KR101223831B1

KR101223831B1 - 개폐 밸브

Info

Publication number: KR101223831B1
Application number: KR1020107018849A
Authority: KR
Inventors: 도시오 네기시; 다츠히코 고시다
Original assignee: 가부시키가이샤 알박
Priority date: 2008-02-26
Filing date: 2009-02-26
Publication date: 2013-01-17
Also published as: US8181666B2; CN101960190A; US20110048563A1; TWI418721B; WO2009107735A1; JP5042354B2; JPWO2009107735A1; TW201002966A; KR20100115776A; CN101960190B

Abstract

수명이 긴 개폐 밸브를 제공한다. 본 발명의 개폐 밸브 (70) 는 저융점 금속 (76) 을 가지고 있어, 저융점 금속 (76) 을 용융시킨 상태에서, 차폐 부재 (72) 를 그 저융점 금속 (76) 의 표면에 접촉시키면, 개폐 밸브 (70) 의 내부 공간이 차폐 부재 (72) 의 내부 공간과 외부 공간으로 분리된 닫힘 상태가 된다. 개폐 밸브 (70) 의 내부 공간 중, 차폐 부재 (72) 의 내부 공간과 외부 공간을 각각 접속해 두면, 닫힘 상태시, 외부 장치끼리 차단된다. 차폐 부재 (72) 의 하단을 저융점 금속 (76) 으로부터 이간시킨 열림 상태에서는, 외부 장치끼지 서로 접속된다.

Description

개폐 밸브{ON-OFF VALVE}

본 발명은 개폐 밸브에 관한 것으로, 특히, 기체의 공급 개시와 공급 정지의 전환에 사용되는 개폐 밸브에 관한 것이다.

종래부터, 기체 (가스) 의 공급 개시와 공급 정지의 전환에는 개폐 밸브가 사용되고 있다.

도 7 의 (a) 및 (b) 의 부호 200 은 개폐 밸브를 나타내고 있고, 개폐 밸브 (200) 는, 격벽 (211) 과, 밸브체 (221) 를 가지고 있다.

격벽 (211) 에는 밸브체 (221) 가 끼워 맞춰지는 구멍 (212) 이 형성되어 있다.

밸브체 (221) 는 도시하지 않은 이동 수단에 장착되어 있어, 이동 수단에 의해 밸브체 (221) 를 구멍 (212) 에 착좌시키면, 밸브체 (221) 의 표면이 구멍 (212) 의 내벽면 (밸브시트면 : 215) 에 밀착하여, 격벽 (211) 을 사이에 끼우고 일방의 공간과 타방의 공간이 분리되어, 닫힘 상태가 된다 (도 7 의 (b)).

밸브체 (221) 를 구멍 (212) 으로부터 빼어, 밸브체 (221) 표면과 밸브시트면 (215) 을 이간시키면, 격벽 (211) 을 사이에 끼우고 일방의 공간과 타방의 공간이 접속되어, 열림 상태가 된다 (도 7 의 (a)).

개폐 밸브 (200) 는, 기체나 액체 등의 유체의 공급 개시와 공급 정지의 전환에 널리 사용된다.

일반적으로, 개폐 밸브 (200) 의 격벽 (211) 과 밸브체 (221) 는 금속이나 세라믹 등으로 구성되어 있다. 그와 같은 개폐 밸브 (200) 를 반복해서 개폐하면, 밸브체 (221) 나 격벽 (211) 의 끼워맞춤 부분이 마모되어 개폐 밸브 (200) 의 밀폐성이 열화될 뿐만 아니라, 먼지 티끌이 발생하여 유체 오염의 원인이 된다.

또한, 고온 (240 ℃∼400 ℃) 에서 개폐 동작을 반복하면, 시일면이 파손되어 밸브의 시일성을 상실하는 경우가 있다.

일본 공표특허공보 2001-523768호 일본 공표특허공보 2003-525349호 일본 공개특허공보 2004-204289호 일본 공개특허공보 2005-29885호 일본 공개특허공보 2006-111920호

본 발명은 상기 과제를 해결하기 위한 것으로, 그 목적은, 유체를 오염시키지 않고, 또한 수명이 긴 개폐 밸브를 제공하는 것이다. 또한, 본 발명은 고온에서 개폐를 반복하더라도 시일성을 상실하지 않고, 수명이 긴 개폐 밸브를 제공하는 것이다.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은 개폐 밸브로서, 엄폐체 (掩蔽體) 와, 상기 엄폐체의 내부와 외부를 각각 연통시키는 접속구와 제 1, 제 2 개폐구를 갖고, 상기 제 2 개폐구가 폐색되면서 상기 제 1 개폐구와 상기 접속구의 사이를 상기 엄폐체의 내부를 통하여 기체가 통행할 수 있는 제 1 상태와, 상기 제 1 개폐구가 폐색되면서 상기 제 2 개폐구와 상기 접속구의 사이를 상기 엄폐체의 내부를 통하여 기체가 통행할 수 있는 제 2 상태를 전환할 수 있도록 된 개폐 밸브로서, 상기 엄폐체 내에 배치된 제 1, 제 2 용기와, 상기 엄폐체 내에 배치되고, 상기 제 1, 제 2 용기에 각각 삽입, 발거 (拔去) 가 가능한 통 형상의 제 1, 제 2 차폐부를 갖고, 상기 제 1, 제 2 용기에는, 용융된 저융점 금속이 배치되어, 상기 제 1 용기는 상기 엄폐체 내에서 승강 이동할 수 있도록 구성되고, 상기 제 1 용기가 상기 엄폐체 내에서 아래쪽에 위치할 때에는 상기 제 1 차폐부가 상기 제 1 용기로부터 발거되고, 상기 제 2 차폐부가 상기 제 2 용기에 삽입되어 용융된 상기 저융점 금속과 접촉하고, 상기 제 2 차폐부에 의해서 상기 제 2 개폐구가 폐색되어 상기 제 1 상태가 되고, 상기 제 1 용기가 상기 엄폐체 내에서 위쪽에 위치할 때에는 상기 제 1 차폐부가 상기 제 1 용기에 삽입되어 용융된 상기 저융점 금속과 접촉하고, 상기 제 1 차폐부에 의해서 상기 제 1 개폐구가 폐색되고, 상기 제 2 차폐부가 상기 제 2 용기로부터 발거되어 상기 제 2 상태가 되는 개폐 밸브이다.

삭제

본 발명은 개폐 밸브로서, 상기 제 2 차폐 부재는 상기 제 1 용기에 형성되고, 상기 제 2 용기에 삽입 통과된 파이프의 상단의 개구가 상기 제 2 개폐구가 된 개폐 밸브이다.

본 발명은 개폐 밸브로서, 상기 저융점 금속을 가열하는 가열 수단을 갖는 개폐 밸브이다.

본 발명은 개폐 밸브로서, 상기 저융점 금속은, 인듐과, 주석과, 인듐주석 산화물 합금으로 이루어지는 군에서 선택되는 어느 1 종류 이상의 금속인 개폐 밸브이다.

본 발명은 상기한 바와 같이 구성되어 있어, 제 1, 제 2 접속 공간에 압력차가 형성되어 있으면, 차폐 부재를 저융점 금속으로부터 이간시킨 열림 상태에서는, 제 1, 제 2 접속 공간 중 고압측 공간에서 저압측 공간으로 기체가 공급된다.

반대로, 차폐 부재를 저융점 금속에 접촉시킨 닫힘 상태에서는, 기체의 공급이 정지된다. 이와 같이, 본 발명의 개폐 밸브는 기체의 공급 경로 도중에 배치되어, 당해 기체의 공급 개시와 공급 정지의 전환에 사용된다.

고압측 공간은, 예를 들어, 가스 발생 장치, 가스 봄베 등의 고압 장치의 내부 공간이고, 저압측 공간은 샤워 플레이트, 진공조 등의 저압 장치의 내부 공간이다. 공급의 개시와 정지가 전환되는 기체는, 증착 재료의 증기, 에칭 가스, CVD 가스, 퍼지 가스, 스퍼터 가스 등이다.

또한, 성막 등에 사용되는 진공조를 고압측 공간으로 하고, 진공 배기계를 저압측 공간으로 하여, 기체의 배기 개시와 배기 정지의 전환에 사용해도 된다.

제 1, 제 2 접속 공간 사이에 형성하는 압력차가 지나치게 크면, 열림 상태로 하였을 때에, 저융점 금속이 블로우 오프 (blow off) 되어 수용 부재로부터 흘러내릴 우려가 있으므로, 그 압력차는 저융점 금속이 블로우 오프되지 않을 정도로 억제할 필요가 있다.

차폐 부재의 하단은 용융된 금속에 빈틈없이 밀착하기 대문에, 고체에 접촉한 경우와 비교하여 기체의 차폐성이 높다. 또한, 반복해서 개폐 밸브를 개폐하더라도 차폐 부재의 하단이 마모되지 않어, 개폐 밸브의 수명이 길다. 또, 개폐를 반복하여도 먼지가 생기지 않기 때문에, 개폐 밸브 내부를 통과하는 기체에 먼지 티끌이 혼입되지 않는다. 고온의 프로세스에 사용해도 시일부의 파손이 잘 발생하지 않고, 수명이 긴 개폐 밸브를 공급할 수 있다.

도 1 은 본 발명의 개폐 밸브를 사용한 성막 장치의 일례를 나타내는 단면도이다.
도 2 는 본 발명의 개폐 밸브를 사용한 성막 장치의 일례를 나타내는 모식적인 평면도이다.
도 3 의 (a) 는 닫힘 상태를 설명하는 단면도, 도 3 의 (b) 는 열림 상태를 설명하는 단면도이다.
도 4 는 개폐 밸브의 제 2 예를 설명하는 단면도이다.
도 5 는 개폐 밸브의 제 3 예를 설명하는 단면도이다.
도 6 은 개폐 밸브의 제 4 예를 설명하는 단면도이다.
도 7 의 (a) 및 (b) 는 종래 기술의 개폐 밸브를 설명하기 위한 단면도이다.
도 8 의 (a) 및 (b) 는 본 발명의 다른 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 9 는 냉각 장치에 접속된 본 발명의 예를 설명하기 위한 도면 (냉각조와 차단) 이다.
도 10 은 냉각 장치에 접속된 본 발명의 예를 설명하기 위한 도면 (냉각조와 접속) 이다.

발명을 실시하기 위한 최선의 형태

본 발명의 개폐 밸브는, 엄폐체인 케이스체와, 케이스체의 내부와 외부를 각각 연통시키는 개폐구와 접속구를 가지고 있고, 개폐구와 접속구의 사이를, 케이스체 내부를 통하여 기체가 통행할 수 있는 접속 상태와 개폐구와 접속구의 사이가 차폐된 차폐 상태를 전환할 수 있도록 되어 있다. 엄폐체는 기밀하게 구성되어 있으며, 진공 배기가 가능하다.

본 발명의 개폐 밸브는 케이스체 내에 배치되어, 고체와 액체가 배치 가능한 용기와, 케이스체 내에 배치된 차폐 부재를 가지고 있다.

용기와 차폐 부재는 상대 이동 가능하게 구성되어 있어, 차폐 부재는 용기 내에 삽입과 발거가 가능하도록 구성되어 있다. 개폐구는, 차폐 부재 또는 용기 중 어느 일방에 의해 둘러싸여 있다.

용기에는 저융점 금속을 배치할 수 있으며, 배치된 저융점 금속을 용융시켜 용융 금속을 형성한 경우, 차폐 부재가 용기 내에 삽입되면, 차폐 부재는 용융 금속과 접촉하여 침지되고, 접촉 부분이나 침지 부분이 개폐구를 둘러싸 개폐구를 폐색시키켜, 차폐 부재가 용기 내에서 발거되면, 차폐 부재는 용융 금속과 이간되고, 개폐구가 개방된다.

케이스체에 파이프를 기밀하게 삽입하여, 케이스체 내의 파이프의 선단을 아래쪽을 향하게 하고, 개폐구의 아래쪽에 용기를 배치한다. 케이스체에는 접속구가 형성되어 있고, 케이스체 내의 파이프의 선단의 개구를 개폐구로 하면, 파이프의 선단과 용기 내의 용융 금속이 이간되어 있을 때에는 개폐구와 접속구는 접속되어 있지만, 파이프의 케이스체 내의 선단인 개폐구 주위의 부분을 링 형상의 차폐 부재인 것으로 하면, 용기와 파이프를 상대적으로 이동시켜, 차폐 부재의 전체 둘레가 용기 내의 용융 금속에 접촉하여 침지되면, 파이프가 폐색되고, 개폐구와 접속구가 차단된다.

이것과는 별도로, 케이스체에 파이프를 기밀하게 삽입하여, 케이스체 내의 파이프의 선단을 위쪽을 향하게 하고, 파이프 선단의 주위를 용기로 둘러싸 두면, 이 파이프 선단의 개구가 개폐구가 된다. 기체를 통과시키지 않고, 뚜껑이 되는 뚜껑 부재의 저면에 링 형상의 돌기인 통 형상의 차폐 부재를 기밀하게 형성하면, 개폐구를 둘러싸는 용기 내의 용융 금속과 차폐 부재가, 개폐구의 외측에서 개폐구의 전체 둘레에 걸쳐 접촉하여, 차폐 부재가 침지되면, 개폐구는, 뚜껑 부재와 차폐 부재에 의해 뚜껑이 덮여지고, 폐색된다. 케이스체에 접속구를 형성해 두면, 뚜껑이 덮힌 상태에서는 개폐구와 접속구는 차단되고, 차폐 부재가 용융 금속으로부터 이간되어 뚜껑이 열리면, 개폐구와 접속구는 접속된다.

본 발명에서는 용기와 차폐 부재를 상기한 바와 같이 상대적으로 이동시키는 이동 장치를 형성할 수 있다. 차폐 부재와 용기 중 어느 일방 또는 양방이 이동하여 개폐가 행해지면 된다.

도 2 의 부호 10 은 본 발명 제 1 예의 개폐 밸브 (70) 를 갖는 성막 장치의 일례이고, 도 1 은 도 2 의 A-A 절단선 단면도에 상당한다.

개폐 밸브 (70) 는, 저융점 금속 (76) 과, 수용 부재 (71) 와, 엄폐체 (79) 와, 차폐 부재 (72) 와, 신축 부재 (66) 를 가지고 있다. 엄폐체 (79) 는 적어도 일부가 수용 부재 (71) 의 개구 위쪽에 위치하도록 배치되어 있다.

여기서는 엄폐체 (79) 는 상자 형상이고, 저면에 개구가 형성되어 있다. 수용 부재 (71) 는 엄폐체 (79) 의 아래쪽에 배치된 지지판 (64) 과, 지지판 (64) 의 표면에 세워서 형성되고, 선단이 엄폐체 (79) 저면의 개구를 통과하여 엄폐체 (79) 내부로 돌출된 지지축 (65) 과, 지지축 (65) 의 선단에 장착된 용기 (75) 를 가지고 있다. 용기 (75) 는 개구가 위쪽을 향하게 하고, 저융점 금속 (76) 은 용기 (75) 의 내부에 배치된다.

신축 부재 (66) 는 벨로우즈 (bellows) 등 통 형상으로서, 지지축 (65) 의 주위를 둘러싸고, 일단이 엄폐체 (79) 의 개구 주위에, 그 개구를 둘러싸도록 기밀하게 설치되고, 타단은 지지판 (64) 의 표면에 설치되어 있다.

따라서, 신축 부재 (66) 는 일단과 타단이 각각 엄폐체 (79) 와 수용 부재 (71) 에 기밀하게 접속되어, 엄폐체 (79) 의 내부 공간과, 수용 부재 (71) 의 내부 공간과, 엄폐체 (79) 와 수용 부재 (71) 사이의 공간에 의해 구성되는 개폐 밸브 (70) 의 내부 공간은, 후술하는 접속 배관 (78) 과 차폐 부재 (72) 를 밀폐시킨 상태에서는 외부 공간 (예를 들어 대기 분위기) 으로부터 차단된다.

엄폐체 (79) 와 수용 부재 (71) 의 어느 일방 또는 양방에는, 가열 수단 (48) 이 장착되어 있다. 전원 (47) 으로부터 가열 수단 (48) 에 통전시켜 엄폐체 (79) 와 수용 부재 (71) 중 가열 수단 (48) 이 장착된 부재를 가열하면, 나머지 부재는 복사열에 의해 가열되어, 결국 엄폐체 (79) 과 수용 부재 (71) 의 양방이 가열 수단 (48) 에 의해 가열된다. 저융점 금속 (76) 은 수용 부재 (71) 내부에 배치되어서, 수용 부재 (71) 가 승온하면 열 전도나 복사열에 의해 가열되어, 용융되거나 또는 연화된다.

엄폐체 (79) 에는 개구 (77) 가 형성되어 있다. 차폐 부재 (72) 는 통 형상 (파이프) 으로서, 차폐 부재 (72) 와 엄폐체 (79) 사이에서 기체가 이동하지 않도록, 일단 (상단) 이 엄폐체 (79) 의 개구 (77) 에 기밀하게 접속되고, 타단 (하단) 은 수용 부재 (71) 에 배치된 저융점 금속 (76) 의 표면과 대면한다. 여기서는, 차폐 부재 (72) 의 일부는 외부 장치와 접속을 간이하게 하기 위해서, 엄폐체 (79) 의 개구 (77) 로부터 위쪽으로 돌출되어 있다.

엄폐체 (79) 를 구성하는 파이프의 하단의 개구가 개폐구 (69) 가 되고, 그 주위의 파이프 선단 부분이 차폐 부재 (72) 가 되어, 후술하는 바와 같이 개폐구 (69) 가 개폐된다.

수용 부재 (71) 는 이동 수단 (61) 에 장착되어 있다. 여기서는 수용 부재 (71) 중 지지판 (64) 이 이동 수단 (61) 에 장착되어, 이동 수단 (61) 으로 지지판 (64) 을 승강시키면, 지지축 (65) 과 용기 (75) 가 승강한다. 즉, 수용 부재 (71) 전체가 승강한다.

이동 수단 (61) 에 의해 수용 부재 (71) 를 승강시키면, 신축 부재 (66) 가 신축하여, 개폐 밸브 (70) 의 내부 공간을 외부 공간으로부터 차단한 채로, 수용 부재 (71) 와 차폐 부재 (72) 가 상대적으로 이동한다.

차폐 부재 (72) 를 수용 부재 (71) 에 근접시켜, 수용 부재 (71) 에 배치된 저융점 금속 (76) 의 표면에 차폐 부재 (72) 의 하단을 접촉시키면, 개폐 밸브 (70) 의 내부 공간은, 차폐 부재 (72) 의 외측인 제 1 내부 공간 (73a) 과, 차폐 부재 (72) 의 내측인 제 2 내부 공간 (73b) 으로 분리된 닫힘 상태가 된다 (도 3 의 (a)).

반대로, 차폐 부재 (72) 를 수용 부재 (71) 로부터 멀어지게 하여, 차폐 부재 (72) 의 하단을 저융점 금속 (76) 의 표면으로부터 이간시키면, 제 1, 제 2 내부 공간 (73a, 73b) 이 서로 접속되어, 개폐 밸브 (70) 의 내부 공간이 일체가 된 열림 상태가 된다 (도 3 의 (b)).

이동 수단 (61) 의 이동량은, 닫힘 상태시에, 차폐 부재 (72) 의 하단이 저융점 금속 (76) 이 배치된 수용 부재 (71) 의 저면과 접촉하지 않고, 그 저면과 저융점 금속 (76) 표면의 사이에 위치하도록 설정되어 있다. 즉, 차폐 부재 (72) 는, 용융된 저융점 금속 (76) 내에 침지된다.

개폐 밸브 (70) 를 반복해서 개폐하여도 차폐 부재 (72) 의 하단은 고체 (저면) 에 접촉하지 않으니까 마모되지 않고, 나아가, 그 하단은 확실하게 저융점 금속 (76) 표면과 밀착된다. 따라서, 닫힘 상태시에, 제 1, 제 2 내부 공간 (73a, 73b) 은 확실하게 분리된다.

엄폐체 (79) 에는 관통구멍이 형성되고, 그 관통구멍, 또는 그 관통구멍에 기밀하게 삽입 통과된 배관으로 접속 배관 (78) 이 구성되어 있다.

접속 배관 (78) 의 일단인 개구는, 제 1 내부 공간 (73a) 에 면하여 접속구 (62) 가 되고, 타단의 개구는 개폐 밸브 (70) 의 외부에 위치한다. 따라서, 접속 배관 (78) 은, 제 1 내부 공간 (73a) 와 개폐 밸브 (70) 의 외부 공간을 접속하고 있다.

또한, 차폐 부재 (72) 의 상단은 개폐 밸브 (70) 외부에 기밀하게 도출되어 있다. 따라서, 차폐 부재 (72) 는, 제 2 내부 공간 (73b) 와 개폐 밸브 (70) 외부 공간을 접속하고 있다.

접속 배관 (78) 과 차폐 부재 (72) 의, 개폐 밸브 (70) 의 외부 공간과 접속되는 단부를 외부 장치에 각각 기밀하게 접속하면, 제 1, 제 2 내부 공간 (73a, 73b) 이 각각 외부 장치의 내부 공간에 접속된다. 개폐 밸브 (70) 에는, 차폐 부재 (72) 와 접속 배관 (78) 이외에 내부 공간을 외부 공간에 접속하는 개구가 없기 때문에, 개폐 밸브 (70) 를 외부 장치에 접속한 상태에서는, 개폐 밸브 (70) 의 내부 공간은, 외부 분위기 (예를 들어 대기) 로부터 차단된다.

도 2 의 성막 장치 (10 : 증착 장치) 는, 방출 장치 (50) 와 1 또는 2 이상의 증기 발생 장치 (가스 발생 장치 : 20) 와, 증기 발생 장치 (20) 의 수 이상의 개폐 밸브 (70) 를 가지고 있다.

각 증기 발생 장치 (20) 와 방출 장치 (50) 사이에 개폐 밸브 (70) 가 각각 배치되고, 제 1, 제 2 내부 공간 (73a, 73b) 중 어느 일방이 증기 발생 장치 (20) 에, 타방이 방출 장치 (50) 에 접속되어 있다.

방출 장치 (50) 의 적어도 일부는 진공조로 이루어지는 성막조 (11) 내에 배치되고, 방출 장치 (50) 의 성막조 (11) 내에 위치하는 부분에는 방출구 (55) 가 형성되어, 방출구 (55) 를 사이에 두고 방출 장치 (50) 의 내부 공간이 성막조 (11) 의 내부 공간에 접속되어 있다.

증기 발생 장치 (20) 는 진공조로 이루어지는 가열실 (29) 과, 가열실 (29) 내부에 배치된 탑재 부재 (24) 와, 가열실 (29) 과 탑재 부재 (24) 의 양쪽을 가열하는 가열 수단 (48) 과, 탑재 부재 (24) 에 증착 재료를 배치하는 공급 수단 (31) 을 가지고 있다.

가열실 (29) 과 성막조 (11) 와 개폐 밸브 (70) 에는 진공 배기계 (9) 가 접속되어 있고, 진공 배기계 (9) 에 의해 가열실 (29) 의 내부 공간과 성막조 (11) 의 내부 공간과 개폐 밸브 (70) 의 내부 공간을 진공 배기하여, 소정 압력 (예를 들어 10^-5 Pa) 의 진공 분위기를 형성한다.

증착 재료는, 예를 들어, 유기 EL 소자의 유기 박막의 재료이다. 보다 구체적으로는, 전자 이동 재료, 발광 재료, 전하 이동 재료 등을 함유하는 유기 재료이다.

여기서는, 방출 장치 (50) 에도 가열 수단 (48) 이 장착되어 있다. 가열 수단 (48) 에 통전시켜, 가열실 (29) 과 탑재 부재 (24) 와 방출 장치 (50) 와 엄폐체 (79) 와 수용 부재 (71) 와 신축 부재 (66) 를 가열하여, 증착 재료가 증발하는 증발 온도 이상이면서, 증착 재료의 증기가 분해되는 분해 온도 이하의 가열 온도 (240 ℃ 이상 400 ℃ 이하) 로 유지한다.

저융점 금속 (76) 은 융점이 상기 가열 온도 이하로서, 수용 부재 (71) 가 가열 온도로 승온되면, 용융 상태가 된다.

성막조 (11) 의 진공 배기를 계속하면서, 가열실 (29) 과 개폐 밸브 (70) 의 진공 배기를 정지하고, 공급 수단 (31) 으로부터 가열 온도로 된 탑재 부재 (24) 에 증착 재료를 공급하면, 증착 재료의 증기가 발생한다.

개폐 밸브 (70) 의 내부 공간 (여기서는 제 1 내부 공간 (73a)) 은, 가열실 (29) 의 내부 공간에 접속되어 있다.

전술한 바와 같이, 성막조 (11) 는 진공 배기가 계속되고 있는데 반하여, 가열실 (29) 의 진공 배기는 정지되고, 더구나 가열실 (29) 내부에서는 증기가 발생되기 때문에, 가열실 (29) 의 내부 공간의 압력은 성막조 (11) 의 내부 압력보다 높고, 또, 성막조 (11) 에 접속된 방출 장치 (50) 의 내부 압력보다 높게 되어 있다.

증기를 발생시킨 증기 발생 장치 (20) 와 방출 장치 (50) 사이의 개폐 밸브 (70) 를 열림 상태로 하고, 그 증기 발생 장치 (20) 의 가열실 (29) 을 방출 장치 (50) 에 접속하면, 압력차에 의해 증기가 가열실 (29) 로부터 개폐 밸브 (70) 를 통과하여 방출 장치 (50) 로 이동하고, 방출구 (55) 로부터 성막조 (11) 내부에 방출된다.

이 때, 증기를 발생시킨 증기 발생 장치 (20) 이외의 다른 증기 발생 장치 (20) 와 방출 장치 (50) 사이의 개폐 밸브 (70) 를 닫힘 상태로 하면, 증기가 다른 증기 발생 장치 (20) 로 혼입되지 않고, 방출 장치 (50) 로 이동한다.

방출 장치 (50) 와 수용 부재 (71) 와 신축 부재 (66) 와 엄폐체 (79) 와 저융점 금속 (76) 과 가열실 (29) 은, 상기 가열 온도로 유지되어 있으니까, 가열실 (29) 에서 발생한 증기가 방출구 (55) 로부터 방출될 때까지 지나는 경로의 도중에서 석출되지 않는다.

성막조 (11) 의 내부에는 기판 홀더 (15) 가 배치되어 있고, 기판 홀더 (15) 에는, 기판 (81) 이 방출구 (55) 와 대면하도록 배치되어 있다. 방출구 (55) 로부터 방출된 증기는 기판 (81) 표면에 도달하여, 기판 (81) 표면 상에 증착 재료의 박막이 형성된다.

한편, 기판 홀더 (15) 상의 기판 (81) 과 방출 장치 (50) 의 사이에, 방출 장치 (50) 로부터의 복사열을 가리는 냉각판 (67) 을 형성하면, 기판 (81) 이 열손상되지 않는다.

기판 (81) 에 소정 막두께의 박막이 성막된 후, 재료의 공급을 정지하고, 증기를 발생시킨 증기 발생 장치 (20) 와 방출 장치 (50) 사이의 개폐 밸브 (70) 를 닫힘 상태로 한다. 다른 증기 발생 장치 (20) 에서 새롭게 증기를 발생시켜, 그 증기 발생 장치 (20) 와 방출 장치 (50) 사이의 개폐 밸브 (70) 를 열림 상태로 하면, 새롭게 발생한 증기가 방출구 (55) 로부터 방출되어, 기판 (81) 표면 상에 새로운 증착 재료의 박막을 형성할 수 있다.

다음으로, 본 발명의 제 2 예의 개폐 밸브 (100) 를 설명한다 (도 4).

제 2 예의 개폐 밸브 (100) 는, 복수의 개폐 밸브 (100) 가 엄폐체 (109) 를 공유하는 것 이외에는 상기 제 1 예의 개폐 밸브 (70) 와 동일한 구조로 되어 있고, 동일한 부재에는 동일한 부호를 붙이고 설명한다.

제 2 예의 개폐 밸브 (100) 는, 엄폐체 (109) 가 고정되고, 수용 부재 (71) 가 이동하도록 되어 있다.

엄폐체 (109) 는 상자 형상으로서, 저면에 수용 부재 (71) 와 동일한 수의 개구가 형성되어 있다. 수용 부재 (71) 는 엄폐체 (109) 의 아래쪽에 배치된 지지판 (64) 과, 지지판 (64) 의 표면에 세워서 형성되고, 선단이 엄폐체 (109) 저면의 개구를 통과하여 엄폐체 (109) 내부로 돌출된 지지축 (65) 과, 지지축 (65) 의 선단에 장착된 용기 (75) 를 가지고 있다. 용기 (75) 는 개구를 위쪽을 향하게 하고, 저융점 금속 (76) 은 용기 (75) 의 내부에 배치된다.

신축 부재 (66) 는 지지축 (65) 의 주위를 둘러싸고, 일단이 엄폐체 (109) 의 개구 주위에 그 개구를 둘러싸도록 기밀하게 설치되며, 타단은 지지판 (64) 의 표면에 설치되어, 개폐 밸브 (70) 의 내부 공간이 밀폐되어 있다.

지지판 (64) 은 이동 수단 (61) 에 장착되어 있어, 이동 수단 (61) 으로 지지판 (64) 을 승강시키면, 지지축 (65) 과 용기 (75) 가 승강한다. 즉, 수용 부재 (71) 전체가 승강한다. 수용 부재 (71) 가 승강하면, 신축 부재 (66) 가 신축하므로, 개폐 밸브 (100) 의 내부 공간이 외부 공간으로부터 차단된 상태가 유지된다.

엄폐체 (109) 는 고정되어 있으므로, 외부 장치 (예를 들어 증기 발생 장치 (20) 나 방출 장치 (50)) 에 대하여 상대적으로 정지되어 있다.

접속 배관 (78) 과 차폐 부재 (72) 도 외부 장치에 대하여 정지되어 있기 때문에, 특별한 부재를 형성하지 않아도, 개폐 밸브 (100) 를 개폐시킬 때에, 접속 배관 (78) 과 외부 장치의 접속 부분과, 차폐 부재 (72) 와 외부 장치의 접속 부분에 부하가 가해지지 않는다.

제 1 예의 개폐 밸브 (70) 를 대신하여, 제 2 예의 개폐 밸브 (100) 를 성막 장치 (10) 에 장착하는 경우에는, 접속 배관 (78) 을 방출 장치 (50) 에 접속하고, 차폐 부재 (72) 를 증기 발생 장치 (20) 에 접속한다. 제 2 예의 개폐 밸브 (100) 에서는, 각 증기 발생 장치 (20) 에서 발생한 증기는, 동일한 엄폐체 (109) 의 내부 공간을 통과하여 방출 장치 (50) 로 이동한다.

이상은, 이동 수단 (61) 이 수용 부재 (71) 를 이동시키는 경우에 관해서 설명하였지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다.

도 5 및 도 6 의 부호 110, 120 은 제 3, 제 4 예의 개폐 밸브를 나타내고 있다.

제 3 예와 제 4 예의 차이는, 제 3 예에서는 각 개폐 밸브 (110) 가 각각 수용 부재 (용기 : 111) 를 갖는데 반하여, 제 4 예에서는 복수의 개폐 밸브 (120) 가 하나의 수용 부재 (121) 를 공유하는 점이다.

저융점 금속 (76) 은, 신축 부재 (116) 가 설치되는 수용 부재 (111) 에 직접 배치해도 되며, 신축 부재 (126) 가 설치되는 수용 부재 (상자체 (124)) 의 내부에 용기 (125) 를 배치하고, 그 용기 (125) 의 내부에 배치해도 된다.

복수의 개폐 밸브 (120) 에서 수용 부재 (121) 를 공유하는 경우에는, 수용 부재 (121) 에는 개폐 밸브 (120) 와 동일한 수의 개구가 형성되어 있다.

신축 부재 (116, 126) 는 일단이 수용 부재 (111, 121) 의 개구 주위에 그 개구를 둘러싸도록 기밀하게 설치되고, 타단이 엄폐체 (119, 129) 에 의해 막혀서, 개폐 밸브 (110, 120) 의 내부 공간이 밀폐되어 있다.

수용 부재 (111, 121) 는 고정되어, 외부 장치에 대하여 정지되어 있다. 이에 대하여 엄폐체 (119, 129) 는 이동 수단에 장착되어, 이동 수단에 의해서 엄폐체 (119, 129) 를 승강시키면, 차폐 부재 (72) 도 함께 승강한다.

이 때, 신축 부재 (116, 126) 가 신축하기 때문에, 개폐 밸브 (110, 120) 의 내부 공간이 외부 공간으로부터 차단된 상태가 유지된다.

엄폐체 (119, 129) 가 이동하는 경우에는 차폐 부재 (72) 도 함께 이동하므로, 차폐 부재 (72) 를 벨로우즈와 같은 신축 부재를 개재해서 외부 장치 (방출 장치나 증기 발생 장치 등) 에 접속하여, 이동시에 생기는 충격을 신축 부재에서 흡수하고, 외부 장치의 손상을 방지한다.

엄폐체 (119, 129) 가 이동하고, 수용 부재 (111, 121) 가 고정된 경우에는, 접속 배관 (78) 을 수용 부재 (111, 121) 에 형성하면, 접속 배관 (78) 이 외부 장치에 대하여 정지하므로, 접속 배관 (78) 과 외부 장치의 사이에 신축 부재를 설치할 필요가 없다.

접속 배관 (78) 을 엄폐체 (119, 129) 에 형성하는 경우라도, 접속 배관 (78) 을 신축 부재를 개재하여 외부 장치에 접속하면, 외부 장치의 손상이 방지된다.

이상은, 엄폐체 (79, 109, 119, 129) 와, 수용 부재 (71, 101, 111, 121) 중 어느 일방을 이동시키는 경우에 관해서 설명하였지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않고, 엄폐체 (79) 와 수용 부재 (71) 의 양방을 이동시켜도 된다. 이 경우, 접속 배관 (78) 과 차폐 부재 (72) 의 양방을 신축 부재를 개재하여 외부 장치에 접속하면, 외부 장치의 손상이 방지된다.

차폐 부재 (72) 의 형상은 특별히 한정되지 않지만, 차폐 부재 (72) 의 통을 구성하는 벽의 하단을 선단을 가늘게 하여 뾰족하게 하면, 차폐 부재 (72) 의 하단과 저융점 금속 (76) 표면의 접촉 면적이 작아지기 때문에, 개폐 밸브 (70) 를 닫힘 상태로 할 때, 저융점 금속 (76) 이 비산(飛散)되지 않는다.

차폐 부재 (72) 는 통 형상에 한정되지 않고, 개폐 밸브 (70) 의 내부 공간을 분리할 수 있다면, 판 형상, 구 형상 등 여러가지 형상으로 할 수 있다.

한편, 도 3 의 (a) 및 (b) 에 나타낸 바와 같이, 수용 부재 (71) 의 저융점 금속 (76) 이 배치되는 저면 (여기서는 용기 (75) 저면) 에 돌출부 (74) 를 배치하고, 용기 (75) 의 내벽면과 돌출부 (74) 측면과의 사이의 링 형상 공간에 저융점 금속 (76) 을 배치하여, 저융점 금속 (76) 을 링 형상으로 해도 된다.

이 경우, 차폐 부재 (72) 의 하단의 외주와 내주를, 각각 용기 (75) 의 개구보다 작고 또한 돌출부 (74) 의 선단보다 크게 하여, 그 외주와 내주를, 용기 (75) 의 개구의 가장자리와 돌출부 (74) 선단 외주 사이의 영역의 바로 위에 위치시킨다.

차폐 부재 (72) 의 하단은 전체 둘레가 링 형상의 저융점 금속 (76) 표면과 대면하기 때문에, 닫힘 상태에서는 전체 둘레가 저융점 금속 (76) 의 표면에 밀착한다. 돌출부 (74) 를 배치하여 저융점 금속 (76) 을 링 형상으로 하는 편이, 저융점 금속 (76) 의 필요량을 적게 하고, 또한 저융점 금속 (76) 의 가열 효율도 높다.

이상의 설명에서는, 개폐구 (69) 가 파이프 하단에 배치되어 있지만, 도 8 의 (a) 및 (b) 와 같이, 용기 (43) 의 저면에 삽입된 파이프 (41) 상단의 개구로 구성시키고, 뚜껑부 (40) 의 저면에 형성한 통 형상의 돌기로 이루어지는 차폐 부재 (49) 를 상하시켜, 용기 (43) 로 전체 둘레가 둘러싸인 개폐구 (69) 를 개폐하도록해도 된다.

그 개폐 밸브 (70a) 를 설명하면, 도 8 의 (a) 및 (b) 를 참조하여, 개폐 밸브 (70a) 는, 케이스체인 엄폐체 (79) 내에 용기 본체 (45) 가 배치되어 있다. 용기 본체 (45) 에는, 용기 본체 (45) 저면의 하방측으로부터 파이프 (41) 가 용기 본체 (45) 저면과의 사이를 액밀하게 삽입되어 있고, 파이프 (41) 는, 용기 본체 (45) 의 저면 위로 돌출되어 있다.

파이프 (41) 의 외주와 용기 본체 (45) 의 내주면의 사이는 이간되어 있고, 따라서, 파이프 (41) 의 용기 본체 (45) 저면 위의 부분은, 용기 본체 (45) 의 내주면 및 저면과 파이프 (41) 의 외주면으로 구성된 링 형상의 용기 (43) 에 의해서 둘러싸여 있다.

이 링 형상의 용기 (43) 내에는 저융점 금속 (46) 이 배치되어 있어, 엄폐체 (79) 의 외부에 배치된 히터 (48) 에 의해서 저융점 금속 (46) 은 융점 이상의 온도로 가열되어, 용융되어 있다.

용기 (43) 의 상부에는 뚜껑부 (40) 가 배치되어 있다.

뚜껑부 (40) 의 저면은 용기 (43) 에 마주 대해 있으며, 저면에는, 링 형상의 돌출물로 이루어지고 통 형상의 차폐 부재 (49) 가 형성되어 있다. 뚜껑부 (40) 와 차폐 부재 (49) 는 기체를 투과시키지 않고, 서로 기밀하게 접속되어 있다.

뚜껑부 (40) 에는 이동축 (42) 이 접속되어 있고, 이동축 (42) 은 엄폐체 (79) 의 외부로 기밀하게 도출되어, 모터 (44) 에 접속되어 있다. 모터 (44) 를 동작시키면 이동축 (42) 을 통해서 뚜껑부 (40) 와 차폐 부재 (49) 가 상하 이동한다.

엄폐체 (79) 에는, 증기 발생 장치 (20) 와 방출 장치 (50) 중 어느 일방에 접속되는 접속구 (62) 가 형성되어 있다. 파이프 (41) 의 하단부는, 엄폐체 (79) 의 벽면에서 외부로 기밀하게 도출되어 있고, 용기 (43) 를 구성하는 부분의 상단이 개폐구 (69) 가 되어, 증기 발생 장치 (20) 와 방출 장치 (50) 중 접속구 (62) 에 접속되어 있지 않은 쪽에 접속되어 있다.

차폐 부재 (49) 와 뚜껑부 (40) 가 용기 (43) 나 용융된 저융점 금속 (46) 으로부터 이간되어 있을 때에는, 엄폐체 (79) 내부에서 접속구 (62) 와 개폐구 (69) 가 접속되고, 따라서, 증기 발생 장치 (20) 와 방출 장치 (50) 가 접속된다.

뚜껑부 (40) 가 하강하여, 차폐 부재 (49) 가 개폐구 (69) 주위의 전체 둘레에 걸쳐 용융된 저융점 금속 (46) 에 접촉하고, 침지되면, 개폐구 (69) 는 뚜껑부 (40) 와 차폐 부재 (49) 에 의해 뚜껑이 덮여지고, 접속구 (62) 와 개폐구 (69) 는 차단된다.

뚜껑부 (40) 가 아니라 링 형상의 용기 (43) 와 파이프 (41) 가 이동하여도 동일하다. 차폐 부재 (49) 는 용기 본체 (45) 의 저면과는 접촉하지 않는다.

또한, 본 발명에 있어서, 저융점 금속 (46) 은 특별히 한정되지 않지만, 이동시키는 기체 (예를 들어 증착 재료의 증기) 의 분해 온도 미만에 융점이 있는 저융점 금속 (46) 을 사용한다. 저융점 금속 (46) 을 분해 온도 미만으로 가열하여 용융시키면, 기체가 저융점 금속 (46) 에 접촉하더라도 분해되지 않는다.

다음으로, 본 발명의 다른 예를 설명한다.

도 9 및 도 10 의 부호 70b 는, 본 발명의 다른 개폐 밸브를 나타내고 있다.

엄폐체 (79) 의 내부에는 제 1 용기 (75) 가 배치되어 있다.

제 1 용기 (75) 의 위쪽에서는, 엄폐체 (79) 에 파이프가 기밀하게 삽입 통과되어 있고, 그 파이프의 하부를 제 1 차폐 부재 (72) 로 하면, 제 1 차폐 부재 (72) 는 제 1 용기 (75) 의 위쪽에 배치되어 있다.

제 1 용기 (75) 는, 지지축 (65) 을 개재하여 모터 등의 이동 수단 (61) 에 기밀하게 장착되어 있고, 제 1 차폐 부재 (72) 에 대하여 승강 이동할 수 있도록 구성되어 있다.

제 1 용기 (75) 안에는 저융점 금속 (76) 이 배치되어 있다. 저융점 금속 (76) 은 용융되어 있어, 제 1 차폐 부재 (72) 가 용융된 저융점 금속 (76) 과 이간되어 비접촉인 상태에서는, 엄폐체 (79) 에 형성된 접속구 (62) 와 차폐 부재 (72) 로 둘러싸인 제 1 개폐구 (69) 의 사이는 도 9 에 나타내는 바와 같이 연통되어 있다.

도 10 에 나타내는 바와 같이, 제 1 차폐 부재 (72) 가 제 1 용기 (75) 내의 용융된 저융점 금속 (76) 과 접촉하여, 저융점 금속 (76) 내에 침지되어 있는 경우에는, 접속구 (62) 와 제 1 개폐구 (69) 의 사이는 차단되어 있다.

제 1 용기 (75) 의 아래쪽에는 용기 본체 (95) 가 배치되어 있다. 용기 본체 (95) 에는, 도 8 의 (a) 및 (b) 에서 나타낸 개폐 밸브 (70a) 와 동일하게, 저면에 파이프 (91) 가 접속되고 링 형상의 제 2 용기 (93) 가 구성되어 있다.

저면에 삽입 통과된 파이프 (91) 의 상단의 개구를 제 2 개폐구 (63) 로 하면, 제 2 개폐구 (63) 는 제 2 용기 (93) 에 의해 둘러싸여 있다.

제 1 용기 (75) 의 저면의 연직 하방을 향하는 이면 (裏面) 에는, 링 형상의 돌기로 이루어지는 통 형상의 제 2 차폐 부재 (98) 가 기밀하게 형성되어 있다.

제 2 차폐 부재 (98) 는 제 2 용기 (93) 의 위쪽에 위치하고 있고, 제 1 용기 (75) 의 승강 이동에 의해서, 제 2 차폐 부재 (98) 는 제 2 용기 (93) 내에 삽입, 발거되도록 구성되어 있다.

제 2 용기 (93) 의 내부에도 제 1 용기 (75) 내의 저융점 금속 (76) 과 동일한 조성의 저융점 금속 (96) 이 배치되어 있고, 승온시켜 용융되어 있다.

제 2 차폐 부재 (98) 가 제 2 용기 (93) 내에 삽입되어, 제 2 차폐 부재 (98) 가 저융점 금속 (96) 에 접촉하고, 그 내부에 침지되면 제 2 개폐구 (63) 는, 제 1 용기 (75) 가 뚜껑부가 되고, 뚜껑부와 제 2 차폐 부재 (98) 에 의해 폐색된다. 이 때, 제 1 개폐구 (69) 는 개방되어, 제 1 개폐구 (69) 가 접속구 (62) 에 접속되어 있다.

제 1 용기 (75) 가 상승하여, 제 1 개폐구 (69) 가 폐색되는 상태에서는, 제 2 차폐 부재 (98) 는 제 2 용기 (93) 안에서부터 발거되어, 제 2 차폐 부재 (98) 가 저융점 금속 (96) 과 이간되어서 비접촉 상태가 되어, 제 2 개폐구 (63) 는 개방된다. 이 때, 제 1 개폐구 (69) 는 폐색되어 있고, 제 2 개폐구 (63) 가 접속구 (62) 에 접속되어 있다.

일단이 제 2 개폐구 (63) 로 된 파이프 (91) 는, 그 타단이 냉각조 (92) 에 접속되어 있다. 냉각조 (92) 는, 외측 둘레에 냉각 장치 (97) 가 형성되어, 냉각되어 있다. 접속구 (62) 는 증기 발생 장치 (20) 에 접속되고, 제 1 개폐구 (69) 는 방출 장치 (50) 에 접속되어 있어, 제 1 개폐구 (69) 를 폐색하고, 제 2 개폐구 (63) 를 개방하면, 증기 발생 장치 (20) 와 냉각조 (92) 가 접속되어, 증기 발생 장치 (20) 에서 생성된 유기 화합물의 증기는 냉각조 (92) 로 유도되고, 냉각 장치 (97) 에 의해 냉각되어, 냉각조 (92) 의 벽면에 석출된다. 증기 발생 장치 (20) 내의 잔류 증기를 제거할 때에, 냉각조 (92) 에 접속시키면, 잔류 증기를 석출시켜 제거할 수 있다.

또한, 기체가 증착 재료의 증기처럼 석출될 우려가 있는 경우, 저융점 금속 (76) 이 기체의 석출 온도 미만이면, 기체가 저융점 금속 (76) 표면에서 석출된다. 그 경우에는, 저융점 금속 (76) 으로서 융점이 기체의 석출 온도 미만인 것을 사용하여, 저융점 금속 (76) 을 석출 온도를 초과하는 온도로 가열하여 용융시킨다.

예를 들어, 증착 재료가 유기 EL 소자용의 유기 재료인 경우, 저융점 금속 (76) 으로는, In (융점 156 ℃) 과, Sn (융점 232 ℃) 과, InSn 합금으로 이루어지는 군에서 선택되는 어느 1 종류 이상의 금속을 사용하여, 저융점 금속 (76) 은 240 ℃ 이상 400 ℃ 이하로 가열하여 용융시킨다.

수용 부재 (71) 나 용기 (75, 93) 와, 차폐 부재 (72, 98) 는, 스테인리스 등 상기 가열 온도에서 용융되지 않는 내열 재료로 구성하면, 저융점 금속 (76, 96) 을 용융시킬 때에 변형도 용융도 되지 않는다.

개폐 밸브 (70, 70a, 70b) 의 설치 장소는 특별히 한정되지 않고, 개폐 밸브 (70, 70a, 70b) 를 성막조 (11) 내부에 배치해도 되고, 성막조 (11) 와는 다른 진공조 내에 배치해도 된다.

41 … 파이프
43, 75, 111, 125 … 용기
48 … 가열 수단
61 … 이동 수단
62 … 접속구
66 … 신축 부재
69 … 개폐구
70, 70a, 70b, 100, 110, 120 … 개폐 밸브
71, 101, 111, 121 … 수용 부재
49, 72, 98 … 차폐 부재
46, 76, 96 … 저융점 금속
77 … 개구
79, 109, 119, 129 … 엄폐체

Claims

엄폐체와, 상기 엄폐체의 내부와 외부를 각각 연통시키는 접속구와 제 1, 제 2 개폐구를 갖고,
상기 제 2 개폐구가 폐색되면서 상기 제 1 개폐구와 상기 접속구의 사이를 상기 엄폐체의 내부를 통하여 기체가 통행할 수 있는 제 1 상태와,
상기 제 1 개폐구가 폐색되면서 상기 제 2 개폐구와 상기 접속구의 사이를 상기 엄폐체의 내부를 통하여 기체가 통행할 수 있는 제 2 상태를 전환할 수 있도록 된 개폐 밸브로서,
상기 엄폐체 내에 배치된 제 1, 제 2 용기와,
상기 엄폐체 내에 배치되고, 상기 제 1, 제 2 용기에 각각 삽입, 발거가 가능한 통 형상의 제 1, 제 2 차폐부를 갖고,
상기 제 1, 제 2 용기에는, 용융된 저융점 금속이 배치되어,
상기 제 1 용기는 상기 엄폐체 내에서 승강 이동할 수 있도록 구성되고,
상기 제 1 용기가 상기 엄폐체 내에서 아래쪽에 위치할 때에는 상기 제 1 차폐부가 상기 제 1 용기로부터 발거되고, 상기 제 2 차폐부가 상기 제 2 용기에 삽입되어 용융된 상기 저융점 금속과 접촉하고, 상기 제 2 차폐부에 의해서 상기 제 2 개폐구가 폐색되어 상기 제 1 상태가 되고,
상기 제 1 용기가 상기 엄폐체 내에서 위쪽에 위치할 때에는 상기 제 1 차폐부가 상기 제 1 용기에 삽입되어 용융된 상기 저융점 금속과 접촉하고, 상기 제 1 차폐부에 의해서 상기 제 1 개폐구가 폐색되고, 상기 제 2 차폐부가 상기 제 2 용기로부터 발거되어 상기 제 2 상태가 되는 개폐 밸브.
제 1 항에 있어서,
상기 제 2 차폐 부재는 상기 제 1 용기에 형성되고,
상기 제 2 용기에 삽입 통과된 파이프의 상단의 개구가 상기 제 2 개폐구가 된 개폐 밸브.
제 2 항에 있어서,
상기 엄폐체의 외부에 배치된 히터를 가지며,
상기 저융점 금속은 상기 히터에 의해서 융점 이상의 온도로 가열되어, 용융되는 개폐 밸브.
제 3 항에 있어서,
상기 저융점 금속은, 인듐과, 주석과, 인듐주석 산화물 합금으로 이루어지는 군에서 선택되는 어느 1 종류 이상의 금속인 개폐 밸브.
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