JPS61151031A - 光フアイバ母材の製造方法 - Google Patents
光フアイバ母材の製造方法Info
- Publication number
- JPS61151031A JPS61151031A JP27119284A JP27119284A JPS61151031A JP S61151031 A JPS61151031 A JP S61151031A JP 27119284 A JP27119284 A JP 27119284A JP 27119284 A JP27119284 A JP 27119284A JP S61151031 A JPS61151031 A JP S61151031A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluorine
- glass
- optical fiber
- doped
- fiber preform
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/018—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
- C03B37/01807—Reactant delivery systems, e.g. reactant deposition burners
- C03B37/01815—Reactant deposition burners or deposition heating means
- C03B37/01823—Plasma deposition burners or heating means
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2201/00—Type of glass produced
- C03B2201/06—Doped silica-based glasses
- C03B2201/08—Doped silica-based glasses doped with boron or fluorine or other refractive index decreasing dopant
- C03B2201/12—Doped silica-based glasses doped with boron or fluorine or other refractive index decreasing dopant doped with fluorine
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の背景と目的〕
本発明は光ファイバ母材の製造方法、さらに詳細には、
フッ素ドープト′クラッドを有する光ファイバ母材の製
造方法に関するものである。
フッ素ドープト′クラッドを有する光ファイバ母材の製
造方法に関するものである。
高N A (Numerical Aperture
)の光ファイバ母材または純粋石英をコアとする光ファ
イバ母材を製造するには、クラッドとして、フッ素ドー
プト石英ガラスを使用するのがよいとされている。
)の光ファイバ母材または純粋石英をコアとする光ファ
イバ母材を製造するには、クラッドとして、フッ素ドー
プト石英ガラスを使用するのがよいとされている。
フッ素ドープト石英ガラスの成形法には、VAD法(軸
付法)とプラズマ法とがある。
付法)とプラズマ法とがある。
しかして、VAD法は、焼結工種をフロン系ガス(たと
えばC(J、F、、0F4)雰囲気中でおこなうように
しているが、この方法によって得られたフッ素ドープト
石英ガラスの比屈折率差は0.2チ程度であり、十分な
低屈折率差(Δn=1 % )を得るには至っていない
。
えばC(J、F、、0F4)雰囲気中でおこなうように
しているが、この方法によって得られたフッ素ドープト
石英ガラスの比屈折率差は0.2チ程度であり、十分な
低屈折率差(Δn=1 % )を得るには至っていない
。
これに対し、プラズマ法は、原料ガスをキャリアガスと
ともに高温プラズマ炎のなかに送り込みプラズマ炎のな
かで合成されたガラス微粒子をターゲットに吹き付ける
というものであり、この方法によれば、低屈折率差(Δ
n=1 % )のフッ素ドープト石英ガラスが得られる
が、その反面、合成ガラス膜の成長速度が遅いという難
点がある。
ともに高温プラズマ炎のなかに送り込みプラズマ炎のな
かで合成されたガラス微粒子をターゲットに吹き付ける
というものであり、この方法によれば、低屈折率差(Δ
n=1 % )のフッ素ドープト石英ガラスが得られる
が、その反面、合成ガラス膜の成長速度が遅いという難
点がある。
本発明は、上記したフッ素ドープト石英ガラスの成形法
(VAD法およびプラズマ法)のうち、プラズマ法の難
点を解決すべく、種々実験を重ねた結果なされたもので
あって、その目的とするところは、フッ素ドープト石英
ガラスの比屈折率差が低屈折率差で、しかも合成ガラス
膜の成長速度を早めることのできる、改良された光ファ
イバ母材の製造方法を提供しようとするものである。
(VAD法およびプラズマ法)のうち、プラズマ法の難
点を解決すべく、種々実験を重ねた結果なされたもので
あって、その目的とするところは、フッ素ドープト石英
ガラスの比屈折率差が低屈折率差で、しかも合成ガラス
膜の成長速度を早めることのできる、改良された光ファ
イバ母材の製造方法を提供しようとするものである。
上記目的を達成するため、本発明に係る光ファイバ母材
の製造方法は、高周波プラズマトーチによってプラズマ
炎を発生させ、多重管バーナで火炎加水分解されたガラ
ス微粒子を上記プラズマ炎に直接吹き付けてターゲット
にフッ素ドープトガラスを堆積させることを特徴とする
ものである。
の製造方法は、高周波プラズマトーチによってプラズマ
炎を発生させ、多重管バーナで火炎加水分解されたガラ
ス微粒子を上記プラズマ炎に直接吹き付けてターゲット
にフッ素ドープトガラスを堆積させることを特徴とする
ものである。
以下、本発明を、図面にもとづいて説明すると第1図は
本発明方法の実施に供して好適な光ファイバ母材製造装
置の全体構成説明図、第2図は第1図のA−A拡大断面
図、第3図は第2図の一部縦断側面図で、第1図におい
て、1は高周波プラズマトーチ、2は4重管石英バーナ
を示し、4重管石英バーナ2の内部構造は第2図および
第3図に示すとおりであシ、石英バーナ2の外周には、
バーナ用フード3が取付けられている。オた石英バーナ
2の内部には、その中心側から順に、原料混合ガス(S
i CJ34、CC)、F3、Ar)、Ar、H。
本発明方法の実施に供して好適な光ファイバ母材製造装
置の全体構成説明図、第2図は第1図のA−A拡大断面
図、第3図は第2図の一部縦断側面図で、第1図におい
て、1は高周波プラズマトーチ、2は4重管石英バーナ
を示し、4重管石英バーナ2の内部構造は第2図および
第3図に示すとおりであシ、石英バーナ2の外周には、
バーナ用フード3が取付けられている。オた石英バーナ
2の内部には、その中心側から順に、原料混合ガス(S
i CJ34、CC)、F3、Ar)、Ar、H。
O9が流れる。4は窒素ガスが供給されるガスンールキ
ャップ、5iチヤンバである。6はガラス旋盤、7はタ
ーゲツト棒(石英ガラス棒)8の両端を回転支持する移
動ヘッドで、移動ヘッド7は、モータ9によって上下方
向に移動される。才た、ガラス旋盤6は、図示を省略し
た駆動機構によりベッド10上を軸方向に駆動される。
ャップ、5iチヤンバである。6はガラス旋盤、7はタ
ーゲツト棒(石英ガラス棒)8の両端を回転支持する移
動ヘッドで、移動ヘッド7は、モータ9によって上下方
向に移動される。才た、ガラス旋盤6は、図示を省略し
た駆動機構によりベッド10上を軸方向に駆動される。
11はガラス旋盤6の移動量を制服するストッパで、こ
のストッパ11は、ベッド10上に取り付けられている
。図中、12はバッファタンク、13は排気管14は熱
交換器、15はスクラバー、16は排気ファン、17は
バルブ、18はガス圧力計を示している。
のストッパ11は、ベッド10上に取り付けられている
。図中、12はバッファタンク、13は排気管14は熱
交換器、15はスクラバー、16は排気ファン、17は
バルブ、18はガス圧力計を示している。
以上の構成において、第1図に符号19で示す合成ガラ
ス膜の成形にあたっては、高周波プラメマトーチ1に矢
印のごとく酸素を送り込み、酸素プラズマ炎を発生させ
る。オた、酸素プラズマ炎の下方に位置して、石英バー
ナ2からは、当該石英バーナ2で火炎加水分解されたガ
ラス微粒子を酸素プラズマ炎に直接吹き付け、ターゲツ
ト棒8に合成ガラス膜(フッ素ドープト石英ガラス)1
9を堆積させるものであって、本発明者等の実験によれ
ば、4重管石英バーナ4内を流れる原料′混合ガスとし
て、5icp42,0001n9/M、 cc−e、p
。
ス膜の成形にあたっては、高周波プラメマトーチ1に矢
印のごとく酸素を送り込み、酸素プラズマ炎を発生させ
る。オた、酸素プラズマ炎の下方に位置して、石英バー
ナ2からは、当該石英バーナ2で火炎加水分解されたガ
ラス微粒子を酸素プラズマ炎に直接吹き付け、ターゲツ
ト棒8に合成ガラス膜(フッ素ドープト石英ガラス)1
9を堆積させるものであって、本発明者等の実験によれ
ば、4重管石英バーナ4内を流れる原料′混合ガスとし
て、5icp42,0001n9/M、 cc−e、p
。
500cc/xiをArをキャリアとして送り込み、1
01111φのターゲツト棒8にフッ素ドープト石英ガ
ラスを堆積させたところ、合成ガラス膜19の成長速度
は、従来のプラズマ法(sick4、C(J、F。
01111φのターゲツト棒8にフッ素ドープト石英ガ
ラスを堆積させたところ、合成ガラス膜19の成長速度
は、従来のプラズマ法(sick4、C(J、F。
をO2をキャリアとして高温プラズマ炎のなかに送り込
み、プラズマ炎のなかで合成されたガラス微粒子をター
ゲツト棒に吹き付ける方法)K比べて約2倍の早さとな
っており、他方、上記実験によって得られたフッ素ドー
プト石英ガラス19の比屈折率差は1チと十分な低屈折
率差であることが確認された。
み、プラズマ炎のなかで合成されたガラス微粒子をター
ゲツト棒に吹き付ける方法)K比べて約2倍の早さとな
っており、他方、上記実験によって得られたフッ素ドー
プト石英ガラス19の比屈折率差は1チと十分な低屈折
率差であることが確認された。
なお、本発明で使用するフッ素ドープ用の原料ガスは、
上記以外に、たとえばCCA、F、 C(JF、、CF
4、C’HC,gF2、C2(J、 F4、SFs ナ
トを用イル、J:うにしてもよく、寸たプラズマ炎は、
酸素プラズマ炎に代えて、アルゴンプラズマ炎を用いて
もよい。さらに、第1図の実施例においては、本発明を
横形外付法に採用した場合について例示したが上記横形
外付法に代えて、縦形軸付法に本発明を採用してもよい
。すなわち、第1図に示す横形配置のターゲツト棒8に
代えて、垂直方向に回転しながら引下げられるターゲッ
ト上にフッ素ドープト石英ガラスを堆積させ、上記のよ
うにして得られたガラス棒の中心に穴をあけて、その穴
の内面研磨をおこなった後、当該穴のなかにコア(石英
ガラス棒)を挿入し、ロッドインチューブ法によって光
ファイバ母材を製造するようKしてもよい。
上記以外に、たとえばCCA、F、 C(JF、、CF
4、C’HC,gF2、C2(J、 F4、SFs ナ
トを用イル、J:うにしてもよく、寸たプラズマ炎は、
酸素プラズマ炎に代えて、アルゴンプラズマ炎を用いて
もよい。さらに、第1図の実施例においては、本発明を
横形外付法に採用した場合について例示したが上記横形
外付法に代えて、縦形軸付法に本発明を採用してもよい
。すなわち、第1図に示す横形配置のターゲツト棒8に
代えて、垂直方向に回転しながら引下げられるターゲッ
ト上にフッ素ドープト石英ガラスを堆積させ、上記のよ
うにして得られたガラス棒の中心に穴をあけて、その穴
の内面研磨をおこなった後、当該穴のなかにコア(石英
ガラス棒)を挿入し、ロッドインチューブ法によって光
ファイバ母材を製造するようKしてもよい。
以上、図示実施例の説明からも明らかなように本発明は
、従来おこなわれているフッ素ドープト石英ガラスの成
形法(VAD法およびプラズマ法)のうち、プラズマ法
の難点を解決すべく、種々実験を重ねた結果なされたも
のであって、本発明によれば、フッ素ドープト石英ガラ
スの比屈折率差が低屈折率差で、しかも合成ガラス膜の
成長速度を早めることのできる、改良された光ファイバ
母材の製造方法を得ることができる。
、従来おこなわれているフッ素ドープト石英ガラスの成
形法(VAD法およびプラズマ法)のうち、プラズマ法
の難点を解決すべく、種々実験を重ねた結果なされたも
のであって、本発明によれば、フッ素ドープト石英ガラ
スの比屈折率差が低屈折率差で、しかも合成ガラス膜の
成長速度を早めることのできる、改良された光ファイバ
母材の製造方法を得ることができる。
第1図は本発明方法の実施に供して好適な光ファイバ母
材製造装置の全体構成説明図、第2図は第1図のA−A
拡大断面図、第3図は第2図の一部縦断側面図である。 ■・・・高周波プラズマトーチ、2・・・4重管石英バ
ーナ、6・・ガラス旋盤、8・・・ターゲツト棒(石英
ガラス棒)、19・・・合成ガラス膜(フッ素ドープト
石英ガラス)。 第 1 日
材製造装置の全体構成説明図、第2図は第1図のA−A
拡大断面図、第3図は第2図の一部縦断側面図である。 ■・・・高周波プラズマトーチ、2・・・4重管石英バ
ーナ、6・・ガラス旋盤、8・・・ターゲツト棒(石英
ガラス棒)、19・・・合成ガラス膜(フッ素ドープト
石英ガラス)。 第 1 日
Claims (1)
- (1)高周波プラズマトーチによってプラズマ炎を発生
させ、多重管バーナで火炎加水分解されたガラス微粒子
を上記プラズマ炎に直接吹き付けてターゲットにフッ素
ドープトガラスを堆積させることを特徴とする光ファイ
バ母材の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27119284A JPS61151031A (ja) | 1984-12-21 | 1984-12-21 | 光フアイバ母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27119284A JPS61151031A (ja) | 1984-12-21 | 1984-12-21 | 光フアイバ母材の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61151031A true JPS61151031A (ja) | 1986-07-09 |
Family
ID=17496627
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27119284A Pending JPS61151031A (ja) | 1984-12-21 | 1984-12-21 | 光フアイバ母材の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61151031A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5154745A (en) * | 1990-03-29 | 1992-10-13 | Alcatel Alsthom Compagnie Generale D'electricite | Method of fabricating preforms for making optical fibers by drawing |
FR2713621A1 (fr) * | 1993-12-14 | 1995-06-16 | Alcatel Fibres Optiques | Procédé de recharge par plasma d'une préforme pour fibre optique et fibre optique issue de la préforme rechargée selon ce procédé. |
DE10231037C1 (de) * | 2002-07-09 | 2003-10-16 | Heraeus Tenevo Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer Vorform aus synthetischem Quarzglas mittels plasmaunterstütztem Abscheideverfahren |
JP2009078703A (ja) * | 2007-09-26 | 2009-04-16 | Toyota Motor Corp | 燃料電池搭載車両 |
-
1984
- 1984-12-21 JP JP27119284A patent/JPS61151031A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5154745A (en) * | 1990-03-29 | 1992-10-13 | Alcatel Alsthom Compagnie Generale D'electricite | Method of fabricating preforms for making optical fibers by drawing |
FR2713621A1 (fr) * | 1993-12-14 | 1995-06-16 | Alcatel Fibres Optiques | Procédé de recharge par plasma d'une préforme pour fibre optique et fibre optique issue de la préforme rechargée selon ce procédé. |
EP0658520A1 (fr) * | 1993-12-14 | 1995-06-21 | Alcatel Fibres Optiques | Procédé de recharge par plasma d'une préforme pour fibre optique et fibre optique issue de la préforme rechargée selon ce procédé |
US5522007A (en) * | 1993-12-14 | 1996-05-28 | Alcatel Fibres Optiques | Method of building up an optical fiber preform by plasma deposition, and an optical fiber obtained from the preform built up by the method |
DE10231037C1 (de) * | 2002-07-09 | 2003-10-16 | Heraeus Tenevo Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer Vorform aus synthetischem Quarzglas mittels plasmaunterstütztem Abscheideverfahren |
JP2009078703A (ja) * | 2007-09-26 | 2009-04-16 | Toyota Motor Corp | 燃料電池搭載車両 |
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