JPS593028A - 光フアイバ母材の製造方法 - Google Patents
光フアイバ母材の製造方法Info
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- JPS593028A JPS593028A JP10808082A JP10808082A JPS593028A JP S593028 A JPS593028 A JP S593028A JP 10808082 A JP10808082 A JP 10808082A JP 10808082 A JP10808082 A JP 10808082A JP S593028 A JPS593028 A JP S593028A
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- JP
- Japan
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- burner
- optical fiber
- base material
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- Pending
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
- C03B37/0142—Reactant deposition burners
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/04—Multi-nested ports
- C03B2207/06—Concentric circular ports
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/20—Specific substances in specified ports, e.g. all gas flows specified
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/20—Specific substances in specified ports, e.g. all gas flows specified
- C03B2207/22—Inert gas details
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- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、特にＶＡＤ法による光フアイバ母材の製造方
法の改良に関するものである。
法の改良に関するものである。
ＶＡＤ法により製作した光フアイバ母材は、バーナー１
本の場合ではコア部に相当する部分のみを製造するのが
一般的である。そのため、次工程でクラッド部に相当す
る部分を被覆して光フアイバ母材を形成するか、さもな
くば、別のバーナーを使用してコア部の上にクラッド部
を成長させ、その後、焼結ガラス化して光フアイバ母材
を形成していた。
本の場合ではコア部に相当する部分のみを製造するのが
一般的である。そのため、次工程でクラッド部に相当す
る部分を被覆して光フアイバ母材を形成するか、さもな
くば、別のバーナーを使用してコア部の上にクラッド部
を成長させ、その後、焼結ガラス化して光フアイバ母材
を形成していた。
このようにクラッド層まで含んだ光フアイバ母材を製造
するには、前者の製造方法では、ガラス管を新たに被覆
する工程が増加し、その際、ガラス管内壁とコア部相当
の光フアイバ母材の表面処理が必要である。また、後者
の製造方法では、バーナ一本数を増加することになるた
め、装置が複雑になり多孔質母材形状の制御も難しくな
る。
するには、前者の製造方法では、ガラス管を新たに被覆
する工程が増加し、その際、ガラス管内壁とコア部相当
の光フアイバ母材の表面処理が必要である。また、後者
の製造方法では、バーナ一本数を増加することになるた
め、装置が複雑になり多孔質母材形状の制御も難しくな
る。
本発明は上記の状況に鑑みなされたものであり、経済的
に光フアイバ母材を製作できる光フアイバ母材製造方法
を提供することを目的としだものである。
に光フアイバ母材を製作できる光フアイバ母材製造方法
を提供することを目的としだものである。
本発明の光フアイバ母材の製造方法は、上方に向は取り
付けられたバーナー火炎中に原料を送り込み酸化物微粒
子を生成し該酸化物微粒子を上記バーナ上方の棒状体の
石英ターゲットの先端に吹き付は堆積させて多孔質母材
を生長させ、その後焼結ガラス化して光フアイバ母材を
製造するとき、上記バーナー構造を３重管とし、該バー
ナーの中心層にＳ ＋ Ｏ／４ ＋ ＧｅＯ２０＋ Ｐ
ＯＯ／３ 、Ａｒ及び■１２を流し、これらの外側に順
にＡｒ１０２を流しクラッド層材の光フアイバ母材を作
る方法である。
付けられたバーナー火炎中に原料を送り込み酸化物微粒
子を生成し該酸化物微粒子を上記バーナ上方の棒状体の
石英ターゲットの先端に吹き付は堆積させて多孔質母材
を生長させ、その後焼結ガラス化して光フアイバ母材を
製造するとき、上記バーナー構造を３重管とし、該バー
ナーの中心層にＳ ＋ Ｏ／４ ＋ ＧｅＯ２０＋ Ｐ
ＯＯ／３ 、Ａｒ及び■１２を流し、これらの外側に順
にＡｒ１０２を流しクラッド層材の光フアイバ母材を作
る方法である。
以下本発明の光ファイバ母相の製造方法の一実施例をＶ
ＡＤ法にもとづく製造装置によって第１図により説明す
る。■はバーナー、２はバーナー支持微動台、３はガス
導入管、４はガス容器一台、５は差圧計、６．７．８は
いずれもガラス管、９は排気孔付ガラス容器、１０は多
孔質母材である。
ＡＤ法にもとづく製造装置によって第１図により説明す
る。■はバーナー、２はバーナー支持微動台、３はガス
導入管、４はガス容器一台、５は差圧計、６．７．８は
いずれもガラス管、９は排気孔付ガラス容器、１０は多
孔質母材である。
１１は仕切板、１２はフランジ、１３は差圧計、１４は
フランジ、１５は焼結炉容器、１６はガスカーテン、１
７はカーボンヒータ、１８はカーボン炉芯管、１９は焼
結ガラスである。また、２０は石英棒ターゲット、２１
はカーボンシート、２２は回転引上装置、２３はガラス
容器、２４は差圧計、２５は火炎、２６はテレビジョン
カメラ、２７はテレビジョンディスプレイである。
フランジ、１５は焼結炉容器、１６はガスカーテン、１
７はカーボンヒータ、１８はカーボン炉芯管、１９は焼
結ガラスである。また、２０は石英棒ターゲット、２１
はカーボンシート、２２は回転引上装置、２３はガラス
容器、２４は差圧計、２５は火炎、２６はテレビジョン
カメラ、２７はテレビジョンディスプレイである。
多孔質母材１０ば、上向けに同定されたバーナー１に原
料及び燃料を送り込まれ、加水分解反応により酸化物微
粒子を生成し、この酸化物微粒子は上方にある石英棒タ
ーゲット２０先端に堆積される。そして、バーナーｌの
火炎２５周辺に配置されたガラス管６．７．８から吹き
出される不活性ガス（Ｎ２）が多孔質母材ｌＯ及び火炎
２５に当てられて多孔質母材１０の底面形状が所定の形
状に形成されるようになっている。また、多孔質母材１
０の堆積中の状態は多孔質母相１０先端外周ノＤＩ ＋
１）２ 及Ｕ Ｄａの３個所を同時にテレビジョンカ
メラ２６、テレビジョンディスプレイ２７によす測定し
表示できるようになっている。
料及び燃料を送り込まれ、加水分解反応により酸化物微
粒子を生成し、この酸化物微粒子は上方にある石英棒タ
ーゲット２０先端に堆積される。そして、バーナーｌの
火炎２５周辺に配置されたガラス管６．７．８から吹き
出される不活性ガス（Ｎ２）が多孔質母材ｌＯ及び火炎
２５に当てられて多孔質母材１０の底面形状が所定の形
状に形成されるようになっている。また、多孔質母材１
０の堆積中の状態は多孔質母相１０先端外周ノＤＩ ＋
１）２ 及Ｕ Ｄａの３個所を同時にテレビジョンカ
メラ２６、テレビジョンディスプレイ２７によす測定し
表示できるようになっている。
石英棒ターゲット２ｏ直下に垂直に固定したバーナー１
は３重構造で、中心部にＳｉｎ／４２０００ｍｇ／１５
＋、ａｅｃｅ４１６０−ｇｌｏ、Ｐｏｃ／３２３ｍｇＺ
分、Ａｒキャリヤガス１２００ ｃｃ／％、１１２３ｅ
／分を流し、その外側に順にＡ「を８００ ｃｃ／９、
ｏ２を６／１５＋を流すようになっている。そして、バ
ーナー１の周辺に配置されたガラス管８．７はバーナー
１の先端から１００ｍｍの高さにそれぞれ固定され、ガ
ラス管８が外径３８■、内径３４咽、ガラス管７が外径
５０ｍ、内径４４箇で内側から順に取り付けられており
、内側のガラス管８内にはＮ２４／１５）、ガラス管７
゜８間にはＮ２を４０／／＄流されるようになっている
。
は３重構造で、中心部にＳｉｎ／４２０００ｍｇ／１５
＋、ａｅｃｅ４１６０−ｇｌｏ、Ｐｏｃ／３２３ｍｇＺ
分、Ａｒキャリヤガス１２００ ｃｃ／％、１１２３ｅ
／分を流し、その外側に順にＡ「を８００ ｃｃ／９、
ｏ２を６／１５＋を流すようになっている。そして、バ
ーナー１の周辺に配置されたガラス管８．７はバーナー
１の先端から１００ｍｍの高さにそれぞれ固定され、ガ
ラス管８が外径３８■、内径３４咽、ガラス管７が外径
５０ｍ、内径４４箇で内側から順に取り付けられており
、内側のガラス管８内にはＮ２４／１５）、ガラス管７
゜８間にはＮ２を４０／／＄流されるようになっている
。
このような条件のもとで製作された光ファイバ母相の屈
折率分布は横軸に径位置をとり縦軸に屈折率をとって示
しだ第２図の曲線Ａのようになっており、屈折率が石英
と同じいわゆるクラッド部の比率は、コア半径１に対し
て１．５２となっている。
折率分布は横軸に径位置をとり縦軸に屈折率をとって示
しだ第２図の曲線Ａのようになっており、屈折率が石英
と同じいわゆるクラッド部の比率は、コア半径１に対し
て１．５２となっている。
寸た、コア部とクラッド部の比率は、２個のガラス管７
，８間に流すＮ２の流量を変え多孔質母材１０の外径を
制御することで変えることができる。
，８間に流すＮ２の流量を変え多孔質母材１０の外径を
制御することで変えることができる。
第３図は横軸にバーナー周辺のＮ２流量をとり縦軸にク
ラッド厚さ／コア半径の比をとって示し、曲線ＢはＮ２
流量とクラット厚さ、コア半径との比の実験結果である
。曲線ＢによるとＮ２流量が多い程りラッド厚／コア半
径の比は小さくなっている。
ラッド厚さ／コア半径の比をとって示し、曲線ＢはＮ２
流量とクラット厚さ、コア半径との比の実験結果である
。曲線ＢによるとＮ２流量が多い程りラッド厚／コア半
径の比は小さくなっている。
また、第４図は横軸にＧｅ０１４モル係をとり縦軸に屈
折率△ｎ％をとって示しだ実験結果を曲線Ｃにより示し
、０ｅＣ１！４モルチが多い程△盲１は大きくなってい
る。即ち、中心部の屈折率は０ｅＣｅ４の流量を変える
ことで制御できる。このようＡものでの伝送損失は、０
．８５ノｔｍで２．５ ｄＢ／ｋｎ＋、 １．３μＩｎ
で０．５ ｄ １３／ｋｍで、帯域特性は６００ＭＨｚ
である。
折率△ｎ％をとって示しだ実験結果を曲線Ｃにより示し
、０ｅＣ１！４モルチが多い程△盲１は大きくなってい
る。即ち、中心部の屈折率は０ｅＣｅ４の流量を変える
ことで制御できる。このようＡものでの伝送損失は、０
．８５ノｔｍで２．５ ｄＢ／ｋｎ＋、 １．３μＩｎ
で０．５ ｄ １３／ｋｍで、帯域特性は６００ＭＨｚ
である。
このように本実施例の光ファイバ母相の製造方法は、バ
ーナーを三重管の１本のバーナー構造とし、中心層にＳ
ｉＱ／？４ ＋ Ｇｅｅｅ４ ＋ ＰＯＯ／’３ ｒ
Ａｒ 、ｌ−１２を流しその外側の中間層にＡ「、さら
に外側層に０２を流すようにしたものであり、装置が複
雑でなく、経済性にすぐれ、また、 ＯＪｌ基を含まな
いクラッド部が合成できるので、単一モード用ファイバ
にも適用できＯＢ吸収による伝送損失の増加を低減させ
ることができる。さらに、クラッド部に相当するガラス
管を被覆する必要がないので経済性にすぐれている。
ーナーを三重管の１本のバーナー構造とし、中心層にＳ
ｉＱ／？４ ＋ Ｇｅｅｅ４ ＋ ＰＯＯ／’３ ｒ
Ａｒ 、ｌ−１２を流しその外側の中間層にＡ「、さら
に外側層に０２を流すようにしたものであり、装置が複
雑でなく、経済性にすぐれ、また、 ＯＪｌ基を含まな
いクラッド部が合成できるので、単一モード用ファイバ
にも適用できＯＢ吸収による伝送損失の増加を低減させ
ることができる。さらに、クラッド部に相当するガラス
管を被覆する必要がないので経済性にすぐれている。
以上記述した如く本発明の光ファイバ母料の製造方法に
よれば、経済的に光ファイバ母相を、製造できる効果を
有するものである。
よれば、経済的に光ファイバ母相を、製造できる効果を
有するものである。
第１図は本発明の光フアイバ母材の製造方法を実施する
装置の縦断面図、第２図は第１図の装置によシ製造され
た光フアイバ母材の屈折率分布曲線図、第３図はバーナ
ー周辺Ｎ２流量とクラッド厚／コア半径との関係の実験
結果説明図、第４図は屈折率と（’３ｅＯｅ４流量との
関係の実験結果説明図である。 １・・・ バーナー、１０・・・・・多孔質母材、２０
・・・・・石英棒ターゲット。 第 Ｉ Ｄ 第 ｚｌＥＪ 蜂 第 予 口 Ｎ２ 仏、・。 第 ４ 図 （ｉｅ Ｕ ４ （ＭａＺ ｖ′ａ）
装置の縦断面図、第２図は第１図の装置によシ製造され
た光フアイバ母材の屈折率分布曲線図、第３図はバーナ
ー周辺Ｎ２流量とクラッド厚／コア半径との関係の実験
結果説明図、第４図は屈折率と（’３ｅＯｅ４流量との
関係の実験結果説明図である。 １・・・ バーナー、１０・・・・・多孔質母材、２０
・・・・・石英棒ターゲット。 第 Ｉ Ｄ 第 ｚｌＥＪ 蜂 第 予 口 Ｎ２ 仏、・。 第 ４ 図 （ｉｅ Ｕ ４ （ＭａＺ ｖ′ａ）
Claims (1)
- （１）上方に向は取り付けられたバーナー火炎中に原料
を送り込み酸化物微粒子を生成し該酸化物微粒子を上記
バーナー上方の棒状体の石英ターゲットの先端に吹き付
は堆積させて多孔質母材を生長させ、その後焼結ガラス
化して光フアイバ母材を製造する方法において、上記バ
ーナー構造を少なくとも３重管とし、該バーナーの中心
層にＳ ｉ Ｃ１４＋ ０ｅＯ１４ｒ ＰＯＣｌ２ ＋
Ａ ｒ及びＨ２を流し、該バーナーの中間層にＡｒを
流し、該バーナーの外側層に鳴を流しクラッド層材の光
フアイバ母材を作ることを特徴とする光フアイバ母材の
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10808082A JPS593028A (ja) | 1982-06-23 | 1982-06-23 | 光フアイバ母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10808082A JPS593028A (ja) | 1982-06-23 | 1982-06-23 | 光フアイバ母材の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS593028A true JPS593028A (ja) | 1984-01-09 |
Family
ID=14475358
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10808082A Pending JPS593028A (ja) | 1982-06-23 | 1982-06-23 | 光フアイバ母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS593028A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6350483U (ja) * | 1986-09-19 | 1988-04-05 | ||
| EP1186917A2 (en) * | 2000-09-05 | 2002-03-13 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Co-flow diffusion flame burner device for fabricating of optical waveguide |
-
1982
- 1982-06-23 JP JP10808082A patent/JPS593028A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6350483U (ja) * | 1986-09-19 | 1988-04-05 | ||
| JPH0347270Y2 (ja) * | 1986-09-19 | 1991-10-08 | ||
| EP1186917A2 (en) * | 2000-09-05 | 2002-03-13 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Co-flow diffusion flame burner device for fabricating of optical waveguide |
| EP1186917A3 (en) * | 2000-09-05 | 2004-01-28 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Co-flow diffusion flame burner device for fabricating of optical waveguide |
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