JPS59195547A - 光フアイバ母材の製造方法 - Google Patents
光フアイバ母材の製造方法Info
- Publication number
- JPS59195547A JPS59195547A JP6957083A JP6957083A JPS59195547A JP S59195547 A JPS59195547 A JP S59195547A JP 6957083 A JP6957083 A JP 6957083A JP 6957083 A JP6957083 A JP 6957083A JP S59195547 A JPS59195547 A JP S59195547A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- base material
- optical fiber
- burner
- outside
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
- C03B37/0142—Reactant deposition burners
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/04—Multi-nested ports
- C03B2207/06—Concentric circular ports
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/20—Specific substances in specified ports, e.g. all gas flows specified
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/20—Specific substances in specified ports, e.g. all gas flows specified
- C03B2207/22—Inert gas details
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/70—Control measures
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- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光ファイノ々母材の製造方法に係り、特に気相
軸付法（Ｖａｐｏｒ−ｐｈａｓｅ ａｘｉａｌ ｄｅｐ
ｏｓｉｔｉｏｎ ；ＶＡＤ法）による光ファイ、？母材
の製造方法の改良に関するものである。
軸付法（Ｖａｐｏｒ−ｐｈａｓｅ ａｘｉａｌ ｄｅｐ
ｏｓｉｔｉｏｎ ；ＶＡＤ法）による光ファイ、？母材
の製造方法の改良に関するものである。
ＶＡＤ法により光フアイバ母材を製造する場合、・２−
すを１本としたときは、コア部に相当する部分のみを製
造するのが一般的である。そのため、次工程ヤクラツド
層に相当する部分を被覆して光ファイバ母相を製造する
か、もしくは、別のバーナを使用してコア部の上に２２
７１層を成長させ、その後、焼結ガラス化して光ファイ
ノ々母相を製造するようにしていた。
すを１本としたときは、コア部に相当する部分のみを製
造するのが一般的である。そのため、次工程ヤクラツド
層に相当する部分を被覆して光ファイバ母相を製造する
か、もしくは、別のバーナを使用してコア部の上に２２
７１層を成長させ、その後、焼結ガラス化して光ファイ
ノ々母相を製造するようにしていた。
このように、従来、クラッド層まで含んだ光ファイ・ζ
母材を製造する場合、前者の方法によればガラス管を新
たに被覆する工程が増加し、その際、ガラス管内壁とコ
ア部相当の光コアイノζ母材の表面処理が必要となる。
母材を製造する場合、前者の方法によればガラス管を新
たに被覆する工程が増加し、その際、ガラス管内壁とコ
ア部相当の光コアイノζ母材の表面処理が必要となる。
また、後者の方法によればパニナ本数を増加することに
なるので、装呵が複雑となり、それにともない多孔質母
材形状の制御が難しくなるという問題を生ずる。
なるので、装呵が複雑となり、それにともない多孔質母
材形状の制御が難しくなるという問題を生ずる。
本発明は上記に鑑みてなされたもので、その的とすると
ころ、クラット層付光ファイバ材を容易に製造すること
ができる光フアイバ母材の製造方。
ころ、クラット層付光ファイバ材を容易に製造すること
ができる光フアイバ母材の製造方。
法を提供することＫある。
本発明の特徴は、ＶＡＤ法により光ファイ、６母材を製
、造するときに、・ζ−すの構造を少なくとも４重管構
造とし、このバーナの中心部にＧｅ０１！４ 、 Ａｒ
。
、造するときに、・ζ−すの構造を少なくとも４重管構
造とし、このバーナの中心部にＧｅ０１！４ 、 Ａｒ
。
Ｎ２を、主起中心部の外側の第１層にＳ ｉＣＩ！４
、 Ａｒ 。
、 Ａｒ 。
１１□を、上記第１層の外側の第２層にＡｒを、上記第
２層の外側の第３層に０２をそれぞれ流入してクラッド
層材の光コアイノζ母材を製造するようにした点にある
― 以下本発明の方法の一実施例を第１図〜第３図を用いて
詳細に説明する。
２層の外側の第３層に０２をそれぞれ流入してクラッド
層材の光コアイノζ母材を製造するようにした点にある
― 以下本発明の方法の一実施例を第１図〜第３図を用いて
詳細に説明する。
第１図は本発明の製造方法の一実施１ｋｌＪを説明する
だめの装置の一例を□示す縦断面図である。第１′図に
おいて、ｌは上方に向けて垂直に立ったバーナ、２は・
ぐ−ナ支持微動台、３はガス導入管、４はガス容器台、
５は差圧計、６〜８はいずれもガラス管、９は排気孔付
ガラス管、１０は多孔質母材である。１１は仕切版、１
２はフランジ、１３は差圧計、１４はフランク、１５は
焼結炉容器、１６はガスカーテン、１７はカーダンシー
ト、１８はカーぎン炉心管、１９は多孔質母材１０を焼
結した焼結ガラスである。２０は石英棒ターゲット、２
１はカーダンシート、２２は回転引上装置、２３はガラ
ス容器、２４は差圧計、２５は火炎、２６はテレビジョ
ンカメラ、２７はテレビジョンディスプレイである。
だめの装置の一例を□示す縦断面図である。第１′図に
おいて、ｌは上方に向けて垂直に立ったバーナ、２は・
ぐ−ナ支持微動台、３はガス導入管、４はガス容器台、
５は差圧計、６〜８はいずれもガラス管、９は排気孔付
ガラス管、１０は多孔質母材である。１１は仕切版、１
２はフランジ、１３は差圧計、１４はフランク、１５は
焼結炉容器、１６はガスカーテン、１７はカーダンシー
ト、１８はカーぎン炉心管、１９は多孔質母材１０を焼
結した焼結ガラスである。２０は石英棒ターゲット、２
１はカーダンシート、２２は回転引上装置、２３はガラ
ス容器、２４は差圧計、２５は火炎、２６はテレビジョ
ンカメラ、２７はテレビジョンディスプレイである。
上向けに固定されたバーナ１に原料および燃料を送り込
むと、加水分解反応によって酸化物微粒子が生成され、
この酸化物微粒子が上方にある石英棒ターゲット２０の
先端に堆積し、多孔質母材１０が成長する。この場合、
バーナ１上方の火炎２５周辺に配置されたガラス管６〜
８からは不活性ガス（Ｎ２）を吹き出させ、これを火炎
２５および多孔質母材１０に当てて多孔質母材１０の底
面形状が所定の形状になるように制御する。なハ、多孔
質母材１０の堆積中の状態は、多孔質母材１０の先端部
外周のＤＩ ＋ Ｄ２ ＋ Ｄ３の３個所を同時にテレ
ビジョンカメラ２６、テレビ・ジョンディスプレイ２７
を用いて測定し、表示する。
むと、加水分解反応によって酸化物微粒子が生成され、
この酸化物微粒子が上方にある石英棒ターゲット２０の
先端に堆積し、多孔質母材１０が成長する。この場合、
バーナ１上方の火炎２５周辺に配置されたガラス管６〜
８からは不活性ガス（Ｎ２）を吹き出させ、これを火炎
２５および多孔質母材１０に当てて多孔質母材１０の底
面形状が所定の形状になるように制御する。なハ、多孔
質母材１０の堆積中の状態は、多孔質母材１０の先端部
外周のＤＩ ＋ Ｄ２ ＋ Ｄ３の３個所を同時にテレ
ビジョンカメラ２６、テレビ・ジョンディスプレイ２７
を用いて測定し、表示する。
ところで、本発明においては、バーナ１の構造を４重管
構造とし、・ζ−す１の中心部ＫＯｅＯ１４を１３０
ｑ／ｍｉｎ、Ａｒキャリアを５０Ｃ７１！／ｍｉｎ、ｌ
−１２をＩＩ！／ｍ ｉ ｎの流量で流入させ、中心部
の外側の第１層にＳｉ Ｏｊ’ ４を２０００１１１＠
／ｍｉｎ、、Ａｒキャリアを６００ Ｃｔ： ／ ７３
．１１２を１．５Ｊ／ｍｉｎの流量で流入させ、第１層
の外側の第２層にＡｒを１．２７？／ｍ１ｎＯ流曖で流
入させ、第２層の外側の第３層に０２を５Ｊ／ｍｉｎの
流量で流入させるようにした。また、バーナ１の周辺に
配置したガラス管６〜８からはＮ２を内側よシ順次８Ｊ
／ ｍｉｎ 、 ２０／／ｍｉｎ 、 ３０７／ｍｉｎ
、 ３０ｊ？／ｍｉｎ （ガラス管６の外側）の流量
で供給し、火炎２５の安定と多孔質母相１０の底面形状
が所定の形状になるように制御するようにした。
構造とし、・ζ−す１の中心部ＫＯｅＯ１４を１３０
ｑ／ｍｉｎ、Ａｒキャリアを５０Ｃ７１！／ｍｉｎ、ｌ
−１２をＩＩ！／ｍ ｉ ｎの流量で流入させ、中心部
の外側の第１層にＳｉ Ｏｊ’ ４を２０００１１１＠
／ｍｉｎ、、Ａｒキャリアを６００ Ｃｔ： ／ ７３
．１１２を１．５Ｊ／ｍｉｎの流量で流入させ、第１層
の外側の第２層にＡｒを１．２７？／ｍ１ｎＯ流曖で流
入させ、第２層の外側の第３層に０２を５Ｊ／ｍｉｎの
流量で流入させるようにした。また、バーナ１の周辺に
配置したガラス管６〜８からはＮ２を内側よシ順次８Ｊ
／ ｍｉｎ 、 ２０／／ｍｉｎ 、 ３０７／ｍｉｎ
、 ３０ｊ？／ｍｉｎ （ガラス管６の外側）の流量
で供給し、火炎２５の安定と多孔質母相１０の底面形状
が所定の形状になるように制御するようにした。
上記のような設定値として製造した多孔質母材１０を焼
結して得た焼結ガラス１９、すなわち、光フアイバ母材
はコア部とクラッド層からなり、その屈折率分布は第２
図に示すようになる。第２図において、ａはコア部、ｂ
はクラッド層である。
結して得た焼結ガラス１９、すなわち、光フアイバ母材
はコア部とクラッド層からなり、その屈折率分布は第２
図に示すようになる。第２図において、ａはコア部、ｂ
はクラッド層である。
なお、コア部径とクラッド層を含めた外径との比の値は
０．５であり、△ｎば１％であった。そして、コア径／
クラッド外径の比の埴は、第１層に流す８１Ｃ１４の流
量によって変えることができる。
０．５であり、△ｎば１％であった。そして、コア径／
クラッド外径の比の埴は、第１層に流す８１Ｃ１４の流
量によって変えることができる。
第３図はＧｅＯ２／ＧｅＯ２＋Ｓ １ｏ２Ｘ １００
（モル％）と屈折率との関係の実験結果を示す線図で、
中心部の屈折率はＧｅ Ｏｊ’４の流量を変えることで
制御できることを示している。
（モル％）と屈折率との関係の実験結果を示す線図で、
中心部の屈折率はＧｅ Ｏｊ’４の流量を変えることで
制御できることを示している。
なお、上記のようにして製造した光フアイバ母材を加熱
延伸して得た光ファイ・この伝送損失は、０．８５１１
ｍで２．５ｄＢ／ｋｍ 、 １．３／Ｊ？？Ｚで０．５
ｄＢ／ｋｍであり、伝送帯域は８００ ＭＨｚ以上であ
った。
延伸して得た光ファイ・この伝送損失は、０．８５１１
ｍで２．５ｄＢ／ｋｍ 、 １．３／Ｊ？？Ｚで０．５
ｄＢ／ｋｍであり、伝送帯域は８００ ＭＨｚ以上であ
った。
以上説明したように、“本発明によれば、クラッド層付
光ファイバ母材を容易に製造することができ、しかも、
クララＦ層にはＯＨ基を含まないので、ＯＨ吸収による
伝送損失の増加を低減することができるという効果があ
る。
光ファイバ母材を容易に製造することができ、しかも、
クララＦ層にはＯＨ基を含まないので、ＯＨ吸収による
伝送損失の増加を低減することができるという効果があ
る。
第１図は本発明の光フアイバ母材の製造方法の一実施例
を説明するだめの装置の一例を示す縦断面図、第２図は
本発明の製造方法によって製造した光ファイバ母相の屈
折率分布線図、第３図は（）（・０２１０ａ０２＋ Ｓ
ｉ０２ Ｘ １００ （モル％）と屈折率との関係の
実験結果を示す線図である。 トパーナ、１０・多孔質母イオ、１９・・・焼結ガラス
、２０・石英棒ターゲット。 第 １ 図 算ｚＩ２１１ 第３図 ｏ＋ｚｓ ４ ｓ
を説明するだめの装置の一例を示す縦断面図、第２図は
本発明の製造方法によって製造した光ファイバ母相の屈
折率分布線図、第３図は（）（・０２１０ａ０２＋ Ｓ
ｉ０２ Ｘ １００ （モル％）と屈折率との関係の
実験結果を示す線図である。 トパーナ、１０・多孔質母イオ、１９・・・焼結ガラス
、２０・石英棒ターゲット。 第 １ 図 算ｚＩ２１１ 第３図 ｏ＋ｚｓ ４ ｓ
Claims (1)
- ■、 垂直に立てた・ζ−すの火炎中に原料を送り込ん
で酸化物微粉子を生成し、該酸化物微粉子を前記バーナ
上方の棒状体の先端をターゲットとして吹き付けて堆積
させて多孔質母材を成長させ、その後、該多孔質母材を
焼結ガラス化して光フアイバ母材を製造するときに、前
記バーナの構造を少なくとも４重管構造とし、該・ソー
すの中心部にＯｅＣ／４ 、 Ａｒ 、 Ｈ２を、前記
中心部の外側の第１層に５ｉＣｊ？４． Ａｒ 、 Ｈ
２を、前記第１層の外側の第２層にＡｒを、前記第２層
の外側の第３層に０２をそれぞれ流入してクラッｒ層付
の光ファイバ母相を製造することを特徴とする光ファイ
バ１せ利の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6957083A JPS59195547A (ja) | 1983-04-20 | 1983-04-20 | 光フアイバ母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6957083A JPS59195547A (ja) | 1983-04-20 | 1983-04-20 | 光フアイバ母材の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59195547A true JPS59195547A (ja) | 1984-11-06 |
Family
ID=13406570
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6957083A Pending JPS59195547A (ja) | 1983-04-20 | 1983-04-20 | 光フアイバ母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59195547A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6287428A (ja) * | 1985-10-09 | 1987-04-21 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光学系多孔質母材の製造方法 |
| US5702495A (en) * | 1993-02-10 | 1997-12-30 | Nikon Corporation | Silica glass member for UV-lithography, method for silica glass production, and method for silica glass member production |
-
1983
- 1983-04-20 JP JP6957083A patent/JPS59195547A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6287428A (ja) * | 1985-10-09 | 1987-04-21 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光学系多孔質母材の製造方法 |
| US5702495A (en) * | 1993-02-10 | 1997-12-30 | Nikon Corporation | Silica glass member for UV-lithography, method for silica glass production, and method for silica glass member production |
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