JPS61151031A - 光フアイバ母材の製造方法 - Google Patents
光フアイバ母材の製造方法Info
- Publication number
- JPS61151031A JPS61151031A JP27119284A JP27119284A JPS61151031A JP S61151031 A JPS61151031 A JP S61151031A JP 27119284 A JP27119284 A JP 27119284A JP 27119284 A JP27119284 A JP 27119284A JP S61151031 A JPS61151031 A JP S61151031A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluorine
- glass
- optical fiber
- doped
- fiber preform
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/018—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
- C03B37/01807—Reactant delivery systems, e.g. reactant deposition burners
- C03B37/01815—Reactant deposition burners or deposition heating means
- C03B37/01823—Plasma deposition burners or heating means
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2201/00—Type of glass produced
- C03B2201/06—Doped silica-based glasses
- C03B2201/08—Doped silica-based glasses doped with boron or fluorine or other refractive index decreasing dopant
- C03B2201/12—Doped silica-based glasses doped with boron or fluorine or other refractive index decreasing dopant doped with fluorine
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の背景と目的〕
本発明は光ファイバ母材の製造方法、さらに詳細には、
フッ素ドープト′クラッドを有する光ファイバ母材の製
造方法に関するものである。
フッ素ドープト′クラッドを有する光ファイバ母材の製
造方法に関するものである。
高Ｎ Ａ （Ｎｕｍｅｒｉｃａｌ Ａｐｅｒｔｕｒｅ
）の光ファイバ母材または純粋石英をコアとする光ファ
イバ母材を製造するには、クラッドとして、フッ素ドー
プト石英ガラスを使用するのがよいとされている。
）の光ファイバ母材または純粋石英をコアとする光ファ
イバ母材を製造するには、クラッドとして、フッ素ドー
プト石英ガラスを使用するのがよいとされている。
フッ素ドープト石英ガラスの成形法には、ＶＡＤ法（軸
付法）とプラズマ法とがある。
付法）とプラズマ法とがある。
しかして、ＶＡＤ法は、焼結工種をフロン系ガス（たと
えばＣ（Ｊ、Ｆ、、０Ｆ４）雰囲気中でおこなうように
しているが、この方法によって得られたフッ素ドープト
石英ガラスの比屈折率差は０．２チ程度であり、十分な
低屈折率差（Δｎ＝１ ％ ）を得るには至っていない
。
えばＣ（Ｊ、Ｆ、、０Ｆ４）雰囲気中でおこなうように
しているが、この方法によって得られたフッ素ドープト
石英ガラスの比屈折率差は０．２チ程度であり、十分な
低屈折率差（Δｎ＝１ ％ ）を得るには至っていない
。
これに対し、プラズマ法は、原料ガスをキャリアガスと
ともに高温プラズマ炎のなかに送り込みプラズマ炎のな
かで合成されたガラス微粒子をターゲットに吹き付ける
というものであり、この方法によれば、低屈折率差（Δ
ｎ＝１ ％ ）のフッ素ドープト石英ガラスが得られる
が、その反面、合成ガラス膜の成長速度が遅いという難
点がある。
ともに高温プラズマ炎のなかに送り込みプラズマ炎のな
かで合成されたガラス微粒子をターゲットに吹き付ける
というものであり、この方法によれば、低屈折率差（Δ
ｎ＝１ ％ ）のフッ素ドープト石英ガラスが得られる
が、その反面、合成ガラス膜の成長速度が遅いという難
点がある。
本発明は、上記したフッ素ドープト石英ガラスの成形法
（ＶＡＤ法およびプラズマ法）のうち、プラズマ法の難
点を解決すべく、種々実験を重ねた結果なされたもので
あって、その目的とするところは、フッ素ドープト石英
ガラスの比屈折率差が低屈折率差で、しかも合成ガラス
膜の成長速度を早めることのできる、改良された光ファ
イバ母材の製造方法を提供しようとするものである。
（ＶＡＤ法およびプラズマ法）のうち、プラズマ法の難
点を解決すべく、種々実験を重ねた結果なされたもので
あって、その目的とするところは、フッ素ドープト石英
ガラスの比屈折率差が低屈折率差で、しかも合成ガラス
膜の成長速度を早めることのできる、改良された光ファ
イバ母材の製造方法を提供しようとするものである。
上記目的を達成するため、本発明に係る光ファイバ母材
の製造方法は、高周波プラズマトーチによってプラズマ
炎を発生させ、多重管バーナで火炎加水分解されたガラ
ス微粒子を上記プラズマ炎に直接吹き付けてターゲット
にフッ素ドープトガラスを堆積させることを特徴とする
ものである。
の製造方法は、高周波プラズマトーチによってプラズマ
炎を発生させ、多重管バーナで火炎加水分解されたガラ
ス微粒子を上記プラズマ炎に直接吹き付けてターゲット
にフッ素ドープトガラスを堆積させることを特徴とする
ものである。
以下、本発明を、図面にもとづいて説明すると第１図は
本発明方法の実施に供して好適な光ファイバ母材製造装
置の全体構成説明図、第２図は第１図のＡ−Ａ拡大断面
図、第３図は第２図の一部縦断側面図で、第１図におい
て、１は高周波プラズマトーチ、２は４重管石英バーナ
を示し、４重管石英バーナ２の内部構造は第２図および
第３図に示すとおりであシ、石英バーナ２の外周には、
バーナ用フード３が取付けられている。オた石英バーナ
２の内部には、その中心側から順に、原料混合ガス（Ｓ
ｉ ＣＪ３４、ＣＣ）、Ｆ３、Ａｒ）、Ａｒ、Ｈ。
本発明方法の実施に供して好適な光ファイバ母材製造装
置の全体構成説明図、第２図は第１図のＡ−Ａ拡大断面
図、第３図は第２図の一部縦断側面図で、第１図におい
て、１は高周波プラズマトーチ、２は４重管石英バーナ
を示し、４重管石英バーナ２の内部構造は第２図および
第３図に示すとおりであシ、石英バーナ２の外周には、
バーナ用フード３が取付けられている。オた石英バーナ
２の内部には、その中心側から順に、原料混合ガス（Ｓ
ｉ ＣＪ３４、ＣＣ）、Ｆ３、Ａｒ）、Ａｒ、Ｈ。
Ｏ９が流れる。４は窒素ガスが供給されるガスンールキ
ャップ、５ｉチヤンバである。６はガラス旋盤、７はタ
ーゲツト棒（石英ガラス棒）８の両端を回転支持する移
動ヘッドで、移動ヘッド７は、モータ９によって上下方
向に移動される。才た、ガラス旋盤６は、図示を省略し
た駆動機構によりベッド１０上を軸方向に駆動される。
ャップ、５ｉチヤンバである。６はガラス旋盤、７はタ
ーゲツト棒（石英ガラス棒）８の両端を回転支持する移
動ヘッドで、移動ヘッド７は、モータ９によって上下方
向に移動される。才た、ガラス旋盤６は、図示を省略し
た駆動機構によりベッド１０上を軸方向に駆動される。
１１はガラス旋盤６の移動量を制服するストッパで、こ
のストッパ１１は、ベッド１０上に取り付けられている
。図中、１２はバッファタンク、１３は排気管１４は熱
交換器、１５はスクラバー、１６は排気ファン、１７は
バルブ、１８はガス圧力計を示している。
のストッパ１１は、ベッド１０上に取り付けられている
。図中、１２はバッファタンク、１３は排気管１４は熱
交換器、１５はスクラバー、１６は排気ファン、１７は
バルブ、１８はガス圧力計を示している。
以上の構成において、第１図に符号１９で示す合成ガラ
ス膜の成形にあたっては、高周波プラメマトーチ１に矢
印のごとく酸素を送り込み、酸素プラズマ炎を発生させ
る。オた、酸素プラズマ炎の下方に位置して、石英バー
ナ２からは、当該石英バーナ２で火炎加水分解されたガ
ラス微粒子を酸素プラズマ炎に直接吹き付け、ターゲツ
ト棒８に合成ガラス膜（フッ素ドープト石英ガラス）１
９を堆積させるものであって、本発明者等の実験によれ
ば、４重管石英バーナ４内を流れる原料′混合ガスとし
て、５ｉｃｐ４２，０００１ｎ９／Ｍ、 ｃｃ−ｅ、ｐ
。
ス膜の成形にあたっては、高周波プラメマトーチ１に矢
印のごとく酸素を送り込み、酸素プラズマ炎を発生させ
る。オた、酸素プラズマ炎の下方に位置して、石英バー
ナ２からは、当該石英バーナ２で火炎加水分解されたガ
ラス微粒子を酸素プラズマ炎に直接吹き付け、ターゲツ
ト棒８に合成ガラス膜（フッ素ドープト石英ガラス）１
９を堆積させるものであって、本発明者等の実験によれ
ば、４重管石英バーナ４内を流れる原料′混合ガスとし
て、５ｉｃｐ４２，０００１ｎ９／Ｍ、 ｃｃ−ｅ、ｐ
。
５００ｃｃ／ｘｉをＡｒをキャリアとして送り込み、１
０１１１１φのターゲツト棒８にフッ素ドープト石英ガ
ラスを堆積させたところ、合成ガラス膜１９の成長速度
は、従来のプラズマ法（ｓｉｃｋ４、Ｃ（Ｊ、Ｆ。
０１１１１φのターゲツト棒８にフッ素ドープト石英ガ
ラスを堆積させたところ、合成ガラス膜１９の成長速度
は、従来のプラズマ法（ｓｉｃｋ４、Ｃ（Ｊ、Ｆ。
をＯ２をキャリアとして高温プラズマ炎のなかに送り込
み、プラズマ炎のなかで合成されたガラス微粒子をター
ゲツト棒に吹き付ける方法）Ｋ比べて約２倍の早さとな
っており、他方、上記実験によって得られたフッ素ドー
プト石英ガラス１９の比屈折率差は１チと十分な低屈折
率差であることが確認された。
み、プラズマ炎のなかで合成されたガラス微粒子をター
ゲツト棒に吹き付ける方法）Ｋ比べて約２倍の早さとな
っており、他方、上記実験によって得られたフッ素ドー
プト石英ガラス１９の比屈折率差は１チと十分な低屈折
率差であることが確認された。
なお、本発明で使用するフッ素ドープ用の原料ガスは、
上記以外に、たとえばＣＣＡ、Ｆ、 Ｃ（ＪＦ、、ＣＦ
４、Ｃ’ＨＣ，ｇＦ２、Ｃ２（Ｊ、 Ｆ４、ＳＦｓ ナ
トを用イル、Ｊ：うにしてもよく、寸たプラズマ炎は、
酸素プラズマ炎に代えて、アルゴンプラズマ炎を用いて
もよい。さらに、第１図の実施例においては、本発明を
横形外付法に採用した場合について例示したが上記横形
外付法に代えて、縦形軸付法に本発明を採用してもよい
。すなわち、第１図に示す横形配置のターゲツト棒８に
代えて、垂直方向に回転しながら引下げられるターゲッ
ト上にフッ素ドープト石英ガラスを堆積させ、上記のよ
うにして得られたガラス棒の中心に穴をあけて、その穴
の内面研磨をおこなった後、当該穴のなかにコア（石英
ガラス棒）を挿入し、ロッドインチューブ法によって光
ファイバ母材を製造するようＫしてもよい。
上記以外に、たとえばＣＣＡ、Ｆ、 Ｃ（ＪＦ、、ＣＦ
４、Ｃ’ＨＣ，ｇＦ２、Ｃ２（Ｊ、 Ｆ４、ＳＦｓ ナ
トを用イル、Ｊ：うにしてもよく、寸たプラズマ炎は、
酸素プラズマ炎に代えて、アルゴンプラズマ炎を用いて
もよい。さらに、第１図の実施例においては、本発明を
横形外付法に採用した場合について例示したが上記横形
外付法に代えて、縦形軸付法に本発明を採用してもよい
。すなわち、第１図に示す横形配置のターゲツト棒８に
代えて、垂直方向に回転しながら引下げられるターゲッ
ト上にフッ素ドープト石英ガラスを堆積させ、上記のよ
うにして得られたガラス棒の中心に穴をあけて、その穴
の内面研磨をおこなった後、当該穴のなかにコア（石英
ガラス棒）を挿入し、ロッドインチューブ法によって光
ファイバ母材を製造するようＫしてもよい。
以上、図示実施例の説明からも明らかなように本発明は
、従来おこなわれているフッ素ドープト石英ガラスの成
形法（ＶＡＤ法およびプラズマ法）のうち、プラズマ法
の難点を解決すべく、種々実験を重ねた結果なされたも
のであって、本発明によれば、フッ素ドープト石英ガラ
スの比屈折率差が低屈折率差で、しかも合成ガラス膜の
成長速度を早めることのできる、改良された光ファイバ
母材の製造方法を得ることができる。
、従来おこなわれているフッ素ドープト石英ガラスの成
形法（ＶＡＤ法およびプラズマ法）のうち、プラズマ法
の難点を解決すべく、種々実験を重ねた結果なされたも
のであって、本発明によれば、フッ素ドープト石英ガラ
スの比屈折率差が低屈折率差で、しかも合成ガラス膜の
成長速度を早めることのできる、改良された光ファイバ
母材の製造方法を得ることができる。
第１図は本発明方法の実施に供して好適な光ファイバ母
材製造装置の全体構成説明図、第２図は第１図のＡ−Ａ
拡大断面図、第３図は第２図の一部縦断側面図である。 ■・・・高周波プラズマトーチ、２・・・４重管石英バ
ーナ、６・・ガラス旋盤、８・・・ターゲツト棒（石英
ガラス棒）、１９・・・合成ガラス膜（フッ素ドープト
石英ガラス）。 第 １ 日
材製造装置の全体構成説明図、第２図は第１図のＡ−Ａ
拡大断面図、第３図は第２図の一部縦断側面図である。 ■・・・高周波プラズマトーチ、２・・・４重管石英バ
ーナ、６・・ガラス旋盤、８・・・ターゲツト棒（石英
ガラス棒）、１９・・・合成ガラス膜（フッ素ドープト
石英ガラス）。 第 １ 日
Claims (1)
- （１）高周波プラズマトーチによってプラズマ炎を発生
させ、多重管バーナで火炎加水分解されたガラス微粒子
を上記プラズマ炎に直接吹き付けてターゲットにフッ素
ドープトガラスを堆積させることを特徴とする光ファイ
バ母材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27119284A JPS61151031A (ja) | 1984-12-21 | 1984-12-21 | 光フアイバ母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27119284A JPS61151031A (ja) | 1984-12-21 | 1984-12-21 | 光フアイバ母材の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61151031A true JPS61151031A (ja) | 1986-07-09 |
Family
ID=17496627
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27119284A Pending JPS61151031A (ja) | 1984-12-21 | 1984-12-21 | 光フアイバ母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61151031A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5154745A (en) * | 1990-03-29 | 1992-10-13 | Alcatel Alsthom Compagnie Generale D'electricite | Method of fabricating preforms for making optical fibers by drawing |
| FR2713621A1 (fr) * | 1993-12-14 | 1995-06-16 | Alcatel Fibres Optiques | Procédé de recharge par plasma d'une préforme pour fibre optique et fibre optique issue de la préforme rechargée selon ce procédé. |
| DE10231037C1 (de) * | 2002-07-09 | 2003-10-16 | Heraeus Tenevo Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer Vorform aus synthetischem Quarzglas mittels plasmaunterstütztem Abscheideverfahren |
| JP2009078703A (ja) * | 2007-09-26 | 2009-04-16 | Toyota Motor Corp | 燃料電池搭載車両 |
-
1984
- 1984-12-21 JP JP27119284A patent/JPS61151031A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5154745A (en) * | 1990-03-29 | 1992-10-13 | Alcatel Alsthom Compagnie Generale D'electricite | Method of fabricating preforms for making optical fibers by drawing |
| FR2713621A1 (fr) * | 1993-12-14 | 1995-06-16 | Alcatel Fibres Optiques | Procédé de recharge par plasma d'une préforme pour fibre optique et fibre optique issue de la préforme rechargée selon ce procédé. |
| EP0658520A1 (fr) * | 1993-12-14 | 1995-06-21 | Alcatel Fibres Optiques | Procédé de recharge par plasma d'une préforme pour fibre optique et fibre optique issue de la préforme rechargée selon ce procédé |
| US5522007A (en) * | 1993-12-14 | 1996-05-28 | Alcatel Fibres Optiques | Method of building up an optical fiber preform by plasma deposition, and an optical fiber obtained from the preform built up by the method |
| DE10231037C1 (de) * | 2002-07-09 | 2003-10-16 | Heraeus Tenevo Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer Vorform aus synthetischem Quarzglas mittels plasmaunterstütztem Abscheideverfahren |
| JP2009078703A (ja) * | 2007-09-26 | 2009-04-16 | Toyota Motor Corp | 燃料電池搭載車両 |
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