JP3221059B2 - ガラス微粒子堆積体の製造方法 - Google Patents
ガラス微粒子堆積体の製造方法Info
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
- C03B37/0142—Reactant deposition burners
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ガラス微粒子の堆積体
を円柱状あるいは円筒状に出発材の外周部に形成する方
法に関し、特に高純度が要求される光ファイバ用母材製
造の際の中間製品に好適に用いられる、出発材とその外
周部に形成されたガラス微粒子堆積体からなる複合体の
製造方法に関する。
を円柱状あるいは円筒状に出発材の外周部に形成する方
法に関し、特に高純度が要求される光ファイバ用母材製
造の際の中間製品に好適に用いられる、出発材とその外
周部に形成されたガラス微粒子堆積体からなる複合体の
製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、石英系ガラス管もしくは光ファイ
バ用母材の製造方法として特開昭４８−７３５２２号公
報に示されたようないわゆる「外付け法」がある。この
方法は、回転するカーボン、石英系ガラス又はアルミナ
などの耐火性出発材の外周部に、ガラス原料の火炎加水
分解反応により生成せしめたＳｉＯ2 などの微粒子状ガ
ラスを堆積させていき、所定量堆積させた後、堆積を止
め、出発材を引き抜き、パイプ状ガラス集合体を形成
し、このパイプ状ガラス集合体を高温電気炉中で焼結透
明ガラス化し、パイプ状ガラスを得ている。或いは、同
様の方法で出発材として中実の光ファイバ用ガラスを用
い、該出発材とガラス微粒子堆積体の複合体を形成した
のち、該出発材を引き抜かず該複合体を高温炉中で加熱
処理してガラス微粒子堆積体の部分を焼結することによ
り、出発材である光ファイバ用ガラス母材の外周部に更
に透明ガラス層を形成するという方法もある。
バ用母材の製造方法として特開昭４８−７３５２２号公
報に示されたようないわゆる「外付け法」がある。この
方法は、回転するカーボン、石英系ガラス又はアルミナ
などの耐火性出発材の外周部に、ガラス原料の火炎加水
分解反応により生成せしめたＳｉＯ2 などの微粒子状ガ
ラスを堆積させていき、所定量堆積させた後、堆積を止
め、出発材を引き抜き、パイプ状ガラス集合体を形成
し、このパイプ状ガラス集合体を高温電気炉中で焼結透
明ガラス化し、パイプ状ガラスを得ている。或いは、同
様の方法で出発材として中実の光ファイバ用ガラスを用
い、該出発材とガラス微粒子堆積体の複合体を形成した
のち、該出発材を引き抜かず該複合体を高温炉中で加熱
処理してガラス微粒子堆積体の部分を焼結することによ
り、出発材である光ファイバ用ガラス母材の外周部に更
に透明ガラス層を形成するという方法もある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来、上記方法におい
ては、図１に示す如く、ガラス微粒子生成用バーナ２を
１本ないし多数本用いてガラス微粒子堆積体を合成して
いる。一般にバーナ４の先端から燃料ガスとして例えば
Ｈ2 ，ＣＨ4 ，Ｃ3 Ｈ8 等、助燃ガスとしてＯ2、空気
等が供給され、火炎３を形成する。この火炎３中にガラ
ス原料としてＳｉＣｌ4 ，ＧｅＣｌ4 等が供給され、加
水分解反応によりガラス微粒子ＳｉＯ2 ，ＧｅＯ2 等が
生成される。該ガラス微粒子を回転する出発材１の外周
部に堆積させることにより、ガラス微粒子堆積体４が形
成される。ガラス微粒子堆積体を形成し始める初期の段
階においては、図２に示す如く、ガラス微粒子堆積体は
小さい。この初期の段階での堆積体のカサ密度が小さい
とスス割れ又は、出発材を残して焼結する際にガラス微
粒子堆積体の出発材からの剥離を起こし、良好な母材が
得られないという問題があった。本発明はこうした不良
の発生を防止し、品質の高いガラス微粒子体又はガラス
体を製造することを目的としてなされたものである。
ては、図１に示す如く、ガラス微粒子生成用バーナ２を
１本ないし多数本用いてガラス微粒子堆積体を合成して
いる。一般にバーナ４の先端から燃料ガスとして例えば
Ｈ2 ，ＣＨ4 ，Ｃ3 Ｈ8 等、助燃ガスとしてＯ2、空気
等が供給され、火炎３を形成する。この火炎３中にガラ
ス原料としてＳｉＣｌ4 ，ＧｅＣｌ4 等が供給され、加
水分解反応によりガラス微粒子ＳｉＯ2 ，ＧｅＯ2 等が
生成される。該ガラス微粒子を回転する出発材１の外周
部に堆積させることにより、ガラス微粒子堆積体４が形
成される。ガラス微粒子堆積体を形成し始める初期の段
階においては、図２に示す如く、ガラス微粒子堆積体は
小さい。この初期の段階での堆積体のカサ密度が小さい
とスス割れ又は、出発材を残して焼結する際にガラス微
粒子堆積体の出発材からの剥離を起こし、良好な母材が
得られないという問題があった。本発明はこうした不良
の発生を防止し、品質の高いガラス微粒子体又はガラス
体を製造することを目的としてなされたものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は自らの軸を回転
軸として回転している実質的に円柱状もしくは円筒状の
出発材の片端近傍から該出発材の外周部上に、ガラス微
粒子合成用バーナの火炎内にガラス原料を供給すること
により生成させたガラス微粒子を堆積させ始め、該バー
ナを該出発材の軸と平行に相対的に移動させていくこと
によりガラス微粒子堆積体を該出発材の外周部に軸方向
に形成していく方法において、火炎を形成する燃焼ガス
流量の供給パターンを、ガラス微粒子を堆積させ始める
初期においてはカサ密度が０．４〜０．９ｇ／ｃｍ 3 に
なる量Ｑ 1 に設定し、その後燃焼ガス流量を最低値のＱ
2 にまで減少させることによりガラス微粒子の堆積を速
やかに進行せしめ、次に原料流量の増加とともに燃焼ガ
ス流量を定常時流量Ｑ 3 まで増量するものとすることに
より、ガラス微粒子を堆積させるために原料を投入開始
後１０分間に合成されたガラス微粒子堆積体のカサ密度
が０．４〜０．９ｇ／ｃｍ3 の範囲にあるように燃焼ガ
ス流量を調節しつつ堆積させることことを特徴とし、本
発明の方法によりガラス微粒子体の割れ防止又は焼結中
の剥離を防止でき、高品質な母材を製造できる。 本発明
におけるガラス微粒子堆積体の堆積面温度は９５０℃〜
１２００℃であることが特に望ましい。
軸として回転している実質的に円柱状もしくは円筒状の
出発材の片端近傍から該出発材の外周部上に、ガラス微
粒子合成用バーナの火炎内にガラス原料を供給すること
により生成させたガラス微粒子を堆積させ始め、該バー
ナを該出発材の軸と平行に相対的に移動させていくこと
によりガラス微粒子堆積体を該出発材の外周部に軸方向
に形成していく方法において、火炎を形成する燃焼ガス
流量の供給パターンを、ガラス微粒子を堆積させ始める
初期においてはカサ密度が０．４〜０．９ｇ／ｃｍ 3 に
なる量Ｑ 1 に設定し、その後燃焼ガス流量を最低値のＱ
2 にまで減少させることによりガラス微粒子の堆積を速
やかに進行せしめ、次に原料流量の増加とともに燃焼ガ
ス流量を定常時流量Ｑ 3 まで増量するものとすることに
より、ガラス微粒子を堆積させるために原料を投入開始
後１０分間に合成されたガラス微粒子堆積体のカサ密度
が０．４〜０．９ｇ／ｃｍ3 の範囲にあるように燃焼ガ
ス流量を調節しつつ堆積させることことを特徴とし、本
発明の方法によりガラス微粒子体の割れ防止又は焼結中
の剥離を防止でき、高品質な母材を製造できる。 本発明
におけるガラス微粒子堆積体の堆積面温度は９５０℃〜
１２００℃であることが特に望ましい。
【０００５】
【作用】種付初期の段階において、堆積したガラス微粒
子のカサ密度が小さいと、円柱状または円筒状出発材と
ガラス微粒子との密着性が充分でなく、ガラス微粒子堆
積体の重量が増えてくると自重に耐えきれず、割れ（ク
ラック）を生じる。また、たとえガラス微粒子堆積体の
段階では良好な製品が得られたとしても、焼結中に該ロ
ッドとガラス微粒子とが剥離し、高品質なガラス体は得
られない。本発明者等は研究を重ねた結果、良好な焼結
母材（ガラス体）を得るには、種付初期の段階でのガラ
ス微粒子のカサ密度が０．４ｇ／ｃｍ3 以上必要なこと
を見いだした。カサ密度が０．４ｇ／ｃｍ3 以上あれ
ば、上記出発材とガラス微粒子の密着性も十分となり、
２０ｋｇのガラス微粒子堆積体を合成しても高品質なガ
ラス体が得られた。一方、カサ密度を大きくしていく
と、出発材とガラス微粒子堆積体の密着性は向上するも
のの、カサ密度向上のためには燃焼ガスの流量を増やす
必要があり、これにより火炎温度が上昇するため、ガラ
ス微粒子の堆積が少ない初期の段階では出発材１（ロッ
ド）自体の温度も上がりやすく、この結果出発材１の中
心が回転中心とずれる現象、いわゆる“振れ回り” を
生じてしまうことがわかった。振れ回りを抑えられるカ
サ密度は０．９ｇ／ｃｍ3 以下であった。上述した範囲
０．４〜０．９ｇ／ｃｍ3 のカサ密度のガラス微粒子を
堆積させるためには、堆積面温度を９５０〜１２００℃
程度に抑制する必要があることも見いだした。つまり、
堆積初期の段階でのカサ密度はある程度大きくしておく
必要があり、０．４ｇ／ｃｍ3 以上とするが、初期の段
階を過ぎれば、ガラス微粒子の堆積成長を優先させる必
要がある。
子のカサ密度が小さいと、円柱状または円筒状出発材と
ガラス微粒子との密着性が充分でなく、ガラス微粒子堆
積体の重量が増えてくると自重に耐えきれず、割れ（ク
ラック）を生じる。また、たとえガラス微粒子堆積体の
段階では良好な製品が得られたとしても、焼結中に該ロ
ッドとガラス微粒子とが剥離し、高品質なガラス体は得
られない。本発明者等は研究を重ねた結果、良好な焼結
母材（ガラス体）を得るには、種付初期の段階でのガラ
ス微粒子のカサ密度が０．４ｇ／ｃｍ3 以上必要なこと
を見いだした。カサ密度が０．４ｇ／ｃｍ3 以上あれ
ば、上記出発材とガラス微粒子の密着性も十分となり、
２０ｋｇのガラス微粒子堆積体を合成しても高品質なガ
ラス体が得られた。一方、カサ密度を大きくしていく
と、出発材とガラス微粒子堆積体の密着性は向上するも
のの、カサ密度向上のためには燃焼ガスの流量を増やす
必要があり、これにより火炎温度が上昇するため、ガラ
ス微粒子の堆積が少ない初期の段階では出発材１（ロッ
ド）自体の温度も上がりやすく、この結果出発材１の中
心が回転中心とずれる現象、いわゆる“振れ回り” を
生じてしまうことがわかった。振れ回りを抑えられるカ
サ密度は０．９ｇ／ｃｍ3 以下であった。上述した範囲
０．４〜０．９ｇ／ｃｍ3 のカサ密度のガラス微粒子を
堆積させるためには、堆積面温度を９５０〜１２００℃
程度に抑制する必要があることも見いだした。つまり、
堆積初期の段階でのカサ密度はある程度大きくしておく
必要があり、０．４ｇ／ｃｍ3 以上とするが、初期の段
階を過ぎれば、ガラス微粒子の堆積成長を優先させる必
要がある。
【０００６】そこで、本発明では燃焼ガスの流量パター
ンを原料投入直後である種付初期の段階での流量Ｑ
1 （原料投入量により異なるが堆積面温度が１０５０〜
１１５０℃になるような流量が特に好ましい）に対し
て、徐々に減量させ、ある流量Ｑ2（原料投入量により
異なるが堆積面温度が９５０〜１０００℃になるような
流量が特に好ましい）を最小値として、その後原料の増
量に合わせて定常時の流量Ｑ 3 （原料投入量により異な
るが堆積面温度が１０００〜１０５０℃になるような流
量が特に好ましい）に再び増量するという設定で対応す
ることにより、種付初期でのカサ密度０．４〜０．９ｇ
／ｃｍ3 を達成し、かつガラス微粒子の堆積、成長を効
率的に行なうことができる。
ンを原料投入直後である種付初期の段階での流量Ｑ
1 （原料投入量により異なるが堆積面温度が１０５０〜
１１５０℃になるような流量が特に好ましい）に対し
て、徐々に減量させ、ある流量Ｑ2（原料投入量により
異なるが堆積面温度が９５０〜１０００℃になるような
流量が特に好ましい）を最小値として、その後原料の増
量に合わせて定常時の流量Ｑ 3 （原料投入量により異な
るが堆積面温度が１０００〜１０５０℃になるような流
量が特に好ましい）に再び増量するという設定で対応す
ることにより、種付初期でのカサ密度０．４〜０．９ｇ
／ｃｍ3 を達成し、かつガラス微粒子の堆積、成長を効
率的に行なうことができる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明を実施例により具体的に説明す
るが、本発明はこれに限定されるところはない。 〔実施例〕水素と酸素の組合せを３組もつ、３重火炎バ
ーナにてガラス微粒子堆積体の堆積を行った。原料流量
は４リットル／分より１５リットル／分まで徐々に１２
０分かけて増量させた。また、第２ポートに流す水素流
量は、初期流量Ｑ1 ＝２０リットル／分で５分間流し、
その後５分間かけてＱ2 ＝８リットル／分まで減量し、
続いて更に９０分間かけてＱ3 ＝１５リットル／分まで
増量するよう設定した。種付初期の段階である原料投入
後１０分間で、ガラス微粒子の合成を止め、この時点で
の出発材とガラス微粒子の密着性及びガラス微粒子のカ
サ密度を測定したところ、密着力は十分あり、カサ密度
は０．６７ｇ／ｃｍ3 であった。また、赤外線温度画像
解析装置（サーモビュア）で温度測定したところ、堆積
面温度は１０８０℃程度であった。別の出発材を準備
し、同様の条件設定でガラス微粒子堆積体を製造した。
製造したガラス微粒子堆積体の直径は２４０ｍｍ、長さ
８００ｍｍで重量は約２０ｋｇあったが、割れもなく良
好なガラス微粒子堆積体を得た。このガラス微粒子堆積
体を１５５０℃に保った加熱炉に挿入し、透明ガラス化
したところ、直径１００ｍｍ、長さ７００ｍｍの良好な
透明ガラス体を得た。
るが、本発明はこれに限定されるところはない。 〔実施例〕水素と酸素の組合せを３組もつ、３重火炎バ
ーナにてガラス微粒子堆積体の堆積を行った。原料流量
は４リットル／分より１５リットル／分まで徐々に１２
０分かけて増量させた。また、第２ポートに流す水素流
量は、初期流量Ｑ1 ＝２０リットル／分で５分間流し、
その後５分間かけてＱ2 ＝８リットル／分まで減量し、
続いて更に９０分間かけてＱ3 ＝１５リットル／分まで
増量するよう設定した。種付初期の段階である原料投入
後１０分間で、ガラス微粒子の合成を止め、この時点で
の出発材とガラス微粒子の密着性及びガラス微粒子のカ
サ密度を測定したところ、密着力は十分あり、カサ密度
は０．６７ｇ／ｃｍ3 であった。また、赤外線温度画像
解析装置（サーモビュア）で温度測定したところ、堆積
面温度は１０８０℃程度であった。別の出発材を準備
し、同様の条件設定でガラス微粒子堆積体を製造した。
製造したガラス微粒子堆積体の直径は２４０ｍｍ、長さ
８００ｍｍで重量は約２０ｋｇあったが、割れもなく良
好なガラス微粒子堆積体を得た。このガラス微粒子堆積
体を１５５０℃に保った加熱炉に挿入し、透明ガラス化
したところ、直径１００ｍｍ、長さ７００ｍｍの良好な
透明ガラス体を得た。
【０００８】〔比較例１〕実施例と同様の構成にて、且
つ原料流量も同一に設定し、第２ポートに流す水素流量
Ｑ1 ＝１２リットル／分で５分間供給し、その後５分間
でＱ2 ＝８リットル／分まで減量し、更に９０分間かけ
て定常流量Ｑ3 ＝１５リットル／分まで増量するように
設定した。種付初期の段階である原料投入後１０分間で
ガラス微粒子の合成を止め、この時点での出発材とガラ
ス微粒子の密着性及びガラス微粒子のカサ密度を測定し
たところ、密着力は実施例ほど強くなく、衝撃を与えれ
ば用意に剥離する状態であった。また、ガラス微粒子の
カサ密度も０．３５ｇ／ｃｍ3 と低かった。また堆積面
温度を測定したところ、８５０℃程度であった。別の出
発材を準備し、同様の条件設定でガラス微粒子堆積体を
製造したところ、直径は２４０ｍｍ、長さ８００ｍｍで
重量は約２０ｋｇあったが割れもなく良好なガラス微粒
子堆積体であった。このガラス微粒子堆積体を１５５０
℃に保った加熱炉に挿入し、透明ガラス化を試みたが、
焼結母材はガラス微粒子堆積体の種付上部で、種付初期
の密着力不足に起因すると考えられる剥離を起こしてい
た。
つ原料流量も同一に設定し、第２ポートに流す水素流量
Ｑ1 ＝１２リットル／分で５分間供給し、その後５分間
でＱ2 ＝８リットル／分まで減量し、更に９０分間かけ
て定常流量Ｑ3 ＝１５リットル／分まで増量するように
設定した。種付初期の段階である原料投入後１０分間で
ガラス微粒子の合成を止め、この時点での出発材とガラ
ス微粒子の密着性及びガラス微粒子のカサ密度を測定し
たところ、密着力は実施例ほど強くなく、衝撃を与えれ
ば用意に剥離する状態であった。また、ガラス微粒子の
カサ密度も０．３５ｇ／ｃｍ3 と低かった。また堆積面
温度を測定したところ、８５０℃程度であった。別の出
発材を準備し、同様の条件設定でガラス微粒子堆積体を
製造したところ、直径は２４０ｍｍ、長さ８００ｍｍで
重量は約２０ｋｇあったが割れもなく良好なガラス微粒
子堆積体であった。このガラス微粒子堆積体を１５５０
℃に保った加熱炉に挿入し、透明ガラス化を試みたが、
焼結母材はガラス微粒子堆積体の種付上部で、種付初期
の密着力不足に起因すると考えられる剥離を起こしてい
た。
【０００９】〔比較例２〕 実施例と同様の構成にて、且つ原料流量も同一に設定
し、第２ポートに流すＨ1 流量を３０リットル／分とし
て５分間供給し、その後９０分かけて定常流量Ｑ3 ＝１
５リットル／分まで減量させた。種付初期の段階である
原料投入後１０分間でガラス微粒子の合成を止め、この
時点での出発材とガラス微粒子の密着性、及びガラス微
粒子のカサ密度を測定したところ、密着力は十分強く、
焼結後の割れもなかったが、カサ密度は１．０５ｇ／ｃ
ｍ3 と高くなり、ガラス微粒子の成長も実施例に比べ抑
制されていた。更に、原料投入前のロッド加熱が強す
ぎ、ロッドの温度が上昇して振り回りを生じた。
し、第２ポートに流すＨ1 流量を３０リットル／分とし
て５分間供給し、その後９０分かけて定常流量Ｑ3 ＝１
５リットル／分まで減量させた。種付初期の段階である
原料投入後１０分間でガラス微粒子の合成を止め、この
時点での出発材とガラス微粒子の密着性、及びガラス微
粒子のカサ密度を測定したところ、密着力は十分強く、
焼結後の割れもなかったが、カサ密度は１．０５ｇ／ｃ
ｍ3 と高くなり、ガラス微粒子の成長も実施例に比べ抑
制されていた。更に、原料投入前のロッド加熱が強す
ぎ、ロッドの温度が上昇して振り回りを生じた。
【００１０】なお、本発明の方法では初期流量（ただし
原料ガスを除いたもの）で１〜５分程度ロッドを加熱し
てから原料投入を開始する。上記各例ではこの加熱は１
分である）。また、上記各例では２ポートのＨ2 を例に
とり説明したが、実施例で示す燃焼ガスの流量パターン
は２ポートの場合に限るものでないことは、勿論であ
る。
原料ガスを除いたもの）で１〜５分程度ロッドを加熱し
てから原料投入を開始する。上記各例ではこの加熱は１
分である）。また、上記各例では２ポートのＨ2 を例に
とり説明したが、実施例で示す燃焼ガスの流量パターン
は２ポートの場合に限るものでないことは、勿論であ
る。
【００１１】以上の実施例では燃焼ガスとして水素を用
いる例を述べたが、燃焼ガスは水素に限定されるもので
はなく、ＣＨ4 、Ｃ3 Ｈ8 、ＣＯ等にの場合でも同様の
効果を期待できる。また、水素流量の設定変更を連続的
に行ったが、設定は連続である必要はなく、不連続な設
定変更でも構わない。
いる例を述べたが、燃焼ガスは水素に限定されるもので
はなく、ＣＨ4 、Ｃ3 Ｈ8 、ＣＯ等にの場合でも同様の
効果を期待できる。また、水素流量の設定変更を連続的
に行ったが、設定は連続である必要はなく、不連続な設
定変更でも構わない。
【００１２】
【発明の効果】本発明により、ガラス微粒子堆積体製造
初期の出発材とガラス微粒子の密着性を強化でき、かつ
その後のガラス微粒子の堆積、成長も効率的に行なうこ
とができる。従って，大型母材製造時にも割れや剥離を
生じさせることなく高品質なガラス体を製造することが
できる。
初期の出発材とガラス微粒子の密着性を強化でき、かつ
その後のガラス微粒子の堆積、成長も効率的に行なうこ
とができる。従って，大型母材製造時にも割れや剥離を
生じさせることなく高品質なガラス体を製造することが
できる。
【図１】本発明の実施態様を説明する概略図である。
【図２】ガラス微粒子堆積体製造における初期のガラス
微粒子堆積状態を説明する概略図である。
微粒子堆積状態を説明する概略図である。
【図３】本発明の方法における燃焼ガス流量の経時変化
の例を示すグラフ図であり、横軸は時間、縦軸は燃焼ガ
ス流量（実施例では水素）を示す。
の例を示すグラフ図であり、横軸は時間、縦軸は燃焼ガ
ス流量（実施例では水素）を示す。
１ 出発材 ２ バーナ ３ 火炎 ４ ガラス微粒子堆積体 41 堆積初期のガラス微粒子堆積体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C03B 8/04 C03B 37/018
Claims (2)
- 【請求項１】 自らの軸を回転軸として回転している実
質的に円柱状もしくは円筒状の出発材の片端近傍から該
出発材の外周部上に、ガラス微粒子合成用バーナの火炎
内にガラス原料を供給することにより生成させたガラス
微粒子を堆積させ始め、該バーナを該出発材の軸と平行
に相対的に移動させていくことによりガラス微粒子堆積
体を該出発材の外周部に軸方向に形成していく方法にお
いて、火炎を形成する燃焼ガス流量の供給パターンを、
ガラス微粒子を堆積させ始める初期においてはカサ密度
が０．４〜０．９ｇ／ｃｍ 3 になる量Ｑ 1 に設定し、そ
の後燃焼ガス流量を最低値のＱ 2 にまで減少させること
によりガラス微粒子の堆積を速やかに進行せしめ、次に
原料流量の増加とともに燃焼ガス流量を定常時流量Ｑ 3
まで増量するものとすることにより、ガラス微粒子を堆
積させ始めるために原料を投入開始後１０分間に合成さ
れたガラス微粒子堆積体のカサ密度が０．４〜０．９ｇ
／ｃｍ3 の範囲にあるように燃焼ガス流量を調節しつつ
堆積させることを特徴とするガラス微粒子堆積体の製造
方法。 - 【請求項２】 ガラス微粒子堆積体の堆積面温度が９５
０℃〜１２００℃であることを特徴とする請求項１記載
のガラス微粒子堆積体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14741792A JP3221059B2 (ja) | 1992-06-08 | 1992-06-08 | ガラス微粒子堆積体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14741792A JP3221059B2 (ja) | 1992-06-08 | 1992-06-08 | ガラス微粒子堆積体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05339011A JPH05339011A (ja) | 1993-12-21 |
| JP3221059B2 true JP3221059B2 (ja) | 2001-10-22 |
Family
ID=15429841
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14741792A Expired - Lifetime JP3221059B2 (ja) | 1992-06-08 | 1992-06-08 | ガラス微粒子堆積体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3221059B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10029151C1 (de) * | 2000-06-19 | 2001-08-16 | Heraeus Quarzglas | Verfahren für die Herstellung eines SiO¶2¶-Rohlings sowie SiO¶2¶-Rohling |
| JP6158731B2 (ja) * | 2013-04-08 | 2017-07-05 | 信越化学工業株式会社 | 光ファイバ用ガラス母材の製造方法および光ファイバ用ガラス母材 |
-
1992
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| JPH05339011A (ja) | 1993-12-21 |
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