JPS63146203A - 磁気ヘツドコア - Google Patents
磁気ヘツドコアInfo
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- JPS63146203A JPS63146203A JP29386986A JP29386986A JPS63146203A JP S63146203 A JPS63146203 A JP S63146203A JP 29386986 A JP29386986 A JP 29386986A JP 29386986 A JP29386986 A JP 29386986A JP S63146203 A JPS63146203 A JP S63146203A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は、磁気ギャップを形成する一対のハーフコアの
突合せ面を金属磁性体とし、一対のハーフコアをガラス
によって接合するとともに、一方のハーフコアに磁気ギ
ャップ深さ規制溝を形成しこの規制溝の一部に存在する
ガラスが他方のハーフコアの金属磁性体と接合するタイ
プの磁気ヘッドコアに関する〇 〔従来技術およびその問題点〕 磁気ギャップを形成する一対のハーフコアの突合せ面を
金属磁性体としたタイプの磁気ヘッドコアとして、従前
出願人自ら、第3図a% bに示すような磁気ヘッドコ
アを提案した(特願昭61−214755号)。この磁
気ヘッドは、磁気ギャップ12を形成する一対のハーフ
コア11の突合せ面を金属磁性体14で構成し、磁気ギ
ャップ12の幅をトラッり幅規制溝15に充填したガラ
ス16で規制している。
突合せ面を金属磁性体とし、一対のハーフコアをガラス
によって接合するとともに、一方のハーフコアに磁気ギ
ャップ深さ規制溝を形成しこの規制溝の一部に存在する
ガラスが他方のハーフコアの金属磁性体と接合するタイ
プの磁気ヘッドコアに関する〇 〔従来技術およびその問題点〕 磁気ギャップを形成する一対のハーフコアの突合せ面を
金属磁性体としたタイプの磁気ヘッドコアとして、従前
出願人自ら、第3図a% bに示すような磁気ヘッドコ
アを提案した(特願昭61−214755号)。この磁
気ヘッドは、磁気ギャップ12を形成する一対のハーフ
コア11の突合せ面を金属磁性体14で構成し、磁気ギ
ャップ12の幅をトラッり幅規制溝15に充填したガラ
ス16で規制している。
磁気ギャップ12の深さは、磁気ギャップ深さ規制溝1
8で頬制され、この溝に存在するガラス16が他方のハ
ーフコア11の金属磁性体14の突合せ面14aに接し
ている。なお、磁気ギャップ12の長さはハーフコア1
1の突合せ面にスパッタリング等の薄膜形成手段により
S10.が付着され、この8i0.がギャップスペーサ
−12aとして磁気ギャップ12の長さを規制している
。
8で頬制され、この溝に存在するガラス16が他方のハ
ーフコア11の金属磁性体14の突合せ面14aに接し
ている。なお、磁気ギャップ12の長さはハーフコア1
1の突合せ面にスパッタリング等の薄膜形成手段により
S10.が付着され、この8i0.がギャップスペーサ
−12aとして磁気ギャップ12の長さを規制している
。
なお、20は突合せ面14a以外の金属磁性体14上に
形成した侵食防止膜で、該侵食防止膜20は前記ガラス
16による金属磁性体14の侵食を防止している。また
、該磁気ヘッドの製造方法は前記出願(特願昭61−2
14755号)を参照されたい。
形成した侵食防止膜で、該侵食防止膜20は前記ガラス
16による金属磁性体14の侵食を防止している。また
、該磁気ヘッドの製造方法は前記出願(特願昭61−2
14755号)を参照されたい。
このような磁気ヘッドコアでは、第3図bic磁気ギャ
ップ12付近を拡大して模式的に示すように、金JIJ
ia1性体14の突合せ面14Hには侵食防止膜20が
形成されておらず、該突合せ面148が磁気ギャップ深
さ規制溝18に存在するガラス16と接している。
ップ12付近を拡大して模式的に示すように、金JIJ
ia1性体14の突合せ面14Hには侵食防止膜20が
形成されておらず、該突合せ面148が磁気ギャップ深
さ規制溝18に存在するガラス16と接している。
この場合、ギャップスペーサ−128はガラス16に溶
解する為、金属磁性体14の突合せ面14aはガラス1
6と直接接触し、侵食され、その結果、ガラス16内に
気泡21を発生させる。この気泡21は溶融しているガ
ラス16内を移動し、磁気ギャップ12の両脇に位置し
、磁気特性を劣化するという問題があった。
解する為、金属磁性体14の突合せ面14aはガラス1
6と直接接触し、侵食され、その結果、ガラス16内に
気泡21を発生させる。この気泡21は溶融しているガ
ラス16内を移動し、磁気ギャップ12の両脇に位置し
、磁気特性を劣化するという問題があった。
本発明は、従来のこの種の磁気ヘッドコアの問題点であ
る、磁気ギャップ深さ規制溝に存在するカラスによる金
属磁性体の突合せ面への侵食を防止し、気泡の防止によ
る磁気特性の向上、を図ることを目的としている。
る、磁気ギャップ深さ規制溝に存在するカラスによる金
属磁性体の突合せ面への侵食を防止し、気泡の防止によ
る磁気特性の向上、を図ることを目的としている。
本発明は、従前の磁気ヘッドコアの問題点が、磁気ギャ
ップを形成する金属母性体の突合せ面力入磁気ギャップ
粂さ規制溝に存在するガラスに11接接触してしまうた
めに生じるとの認識の下に完成されたものである。
ップを形成する金属母性体の突合せ面力入磁気ギャップ
粂さ規制溝に存在するガラスに11接接触してしまうた
めに生じるとの認識の下に完成されたものである。
すなわち、本発明による磁気ヘッドは、山気ギャップを
形成する金属磁性体の突合せ而にギャップスペーサ−の
代用、あるいは、その一部として侵食防止膜を形成し、
磁気ギャップ深さ規制溝に存在するガラスによる金xi
性体突合せ面の侵食を防止するようにしたことを特徴と
する。
形成する金属磁性体の突合せ而にギャップスペーサ−の
代用、あるいは、その一部として侵食防止膜を形成し、
磁気ギャップ深さ規制溝に存在するガラスによる金xi
性体突合せ面の侵食を防止するようにしたことを特徴と
する。
以下に、本発明による磁気ヘッドコアの一実施例を第1
図a、bに基いて説明する。なお、第3図a、bにおい
て共通する部材には、同一符号を付して説明を省略する
。
図a、bに基いて説明する。なお、第3図a、bにおい
て共通する部材には、同一符号を付して説明を省略する
。
本発明では、ハーフコア11の金属磁性体14の突合せ
面14aに活性化金属の単層膜または活性化金属と、金
属酸化物の積層膜からなる侵食防止膜17を形成してい
る。また侵食防止膜17を活性化金属・金搗酸化物の袢
合体から構成してもよい。この場合、活性化金属として
は、Cr、 Ti、 Zr、紺等が好ましく、金属酸化
物としてはSin、 、 ’l’al(J、などが好ま
しい。活性化金属・金属酸化物の複合体としては、例え
ばOrと8iU、の複合体焼結ターゲットをスパッタリ
ングして形成する。この場合、浸食防止11!!!17
の厚さは、はぼ磁気ギャップ12の長さに相当すること
になるが、侵食防止膜17としては数10OAでよく、
一般に磁気ギャップI2としては数100OAが必要と
されるところから、侵食防止#17の厚さは、磁気ギャ
ップ12として必要な任意の厚さに設定することが可能
である。
面14aに活性化金属の単層膜または活性化金属と、金
属酸化物の積層膜からなる侵食防止膜17を形成してい
る。また侵食防止膜17を活性化金属・金搗酸化物の袢
合体から構成してもよい。この場合、活性化金属として
は、Cr、 Ti、 Zr、紺等が好ましく、金属酸化
物としてはSin、 、 ’l’al(J、などが好ま
しい。活性化金属・金属酸化物の複合体としては、例え
ばOrと8iU、の複合体焼結ターゲットをスパッタリ
ングして形成する。この場合、浸食防止11!!!17
の厚さは、はぼ磁気ギャップ12の長さに相当すること
になるが、侵食防止膜17としては数10OAでよく、
一般に磁気ギャップI2としては数100OAが必要と
されるところから、侵食防止#17の厚さは、磁気ギャ
ップ12として必要な任意の厚さに設定することが可能
である。
次に、本発明による磁気ヘッドコアの製造方法を、製造
工程順に説明する。
工程順に説明する。
第1工程で、ハーフコアブロック11の突合せ而11a
に、くさび状の′Il!膜付yIi溝13が形成される
(第2図a)。
に、くさび状の′Il!膜付yIi溝13が形成される
(第2図a)。
$2工程で、このWLHIk付着溝13に、Fe−ん−
Si系合金等よりなる金ms性体14がスパッタリング
等により付着形成される(第2図b)。
Si系合金等よりなる金ms性体14がスパッタリング
等により付着形成される(第2図b)。
第3工糧で、金*@性体14かラップ研Hされ、薄膜付
M溝13内の金属孔性膜14たけか残される(第2図C
)。
M溝13内の金属孔性膜14たけか残される(第2図C
)。
第4工程で、金属−性体14の付着された薄膜付層@1
3に隣接し、この薄膜付着溝13の一部を切り欠くよう
に、トラック幅規1tlJ溝15が加工形成される(第
2幽d)。
3に隣接し、この薄膜付着溝13の一部を切り欠くよう
に、トラック幅規1tlJ溝15が加工形成される(第
2幽d)。
次の第5の工程で、侵食防止ff12Qが、金属磁性体
14とトラック幅親制$15にスパッタリング等の薄膜
付着手段により形成される(第2図e)。このような侵
食防止1!1120は、次の工程であるガラス16の#
M充填時に、バー7コアブロツク11の材料であるフエ
ライ)lや金属磁性体14の材料である1”e −AI
−Si系合金等が、ガラス16により侵食されるのを
防ぐものである。
14とトラック幅親制$15にスパッタリング等の薄膜
付着手段により形成される(第2図e)。このような侵
食防止1!1120は、次の工程であるガラス16の#
M充填時に、バー7コアブロツク11の材料であるフエ
ライ)lや金属磁性体14の材料である1”e −AI
−Si系合金等が、ガラス16により侵食されるのを
防ぐものである。
第5工程で侵食防止膜20の形成が終了した稜、紺6エ
程では、この侵食防止膜20上にガラス16が溶融充填
される。こわで、ガラス16は、侵食防止膜20を介し
て、金xi性体14と侵食防止膜加の空間に光埴ざnる
(第2図f)。
程では、この侵食防止膜20上にガラス16が溶融充填
される。こわで、ガラス16は、侵食防止膜20を介し
て、金xi性体14と侵食防止膜加の空間に光埴ざnる
(第2図f)。
そして、第7エ程で、ガラス16は、金sti性勝14
の接合面14bかPjT5¥:量露出するまで砥石によ
りラップ研磨され、磁気ギャップ12のギャップ幅か決
定される(@2図g)。
の接合面14bかPjT5¥:量露出するまで砥石によ
りラップ研磨され、磁気ギャップ12のギャップ幅か決
定される(@2図g)。
第8工程で、接合面14bの研磨の終了した一万のハー
フコアブロック11に、褥び、浸食防止膜17をスパッ
タリング等のrI!膜付溜手段により形成される(第2
図h)。なお、侵食防止膜17の匣さを磁気ギャップ1
2の#−さより薄くシた場合は、その上にSin、を付
着してギャップ長とすれば良い。
フコアブロック11に、褥び、浸食防止膜17をスパッ
タリング等のrI!膜付溜手段により形成される(第2
図h)。なお、侵食防止膜17の匣さを磁気ギャップ1
2の#−さより薄くシた場合は、その上にSin、を付
着してギャップ長とすれば良い。
婦後の第9工程でや方のハーフコアブロック11にトラ
ック@却、制溝1へ七直交するように磁気ギャップ深さ
規制#18を設け、両ブロック11の8気ギヤツプ12
となるべき突合せ面14aを位置決めして突き合わされ
、両ハーフコアブロック11が接合されて、接合コアブ
ロックとなる(第2図i)。この接合コアフロックを切
断MA−Hに沿って所定幅Sで切断すると、駈1図aで
示すような磁気ヘッドコアが得られる。
ック@却、制溝1へ七直交するように磁気ギャップ深さ
規制#18を設け、両ブロック11の8気ギヤツプ12
となるべき突合せ面14aを位置決めして突き合わされ
、両ハーフコアブロック11が接合されて、接合コアブ
ロックとなる(第2図i)。この接合コアフロックを切
断MA−Hに沿って所定幅Sで切断すると、駈1図aで
示すような磁気ヘッドコアが得られる。
以上説明したように1本発明の磁気ヘッドコアは、金F
I4a性体突合せ面に、侵食防止膜を形成することによ
り突合せ面の金xi性体とガラスの接触を避けたもので
ある、よってガラスによる金属磁性体への侵食をこの侵
食防止膜により防ぐことができ、この(−山気ヘッドの
砲気特性は向上する。
I4a性体突合せ面に、侵食防止膜を形成することによ
り突合せ面の金xi性体とガラスの接触を避けたもので
ある、よってガラスによる金属磁性体への侵食をこの侵
食防止膜により防ぐことができ、この(−山気ヘッドの
砲気特性は向上する。
【図面の簡単な説明】
第1図aは本発明による磁気ヘッドコアの斜視図、第1
図すは第1図aのギャップ付近の拡大平面図、第2図a
ないしiは本発明による磁気ヘッドコアの製造方法の工
程を犀次示すもので、aないしhは斜視図、iは正面向
、第3図aは従来の磁気ヘッドコアの斜視図、第3図す
は第3図aのギャップ付近の拡大平面図である。 11・・・ハーフコア 12・・・磁気ギャップ 12a・・・ギャップスペーサ−(Si02)13・・
・薄膜付着溝 14・・・金属磁性体 14a・・・金楓磁性体突合せ面 15・・・トラック幅規制溝 16・・・ガラス 17・・・侵食防止膜(ギャップスペーサ−)18・・
・磁気ギャップ深さ規制溝 20・・・侵食防止膜 寥 1 図 第 2 図 (b) 第 2 図 (dン (f) ′IfI2 図 弔 3 図 (b)
図すは第1図aのギャップ付近の拡大平面図、第2図a
ないしiは本発明による磁気ヘッドコアの製造方法の工
程を犀次示すもので、aないしhは斜視図、iは正面向
、第3図aは従来の磁気ヘッドコアの斜視図、第3図す
は第3図aのギャップ付近の拡大平面図である。 11・・・ハーフコア 12・・・磁気ギャップ 12a・・・ギャップスペーサ−(Si02)13・・
・薄膜付着溝 14・・・金属磁性体 14a・・・金楓磁性体突合せ面 15・・・トラック幅規制溝 16・・・ガラス 17・・・侵食防止膜(ギャップスペーサ−)18・・
・磁気ギャップ深さ規制溝 20・・・侵食防止膜 寥 1 図 第 2 図 (b) 第 2 図 (dン (f) ′IfI2 図 弔 3 図 (b)
Claims (4)
- (1)磁気ギャップを形成する一対のハーフコアの突合
せ面の少くとも一方の突合せ面を金属磁性体とするとと
もに上記磁気ギャップの幅をトラック幅規制溝に充填し
たガラスによって規制し、上記磁気ギャップの深さを他
方のハーフコアに形成した磁気ギャップ深さ規制溝で規
制し、且つ上記金属磁性体の突合せ面と上記磁気ギャッ
プ深さ規制溝に存在するガラスが接触するような磁気ヘ
ッドにおいて、上記金属磁性体の突合せ面に侵食防止膜
形成させたことを特徴とする磁気ヘッドコア。 - (2)特許請求の範囲第一項において、上記侵食防止膜
が活性化金属の単層からなっている磁気ヘッドコア。 - (3)特許請求の範囲第1項において、上記侵食防止膜
が活性化金属と金属酸化物の積層膜からなっている磁気
ヘッドコア。 - (4)特許請求の範囲第1項において、上記侵食防止膜
が活性化金属・金属酸化物の複合体からなっている磁気
ヘッドコア。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61293869A JPH0727612B2 (ja) | 1986-12-09 | 1986-12-09 | 磁気ヘツドコア |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61293869A JPH0727612B2 (ja) | 1986-12-09 | 1986-12-09 | 磁気ヘツドコア |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63146203A true JPS63146203A (ja) | 1988-06-18 |
JPH0727612B2 JPH0727612B2 (ja) | 1995-03-29 |
Family
ID=17800204
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61293869A Expired - Lifetime JPH0727612B2 (ja) | 1986-12-09 | 1986-12-09 | 磁気ヘツドコア |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0727612B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02141910A (ja) * | 1988-11-22 | 1990-05-31 | Tdk Corp | 磁気ヘッド |
JPH02302910A (ja) * | 1989-05-17 | 1990-12-14 | Canon Electron Inc | 磁気ヘッド |
JPH02310807A (ja) * | 1989-05-25 | 1990-12-26 | Alps Electric Co Ltd | 磁気ヘッド |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6074107A (ja) * | 1983-09-29 | 1985-04-26 | Sony Corp | 磁気ヘツド |
JPS60125906A (ja) * | 1983-12-10 | 1985-07-05 | Sony Corp | 磁気ヘツド |
JPS60205808A (ja) * | 1984-03-29 | 1985-10-17 | Sony Corp | 磁気ヘツド |
JPS61237211A (ja) * | 1985-04-13 | 1986-10-22 | Sony Corp | 磁気ヘツド |
-
1986
- 1986-12-09 JP JP61293869A patent/JPH0727612B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
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JPH02302910A (ja) * | 1989-05-17 | 1990-12-14 | Canon Electron Inc | 磁気ヘッド |
JPH02310807A (ja) * | 1989-05-25 | 1990-12-26 | Alps Electric Co Ltd | 磁気ヘッド |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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JPH0727612B2 (ja) | 1995-03-29 |
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