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Gebiet der
Erfindung
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Die
vorliegende Erfindung betrifft eine Brenneranordnung zum Herstellen
von Glasvorformen, insbesondere optischen Glasfaser-Vorformen, und
ein entsprechendes Herstellungsverfahren.
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Stand der
Technik
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Optische
Fasern für
die Telekommunikation sind typischerweise Glasfasern auf Siliciumdioxidbasis
mit hoher Reinheit, die aus Glasvorformen gezogen werden, wobei
die Vorformen gemäß verschiedenen
Glasablagerungsverfahren hergestellt werden können.
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Einige
von diesen Ablagerungsverfahren, einschließlich axialer Gasphasenablagerung
(VAD) und äußerer Gasphasenablagerung
(OVD), erfordern die Verwendung eines Verbrennungsbrenners zum Erzeugen von
abzulagernden Glasrußteilchen.
Dieser Brenner wird gewöhnlich
mit einem Siliciumdioxid-Vorläufer
wie z. B. SiCl4 zusammen mit Verbrennungsgasen
gespeist, so dass eine Hochtemperaturströmung zum Bilden von feinen
Glasteilchen (d. h. SiO2-Teilchen) erzeugt
wird. Diese Strömung
wird auf ein rotierendes Target gerichtet, um eine Glasrußvorform
wachsen zu lassen, die anschließend
zum Erhalten einer Glasvorform konsolidiert wird. Wahlweise kann
der Brenner auch mit einem Dotierungsmaterial wie z. B. GeCl4 gespeist werden, um den Brechungsindex
des Glases geeignet zu modifizieren.
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Gemäß dem VAD-Ablagerungsverfahren
findet das Wachstum der Vorform in einer axialen Richtung statt.
Der Ablagerungsbrenner wird typischerweise in einer im Wesentlichen
festen Position gehalten, während die
Vorform um ihre Achse gedreht wird und bezüglich des Brenners langsam
nach oben (oder nach unten) bewegt wird, um das axiale Wachstum
der Vorform zu bewirken. Alternativ kann die rotierende Vorform
in einer im Wesentlichen festen Position gehalten werden, während der
Ablagerungsbrenner bezüglich
der Vorform langsam nach unten (oder nach oben) bewegt wird.
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Im
Unterschied dazu findet beim OVD-Ablagerungsverfahren das Wachstum
der Vorform in einer radialen Richtung statt. In diesem Verfahren
wird ein rotierendes Target (z. B. ein Quarzglasstab) im Allgemeinen in
einer festen horizontalen oder vertikalen Position angeordnet und
der Ablagerungsbrenner wird parallel zur Achse des Targets hin-
und herbewegt, während
das Target um seine Achse in Rotation versetzt wird. Die so hergestellte
optische Vorform umfasst einen Kernabschnitt und einen Mantelabschnitt
mit einer unterschiedlichen chemischen Zusammensetzung, so dass
ein vorbestimmtes radiales Brechungsindexprofil erhalten werden
kann.
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Genauer
wird der Ablagerungsprozess gewöhnlich
in zwei Schritten durchgeführt:
einem ersten Schritt zum Ausbilden einer Kernvorform mit dem Kern
und einem ersten Abschnitt des Mantels und einem zweiten Schritt
("Übermantelung" genannt) zum Ablagern
einer weiteren Glasschicht auf der Kernvorform, wobei somit eine
poröse
endgültige
Vorform erhalten wird.
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Am
Ende jedes Ablagerungsschritts wird die Vorform konsolidiert. Insbesondere
wird nach dem Übermantelungsschritt
die poröse
endgültige
Vorform konsolidiert, um eine feste endgültige Glasvorform auszubilden,
die dazu geeignet ist, anschließend
zu einer optischen Faser gezogen zu werden.
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Herkömmliche
Brenner zur Herstellung von optischen Vorformen umfassen eine Vielzahl
von koaxialen röhrenförmigen Wänden (oder
Rohren), durch die die Glasvorläufermaterialien
(d. h. Siliciumdioxid-Vorläufer
wie z. B. SiCl4, wahlweise zusammen mit
Dotierungsmaterialien wie z. B. GeCl4),
die Verbrennungsgase (z. B. Sauerstoff und Wasserstoff oder Methan)
und wahlweise ein gewisses Inertgas (z. B. Argon oder Helium) zugeführt werden.
Typischerweise wird das Glasvorläufermaterial
durch die durch das zentrale Rohr definierte Leitung zugeführt, während andere
Gase durch die ringförmigen
Leitungen, die zwischen den konzentrisch angeordneten Rohren gebildet
sind, zugeführt
werden. Der Einlass einer Leitung wird nachstehend als "Einlassöffnung" bezeichnet, während der
Austrittsabschnitt eines Rohrs als "Düse" bezeichnet wird.
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Um
die Ausbeute des Ablagerungsprozesses zu verbessern, wurde die Forschung
in den letzten Jahren der Steigerung der Rate (g/min), mit der der
Ruß synthetisiert
und abgelagert wird, für
eine Einheitszeit gewidmet.
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Das
Problem des Erreichens einer hohen Syntheserate in dem VAD-Verfahren
durch eine Steigerung des Reaktionswirkungsgrades wird in
US 4 618 354 angegangen.
Dieses Patent betrifft einen Brenner mit mehreren Flammen, in dem
die k-te Flamme hinter der (k + 1)-ten Flamme angeordnet ist, um
die Ablagerungsrate von feinen Glasteilchen zu verbessern. Insbesondere
ist ein Doppelflammenbrenner, der eine innere Flamme und eine äußere Flamme
erzeugen kann, beschrieben, wobei die innere Flamme von der äußeren Flamme
rückwärts beabstandet
ist.
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1 zeigt
(in einer Teilansicht) einen Doppelflammenbrenner, wie in
US 4 618 354 beschrieben.
Das Bezugszeichen
21 bedeutet eine Glasmaterial-Zuführungsöffnung;
22 eine
Zuführungsöffnung für brennbares Gas
zum Auslassen eines Wasserstoffgases;
23 eine Inertgas-Zuführungsöffnung zum
Auslassen von He, Ar oder N
2;
24 eine
Hilfsgas-Zuführungsöffnung zum
Auslassen von O
2; und
25 eine weitere
Inertgaszuführung. Die Öffnungen
21–
25 sind
in der Reihenfolge dieser Bezugszeichen konzentrisch angeordnet
und bilden eine innere Anordnung mit mehreren Öffnungen zum Bilden einer inneren
Flamme. Das brennbare Gas wird mit Hilfe des Hilfsgases verbrannt,
um die innere Flamme zu erzeugen. Das Bezugszeichen
26 bedeutet
eine Inertgas-Zuführungsöffnung;
27 eine
Zuführungsöffnung für brennbares
Gas;
28 eine weitere Inertgas-Zuführungsöffnung; und
29 eine
Hilfsgas-Zuführungsöffnung.
Diese Öffnungen
26–
29 sind
in der Reihenfolge dieser Bezugszeichen um die Öffnung
25 konzentrisch
angeordnet und bilden eine äußere Anordnung
mit mehreren Öffnungen
zum Bilden einer äußeren Flamme.
Das brennbare Gas wird mit Hilfe des Hilfsgases verbrannt, um die äußere Flamme
zu erzeugen. Die innere Mehrfachöffnung
ist rückwärts von
der äußeren Mehrfachöffnungsanordnung
um einen Abstand 1 beabstandet.
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Daher
sind die durch die Öffnungen
zugeführten
Gase von der innersten Einlassöffnung
zur äußersten Einlassöffnung ein
Glasrohmaterial, H2, Ar, O2,
Ar, ein Glasrohmaterial bzw. Ar, H2, Ar
und O2.
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Wie
in
US 4 618 354 angegeben,
führt die
Vergrößerung der
Flammenlänge
aufgrund der Anwesenheit einer äußeren Flamme
zu einer Zunahme der Menge der abgelagerten feinen Glasteilchen.
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Dieser
Vorteil wird von
EP 204 461 bestätigt, das
angibt, dass infolge der Verwendung einer Doppelflamme das Wachstum
von feinen Glasteilchen in der Flamme beschleunigt wird, der Teilchendurchmesser
zunimmt und der Sam melwirkungsgrad verbessert wird.
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EP 204 461 bemerkt jedoch,
dass, wenn ein Dotierungsrohmaterial zum Bilden einer Brechungsindexverteilung
zum Brenner zugeführt
wird, dieses Material aufgrund der langen Zeit, die es in der Flamme
bleibt, mehr als erforderlich in der Flamme diffundiert werden kann.
Folglich schlägt
EP 204 461 einen anderen VAD-Brenner
vor, bei dem das zentrale Rohr, durch das ein Dotierungsreaktionsmittel
(GeCl
4) zugeführt wird, in Bezug auf die
anderen Rohre, die die innere Flamme bilden, nach vorn beabstandet
ist, um die Verweilzeit des Dotierungsmaterials innerhalb der Flamme
zu verkürzen.
In dem in
EP 204 461 beschriebenen
Brenner sind die Gase, die zu den verschiedenen Leitungen zugeführt werden,
von der innersten Einlassöffnung
zur äußersten
Einlassöffnung
GeCl
4, SiCl
4 und
H
2, Ar, O
2, Ar,
Ar, SiCl
4 bzw. H
2,
Ar, O
2.
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Einige
Patente offenbaren auch das Vormischen des Rohmaterials mit einem
geeigneten Gas wie z. B. einem Inertgas (
EP 698 581 ), He (
JP 2120251 ), O
2 (
US 4 406 680 ) oder H
2 (
JP
55144433 ) für
verschiedene Zwecke. Insbesondere beschreibt
JP 55144433 einen Ein-Flammen-Brenner
für fünf Schichten,
bei dem das Rohmaterial (SiCl
4) mit H
2 in der zentralen Leitung zugeführt wird
und bei dem die H
2-Durchflussrate verändert wird,
um durch eine stabile Hochgeschwindigkeitsproduktion eine optische
Faser mit einer festgelegten Brechungsindexverteilung zu erhalten.
H
2 wird auch zu GeCl
4 in
einer zweiten Schicht zugegeben und individuell zu einer vierten
Schicht zugeführt,
während
die dritte und die fünfte
Schicht mit einem Inertgas bzw. O
2 gespeist
werden.
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Der
Anmelder hat das Problem der weiteren Steigerung der Verfahrensausbeute
in einem VAD-Verfahren, insbesondere der Rate, mit der der Glasruß synthetisiert
und abgelagert wird, in Angriff genommen.
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Der
Anmelder beobachtet, dass ein Mehrflammenbrenner für Leistungen
mit hoher Ausbeute erforderlich ist und dass, um eine weitere Steigerung
der Ablagerungsrate zu erzielen, eine Erhöhung des Durchflusses des Rohmaterials
auch erforderlich ist. Der Anmelder ist der Meinung, dass bei den
vorher beschriebenen Verfahren, die von zwei Flammen Gebrauch machen,
eine weitere Steigerung der Menge an Rohmaterial, das zum Brenner
zugeführt
wird, zu einer Verringerung des Ablagerungswirkungsgrades führen würde. Bei
der Verwendung der bekannten Brenner würde tatsächlich das Erhöhen der Durchflussrate
des Rohmaterials auch die Turbulenz erhöhen und folglich würden sowohl
der Einschluss von Siliciumdioxidteilchen als auch die Ausdehnung
der laminaren Grenzschicht an dem Ruß-Target verringert werden.
Ferner würde
der Wirkungsgrad der Reaktion, durch die Teilchen gebildet werden,
aufgrund einer verringerten Eindringung von Wasser und Wärme in den
zentralen Kern des Stroms von Rohmaterial sinken, während sowohl
Wasser als auch Wärme erforderlich
sind, damit die Hydrolysereaktion der Teilchenbildung effizient
geschieht.
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Das
Problem einer verringerten Eindringung von Wasser und Wärme nach
innen entsteht auch, wenn die Abmessungen der zentralen Leitung
des Brenners vergrößert werden,
um die Austrittsgeschwindigkeit des Glasrohmaterials infolge der
erhöhten
Abmessungen der Flamme im Wesentlichen konstant zu halten. Überdies
kann eine Vergrößerung der
Abmessungen des Brenners zu einer Verringerung des Teilchensammelwirkungsgrades,
d. h. des Bruchteils der erzeugten Teilchen, die auf das Ablagerungstarget
auftreffen, führen.
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Angesichts
des Obigen ist es eine Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren, das
das stabile Wachstum einer zylindrischen porösen Rußvorform mit höheren Synthese-
und Ablagerungsraten ermöglicht,
und eine Brenneranordnung für
ein solches Verfahren zu schaffen.
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Zusammenfassung
der Erfindung
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Der
Anmelder hat festgestellt, dass in einem Ablagerungsverfahren, das
unter Verwendung eines Mehrflammenbrenners durchgeführt wird,
das Zuführen
einer beträchtlichen
Menge des brennbaren Gases, das für die zentrale Flamme erforderlich
ist, zur zentralen Leitung des Brenners zusammen mit dem Glasvorläufermaterial
das Verbessern der Glasruß-Syntheserate
und -Ablagerungsrate ermöglicht.
Diese Verbesserung liegt laut dem Anmelder an der Tatsache, dass
die innere Flamme intern den Glasrohmaterialstrom erzeugt und das
Rußteilchenbildungsverfahren
effizienter stattfindet.
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Eine
zweite Flamme, die die zentrale umgibt, ist zum Einschränken der
ersten Flamme (die sich ansonsten gewöhnlich ausbreiten würde) und
zum Unterstützen
des Teilchenbildungsverfahrens vorgesehen, während eine dritte (äußere) Flamme
vorteilhafterweise zum Verbessern des thermophoretischen Effekts
auf die wachsende Vorformoberfläche
während
des Teilchenablagerungsverfahrens und des Einschränkungseffekts
auf den Teilchenstrom vorgesehen ist.
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In
der Praxis werden der Reaktionsauslösungseffekt und der Einschränkungseffekt,
die durch die innere Flamme in einem Doppelflammenbrenner einer
bekannten Art vorgesehen werden, wobei die innere Flamme um den
Glasrohmaterialstrom erzeugt wird, durch zwei verschiedene Flammen
in dem Verfahren der vorliegenden Erfindung vorgesehen, wobei die
innere Flamme innerhalb des Glasrohmaterialstroms erzeugt wird.
Dies führt
zuallererst zu einer Steigerung der Syntheserate. Zweitens beginnt
die Reaktion sehr nahe an den Düsen,
die der ersten Flamme zugeordnet sind, und die Reaktionszeit wird
daher verlängert.
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Die
dritte Flamme in dem Verfahren der vorliegenden Erfindung hat im
Wesentlichen dieselbe Funktion wie die zweite Flamme in den vorher
beschriebenen Doppelflammenbrennern.
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Der
Anmelder hat bestätigt,
dass die Verbesserung maximal ist, wenn das brennbare Gas und das Glasvorläufermaterial
in einem molaren Konzentrationsverhältnis zwischen etwa 0,8 und
1,2 vermischt werden, bevor sie der inneren Leitung zugeführt werden.
Vorzugsweise wird die ganze Menge an brennbarem Gas der ersten Flamme
mit dem Glasvorläufermaterial
vermischt. Alternativ kann eine bestimmte Menge des brennbaren Gases
zu einer anderen Leitung des Brenners zugeführt werden, beispielsweise
einer Leitung, die die zentrale unmittelbar umgibt, vorausgesetzt,
dass das molare Konzentrationsverhältnis zwischen dem brennbaren
Gas und dem Glasvorläufermaterial
in der zentralen Leitung mindestens 0,8 ist.
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Ein
Aspekt der vorliegenden Erfindung betrifft folglich ein Verfahren
zur Herstellung einer optischen Glasfaser-Vorform, umfassend:
- – Bereitstellen
eines Brenners in der Richtung eines Ablagerungstargets; und
- – Erzeugen
einer ersten Flamme, einer zweiten Flamme, die die erste Flamme
umgibt, und einer dritten Flamme, die die erste Flamme umgibt, mittels
des Brenners, wobei das Erzeugen der ersten Flamme das Zuführen von
vorbestimmten Mengen eines brennbaren Gases, eines die Verbrennung
unterstützenden Gases
und eines Glasvorläufermaterials
zu dem Brenner umfasst, und wobei das Erzeugen der ersten Flamme
das Zuführen
von mindestens 30 Vo lumen-% der vorbestimmten Menge des brennbaren
Gases zu einer zentralen Leitung des Brenners, das mit dem Glasvorläufermaterial
vermischt ist, umfasst.
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Vorzugsweise
ist der Bruchteil des brennbaren Gases, das zur zentralen Leitung
zugeführt
wird, mindestens 60%, bevorzugter mindestens 90%. Noch bevorzugter
wird das ganze brennbare Gas der ersten Flamme zur zentralen Leitung
zusammen mit dem Glasvorläufermaterial
zugeführt.
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Der
Anmelder hat auch festgestellt, dass die besten Leistungen erhalten
werden, wenn das brennbare Gas der ersten Flamme und das Glasvorläufermaterial
dem Brenner in einem molaren Konzentrationsverhältnis zwischen etwa 0,8 und
1,2 zugeführt
werden; bevorzugter werden das brennbare Gas und das Glasvorläufermaterial
vorgemischt und der zentralen Leitung in einem molaren Konzentrationsverhältnis von
mindestens 0,8, noch bevorzugter von etwa 1 zugeführt.
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Vorzugsweise
umfasst der Schritt des Erzeugens der ersten Flamme ferner das Zuführen eines
Inertgases zu einer zweiten Leitung, die die zentrale Leitung umgibt,
und das Zuführen
des die Verbrennung unterstützenden
Gases zu einer dritten Leitung, die die zweite Leitung umgibt.
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Beide
Schritte des Erzeugens der zweiten Flamme und des Erzeugens der
dritten Flamme können
das Vormischen eines brennbaren Gases mit einem Inertgas mit einer
kinematischen Viskosität,
die niedriger ist als jene von Sauerstoff, umfassen.
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In
einem zweiten Aspekt davon betrifft die vorliegende Erfindung eine
Brenneranordnung zum Erzeugen eines Glasrußteilchenstroms in einem Verfahren
zur Herstellung einer optischen Glasfaser-Vorform, wobei die Brenneranordnung
umfasst:
- – einen
Brenner mit einem ersten, einem zweiten und einem dritten Satz von
Leitungen zum Erzeugen einer inneren, einer mittleren bzw. einer äußeren Flamme;
- – ein
Gaszuführsystem
mit einer Quelle für
ein Glasvorläufermaterial,
einer Quelle für
ein brennbares Gas und einer Quelle für ein die Verbrennung unterstützendes
Gas und ferner mit einem Mischer zum Erzeugen eines Gemisches des
Glasvorläufermaterials
und des brennbaren Gases, wobei der Mischer strömungsmäßig mit einer zentralen Leitung
des Brenners verbunden ist, um das Gemisch zur zentralen Leitung
zuzuführen.
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Vorzugsweise
ist die zentrale Leitung die einzige Leitung des ersten Satzes von
Leitungen, die mit einer Quelle für ein brennbares Gas strömungsmäßig verbunden
ist.
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Kurzbeschreibung
der Zeichnungen
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1 zeigt
in einer teilweisen Querschnittsansicht einen Brenner einer bekannten
Art;
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2 ist
eine schematische Darstellung einer Brenneranordnung gemäß der vorliegenden
Erfindung mit einem Brenner und einem Gaszuführsystem;
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3 ist
eine erläuternde
Darstellung eines Ablagerungsverfahrens zum Wachstum einer Glasrußvorform;
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4 ist
ein nicht maßstäblicher
Längsschnitt
gemäß der Ebene
IV-IV eines Teils des Brenners von 2;
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5 ist
ein nicht maßstäblicher
Querschnitt gemäß der Ebene
V-V des Brenners von 2;
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6 stellt
das Gaszuführsystem
von 2 genauer dar; und
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7 zeigt
die Ergebnisse von Zahlensimulationen.
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Beschreibung
der bevorzugten Ausführungsformen
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Mit
Bezug auf die erläuternde
und schematische Ansicht von 2 gibt das
Bezugszeichen 1 eine erfindungsgemäße Brenneranordnung zum Synthetisieren
von feinen Glasteilchen an. Die Brenneranordnung 1 umfasst
einen Mehrflammenbrenner 2 und ein Gaszuführsystem 3,
um die Gase zum Brenner 2 zuzuführen.
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Der
Brenner 2, wie im Folgenden beschrieben, ist vorzugsweise
ein Dreiflammenbrenner und ist für die
Verwendung in einem Übermantelungsablagerungsverfahren
zur Herstellung einer Glasrußvorform
besonders geeignet. In einem solchen Verfahren, wie in der erläuternden
Darstellung von 3 gezeigt, wird der Brenner 2 in
Richtung eines rotierenden Ablagerungstargets 10 gerichtet,
um Rußteilchen
darauf abzulagern, um eine Rußvorform 11 wachsen
zu lassen. Während
des Verfahrens wird das Target 10 (das typischerweise eine
Glaskernvorform ist) um seine Längsachse,
die hier mit 12 angegeben ist, in Rotation versetzt.
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Der
Brenner 2 umfasst eine Basis 4 zum Aufnehmen der
erforderlichen Gase vom Gaszuführsystem 3 und
zum Befestigen des Brenners 2 an einer Stützstruktur
(nicht dargestellt) und einen Gasausstoßzylinder 5 mit mehreren
Rohren, der die Gase entlang der durch seine Längsachse 6 definierten
Richtung ausstoßen kann.
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Wie
im Längs-
und Querschnitt von 4 und 5 gezeigt,
umfasst der Zylinder 5 eine Vielzahl von koaxialen röhrenförmigen Wänden (oder
Rohren) 31–39 (fortschreitend
von der inneren zur äußeren nummeriert),
die vorzugsweise aus Metall bestehen, beispielsweise AISI 303, AISI
304, AISI 310 oder AISI 316L (wobei AISI das Akronym von American
Institute Steel and Iron ist). Die röhrenförmige Wand 31 definiert
eine erste (oder zentrale) Gasleitung 41 mit kreisförmigem Querschnitt,
während
jede der anderen Wände 32–39 zusammen
mit der Wand, die sie umgibt, eine jeweilige Gasleitung 42–49 mit
ringförmigem
Querschnitt (fortschreitend von der inneren zur äußeren nummeriert) definiert.
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Die
Leitungen 41–49 können in
einen ersten (oder inneren), einen zweiten (oder mittleren) und
einen dritten (oder äußeren) Satz
von Leitungen 7, 8, 9 gruppiert werden,
die zum Erzeugen einer ersten, einer zweiten bzw. einer dritten
Flamme verwendet werden. Wie in 4 gezeigt,
enden die Leitungen des ersten, des zweiten und des dritten Satzes 7, 8, 9 vorzugsweise
in in Längsrichtung
beabstandeten Positionen, insbesondere enden die Wände 33–35 in
Bezug auf die Wände 31, 32 nach
vorn und die Wände 36–39 enden
in Bezug auf die Wände 33–35 nach
vorn. Folglich wird die zweite Flamme an einem Punkt erzeugt, an
dem die erste Flamme bereits gebildet wurde, und die dritte Flamme
wird an einem Punkt erzeugt, an dem die zweite Flamme bereits gebildet
wurde.
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In
dieser Weise wird die gesamte Flammenlänge zusammen mit der Verweilzeit
der Teilchen innerhalb der Flamme erhöht.
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Vorzugsweise
umfasst der Brenner 2 ferner ein äußeres Glasrohr 40,
das das Rohr 39 umgibt und weiter vorn in Bezug auf die
Rohre 36–39 endet,
um die Bündelung
und Einschränkung
der dritten Flamme zu verbessern. Glas ist in diesem Fall aufgrund
der hohen Temperatur, die von der Dreifachflamme am Ausgang des
Brenners erreicht wird, bevorzugt.
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Die
Leitungen des ersten Satzes 7 werden verwendet, um jeweilige
Gase zu einem Gasmischpunkt zu befördern, an dem die erste Flamme
erzeugt wird und an dem die Reaktion, die die Glasrußteilchen
erzeugt, beginnt.
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Genauer:
- – die
erste Leitung 41 wird verwendet, um ein Glasvorläufermaterial,
vorzugsweise einen Siliciumdioxid-Vorläufer wie z. B. SiCl4, zusammen mit einem brennbaren Gas wie
z. B. H2 zu befördern;
- – die
zweite Leitung 42 wird verwendet, um ein Inertgas, vorzugsweise
ein Inertgas derart zu befördern, dass
das Verhältnis
zwischen seinem Molekulargewicht und dem Gewicht des brennbaren
Gases mindestens 10:1 ist, beispielsweise Ar oder weniger bevorzugt
N2; und
- – die
dritte Leitung 43 wird verwendet, um ein die Verbrennung
unterstützendes
Gas (nachstehend auch als "Hilfsgas" bezeichnet) zu befördern, insbesondere
ein Oxidationsgas wie O2, das für die Verbrennung des
brennbaren Gases erforderlich ist.
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Das
Vormischen einer beträchtlichen
Menge des brennbaren Gases, das für die zentrale Flamme erforderlich
ist, mit dem Glasvorläufermaterial
und das Zuführen
des Gemisches zur zentralen Leitung 41 führt zu einer
Verbesserung der Glasruß-Syntheserate
und -Ablagerungsrate. Gemäß dem Anmelder
wird durch Erzeugen der ersten Flamme innerhalb des Glasrohmaterialstroms
der Wirkungsgrad des Rußteilchenbildungsverfahrens
tatsächlich
erhöht.
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Vorzugsweise
wird die erste Flamme durch Zuführen
eines Glasvorläufermaterials
und eines brennbaren Gases in einem molaren Konzentrationsverhältnis zwischen
etwa 0,8 und 1,2 zum Brenner 2 erzeugt.
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In
der bevorzugten Ausführungsform
von 4 wird das ganze brennbare Gas der ersten Flamme
zur ersten Leitung 41 zugeführt, in welchem Fall das molare
Konzentrationsverhältnis
zwischen dem brennbaren Gas und dem Glasvorläufermaterial in der ersten
Leitung 41 zwischen etwa 0,8 und 1,2 liegt. Bevorzugter
ist das Verhältnis
etwa 1. Das Zuführen
des ganzen brennbaren Gases zusammen mit dem Glasvorläufermaterial zur
inneren Leitung ermöglicht,
dass der Brenner verringerte Abmessungen aufweist, da eine separate
Leitung für
das brennbare Gas der inneren Flamme nicht erforderlich ist.
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Alternativ
kann ein Bruchteil des brennbaren Gases der ersten Flamme zur zweiten
Leitung 42 mit dem Inertgas vorgemischt zugeführt werden
oder der Brenner kann eine weitere Leitung (nicht dargestellt) zwischen
der ersten Leitung 41 und der zweiten Leitung 42 umfassen,
um einen Bruchteil des brennbaren Gases der ersten Flamme zu befördern. In
diesen alternativen Ausführungsformen
wird ein beträchtlicher
Bruchteil des brennbaren Gases der ersten Flamme, vorzugsweise mehr
als 30 Volumen-%, bevorzugter mehr als 60%, noch bevorzugter mehr
als 90%, zur ersten Leitung 41 zugeführt, während der restliche Teil des
brennbaren Gases zur zweiten Leitung 42 oder zu der weiteren
Leitung zugeführt
wird. Vorteilhafterweise ist das molare Konzentrations verhältnis zwischen
dem brennbaren Gas und dem Glasvorläufermaterial in der ersten
Leitung 41 mindestens 0,8.
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Vorteilhafterweise
wird kein weiteres Gas mit dem Glasvorläufermaterial vorgemischt, so
dass das Gasgemisch, das zur ersten Leitung 41 zugeführt wird,
nur aus dem Glasvorläufermaterial
und brennbaren Gas besteht.
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Der
Strom des Inertgases in der zweiten Leitung 42 ist erforderlich,
um die Verschlechterung der Düsen
zu verhindern, die auftreten könnte,
wenn die Düsen
für Wasserstoffgas
und für
Sauerstoffgas der inneren Flamme benach bart angeordnet wären.
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Der
zweite Satz von Leitungen 8 umfasst:
- – eine vierte
Leitung 44 für
ein Inertgas wie Ar;
- – eine
fünfte
Leitung 45 für
ein brennbares Gas wie z. B. H2, das mit
einem Gas mit niedriger kinematischer Viskosität, insbesondere einem Inertgas
wie Ar, vorgemischt wird; und
- – eine
sechste Leitung 46 für
ein Hilfsgas, insbesondere ein Oxidationsgas wie O2,
das für
die Verbrennung des brennbaren Gases verwendet wird.
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Für die Zwecke
der vorliegenden Erfindung gibt die "kinematische Viskosität" das Verhältnis zwischen der
Viskosität
und der Dichte des Gases an und ein "Gas mit niedriger kinematischer Viskosität" ist ein Gas mit einer
kinematischen Viskosität,
die niedriger ist als jene der Produkte der Verbrennungsreaktion,
nämlich
O2 und H2O. Da O2 eine niedrigere kinematische Viskosität aufweist
als H2O, bezieht sich "Gas mit niedriger kinematischer Viskosität" hier auf ein Gas
mit einer kinematischen Viskosität,
die niedriger ist als jene von O2, wie z.
B. Ar oder Xe. Stickstoff (N2) ist weniger
bevorzugt, kann jedoch alternativ verwendet werden. Inertgase wie z.
B. Helium und Neon weisen eine kinematische Viskosität auf, die
höher ist
als jene von Sauerstoff, und sind daher für diese Anwendung ungeeignet.
Der Vorteil der Verwendung eines Gases mit niedriger kinematischer Viskosität wird im
Folgenden beschrieben.
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Der
dritte Satz von Leitungen 9 ist ähnlich zum zweiten Satz 8 und
umfasst:
- – eine
siebte Leitung 47 für
ein Inertgas wie Ar;
- – eine
achte Leitung 48 für
ein brennbares Gas wie z. B. H2, das mit
einem Gas mit niedriger kinematischer Viskosität wie Ar vorgemischt wird;
und
- – eine
neunte Leitung 49 für
ein Hilfsgas, insbesondere ein Oxidationsgas wie O2,
das für
die Verbrennung des brennbaren Gases verwendet wird.
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Während im
Brenner von 1 die innere Flamme die doppelte
Funktion der Bereitstellung der Energie für die Glasteilchenbildung und
der Einschränkung
des Teilchenstroms besitzt, werden im Brenner der vorliegenden Erfindung
diese zwei Funktionen separat von der inneren bzw. der mittleren
Flamme durchgeführt. Die
vom Brenner der vorliegenden Erfindung erzeugte dritte Flamme hat
eine Funktion entsprechend jener der zweiten Flamme des Brenners
von 1, d. h. die Verbesserung der radialen Einschränkung der
Glas rußteilchen
und die Führung
derselben auf das Ablagerungstarget und auch die Bereitstellung
eines thermophoretischen Effekts an der Oberfläche der Rußvorform und die Steuerung
der Temperatur daran.
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In
der zweiten wie in der dritten Flamme bewirkt das Vormischen eines
Inertgases (Ar) zusammen mit dem brennbaren Gas (H2),
dass sich die Flamme von den Düsen
am Ausgang der Leitungen des Brenners löst, so dass sich diese Düsen nicht
verschlechtern. Durch Vormischen von H2 mit
einem Inertgas, ist es ferner möglich,
dass sich H2 und O2 in
zwei benachbarten Leitungen befinden, da die Anwesenheit von Ar
die Diffusion von H2 in Richtung des Stroms
von O2 spürbar verringert. Dies ist ein
weiterer Vorteil gegenüber
den bekannten Brennern, bei denen eine separate Leitung für das Inertgas
typischerweise zwischen die H2- und O2-Leitungen gesetzt ist. Folglich werden
die radialen Abmessungen des Brenners verringert. Es ist insbesondere
zu erkennen, dass der Brenner der vorliegenden Erfindung drei Flammen
mit derselben Anzahl von Leitungen, die für den Brenner von 1 erforderlich
sind, um zwei Flammen zu erzeugen, erzeugen kann.
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Eine
kompaktere Flammenanordnung trägt
zum Verringern der Ausbreitung der Teilchen bei und verbessert folglich
den Teilchensammelwirkungsgrad und die gesamte Ablagerungsausbeute.
Die Rußbildungsreaktion
wird daher in einen Bereich mit kleineren radialen Abmessungen eingeschränkt.
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Überdies
bestimmt das Vormischen eines zweckmäßigen Stroms eines Gases mit
niedriger kinematischer Viskosität
mit dem brennbaren Gas der zweiten und der dritten Flamme eine Verringerung
der Strömungsdiffusionseffekte,
die die Diffusionseffekte ausgleicht, die durch Turbulenz verursacht
werden. In der Praxis definieren die Ströme des Gases mit niedriger
kinematischer Viskosität
innerhalb der zweiten und der dritten Flamme jeweilige thermophoretische
Einschränkungsschichten,
die einen verbesserten Führungseffekt für die inneren
Teilchen vorsehen. Folglich wird die Ausbreitung der inneren Flamme
weiter verringert.
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Obwohl
ein Dreiflammenbrenner beschrieben wurde, ist zu erkennen, dass
ein Brenner, der eine höhere
Anzahl von Flammen erzeugen kann, realisiert werden kann, beispielsweise
indem zur vorstehend beschriebenen Struktur ein oder mehrere Sätze von
Leitungen wie die Sätze 8, 9 hinzugefügt werden.
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Mit
Bezug auf 6 kann das Gaszuführsystem 3 eine
Vielzahl von Gasquellen 50, um die verschiedenen Gase zu
erzeugen, eine Vielzahl von Massendurchflussreglern (MFC) 51 zum
Regeln der Durchflussraten, die in Richtung der verschiedenen Leitungen
des Brenners 2 gerichtet werden, eine vorbestimmte Anzahl
von Gasteilern 52 zum Teilen der Gasströme an vorbestimmten Punkten
des Gaszuführsystems 3 und eine
vorbestimmte Anzahl von Gasmischern 53 zum Vormischen von
vorbestimmten Gasen vor dem Zuführen zum
Brenner 2 umfassen. Gasmischer können einfach T-Stücke, mit
anderen Worten, Verbindungen im Rohr, sein.
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Genauer
umfassen die Gasquellen 50 vorzugsweise eine Quelle für ein Glasvorläufermaterial 50a (wie z.
B. SiCl4), eine Quelle für ein brennbares Gas 50b (wie
z. B. H2), eine Quelle für ein Inertgas 50c (wie
z. B. Ar) und eine Quelle für
ein Hilfsgas 50d (wie z. B. O2).
Weitere Gasquellen können
vorgesehen sein, wenn andere Gase erforderlich sind. Die Gasquellen
können
von einer auf dem Fachgebiet bekannten beliebigen Art sein.
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Während eine
einzelne Fluidverbindung zum Verbinden der Gasquelle 50a mit
dem Brenner 2 (insbesondere mit der zentralen Leitung 41)
erforderlich ist, sind verzweigte Verbindungen am Ausgang von jeder der
anderen Gasquellen vorgesehen, so dass separate Ströme der entsprechenden
Gase für
die ver schiedenen Leitungen des Brenners vorliegen. Um die verschiedenen
Gase zum Brenner zu liefern, wie in 4 gezeigt,
weist das Rohr am Ausgang der Quelle 50b für das brennbare
Gas insbesondere drei Verzweigungen auf, das Rohr am Ausgang der
Inertgasquelle 50c weist vier Verzweigungen auf und das
Rohr am Ausgang der Hilfsgasquelle 50d weist zwei Verzweigungen
auf. Jedes Zufüh
rungsrohr ist mit einem MFC 51 zum Regeln des Durchflusses
des entsprechenden Gases versehen.
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Ein
erster Gasmischer 53a ist mit der Glasvorläufermaterial-Quelle 50a und
mit der Quelle 50b für
das brennbare Gas strömungsmäßig verbunden
(über eine
entsprechende verzweigte Verbindung), um das Glasvorläufermaterial
und das brennbare Gas zu mischen. Der Ausgang des ersten Gasmischers 53a ist
mit der zentralen Leitung 41 strömungsmäßig verbunden, um zu dieser
das Gemisch des Glasvorläufermaterials
und des brennbaren Gases zuzuführen.
Mit "strömungsmäßige Verbindung" ist irgendeine physikalische
Verbindung durch Rohre oder irgendeine andere Art von Leitungen,
die zum Befördern
von Fluiden geeignet sind, gemeint.
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Die
zentrale Leitung 41 ist die einzige Leitung des ersten
Satzes von Leitungen 7, die strömungsmäßig mit einer Quelle für ein brennbares
Gas verbunden ist.
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Ein
erster Gasteiler 52a besitzt einen Eingang, der mit der
Inertgasquelle 50c verbunden ist, und einen ersten und
einen zweiten Ausgang zum Liefern von zwei separaten Strömen desselben
Gases. Ein zweiter Gasmischer 53b besitzt einen ersten
Eingang, der mit der Quelle 50b für das brennbare Gas verbunden
ist, und einen zweiten Eingang, der mit dem ersten Ausgang des ersten
Gasteilers 52a verbunden ist, und kann das brennbare Gas
mit dem Inertgas mischen und das Gemisch zur fünften Leitung 45 des
Brenners 2 zuführen.
Ebenso besitzt ein dritter Gasmischer 53c einen ersten
Eingang, der mit der Quelle 50b für das brennbare Gas verbunden
ist, und einen zweiten Eingang, der mit dem zweiten Ausgang des
ersten Gasteilers 52a verbunden ist, und kann das brennbare
Gas und das Inertgas mischen und das Gemisch zur achten Leitung 48 des
zweiten Brenners 2 zuführen.
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Ein
zweiter Teiler 52b besitzt einen Eingang, der mit der Hilfsgasquelle 50d verbunden
ist, und einen ersten und einen zweiten Ausgang zum Zuführen von
zwei separaten Strömen
von Hilfsgas (O2) zur dritten Leitung 43 bzw.
zur sechsten Leitung 46.
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In
der alternativen Ausführungsform,
in der ein Bruchteil des brennbaren Gases der ersten Flamme mit
dem Inertgas vorgemischt zur zweiten Leitung 42 zugeführt wird,
kann eine weitere verzweigte Verbindung am Ausgang der Quelle 50b für das brennbare
Gas vorgesehen sein und ein weiterer Gasmischer kann zum Mischen
des entsprechenden Stroms des brennbaren Gases mit dem Strom von
Inertgas, der zur zweiten Leitung 42 gerichtet wird, vorgesehen
sein. In der weiteren möglichen
Ausführungsform,
in der ein Bruchteil des brennbaren Gases der ersten Flamme zu einer
zweckgebundenen Leitung (nicht dargestellt) zwischen den Leitungen 41 und 42 zugeführt wird,
kann eine weitere verzweigte Verbindung, die direkt mit dieser zweckgebundenen
Leitung in Verbindung steht, am Ausgang der Quelle 50b für das brennbare
Gas vorgesehen sein.
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ZAHLENSIMULATIONSTEST
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Um
die Wirksamkeit des Verfahrens der vorliegenden Erfindung beim Steigern
der Syntheserate zu zeigen, hat der Anmelder eine Zahlensimulation
durchgeführt.
In dieser Simulation wurden Turbulenzeffekte in den Flammen durch
das gut bekannte k-Epsilon-Modell simuliert, das beispielsweise
in W. P. Jones, B. E. Launder, "The
Prediction of Laminarization with a two-equation Model of Turbulence", Int. J. Heat and
Mass Transfer, Band 15, S. 301–314,
Pergamon Press, 1972, beschrieben ist. Überdies wurden die Verbrennungsreaktionen
und die Siliciumdioxidbildung durch das gut bekannte Wirbelauflösungsmodell
(eddy-dissipation model) simuliert, das beispielsweise in B. F.
Magnussen, B. H. Hjertager, "On
Mathematical Modeling of Turbulent Combustion With Special Emphasis
on Soot Formation and Combustion",
Proc. 16. Symposium on Combustion, S. 719, The Combustion Institute,
1976, beschrieben ist.
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Insbesondere
hat der Anmelder ein erfindungsgemäßes Verfahren, das hierin nachstehend
als "A" identifiziert ist,
in dem das ganze brennbare Gas der ersten Flamme zur ersten Einlassöffnung des
Brenners mit dem Glasvorläufermaterial
vermischt zugeführt
wird, und ein Vergleichsverfahren, das als "B" identifiziert ist,
in dem das brennbare Gas der ersten Flamme zur zweiten Einlassöffnung des
Brenners zugeführt
wird, während
die erste Einlassöffnung
nur mit Glasvorläufermaterial
gespeist wird, betrachtet.
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Genauer
berichten die folgenden Tabellen 1 und 2 die Brennerarchitekturen
und die zum Simulieren des erfindungsgemäßen Verfahrens bzw. des Vergleichsverfahrens
verwendeten Vorschriften. Hier und im Folgenden gibt "Leitung" die Leitung des
Brenners mit derselben Nummerierung wie in
4 und
5 an, ΔL gibt die
Verschiebung unter den Düsen
des ersten, des zweiten und des dritten Satzes von Leitungen an,
ID und OD geben den Innen- und den Außendurchmesser der zylindrischen
Wand entsprechend der betrachteten Brennereinlassöffnung an
und sim ist die Messeinheit des Gasdurchflusses in "Standardlitern pro
Minuten". TABELLE
1
TABELLE
2
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Die
SiO2-Konzentration wurde in den Abständen x1 = 20 mm, x2 = 40
mm und x3 = 60 mm von den Düsen der
inneren Flamme berechnet. Die Ergebnisse sind in 7 berichtet.
Kurven sind mit dem Buchstaben des entsprechenden Ver fahrens (A
oder B) und mit einem Index (20, 40 oder 60), der den Abstand x
von den Düsen
angibt, identifiziert. Die Abszissenachse bezieht sich auf den radialen
Abstand r (in Metern) von der Achse 6 des Brenners und
die Kurven sollen als in Bezug auf die Achse 6 (d. h. in
Bezug auf die Achse r = 0) symmetrisch betrachtet werden. Die Ordinatenachse
bezieht sich auf die Konzentration von SiO2-Teilchen,
die in der Reaktion gebildet werden.
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Durch
Vergleichen der Kurven A20, A40 und
A60 mit den entsprechenden Kurven B20, B40 und B60 ist zu erkennen, dass das erfindungsgemäße Verfahren
eine höhere
Menge an SiO2 nahe den Düsen erzeugt, insbesondere in
20 mm von den Düsen,
aber auch in 40 mm, während
bei 60 mm die Erzeugung von SiO2 in den beiden
Fällen
fast gleich ist. Dies liegt an der verbesserten Wärmeübertragung
in Richtung des Kerns der Flamme, die im Brenner der vorliegenden
Erfindung geschieht. Mit anderen Worten, die Anwesenheit des brennbaren
Gases in der ersten Leitung führt
zur Erzeugung der ersten Flamme innerhalb des Stroms von Glasvorläufermaterial
und die Glastransformationsreaktion beginnt somit unmittelbar am
Ausgang der Düsen. Der
Ar-Strom in der zweiten Leitung verhindert, dass die erste Flamme
mit den Düsen
in Kontakt kommt.
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VERSUCHSTESTS
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Beispiel 1
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Ein
erster Satz von Versuchen wurde durchgeführt, um die Verfahrensleistungen
zu vergleichen, wenn die relative Menge von brennbarem Gas in der
ersten Leitung verändert
wird.
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Der
Brenner ist ein Brenner mit neun Leitungen, wie vorher mit Bezug
auf 2, 4 und 5 offenbart.
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In
einem ersten Versuch wird kein brennbares Gas zur zentralen Einlassöffnung zugeführt und
die in den verschiedenen Einlassöffnungen
beförderten
Gasströme
sind die folgenden:
- – hinsichtlich der ersten Flamme
werden 4 sim SiCl4 zur zentralen Leitung
zusammen mit 2 sim Ar zugeführt,
4 sim H2 werden zur zweiten Leitung zusammen
mit 3 sim Ar zugeführt,
12 sim O2 werden zur dritten Leitung zugeführt und
1,7 sim Ar werden zur vierten Leitung zugeführt;
- – hinsichtlich
der zweiten Flamme werden 18 sim H2 zusammen
mit 34 sim O2 verwendet und zum Erzeugen
der dritten Flamme werden 54 sim H2 zusammen
mit 40 sim O2 verwendet.
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Die
Leitungen der zweiten Flamme enden an einem Punkt, der 40 mm nach
vorn in Bezug auf jene der innersten Flamme beabstandet ist, und
die Leitun gen der dritten Flamme an einem Punkt, der 75 mm weiter vorwärts beabstandet
ist.
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Die
Vorschrift und die Leitungsabmessungen des ersten Versuchs sind
in der Tabelle 3 zusammengefasst. TABELLE
3
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Rußteilchen
werden für
40 min. auf einem Quarzzylinder mit 40 mm Durchmesser, der axial
mit einer Geschwindigkeit von 290 mm/h parallelverschoben wird und
mit einer Drehzahl von 20 U/min gedreht wird, abgelagert. Die mittlere
Ablagerungsrate ist 2,15 g/min und der Wirkungsgrad ist 20%. Der
Enddurchmesser der Rußvorform
ist 61,2 mm.
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In
einem zweiten Versuch wird eine erfindungsgemäße Vorschrift verwendet. Hier
sind die zweite und die dritte Flamme fast dieselbe wie im vorherigen
Versuch. Insoweit als es um die innerste Flamme geht, werden im
Einzelnen 4 sim H
2 zur zentralen Leitung
zusammen mit 4 sim SiCl
4 zugeführt, 16
sim O
2 werden zur dritten Leitung zugeführt, um
das brennbare Gas der innersten Leitung zu verbrennen, und 1,5 sim
Inertgas werden zur zweiten Leitung zugeführt, um Beschädigungen
der Brennerdüsen
zu verhindern. Die Vorschrift und die Leitungsabmessungen des zweiten
Versuchs sind in Tabelle 4 zusammengefasst. TABELLE
4
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Das
Verfahren wird für
dieselbe Zeit und unter denselben Bedingungen wie der erste Versuch
ausgeführt.
Die mittlere Ablagerungsrate ist 4,23 g/min und der Wirkungsgrad
ist 40%. Der Enddurchmesser der Rußvorform ist 78,5 mm.
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Durch
Vergleichen der Ergebnisse des ersten und des zweiten Versuchs ist
zu erkennen, dass durch Vormischen der ganzen Menge des brennbaren
Gases der ersten Flamme mit dem Glasvorläufermaterial die Ablagerungsrate,
der Wirkungsgrad und der Rußvorformdurchmesser
beträchtlich
zunehmen.
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In
einem dritten Versuch wird etwa ein Drittel des Volumens der Menge
des brennbaren Gases mit SiCl
4 vermischt
und zur ersten Einlassöffnung
zugeführt,
während
der restliche Teil zur zweiten Einlassöffnung zugeführt wird,
wobei somit eine Vorschrift erhalten wird, die zwischen jener des
ersten und des zweiten Versuchs liegt. Die entsprechende Vorschrift
und die Leitungsabmessungen sind in Tabelle 5 zusammengefasst. TABELLE
5
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Das
Verfahren wird für
dieselbe Zeit und unter denselben Bedingungen wie der erste und
der zweite Versuch ausgeführt.
Die mittlere Ablagerungsrate ist in diesem Fall 2,62 g/min und der
Wirkungsgrad ist 24,5%. Der Enddurchmesser des auf dem Zylinder
abgelagerten Rußes
ist 60 mm. Eine Verbesserung bezüglich
des ersten Versuchs kann beobachtet werden. Durch Vergleichen dieser
Ergebnisse mit jenen des zweiten Versuchs kann jedoch beobachtet
werden, dass durch Verringern der H2-Menge
von 1:1 auf 1:2 in Bezug auf SiCl4 in der
zentralen Leitung und durch Zugeben einer beträchtlichen Menge von H2 in der zweiten Leitung niedrigere Werte
der mittleren Ablagerungsrate, des Wirkungsgrades und des Rußvorformdurchmessers
erhalten werden.
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Beispiel 2
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Ein
zweiter Satz von Versuchen wurde durchgeführt, um die Abhängigkeit
der Verfahrensleistungen von der Menge an H
2,
die zur zentralen Leitung zugeführt
wird, zu erfassen. Ein Brenner mit neun Leitungen wie in Tabelle
6 (entsprechend jenem von Tabelle 4) wurde verwendet. TABELLE
6
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In
einer ersten Teilmenge von drei Versuchen wird eine Vorschrift verwendet,
wie in Tabelle 7 berichtet, wobei nur das stöchiometrische Verhältnis zwischen
SiCl
4 und H
2 der
ersten Flamme verändert
wird. TABELLE
7
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In
allen diesen Versuchen wird die Ablagerung für 190 min. durch Ablagern von
Glasruß auf
einem vertikalen Kernstab mit einem Durchmesser von 23 mm, der einer
axialen Parallelverschiebung mit einer Geschwindigkeit von 155 mm/h
und einer Drehung um seine Achse mit einer Drehzahl von 20 U/min
unterzogen wird, ausgeführt.
Der Brenner ist in Bezug auf die Horizontale um 30° abgewinkelt.
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In
den drei Versuchen ist das Molbruchverhältnis des brennbaren Gases
zum Glasvorläufermaterial 1,5,
1,07 bzw. 1.
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Tabelle
8 fasst die Werte der Ablagerungsrate, des Ablagerungswirkungsgrades
und des Rußdurchmessers,
die in diesen Versuchen erfasst wurden, zusammen. TABELLE
8
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Es
ist zu erkennen, dass, wenn das Verhältnis von 1,5 auf 1 gesenkt
wird, die Ablagerungsrate, der Ablagerungswirkungsgrad und der Rußdurchmesser
zunehmen.
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In
einer zweiten Teilmenge von Versuchen wird ein anderer Dreiflammenbrenner
verwendet. Die Abmessungen dieses Brenners sind in Tabelle 9 berichtet. TABELLE
9
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Die
verwendeten Vorschriften sind in Tabelle 10 berichtet. Wiederum
wird nur der brennbare Gehalt der inneren Flamme verändert. TABELLE
10
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Die
Ablagerung wird an einem Targetrohr mit einem Durchmesser von 90
mm ausgeführt,
das mit 349 mm/h parallelverschoben wird und mit einer Drehzahl
von 25 U/min um seine Achse gedreht wird. Der Brenner ist in Bezug
auf die horizontale Linie um 12° geneigt.
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Tabelle
11 fasst die Werte der Ablagerungsrate und des Ablagerungswirkungsgrades,
die in diesen Versuchen erfasst werden, zusammen. TABELLE
11
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Es
ist zu erkennen, dass die Ablagerungsrate und der Ablagerungswirkungsgrad
zunehmen, wenn das Molverhältnis
zwischen der Durchflussrate des brennbaren Gases und der Glasrohmaterial-Durchflussrate
von etwa 0,82 (9:11) auf etwa 0,91 (10:11) zunimmt.
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Beispiel 3
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In
diesen Versuchen hat der Anmelder den Einfluss von Argondurchflussraten
in den äußeren Flammen
auf die Verfahrensleistungen betrachtet.
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Der
Brenner von Tabelle 9 wird verwendet. Zwei Vorschriften werden betrachtet,
wobei der Durchfluss des Inertgases, das mit dem brennbaren Gas
vorgemischt wird, in den äußeren Flammen
verändert
wird. Insbesondere werden in der zweiten Flamme 11,0 sim H2 mit 5,0 bzw. 3,0 sim Ar vorgemischt und
in der dritten Flamme werden 52 sim H2 mit
14 bzw. 12 sim Ar vorgemischt.
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Die
Ergebnisse des Verfahrens sind in Tabelle 12 berichtet. TABELLE
12
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Der
Targetstab weist einen Durchmesser von 23 mm auf und wird mit einer
Geschwindigkeit von 155 mm/h parallelverschoben und mit einer Drehzahl
von 20 U/min gedreht. Der Brenner ist in Bezug auf die horizontale
Richtung um 30° geneigt.
Die Glasablagerung wird für
190 Minuten durchgeführt.
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Tabelle
13 fasst die Werte der Ablagerungsrate und des Ablagerungswirkungsgrades,
die in diesen Versuchen erfasst werden, zusammen. TABELLE
13
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Die
Versuche zeigen eine starke Empfindlichkeit des Verfahrens gegen
die Ar-Durchflussrate.
Insbesondere ist zu erkennen, dass eine Erhöhung von 3 auf 5 sim und von
12 auf 14 sim in der zweiten bzw. der dritten Flamme eine Steigerung
des Wirkungsgrades von mehr als 6% erzeugt.