JPS59174537A - 光フアイバ母材の製造方法 - Google Patents
光フアイバ母材の製造方法Info
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- JPS59174537A JPS59174537A JP4857683A JP4857683A JPS59174537A JP S59174537 A JPS59174537 A JP S59174537A JP 4857683 A JP4857683 A JP 4857683A JP 4857683 A JP4857683 A JP 4857683A JP S59174537 A JPS59174537 A JP S59174537A
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- burner
- flame
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
- C03B37/0142—Reactant deposition burners
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01446—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/04—Multi-nested ports
- C03B2207/06—Concentric circular ports
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/20—Specific substances in specified ports, e.g. all gas flows specified
-
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- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/20—Specific substances in specified ports, e.g. all gas flows specified
- C03B2207/22—Inert gas details
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/70—Control measures
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光フアイバ母材の製造方法に係り、特にクラッ
ド層付きの光ファイ・ζ母材の製造方法に関するもので
ある。
ド層付きの光ファイ・ζ母材の製造方法に関するもので
ある。
従来の光ファイ・ζ母材の製造方法は、ノ々−すが1本
の場合はコアに相当する部分のみを製造し、次工程でク
ララrに相当するガラス管で被覆して光ファイ、2母材
を2工程で製造するのが最も一般的な方法であった。ま
た、別法として別の・ζ−すを用いてコアの周囲にクラ
ッドを成長させ、その後に焼結ガラス化して光ファイ/
ζ母材を製造していた。
の場合はコアに相当する部分のみを製造し、次工程でク
ララrに相当するガラス管で被覆して光ファイ、2母材
を2工程で製造するのが最も一般的な方法であった。ま
た、別法として別の・ζ−すを用いてコアの周囲にクラ
ッドを成長させ、その後に焼結ガラス化して光ファイ/
ζ母材を製造していた。
・しかるに上記の次工程でコアをガラス管で被覆する方
法は、ガラス管内壁とコア相当の光フアイバ母材の表面
処理が必要となるし、コアの周囲に別のノ々−すでクラ
ッドを成長させる方法は、ノ々−ナの本数が増加して装
置が複雑となり、多孔質母材形状の制御が困難になると
いう欠点をもっていた。
法は、ガラス管内壁とコア相当の光フアイバ母材の表面
処理が必要となるし、コアの周囲に別のノ々−すでクラ
ッドを成長させる方法は、ノ々−ナの本数が増加して装
置が複雑となり、多孔質母材形状の制御が困難になると
いう欠点をもっていた。
本発明は上記従来技術の欠点を解消し、高精度で経済的
な光ファイ・ぐ母材の製造方法を提供することを目的と
し、その特徴とするところは、垂直に立てた3重管ノζ
−すの中心管より 5ic4 、Gec14 。
な光ファイ・ぐ母材の製造方法を提供することを目的と
し、その特徴とするところは、垂直に立てた3重管ノζ
−すの中心管より 5ic4 、Gec14 。
Ar 及びH2の混合ガスを、この中心管の外側よりA
rを、更にその外側の管より02を流出させて燃焼し、
3重管・ζ−すの中心とその火炎を吹付けて混合ガスの
酸化物粒子を付着させるために垂直に立てた石英棒ター
ゲットの下端中心とのずれを1〜4膿の範囲に規制し、
この多孔質母材を加熱ガラス化してクララP部を有する
コアロッドを製造することにある。
rを、更にその外側の管より02を流出させて燃焼し、
3重管・ζ−すの中心とその火炎を吹付けて混合ガスの
酸化物粒子を付着させるために垂直に立てた石英棒ター
ゲットの下端中心とのずれを1〜4膿の範囲に規制し、
この多孔質母材を加熱ガラス化してクララP部を有する
コアロッドを製造することにある。
第1図は本発明の一実施例である光フアイバ母材の製造
装置の垂直断面図である。本方法は上方に向けて垂直に
取り付けられたノ々−す1の火炎中に混合ガスを送り込
んで酸化物微粒子を生成し、この酸化物微粒子を・ζ−
す1の上方の棒状石英ターゲット20の先端に吹き付は
堆積させて多孔質母材10を生長させる。その後これを
引上げ加熱してガラス化し、光ファイ・々母材19を製
造する。
装置の垂直断面図である。本方法は上方に向けて垂直に
取り付けられたノ々−す1の火炎中に混合ガスを送り込
んで酸化物微粒子を生成し、この酸化物微粒子を・ζ−
す1の上方の棒状石英ターゲット20の先端に吹き付は
堆積させて多孔質母材10を生長させる。その後これを
引上げ加熱してガラス化し、光ファイ・々母材19を製
造する。
これに用いられる3重管ノζ−す1は中心管に51c1
4゜Gec74やPoc13.Ar及びN2を流し、そ
の外側には順次にA r + 02を流してクラッド層
材の光ファイノミ母材19を作る方法である。即ち、v
AD法による製造方法を用いている。
4゜Gec74やPoc13.Ar及びN2を流し、そ
の外側には順次にA r + 02を流してクラッド層
材の光ファイノミ母材19を作る方法である。即ち、v
AD法による製造方法を用いている。
(1図に−よって以下詳細に説明する。lは3重管のバ
ーナ、2は・ζ−す1を保持する微動支持台、3はN2
カス導入管、4はガス容器台、5は差圧計である。ガス
容器台4の上には大きさの異なるガラス管6,7.8
が・設装置され、排気孔付きガラス容器9内に収容され
ている。また、10は多孔質母材でバーナ1より垂直に
立ち登る火炎25によって下端に酸化物が付着させられ
る。11は仕切板、12はフランジ、13は差圧計、1
4はフランジ、15は焼結炉容器、16はN2ガスカー
テン、17はカーダンヒータ、18はカーダン炉心管、
19は光ファイ・々母材である。20は光ファイ・々母
材19を支持する石英棒ターゲット、21はカーゼヒ−
タ、22は回転引上げ装置、23はガラス容器、24は
差圧計、25は多孔質母材10の下端に達する火炎、2
6はテレビジョンカメラ、27はテレビジョンディスプ
レイである。
ーナ、2は・ζ−す1を保持する微動支持台、3はN2
カス導入管、4はガス容器台、5は差圧計である。ガス
容器台4の上には大きさの異なるガラス管6,7.8
が・設装置され、排気孔付きガラス容器9内に収容され
ている。また、10は多孔質母材でバーナ1より垂直に
立ち登る火炎25によって下端に酸化物が付着させられ
る。11は仕切板、12はフランジ、13は差圧計、1
4はフランジ、15は焼結炉容器、16はN2ガスカー
テン、17はカーダンヒータ、18はカーダン炉心管、
19は光ファイ・々母材である。20は光ファイ・々母
材19を支持する石英棒ターゲット、21はカーゼヒ−
タ、22は回転引上げ装置、23はガラス容器、24は
差圧計、25は多孔質母材10の下端に達する火炎、2
6はテレビジョンカメラ、27はテレビジョンディスプ
レイである。
上向きに固定された)ζ−すlに原料ガスと燃料ガスが
送り込り込み、火炎25中の加水分解反応によって酸化
物微粒子を生成して石英棒ターゲット20の先端に堆積
する。バーナ1の火炎25の周辺に配置されたガラス管
6,7.8から吹き出になるように制御する。このよう
にして外径6’ Omm %長さ300mm、かさ密度
0.2f/ccの多孔質母材7を得る。
送り込り込み、火炎25中の加水分解反応によって酸化
物微粒子を生成して石英棒ターゲット20の先端に堆積
する。バーナ1の火炎25の周辺に配置されたガラス管
6,7.8から吹き出になるように制御する。このよう
にして外径6’ Omm %長さ300mm、かさ密度
0.2f/ccの多孔質母材7を得る。
次に、この多孔質母材7を焼結ガラス化して光ファイノ
々母材とするのであるが、この場合、本発明においては
、多孔質母材7に残存しているOH基を除去するため、
下記のようにした。すなわち、第2図(a)に示すよう
に、まず、多孔質母材7をカーダン炉芯管22の中に入
れ、ガラス管16内にHeガスを207.−の流量で流
入し、ガラス管16内の内圧が外部よりも02〜1 m
m N20高く々る状態とし、カーゼヒータ12で多孔
質母材7が透明ガラス化しない1250℃に加熱し、多
孔質母材7を3fflF?!/朗の速度で図示しない回
転引上装置によって引き上げる。このとき、カーゼヒー
タ12の部分を通過した多孔質母材7は予備焼結体23
となる。
々母材とするのであるが、この場合、本発明においては
、多孔質母材7に残存しているOH基を除去するため、
下記のようにした。すなわち、第2図(a)に示すよう
に、まず、多孔質母材7をカーダン炉芯管22の中に入
れ、ガラス管16内にHeガスを207.−の流量で流
入し、ガラス管16内の内圧が外部よりも02〜1 m
m N20高く々る状態とし、カーゼヒータ12で多孔
質母材7が透明ガラス化しない1250℃に加熱し、多
孔質母材7を3fflF?!/朗の速度で図示しない回
転引上装置によって引き上げる。このとき、カーゼヒー
タ12の部分を通過した多孔質母材7は予備焼結体23
となる。
多孔質母材7の全長が予備焼結体23になったら、直ち
に温度を透明ガラス化する1450℃に上げ、第2図(
b)に示すように、予備焼結体23を1〜2 mm/m
の速度で引き下げ、カーダンヒータ12の部第2図は第
1図の装置で得られた光ファイノミ母材の屈折率分布を
示す線図で、横軸は光ファイ・2母材19の断面寸法で
あり、縦軸は屈折率nである。光ファイノミ母材19の
直経を1とするとその0.6の範囲はコア部に相肖し、
屈折率差△nは1%であった。
に温度を透明ガラス化する1450℃に上げ、第2図(
b)に示すように、予備焼結体23を1〜2 mm/m
の速度で引き下げ、カーダンヒータ12の部第2図は第
1図の装置で得られた光ファイノミ母材の屈折率分布を
示す線図で、横軸は光ファイ・2母材19の断面寸法で
あり、縦軸は屈折率nである。光ファイノミ母材19の
直経を1とするとその0.6の範囲はコア部に相肖し、
屈折率差△nは1%であった。
第3図は第1図の装置の・ζ−す位置とコア径/クラッ
ド外径との関係を示す線図である。・ζ−すlの中心位
置を石英棒ターゲラ)20の中心より1〜4mの範囲で
ずらすことによって、コア径/クラッド外径の値は0.
20−0.80まで変化した。
ド外径との関係を示す線図である。・ζ−すlの中心位
置を石英棒ターゲラ)20の中心より1〜4mの範囲で
ずらすことによって、コア径/クラッド外径の値は0.
20−0.80まで変化した。
このような光ファイノミ母材(プレフォーム)19を加
熱延伸してファイ・ζ化すると、その伝送損失は0.8
5μmの波長光で2.5dB/Km、1.3/jyyz
の波長光で0.5 d B/Km、伝送帯域は800M
Hz以上の光コアイノ々が得られた。なお、ノz−す1
の中心と石英棒タゲツ)20の中心すれが1mm以下で
は、スートが偏心して、正常な光ファイノミ母材19を
作ることができなかった。また、中心ずれが4m以上の
場合はクララ1部が殆んど形成されないようになる。
熱延伸してファイ・ζ化すると、その伝送損失は0.8
5μmの波長光で2.5dB/Km、1.3/jyyz
の波長光で0.5 d B/Km、伝送帯域は800M
Hz以上の光コアイノ々が得られた。なお、ノz−す1
の中心と石英棒タゲツ)20の中心すれが1mm以下で
は、スートが偏心して、正常な光ファイノミ母材19を
作ることができなかった。また、中心ずれが4m以上の
場合はクララ1部が殆んど形成されないようになる。
したがって、バーナ1の位置は第3図の範囲に制限され
ることになる。この光ファイノ々母材19にはOH基が
含まれないので、伝送損失は上記の如く減少している。
ることになる。この光ファイノ々母材19にはOH基が
含まれないので、伝送損失は上記の如く減少している。
本実施例の光フアイバ母材の製造方法は、・ζ−すを3
重管として中心部に5ic4 、 Gec14 、 A
r 、 N2を流し、第1外層にArを、第2外層に0
2を所定量流して燃焼させ、このバーナ位置を石英棒タ
ーゲットの中心位置より1〜4畷の範囲でずらすことに
よりクラッド付光ファイノ々の母材が能率的に製造され
、OH基を含んでいないので光伝送特性の優れた光ファ
イノ々母材が得られるという効果をもっている。
重管として中心部に5ic4 、 Gec14 、 A
r 、 N2を流し、第1外層にArを、第2外層に0
2を所定量流して燃焼させ、このバーナ位置を石英棒タ
ーゲットの中心位置より1〜4畷の範囲でずらすことに
よりクラッド付光ファイノ々の母材が能率的に製造され
、OH基を含んでいないので光伝送特性の優れた光ファ
イノ々母材が得られるという効果をもっている。
本発明の光ファイ・ζ母材の製造方法は、光伝送特性の
優れた光ファイ・ζ母材を能率良く製造できるという効
果が得られる。
優れた光ファイ・ζ母材を能率良く製造できるという効
果が得られる。
第1図は本発明の一実施例である光ファイガ母材の製造
装置の垂直断面図、第2図は第1図の装置で得られた光
ファイ・ζ母材の屈折率分布を示す線図1.第3図は第
1図の装置のノζ−す位置とコア径/クラツP外径との
関係を示す線図である。 1・・・・ζ−す、2・・・微動支持台、3・・・N2
ガス導入管、4・・・ガス導入台、5,13.24・・
・差圧計、6〜8・・・ガラス管、9.23・・・ガラ
ス容器、10・・・多孔質母材、11・・・仕切板、1
2.14・・・フランジ、15・パ焼結炉容器、16・
・・ガスカーテン、17・・・カーボンヒータ、18・
・・カーゼン炉心管、19°・・光フアイバ母材(プリ
フォーム)、20・・・石英棒ターゲット、21−・・
カーボンヒータ、22・・・回転引上げ装置、25・・
・火炎。 第 II2] 第 2 n 功イ づ υり a / 2 5
4バーtfii (力司〕
装置の垂直断面図、第2図は第1図の装置で得られた光
ファイ・ζ母材の屈折率分布を示す線図1.第3図は第
1図の装置のノζ−す位置とコア径/クラツP外径との
関係を示す線図である。 1・・・・ζ−す、2・・・微動支持台、3・・・N2
ガス導入管、4・・・ガス導入台、5,13.24・・
・差圧計、6〜8・・・ガラス管、9.23・・・ガラ
ス容器、10・・・多孔質母材、11・・・仕切板、1
2.14・・・フランジ、15・パ焼結炉容器、16・
・・ガスカーテン、17・・・カーボンヒータ、18・
・・カーゼン炉心管、19°・・光フアイバ母材(プリ
フォーム)、20・・・石英棒ターゲット、21−・・
カーボンヒータ、22・・・回転引上げ装置、25・・
・火炎。 第 II2] 第 2 n 功イ づ υり a / 2 5
4バーtfii (力司〕
Claims (1)
- 1、 垂直に立てた3重管ノ々−すの中心管より5ic
141 Gec14 、 Ar及びH2の混合ガスを、
この中心管の外側よりArを、更にその外側の管より0
2を流出させて燃焼し、上記3重管ノ々−すの中心とそ
の火炎を吹付けて上記混合ガスの酸化物粒子を付着させ
るために垂直に立てた石英棒ターゲットの下端中心との
ずれを1〜4 mmの範囲に規制し、この多孔質母材を
加熱ガラス化してクラッド部を有するコアロッドを製造
することを特徴とする光ファイ/ζ母材の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4857683A JPS59174537A (ja) | 1983-03-23 | 1983-03-23 | 光フアイバ母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4857683A JPS59174537A (ja) | 1983-03-23 | 1983-03-23 | 光フアイバ母材の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59174537A true JPS59174537A (ja) | 1984-10-03 |
Family
ID=12807223
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4857683A Pending JPS59174537A (ja) | 1983-03-23 | 1983-03-23 | 光フアイバ母材の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59174537A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2000023385A1 (fr) * | 1998-10-21 | 2000-04-27 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Dispositif et procede de production de matiere de base de verre poreuse |
-
1983
- 1983-03-23 JP JP4857683A patent/JPS59174537A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2000023385A1 (fr) * | 1998-10-21 | 2000-04-27 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Dispositif et procede de production de matiere de base de verre poreuse |
US6698249B1 (en) | 1998-10-21 | 2004-03-02 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Porous glass base material production device and method |
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