JPS59174538A - 光フアイバ母材の製造方法 - Google Patents
光フアイバ母材の製造方法Info
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- JPS59174538A JPS59174538A JP4955283A JP4955283A JPS59174538A JP S59174538 A JPS59174538 A JP S59174538A JP 4955283 A JP4955283 A JP 4955283A JP 4955283 A JP4955283 A JP 4955283A JP S59174538 A JPS59174538 A JP S59174538A
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- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
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- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
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- C03B2201/31—Doped silica-based glasses doped with metals, e.g. Ga, Sn, Sb, Pb or Bi doped with germanium
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C03B2207/20—Specific substances in specified ports, e.g. all gas flows specified
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光ファイ・々母材の製造方法に係り、特に気相
軸付法（Ｖａｐａｒ−Ｐｈａｓｅ ａｘｉａ７ ｄｅｐ
ｏｓｉｔｉｏｎ；ＶＡＤ法）による光ファイ・々母材の
製造方法の改良に関するものである。
軸付法（Ｖａｐａｒ−Ｐｈａｓｅ ａｘｉａ７ ｄｅｐ
ｏｓｉｔｉｏｎ；ＶＡＤ法）による光ファイ・々母材の
製造方法の改良に関するものである。
光ファイノ々母材の製造方法としてＶＡＤ法があるが、
この方法では加熱加水分解反応を用いているので、多孔
質母材中にＯＨ基が残る。したがって、この多孔質母材
をそのままの状態で焼結ガラス化して光ファイノス母材
とすると、加熱延伸して光ファイノ々化したときに、そ
の光ファイバのＯＨ基による吸収損失が著しく増大する
。ＯＨ基を除外する方法としては、ＣＪｂや８ｏｃ１２
などのハロゲン化剤を多孔質母材成長中あるいは多孔質
母材の焼結ガラス化時に流す方法が知られているが、こ
のような方法では、ハロゲン化剤にょるＯＨ基の除去効
果が、多孔質母材のかさ密度、処理温度、ハロゲン止剤
流量、ハロゲン止剤純度等によって左右され、最適範囲
がせまく、制御が容易でない。ま次、ＯＨ基の除去効果
があったにもがかわらず、光７アイ・々としたときの伝
送損失が増大する場合もある。
この方法では加熱加水分解反応を用いているので、多孔
質母材中にＯＨ基が残る。したがって、この多孔質母材
をそのままの状態で焼結ガラス化して光ファイノス母材
とすると、加熱延伸して光ファイノ々化したときに、そ
の光ファイバのＯＨ基による吸収損失が著しく増大する
。ＯＨ基を除外する方法としては、ＣＪｂや８ｏｃ１２
などのハロゲン化剤を多孔質母材成長中あるいは多孔質
母材の焼結ガラス化時に流す方法が知られているが、こ
のような方法では、ハロゲン化剤にょるＯＨ基の除去効
果が、多孔質母材のかさ密度、処理温度、ハロゲン止剤
流量、ハロゲン止剤純度等によって左右され、最適範囲
がせまく、制御が容易でない。ま次、ＯＨ基の除去効果
があったにもがかわらず、光７アイ・々としたときの伝
送損失が増大する場合もある。
本発明は上記に鑑みてなされたもので、その目的とする
ところは、０■Ｉ基濃度が低く、低損失の光ファイノこ
とすることができる光ファイノζ母材を製造することが
できる光ファイ・ζ母材の製造方法を提供することにあ
る。
ところは、０■Ｉ基濃度が低く、低損失の光ファイノこ
とすることができる光ファイノζ母材を製造することが
できる光ファイ・ζ母材の製造方法を提供することにあ
る。
本発明の特徴は、多孔質母材はかさ密度が０．２２／
ＣＣになるように成長させ、この多孔質母材を焼結ガラ
ス化するときに、まず、上記多孔質母材を不活性ガス中
で透明ガラス化しない１０００ 〜１２５０℃の範囲の
温度で少なくとも１回予備焼結し、その後、不活性ガス
中で透明ガラス化するさらに高い温度で仕上焼結して透
明ガラス化して光ファイノ々母材を製造するようにした
点にある。
ＣＣになるように成長させ、この多孔質母材を焼結ガラ
ス化するときに、まず、上記多孔質母材を不活性ガス中
で透明ガラス化しない１０００ 〜１２５０℃の範囲の
温度で少なくとも１回予備焼結し、その後、不活性ガス
中で透明ガラス化するさらに高い温度で仕上焼結して透
明ガラス化して光ファイノ々母材を製造するようにした
点にある。
以下本発明の方法の一実施例を第１図〜第４図を用いて
詳細に説明する。
詳細に説明する。
第１図は本発明の製造方法の一実施例を説明するだめの
装置の一例を示す全体縦断面図である。
装置の一例を示す全体縦断面図である。
第１図において、１は上方に向けて垂直に立てた・ζ−
す、２はガス導入ノ！ラス管、３はチャン・９合４は差
圧計、５はガラス管、６は排気孔付ガラスチャンノ々、
７は多孔質母材、８は仕切ガラス板、９はフラン、ジ、
１０は差圧計である。また、１１は７ランジ、１２はカ
ーｉンヒータ、１３は炉体カッζ−１１４はガスカーテ
ン、１５は差圧計、１６はガラス管、１７はカーゼンシ
ートシーリング板、１８は焼結ガラス、１９は石英棒タ
ーゲット、２０はノ々−ナー支持台、２１は火炎、２２
はカーヂン炉芯管である。
す、２はガス導入ノ！ラス管、３はチャン・９合４は差
圧計、５はガラス管、６は排気孔付ガラスチャンノ々、
７は多孔質母材、８は仕切ガラス板、９はフラン、ジ、
１０は差圧計である。また、１１は７ランジ、１２はカ
ーｉンヒータ、１３は炉体カッζ−１１４はガスカーテ
ン、１５は差圧計、１６はガラス管、１７はカーゼンシ
ートシーリング板、１８は焼結ガラス、１９は石英棒タ
ーゲット、２０はノ々−ナー支持台、２１は火炎、２２
はカーヂン炉芯管である。
光ファイ・ぐ、母材を製造する場合は、４重管となって
いる・ζ−す１に原料および燃料を送シ込む。
いる・ζ−す１に原料および燃料を送シ込む。
すなわち、５ｉｃ４を１２００ｒａｙ／馴１０ｅｃ１４
を１００１＋９／ｍｔｎ 、 Ｐｏｃ４を１〜ｓｍｙ／
＝＋ 、 Ａｒを１２００ （（７ｍ 、 Ｎ２を４．
３７／馴１ ｏ２をｓ、２ｓ／／ｒの流量で送り込む。
を１００１＋９／ｍｔｎ 、 Ｐｏｃ４を１〜ｓｍｙ／
＝＋ 、 Ａｒを１２００ （（７ｍ 、 Ｎ２を４．
３７／馴１ ｏ２をｓ、２ｓ／／ｒの流量で送り込む。
このとき、加水分解反応によって酸化物微粒子が生成さ
れ、この酸化物微粒子がバーナ１の上方の石英棒ターゲ
ット１９の先端に堆積し、多孔質母材７が成長する。こ
の場合、〕ζ−す１上方の火炎２１周辺に配置されたガ
ラス管５から不活性ガス・（Ｎωを吹き出させ、これを
火炎２１および多孔質母材７に当てて多孔質母材７の低
面形状が所定の形状す不活性Ｎ２ガスは、火炎２５の流
れ及び多孔質母料ｌＯの温度を整えてその形状と組成が
所定のものとなるようにしている。また、多孔質母材１
０の堆積中の状態はその先端外周の直径ＤＩ＋Ｄ２及び
Ｄ３の３個所を同時にテレビジョンカメラ２６、テレビ
ジョンディスプレイ２７によって表示測定でできるよう
にして調節可能にしている。
れ、この酸化物微粒子がバーナ１の上方の石英棒ターゲ
ット１９の先端に堆積し、多孔質母材７が成長する。こ
の場合、〕ζ−す１上方の火炎２１周辺に配置されたガ
ラス管５から不活性ガス・（Ｎωを吹き出させ、これを
火炎２１および多孔質母材７に当てて多孔質母材７の低
面形状が所定の形状す不活性Ｎ２ガスは、火炎２５の流
れ及び多孔質母料ｌＯの温度を整えてその形状と組成が
所定のものとなるようにしている。また、多孔質母材１
０の堆積中の状態はその先端外周の直径ＤＩ＋Ｄ２及び
Ｄ３の３個所を同時にテレビジョンカメラ２６、テレビ
ジョンディスプレイ２７によって表示測定でできるよう
にして調節可能にしている。
上記３重管構造の）ζ−す１の中心管より５ｉｃＲ４を
２ｏｏｗｑ１分、Ｇｅｃｌ１４をｔａｏｑ／分、Ａｒキ
ャリア８００ＣＣ／分、Ｎ２を２５Ｌ／分の混合ガスを
噴出し、その外側の管からはＡｒを１．２β／分、最外
管よシは０２を５Ｉ１．７分供給する。また、ノクーナ
ｌの周辺に配設したガラス管からＮ２を供給しているが
、内側から１０１！、７分、２０わ毎、３０ｆ１．７分
、３０２！分の順に流して火炎２５を安定化し、多孔質
母材１０の形状を制御している。このようなガス流量を
設定し 、Ｓ−す１の中心と石英棒ターゲット２０の中
心とのずれ質母材１０を焼結ガラス化することによって
次に示すような光ファイノ々母材１９が得られた。
２ｏｏｗｑ１分、Ｇｅｃｌ１４をｔａｏｑ／分、Ａｒキ
ャリア８００ＣＣ／分、Ｎ２を２５Ｌ／分の混合ガスを
噴出し、その外側の管からはＡｒを１．２β／分、最外
管よシは０２を５Ｉ１．７分供給する。また、ノクーナ
ｌの周辺に配設したガラス管からＮ２を供給しているが
、内側から１０１！、７分、２０わ毎、３０ｆ１．７分
、３０２！分の順に流して火炎２５を安定化し、多孔質
母材１０の形状を制御している。このようなガス流量を
設定し 、Ｓ−す１の中心と石英棒ターゲット２０の中
心とのずれ質母材１０を焼結ガラス化することによって
次に示すような光ファイノ々母材１９が得られた。
分を１呻次ゼ過させる。このとき、カーゼンヒータ１２
の部分を通過した予備焼結体２３は透明な焼結ガラス１
８となり、目的とする光ファイ・ζ母材が得られる。
の部分を通過した予備焼結体２３は透明な焼結ガラス１
８となり、目的とする光ファイ・ζ母材が得られる。
上記のようにして製造した光ファイ・ζ母材の分光特性
は、第４図の曲線ａに示すようになシ、従来の１回の焼
結で焼結ガラス化した光ファイノ々母材の分光特性を示
す曲線すと比較すると良好となり、波長１．３μｍでの
伝送損失は０．６ｄＢ／ｋｍと小さくなる。これはＯＨ
基除去効果があったことによるもので、本発明の方法に
よって製造した光ファイノ々母材の残存ＯＨ基濃度は２
０ ｐ ｐ ｂであった。
は、第４図の曲線ａに示すようになシ、従来の１回の焼
結で焼結ガラス化した光ファイノ々母材の分光特性を示
す曲線すと比較すると良好となり、波長１．３μｍでの
伝送損失は０．６ｄＢ／ｋｍと小さくなる。これはＯＨ
基除去効果があったことによるもので、本発明の方法に
よって製造した光ファイノ々母材の残存ＯＨ基濃度は２
０ ｐ ｐ ｂであった。
第３図は本発明の方法の他の実施例を説明するための第
２図に相当する説明図で、第２図と同一部分は同じ符号
で示しである。第３図においては、炉体カッζ−１３内
のカーＩン炉芯管２２の部分に図示のようＫ １２５０
℃に加熱するカーインヒータ１２と１４５０℃に加熱す
るカーゼンヒータ１２′とを設け、第２図の場合と同様
、ガラス管１６内にはＨｅガスヲ２ｏｌ／＝の流量で上
から下へ流し、ガス管１６内の内圧が外部よりも０．２
〜１ ｍｍｌ−１２０高くなる状態にし、多孔質母材７
を下から上へ１ ｍｍ ／―の速度で引き上げ、カーボ
ンヒータ１２の部分で多孔質母材７を予備焼結体２３と
し、この予備焼結体２３をカーボンヒータ１２′の部分
で焼結ガラス１８として光ファイノζ母材を得るように
しである。この場合も、第４図の曲線ａ、ｌ！：同様の
分光特性のものが製造できる。
２図に相当する説明図で、第２図と同一部分は同じ符号
で示しである。第３図においては、炉体カッζ−１３内
のカーＩン炉芯管２２の部分に図示のようＫ １２５０
℃に加熱するカーインヒータ１２と１４５０℃に加熱す
るカーゼンヒータ１２′とを設け、第２図の場合と同様
、ガラス管１６内にはＨｅガスヲ２ｏｌ／＝の流量で上
から下へ流し、ガス管１６内の内圧が外部よりも０．２
〜１ ｍｍｌ−１２０高くなる状態にし、多孔質母材７
を下から上へ１ ｍｍ ／―の速度で引き上げ、カーボ
ンヒータ１２の部分で多孔質母材７を予備焼結体２３と
し、この予備焼結体２３をカーボンヒータ１２′の部分
で焼結ガラス１８として光ファイノζ母材を得るように
しである。この場合も、第４図の曲線ａ、ｌ！：同様の
分光特性のものが製造できる。
以上説明したように、本発明によれば、ＯＨ基濃度が低
く、低損失の光ファイ・ことすることができる光ファイ
ノ々母材を製造することができるという効果がある。
く、低損失の光ファイ・ことすることができる光ファイ
ノ々母材を製造することができるという効果がある。
第１図は本発明の光ファイ・ζ母材の製造方法の一実施
例を説明するだめの装置の一例を示す全体縦断面図、第
２図は本発明の方法の要点の一実施例を説明するための
説明図、第３図は本発明の方法の要点の他の実施例を説
明するだめの第２図に相当する説明図、第４図は光ファ
イノこの分光特性線図である。 １・・′す々−す、７・・・多孔質母材、１２．１２’
・・・カーボンヒータ、１６・・・ガラス管、１８・・
・焼結ガラス、１９・・・石英棒ターゲット、２１・・
・火炎、２２・・・カーヂン炬芯管、２３・・・予備焼
結体。 第 １ 目 算２１ （ａ） ｌｂｌ曝３図
例を説明するだめの装置の一例を示す全体縦断面図、第
２図は本発明の方法の要点の一実施例を説明するための
説明図、第３図は本発明の方法の要点の他の実施例を説
明するだめの第２図に相当する説明図、第４図は光ファ
イノこの分光特性線図である。 １・・′す々−す、７・・・多孔質母材、１２．１２’
・・・カーボンヒータ、１６・・・ガラス管、１８・・
・焼結ガラス、１９・・・石英棒ターゲット、２１・・
・火炎、２２・・・カーヂン炬芯管、２３・・・予備焼
結体。 第 １ 目 算２１ （ａ） ｌｂｌ曝３図
Claims (1)
- １、 垂直に立てた・々−すの火炎中に原料を送り込ん
で酸化物微粉子を生成し、該酸化物微粒子を前記・々−
す上方の棒状体の先端をターゲットとして吹き付けて堆
積させて多孔質母材を成長させ、その後、該多孔質母材
を焼結ガラス化して光フアイバ母材を製造するときに、
前記多孔質部材はかさ密度が０．２ｆｔ／ｃｃになるよ
うに成長させ、該多孔質部材を焼結ガラス化するときに
、まず、前記多孔質母材を不活性ガス中で透明ガラス化
しない１０００〜１２５０℃の範囲の温度で少なくとも
１回予備焼結し、その後、不活性ガス中で透明ガラス化
するさらに高い温度で仕上焼結して透明ガラス化するこ
とを特徴とする光ファイ・９母材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4955283A JPS59174538A (ja) | 1983-03-24 | 1983-03-24 | 光フアイバ母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4955283A JPS59174538A (ja) | 1983-03-24 | 1983-03-24 | 光フアイバ母材の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59174538A true JPS59174538A (ja) | 1984-10-03 |
Family
ID=12834353
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4955283A Pending JPS59174538A (ja) | 1983-03-24 | 1983-03-24 | 光フアイバ母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59174538A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6272536A (ja) * | 1985-09-25 | 1987-04-03 | Asahi Glass Co Ltd | 高純度石英ガラスの製造方法 |
| JPS6283325A (ja) * | 1985-10-08 | 1987-04-16 | Asahi Glass Co Ltd | 高純度石英ガラスの製造方法 |
| JPS62187130A (ja) * | 1986-01-30 | 1987-08-15 | コーニング インコーポレイテッド | ガラス材料処理用加熱炉 |
| EP0547560A2 (en) † | 1991-12-16 | 1993-06-23 | Sumitomo Electric Industries, Ltd | Process for vitrification of a porous preform for glass optical fibers by heating under reduce |
| EP0626351A1 (en) * | 1993-05-24 | 1994-11-30 | Litespec, Inc. | Process for sintering porous optical fibre preforms |
| US5656057A (en) * | 1995-05-19 | 1997-08-12 | Corning Incorporated | Method for drying and sintering an optical fiber preform |
-
1983
- 1983-03-24 JP JP4955283A patent/JPS59174538A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6272536A (ja) * | 1985-09-25 | 1987-04-03 | Asahi Glass Co Ltd | 高純度石英ガラスの製造方法 |
| JPH0416416B2 (ja) * | 1985-09-25 | 1992-03-24 | Asahi Glass Co Ltd | |
| JPS6283325A (ja) * | 1985-10-08 | 1987-04-16 | Asahi Glass Co Ltd | 高純度石英ガラスの製造方法 |
| JPS62187130A (ja) * | 1986-01-30 | 1987-08-15 | コーニング インコーポレイテッド | ガラス材料処理用加熱炉 |
| EP0547560A2 (en) † | 1991-12-16 | 1993-06-23 | Sumitomo Electric Industries, Ltd | Process for vitrification of a porous preform for glass optical fibers by heating under reduce |
| EP0547560B2 (en) † | 1991-12-16 | 2001-03-28 | Sumitomo Electric Industries, Ltd | Process for vitrification of a porous preform for glass optical fibers by heating under reduced pressure |
| EP0626351A1 (en) * | 1993-05-24 | 1994-11-30 | Litespec, Inc. | Process for sintering porous optical fibre preforms |
| US5656057A (en) * | 1995-05-19 | 1997-08-12 | Corning Incorporated | Method for drying and sintering an optical fiber preform |
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