JPS61266318A - ガラス微粒子堆積体の製造方法 - Google Patents
ガラス微粒子堆積体の製造方法Info
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- JPS61266318A JPS61266318A JP10616985A JP10616985A JPS61266318A JP S61266318 A JPS61266318 A JP S61266318A JP 10616985 A JP10616985 A JP 10616985A JP 10616985 A JP10616985 A JP 10616985A JP S61266318 A JPS61266318 A JP S61266318A
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
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- C03B2207/30—For glass precursor of non-standard type, e.g. solid SiH3F
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ガラス微粒子の集合体を円柱状出発材の外周
部に形成する方法に関し、特に高純度が要求される光フ
ァイバ用母材裂造の際の中間製品として好適に用いられ
る、出発材外周部に堆積せしめられたガラス微粒子堆積
体の製造方法に関する。
部に形成する方法に関し、特に高純度が要求される光フ
ァイバ用母材裂造の際の中間製品として好適に用いられ
る、出発材外周部に堆積せしめられたガラス微粒子堆積
体の製造方法に関する。
従来、石英系ガラス管或いは光フアイバ用母材の製造方
法として、特開昭４８−７５５２２号公報に示されたよ
うな請る１外付法”がある。
法として、特開昭４８−７５５２２号公報に示されたよ
うな請る１外付法”がある。
この方法は、回転するカーボン或いは石英系ガラス、ア
ルミナなどの耐火性出発材の外周部Ｋ。
ルミナなどの耐火性出発材の外周部Ｋ。
ガラス原料の加水分解反応によシ生成せしめた８１へな
どの微粒子状ガラスを堆積させていき、所定量堆積させ
たあと堆積をやめ、出発材を引き抜き、パイプ状ガラス
集合体を形成し、このパイプ状ガラス集合体を高温電気
炉中で焼結透明ガラス化しパイプ状ガラスを得ている。
どの微粒子状ガラスを堆積させていき、所定量堆積させ
たあと堆積をやめ、出発材を引き抜き、パイプ状ガラス
集合体を形成し、このパイプ状ガラス集合体を高温電気
炉中で焼結透明ガラス化しパイプ状ガラスを得ている。
或いは、同様の方法で出発材として中実の光フアイバ用
ガラス母材を用い、出発材とその外周部に形成されたガ
ラス微粒子堆積体の複合体を形成したのち、出発材を引
き抜かず該複合体を高温炉中で加熱処理しガラス微粒子
堆積体の部分を焼結することにより出発材である光フア
イバ用ガラス母材の外周部にさらに透明ガラス層を形成
するという方法も考えられる。
ガラス母材を用い、出発材とその外周部に形成されたガ
ラス微粒子堆積体の複合体を形成したのち、出発材を引
き抜かず該複合体を高温炉中で加熱処理しガラス微粒子
堆積体の部分を焼結することにより出発材である光フア
イバ用ガラス母材の外周部にさらに透明ガラス層を形成
するという方法も考えられる。
この方法において、ガラス微粒子堆積体を安定に製造す
るＫは堆積するガラス微粒子のカサ密度の調整および収
率向上が主な問題となっている。一般にガラス原料とし
ては８１０Ｚ、が用いられておシガラス微粒子を堆積さ
せ、光フアイバー用ガラス母材を合成する場合には、ガ
ラス微粒子合成用バーナーによ多形成される火炎が、ガ
ラス原料の加水分解および堆積したガラス微粒子堆積体
のカサ密度の調整に用いられる。
るＫは堆積するガラス微粒子のカサ密度の調整および収
率向上が主な問題となっている。一般にガラス原料とし
ては８１０Ｚ、が用いられておシガラス微粒子を堆積さ
せ、光フアイバー用ガラス母材を合成する場合には、ガ
ラス微粒子合成用バーナーによ多形成される火炎が、ガ
ラス原料の加水分解および堆積したガラス微粒子堆積体
のカサ密度の調整に用いられる。
ところで、第２図１ａｌ及び（至）に示すように石英系
ガラス等の耐火性出発材１の外周部にガラス微粒子を堆
積させる場合には、ガラス微粒子堆積体５が回転しつつ
、バーナー３に対して（−では上下方向、（′ｂ）では
水平方向と相対的に移動するために、火炎４のあたって
いない時間すなわち火炎のあたらない部分６が存在し、
ガラス微粒子堆積面が十分に加熱されないととくなる。
ガラス等の耐火性出発材１の外周部にガラス微粒子を堆
積させる場合には、ガラス微粒子堆積体５が回転しつつ
、バーナー３に対して（−では上下方向、（′ｂ）では
水平方向と相対的に移動するために、火炎４のあたって
いない時間すなわち火炎のあたらない部分６が存在し、
ガラス微粒子堆積面が十分に加熱されないととくなる。
このため、上記ガラス微粒子堆積体のカサ密度は小さく
なシ割れの原因となシやすい。このことは、ガラス微粒
子堆積体の径がバーナー径に対して大きな場合には％に
顕著に現われてくる。
なシ割れの原因となシやすい。このことは、ガラス微粒
子堆積体の径がバーナー径に対して大きな場合には％に
顕著に現われてくる。
すなわち、大型母材の製造時には大きな問題となってく
る。
る。
一方、上記ガラス微粒子堆積面の加熱範囲すなわち火炎
による加熱部分５を広くシ、カサ密度を大きくする目的
で、火炎流の拡がシを大きくすると、火炎およびガラス
微粒子流の集中性が劣化し、火炎流の中心温度は低下し
、ガラス微粒子の生成反応速度の低下あるいは、該ガラ
ス微粒子自体の温度が十分に上がらないという不具合が
生じ、ガラス原料の収率低下の原因となる。また火炎を
拡げずに温度を高くした場合、ガラス微粒子堆積面が加
熱されすぎ安定した堆積面が得られないので、火炎温度
の限界値が存在する。
による加熱部分５を広くシ、カサ密度を大きくする目的
で、火炎流の拡がシを大きくすると、火炎およびガラス
微粒子流の集中性が劣化し、火炎流の中心温度は低下し
、ガラス微粒子の生成反応速度の低下あるいは、該ガラ
ス微粒子自体の温度が十分に上がらないという不具合が
生じ、ガラス原料の収率低下の原因となる。また火炎を
拡げずに温度を高くした場合、ガラス微粒子堆積面が加
熱されすぎ安定した堆積面が得られないので、火炎温度
の限界値が存在する。
すなわち、ガラス微粒子堆積体を安定して製造するため
Ｋは、加水分解反応により形成されるガラス微粒子の温
度を上げ、該ガラス微粒子の収率を向上させるとともに
、バーナーによ多形成される火炎をガラス微粒子堆積体
のカサ密度が適度になるように調整できるようにするこ
とが必要となる。
Ｋは、加水分解反応により形成されるガラス微粒子の温
度を上げ、該ガラス微粒子の収率を向上させるとともに
、バーナーによ多形成される火炎をガラス微粒子堆積体
のカサ密度が適度になるように調整できるようにするこ
とが必要となる。
ところでガラス原料として、８１０Ｚ、を用いた場合、
下記（１）式の加水分解反応によシガラス微粒子が生成
されることが知られている。
下記（１）式の加水分解反応によシガラス微粒子が生成
されることが知られている。
ＳｉＣｌ、十 馬０ → 日ｔｏ、 ＋ Ｈａｔ
（１）この反応は発熱反応であるが、発
熱量は２４ｋｃａｌ／ｍｏｂ と小さく、反応はバー
ナーによ多形成される酸水素火炎による発熱に支持され
ている。このため上記ガラス微粒子の生成速度は、火炎
からの熱伝達量に依存してお〕、従って、生成されるガ
ラス微粒子流の温度も酸水素火炎に依存している。すな
わち、８１０Ｚ４のみを用いた場合には、バーナーによ
多形成される火炎が、ガラス微粒子の生成反応、該ガラ
ス微粒子の加熱および、ガラス微粒子堆積面の加熱の役
割シをすべて行っていることとなシ、上記、不具合点を
克服し、大型多孔質ガラス母材を安定に、収率良く製造
する条件はきわめて狭くなる。
（１）この反応は発熱反応であるが、発
熱量は２４ｋｃａｌ／ｍｏｂ と小さく、反応はバー
ナーによ多形成される酸水素火炎による発熱に支持され
ている。このため上記ガラス微粒子の生成速度は、火炎
からの熱伝達量に依存してお〕、従って、生成されるガ
ラス微粒子流の温度も酸水素火炎に依存している。すな
わち、８１０Ｚ４のみを用いた場合には、バーナーによ
多形成される火炎が、ガラス微粒子の生成反応、該ガラ
ス微粒子の加熱および、ガラス微粒子堆積面の加熱の役
割シをすべて行っていることとなシ、上記、不具合点を
克服し、大型多孔質ガラス母材を安定に、収率良く製造
する条件はきわめて狭くなる。
本発明は、上記問題点を克服し、ガラス微粒子堆積体を
安定かつ、ガラス原料の収率を向上させて、製造するこ
とを目的とし、ガラス原料として８１０Ｚ、よ〕も反応
性が良く、反応熱の高いＳｌの水素化合物を用いること
くよシ、大型のガラス微粒子堆積体の製造を安定かつ容
易にするものである。
安定かつ、ガラス原料の収率を向上させて、製造するこ
とを目的とし、ガラス原料として８１０Ｚ、よ〕も反応
性が良く、反応熱の高いＳｌの水素化合物を用いること
くよシ、大型のガラス微粒子堆積体の製造を安定かつ容
易にするものである。
すなわち、本発明は自らの軸を回転軸とじて回転してい
る実質的に円柱状或いは円筒状の出発材の片端近傍から
、該出発材の外周部上にガラス微粒子合成用バーナーの
火炎内にガラス原料を供給するととＫよシ発生させたガ
ラス微粒子を堆積させ始め、該バーナーを出発材の軸と
平行に相対的に移動させていくととＫより、ガラス微粒
子の堆積体を出発材の外周部に軸方向に形成していく方
法に於いて、ガラス原料として８１１１１１ｆ番よシも
反応熱の高いＳｉの水素化合物を用いてガラス微粒子堆
積体を製造することを特徴とするガラス微粒子堆積体の
製造方法である。
る実質的に円柱状或いは円筒状の出発材の片端近傍から
、該出発材の外周部上にガラス微粒子合成用バーナーの
火炎内にガラス原料を供給するととＫよシ発生させたガ
ラス微粒子を堆積させ始め、該バーナーを出発材の軸と
平行に相対的に移動させていくととＫより、ガラス微粒
子の堆積体を出発材の外周部に軸方向に形成していく方
法に於いて、ガラス原料として８１１１１１ｆ番よシも
反応熱の高いＳｉの水素化合物を用いてガラス微粒子堆
積体を製造することを特徴とするガラス微粒子堆積体の
製造方法である。
本発明の特に好ましい実施態様としては、ＢＬＣｄ。
よシも反応熱の高い８ｉの水素化合物として８１ＥＯｒ
、 。
、 。
８１Ｔ１．ＣＺ、 または８１４を用いる上記方法、
あるいはＢｉＨＯｌ、 、８１１１６０１． 、Ｂｉ４
のうちの少なくとも１以上の原料およびＳｉＣｌ、
を混合して用いる上記方法が挙げられる。
あるいはＢｉＨＯｌ、 、８１１１６０１． 、Ｂｉ４
のうちの少なくとも１以上の原料およびＳｉＣｌ、
を混合して用いる上記方法が挙げられる。
以下に本発明の基礎となった考え方から、詳細に説明す
る。
る。
８１ａもよプも反応性が良く、反応熱の高いＳｉの水素
化合物としてはＢｉＨＯｌ、 、Ｂｉ曳等があシ、それ
ぞれの加水分解または燃焼反応は、下記（２）。
化合物としてはＢｉＨＯｌ、 、Ｂｉ曳等があシ、それ
ぞれの加水分解または燃焼反応は、下記（２）。
（３）弐によって表わされる。 −ＳｉＨＯ／、＋
４０−＋８１０． 十Ｈｏｔ （２）８１４
＋ へ → 日１へ＋ ４０（３）反応熱は、
ＳｉＨＯ／、が１１８ ｋａａｌ／ｍｏ′Ｌ％ＳｉＨ４
が５３９ ｋｃａｌ／ｍｏｂとＥｌｉＣｌ、に比べて高
い値となっておシ、これらの原料は自己の発熱量によっ
て反応を持続することができる。したがって上記原料を
用いる場合、火炎の熱量でガラス微粒子の生成反応を支
持する必要はなく、またガラス微粒子の温度も十分高く
できるため、酸水素反応によシ発生する熱量をガラス微
粒子堆積体の堆積面加熱用のみに用いることができ、原
料の反応とは無関係に上記ガラス微粒子堆積体のカサ密
度制御のために調整することができる。このことＫよ〕
、ガラス微粒子の付着収率を向上させ、しかもガラス微
粒子堆積体を安定に製造することができる。
４０−＋８１０． 十Ｈｏｔ （２）８１４
＋ へ → 日１へ＋ ４０（３）反応熱は、
ＳｉＨＯ／、が１１８ ｋａａｌ／ｍｏ′Ｌ％ＳｉＨ４
が５３９ ｋｃａｌ／ｍｏｂとＥｌｉＣｌ、に比べて高
い値となっておシ、これらの原料は自己の発熱量によっ
て反応を持続することができる。したがって上記原料を
用いる場合、火炎の熱量でガラス微粒子の生成反応を支
持する必要はなく、またガラス微粒子の温度も十分高く
できるため、酸水素反応によシ発生する熱量をガラス微
粒子堆積体の堆積面加熱用のみに用いることができ、原
料の反応とは無関係に上記ガラス微粒子堆積体のカサ密
度制御のために調整することができる。このことＫよ〕
、ガラス微粒子の付着収率を向上させ、しかもガラス微
粒子堆積体を安定に製造することができる。
また上記原料としてＥｌｉＯ／、 、ＳｉＨＯ＃ａ 、
８１烏０／、。
８１烏０／、。
８１Ｔ！４のうち少なくとも２つの原料を混合して用い
るととＫより、ガラス微粒子粒の温度を調整し、多孔質
ガラス母材のカサ密度を制御することも有効である。
るととＫより、ガラス微粒子粒の温度を調整し、多孔質
ガラス母材のカサ密度を制御することも有効である。
本発明によれば、回転する石英系ガラ３等の耐火性出発
材の外周部にガラス微粒子堆積体を形成する場合、該堆
積体のカサ密度の調整を容易に行なう仁とができ、大型
の母材を安定に製造することが可能となる。また、この
とき、ガラス原料の付着収率の向上が可能となる。
材の外周部にガラス微粒子堆積体を形成する場合、該堆
積体のカサ密度の調整を容易に行なう仁とができ、大型
の母材を安定に製造することが可能となる。また、この
とき、ガラス原料の付着収率の向上が可能となる。
以下本発明に基ず〈実施例について説明する。
比較例１゜
第３図に示す構成において、通常原料Ｓ ｉ Ｏ／。
を用いて石英ガラス管１の外周部にガラス微粒子堆積体
２を形成し丸。バーナー３としては、円心円状多重管バ
ーナーを用い、流量条件としては、Ｂ１０１４ ｗａ
１７００ＣＣ／Ｉｉｎ 、 Ｂａ５ｍ３０／／ｗｉｎ
、 ０１ ＝４５７７Ｇ叫’ 、 Ａｒｗ １５７７Ｇ
叫’のガスを流した。なお図中４は火炎である。この結
果ガラス微粒子堆積体２を堆積速度２９７Ｇ叫’で製造
する仁とができたが、このときの原料収率は、４５％と
低い値となった。さらに原料流量を増加させＢｉ ＯＺ
。
２を形成し丸。バーナー３としては、円心円状多重管バ
ーナーを用い、流量条件としては、Ｂ１０１４ ｗａ
１７００ＣＣ／Ｉｉｎ 、 Ｂａ５ｍ３０／／ｗｉｎ
、 ０１ ＝４５７７Ｇ叫’ 、 Ａｒｗ １５７７Ｇ
叫’のガスを流した。なお図中４は火炎である。この結
果ガラス微粒子堆積体２を堆積速度２９７Ｇ叫’で製造
する仁とができたが、このときの原料収率は、４５％と
低い値となった。さらに原料流量を増加させＢｉ ＯＺ
。
−２２００ｑｍｌｎとし九ところ原料収率はさらに劣化
し４０％となシ、母材の割れが頻発するようＫなった。
し４０％となシ、母材の割れが頻発するようＫなった。
上記２例の母材についてカサ密度（ｔ／ｃＩＩ）分布を
測定したところ、第４図に示すようになった。図中白丸
０はＢ１０Ｚ、 １７０Ｇ叫’ｍｉｎの場合、黒丸・は
２２０００１１７ｍ１ｎの場合を示す。
測定したところ、第４図に示すようになった。図中白丸
０はＢ１０Ｚ、 １７０Ｇ叫’ｍｉｎの場合、黒丸・は
２２０００１１７ｍ１ｎの場合を示す。
カサ密度は低く、ＳｉＣｌ、−、２２００ｃｌｊｒｌｌ
ｌｎの場合には外周部でｃＬｊ ｆ／ｅｊｌ以下と非常
に低くなってｈることがわかった。
ｌｎの場合には外周部でｃＬｊ ｆ／ｅｊｌ以下と非常
に低くなってｈることがわかった。
実施例１
比較例１と同様の構成で第１図に示すように原料として
８１ＥＯｒ、を用いてガラス微粒子堆積体の製造を行っ
た。８１ｍ１０４．の流量は、生成されるガラス微粒子
８１０１の量が、ＢｉＣｌ２−２２ Ｑ ＯＣＣ／ ｗ
ｉｎの場合と同じＫなるように設定した。
８１ＥＯｒ、を用いてガラス微粒子堆積体の製造を行っ
た。８１ｍ１０４．の流量は、生成されるガラス微粒子
８１０１の量が、ＢｉＣｌ２−２２ Ｑ ＯＣＣ／ ｗ
ｉｎの場合と同じＫなるように設定した。
ガス流量としては、ＢｉＨＯ１１＝ ２２００ ｃｃ／
ｍｉｎ 、Ｈ＠ −２５７７Ｇ叫’ ｓ Ｏｌ−４５７
７Ｇ叫’ ｅムｒｍ１４゜５／／ｍｉｎであった。この
ときガラス微粒子堆積体２は、堆積速度五ｓ ｒ／ｍｉ
ｎで製造することができ収率は５５％であった。また、
母材の割れはまったく発生せず、安定な製造を行なうこ
とができた。
ｍｉｎ 、Ｈ＠ −２５７７Ｇ叫’ ｓ Ｏｌ−４５７
７Ｇ叫’ ｅムｒｍ１４゜５／／ｍｉｎであった。この
ときガラス微粒子堆積体２は、堆積速度五ｓ ｒ／ｍｉ
ｎで製造することができ収率は５５％であった。また、
母材の割れはまったく発生せず、安定な製造を行なうこ
とができた。
得られた堆積体のカサ密度分布を第５図に示す。
母材周辺部でも約ａ、 ２ ｔ／ｃｙ？ のカサ密度
があシ、Ｅｌ ｉ Ｏｚ、を用いた場合よシも硬く付着
させることができた。
があシ、Ｅｌ ｉ Ｏｚ、を用いた場合よシも硬く付着
させることができた。
実施例２
比較例１と同様の構成で原料としてＢ ｉ Ｏ／、とＳ
ｉＨＯ／ｓの混合ガスを用いてガラス微粒子堆積体の製
造を行った。
ｉＨＯ／ｓの混合ガスを用いてガラス微粒子堆積体の製
造を行った。
流量条件としては、ＳｉＣｌ４−５００ ｖｍｉｎ −
ＳｉＨＯ４ｓ＊ １７００ｃｒ４／Ｗｉｎ 、Ｈａｍ
２８ ／／ｗｉｎ 、 Ｏ，−４５１／ｍｉｎ 、 Ａ
ｒｍ１５／／ｍｉｎとした。このときの堆積速度は五１
ｆ／ｍｉｎで収率は５１％であった。実施例２に比べ多
少劣化したものの、母材自体は安定に製造することがで
きた。母材のカサ密度分布は第６図のようＫなシ実施例
２に比べ（第５図）低くなった。
ＳｉＨＯ４ｓ＊ １７００ｃｒ４／Ｗｉｎ 、Ｈａｍ
２８ ／／ｗｉｎ 、 Ｏ，−４５１／ｍｉｎ 、 Ａ
ｒｍ１５／／ｍｉｎとした。このときの堆積速度は五１
ｆ／ｍｉｎで収率は５１％であった。実施例２に比べ多
少劣化したものの、母材自体は安定に製造することがで
きた。母材のカサ密度分布は第６図のようＫなシ実施例
２に比べ（第５図）低くなった。
なお第５図及び第６図における点線部分は出発材の外周
をあられす。以上の実施例においては、５ｉＨＯ＃、を
用いた例を説明したが、ＥｌｉＨＯ／、に限らず、８１
％０４．．８１１１Ｅ６などの発熱量の高い物質でもよ
い。また８ １０ ｅ、よシも反応熱の高い水素化合物
であればいずれも同様の効果を期待できる。さらにカサ
密度分布を調整するために上記原料のうち少なくとも２
つ以上の原料を混合して用いても有効である。またバー
ナーを２本以上用いた場合でも同様の効果を期待できる
。
をあられす。以上の実施例においては、５ｉＨＯ＃、を
用いた例を説明したが、ＥｌｉＨＯ／、に限らず、８１
％０４．．８１１１Ｅ６などの発熱量の高い物質でもよ
い。また８ １０ ｅ、よシも反応熱の高い水素化合物
であればいずれも同様の効果を期待できる。さらにカサ
密度分布を調整するために上記原料のうち少なくとも２
つ以上の原料を混合して用いても有効である。またバー
ナーを２本以上用いた場合でも同様の効果を期待できる
。
（発明の効果）
本発明は石英系ガラス等の耐火性出発材の外周部にガラ
ス微粒子堆積体を形成する場合、大型母材を安定かつガ
ラス原料の付着収率を向上させて製造することができる
。
ス微粒子堆積体を形成する場合、大型母材を安定かつガ
ラス原料の付着収率を向上させて製造することができる
。
第１図は本発明の実施態様を説明する図、第２図（ａ）
及び（ロ）は従来法における問題点を説明する図、 第３図は比較例１の方法を説明する図、第４図ないし第
６図は従来法又は本発明によ）得られたガラス微粒子堆
積体の無次元半径方向におけるカサ密度分布Ｃｆ／ｃ、
？）を示すグラフであって、第４図は比較例１の場合、
第５図は実施例１の場合、第６図は実施例２の場合を示
す。
及び（ロ）は従来法における問題点を説明する図、 第３図は比較例１の方法を説明する図、第４図ないし第
６図は従来法又は本発明によ）得られたガラス微粒子堆
積体の無次元半径方向におけるカサ密度分布Ｃｆ／ｃ、
？）を示すグラフであって、第４図は比較例１の場合、
第５図は実施例１の場合、第６図は実施例２の場合を示
す。
Claims (3)
- （１）自らの軸を回転軸として回転している実質的に円
柱状或いは円筒状の出発材の片端近傍から、該出発材の
外周部上にガラス微粒子合成用バーナーの火炎内にガラ
ス原料を供給することにより発生させたガラス微粒子を
堆積させ始め、該バーナーを出発材の軸と平行に相対的
に移動させていくことにより、ガラス微粒子の堆積体を
出発材の外周部に軸方向に形成していく方法に於いて、
ガラス原料としてＳｉＣｌ＿４よりも反応熱の高いＳｉ
の水素化合物を用いてガラス微粒子堆積体を製造するこ
とを特徴とするガラス微粒子堆積体の製造方法。 - （２）ＳｉＣｌ＿４よりも反応熱の高いＳｉの水素化合
物として、ＳｉＨＣｌ＿３、ＳｉＨ＿２Ｃｌ＿２、また
はＳｉＨ＿４を用いる特許請求の範囲第（１）項に記載
されるガラス微粒子堆積体の製造方法。 - （３）ＳｉＨＣｌ＿３、ＳｉＨ＿２Ｃｌ＿２、ＳｉＨ＿
４のうちの少なくとも１以上の原料およびＳｉＣｌ＿４
を混合して用いるガラス微粒子堆積体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10616985A JPS61266318A (ja) | 1985-05-20 | 1985-05-20 | ガラス微粒子堆積体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10616985A JPS61266318A (ja) | 1985-05-20 | 1985-05-20 | ガラス微粒子堆積体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61266318A true JPS61266318A (ja) | 1986-11-26 |
Family
ID=14426763
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10616985A Pending JPS61266318A (ja) | 1985-05-20 | 1985-05-20 | ガラス微粒子堆積体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61266318A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009509354A (ja) * | 2005-09-22 | 2009-03-05 | ファイバー オプティクス リサーチ センター オブ ザ ルシアン アカデミー オブ サイエンス | １０００〜１７００ｎｍの範囲の波長で動作する増幅光ファイバ、同製造方法、およびファイバレーザ |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS542653A (en) * | 1977-06-08 | 1979-01-10 | Toshiba Corp | Exposing device for color picture tube |
-
1985
- 1985-05-20 JP JP10616985A patent/JPS61266318A/ja active Pending
Patent Citations (1)
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