우에는, 상이한 색의 유기 재료가 수용된 증착 용기 (212) 를 복수 준비하고, 기판을 각 증착 용기 (212) 상을 이동시켜 성막을 실시하지만, 기판의 이동량이 증가하면, 먼지가 발생하여 기판의 막질이 열화되는 원인이 된다.

또한, 대형화한 기판 (205) 을, 방출구 (224) 의 상방에서 유지하면 기판 (205) 혹은 마스크 (214) 가 휘고, 기판 (205) 표면에 미리 형성된 막 (하부 전극막이나 다른 유기 박막) 이 파손되거나, 새롭게 기판 (205) 상에 형성되는 유기 박막의 막 두께 분포가 나빠진다는 문제도 있다.

일본국 공표특허공보 2001-523768호 일본국 공표특허공보 2003-525349호 일본국 공개특허공보 2004-204289호 일본국 공개특허공보 2005-29885호 일본국 공개특허공보 2006-111920호

본 발명은 상기 과제를 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 막질이 양호한 유기 박막을 형성하는 것이다.

상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은, 내부에서 증착 재료의 증기를 발생시키는 증기 발생 장치와, 상기 증착 재료의 증기를 방출하는 방출 장치와, 상기 증기 발생 장치와, 상기 방출 장치 사이의 접속과 차단을 전환하는 개폐 밸브를 갖는 성막원으로서, 상기 개폐 밸브는, 상자체와, 상기 상자체 내에 배치되고, 용융 금속이 배치되어야 하는 용기와, 상기 용기에 배치되는 상기 용융 금속과, 하단이 상기 용융 금속에 접촉할 수 있는 차폐 부재와, 상기 차폐 부재를 상대적으로 이동시키고, 상기 용융 금속 표면과 상기 차폐 부재의 하단을 접촉시켜 당해 개폐 밸브를 닫고, 상기 차폐 부재의 하단과 상기 용융 금속 표면을 이간시켜 당해 개폐 밸브를 여는 이동 장치를 갖는 성막원이다.

본 발명은 성막원으로서, 상기 증기 발생 장치를 복수 갖고, 상기 개폐 밸브에 의하여, 상기 증기 발생 장치와 상기 방출 장치 사이의 접속과 차단을 개별적으로 전환할 수 있게 된 성막원이다.

본 발명은 성막원으로서, 상기 차폐 부재는 통 형상이고, 상기 차폐 부재의 하단은, 상기 통의 하단에서 구성되고, 상기 방출 장치와 상기 증기 발생 장치 중에서, 어느 일방은 상기 통의 내부 공간에 접속되고, 타방은 상기 통의 외부 공간에 접속된 성막원이다.

본 발명은 성막원으로서, 선단 (先端) 이 상기 상자체 내에 삽입 통과되고, 상기 선단이 상기 용기로 둘러싸인 파이프와, 덮개부를 갖고, 상기 덮개부 바닥면에는, 상기 덮개부 바닥면으로부터 돌출되어 형성된 링 형상의 돌기로 이루어지는 통 형상의 상기 차폐 부재가 형성되고, 상기 파이프의 외주 (外周, 즉, 바깥쪽의 둘레) 에 걸쳐서, 상기 용기 내의 용융된 저융점 금속에 상기 차폐 부재가 접촉되면, 상기 차폐 부재와 상기 덮개부에 의하여, 개폐구가 폐색되고, 당해 개폐 밸브가 닫히고, 상기 차폐 부재가 상기 저융점 금속으로부터 이간되면 당해 개폐 밸브가 열리는 개폐 밸브인 성막원이다.

삭제

본 발명은 성막원으로서, 상기 방출 장치는 서로 평행하게 배치된 가늘고 긴 방출관을 복수 갖고, 상기 각 방출관에는 방출구가 각각 형성되고, 상기 증기 발생 장치가 상기 방출 장치에 접속되면, 상기 각 방출관에 상기 증착 재료의 증기가 각각 공급되고, 상기 각 방출구로부터 상기 증착 재료의 증기가 방출되는 성막원이다.

본 발명은 증착 장치로서, 성막조와, 상기 성막원을 갖고, 상기 방출 장치는 상기 성막조의 내부에 상기 증착 재료의 증기를 방출하는 증착 장치이다.

본 발명은 증착 장치로서, 상기 성막조의 내부에 배치되고, 표면에 기판이 배치되는 탑재대를 갖고, 상기 방출 장치는, 상기 탑재대의 상방 위치로부터 상기 탑재대를 향하여 상기 증착 재료의 증기를 방출하는 증착 장치이다.

본 발명은 증착 장치로서, 상기 탑재대와 상기 방출 장치 중 어느 일방 또는 양방에 접속된 요동 장치를 갖고, 상기 요동 장치는, 상기 방출 장치를, 상기 탑재대에 배치된 상기 기판과 평행한 평면 내에서, 당해 기판에 대하여 상대적으로 이동시키는 증착 장치이다.

본 발명은 제조 장치로서, 반송실과, 스퍼터실과, 증착 장치를 갖고, 상기 스퍼터실과 상기 증착 장치는, 상기 반송실에 접속된 유기 EL 소자의 제조 장치이다.

본 발명은 상기와 같이 구성되어 있고, 유기 재료의 증기를 포함하는 기체를, 증기 발생 장치로부터 열림 상태의 개폐 밸브로 흘려 보내면, 그 증기가 개폐 밸브를 통과하여 방출 장치로 이동한다.

반대로, 용융된 금속에 차폐 부재를 접촉시킨 닫힘 상태로 하고, 유기 재료의 증기를 포함하는 기체를, 증기 발생 장치로부터 개폐 밸브로 흘려 보내면, 그 증기는 용융된 금속과 차폐 부재에 의하여 막히고, 증기 발생 장치와 개폐 밸브에 머물러 방출 장치로 이동하지 않는다.

차폐 부재는 용융된 금속에 간극 없이 밀착되기 때문에, 고체에 접촉했을 경우에 비하여 기체의 차폐성이 높다. 또, 반복 개폐 밸브를 개폐해도, 차폐 부재의 하단이 마모되지 않아 발진 (發塵) 이 발생하지 않는다(즉, 먼지 등이 발생하지 않는다).

기체의 차폐성이 높기 때문에, 증착 재료의 증기가 혼합되지 않아 순도 높은 박막이 형성된다. 발진하지 않기 때문에, 박막에 오염물질이 혼입되지 않는다. 개폐 밸브가 마모되지 않기 때문에 성막원의 수명이 길다. 복수의 증기 발생 장치에서 발생된 증기를, 순서대로 방출 장치에 공급할 수 있기 때문에, 기판을 동일한 방출 장치 상에 배치한 채로 복수 종류의 막을 형성할 수 있다. 기판의 이동량이 적어도 되기 때문에 발진하지 않는다.

도 1 은 제조 장치의 일례를 설명하기 위한 평면도이다.
도 2 는 본 발명의 증착 장치의 일례를 설명하는 모식적인 평면도이다.
도 3 은 도 2 의 A-A 절단선 단면도이다.
도 4 는 증기 발생 장치의 일례를 설명하는 단면도이다.
도 5(a) 는 닫힘 상태를 설명하는 단면도, 도 5(b) 는 열림 상태를 설명하는 단면도이다.
도 6 은 개폐 밸브의 제 2 예를 설명하는 단면도이다.
도 7 은 개폐 밸브의 제 3 예를 설명하는 단면도이다.
도 8 은 개폐 밸브의 제 4 예를 설명하는 단면도이다.
도 9 는 종래 기술의 증착 장치를 설명하기 위한 단면도이다.
도 10(a), 도 10(b) 는 본 발명의 다른 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 11 은 냉각 장치에 접속된 본 발명의 예를 설명하기 위한 도면 (냉각조와는 차단) 이다.
도 12 는 냉각 장치에 접속된 본 발명의 예를 설명하기 위한 도면 (냉각조와 접속) 이다.
도 13 은 냉각 장치에 접속되는 제 2 개폐구가 제 1 용기의 바닥면에 대하여 착탈되는 예 (밀착 상태) 이다.
도 14 는 냉각 장치에 접속되는 제 2 개폐구가 제 1 용기의 바닥면에 대하여 착탈되는 예 (이탈 상태) 이다.
부호의 설명
10b …… 증착 장치
11 …… 성막조
13 …… 성막원
20 …… 증기 발생 장치
39 …… 증착 재료
50 …… 방출 장치
55 …… 방출구
61 …… 이동 장치
70, 70a, 70b, 70c …… 개폐 밸브
71, 79 …… 상자체
72, 49, 98 …… 차폐 부재
76, 96 …… 저융점 금속
81 …… 기판

발명을 실시하기 위한 최선의 형태

본 발명의 개폐 밸브는, 상자체인 케이싱과, 케이싱의 내부와 외부를 각각 연통시키는 개폐구와 접속구를 갖고 있고, 개폐구와 접속구 사이를, 케이싱 내부를 통과하여 기체를 통행시킬 수 있는 접속 상태와, 개폐구와 접속구 사이가 차폐된 차폐 상태를 전환하도록 되어 있다. 상자체는 기밀하게 구성되어 있어 진공 배기가 가능하다.

본 발명의 개폐 밸브는, 케이싱 내에 배치되고, 고체와 액체를 배치할 수 있는 용기와, 케이싱 내에 배치된 차폐 부재를 갖고 있다.

용기와 차폐 부재는 상대 이동할 수 있도록 구성되어 있고, 차폐 부재는 용기 내에 삽입과 발출(拔出, 즉, 빼내어 나오게 함)할 수 있도록 구성되어 있다. 개폐구는 차폐 부재 또는 용기 중 어느 일방에 의하여 둘러싸여 있다.

용기에는 저융점 금속을 배치하는 것이 가능하고, 배치된 저융점 금속을 용융시켜 용융 금속을 형성했을 경우, 차폐 부재가 용기 내에 삽입되면, 차폐 부재는 용융 금속과 접촉하여 침지되고, 접촉 부분이나 침지 부분이 개폐구를 둘러싸 개폐구를 폐색시키고, 차폐 부재가 용기 내에서 발출되면, 차폐 부재는 용융 금속과 이간되고, 개폐구는 개방된다.

케이싱에 파이프를 기밀하게 삽입하고, 케이싱 내의 파이프 선단 (先端) 을 하방으로 향하게 하여 개폐구의 하방에 용기를 배치한다. 케이싱에는 접속구가 형성되어 있고, 케이싱 내의 파이프 선단의 개구를 개폐구로 하면, 파이프 선단과 용기 내의 용융 금속이 이간되어 있을 때에는, 개폐구와 접속구는 접속되어 있으나, 파이프의 케이싱 내의 선단인 개폐구 주위의 부분을 링 형상의 차폐 부재인 것으로 하면, 용기와 파이프를 상대적으로 이동시키고, 차폐 부재의 전체 둘레가 용기 내의 용융 금속에 접촉하여 침지되면, 파이프가 폐색되어 개폐구와 접속구가 차단된다.

이와는 별도로, 케이싱에 파이프를 기밀하게 삽입하여, 케이싱 내의 파이프 선단을 상방으로 향하게 하여 파이프 선단의 주위를 용기로 둘러싸 놓으면, 이 파이프 선단의 개구가 개폐구가 된다. 기체를 통과시키지 않고, 덮개가 되는 덮개 부재의 바닥면에, 링 형상의 돌기인 통 형상의 차폐 부재를 기밀하게 형성하면, 개폐구를 둘러싸는 용기 내의 용융 금속과 차폐 부재가 개폐구의 외측에서 개폐구의 전체 둘레에 걸쳐 접촉하고, 차폐 부재가 침지되면, 개폐구는 덮개 부재와 차폐 부재에 의하여 덮개가 덮여져 폐색된다. 케이싱에 접속구를 형성하여 놓으면, 덮개가 덮여진 상태에서는 개폐구와 접속구는 차단되고, 차폐 부재가 용융 금속으로부터 이간되어 덮개가 열리면 개폐구와 접속구는 접속된다.

본 발명에서는 용기와 차폐 부재를 상기와 같이 상대적으로 이동시키는 이동 장치를 형성할 수 있다. 차폐 부재와 용기 중 어느 일방 또는 양방이 이동하여 개폐가 실행되면 된다.

또, 본 발명의 개폐 밸브는, 상자체와, 상자체의 내부와 외부를 각각 연통시키는 접속구와 제 1, 제 2 개폐구를 갖고, 제 2 개폐구가 폐색되면서 제 1 개폐구와 접속구 사이를 상자체의 내부를 통과하여 기체를 통행시킬 수 있는 제 1 상태와, 제 1 개폐구가 폐색되면서 제 2 개폐구와 접속구 사이를 상자체의 내부를 통과하여 기체를 통행시킬 수 있는 제 2 상태를 전환할 수 있도록 된 개폐 밸브로서, 상자체 내에 배치되어 고체와 액체를 각각 배치할 수 있는 제 1, 제 2 용기와, 상자체 내에 배치되어 제 1, 제 2 용기에 각각 삽입, 발출할 수 있는 통 형상의 제 1, 제 2 차폐부를 갖고, 제 1, 제 2 용기에는 용융된 저융점 금속이 배치되고, 제 1 용기가 상자체 내에서 하방에 위치할 때에는 제 1 차폐부가 제 1 용기로부터 발출되고, 제 2 차폐부가 제 2 용기에 삽입되고 저융점 금속과 접촉하여 제 1 상태가 되고, 상방에 위치할 때에는 제 1 차폐부가 제 1 용기에 삽입되어 저융점 금속과 접촉하고, 제 2 차폐부가 제 2 용기로부터 발출되어 제 2 상태가 되는 개폐 밸브이다.

다음으로, 본 발명의 실시예를 설명한다.

도 1 의 부호 1 은 유기 EL 소자의 제조에 사용되는 본 발명의 제조 장치의 일례를 나타낸다.

이 제조 장치 (1) 는 반송실 (2) 과, 1 또는 복수의 증착 장치 (10a ~ 10c) 와, 스퍼터실 (7) 과, 반출입실 (3a, 3b) 과, 처리실 (6, 8) 을 갖고 있고, 각 증착 장치 (10a ~ 10c) 와, 스퍼터실 (7) 과, 반출입실 (3a, 3b) 과, 처리실 (6, 8) 은 각각 반송실 (2) 에 접속되어 있다.

반송실 (2) 과, 각 증착 장치 (10a ~ 10c) 와, 스퍼터실 (7) 과, 반출입실 (3a, 3b) 과, 각 처리실 (6, 8) 에는 진공 배기계 (9) 가 접속되어 있다.

진공 배기계 (9) 에 의하여, 반송실 (2) 내부와, 증착 장치 (10a ~ 10c) 내부와, 처리실 (6, 8) 내부와, 스퍼터실 (7) 내부와, 반입실 (3a) 내부와, 반출실 (3b) 내부에 진공 분위기가 형성된다.

반송실 (2) 내부에는 반송 로봇 (5) 이 배치되어 있고, 반송 로봇 (5) 에 의하여 기판은 진공 분위기 중에서 반송되고, 처리실 (6, 8) 내부에서 가열이나 클리닝 등의 전처리가 실시되고, 스퍼터실 (7) 에서 기판 표면 상에 투명 도전막 (하부 전극) 이 형성되고, 증착 장치 (10a ~ 10c) 에서 전자 주입층, 전자 수송층, 발광층, 홀 수송층, 홀 주입층 등의 유기 박막이 형성되고, 스퍼터실 (7) 내부에서 상부 전극이 형성되어 유기 EL 소자가 얻어진다. 얻어진 유기 EL 소자는 반출실 (3b) 로부터 외부로 반출된다.

또한, 이 제조 장치 (1) 에 반입하기 전에, 미리 다른 제조 장치에 의하여 기판 표면에 박막 트랜지스터나 하부 전극을 형성하여 두고, 필요한 경우에 그 하부 전극을 소정 형상으로 패터닝한 후, 상기 제조 장치 (1) 에 반입하여 유기 박막과 상부 전극을 형성해도 된다.

다음으로, 발광층을 형성하는 장치와 방법에 대하여 이하에 설명한다.

도 1 의 증착 장치 (10a ~ 10c) 중에서, 적어도 1 대는 본 발명의 증착 장치 (10b) 로 구성되어 있고, 본 발명의 증착 장치 (10b) 를 이용하여 상기 발광층이 형성된다.

도 2 는 본 발명의 증착 장치 (10b) 를 나타내는 모식적인 평면도로서, 증착 장치 (10b) 는 성막조와 성막원 (13) 을 갖고 있다. 또한, 도 2 에서는 성막조는 생략되어 있다.

성막원 (13) 은, 방출 장치 (50) 와, 복수의 증기 발생 장치 (20) 와, 증기 발생 장치 (20) 와 동일하거나 그 이상의 수의 개폐 밸브 (70) 를 갖고 있다.

각 증기 발생 장치 (20) 는, 상이한 증착 재료가 수용되는 것 이외에는 동일한 구성을 갖고 있고 동일한 부재에는 동일한 부호를 붙여 설명한다.

도 4 는 증기 발생 장치 (20) 의 단면도로서, 증기 발생 장치 (20) 는 가열 장치 (21) 와 공급 장치 (30) 를 갖고 있다.

가열 장치 (21) 는 가열실 (29) 을 갖고 있다. 가열실 (29) 의 내부 공간은 칸막이 부재 (25) 로 양분되고, 일방의 도입 공간 (22) 에는 세라믹 입자 (SiC 입자 등) 나, 메시 등으로 이루어지는 필터 (27) 가 배치되고, 타방의 가열 공간 (23) 에는 탑재 부재 (24) 가 배치되어 있다.

가열실 (29) 에는 가열 수단 (48) 이 장착되고, 전원 (47) 으로부터 가열 수단 (48) 에 통전하면, 가열실 (29) 이 가열되고, 열전도나 복사열에 의하여 탑재 부재 (24) 와 필터 (27) 도 가열된다. 또한, 가열실 (29) 에 더하여, 탑재 부재 (24) 와 필터 (27) 중 어느 일방 또는 양방에 개별적인 가열 수단을 장착하여 가열 수단에 의하여 직접 가열해도 된다.

가열실 (29) 의 내부에는 도입관 (26) 이 배치되고, 도입관 (26) 의 일단은 도입 공간 (22) 에, 타단은 가열 공간 (23) 에 접속되어 있다. 도입 공간 (22) 에는 가스 도입계 (28) 가 접속되어 있어 필터 (27) 를 가열하고, 가스 도입계 (28) 로부터 퍼지 가스를 도입하면, 퍼지 가스는 필터 (27) 를 통과할 때에 가열되고, 가열된 퍼지 가스가 도입관 (26) 과 가열 공간 (23) 에 공급된다.

공급 장치 (30) 는 탱크 (31) 와, 접속관 (33) 과, 회전축 (35) 을 갖고 있다.

탱크 (31) 는 가열실 (29) 의 상방에 배치되어 있고, 접속관 (33) 의 상단은 탱크 (31) 의 내부 공간에 기밀하게 접속되어 있다. 접속관 (33) 의 하단은 가열실 (29) 에 기밀하게 삽입 통과되고, 도입관 (26) 의 일단과 타단 사이에 접속되어 있다.

회전축 (35) 은 주위에 돌조 (36) 가 나선 형상으로 형성되고, 돌조 (36) 의 적어도 일부가 접속관 (33) 내에 위치하도록, 접속관 (33) 에 삽입 통과되어 있다. 도 4 는 탱크 (31) 에 증착 재료 (39) 를 수용한 상태를 나타내고 있다.

회전축 (35) 이 정지된 상태에서는, 증착 재료 (39) 는 탱크 (31) 에 머물지만, 회전 수단 (32) 에 의하여, 회전축 (35) 을 접속관 (33) 의 중심 축선을 중심으로 하여 회전시키면, 탱크 (31) 내의 증착 재료 (39) 는 돌조 (36) 간의 홈으로 들어가고, 그 홈을 통과하여 접속관 (33) 내를 하방으로 이동하여, 도입관 (26) 의 일단과 타단 사이로 낙하된다.

회전축 (35) 의 회전량과 증착 재료 (39) 의 낙하량의 관계를 구해 두면, 그 관계로부터, 필요량의 증착 재료 (39) 를 낙하시키는 데 필요한 회전축 (35) 의 회전량을 알 수 있다.

도입관 (26) 중에서, 적어도 증착 재료 (39) 의 낙하 지점보다 가열 공간 (23) 측은, 낙하 지점을 위로 하고, 가열 공간 (23) 측의 단부 (하단) 를 아래로 하여 경사지고, 증착 재료 (39) 는 중력에 의하여 낙하 지점으로부터 도입관 (26) 내를 하단으로 이동하고, 하단으로부터 가열 공간 (23) 으로 낙하된다.

도입관 (26) 하단의 바로 밑에는 탑재 부재 (24) 의 표면이 위치하고, 낙하된 증착 재료 (39) 는 탑재 부재 (24) 표면에 배치된다. 탑재 부재 (24) 의 표면은 수평면으로부터 경사져 있다. 탑재 부재 (24) 표면의 증착 재료 (39) 가 배치되는 낙하 장소는, 표면 하단보다 상방에 있고, 증착 재료 (39) 는 중력에 의하여 탑재 부재 (24) 표면을 하단으로 향하여 이동한다. 탑재 부재 (24) 를 증착 재료 (39) 의 증발 온도 이상으로 가열시켜 두면, 증착 재료 (39) 는 탑재 부재 (24) 표면의 하단에 도달하기 전에 전부가 증발하여 가열 공간 (23) 에 증기가 발생한다.

개폐 밸브 (70) 는, 각 증기 발생 장치 (20) 와 방출 장치 (50) 사이에 1 이상씩 형성되어 있고, 가열 공간 (23) 이 개폐 밸브 (70) 에 접속되어 있다.

다음으로, 개폐 밸브 (70) 에 대하여 상세하게 설명한다. 각 개폐 밸브 (70) 는 동일한 구조를 갖고 있고, 동일한 부재에는 동일한 부호를 붙여 설명한다.

도 3 은 도 2 의 A-A 절단선 단면도로서, 각 개폐 밸브 (70) 는, 케이싱인 상자체 (71) 와, 용기 (75) 와, 차폐 부재 (72) 와, 이동 장치 (61) 를 각각 갖고 있다.

상자체 (71) 의 바닥벽의 일부는 분리되어 있다. 도 3 의 부호 64 는 분리된 상자체 하부를 나타내고, 부호 79 는 나머지의 상자체 상부를 나타내고 있다.

상자체 상부 (79) 와 상자체 하부 (64) 사이에는 신축 부재 (예를 들어 벨로우즈 (66)) 가 배치되고, 상자체 상부 (79) 와 상자체 하부 (64) 사이의 공간은 벨로우즈 (66) 에 의하여 외부로부터 차단되어 있다. 따라서, 상자체 (71) 의 내부 공간은 외부 공간으로부터 차단되어 있다.

벨로우즈 (66) 에는 상축 (65) 이 삽입 통과되고, 상축 (65) 의 하단은 상자체 하부 (64) 에 고정되고 있다. 용기 (75) 는 개구를 상방으로 향하게 한 상태에서 상축 (65) 상단에 장착되어 있다.

하축 (63) 의 하단은 이동 장치 (61) 에 접속되어 있다. 이동 장치 (61) 에 의하여, 하축 (63) 을 상승 또는 하강시키면 벨로우즈 (66) 가 신축되고, 상자체 (71) 의 내부 공간을 외부 공간으로부터 차단한 채로, 상자체 하부 (64) 와, 상축 (65) 와, 용기 (75) 가 함께 상승 또는 하강한다.

차폐 부재 (72) 는 통 (파이프) 으로 구성되고, 통의 일단 (하단) 이 용기 (75) 의 개구와 대면하도록, 상자체 상부 (79) 에 기밀하게 삽입 통과되어 있다.

상자체 하부 (64) 가 이동하는 것에 반하여, 상자체 상부 (79) 는 고정되어 있다. 차폐 부재 (72) 는 상자체 상부 (79) 에 고정되어 있고, 용기 (75) 가 상승 또는 하강함으로써 용기 (75) 와 차폐 부재 (72) 가 상대적으로 이동한다.

용기 (75) 바닥면의 대략 중앙 위치에는, 용기 (75) 의 개구보다 소직경의 돌기부 (74) 가 세워져 형성되고, 용기 (75) 측벽과, 돌기부 (74) 측면 사이에 링 형상의 수용부가 형성되어 있다.

상자체 상부 (79) 에 삽입된 파이프 하단의 개구가 개폐구 (69) 로 되어 있고, 그 개폐구 (69) 주위의 파이프 선단 부분이 차폐 부재 (72) 로 되어 있다. 후술하는 바와 같이, 차폐 부재 (72) 에 의하여 개폐구 (69) 가 개폐된다.

도 5(a), 도 5(b) 와, 도 3 은 용기 (75) 에 저융점 금속 (76) 을 배치한 상태를 나타내고 있다. 용기 (75) 는 상자체 (71) 내부에 위치하기 때문에, 저융점 금속 (76) 은 용기 (75) 를 개재하여 간접적으로 상자체 (71) 내부에 배치되게 된다.

상자체 (71) 에는 히터 등의 가열 수단 (48) 이 장착되어 있다. 용기 (75) 와 돌기부 (74) 는, 상자체 (71) 가 가열되었을 때의 복사열에 의하여 가열되거나, 용기 (75) 에 장착된 가열 수단 (48) 에 의하여 가열되고, 저융점 금속 (76) 이 가열되어 링 형상이 된다.

차폐 부재 (72) 의 하단은, 외주가 용기 (75) 개구보다 작고, 내주 (內周) 가 돌기부 (74) 선단보다 크게 되어 있다. 차폐 부재 (72) 하단의 외주와 내주는, 용기 (75) 개구의 가장자리와 돌기부 (74) 선단의 외주 사이에 위치하고 있고, 차폐 부재 (72) 의 하단 전체 둘레가 용융된 저융점 금속 (76) 의 표면과 대면한다.

용기 (75) 를 상승시키고, 용융된 저융점 금속 (76) 을 차폐 부재 (72) 하단에 접근시키면, 당해 저융점 금속 (76) 표면에 차폐 부재 (72) 하단 전체 둘레가 접촉하고, 상자체 (71) 의 내부 공간이 차폐 부재 (72) 의 내부 공간과 차폐 부재 (72) 의 외부 공간으로 분리된 닫힘 상태가 된다 (도 5(a)).

반대로, 용기 (75) 를 하강시키고, 용융된 저융점 금속 (76) 으로부터 차폐 부재 (72) 를 멀어지게 하여 이간시키면, 차폐 부재 (72) 의 내부 공간이 외부 공간에 접속되고, 상자체 (71) 의 내부 공간이 일체로 된 열림 상태가 된다 (도 5(b)).

상자체 상부 (79) 의 측면에는 관통공이 형성되고, 그 관통공, 또는 그 관통공에 기밀하게 삽입 통과된 배관으로서 접속 배관 (78) 이 구성되어 있다. 차폐 부재 (72) 의 상단은 상자체 (71) 로부터 기밀하게 도출되어 있다. 상자체 (71) 의 내부 공간은, 접속 배관 (78) 과 차폐 부재 (72) 만을 개재하여 외부 장치에 접속할 수 있도록 되어 있다.

증기 발생 장치 (20) 와 방출 장치 (50) 중에서, 어느 일방은 접속 배관 (78) 에, 타방은 차폐 부재 (72) 에 각각 기밀하게 접속되어 있다.

상자체 (71) 내부의 차폐 부재 (72) 의 내부 공간과 외부 공간은, 상자체 (71) 또는 벨로우즈 (66) 에 의하여 외부 공간 (예를 들어 대기) 으로부터 차단되어 있기 때문에, 개폐 밸브 (70) 를 열림 상태로 하면, 증착 재료 (39) 의 증기를 포함하는 기체는 외부에 누출되지 않고, 상자체 (71) 의 내부 공간을 통과하여 증기 발생 장치 (20) 로부터 방출 장치 (50) 로 이동한다.

반대로, 개폐 밸브 (70) 를 닫힘 상태로 하면, 상기 기체는 외부에 누출되지 않고, 증기 발생 장치 (20) 와 개폐 밸브 (70) 의 일부 (차폐 부재 (72) 의 내부 공간 또는 외부 공간) 에 머문다.

개폐 밸브 (70) 는 개별적으로 열림 상태와 닫힘 상태로 전환될 수 있기 때문에, 증기 발생 장치 (20) 를 개별적으로 방출 장치 (50) 에 접속 또는 차단하고, 원하는 증기 발생 장치 (20) 로부터 기체를 방출 장치 (50) 로 이동시킬 수 있다.

각 개폐 밸브 (70) 는 1 개의 방출 장치 (50) 에 접속되어 있다. 따라서, 각 증기 발생 장치 (20) 에서 발생된 증기는, 1 개의 방출 장치 (50) 에 공급된다.

방출 장치 (50) 는 복수의 방출관 (52) 을 갖고 있다.

각 방출관 (52) 은 가늘고 길며, 각 방출관 (52) 에는 복수의 방출구 (55) 가 길이 방향을 따라 일정 간격을 두고 열을 지어 형성되어 있다. 각 방출관 (52) 은, 각 방출구 (55) 를 각각 하방으로 향하게 하여, 성막조 (11) 내부와 평행하게 배치되어 있다. 따라서, 방출구 (55) 는 행렬 형상으로 나열되어 있다.

각 방출관 (52) 은 공통관 (51) 을 개재하여 각 개폐 밸브 (70) 에 각각 접속되어 있고, 개폐 밸브 (70) 를 열림 상태로 하면, 당해 개폐 밸브 (70) 에 접속된 증기 발생 장치 (20) 로부터 증기가 각 방출관 (52) 에 공급된다.

방출 장치 (50) 의 증기가 통과하는 방출 경로(각 방출관 (52), 공통관 (51)) 에는 가열 수단 (48) 이 장착되어 있다. 가열 수단 (48) 에 의하여, 방출 경로를 증기가 석출되지 않는 온도로 가열하여 두면, 증기는 도중에 석출되지 않고 각 방출구 (55) 로부터 방출된다.

상기 서술한 바와 같이, 각 방출구 (55) 는 하방을 향하고 있기 때문에, 증기는 방출구 (55) 로부터 하방으로 분출된다. 성막조 (11) 의 방출구 (55) 가 나열된 영역의 하방에는 탑재대 (15) 가 배치되어 있다. 성막조 (11) 에 반입된 기판 (81) 은 탑재대 (15) 의 표면에 배치되고, 방출구 (55) 로부터 방출되는 증기는 탑재대 (15) 상의 기판 (81) 표면에 분사된다.

탑재대 (15) 의 기판 (81) 이 배치되는 면은, 기판 (81) 이면의 절반 이상이 접촉되도록 크게 되어 있어, 기판 (81) 이 대형이어도 휨 등의 변형이 발생하지 않는다.

다음으로, 이 증착 장치 (10b) 를 이용하여 발광층을 형성하는 공정에 대하여 설명한다.

발광성 유기 재료와 착색제를 혼합하여 2 색 이상의 증착 재료 (39) 를 준비한다. 백색광용의 발광층을 형성하는 경우에는, 적어도 3 색 (예를 들어, 적, 녹, 청) 의 증착 재료 (39) 를 준비한다.

적, 녹, 청의 3 색 중에서, 어느 1 색을 제 1 색, 나머지의 2 색 중에서 어느 일방을 제 2 색, 타방을 제 ３ 색으로 하여 이하에서 설명한다. 또한, 백색광을 보다 백색에 근접시키기 위해서는, 제 1 ~ 제 ３ 색에 더하여 1 색 이상의 보조색 (예를 들어 황) 의 증착 재료 (39) 도 준비한다.

미리, 각 색의 착색층의 성막해야 할 막 두께는 미리 정해져 있고, 정해진 막 두께의 성막에 필요한 증착 재료 (39) 의 필요량을, 각 색마다 미리 구해 둔다.

각 가열실 (29) 과, 각 탱크 (31) 와, 각 상자체 (71) 와, 성막조 (11) 는 각각 진공 배기계 (9) 에 접속되어 있고, 각 가열실 (29) 과, 각 탱크 (31) 와, 각 상자체 (71) 와, 성막조 (11) 를 진공 배기하여 소정 압력 (예를 들어 10^-5 ㎩) 의 진공 분위기가 형성된다. 방출 장치 (50) 는 방출구 (55) 를 개재하여 성막조 (11) 의 내부에 접속되어 있기 때문에, 방출 장치 (50) 의 내부에도 진공 분위기가 형성된다.

각 탱크 (31) 의 진공 분위기를 유지한 채로, 각 색의 유기 재료를 상이한 증기 발생 장치 (20) 의 탱크 (31) 에 각각 수용한다.

각 가열 수단 (48) 에 통전하여, 탑재 부재 (24) 를 증착 재료 (39) 가 증발하는 증발 온도 (300 ℃ 이상 400 ℃ 이하) 로 가열하고, 가열실 (29) 과, 상자체 (71) 와, 방출 장치 (50) 와, 용기 (75) 와, 돌기부 (74) 등의 증기와 접촉하는 부재를, 각각, 증착 재료 (39) 의 증기가 석출되는 온도를 초과한 가열 온도 (240 ℃ 이상 400 ℃ 이하) 로 가열한다. 미리 각 용기 (75) 에 융점이 가열 온도 이하인 저융점 금속 (76) 을 배치해 두고, 그 저융점 금속 (76) 을 용융시킨다.

각 증기 발생 장치 (20) 의 가열 공간 (23) 에 퍼지 가스를 각각 공급한다. 필터 (27) 는 가열 온도로 가열되어 있기 때문에, 가열 온도로 승온된 퍼지 가스가 가열 공간 (23) 에 공급된다. 각 증기 발생 장치 (20) 의, 탑재 부재 (24) 를 증발 온도로, 증기와 접촉하는 부재를 가열 온도로 각각 유지한다.

제 1 색의 증착 재료 (39) 가 수용된 증기 발생 장치 (20) 의 가열실 (29) 과, 그 가열실 (29) 에 접속된 개폐 밸브 (70) 의 진공 배기를 정지시켜 당해 증기 발생 장치 (20) 를 성막 상태로 한다. 제 1 색의 증착 재료 (39) 를 앞서 구한 필요량 가열 공간 (23) 에 낙하시켜 증기를 발생시킨다.

성막조 (11) 의 진공 배기를 계속하면서, 증기를 발생시킨 증기 발생 장치 (20) 와 방출 장치 (50) 사이의 개폐 밸브 (70) 를 열림 상태로, 다른 증기 발생 장치 (20) 와 방출 장치 (50) 사이의 개폐 밸브 (70) 를 닫힘 상태로 한다.

증기는, 다른 증기 발생 장치 (20) 로는 이동하지 않고, 퍼지 가스와 함께 개폐 밸브 (70) 와 방출 장치 (50) 를 통과하여 방출구 (55) 로부터 방출된다.

방출구 (55) 로부터 증기가 방출되기 전에, 미리 성막조 (11) 내부에 기판 (81) 을 반입하여 탑재대 (15) 표면에 배치해 둔다.

방출구 (55) 로부터 증기가 방출되기 시작한 이후부터, 증기의 방출이 끝나고 성막이 종료될 때까지, 탑재대 (15) 상의 기판 (81) 을 방출구 (55) 가 배치된 영역과 대면시켜 둔다.

증착 재료 (39) 를 낙하시키고 나서 소정 시간이 경과하거나, 가열 공간 (23) 의 내부 압력이 소정 압력 이하로 되면 성막이 종료된 것으로 판단한다. 성막이 종료되었을 때에는, 기판 (81) 표면에는 정해진 막 두께를 갖는 제 1 색의 착색층이 형성되어 있다. 성막이 종료되면, 가열실 (29) 과 개폐 밸브 (70) 의 진공 배기를 재개하여 잔류 증기를 배출한다.

탑재대 (15) 상에 기판 (81) 을 배치한 채로, 성막 상태로 두는 증기 발생 장치 (20) 를, 제 1 색의 증착 재료 (39) 가 수용된 것으로부터, 제 2 색의 증착 재료 (39) 가 수용된 것으로 변환시킨다.

성막 상태의 증기 발생 장치 (20) 와 방출 장치 (50) 사이의 개폐 밸브 (70) 를 열림 상태로 하고, 다른 증기 발생 장치 (20) 와 방출 장치 (50) 사이의 개폐 밸브 (70) 를 닫힘 상태로 하는 개폐 밸브 (70) 의 전환을 실시하고, 필요량의 제 2 색의 증착 재료 (39) 의 증기를 발생시켜, 제 1 색의 경우와 마찬가지로, 기판 (81) 표면 상에 정해진 막 두께의 제 2 색의 착색층을 성막한다.

성막 종료 후, 탑재대 (15) 에 기판 (81) 을 탑재한 채로, 잔류 증기의 배출과, 성막 상태로 두는 증기 발생 장치 (20) 의 변경과, 개폐 밸브 (70) 의 전환과, 제 ３ 색의 착색층의 성막을 실시하면, 기판 (81) 표면 상에 제 1 ~ 제 ３ 색의 착색층으로 이루어지는 발광층이 형성된다.

또한, 제 1 ~ 제 ３ 색에 더하여, 1 색 이상의 보조색 (예를 들어 황) 의 착색층을 형성하여 발광층으로 하는 경우에는, 제 1 ~ 제 ３ 색의 착색층을 형성하기 전, 제 1 ~ 제３ 착색층을 형성하는 동안, 또는 제 1 ~ 제 ３ 색의 착색층을 형성하고 나서 제 1 ~ 제 ３ 색의 착색층을 형성했을 때와 동일한 방법으로 보조색의 착색층을 형성한다.

마스크 (16) 를 사용하지 않고 발광층을 형성하거나, 방출구 (55) 가 배치된 영역과 기판 (81) 사이에서, 마스크 (16) 를 기판 (81) 에 대하여 상대적으로 정지시킨 상태에서 발광층을 형성하면, 각 색의 착색층이 기판 (81) 표면 상의 동일한 장소에 적층된다.

성막하는 착색층의 색을 변경할 때마다, 마스크 (16) 와 기판 (81) 을 상대적으로 이동시키면, 각 색의 착색층이 기판 (81) 표면 상의 상이한 장소에 각각 형성된다.

착색층이 동일한 장소에 적층된 경우와 기판 (81) 표면 상의 상이한 장소에 형성된 경우 모두, 상부 전극과 하부 전극에 통전하고, 각 착색층에 전압을 인가하여 발광시키면 백색광이 방출된다.

또, 착색층이 상이한 장소에 형성되고, 하부 전극과 상부 전극 중 어느 일방이 패터닝되어 각 착색층에 개별적으로 전압을 인가할 수 있으면, 원하는 장소의 원하는 색의 착색층을 발광시킴으로써, 문자나 화상을 풀 컬러 표시할 수 있다.

또한, 착색층을 성막하고 있는 동안에, 필터 (27) 를 가열 온도로 가열한 채로, 퍼지 가스의 도입을 계속하면, 증기가 퍼지 가스에 밀려 흐르기 때문에, 필요량의 증착 재료 (39) 의 증기를 모두 방출구 (55) 로부터 방출시킬 수가 있어 착색층의 막 두께를 정확하게 제어할 수 있다. 또, 잔류 증기를 배출할 때에도, 퍼지 가스의 도입을 계속하면 단시간에 배출이 이루어진다.

이상에서는, 저융점 금속 (76) 이 용기 (75) 에 배치되는 경우에 대하여 설명했으나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 도 6 의 부호 80 은 본 발명 제 2 예의 개폐 밸브를 나타낸다. 이 개폐 밸브 (80) 에서는, 저융점 금속 (76) 은 상자체 (85) 의 상자체 하부 (84) 에 직접 배치되어 있다.

도 3 과 마찬가지로, 차폐 부재 (72) 와 접속 배관 (78) 은 상자체 상부 (88) 에 기밀하게 삽입 통과되고, 상자체 상부 (88) 는 고정되고 있다. 상자체 하부 (84) 와 상자체 상부 (88) 는 벨로우즈 (86) 에 의하여 기밀하게 접속되어 상대적으로 이동할 수 있도록 되어 있다. 상자체 하부 (84) 에는 도시 생략된 이동 장치가 장착되고, 이동 장치에 의하여 상자체 하부 (84) 가 승강하여, 상자체 하부 (84) 에 배치된 저융점 금속 (76) 이 차폐 부재 (72) 의 하단에 대하여 상대적으로 이동한다.

이상은, 상자체 상부 (88) 가 고정되고, 상자체 하부 (84) 가 이동하는 경우에 대하여 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 상자체 하부 (84) 를 고정시키고, 상자체 상부 (88) 에 이동 장치를 접속하여 승강시켜도 되며, 상자체 상부 (88) 와 상자체 하부 (84) 의 양방에 이동 장치를 접속하여 양방을 승강시켜도 된다.

상자체 상부 (88) 를 승강시키는 경우에는, 차폐 부재 (72) 나 접속 배관 (78) 의 접속처 (방출 장치 (50) 또는 증기 발생 장치 (20)) 가 손상되지 않도록 차폐 부재 (72) 와 접속처 사이, 접속 배관 (78) 과 접속처 사이에, 벨로우즈 (86) 와 같은 신축 부재를 형성하여 차폐 부재 (72) 와 접속 배관 (78) 의 이동을 흡수한다.

이상은, 개폐 밸브 (70) 가 각각의 상자체 (71) 를 갖는 경우에 대하여 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다.

도 7 은 본 발명 제 3 예의 개폐 밸브 (100) 를 나타내고 있다. 각 개폐 밸브 (100) 는, 공통된 상자체 (101) 를 갖고, 각 개폐 밸브 (100) 의 용기 (75) 는 공통된 상자체 (101) 내부에 배치되어 있다. 상자체 (101) 는, 상자체 상부 (109) 는 공통되지만, 상자체 하부 (104) 가 개폐 밸브 (100) 마다 형성되어 있다.

도 3 의 개폐 밸브 (70) 와 마찬가지로, 각 상자체 하부 (104) 는 벨로우즈 (66) 와 같은 신축 부재에 의하여 상자체 상부 (109) 에 각각 접속되고, 이동 장치 (61) 에 의하여 상자체 하부 (104) 와, 상축 (65) 과, 용기 (75) 가 함께 승강한다.

각 개폐 밸브 (100) 의 차폐 부재 (72) 는, 공통된 상자체 상부 (109) 에 각각 기밀하게 삽입 통과되어 있다. 용기 (75) 와 차폐 부재 (72) 의 위치 관계는 도 3 과 동일하게 되어 있고. 각 용기 (75) 가 승강함으로써 용기 (75) 에 배치된 저융점 금속 (76) 과 차폐 부재 (72) 가 상대적으로 이동한다.

이동 장치 (61) 는 용기 (75) 를 개별적으로 승강 가능하도록 되어 있고, 원하는 개폐 밸브 (100) 의 용기 (75) 만을 승강시켜 열림 상태와 닫힘 상태로 전환함으로써, 증기 발생 장치 (20) 를 개별적으로 방출 장치 (50) 에 접속 또는 차단할 수 있다.

이상은, 각 개폐 밸브 (70, 80, 100) 가 저융점 금속 (76) 을 개별적으로 갖는 경우에 대하여 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다.

도 8 은 본 발명 제 4 예의 개폐 밸브 (120) 를 나타내고, 각 개폐 밸브 (120) 는 공통된 저융점 금속 (76) 을 갖고 있고, 그 저융점 금속 (76) 은 공통된 상자체 (121) 의 상자체 하부 (124) 에 직접 수용되거나, 그 상자체 하부 (124) 에 배치된 용기 (125) 에 수용된다.

여기서는, 각 개폐 밸브 (120) 의 상자체 하부 (124) 는 공통되지만, 상자체 상부 (129) 가 개폐 밸브 (120) 마다 형성되어 있고, 각 상자체 상부 (129) 는 벨로우즈 (126) 와 같은 신축 부재로 상자체 하부 (124) 에 기밀하게 장착되고, 상자체 (121) 의 내부 공간이 외부로부터 차단되어 있다.

상자체 하부 (124) 는 고정되고, 상자체 상부 (129) 는 도시 생략된 이동 장치에 접속되고, 각 상자체 상부 (129) 가 개별적으로 승강 가능하도록 되어 있다.

차폐 부재 (72) 는, 하단 개구가 저융점 금속 (76) 과 대면하도록 각 상자체 상부 (129) 에 삽입 통과되어 있다. 차폐 부재 (72) 는 상자체 상부 (129) 에 고정되고, 상자체 상부 (129) 가 승강하면 함께 승강하여, 저융점 금속 (76) 에 대하여 상대적으로 이동한다.

이동 장치는, 차폐 부재 (72) 를 개별적으로 승강할 수 있도록 되어 있고, 원하는 개폐 밸브 (120) 의 차폐 부재 (72) 만을 승강시켜 열림 상태와 닫힘 상태로 전환함으로써, 증기 발생 장치 (20) 를 개별적으로 방출 장치 (50) 에 접속 또는 차단할 수 있다.

차폐 부재 (72) 가 이동함으로써, 차폐 부재 (72) 의 접속처가 손상될 우려가 있기 때문에, 차폐 부재 (72) 와 접속처 사이에 벨로우즈나 플라스틱 부재 등의 신축 부재를 형성하는 것이 바람직하다.

접속 배관 (78) 은, 도 7 의 개폐 밸브 (100) 에서는 상자체 상부 (109) 에 접속되고, 도 8 의 개폐 밸브 (120) 에서는 상자체 하부 (124) 에 접속된다는 차이는 있지만, 어느 경우나 각 개폐 밸브 (100, 120) 에서 접속 배관 (78) 이 공통되고, 차폐 부재 (72) 의 외부 공간도 공통된다. 각 증기 발생 장치 (20) 를 각각 차폐 부재 (72) 에 접속하고, 방출 장치 (50) 를 접속 배관 (78) 에 접속한다.

저융점 금속 (76) 은 특별히 한정되지 않지만, 융점이, 증착 재료 (39) 의 증기가 분해되는 분해 온도 미만의 것을 사용하고, 그 분해 온도 미만으로 가열하여 성막을 실시하면, 증기가 저융점 금속 (76) 에 접촉되어도 분해되지 않는다.

본 발명에서는, 상기 서술한 바와 같이 증기와 접촉하는 부재를, 증착 재료 (39) 의 증기가 석출되는 온도를 초과한 가열 온도로 가열하기 때문에, 저융점 금속 (76) 으로는 당해 가열 온도 미만에 융점이 있는 것을 사용한다.

예를 들어, 증착 재료 (39) 가 유기 EL 소자용 유기 재료인 경우, 가열 온도는 250 ℃ 이상 400 ℃ 이하, 저융점 금속 (76) 으로는, In (융점 156 ℃) 과, Sn (융점 232 ℃) 과, InSn 합금으로 이루어지는 군에서 선택되는 어느 1 종류 이상의 금속을 사용한다.

용기 (75) 와 돌기부 (74) 는, 스테인리스 등, 상기 가열 온도에서 용융되지 않는 내열재료로 구성하면, 저융점 금속 (76) 을 용융시킬 때 변형도 용융도 되지 않는다.

본 발명의 증착 장치 (10b) 에 사용하는 증착 재료 (39) 는 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 입경 100 ㎛ 이상 200 ㎛ 이하의 분체이다.

탑재 부재 (24) 의 구성 재료는 특별히 한정되지 않지만, 금속, 합금, 무기물 등 열전도율이 높은 것이 바람직하다. 그 중에서도, 실리콘카바이트 (SiC) 는 열전도율과 기계적 강도의 양방이 우수하기 때문에 특히 바람직하다.

용융된 저융점 금속 (76) 은 링 형상으로 할 필요는 없으나, 각 개폐 밸브 (70) 에서 별개로 저융점 금속 (76) 을 배치하는 경우에는 링 형상으로 하는 것이, 저융점 금속 (76) 의 가열 효율이 높은 데다가 저융점 금속 (76) 의 사용량이 적어도 된다.

차폐 부재 (72) 의 형상도 특별히 한정되지 않지만, 하단을 구성하는 벽을, 선단을 향하여 끝이 가늘어지게 하여 예리하게 하면 개폐 밸브 (70) 를 닫힘 상태로 할 때 저융점 금속 (76) 이 비산되지 않는다.

또, 개폐 밸브 (70) 를 닫힘 상태로 할 때의, 저융점 금속 (76) 과 차폐 부재 (72) 의 상대적인 이동량을, 차폐 부재 (72) 의 하단이 용기 (75) (또는 상자체 (85)) 의 바닥면과 접촉하지 않고, 저융점 금속 (76) 표면과 용기 (75) (또는 상자체 (85)) 바닥면 사이에서 정지하도록 설정해 두면, 차폐 부재 (72) 하단은 항상 고체에 접촉하지 않기 때문에, 개폐 밸브 (70) 를 반복하여 개폐해도 마모되지 않는다.

차폐 부재 (72) 는 통 형상에 한정되지 않고, 상자체 (71) 의 내부 공간을 분리할 수 있으면 판 형상, 구 형상 등 여러 가지의 형상으로 할 수 있다.

퍼지 가스를 도입하면서 성막을 실시하는 경우에는, 퍼지 가스로는 증착 재료 (39) 와 반응하지 않는 불활성 가스 (Ar, Kr, Xe) 를 사용하는 것이 바람직하다.

방출 장치 (50) 를 가열할 때에는, 복사열로 기판 (81) 이나 마스크 (16) 가 가열될 우려가 있다. 특히, 기판 (81) 을 방출구 (55) 와 대향하는 영역에 대면시킨 채로 성막을 실시하는 경우에는, 기판 (81) 이 고온으로 되기 쉽기 때문에, 방출 장치 (50) 와 마스크 (16) 사이, 또는 방출 장치 (50) 와 기판 (81) 사이에 냉각 부재 (67) 를 배치하고, 방출 장치 (50) 를 냉각 부재 (67) 로 덮어, 기판 (81) 을 60 ℃ 이하로 유지하는 것이 바람직하다.

냉각 부재 (67) 중에서, 방출구 (55) 와 대면하는 부분에는, 방출구 (55) 보다 대직경인 개구를 형성하고, 방출구 (55) 로부터 방출되는 증기가 냉각 부재 (67) 에 석출되지 않도록 한다. 그 개구의 형상이나 방출구와의 위치 관계는 특별히 한정되지 않으며, 1 개의 개구에 1 개의 방출구를 노출시켜도 되고, 1 개의 개구에 2 개 이상의 방출구를 노출시켜도 된다.

탱크 (31) 에 수용된 증착 재료 (39) 의 변질을 피하기 위하여, 각 탱크 (31) 나 공급 장치 (30) 는, 증착 재료 (39) 의 증발 온도 미만 (예를 들어 240 ℃ 미만) 으로 유지하는 것이 바람직하다.

구체적으로는, 단열 부재를 형성하여 가열실 (29) 등으로부터의 열이 공급 장치 (30) 또는 탱크 (31) 에 전달되지 않도록 한다. 또, 단열 부재를 형성함과 동시에, 공급 장치 (30) 와 탱크 (31) 중 어느 일방 또는 양방을 냉각 수단으로 냉각하면, 보다 확실하게 증착 재료 (39) 의 변질을 방지할 수 있다.

증착 재료 (39) 는 호스트나 도펀트 등의 혼합물에 한정되지 않는다. 예를 들어, 증착 재료 (39) 의 구성 성분을, 각각의 증기 발생 장치 (20) 의 탱크 (31) 에 수용해 두고, 각 구성 성분이 수용된 증기 발생 장치 (20) 를 각각 방출 장치 (50) 에 접속하고, 각 구성 성분의 증기가 혼합된 것을 방출구 (55) 로부터 방출하여 성막을 실시해도 된다.

착색층은, 발광성 유기 재료가 함유된 발광층을 구성하는 경우에 한정되지 않고, 발광층과는 별도로 형성하여 컬러 필터로 해도 된다.

본 발명의 증착 장치 (10b) 는 발광층뿐만 아니라, 홀 수송층, 홀 주입층, 전자 주입층, 전자 수송층 등 다른 유기 박막의 성막에 사용할 수도 있다.

상기 서술한 증착 장치 (10a ~ 10c) 를, 각각 RGB (적, 녹, 청) 용으로 나누고, 각 증착 장치 (10a ~ 10c) 에서 각 색의 홀 수송층, 홀 주입층, 발광층, 전자 주입층, 전자 수송층을 성막해도 된다.

방출 장치 (50) 와 탑재대 (15) 중 어느 일방 또는 양방을 요동 장치 (58) 에 접속하여, 성막 중에 탑재대 (15) 상의 기판 (81) 과 방출 장치 (50) 를 상대적으로 이동시켜도 된다. 구체적으로는, 기판 (81) 이 평면 내에서 왕복 이동 또는 원 운동하듯이 이동시킨다. 기판 (81) 표면의 방출구 (55) 와 대면하는 위치가 이동하기 때문에, 기판 (81) 표면에 성장하는 유기 박막의 막 두께가 균일해진다.

탑재대 (15) 와 방출 장치 (50) 의 상대적인 왕복 이동의 방향은 특별히 한정되지 않지만, 막 두께 분포를 더욱 균일하게 하기 위해서는 방출관 (52) 의 길이 방향과 교차하는 방향으로 왕복 이동시킨다.

기판 (81) 과 방출 장치 (50) 의 위치 관계는 특별히 한정되지 않는다. 기판 (81) 의 휨이 문제가 되지 않을 정도로 소형인 경우에는, 방출구 (55) 를 상측으로 향하게 하여 기판 (81) 을 방출 장치 (50) 의 상방에 배치해도 되고, 방출구 (55) 를 측방으로 향하게 하여 기판 (81) 을 방출 장치 (50) 의 측방에 세워 형성해도 된다.

또한, 정해진 막 두께를 성막하는 데 필요한 증착 재료 (39) 의 공급량은 예비 시험에서 구해 둔다. 예비 시험은, 실제의 성막에 사용하는 것과 동일한 증착 재료 (39) 를 탱크 (31) 에 수용하고, 진공 분위기의 압력, 탑재 부재 (24) 의 온도 등의 성막 조건을 실제의 제조시의 성막 조건과 동일하게 하고, 방출 장치 (50) 상에 기판 (81) (마스크 (16) 를 사용한다면, 마스크 (16) 와 기판 (81)) 을 배치한 채로, 증착 재료 (39) 를 탑재 부재 (24) 에 탑재하고 증기를 발생시켜 박막을 형성한다. 증착 재료 (39) 의 낙하량과 박막의 막 두께와의 관계를 구하면, 그 관계로부터 필요 공급량을 알 수 있다.

증기 발생 장치 (20) 와 개폐 밸브 (70) 의 설치 장소는 특별히 한정되지 않고, 증기 발생 장치 (20) 와 개폐 밸브 (70) 중 어느 일방 또는 양방을 성막조 (11) 내부에 배치해도 되고, 성막조 (11) 와는 상이한 진공조 내에 배치해도 된다.

이상의 설명에서는 개폐구 (69) 가 파이프 하단에 배치되어 있었으나, 도 10(a), 도 10(b) 와 같이, 용기 (43) 의 바닥면에 삽입된 파이프 (41) 상단의 개구로 구성하게 하고, 덮개부 (40) 의 바닥면에 형성한 통 형상의 돌기로 이루어지는 차폐 부재 (49) 를 상하시켜, 용기에 의하여 전체 둘레가 둘러싸인 개폐구 (69) 를 개폐하도록 해도 된다.

그 개폐 밸브 (70a) 를 설명하면, 도 10(a), 도 10(b) 를 참조하여, 개폐 밸브 (70a) 는 케이싱인 상자체 (79) 내에 용기 본체 (45) 가 배치되어 있다. 용기 본체 (45) 에는, 용기 본체 (45) 의 바닥면의 하방측으로부터 파이프 (41) 가 용기 본체 (45) 의 바닥면과 파이프 (41) 의 사이를 액밀 (液密, 즉, 액체에 대하여 밀폐함) 하게 삽입되어 있고, 파이프 (41) 는 용기 본체 (45) 의 바닥면 상에 돌출되어 있다.

파이프 (41) 의 외주와, 용기 본체 (45) 의 내주면 사이는 이간되어 있고, 따라서, 파이프 (41) 의 용기 본체 (45) 의 바닥면 상의 부분은, 용기 본체 (45) 의 내주면 및 바닥면과 파이프 (41) 의 외주면으로 구성된 링 형상의 용기 (43) 에 의하여 둘러싸여 있다.

이 링 형상의 용기 (43) 내에는 저융점 금속 (46) 이 배치되어 있고, 상자체 (79) 의 외부에 배치된 히터 (48) 에 의하여 저융점 금속 (46) 은 융점 이상의 온도로 가열되고, 용융되어 있다.

용기 (43) 의 상부에는 덮개부 (40) 가 배치되어 있다.

덮개부 (40) 의 바닥면은 용기 (43) 에 접하고 있고, 바닥면에는 링 형상의 돌출물로 이루어지고, 통 형상의 차폐 부재 (49) 가 형성되어 있다. 덮개부 (40) 와 차폐 부재 (49) 는 기체를 투과시키지 않고, 서로 기밀하게 접속되어 있다.

덮개부 (40) 에는, 이동축 (42) 이 접속되어 있고, 이동축 (42) 은 상자체 (79) 의 외부로 기밀하게 도출되어 모터 (44) 에 접속되어 있다. 모터 (44) 를 동작시키면 이동축 (42) 을 통하여 덮개부 (40) 와 차폐 부재 (49) 가 상하 이동한다.

상자체 (79) 에는, 증기 발생 장치 (20) 와 방출 장치 (50) 중 어느 일방에 접속되는 접속구 (62) 가 형성되어 있다. 파이프 (41) 의 하단부는, 상자체 (79) 의 벽면으로부터 외부로 기밀하게 도출되어 있고, 용기 (43) 를 구성하는 부분의 상단이 개폐구 (69) 로 되어, 증기 발생 장치 (20) 와 방출 장치 (50) 중 접속구 (62) 에 접속되어 있지 않은 쪽으로 접속되어 있다.

차폐 부재 (49) 와 덮개부 (40) 가, 용기 (43) 나 용융된 저융점 금속 (46) 으로부터 이간되어 있을 때에는, 상자체 (79) 내부에서 접속 배관 (78) 과 개폐구 (69) 가 접속되고, 따라서 증기 발생 장치 (20) 와 방출 장치 (50) 가 접속된다.

덮개부 (40) 가 강하하여, 차폐 부재 (49) 가 개폐구 (69) 주위의 전체 둘레에 걸쳐 용융된 저융점 금속 (46) 에 접촉하고, 침지되면, 개폐구 (69) 는 덮개부 (40) 와 차폐 부재 (49) 에 의하여 덮여져 접속 배관 (78) 과 개폐구 (69) 는 차단된다.

덮개부 (40) 가 아니고, 링 형상의 용기 (43) 와 파이프 (41) 가 이동해도 동일하다. 차폐 부재 (49) 는 용기 본체 (45) 의 바닥면과는 접촉하지 않는다.

또한, 본 발명에 있어서, 저융점 금속 (46) 은 특별히 한정되지 않지만, 이동시키는 기체 (예를 들어 증착 재료의 증기) 의 분해 온도 미만에 융점이 있는 저융점 금속 (46) 을 사용한다. 저융점 금속 (46) 을 분해 온도 미만으로 가열하여 용융시키면, 기체가 저융점 금속 (46) 에 접촉해도 분해되지 않는다.

다음으로, 본 발명의 다른 예를 설명한다.

도 11, 도 12 의 부호 70b 는, 본 발명의 다른 개폐 밸브를 나타낸다.

상자체 (79) 의 내부에는, 제 1 용기 (75) 가 배치되어 있다.

제 1 용기 (75) 의 상방에 있어서, 상자체 (79) 에는 파이프가 기밀하게 삽입 통과되어 있고, 그 파이프의 하부를 제 1 차폐 부재 (72) 로 하면, 제 1 차폐 부재 (72) 는 제 1 용기 (75) 의 상방에 배치되어 있다.

삭제

제 1 용기 (75) 는, 상축 (65) 을 통하여 모터 등의 이동 수단 (61) 에 기밀하게 장착되어 있고, 제 1 차폐 부재 (72) 에 대하여 승강 이동할 수 있도록 구성되어 있다.

제 1 용기 (75) 내에는, 저융점 금속 (76) 이 배치되어 있다. 저융점 금속 (76) 은 용융되어 있고, 제 1 차폐 부재 (72) 가 용융된 저융점 금속 (76) 과 이간되어 비접촉된 상태에서는, 상자체 (79) 에 형성된 접속구 (62) 와, 차폐 부재 (72) 로 둘러싸인 제 1 개폐구 (69) 사이는, 도 11 에 나타내는 바와 같이 연통되어 있다.

도 12 에 나타내는 바와 같이, 제 1 차폐 부재 (72) 가 제 1 용기 (75) 내의 용융된 저융점 금속 (76) 과 접촉하고, 저융점 금속 (76) 내에 침지되어 있는 경우에는, 접속구 (62) 와 제 1 개폐구 (69) 사이는 차단되어 있다.

제 1 용기 (75) 의 하방에는, 용기 본체 (95) 가 배치되어 있다. 용기 본체 (95) 에는, 도 10(a), 도 10(b) 에서 도시된 개폐 밸브 (70a) 와 마찬가지로, 바닥면에 파이프 (91) 가 접속되어 링 형상의 제 2 용기 (93) 가 구성되어 있다.

바닥면에 삽입 통과된 파이프 (91) 상단의 개구를 제 2 개폐구 (94) 로 하면, 제 2 개폐구 (94) 는 제 2 용기 (93) 에 의하여 둘러싸여 있다.

제 1 용기 (75) 의 바닥면의 연직 하방을 향하는 이면에는, 링 형상의 돌기로 이루어지는 통 형상의 제 2 차폐 부재 (98) 가 밀착되어 기밀하게 형성되어 있다.

제 2 차폐 부재 (98) 는, 제 2 용기 (93) 의 상방에 위치하고 있고, 제 1 용기 (75) 의 승강 이동에 의하여, 제 2 차폐 부재 (98) 는, 제 2 용기 (93) 내에 삽입, 발출되도록 구성되어 있다.

제 2 용기 (93) 의 내부에도, 제 1 용기 (75) 내의 저융점 금속 (76) 과 동일한 조성의 저융점 금속 (96) 이 배치되고, 승온하여 용융되어 있다.

제 2 차폐 부재 (98) 가 제 2 용기 (93) 내에 삽입되고, 제 2 차폐 부재 (98) 가 저융점 금속 (96) 에 접촉하고, 그 내부에 침지되면 제 2 개폐구 (94) 는, 제 1 용기 (75) 가 덮개부가 되고, 덮개부와 제 2 차폐 부재 (98) 에 의하여 폐색된다. 이 때, 제 1 개폐구 (69) 는 개방되고, 제 1 개폐구 (69) 가 접속구 (62) 에 접속되어 있다.

제 1 용기 (75) 가 상승하여, 제 1 개폐구 (69) 가 폐색된 상태에서는, 제 2 차폐 부재 (98) 는 제 2 용기 (93) 내로부터 발출되고, 제 2 차폐 부재 (98) 는 저융점 금속 (96) 과는 이간되어 비접촉 상태가 되고, 제 2 개폐구 (94) 는 개방된다. 이 때, 제 1 개폐구 (69) 는 폐색되어 있고, 제 2 개폐구 (94) 가 접속구 (62) 에 접속되어 있다.

일단이 제 2 개폐구 (94) 로 된 파이프 (91) 는, 그 타단이 냉각조 (92) 에 접속되어 있다. 냉각조 (92) 는, 외주에 냉각 장치 (97) 가 형성되고, 냉각되어 있다. 접속구 (62) 는 증기 발생 장치 (20) 에 접속되고, 제 1 개폐구 (69) 는 방출 장치 (50) 에 접속되어 있으며, 제 1 개폐구 (69) 를 폐색하고 제 2 개폐구 (94) 를 개방하면, 증기 발생 장치 (20) 와 냉각조 (92) 가 접속되고, 증기 발생 장치 (20) 에서 생성된 유기 화합물의 증기는 냉각조 (92) 로 유도되고, 냉각 장치 (97) 에 의하여 냉각되어 냉각조 (92) 의 벽면에 석출된다. 증기 발생 장치 (20) 내의 잔류 증기를 제거할 때에 냉각조 (92) 에 접속하면, 잔류 증기를 석출시켜 제거할 수 있다.

또한, 냉각조 (92) 에 접속된 파이프 (91) 의, 상자체 (79) 내의 선단에, 저융점 금속이 배치되는 용기를 형성하지 않고, 또, 제 2 용기 (75) 의 바닥면에도 제 1 차폐 부재를 형성하지 않고, 상자체를 그 파이프 (91) 의 선단에 착탈함으로써, 파이프 (91) 선단의 제 2 개폐구 (94) 를 개폐하도록 해도 된다. 제 2 개폐구 (94) 는, 도 13 은 닫힘 상태, 도 14 는 열림 상태이다.

Claims

내부에서 증착 재료의 증기를 발생시키는 증기 발생 장치와,
상기 증착 재료의 증기를 방출하는 방출 장치와,
상기 증기 발생 장치와, 상기 방출 장치 사이의 접속과 차단을 전환하는 개폐 밸브를 갖는 성막원으로서,
상기 개폐 밸브는, 상자체와,
상기 상자체 내에 배치되고, 용융 금속이 배치되어야 할 용기와,
상기 용기에 배치되는 상기 용융 금속과,
하단이 상기 용융 금속에 접촉할 수 있는 차폐 부재와,
상기 차폐 부재를 상대적으로 이동시키고, 상기 용융 금속 표면과 상기 차폐 부재의 하단을 접촉시켜 당해 개폐 밸브를 닫고, 상기 차폐 부재의 하단과 상기 용융 금속 표면을 이간시켜, 당해 개폐 밸브를 여는 이동 장치를 갖는, 성막원.
제 1 항에 있어서,
상기 증기 발생 장치를 복수 갖고,
상기 개폐 밸브에 의하여, 상기 증기 발생 장치와 상기 방출 장치 사이의 접속과 차단을 개별적으로 전환할 수 있게 된, 성막원.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 차폐 부재는 통 형상이고,
상기 차폐 부재의 하단은, 상기 통의 하단에서 구성되고,
상기 방출 장치와 상기 증기 발생 장치 중에서, 어느 일방은 상기 통의 내부 공간에 접속되고, 타방은 상기 통의 외부 공간에 접속된, 성막원.
제 1 항에 있어서,
선단이 상기 상자체 내에 삽입 통과되고, 상기 선단이 상기 용기로 둘러싸인 파이프와,
덮개부를 갖고,
상기 덮개부 바닥면에는, 상기 덮개부 바닥면으로부터 돌출되어 형성된 링 형상의 돌기로 이루어지는 통 형상의 상기 차폐 부재가 형성되고,
상기 파이프의 외주에 걸쳐서, 상기 용기 내의 용융된 저융점 금속에 상기 차폐 부재가 접촉되면, 상기 차폐 부재와 상기 덮개부에 의하여, 개폐구가 폐색되고, 당해 개폐 밸브가 닫히고,
상기 차폐 부재가 상기 저융점 금속으로부터 이간되면 당해 개폐 밸브가 열리는 개폐 밸브인, 성막원.
삭제
제 1 항에 있어서,
상기 방출 장치는 서로 평행하게 배치된 가늘고 긴 방출관을 복수 갖고,
상기 각 방출관에는 방출구가 각각 형성되고,
상기 증기 발생 장치가 상기 방출 장치에 접속되면, 상기 각 방출관에 상기 증착 재료의 증기가 각각 공급되고, 상기 각 방출구로부터 상기 증착 재료의 증기가 방출되는, 성막원.
성막조와, 제 1 항에 기재된 성막원을 갖고,
상기 방출 장치는 상기 성막조의 내부에 상기 증착 재료의 증기를 방출하며,
상기 성막조의 내부에 배치되고, 표면에 기판이 배치되는 탑재대를 갖고,
상기 방출 장치는, 상기 탑재대의 상방 위치로부터, 상기 탑재대를 향하여 상기 증착 재료의 증기를 방출하는, 증착 장치.
삭제
제 7 항에 있어서,
상기 탑재대와 상기 방출 장치 중 어느 일방 또는 양방에 접속된 요동 장치를 갖고,
상기 요동 장치는, 상기 방출 장치를, 상기 탑재대에 배치된 상기 기판과 평행한 평면 내에서, 당해 기판에 대하여 상대적으로 이동시키는, 증착 장치.
반송실과, 스퍼터실과, 제 7 항에 기재된 증착 장치를 갖고,
상기 스퍼터실과 상기 증착 장치는, 상기 반송실에 접속된, 유기 EL 소자의 제조 장치.