JPS6126532A - 光フアイバ−用母材の製造方法 - Google Patents
光フアイバ−用母材の製造方法Info
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- C03B37/018—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
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- C03B2207/00—Glass deposition burners
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
- Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
- Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、気相軸付は法（ＶＡＤ法）により光ファイバ
ー用母材を製造する方法に関する。
ー用母材を製造する方法に関する。
一般にＶＡＤ法において光ファイバー用母材を製造する
には、バーナーから燃焼ガス、ガラス原料およびドーパ
ント原料を混合噴出し、酸水素火炎中において、上記原
料の加水分解反応により生じたガラス微粒子を回転する
出発材の上に堆積させ、多孔質ガラス母材を製造する方
法が用いられる。通常燃焼ガスとしては、Ｈ２＋ Ｏｔ
、ドーパント原料としては、ＧｅｃＬ４ 、 ＰＱＯ１
３、ＢＢｒｓ等が用いられておシ、ガラス原料としては
、ｓ ｊＯ４４が用いられる。この方法において、多孔
質母材の合成速度を向上させ、大型多孔質母材を製造す
る手段として２本以上のガラス微粒子生成用のバーナー
を用いる製造方法がある。
には、バーナーから燃焼ガス、ガラス原料およびドーパ
ント原料を混合噴出し、酸水素火炎中において、上記原
料の加水分解反応により生じたガラス微粒子を回転する
出発材の上に堆積させ、多孔質ガラス母材を製造する方
法が用いられる。通常燃焼ガスとしては、Ｈ２＋ Ｏｔ
、ドーパント原料としては、ＧｅｃＬ４ 、 ＰＱＯ１
３、ＢＢｒｓ等が用いられておシ、ガラス原料としては
、ｓ ｊＯ４４が用いられる。この方法において、多孔
質母材の合成速度を向上させ、大型多孔質母材を製造す
る手段として２本以上のガラス微粒子生成用のバーナー
を用いる製造方法がある。
従来、２本以上のバーナーを用い、多孔質ガラス母材を
製造する場合、多孔質ガラス母材外局部に堆積するスス
の嵩密度の調節および収率向上が主な問題となってきた
。
製造する場合、多孔質ガラス母材外局部に堆積するスス
の嵩密度の調節および収率向上が主な問題となってきた
。
通常中心のバーナーは、多孔質ガラス母材堆積面の中心
部を包むような形で火炎を形成し、ススの堆積を行なう
が、中心から２本目以後のバーナーにおいては、堆積面
全体を火炎で包むことができないため、堆積面の一部を
加熱することになる。（第１図参照） なお第１図は説明を簡単にするために２本のバーナーに
よる多孔質母材の製造法を示したもので、１１は多孔質
母材中心部形成用バーナー、１２は同外周部形成用バー
ナー、１３および１４は夫々多孔質ガラス母材のバーナ
ー１１及び１２により加熱される領域を示す。多孔質ガ
ラス母材は回転しつつ引上げられるため、火炎があたっ
ていない時間が存在し、ガラス微粒子堆積面が十分に加
熱されないことになる。
部を包むような形で火炎を形成し、ススの堆積を行なう
が、中心から２本目以後のバーナーにおいては、堆積面
全体を火炎で包むことができないため、堆積面の一部を
加熱することになる。（第１図参照） なお第１図は説明を簡単にするために２本のバーナーに
よる多孔質母材の製造法を示したもので、１１は多孔質
母材中心部形成用バーナー、１２は同外周部形成用バー
ナー、１３および１４は夫々多孔質ガラス母材のバーナ
ー１１及び１２により加熱される領域を示す。多孔質ガ
ラス母材は回転しつつ引上げられるため、火炎があたっ
ていない時間が存在し、ガラス微粒子堆積面が十分に加
熱されないことになる。
すなわち、母材外周部に付着するガラス微粒子体の嵩密
度が小さくなり、割れの原因となりやすい。該堆積面の
加熱範囲を広くし嵩密度を高くする目的で、火炎流の拡
がりを大きくすると、火炎の集中性が劣化し、火炎流中
心の温度は低下し、ガラス微粒子の生成反応速度の劣化
ちるいは、該ガラス微粒子温度が十分に上からないとい
う不具合が生じ、収率低下の原因となる。また、火炎の
温度自体を高くシ、堆積面の温度を上げる目的で、上記
バーブ−のＨ８流量を単に増加させると、各バーナー間
の炎の干渉により多孔質ガラス母材中の嵩密度分布が、
第５図に示す如く、極小点を持つようになり、該多孔質
母材の割れの原因となる。なお第５図において横軸は多
孔質ガラス母材の半径方向距離、縦軸は該母材のガラス
微粒子体の嵩密度（ｇ／ｃｄ）を示す。
度が小さくなり、割れの原因となりやすい。該堆積面の
加熱範囲を広くし嵩密度を高くする目的で、火炎流の拡
がりを大きくすると、火炎の集中性が劣化し、火炎流中
心の温度は低下し、ガラス微粒子の生成反応速度の劣化
ちるいは、該ガラス微粒子温度が十分に上からないとい
う不具合が生じ、収率低下の原因となる。また、火炎の
温度自体を高くシ、堆積面の温度を上げる目的で、上記
バーブ−のＨ８流量を単に増加させると、各バーナー間
の炎の干渉により多孔質ガラス母材中の嵩密度分布が、
第５図に示す如く、極小点を持つようになり、該多孔質
母材の割れの原因となる。なお第５図において横軸は多
孔質ガラス母材の半径方向距離、縦軸は該母材のガラス
微粒子体の嵩密度（ｇ／ｃｄ）を示す。
したがって、２本以上のガラス微粒子生成用のバーナー
を用いて、多孔質ガラス母材を製造する場合、中心から
２本目以後のバーナーの流量条件として、ガラス原料の
反応速度を速くし、しかも、ガラス微粒子の温度を上げ
、該ガラス微粒子の収率を向上させると同時に、バーナ
ーによυ形成される火炎を多孔質ガラス母材中の嵩密度
が、母材として安定な分布となるように調整できるよう
にすることが必要となる。
を用いて、多孔質ガラス母材を製造する場合、中心から
２本目以後のバーナーの流量条件として、ガラス原料の
反応速度を速くし、しかも、ガラス微粒子の温度を上げ
、該ガラス微粒子の収率を向上させると同時に、バーナ
ーによυ形成される火炎を多孔質ガラス母材中の嵩密度
が、母材として安定な分布となるように調整できるよう
にすることが必要となる。
ところで、ガラス原料として５ｉｃｔ４を用いた場合、
下記の如き加水分解反応（１）により、ガラス微粒子が
生成されることが知られている。
下記の如き加水分解反応（１）により、ガラス微粒子が
生成されることが知られている。
５ｉＯＬ４＋２Ｈ２（１−→ＳｉＯ冨ト４ＨＣ１・・・
・・・（１）この反応（１）は、発熱反応でちるが、発
熱量は 〔２４Ｋｃａｔ／ｍｏｔ と小さく、反応
はバーナーにより形成される酸水素火炎による発熱に支
持されている。このため、上記ガラス微粒子の生成速度
は火炎からの熱伝達量に依存しており、従って、生成さ
れるガラス微粒子流の温度も酸水素火炎に依存している
。すなわち、ガラス原料としてＢ＋ａｔ４のみを用いた
場合にはバーナーにより形成される火炎が、ガラス微粒
子の生成反応、該ガラス微粒子の加熱および多孔質ガラ
ス母材堆積面の加熱の役割りをすべて行っていることと
なり、上記不具合点を克服し、大型多孔質ガラス母材を
安定に、収率良く製造可能とする条件はきわめて狭くな
る。
・・・（１）この反応（１）は、発熱反応でちるが、発
熱量は 〔２４Ｋｃａｔ／ｍｏｔ と小さく、反応
はバーナーにより形成される酸水素火炎による発熱に支
持されている。このため、上記ガラス微粒子の生成速度
は火炎からの熱伝達量に依存しており、従って、生成さ
れるガラス微粒子流の温度も酸水素火炎に依存している
。すなわち、ガラス原料としてＢ＋ａｔ４のみを用いた
場合にはバーナーにより形成される火炎が、ガラス微粒
子の生成反応、該ガラス微粒子の加熱および多孔質ガラ
ス母材堆積面の加熱の役割りをすべて行っていることと
なり、上記不具合点を克服し、大型多孔質ガラス母材を
安定に、収率良く製造可能とする条件はきわめて狭くな
る。
本発明は、以上詳述した如き、ＷＡＤ法により２本以上
のバーナーを用いて大型多孔質ガラス母材を製造する上
での問題点に鑑みて、多孔質ガラス母材外周部の嵩密度
調節およびガラス原料の付着収率向上という問題を解決
することを目的とする。
のバーナーを用いて大型多孔質ガラス母材を製造する上
での問題点に鑑みて、多孔質ガラス母材外周部の嵩密度
調節およびガラス原料の付着収率向上という問題を解決
することを目的とする。
問題点を解決するだめの手段〕
上記の目的を達成する手段として本発明は、（気体のガ
ラス原料を燃焼バーナーから噴出させて、火炎加水分解
し、これによって生成する粒状ガラスを回転する出発材
に堆積させ、回転軸方向に成長させて多孔質ガラス母材
を製造する方法において、中心部バーナーに流すガラス
原料としてはＳ ｉ ０４を用い、燃焼バーナーを２つ
以上用いる場合に、中心から２本目以後のバーナーに流
すガラス原料として、５ＩＣ４４よりも反応熱の高いＳ
ｉの水素化合物を用いて、多孔質ガラス母材を製造する
ことを特徴とする光ファイバー用母材の製造方法を提供
する。
ラス原料を燃焼バーナーから噴出させて、火炎加水分解
し、これによって生成する粒状ガラスを回転する出発材
に堆積させ、回転軸方向に成長させて多孔質ガラス母材
を製造する方法において、中心部バーナーに流すガラス
原料としてはＳ ｉ ０４を用い、燃焼バーナーを２つ
以上用いる場合に、中心から２本目以後のバーナーに流
すガラス原料として、５ＩＣ４４よりも反応熱の高いＳ
ｉの水素化合物を用いて、多孔質ガラス母材を製造する
ことを特徴とする光ファイバー用母材の製造方法を提供
する。
本発明は、２本以上のバーナーに」：る上記大型多孔質
ガラス母材製造上の問題点を考慮し、中心から２本目以
後のバーナーに用いるガラス原料として、ＳｉＣ４４よ
りも反応性が良く、反応熱の高い８１ の水素化合物を
用いることによ垢大型多孔質ガラス母材の製造を可能と
したものである。
ガラス母材製造上の問題点を考慮し、中心から２本目以
後のバーナーに用いるガラス原料として、ＳｉＣ４４よ
りも反応性が良く、反応熱の高い８１ の水素化合物を
用いることによ垢大型多孔質ガラス母材の製造を可能と
したものである。
８ ｉ ０７！、、よりも反応性が良く反応熱の高いＳ
ｔの水素化合物としては、５ＩＨｃｔ、 、 ｓｔＨ，
などがあり、それぞれの加水分解または燃焼反応は、下
記の（２３、（３）式によって表わされる。
ｔの水素化合物としては、５ＩＨｃｔ、 、 ｓｔＨ，
などがあり、それぞれの加水分解または燃焼反応は、下
記の（２３、（３）式によって表わされる。
５ＩＨＣ４＋ ＨｔＯ−→ＳＩＱ、 ＋ Ｈｏｔ・−・
・・・・・・・・・（２）８ＬＩ（４＋ ０２−一→８
’０１＋ ＨＩＯ・・・・・・・・・・・・・・・（３
）反応熱は、５ｉＨａｚ、が１１８ Ｋｃａｔ／ｍｏｔ
、 ＳｉＨ４が３５９Ｋｃａｔ／ｍｏｔとｑｉ０ｔ４に
比べて高い値となっておシ、これらの原料は、自己の発
熱量によって反応を持続することができる。したがって
、上記原料を用いる場合、火炎の熱量でガラス微粒子の
生成反応を支持する必要はなく、またガラス微粒子の温
度も十分高くできるため、酸水素反応によシ発生する熱
量を多孔質ガラス母材の堆積面加熱用のみに用いること
ができ、原料の反応とは無関係に多孔質ガラス母材中の
嵩密度の制御のために調整することができる。このこと
により、ガラス微粒子の付着収率を向上させることがで
きる。
・・・・・・・・・（２）８ＬＩ（４＋ ０２−一→８
’０１＋ ＨＩＯ・・・・・・・・・・・・・・・（３
）反応熱は、５ｉＨａｚ、が１１８ Ｋｃａｔ／ｍｏｔ
、 ＳｉＨ４が３５９Ｋｃａｔ／ｍｏｔとｑｉ０ｔ４に
比べて高い値となっておシ、これらの原料は、自己の発
熱量によって反応を持続することができる。したがって
、上記原料を用いる場合、火炎の熱量でガラス微粒子の
生成反応を支持する必要はなく、またガラス微粒子の温
度も十分高くできるため、酸水素反応によシ発生する熱
量を多孔質ガラス母材の堆積面加熱用のみに用いること
ができ、原料の反応とは無関係に多孔質ガラス母材中の
嵩密度の制御のために調整することができる。このこと
により、ガラス微粒子の付着収率を向上させることがで
きる。
また、上記原料５ｉＯ６，、５ｉＨＯｔ、 、 ｓｔａ
、ｃｚ、、 ５ＩＨ４のうち少なくとも２つの原料を混
合して用いることにより、ガラス碑粒子粒の温度を調整
し、多孔質ガラス母料の電音ｊ（を制御することも有効
である。
、ｃｚ、、 ５ＩＨ４のうち少なくとも２つの原料を混
合して用いることにより、ガラス碑粒子粒の温度を調整
し、多孔質ガラス母料の電音ｊ（を制御することも有効
である。
本発明方法における２本以上のバーナーは、例えば中心
部のバーナーが周＋”ｔｌより屈折率の高いコア部を形
成し、２本目以後のバーがクラッド部を形成するもので
あってもよいが、この例に限定されるものではない。
部のバーナーが周＋”ｔｌより屈折率の高いコア部を形
成し、２本目以後のバーがクラッド部を形成するもので
あってもよいが、この例に限定されるものではない。
以下本発明の方法と効果を比較例、実施例を挙げて説明
する。
する。
比較例１、
第１図に示す２本バーナー１１ 、１２’ｉ用い、通常
原料５ＩＣ６４を用いて、多孔質ガラス母材の製造を行
った。バーナーとしては、２本とも同心円状多重管バー
ナーを用い、流量条件としては中心部を形成するバーナ
ー１１からは５ｉｃ４６００ ｃｃ／１ｎＩｎ 、 Ｇ
ｅ０Ａ４１０５ ｃｃ／ｍｉｎ 、 Ｈ，＝ １０４／
ｎ＋ｉｎ。
原料５ＩＣ６４を用いて、多孔質ガラス母材の製造を行
った。バーナーとしては、２本とも同心円状多重管バー
ナーを用い、流量条件としては中心部を形成するバーナ
ー１１からは５ｉｃ４６００ ｃｃ／１ｎＩｎ 、 Ｇ
ｅ０Ａ４１０５ ｃｃ／ｍｉｎ 、 Ｈ，＝ １０４／
ｎ＋ｉｎ。
０１＝＋ １２ ｔ／ｍｉｎ 、 Ａｒ＝ ２．７ｔ／
ｍｉｎ のガスを流し、外周部を形成する２本目のバ
ーナー１２からは、Ｈ，＝＝ ２０／−／ｍｉｎ 、
０２ ： ２０ｔ／ｍｉｎ 、 Ａｒ ： ４ｔ／ｍｉ
ｎを流し、ガラス原料として５１０ｔ４ を３４０ 、
ｃｃ／ｎ１１ｎ 、 ６００ＣＣ／ｍｌｎ ＋ ８２０
ＣＣ／ｍｌｎ 、 １１００ ｃｃ／ｍｌｎ の４条
件に変化させて、それぞれ多孔質ガラス母材を製造した
。
ｍｉｎ のガスを流し、外周部を形成する２本目のバ
ーナー１２からは、Ｈ，＝＝ ２０／−／ｍｉｎ 、
０２ ： ２０ｔ／ｍｉｎ 、 Ａｒ ： ４ｔ／ｍｉ
ｎを流し、ガラス原料として５１０ｔ４ を３４０ 、
ｃｃ／ｎ１１ｎ 、 ６００ＣＣ／ｍｌｎ ＋ ８２０
ＣＣ／ｍｌｎ 、 １１００ ｃｃ／ｍｌｎ の４条
件に変化させて、それぞれ多孔質ガラス母材を製造した
。
以上により得られた母材へのガラス原料の付着効率〔収
率：投入したガラス原料によるガラス微粒子の理論生成
量に対する母材への付着ガラス微粒子量の割合啓）〕を
第２図にＯ印にて示す。なお上記の５ｉｃｚ、の流量条
件は、ｓｔＱ、としての原料投入量（＆／ｍ１ｎ）に換
算して示した。第２図から明らかなように、母材へのガ
ラス原料付着効率は６０Ｘから５ＯＮの間に分布した。
率：投入したガラス原料によるガラス微粒子の理論生成
量に対する母材への付着ガラス微粒子量の割合啓）〕を
第２図にＯ印にて示す。なお上記の５ｉｃｚ、の流量条
件は、ｓｔＱ、としての原料投入量（＆／ｍ１ｎ）に換
算して示した。第２図から明らかなように、母材へのガ
ラス原料付着効率は６０Ｘから５ＯＮの間に分布した。
また、５ｉ０４ ＝： １１００ ｃｃ／ｍｉｎ の
条件では母材に割れが発生し、安定に製造することがで
きなかった。この場合、嵩密度を測定したところ、第４
図に示すような分布をしており、内部に嵩密度の極小点
を持つ不安定な形をしていた。
条件では母材に割れが発生し、安定に製造することがで
きなかった。この場合、嵩密度を測定したところ、第４
図に示すような分布をしており、内部に嵩密度の極小点
を持つ不安定な形をしていた。
実施例１、
比較例１と同じ第１図の構成でバーナー１１゜１２を用
い、２本目のバーナー１２にＳ Ｉ ＨＣｌ。
い、２本目のバーナー１２にＳ Ｉ ＨＣｌ。
を用いて多孔質ガラス母材の製造を行った。中心を形成
するバーナーの流量条件は比較例１と同じにしだ。２本
目のバーナー１２の流量条件は、Ｈ１１２νｍｌｎ ｒ
ＯＨ２０ｔ／ｍｉｎ ＋ Ａ ｒ ４ ｔ／ｍｌｎ
を流し、ガラス原料として５ｔＨｃｚ、を用い、流量
上しては３４０ ｃｃ／ｍｌｎ 、 ９７０ ｃｃ／ｍ
ｉｎ 、 １１００ ｃｃ／ｍｉｎ。
するバーナーの流量条件は比較例１と同じにしだ。２本
目のバーナー１２の流量条件は、Ｈ１１２νｍｌｎ ｒ
ＯＨ２０ｔ／ｍｉｎ ＋ Ａ ｒ ４ ｔ／ｍｌｎ
を流し、ガラス原料として５ｔＨｃｚ、を用い、流量
上しては３４０ ｃｃ／ｍｌｎ 、 ９７０ ｃｃ／ｍ
ｉｎ 、 １１００ ｃｃ／ｍｉｎ。
１１２０ ｃｃ／ｍｉｎの４条件とした。この結果、母
材へのガラス原料の付着収率は、第３図の印に示す如く
６８Ｘから５６Ｘの間に分布し、５ｉＣ４を用いた場合
よりも１０Ｘ近い向上がみられた。
材へのガラス原料の付着収率は、第３図の印に示す如く
６８Ｘから５６Ｘの間に分布し、５ｉＣ４を用いた場合
よりも１０Ｘ近い向上がみられた。
なおこの場合もＳ ｌ）ｌ Ｃ１，の流量をＳ１０！量
に換算して原料投入量とした。また、５ＩＨＣ６，＝１
１００ｃｃ／ｍｉｎでも多孔質ガラス母材は安定に製造
することができ、嵩密度を測定したところ、第３図に示
すようになめらかな安定した分布となっていることがわ
かった。
に換算して原料投入量とした。また、５ＩＨＣ６，＝１
１００ｃｃ／ｍｉｎでも多孔質ガラス母材は安定に製造
することができ、嵩密度を測定したところ、第３図に示
すようになめらかな安定した分布となっていることがわ
かった。
実施例２゜
比較例１と同じ第１図の構成でバーナー１１゜１２を用
い、２本目のバーナーに８ｔｃｚ、と引Ｈｅ／。
い、２本目のバーナーに８ｔｃｚ、と引Ｈｅ／。
の混合物を用いて、多孔質ガラス母材の製造を行った。
中心を形成するバーナーの流量条件は、％ １６ Ｌ／
ｍｌ ｎ 、 ＯＨ２０ｚ／ｍｉ ｎ 、 Ａｒ ４１
７ａｄ ｎを流し、ガラス原料上して５ｉＨｃｚ、を５
４Ｇ ｃｃ／ｗｉｎ 、 ＥｌｌＣＩＡを６００ ｃｃ
／ｍｉｎ を流した。この結果、母材への゛ガラス原
料の付着効率は６１Ｎとなｇ、５Ｉｃｔ４のみを用いた
場合よりも高収率となり、安定な製造を行うことができ
た。
ｍｌ ｎ 、 ＯＨ２０ｚ／ｍｉ ｎ 、 Ａｒ ４１
７ａｄ ｎを流し、ガラス原料上して５ｉＨｃｚ、を５
４Ｇ ｃｃ／ｗｉｎ 、 ＥｌｌＣＩＡを６００ ｃｃ
／ｍｉｎ を流した。この結果、母材への゛ガラス原
料の付着効率は６１Ｎとなｇ、５Ｉｃｔ４のみを用いた
場合よりも高収率となり、安定な製造を行うことができ
た。
以上の実施例においては、５ＩＨＣ！ｔ、を用いた例に
ついて説明したが、５ｔＨｃｔ、 Ｋ限らず、ＳｉＨ，
Ｏ！４Ｓ ｉ Ｈ４などの発熱量の高い物質でも良い。
ついて説明したが、５ｔＨｃｔ、 Ｋ限らず、ＳｉＨ，
Ｏ！４Ｓ ｉ Ｈ４などの発熱量の高い物質でも良い。
また、ＳｉＣｌ４よりも反応熱の高い水素化合物であれ
ば同様の効果を期待できる。さらに嵩密度分布を調整す
るために、上記原料のうち少なくとも２つ以上の原料を
混合して用いても有効である。
ば同様の効果を期待できる。さらに嵩密度分布を調整す
るために、上記原料のうち少なくとも２つ以上の原料を
混合して用いても有効である。
また、本実施例においては、多孔質ガラス母材外周部形
成用バーナーには、ドーパントを入れておらず、外周部
にクラッドに相当する部分を形成しているが、本発明に
よる構成においては、２本目のバーナーにドーパントを
適当な濃度で混合して流しても、安定な多孔質ガラス母
材の形成は可能である。
成用バーナーには、ドーパントを入れておらず、外周部
にクラッドに相当する部分を形成しているが、本発明に
よる構成においては、２本目のバーナーにドーパントを
適当な濃度で混合して流しても、安定な多孔質ガラス母
材の形成は可能である。
また、外周部形成用バーナーは１本に限るものではなく
複数本であってもよい。
複数本であってもよい。
以上、実施例を含めて説明したように１本発明方法は、
２本以上のガラス微粒子合成用バーナーを用いて、多孔
質ガラス母材外周部の嵩密度の調整を容易に行なうこと
ができ、大型多孔質ガラス母材の製造を安定に行なうこ
とができ、さらにこのとき、ガラス原料の付着収率の向
上ができる、という従来法での問題点を解消した実用性
大の有利な方法でちる。
２本以上のガラス微粒子合成用バーナーを用いて、多孔
質ガラス母材外周部の嵩密度の調整を容易に行なうこと
ができ、大型多孔質ガラス母材の製造を安定に行なうこ
とができ、さらにこのとき、ガラス原料の付着収率の向
上ができる、という従来法での問題点を解消した実用性
大の有利な方法でちる。
第１図は、本発明の１実施態様における２本のバーナー
構成および火炎による加熱領域の説明図。 第２図は、本発明の実施例（Ｏ印）および比較例（０印
）における、原料投入ｆｌ （５ｉｆｔ換算。 ｇ／ｍｉｎ ）と多孔質ガラス母材へのガラス微粒子付
着効率（収率、Ｘ）の関係を示すグラフ。 第３図および第４図は、多孔質ガラス母材の半径方向に
おける嵩密度分布（１７ａｄ ）を示し、第５図は本発
明による実施例の場合、また第４図は従来法による比較
例の場合である。 第５図は、従来法による場合の多孔質ガラス母材の嵩密
度分布の例で、極小点を持つ不安定な分布を示す。
構成および火炎による加熱領域の説明図。 第２図は、本発明の実施例（Ｏ印）および比較例（０印
）における、原料投入ｆｌ （５ｉｆｔ換算。 ｇ／ｍｉｎ ）と多孔質ガラス母材へのガラス微粒子付
着効率（収率、Ｘ）の関係を示すグラフ。 第３図および第４図は、多孔質ガラス母材の半径方向に
おける嵩密度分布（１７ａｄ ）を示し、第５図は本発
明による実施例の場合、また第４図は従来法による比較
例の場合である。 第５図は、従来法による場合の多孔質ガラス母材の嵩密
度分布の例で、極小点を持つ不安定な分布を示す。
Claims (4)
- （１）気体のガラス原料を燃焼バーナから噴出させて、
火炎加水分解し、これによって生成する粒状ガラスを回
転する出発材に堆積させ、回転軸方向に成長させて、多
孔質ガラス母材を製造する方法において、中心部バーナ
ーに流すガラス原料としてはＳｉＣｌ＿４を用い、燃焼
バーナーを２つ以上用いる場合に、中心から２本目以後
のバーナーに流すガラス原料として、ＳｉＣｌ＿４より
も反応熱の高いＳｉの水素化合物を用いて、多孔質ガラ
ス母材を製造することを特徴とする光ファイバー用母材
の製造方法。 - （２）ＳｉＣｌ＿４よりも反応熱の高いＳｉの水素化合
物として、ＳｉＨＣｌ＿３、ＳｉＨ＿２Ｃｌ＿２または
ＳｉＨ＿４を用いる特許請求の範囲第（１）項記載の光
ファイバー用母材の製造方法。 - （３）ＳｉＣｌ＿４よりも反応熱の高いＳｉの水素化合
物として、ＳｉＣｌ＿４、ＳｉＨＣｌ＿３、ＳｉＨ＿２
Ｃｌ＿３およびＳｉＨ＿４よりなる群のうちの少なくと
も２つ以上の化合物を混合して用いる特許請求の範囲第
（１）項記載の光ファイバー用母材の製造方法。 - （４）中心部バーナーが周囲より屈折率の高いコア部を
形成し、２本目以後のバーナーがクラッド部を形成する
特許請求の範囲第（１）〜（３）項のいずれかに記載さ
れる光ファイバー用母材の製造方法。
Priority Applications (10)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14415884A JPS6126532A (ja) | 1984-07-13 | 1984-07-13 | 光フアイバ−用母材の製造方法 |
| AU43937/85A AU574195B2 (en) | 1984-07-13 | 1985-06-21 | Producing optical fibre preform |
| GB08515928A GB2161474B (en) | 1984-07-13 | 1985-06-24 | A method for producing a glass preform for an optical fibre |
| KR1019850004762A KR890003705B1 (ko) | 1984-07-13 | 1985-07-03 | 광파이버용 모재의 제조방법 |
| DE19853523992 DE3523992A1 (de) | 1984-07-13 | 1985-07-04 | Verfahren zur herstellung einer glasvorform fuer optische fasern |
| CA000486650A CA1264614A (en) | 1984-07-13 | 1985-07-11 | Method for producing glass preform for optical fiber |
| US07/088,542 US4765815A (en) | 1984-07-13 | 1987-08-20 | Method for producing glass preform for optical fiber |
| MYPI87002626A MY103723A (en) | 1984-07-13 | 1987-09-30 | Method for producing glass preform for optical fiber |
| SG27/89A SG2789G (en) | 1984-07-13 | 1989-01-13 | A method for producing a glass preform for an optical fibre |
| HK682/89A HK68289A (en) | 1984-07-13 | 1989-08-24 | A method for producing a glass preform for an optical fibre |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14415884A JPS6126532A (ja) | 1984-07-13 | 1984-07-13 | 光フアイバ−用母材の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6126532A true JPS6126532A (ja) | 1986-02-05 |
| JPS64332B2 JPS64332B2 (ja) | 1989-01-06 |
Family
ID=15355546
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14415884A Granted JPS6126532A (ja) | 1984-07-13 | 1984-07-13 | 光フアイバ−用母材の製造方法 |
Country Status (10)
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|---|---|
| US (1) | US4765815A (ja) |
| JP (1) | JPS6126532A (ja) |
| KR (1) | KR890003705B1 (ja) |
| AU (1) | AU574195B2 (ja) |
| CA (1) | CA1264614A (ja) |
| DE (1) | DE3523992A1 (ja) |
| GB (1) | GB2161474B (ja) |
| HK (1) | HK68289A (ja) |
| MY (1) | MY103723A (ja) |
| SG (1) | SG2789G (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPH04282787A (ja) * | 1990-08-31 | 1992-10-07 | Gold Star Co Ltd | バーコード読み取りデコーダ |
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| DE4026337A1 (de) * | 1990-08-21 | 1992-02-27 | Hench Automatik App Masch | Vorrichtung zum abkuehlen und granulieren von schmelzfluessigen straengen |
| JP3206916B2 (ja) * | 1990-11-28 | 2001-09-10 | 住友電気工業株式会社 | 欠陥濃度低減方法、紫外線透過用光学ガラスの製造方法及び紫外線透過用光学ガラス |
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| US9260338B2 (en) * | 2014-02-28 | 2016-02-16 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Porous glass body and method for producing glass preform |
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| NL165134B (nl) * | 1974-04-24 | 1980-10-15 | Nippon Telegraph & Telephone | Werkwijze voor de vervaardiging van een staaf als tussenprodukt voor de vervaardiging van een optische vezel en werkwijze voor de vervaardiging van een optische vezel uit zulk een tussenprodukt. |
| JPS5142546A (ja) * | 1974-10-09 | 1976-04-10 | Hitachi Ltd | Hikarigarasufuaibanoseizohoho |
| US4135901A (en) * | 1974-12-18 | 1979-01-23 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method of manufacturing glass for optical waveguide |
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| JPS5313618A (en) * | 1976-07-26 | 1978-02-07 | Nippon Telegraph & Telephone | Process for preparing dehydrated glass |
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| JPS5927728B2 (ja) * | 1977-08-11 | 1984-07-07 | 日本電信電話株式会社 | 煤状ガラスロッドの製造方法 |
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| DE3474657D1 (en) * | 1984-01-31 | 1988-11-24 | Nippon Telegraph & Telephone | Method of fabricating optical fiber preforms |
| JPS60200836A (ja) * | 1984-03-27 | 1985-10-11 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光フアイバ−用プリフオ−ムの製造方法 |
-
1984
- 1984-07-13 JP JP14415884A patent/JPS6126532A/ja active Granted
-
1985
- 1985-06-21 AU AU43937/85A patent/AU574195B2/en not_active Ceased
- 1985-06-24 GB GB08515928A patent/GB2161474B/en not_active Expired
- 1985-07-03 KR KR1019850004762A patent/KR890003705B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1985-07-04 DE DE19853523992 patent/DE3523992A1/de active Granted
- 1985-07-11 CA CA000486650A patent/CA1264614A/en not_active Expired - Fee Related
-
1987
- 1987-08-20 US US07/088,542 patent/US4765815A/en not_active Expired - Fee Related
- 1987-09-30 MY MYPI87002626A patent/MY103723A/en unknown
-
1989
- 1989-01-13 SG SG27/89A patent/SG2789G/en unknown
- 1989-08-24 HK HK682/89A patent/HK68289A/xx not_active IP Right Cessation
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| SG2789G (en) | 1989-06-02 |
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