JPS6041627B2 - 光ファイバ母材の製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は光通信用の単一モード光ファイバ母材の製造方
法に関する。

単一モード光ファイバは伝送帯域がきわめて広いので、
将来の大容量長距離伝送路として期待されている。

単一モード光ファイバ母材の製造方法としては、従来、
いわゆるＭＣＶＤ法（ＭＯｄｌｆｉｅｄＣｈｅｍｉｃａ
ｌ■ＡｐＯｒｐｈａｓｅＤｅｐＯｓｉｔｉＯｎ）による
ものが知られている。この方法は、母材石英ガラス管の
内壁面にクラッドガラス層およびコアガラス層を形成し
た後、中実化し７て光ファイバ用母材を得るもので、得
られた単一モード光ファイバの伝送損失が小さく、例え
ば、近年注目されている長波長域１．５５μｍ帯で１ｄ
Ｂ１ｋｒｆＬ程度以下の単一モード光ファイバを製造す
ることができる。しかし、この製造方法では、１本の光
ファイバ用母材から得られる単一モード光ファイバの長
さは通常２〜５ｈ１最大てもせいせい１０脂程度と限ら
れ、単一モード光ファイバを大量生産するためには問題
点が残されていた。また、単一モード光ファイバを製造
する他の方法として、いわゆる山ンド・イン・チューブ
法が知られている。

この方法はコア部となるガラスロッドをいわゆるプラズ
マ法等により合成した後、適当な寸法を有する石英ガラ
ス管中に封入して単一モード光ファイバ用母材を得るも
のである。このロッド・イン・チューブ法は、前述のＭ
ＣＶＤ法に比べて、光ファイバの大量生産には適してい
るが、光伝送損失が大きいという欠点がある。光伝送損
失が大きい理由は、単一モード光ファイバの導波特性に
起因し、単一モード光ファイバでは、光パワーのかなり
の部分がコア内のみならずクラッド部をも伝搬するので
、コア部としてのガラス棒とクラッド部としての石英ガ
ラス管との界面の不整や不純物の影響、さらには石英ガ
ラス管中の不純物、例えば、０Ｈ基や微少気泡の影響を
受け、光伝送損失を５ｄＢＩｋｍ以下に低下させること
が困難であるという事情があつた。他方、丸棒状の多孔
質ガラス母材を作り、次にこれを高温に加熱、脱泡して
透明ガラス母材を得る■ＡＤ法（ＶａｐＯｒＰｈａｓｅ
ＡｘｉａｌＤｅｐＯｓｉｔｉＯｎ）は光ファイバを大量
生産するのに適しているが、かかる■ＡＤ法においては
、ＳｉＣｌ４、ＧｅＣｌ４、ＰＯＣｌ３、ＢＢｒ３等の
ガラス原料および０２、Ｈ２、Ａｒ．．Ｈｅ等の火炎用
ガスを合成トーチに導き、この合成トーチによつて加水
分解反応または熱酸化反応により合成されたＳｌＯ２、
ＧｅＯ２、Ｐ２Ｏ５、Ｂ２Ｏ３等のガラス微粒子を出発
基板または支持棒等の種棒に付着して堆積させて棒状の
コア用多孔質ガラス母材を形成する。

この多孔質ガラス母材を高温加熱体によつて１５００〜
１７００℃に加熱し、脱泡を行つて透明ガラス化された
光ファイバ母材を得る。ここで、合成トーチは、通常は
、中心部に円形断面のガラス原料吹出口を有し、その周
囲にＮ．．Ｈｅ等の助熱ガス吹出口をこの順序で同心円
状に配置した多重管として形成され、ガラス原料などと
共に吹き出される火炎によつてガラス微粒子を生じ、こ
のガラス微粒子を種棒上に焼結して堆積させ、棒状ガラ
ス焼結体を軸方向に成長させる。

従来は、合成トーチおよびこの合成トーチから吹き出す
火炎流を種棒および多孔質ガラス母材の回転軸に対して
同軸または平行に配置していたが、このような合成トー
チにより光ファイバ用多孔質ガラス母材を作る際には、
生成されるガラス微粒子が上述した軸方向と直交する方
向、すなわち、水平方向に拡散するので、形成されたガ
ラス焼結体の直径を旬順程度以下にすることが困難であ
つた。そして、中心部のガラス原料吹出口の面積をいく
ら小さくしても、あるいは火炎を集束させても、ガラス
焼結体の直径を４―程度以下にするのは困難であつた。
更に上述したＶＡＤ法に改良を加えて、合成トーチおよ
び火炎流を種棒および多孔質ガラス母材の回転軸に対し
て所定角度だけ傾斜させることにより、多孔質ガラス母
材の直径を３０ＴｆｒＩｎ程度にまで細くして安定に製
造することができたが、かかる直径を３０Ｔｆ０！ｌ以
下にすることは難しかつた。

直径３０？の多孔質ガラス母材をコア用多孔質ガラス体
となし、更に補助トーチによりこの棒状のコア用多孔用
質ガラス体にクラッド層を付着して堆積させると、クラ
ッド外径／コア径比は最大で約２となる。単一モード光
ファイバを形成するためには、後に詳述するように、ク
ラッド外径／コア径比を約３以上にすることが要求され
るが、上述した例ではこの比が２程度であり、クラッド
層厚が不足する。

そこで、クラッド層の厚さを大きくとつて比を大きくす
ることが考えられるが、この比を３程度以上にとろうと
すると、クラッド用多孔質ガラス母材の直径が１００ｗ
ｎを越え、応力のために多孔質ガラス母材がひび割れた
り、あるいはかかる直径が大きすぎて透明ガラス化の際
に取り扱いが不便になる欠点があり、大量生産できると
いう■油法の利点を生かして単一モード光ファイバを製
造することができなかつた。本発明の目的は上述した従
来の欠点を除去して、ＶＡＤ法により光伝送損失の少な
い単一モード光ファイバを大量生産することのできる単
一モード光ファイバ母材の製造方法を提案することにあ
る。

かかる目的を達成するために、本発明では、多重円筒状
に区分された複数の吹出口を有する多重管トーチの区分
された各吹出口に、少なくとも可燃性ガス、支燃性ガス
およびガラス原料ガスを送り込み、当該多重管トーチの
端部において火炎流を形成し、火炎流中でガラス原料ガ
スを火炎加水分解してガラス微粒子を形成し、ガラス微
粒子を火炎流によつて種棒の一端に吹き付けて付着、堆
積させて軸方向に成長させ、その後、種棒に付着、堆積
したガラス微粒子を加熱して透明ガラスとする光ファイ
バ母材の製造方法において、複数・の多重管トーチを用
い、そのうちの少なくともひとつの多重管トーチは、ガ
ラス原料ガスが送り込まれる吹出口が、火炎流中に、そ
の火炎流の中心から偏つて形成されたトーチであり、当
該多重管トーチの当該吹出口にコア用ガラス原料ガスを
送り込んでコア用ガラス微粒子を形成し、コア用ガラス
微粒子を火炎流により種棒の一端に吹き付けて付着、堆
積させて軸方向に成長させ、その外側には、クラッド用
多重管トーチにより形成したクラッド用ガラス微粒子を
付着、堆積させ、その）後、コア用およびクラッド用ガ
ラス微粒子を加熱して透明ガラスとする。

本発明の他の形態では、多重円筒状に区分された複数の
吹出口を有する多重管トーチの区分された各吹出口に、
少なくとも可燃性ガス、支燃性ガスおよびガラス原料ガ
スを送り込み、当該多重管トーチの端部において火炎流
を形成し、火炎流中でガラス原料ガスを火炎加水分解し
てガラス微粒子を形成し、ガラス微粒子を火炎流によつ
て種棒の一端に吹き付けて付着、堆積させて軸方向に成
長させ、その後、種棒に付着、堆積したガラス微粒子を
加熱して透明ガラスとする光ファイバ母材の製造方法に
おいて、複数の多重管トーチを用い、そのうちの少なく
ともひとつの多重管トーチは、ガラス原料ガス吹出口が
３つに分割されており、火炎流の中心から偏つた位置の
コア用ガラス原料吹出口、吹出口に隣接する直径調整用
ガス吹出口および補助可燃ガス吹出口を有するトーチで
あり、トーチのそれぞれの吹出口にコア用ガラス原料、
直径調整用ガスおよび可燃ガスを送り込んで、火炎流中
でコア用ガラス微粒子を形成し、コア用ガラス微粒子を
火炎流により種棒の一端に吹き付けて付着、堆積させて
軸方向に成長させ、その外側には、クラッド用多重管ト
ーチにより形成したクラッド用ガラス微粒子を付着、堆
積させ、その後、コア用およびクラッド用ガラス微粒子
を加熱して透明ガラスとする。

本発明の更に他の形態では、多重円筒状に区分された複
数の吹出口を有する多重管トーチの区分された各吹出口
に、少なくとも可燃性ガス、支燃−性ガスおよびガラス
原料ガスを送り込み、当該多重管トーチの端部において
火炎流を形成し、火炎流中でガラス原料ガスを火炎加水
分解してガラス微粒子を形成し、ガラス微粒子を火炎流
によつて種棒の一端に吹き付けて付着、堆積させて軸方
向、に成長させ、その後、種棒に付着、堆積したガラス
微粒子を加熱して透明ガラスとする光ファイバ母材の製
造方法において、複数の多重管トーチを用い、そのうち
の少なくともひとつの多重管トーチは、ガラス原料ガス
吹出口が３つに分割されて．おり、中央のコア用ガラス
原料ガス吹出口と、その両側の制御ガス吹出口を有する
トーチであり、トーチの両制御ガス吹出口から、制御ガ
スを互いに異なる流量で吹き出しながら、コア用ガラス
原料ガス吹出口にコア用ガラス原料ガスを送り込・み、
コア用ガラス微粒子を形成し、コア用ガラス微粒子を火
炎流により種棒の一端に吹き付けて付着、堆積させて軸
方向に成長させ、その外側には、クラッド用多重管トー
チにより形成したクラッド用ガラス微粒子を付着、堆積
させ、その後、コア用およびクラッド用ガラス微粒子を
加熱して透明ガラスとする。

ここで、コア用ガラス微粒子を形成する少なくともひと
つの多重管トーチを、多重管トーチからの火炎流が種棒
に対して、傾斜するように配置するのが好適である。

以下に図面を参照して本発明の詳細な説明する。

まず最初に、低損失な単一モード光ファイバを得るため
には、コアの直径をなるべく小さくしてクラッド径／コ
ア径比を３程度以上にすることが必要である理由につい
て説明する。

一般に、単一モード光ファイバを製造するにあたつては
、コアおよびクラッド用の透明ガラス母材を石英ガラス
管の内径に合わせて引伸し加工し、次いで引伸し加工さ
れた透明ガラス母材を石英ガラス管の中に挿入して封じ
加工し（ジャケット工程）、得られた単一モード光ファ
イバ用母材をその後、線引装置により線引きして単一モ
ード光ファイバを得る。

ここで、引伸ば七加工された透明ガラス母材のコア部直
径を２Ａ１クラッド部直径を２Ｂ１石英ガラス管の外径
をＤ１、同じく内径をＤ２とすると、単一モード光ファ
イバ用母材を外径ｄの光ファイバとして線引きした場合
の光ファイバ中のコア径２ａは次式で与えられる。この
光ファイバについての単一モード条件は次式で与られる
。ここで、Ｖは正規化周波数、λは光源波長、ｎ１よお
び〜はそれぞれコア部およびクラッド部の屈折率である
。

実用上ｎ１＆Ｒｌ２（１．４５８であり、（２）式は次
のように変形される。ここで、Δｎ＝ｎ１−〜である。

ロッド・イン・チューブ法の欠点に関連して上述したよ
うに、低損失の単一モード光ファイバを得るためには、
光パワーがコア部周囲のクラッド部にまで拡がつている
ことから、ガラス母材を製造する際には十分に厚いクラ
ッド層を形成すること、すなわち、ガラス母材のクラッ
ド径／コア径比２Ｂ／２Ａを十分に大きくすることが必
要不可欠である。

第１図は、石英ガラス管２１に含まれている０Ｈ基（＆
２００ｐｐｍ）の波長１．３９μｍにおける０Ｈ基吸収
損失への影響をカットオフ波長λｃをパラメータとして
クラッド径／コア径比の関数として計算した論理値を示
したものである。

１．３μｍ帯や１．５５μｍ帯の、いわゆる長波長域で
低損失な単一モード光ファイバを得るためには、波長１
．３９μｍての０Ｈ基吸収損失を２０ｉＢＩ嫡程度以下
にする必要があり、通常はカットオフ波長は１．０〜１
．２μｍ程度に設定されることから、第１図より、３程
度以上のクラッド径／コア径比が必要であることがわか
る。

また、クラッド径／コア径比が３程度以上あれば、透明
ガラス母材と石英ガラス管との界面の汚染の影響も同時
に防止される。従来の■ＡＤ法によれば、光ファイバの
大量生産を行うことはできても、クラッド径／コア径比
が３程度以上の多孔質ガラス母材を得ることがきわめて
困難てあり、従つて、単一モード光ファイバを製造する
ことができなかつた。

その理由は、従来の■ＡＤ法ては、用いられているコア
用トーチに主として起因して、コア用多孔質ガラス体の
直径を３０喘以下にすることが難しく、従つて、クラッ
ド径／コア径比を３程度以上にとるためには多孔質ガラ
ス母材の直径（クラッド外径）が１００＝を越え、応力
のために多孔質ガラス母材がひび割れたり、さらには透
明ガラス化そのものも困難になるためてある。本発明者
は、上記の問題を解決するために、■ＡＤ法におけるコ
ア用トーチの構造や母材作製条件の検討を種々行い、可
燃ガス吹出口の中心域に対して偏心したガラス形成原料
ガス吹出口を有するコア用トーチが、直径２０ＴＩｒＩ
Ｉｔφ以下のコア用多孔質ガラス体の形成を容易にし、
ひいてはクラッド径／コア径比を３程度以上に大きくす
ることが可能なことを見出し、その認識のもとに本発明
を完成した。本発明製造方法の一例を第２図および第３
図を参照して説明する。

第２図は本発明による透明ガラス母材の製造装置の一例
を示し、第３図は透明ガラス母材のジャケット加工の工
程を示す。第２図において、１は反応容器、２は多孔質
ガラス体を付着、堆積させて成長させるための種棒とし
ての支持棒、３は支持棒２を回転させながら上昇させる
回転上昇装置、４はコア用トーチ、５はクラッド用トー
チである。コア用トーチ４は支持棒２の軸方向２Ａに対
して係斜角度θ七３０〜５０度傾けて反応容器１に取付
ける。なお、この傾斜角は調節可能にするのが好適であ
る。コア用トーチ４自体の詳細については後に述べる。
６はトーチ４および５へのガラス原料、例えばＳｉＣｌ
４、ＧｅＣｌ４、ＰＯＣｌ３、ＢＢｒ３等およびＡｒ．
Ｈｅ．．Ｎ２等の雰囲気ガス、Ｈ２等の可燃ガスおよび
０２等の助燃ガス（火炎用ガスと総称する）を供給する
供給装置であり、この供給装置６からのガラス原料ガス
導管７Ａおよび７Ｂを介してガラス原料ガスをトーチ４
および５に供給し、火炎用ガス導管束８Ａおよび８Ｂを
介して各種火炎用ガスをトーチ４および５に供給する。

９は反応容器１に取付けた排気口であり、この排気口９
により、反応容器１内でトーチ４および５の火炎による
加水分解反応または熱酸化反応によつて生じたＨ２Ｏ．
ＨＣｌ、ＣＩ２等のガス、未反応のＳｉＣｌ４、ＧｅＣ
ｌ４、ＰＯＣｌ３、ＢＢｒ３等のガラス原料、Ｎ，，Ｈ
ｅ．．Ｎ２等を排出させ、これらの排ガスを排ガス処理
装置１０で処理する。排気口９はコア用多孔質ガラス体
１１Ａの側面より間隔Ａをもつて配置する。１１Ａは形
成されたコア用多孔質ガラス体、１１Ｂはコア用多孔質
ガラス体１１Ａの周囲に堆積されたクラッド用多孔質ガ
ラス体（クラッド層）、１２はコア部およびクラッド部
から成る多孔質ガラス母材、１３は多孔質ガラス母材１
，２を貫通させ、１５００〜１７００゜Ｃで加熱して脱
泡を行つて透明ガラス化する環状ヒータ、１４はヒータ
１３を通過して得られた透明ガラス母材、１５は脱水処
理ガス用のハロゲン系ガス、例えばＨｅ．ｌ５Ｃｌ２と
の混合ガスの供給装置、１６は脱水処理ガスを反応容器
１に供給する供給口である。

第２図示の装置を動作させるには、まずコア用トーチ４
に供給装置６より導管７Ａおよび８Ａを介してＳｉＣｌ
４を主成分とするガラス形成原料ガスお主び火炎用ガス
を供給し、支持棒２の端面に二酸化けい素゛（ＳｉＯ２
）を主成分とし、ドーパントしてＧｅＯ２やＰ２Ｏ．を
含むガラス微粒子を付着させ、支持棒２を回転上昇装置
３により回転させながら上方に移動させてコア用多孔質
ガラス体１１Ａと成長させる。これと同時に、コア用多
孔質ガラス体１１Ａをとり囲むように、クラッド用バー
ナ５によりＳｌＯ２のみ、あるいはＳｉＯ２を主成分と
し、Ｐ２Ｏ，やＢ２Ｏ３を含むガラス微粒子を付着させ
てクラッド用多孔質ガラス層１１Ｂを形成する。このよ
うにして形成したコア部およびクラッド部から成る多孔
質ガラス母材１２を、つづいて、透明ガラス化用ヒータ
８により１５００℃程度に加熱し、それによりコアガラ
スをクラッドガラスが取り囲んだ透明ガラス母材１４が
得られる。透明ガラス化の際、供給口１６からは脱水処
理ガス（例えばＨｅ（５Ｃ１２との混合ガス）が反応容
器１内に供給され、多孔質ガラス母材１４中の０Ｈ基の
除去が行われる。このようにして作製された透明ガラス
母材１４をジャケット処理する工程を第３図により説明
する。第３図に示すように、透明ガラス母材１４を石英
管５０の内径に合わせて引伸ばし加工する。次に、引伸
はし加工された透明ガラス母材１４″を石英ガラス管５
０の中に封入して封じ加工し、単一モード光ファイバ用
母材５１を得る。この単一モード光ファイバ用母材５１
は、その後、慣例の線引き装置により線引きして単一モ
ード光ファイバを得る。本発明の種々の実施例を、図面
を参照しながら、それぞれにおいて使用するコア用トー
チの種々の形態と共に説明する。

実施例１ 第４Ａ図は本発明の第１の形態において用いるコア用ト
ーチの一実施例の横断面図、第４Ｂ図はその縦断面図で
あり、図中、６１はガラス原料ガス吹出口、６２は不活
性ガス吹出口、６３は可燃、ガス吹出口、６４は助燃ガ
ス吹出口である。

ここで、各吹出口６１，６２，６３および６４は断面が
矩形の多重管６５，６６，６７および６８により限界さ
れた矩形環状の断面を有する。第４Ａ図および第４Ｂ図
から明らかなように、原料ガス吹！出口６１は不活性ガ
ス吹出口６２を介して可燃ガス吹出口６３に取り囲まれ
、かつこの取り囲まれた区域、すなわち可燃ガス吹出口
６３により区切られた内側域の中心より偏心距離１だけ
偏つて設けられている。更に、可燃ガス吹出口６３はそ
のっ外側を助燃ガス吹出口６４により取り囲まれている
。なお、矩形管６５，６６，６７および６８は石英ガラ
スで形成することができる。なお、トーチ４の各部の寸
法は第４Ａ図に示した目盛（１０？）より知ることがで
きる。このような吹出口６１〜６４を有するコア用トー
チ４を用い、第５図のようにコア用トーチ４を、その軸
方向を支持棒２軸方向２Ａに対して角度θだけ傾けて配
置し、各吹出口６１，６２，６３および６４より次の条
件でそれぞれガスを吹き出してコア用多孔質ガラス体１
１Ａを形成した。

ここで、０＝４５度、１＝５７ｗｔ，．Ａ＝１５ｗｒ！
ｎとした。コア用トーチの外寸法は、第４Ａ図において
、横”２５悶、縦１６ｗｔとした。原料ガス吹出口６１
の内寸法は、横１Ｔｆ＄Ｔ．縦２顛とした。第５図にお
いて、６９はガラス微粒子流、７０は酸水素炎を示す。
原料ガス吹出口６１；ＳｌＣｌ４（サチユレータ温度４
００Ｃ１キャリア用ｋガス７０ｃｃ／分）ＧｅＣｌ４（
サチユレータ温度１５℃、キャリア用Ｎガス５０ｃｃ／
分）不活性ガス吹出口６２；ｋガス１．５′／分可燃ガ
ス吹出口６３：Ｈ２ガス２．５ｅ／分助燃ガス吹出口６
４；０２ガス７ｆ／分この結果、直径１８？のコア用多
孔質ガラス体１１Ａを支持棒２の端面に成長させること
ができた。

コア用多孔質ガラス体１１Ａの周囲には、第２図に示し
たように、クラッド用トーチ５によりクラッド層１１Ｂ
を堆積させた。

クラッド用トーチ５としては、通常の■ＡＤ法で用いら
れている同心多重管トーチを用いることができる。第６
Ａ図は本実施例て用いたクラッド用トーチ５としての四
重管トーチの横断面図、第６Ｂ図は縦断面図であり、こ
こで７１は原料ガス吹出口、７２は不活性ガス吹出口、
７３は可燃ガス吹出口、７４は助燃ガス吹出口であり、
これら吹出口７１，７２，７３および７４を石英ガラス
製の四重管７５，７６，７７および７８により限界して
円環状に形成する。このクラッド用トーチを第２図のよ
うに配置してコア用多孔質ガラス体１１Ａの周囲に次の
条件でクラッド用多孔質ガラス体（クラッド層）１１Ｂ
を堆積させた。原料ガス吹出口７１；ＳｉＣｌ４（サチ
ユレータ温度４０℃、キャリア用Ｎガス流量２５０ｃｃ
／分）不活性ガス吹出口７２；Ｈｅガス１．０ｆ／分可
燃ガス吹出口７３；山ガス３．５ｅ／分助塩ガス吹出口
７４；０２ガス４．５ｅ／分この結果、先に形成したエ
ア用多孔質休ガラス体（直径１８朋）の周囲に直径６０
Ｔｎ！１１のクラッド用多孔質ガラス体１１Ｂを形成し
、以て多孔質ガラス母材１２が得られた。

なお、多孔質ガラス母材１２の軸方向への成長速度は４
０ＷＩＬ／時程度であつた。多孔質ガラス母材１２は上
部に設けたリング状の透明ガラス化用ヒータ１３により
加熱されるが、加熱と同時に、脱水処理ガス供給装置１
５よりガス供給口１６を経て、Ｈｅガス（１０′／分）
およびＣＩ２ガス（イ）．５ｅ／分）を加熱部へ供給し
、多孔質ガラス母材１２に含まれている０Ｈ基やＨ２Ｏ
分子を除去しつつ１５００′Ｃで透明ガラス化した。

このようにして得られた透明母材１４の外径（クラッド
部直径）は３？、コア部直径は９？、コア部とクラッド
部の屈折率差Δｎ＝０．００２９てあつた。屈折率の絶
対値は、波長１．３μｍにおいて、ｎ１＝１．４４７０
およびＮ２＝１．４４９９であつた。ここで、上述した
間隔Ａを１〜５０ｗＬの範囲内に定めると、得られるコ
ア用多孔質ガラス体１１Ａの外径変動を著しく改善でき
るほか、多孔質ガラス体１１Ａの側面に、通常の■油法
のようにかさ密度の小さなガラス微粒子層が形成される
こともなく、従つて、コア用多孔質ガラス体１１Ａの外
径寸法が異常に大きくなることもない。しかも、多孔質
ガラス体１１Ａ側面に、“ひび割れ゛を生じることもな
く、透明ガラス化によつて安定した透明ガラス母材を得
ることができる。例えは、第５図において、間隔Ａを１
５閘とし、排気口９から排出される余剰ガラス微粒子、
反応生成ガス、未反応雰囲気ガス等の不要ガスの排出量
が、ガラス微粒子流６９と酸水素炎７０との吹出量と同
程度となるように調整した場合、製造された多孔質ガラ
ス体１１Ａの外径寸法の変動を±０。

０５胴程度まて改善できた。

また、余剰ガラス微粒子によるかさ密度の小さなガラス
微粒子層は形成されずに安定して透明ガラス母材を製造
することができた。しかしながら、第５図において、間
隔Ａを５０ｗｎ以上にした場合、不要ガスのうち排気口
９から取り除かれる量が少なくなり、余剰ガラス微粒子
がコア用多孔質ガラス体１１Ａの側面に付着し、上述し
た従来の問題点が生じた。

一方、第５図において、間隔Ａを１朗以下にした場合、
コア用多孔質ガラス体１１Ａの回転に伴う機械的位置変
動のために、排気口９が多孔質ガラス体１１Ａの側面に
接触して側面に凹凸を生じる。

従つて、最終的に得られた透明ガラス母材を光ファイバ
母材として使用できないという問題点が生じた。以上の
ように排気口９を配設することにより、コア用多孔質ガ
ラス体１１Ａの側面にかさ密度の小さなガラス微粒子層
が形成されてないので、そのコア用多孔質ガラス体１１
Ａの側面に、クラッド用トーチ５によりクラッド用のガ
ラス微粒子層を容易に付着、堆積させることができる。

その際のクラッド用多孔質ガラス体１１Ｂの側面に、上
述したと同様の間隔Ａ″＝１〜５『をもつて第２の排気
口を設けることにより、上述したような利点を発揮させ
て■ＡＤ法による単一モード光ファイバ母材の製造歩留
まりを向上させることができる。なお、第２図の例では
、１つの排気口９を設けるのみであるが、コア用および
クラッド用多孔質ガラス体１１Ａおよび１１Ｂと排気口
９との間隔ＡおよびＡ″をいずれも１〜５０７０７７！
の範囲内に収めることにより、上述した利点を発揮する
ことができる。以上の工程により作製された透明ガラス
母材１４（外径３０ＴＷＬ）を、酸水素バーナにより引
き伸ば、し加工し、外径Ｄ二６．７７７Ｓｔ１コア部直
径２Ａ＝２？のガラス母材１４″を得た。

つづいてガラス母材１４″を外径Ｄ１＝２６Ｔｍ！ｎ、
内径Ｄ２＝７ＷＬの石英ガラス管５０中に封じ込めて光
ファイバ母材５１を得た。この光ファイバ母材５１を線
引きして外径川２５Ｐ７ｒ１．の光ファイバを形成する
と、その光ファイバのコア径は（１）式より２ａ■９．
６μｍとなる。Ｖ＝２．４０５となる波長、すなわち、
カットオフ波長はλｃ灯１．１５μｍとなる。このカッ
トオフ波長は実際に作製した光ファイバにおける測定値
とよく５一致した。以上の方法により、長さ１０Ｃ！ｎ
の透明ガラス母材１４から長さが約３０ｈもある単一モ
ード光ファイバを２本得ることができた。そして、これ
らの光ファイバの光伝送損失は波長１．５５μｍで平均
して１ｄＢＩｋｒｆＬと小さいものであつた。また、θ
波長１．３９μｍでの０Ｈ基吸収損は２０ｄＢＩ１ｍ程
度であつた。本実施例において、第４Ａ図および第４Ｂ
図に示したコア用トーチにより直径１８７０７！程度の
細径のコア用多孔質ガラス体１１Ａを成長させることが
できた理由は、第５図に示すようにトーチ４が軸方向２
Ａに対して角度θ（本例では４５度）傾いており、しか
も原料ガス吹出口６１がトーチ下部に偏つており、かつ
その上部に酸水素炎７０流があるため、ガラス微粒子６
９が上下および水平に拡がりにくくなり、余剰ガラス微
粒子の上昇、付着が抑えられ、ガラス微粒子６９の付着
が第５図示のように、多孔質ガラス体１１Ａの先端部で
のみ行われるためである。

第７図は、第４Ａ図に示した原料ガス吹出口６１の偏心
距離１を変えた種々のコア用トーチ４を試作し、それら
のトーチにより得られたコア用多孔質ガラス体１１Ａの
直径（最小値）を示したものである。

得られらるコア用多孔質ガラス体１１Ａの直径は第５図
における多孔質ガラス体１１Ａの中心軸、すなわち、支
持軸の中心棒の２Ａとコア用トーチ４とのなす角度θに
敏感であり、０＝３０〜５０度の範囲でコア用多孔質ガ
ラス体１１Ａの直径は最小となつた。第８図は第４Ａ図
および第４Ｂ図に示したコア用トーチ４を動作させた場
合のコア用多孔質ガラス体の直径を角度θの関数として
表わした実験結果を示す。

ここで、偏心距離１＝５Ｔｇｎとした。第８図かられか
るように、θ＝３０〜５０度の範囲て直径は最小値をと
り、約１５〜１８Ｔｆ０ｆ１となつた。なお、偏心距離
１を２ないし５Ｔｆ０ｎの範囲で変えたときにも第８図
と同様の結果が得られた。実施例２および３ 第９Ａ図および第９Ｂ図は本発明の第１の形態における
コア用トーチ４の他の２実施例の断面図！であり、ここ
で、８１は原料ガス吹出口、８２は不活性ガス吹出口、
８３は可燃ガス吹出口、８４は助燃ガス吹出口である。

ここで、各吹出口８１，８２，８３および８４は断面が
円形または楕円形の多重管８５，８６，８７および８８
により５限界された円環状または楕円環状の断面を有す
る。そして、原料ガス吹出口８１は不活性ガス吹出口８
２を介して可燃ガス吹出口８３により取り囲まれ、かつ
この可燃ガス吹出口８３を助燃ガス吹出口８４により取
り囲む。可燃ガス吹出口８３４により限界された内側域
の中心より偏心距離１だけ偏つて原料ガス吹出口８１を
設ける。これら実施例においても、原料ガス吹出口８１
は可燃ガス吹出口８３に対して偏つて設けてあるので、
前例のコア用トーチと同様の較果を有する。本例におい
ても、多重管８５，８６，８７および８８は石英ガラス
で形成することができる。また、コア用トーチ４の各部
の寸法は第９Ａ図に示した目盛（１α曝）より知ること
ができる。実施例４ 第１０Ａ図は本発明の第２の形態におけるコア用トーチ
の他の実施例の横断面図てあり、第１０Ｂ図はその縦断
面図である。

図中、９１は原料ガフス吹出口、９２は不活性ガス吹出
口、９３は可燃ガス吹出口、９４は助燃ガス吹出口、９
５は直径調整ガス吹出口、９６は補助可燃ガス吹出口て
ある。原料ガス吹出口９１を可燃ガス９３で区切られた
内側域中心より偏つて配設し、しかも、原料門ガス吹出
口９１に隣接して直径調整ガス吹出口９５および補助可
燃ガス吹出口９６を配置する。この直径調整ガス吹出口
９５は吹出される調整用ガス、例えばＡｒガスの流量に
よりコア用多孔質ガラス体の直径を制御するためのもの
である。ここで、吹出口９１，９５および９６は矩形断
面の管９７に設けた隔壁９８および９９により限界され
て形成される。矩形管９７を断面が矩形状の多重管１０
０，１０１および１０２により順次に取り囲んて矩形環
状の断面を有する吹出口９２，９３および９４を形成す
る。これら管９７，１００，１０１および１０２と隔壁
９８およよび９９は石英ガラスで形成することができる
。また、コア用トーチ４の各部の寸法は第１０Ａ図に示
した目盛（１０Ｔｆ＄ｔ）より知ることができる。直径
調整ガス吹出口９５より吹出される調整用ｋガスの流量
とコア用多孔質ガラス体１１Ａとの関係を第１１図に示
す。この結果より、調整ガスの流量を変化させることに
よりコア用多孔質ガラス体の直径が変わることがわかる
。これを利用して適正な直径のコア用多孔質ガラス体を
形成し、そのコア用多孔質ガラス体１１Ａに第２図に示
したようにクラッド用トーチ５によりクラッド用多孔質
ガラス体１１Ｂを設け、その外径が一定となるようにす
れば任意所望のクラッド径／コア径比の多孔質ガラス体
１２を得ることができる。なお、上述のコア用トーチ４
の寸法は作業系全体の寸法、単位時間当りの合成速度を
考慮して適宜に変化させることができる。実施例５第２
図の実施例においては、クラッド用トーチ５を１個のみ
用いてクラッド用多孔質ガラス体１１Ｂを堆積している
が、クラッド用多孔質ガラス体の堆積を容易かつ安定に
行わせるために複数個のクラッド用トーチを用いること
もできる。

第１２図は２個のクラッド用トーチ５−１および５−２
を用いた本発明方法を実施するための母材製造装置にお
ける多孔質ガラス母材形成部を示す。図中、コア用トー
チ４としては第１０Ａ図および第１０Ｂ図に示した構造
のトーチを用いた。クラッド用トーチ５−１および５−
２としては、第６Ａ図および第６Ｂ図に示した四重管構
造のトーチを用い、これらトーチ５−１および５−２を
支持棒２の軸方向２Ａに対して互いに離間した位置に配
置する。クラッド用トーチ４で形成されたコア用多孔質
ガラス体１１Ａ上に、クラッド用トーチ５−１により第
１クラッド用多孔質ガラス体１１Ｂ−１が形成され、こ
の多孔質ガラス体１１Ｂ−１上にクラッド用トーチ５−
２により第２クラッド用多孔質ガラス体１１Ｂ−２が形
成される。各トーチ４，５−１および５−２へのガス供
給条件の一例を以下に示す。コア用トーチ４： 原料ガス吹出口９１；ＳｉＣｌ４（サチユレータ温度４
０゜Ｃ１キャリア用Ｎガス７０ｃｃ／分）ＧｅＣｌ４（
サチユレータ温度２０℃、キャリア用Ｎガス５０ｃｃ／
分）不活性ガス吹出口９２；Ｎガス１．５ｅ／分可燃ガ
ス吹出口９３；鴇ガス２′／分助燃ガス吹出口９４；０
２ガス７ｆ／分 直径調整ガス吹出口９５；Ａｒガス０．４ｆ／分補助可
燃ガス吹出口９６：Ｈ２ガス１ｆ／分クラッド用トーチ
５−１原料ガス吹出口７１；ＳｌＣｌ４（サチユレータ
温度４０スＣ１キャリア用Ｎガス流量１００ｃｃ／分）
不活性ガス吹出口７２；Ｈｅガス１′／分可燃ガス吹出
口７３；鴇ガス３ｅ／分 助燃ガス吹出口７４；０。

ガス４′／分クラッド用トーチ５−２： 原料ガス吹出口７１；ＳｌＣｌ４（サチユレータ温度４
０′Ｃ１キャリア用ｋガス流量２００ｃｃ／分）不活性
ガス吹出口７２；Ｈｅガス１ｅ／分可燃ガス吹出口７３
；Ｈ２ガス３．５ｅ／分助燃ガス吹出口７４：０２ガス
４ｆ／分このような流量条件により、直径１−のコア用
多孔質ガラス体１１Ａが約４『／時の成長速度で形成さ
れ、その周囲に直径約３−の第１クラッド用多孔質ガラ
ス体１１Ｂ−１が形成され、さらにその周囲に直径６−
の第２クラッド用多孔質ガラス体１１Ｂ−２が形成され
た。

約１ｃｔｆ間の作業時間で最終的に外径３ｈ１コア部直
径５顛、有効長さ托礪の透明ガラス母材を得るこそとが
できた。この場合に、コア部とクラッド部との屈折率差
はΔｎ＝０．００４４であつた。光ファイバにおけるコ
ア径が８μｍになるように石英ガラス管５０の寸法を選
定して、第３図に示した工程を経て線引きしたところ、
得られた光ファイバのカットオフ波長は１．１３μｍで
あつた。

上述した１５Ｃ７７！長の透明ガラス母材からの２？長
の単一モード光ファイバを２本得ることができた。そし
て、これら単一モード光ファイバの光伝送損失は波長１
．５５μｍにおいて０．５ｄＢＩｋｍ程度ときわめて小
さいものであつた。また、波長１．３９μｍｌこお”け
る０Ｈ基吸収損は２ｄＢＩ―以下と小さいものであつた
。実施例６ 以上説明したように、本発明においては、原料ガス吹出
口が可燃ガス吹出口に対して偏つて設けられたクラッド
用トーチが、コア用多孔質ガラス体の細径化、したがつ
て、クラッド径／コア径比の増加に重要な役割を果たし
ている。

しかし、原料ガス吹出口が幾何学的に偏つていないトー
チ、例えば、第１３図に断面を示したトーチにおいて・
も、トーチから吹出す原料ガスを偏よらせることによつ
て、実質的にガラス微粒子流の拡がりを防止することが
できる。この観点に基づく本発明の第３の形態において
用いるクラッド用トーチの１実施例を第１３図に示す。
第１３図において、１１１は原料ガス吹出口、１１２は
不活性ガス吹出口、１１３は可燃ガス吹出口、１１４は
助燃ガス吹出口、１１５および１１６は制御ガス吹出口
である。

ここで、吹出口１１１，１１５および１１６は矩形断面
の管１１７１に、例えば左右対称に設けた隔壁１１８お
よび１１９により限界されて形成される。矩形管１１７
を断面が矩形状の多重管１２０，１２１および１２２に
より順次に取り囲んで矩形環状の断面を有する吹出口１
１２，１１３および１１４を形成する。これら管１１７
，１２０，１２１および１２２と隔壁１１８および１１
９は石英ガラスで形成することができる。また、コア用
トーチ４の各部の寸法は第１３図に示した目盛（１ｈ）
より知ることができる。第１３図示のコア用トーチ４へ
のガス供給条件の一例を示すと以下の通りである。

原料ガス吹出口１１１；ＳｉＣｌ４（サチユレータ温度
４０℃、キャリア用Ａｒガス流量７０ｃｃ／分）ＧｅＣ
ｌ４（サチユレータ温度２０℃、キャリア用Ｎガス流量
５０ｃｃ／分）不活性ガス吹出口１１２；Ｎガス１．５
′／分可燃ガス吹出口１１３；↓ガス１ｅ／分助燃ガス
吹出口１１４；０。

ガス７ｅ／分制御ガス吹出口１１５；鴇ガス２ｅ／分 制御ガス吹出口１１６；何も流さず 以上のガス供給条件の下で、制御ガス吹出口１１５が上
部に、制御ガス吹出口１１５が上部に、制御ガス吹出口
１１６が下部に配位するようにして多孔質ガラス体を成
長させたところ、直径２５ｍｎ程の比較的細径のコア用
多孔質ガラス体１１Ａが得られた。

これは、上述したガス供給条件では、コア用トーチ４の
吹出端において、ガラス微粒子流が酸水素炎流に対して
実質的に下部に偏つているためである。ちなみに、制御
ガス吹出口１１５および１１６へ供給するＨ２ガスの流
量を均等にそれぞれ１ｅ／分づつ配分した場合には、成
長したコア用多孔質ガラス体１１Ａの直径は約５０ｍｎ
であり、細径化がなされなかつた。本例かられかるよう
に、酸水素炎流に対して相対的に偏つた原料吹出しを行
うコア用トーチによりコア用多孔質ガラス体を形成する
楊合も本発明の範囲に含まれることはもちろんである。
以上説明したように、本発明によれば、直径２０藺以下
の細径なコア用多孔質ガラス体の形成を容．易に行うこ
とができ、従つて、クラッド径／コア径比を３以上に大
きくして単一モード光ファイバ用ガラス母材をＶＡＤ法
で作製することができ、その結果、最終的に長尺かつ低
損失な単一モード光ファイバを大量生産することができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は石英ガラス管に含まれる０Ｈ基による吸収損失
の影響とクラッド径／コア径比との関係の理論値を示す
特性曲線図、第２図は本発明のＶＡＤ法によるガラス母
材の製造装置の一例を示す線図、第３図は本発明におい
てガラス母材を石英ガラス管へ封じ込む工程を説明する
線図、第４Ａ図および第４Ｂ図は本発明て用いるクラッ
ド用トーチの一実施例を示すそれぞれ横断面図および縦
断面図、第５図は本発明におけるコア用トーチのコア用
多孔質ガラス体形成の概念の説明用線図、第６Ａ図およ
び第６Ｂ図は本発明で用いるクラッド用トーチの一実施
例を示すそれぞれ横断面ノ図および縦断面図、第７図は
原料ガス吹出口の偏心距離１に対するコア用多孔質ガラ
ス体の直径の関係を示す特性曲線図、第８図はコア用ト
ーチの傾斜角θに対するコア用多孔質ガラス体の直径の
関係を示す特性曲線図、第９Ａ図および第９Ｂ図は本発
明で用るコア用トーチの他の２実施例を示す横断面図、
第１０Ａ図および第１０Ｂ図は本発明で用いるコア用ト
ーチの更に他の例を示すそれぞれ横断面図および縦断面
図、第１１図は調整ガス流量に対するコア用多孔質ガラ
ス体直径の関係”を示す特性曲線図、第１２図は本発明
における多孔質ガラス母材形成の概念の説明用線図、お
よび第１３図は本発明で用いるコア用トーチの更に他の
実施例を示す横断面図てある。 第２図、１・・・・・・反応容器、２・・・・・・支持
棒、３・・・・・回転上昇装置、４・・・・・・コア用
トーチ、５・・・・・・クラッド用トーチ、６・・・・
・・原料供給装置、７Ａ，７Ｂ・・・・・・原料ガス導
管、８Ａ，８Ｂ・・・・・・火炎用ガス導管束、９・・
・・・・排気口、１０・・・・・・排ガス処理装置、１
１Ａ・・・・コア用多孔質ガラス体、１１Ｂ・・・・・
クラッド用多孔質ガラス体（クラッド層）、１２・・・
・・・多孔質ガラス母材、１３・・・・・・透明ガラス
化用ヒータ、１４・・・・・透明ガラス母材、１５・・
・・・・脱水処理ガ又供給装置、１６・・・・・・脱水
処理ガス供給口、第３図、１４″ ・・引き伸ばし加工
された透明母材、５０・・・・・・石英ガラス管、５１
・・・・・・単一モード光ファイバ用母材、第４Ａ図、
第４Ｂ図、第５図、６１・・・・・原料ガス吹出口、６
２・・・・・・不活性ガス吹出口、６３・・・・・可燃
ガス吹出口、６４・・助燃ガス吹出口、６５，６６，６
７，６８・・・・・・矩形管、６９・・・・・・ガラス
微粒子、７０・・・・・・酸水素炎、第６Ａ図、第６Ｂ
図、７１・・・・原料ガス吹出口、７２・・・・・・不
活性ガス吹出口、７３・・・・・可燃ガス吹出口、７４
・ ・・助燃ガス吹出口、７５，７６，７７，７８・・
・・・・同心円状多重管、第９Ａ図、第９Ｂ図、８１・
・・・原料ガス吹出口、８２・・・・・・不活性ガス吹
出口、８３・・・・・可燃ガス吹出口、８４・・・助燃
ガス吹出口、８５，８６，８７，８８・・・・・・多重
管、第１０Ａ図、第１０Ｂ図、９１・・・・・・原料ガ
ス吹出口、９２・・・・・・不活性ガス吹出口、９３・
・・可燃ガス吹出口、９４・・・・・・助燃ガス吹出口
、９５・・・・・・直径調整ガス吹出口、９６・・・・
・・補助可燃ガス吹出口、９７，１００，１０１，１０
２・・・・矩形管、９８，９９・・・・・・隔壁、第１
２図、５−１，５−２・・・・・・クラッド用トーチ、
１１Ｂ−１・・・・・・第１クラッド用多孔質ガラス体
、１１Ｂ−２・・・・・・第２クラッド用多孔質ガラス
体、第１３図、１１１・・・・・・原料ガス吹出口、１
１２・・・・・・不活性ガス吹出口、１１３・・・・可
燃ガス吹出口、１１４・・助燃ガス吹出口、１１５，１
１６・・・・・・制御ガス吹出口、１１７，１２０，１
２１，１２２・・・・・・矩形管、１１８，１１９・・
・・・・隔壁。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 多重円筒状に区分された複数の吹出口を有する多重
   管トーチの区分された各吹出口に、少なくとも可燃性ガ
   ス、支燃性ガスおよびガラス原料ガスを送り込み、当該
   多重管トーチの端部において火炎流を形成し、該火炎流
   中でガラス原料ガスを火炎加水分解してガラス微粒子を
   形成し、該ガラス微粒子を前記火炎流によつて種棒の一
   端に吹き付けて付着、堆積させて軸方向に成長させ、そ
   の後、前記種棒に付着、堆積したガラス微粒子を加熱し
   て透明ガラスとする光ファイバ母材の製造方法において
   、複数の多重管トーチを用い、そのうちの少なくともひ
   とつの多重管トーチは、ガラス原料ガスが送り込まれる
   吹出口が、火炎流中に、その火炎流の中心から偏つて形
   成されたトーチであり、当該多重管トーチの当該吹出口
   にコア用ガラス原料ガスを送り込んでコア用ガラス微粒
   子を形成し、該コア用ガラス微粒子を前記火炎流により
   種棒の一端に吹き付けて付着、堆積させて軸方向に成長
   させ、その外側には、クラッド用多重管トーチにより形
   成したクラッド用ガラス微粒子を付着、堆積させ、その
   後、前記コア用およびクラッド用ガラス微粒子を加熱し
   て透明ガラスとすることを特徴とする光ファイバ母材の
   製造方法。 ２ 前記コア用ガラス微粒子を形成する前記少なくとも
   ひとつの多重管トーチを、該多重管トーチからの火炎流
   が前記種棒に対して、傾斜するように配置することを特
   徴とする特許請求の範囲第１項記載の光ファイバ母材の
   製造方法。 ３ 多重円筒状に区分された複数の吹出口を有する多重
   管トーチの区分された各吹出口に、少なくとも可燃性ガ
   ス、支燃性ガスおよびガラス原料ガスを送り込み、当該
   多重管トーチの端部において火炎流を形成し、該火炎流
   中でガラス原料ガスを火炎加水分解してガラス微粒子を
   形成し、該ガラス微粒子を前記火炎流によつて種棒の一
   端に吹き付けて付着、堆積させて軸方向に成長させ、そ
   の後、前記種棒に付着、堆積したガラス微粒子を加熱し
   て透明ガラスとする光ファイバ母材の製造方法において
   、複数の多重管トーチを用い、そのうちの少なくともひ
   とつの多重管トーチはガラス原料ガス吹出口が３つに分
   割されており、火炎流の中心から偏つた位置のコア用ガ
   ラス原料吹出口、該吹出口に隣接する直径調整用ガス吹
   出口および補助可燃ガス吹出口を有するトーチであり、
   該トーチのそれぞれの吹出口にコア用ガラス原料、直径
   調整用ガスおよび可燃性ガスを送り込んで、火炎流中で
   コア用ガラス微粒子を形成し、該コア用ガラス微粒子を
   前記火炎流により種棒の一端に吹き付けて付着、堆積さ
   せて軸方向に成長させ、その外側には、クラッド用多重
   管トーチにより形成したクラッド用ガラス微粒子を付着
   、堆積させ、その後、前記コア用およびクラッド用ガラ
   ス微粒子を加熱して透明ガラスとすることを特徴とする
   光ファイバ母材の製造方法。 ４ 前記コア用ガラス微粒子を形成する前記少なくとも
   ひとつの多重管トーチを、該多重管トーチからの火炎流
   が前記種棒に対して、傾斜するように配置することを特
   徴とする特許請求の範囲第３項記載の光ファイバ母材の
   製造方法。 ５ 多重円筒状に区分された複数の吹出口を有する多重
   管トーチの区分された各吹出口に、少なくとも可燃性ガ
   ス、支燃性ガスおよびガラス原料ガスを送り込み、当該
   多重管トーチの端部において火炎流を形成し、該火炎流
   中でガラス原料ガスを火炎加水分解してガラス微粒子を
   形成し、該ガラス微粒子を前記火炎流によつて種棒の一
   端に吹き付けて付着、堆積させて軸方向に成長させ、そ
   の後、前記種棒に付着、堆積したガラス微粒子を加熱し
   て透明ガラスとする光ファイバ母材の製造方法において
   、複数の多重管トーチを用い、そのうちの少なくともひ
   とつの多重管トーチは、ガラス原料ガス吹出口が３つに
   分割されており、中央のコア用ガラス原料ガス吹出口と
   、その両側の制御ガス吹出口を有するトーチであり、該
   トーチの前記両制御ガス吹出口から、制御ガスを互いに
   異なる流量で吹き出しながら、コア用ガラス原料ガス吹
   出口にコア用ガラス原料ガスを送り込み、コア用ガラス
   微粒子を形成し、該コア用ガラス微粒子を前記火炎流に
   より種棒の一端に吹き付けて付着、堆積させて軸方向に
   成長させ、その外側には、クラッド用多重管トーチによ
   り形成したクラッド用ガラス微粒子を付着、堆積させ、
   その後、前記コア用およびクラッド用ガラス微粒子を加
   熱して透明ガラスとすることを特徴とする光ファイバ母
   材の製造方法。 ６ 前記コア用ガラス微粒子を形成する前記少なくとも
   ひとつの多重管トーチを、該多重管トーチからの火炎流
   が前記種棒に対して、傾斜するように配置することを特
   徴とする特許請求の範囲第５項記載の光ファイバ母材の
   製造方法。