JPH09219465A - 半導体パッケージ及びその製造方法 - Google Patents
半導体パッケージ及びその製造方法Info
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- Y10T29/49124—On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
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Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は、リードフレームを予めクリップ(CL
IP)状に製造し、該リードフレームをパッケージ本体に
両方側に被覆篏合して、半導体パッケージの構造及び製
造工程を単純化し、生産性向上及び原価の低廉を図り得
るクリップ形アウトリードを有する半導体パッケージ及
びその製造方法を提供しようとするものである。 【解決手段】複数のボンドパッドを有する半導体チップ
20と、該半導体チップ20が接着されるリセス部22を有し
て成形されたパッケージ本体21と、該パッケージ本体21
の端縁部に被覆篏合されインナリード11及びクリップ形
のアウタリード12を有したリードフレーム10と、を備え
た半導体パッケージPを構成し、該半導体パッケージP
を印刷回路基板上に、水平形態、垂直形態及び積層形
態、等の所望の形態に自在に実装するようになってい
る。
IP)状に製造し、該リードフレームをパッケージ本体に
両方側に被覆篏合して、半導体パッケージの構造及び製
造工程を単純化し、生産性向上及び原価の低廉を図り得
るクリップ形アウトリードを有する半導体パッケージ及
びその製造方法を提供しようとするものである。 【解決手段】複数のボンドパッドを有する半導体チップ
20と、該半導体チップ20が接着されるリセス部22を有し
て成形されたパッケージ本体21と、該パッケージ本体21
の端縁部に被覆篏合されインナリード11及びクリップ形
のアウタリード12を有したリードフレーム10と、を備え
た半導体パッケージPを構成し、該半導体パッケージP
を印刷回路基板上に、水平形態、垂直形態及び積層形
態、等の所望の形態に自在に実装するようになってい
る。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体パッケージ
及びその製造方法に係るもので、詳しくは、リードフレ
ームをクリップ(CLIP)状に製造し、そのリードフレー
ムをパッケージ本体の端縁部に被覆篏合して構成したク
リップ形リードフレームを有する半導体パッケージ及び
その製造方法に関するものである。
及びその製造方法に係るもので、詳しくは、リードフレ
ームをクリップ(CLIP)状に製造し、そのリードフレー
ムをパッケージ本体の端縁部に被覆篏合して構成したク
リップ形リードフレームを有する半導体パッケージ及び
その製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、半導体パッケージにおいては、図
6(A),(B)に示したように、上部中央にチップの
付着されるダイパドル(4)と、該ダイパドル(4)の
両側方に所定間隔離して形成された各インナリード
(5)と、それらインナリード(5)の一方の端部から
外側に延長された後、所定形状に屈曲形成された各アウ
タリード(6)と、を備えてリードフレーム3が構成さ
れていた。
6(A),(B)に示したように、上部中央にチップの
付着されるダイパドル(4)と、該ダイパドル(4)の
両側方に所定間隔離して形成された各インナリード
(5)と、それらインナリード(5)の一方の端部から
外側に延長された後、所定形状に屈曲形成された各アウ
タリード(6)と、を備えてリードフレーム3が構成さ
れていた。
【0003】また、前記ダイパドル(4)上面に半導体
チップ(2)が接着され、その半導体チップ(2)の上
面両側縁部と前記各インナリード(5)とが金属ワイヤ
(7)により電気的に接続され、それら半導体チップ
(2)、ダイパドル(4)及び各インナリード(5)の
一部がモ−ルディングコンパウンド(8)により成形さ
れて、半導体パッケージが構成されていた。
チップ(2)が接着され、その半導体チップ(2)の上
面両側縁部と前記各インナリード(5)とが金属ワイヤ
(7)により電気的に接続され、それら半導体チップ
(2)、ダイパドル(4)及び各インナリード(5)の
一部がモ−ルディングコンパウンド(8)により成形さ
れて、半導体パッケージが構成されていた。
【0004】そして、このような半導体パッケージを製
造する方法は次のようであった。先ず、前記ダイパドル
(4)上にウエーハから切断された半導体チップ(2)
を接着するダイボンディング工程を行い、該ダイボンデ
ィングされた半導体チップ(2)のパッド(図示され
ず)とリードフレーム(3)のインナリード(5)とを
金属ワイヤ(7)を用いて電気的に接続するワイヤボン
ディング工程を行い、前記半導体チップ(2)、各金属
ワイヤ(7)及び各インナリード(5)の一部を夫々モ
−ルディングコンパウンド(8)を用いて成形した後、
リードフレーム(3)とパドル(4)とを連結するサポ
ートバー(support bar ;図示せず)、アウタリード
(6)間を連結するダムバー(dam bar ; 図示せず)及
びセクションバー(section bar ; 図示せず)を夫々切
断するトリム(trim)工程を施して個別に分離された半
導体パッケージ(1、1’)を製造し、最後に該半導体
パッケージ(1、1’)の各アウタリード(6)を所定
形状に屈曲するフォーミング(forming )工程を行っ
て、半導体パッケージ(1、1’)の製造を終了してい
た。
造する方法は次のようであった。先ず、前記ダイパドル
(4)上にウエーハから切断された半導体チップ(2)
を接着するダイボンディング工程を行い、該ダイボンデ
ィングされた半導体チップ(2)のパッド(図示され
ず)とリードフレーム(3)のインナリード(5)とを
金属ワイヤ(7)を用いて電気的に接続するワイヤボン
ディング工程を行い、前記半導体チップ(2)、各金属
ワイヤ(7)及び各インナリード(5)の一部を夫々モ
−ルディングコンパウンド(8)を用いて成形した後、
リードフレーム(3)とパドル(4)とを連結するサポ
ートバー(support bar ;図示せず)、アウタリード
(6)間を連結するダムバー(dam bar ; 図示せず)及
びセクションバー(section bar ; 図示せず)を夫々切
断するトリム(trim)工程を施して個別に分離された半
導体パッケージ(1、1’)を製造し、最後に該半導体
パッケージ(1、1’)の各アウタリード(6)を所定
形状に屈曲するフォーミング(forming )工程を行っ
て、半導体パッケージ(1、1’)の製造を終了してい
た。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、このような
従来の半導体パッケージにおいては、半導体パッケージ
の各種類及び形態に適合すべく、各リードフレームをそ
れら種類及び形態別に、一つ一つ製造するようになって
いるため、極めて不便であり、原価が上昇するという不
都合な点があった。
従来の半導体パッケージにおいては、半導体パッケージ
の各種類及び形態に適合すべく、各リードフレームをそ
れら種類及び形態別に、一つ一つ製造するようになって
いるため、極めて不便であり、原価が上昇するという不
都合な点があった。
【0006】また、水平形態のリードフレームは、垂直
形態に実装する半導体パッケージには適用することがで
きないという不都合な点があった。さらに、複数の半導
体パッケージを積層して印刷回路基板上に実装すること
が難しく、もし、実装しようとしても信号の伝達経路が
長くて信号の電気的特性が低下するという不都合な点が
あった。
形態に実装する半導体パッケージには適用することがで
きないという不都合な点があった。さらに、複数の半導
体パッケージを積層して印刷回路基板上に実装すること
が難しく、もし、実装しようとしても信号の伝達経路が
長くて信号の電気的特性が低下するという不都合な点が
あった。
【0007】従って、本発明の目的は、多様な種類のパ
ッケージ製造に共通に使用し、垂直形態及び水平形態に
半導体パッケージを実装するとき、単一のパッケージは
勿論で、複数個のパッケージも簡便に積層し、信号の伝
達経路を減らして電気的特性を向上し得るクリップ形ア
ウタリードを有する半導体パッケージ及びその製造方法
を提供しようとするものである。
ッケージ製造に共通に使用し、垂直形態及び水平形態に
半導体パッケージを実装するとき、単一のパッケージは
勿論で、複数個のパッケージも簡便に積層し、信号の伝
達経路を減らして電気的特性を向上し得るクリップ形ア
ウタリードを有する半導体パッケージ及びその製造方法
を提供しようとするものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るため、本発明に係るクリップ形アウタリードを有する
半導体パッケージは、上面に複数のボンドパッドを有す
る半導体チップと、該半導体チップが接着されるリセス
部を上部に有して成形されたパッケージ本体と、金属ワ
イヤにより前記半導体チップのボンドパッドと電気的に
接続されたインナリードと、該インナリードから延長さ
れ、前記パッケージ本体の端縁部に被覆篏合され、該パ
ッケージ本体の上、下面及び側面に露出されて電気的に
接続されたアウタリードと、を備えたリードフレーム
と、前記半導体チップ、金属ワイヤ及び前記インナリー
ドをモールディングコンパウンドにより成形した成形部
と、から構成されている。
るため、本発明に係るクリップ形アウタリードを有する
半導体パッケージは、上面に複数のボンドパッドを有す
る半導体チップと、該半導体チップが接着されるリセス
部を上部に有して成形されたパッケージ本体と、金属ワ
イヤにより前記半導体チップのボンドパッドと電気的に
接続されたインナリードと、該インナリードから延長さ
れ、前記パッケージ本体の端縁部に被覆篏合され、該パ
ッケージ本体の上、下面及び側面に露出されて電気的に
接続されたアウタリードと、を備えたリードフレーム
と、前記半導体チップ、金属ワイヤ及び前記インナリー
ドをモールディングコンパウンドにより成形した成形部
と、から構成されている。
【0009】このような構成とすれば、リードフレーム
を、パッケージ本体の端縁部を被覆嵌合する構造とする
ことにより、露出するアウタフレームの上, 下面又は側
面をそれぞれ基板の導体と電気的に接続するように接触
させることができるので、半導体パッケージを水平, 垂
直のいずれの形態でも基板に実装することができ、ま
た、半導体パッケージを積層したときにも隣接するパッ
ケージのアウタフレーム同士を電気的に接続するように
接触させることができるので、積層して使用することも
可能になる。
を、パッケージ本体の端縁部を被覆嵌合する構造とする
ことにより、露出するアウタフレームの上, 下面又は側
面をそれぞれ基板の導体と電気的に接続するように接触
させることができるので、半導体パッケージを水平, 垂
直のいずれの形態でも基板に実装することができ、ま
た、半導体パッケージを積層したときにも隣接するパッ
ケージのアウタフレーム同士を電気的に接続するように
接触させることができるので、積層して使用することも
可能になる。
【0010】そして、このように一定のリードフレーム
構造で、前記のような種々の形態で実装することができ
るため、製造コストを低減することができ、積層実装時
の信号伝達経路も、他のリード部材を使用することな
く、可及的に短縮できるので、電気的な特性も良好に維
持できる。その他、リードフレームがパッケージ本体か
ら突出することもないので、実装密度をより高めること
ができ、取り扱いにも優れ、リードフレームの変形等も
防止でき、信頼性にも優れる。変形る。
構造で、前記のような種々の形態で実装することができ
るため、製造コストを低減することができ、積層実装時
の信号伝達経路も、他のリード部材を使用することな
く、可及的に短縮できるので、電気的な特性も良好に維
持できる。その他、リードフレームがパッケージ本体か
ら突出することもないので、実装密度をより高めること
ができ、取り扱いにも優れ、リードフレームの変形等も
防止でき、信頼性にも優れる。変形る。
【0011】また、前記アウタリードは、インナリード
と一体にコ字状に屈曲形成してリードフレームを一部材
で形成するのが、製造面,コスト面,強度面などで好ま
しい。また、前記アウタリードは、上下面に夫々内方向
に屈曲して形成した窪み部を有した構成とすることによ
り、該そのアウタリードの窪み部によりクリップ形リー
ドフレームが前記パッケージ本体に密接に被覆篏合され
る。
と一体にコ字状に屈曲形成してリードフレームを一部材
で形成するのが、製造面,コスト面,強度面などで好ま
しい。また、前記アウタリードは、上下面に夫々内方向
に屈曲して形成した窪み部を有した構成とすることによ
り、該そのアウタリードの窪み部によりクリップ形リー
ドフレームが前記パッケージ本体に密接に被覆篏合され
る。
【0012】また、前記半導体チップが接着される下側
中央部分に熱を放出するヒートスプレッドを形成するこ
とにより、半導体チップからの発生熱を効果的に放出さ
せることができ、半導体チップの耐久性が向上する。一
方、本発明に係るクリップ形アウタリードを有する半導
体パッケージの製造方法は、リセス部を有したパッケー
ジ本体を成形する工程と、インナリードと該インナリー
ドから延長して形成されたアウタリードとを有したリー
ドフレームを、上記パッケージ本体の端縁部に、該パッ
ケージ本体の上、下面及び側面に露出するように被覆篏
合する工程と、上記パッケージ本体のリセス部上面に複
数個のボンドパッドを有する半導体チップを接着する工
程と、前記インナリードと上記半導体チップのボンドパ
ッドとを金属ワイヤにより電気的に接続するワイヤボン
ディング工程と、上記半導体チップとインナリードと金
属ワイヤとをモールディングコンパウンドにより成形す
る工程と、を順次行う構成とした。
中央部分に熱を放出するヒートスプレッドを形成するこ
とにより、半導体チップからの発生熱を効果的に放出さ
せることができ、半導体チップの耐久性が向上する。一
方、本発明に係るクリップ形アウタリードを有する半導
体パッケージの製造方法は、リセス部を有したパッケー
ジ本体を成形する工程と、インナリードと該インナリー
ドから延長して形成されたアウタリードとを有したリー
ドフレームを、上記パッケージ本体の端縁部に、該パッ
ケージ本体の上、下面及び側面に露出するように被覆篏
合する工程と、上記パッケージ本体のリセス部上面に複
数個のボンドパッドを有する半導体チップを接着する工
程と、前記インナリードと上記半導体チップのボンドパ
ッドとを金属ワイヤにより電気的に接続するワイヤボン
ディング工程と、上記半導体チップとインナリードと金
属ワイヤとをモールディングコンパウンドにより成形す
る工程と、を順次行う構成とした。
【0013】また、前記成形の工程は、例えば、モ−ル
ディング、ポーティング及びシーリング中のいずれか1
つにより行う。
ディング、ポーティング及びシーリング中のいずれか1
つにより行う。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態に対
し、図面を用いて説明する。本発明に係る半導体パッケ
ージの第1実施形態(P)においては、図1に示したよ
うに、上部に複数のボンドパッドを有する半導体チップ
(20)と、該半導体チップ(20)の接着されるリセ
ス(recess)部(22)が上部中央に切刻形成されたパ
ッケージ本体(21)と、該パッケージ本体(21)の
端縁部に被覆箝合されるように、ほぼコ字状に屈曲形成
されインナリード(11)及びアウタリード(12)を
有したクリップ形リードフレーム(10)と、該インナ
リード(11)及び前記半導体チップ(20)上面のボ
ンドパッドに電気的に接続された金属ワイヤ(23)
と、 それら、半導体チップ(20)、リセス部(2
2)、金属ワイヤ(23)及びインナリード(11)の
所定部位がモールディングコンパウンドにより成形され
た成形部(24)と、から構成されている。
し、図面を用いて説明する。本発明に係る半導体パッケ
ージの第1実施形態(P)においては、図1に示したよ
うに、上部に複数のボンドパッドを有する半導体チップ
(20)と、該半導体チップ(20)の接着されるリセ
ス(recess)部(22)が上部中央に切刻形成されたパ
ッケージ本体(21)と、該パッケージ本体(21)の
端縁部に被覆箝合されるように、ほぼコ字状に屈曲形成
されインナリード(11)及びアウタリード(12)を
有したクリップ形リードフレーム(10)と、該インナ
リード(11)及び前記半導体チップ(20)上面のボ
ンドパッドに電気的に接続された金属ワイヤ(23)
と、 それら、半導体チップ(20)、リセス部(2
2)、金属ワイヤ(23)及びインナリード(11)の
所定部位がモールディングコンパウンドにより成形され
た成形部(24)と、から構成されている。
【0015】且つ、前記リードフレーム(10)におい
ては、帯状の金属片がコ字状に屈曲形成されるが、該コ
字状の上下面に夫々内方向に屈曲して形成した窪み部1
3、13’を有し、該窪み部13の内側が前記インナリ
ード(11)に形成され、該インナリード(11)を除
いた他の部分がアウタリード(12)に形成され、前記
リードフレーム(10)が前記パッケージ本体(21)
の両側端縁部に被覆篏合された後、前記各窪み部13、
13’の弾性力により該リードフレーム(10)がパッ
ケージ本体(21)に加圧係合されるようになってい
る。なお、前記窪み13,13’の対向位置を、相互に
オフセットしてあるので、パッケージ本体(21) が、
特別に薄くなることもなく、耐久性を確保できる。
ては、帯状の金属片がコ字状に屈曲形成されるが、該コ
字状の上下面に夫々内方向に屈曲して形成した窪み部1
3、13’を有し、該窪み部13の内側が前記インナリ
ード(11)に形成され、該インナリード(11)を除
いた他の部分がアウタリード(12)に形成され、前記
リードフレーム(10)が前記パッケージ本体(21)
の両側端縁部に被覆篏合された後、前記各窪み部13、
13’の弾性力により該リードフレーム(10)がパッ
ケージ本体(21)に加圧係合されるようになってい
る。なお、前記窪み13,13’の対向位置を、相互に
オフセットしてあるので、パッケージ本体(21) が、
特別に薄くなることもなく、耐久性を確保できる。
【0016】又、本発明に係る半導体パッケージの第2
実施形態(P’)においては、図2に示したように、上
部に複数個のボンドパッドを有する半導体チップ(2
0)と、該半導体チップ(20)が上面に接着され該半
導体チップ(20)から発生する熱を放出するヒートス
プレッド(26)が中央下面に係合されたパッケージ本
体(21)と、該パッケージ本体(21)の端縁部に被
覆篏合されるようにほぼコ字状に屈曲されインナリード
(11)及びアウタリード(12)を有したクリップ形
リードフレーム(10)と、該インナリード及び前記半
導体チップ(20)上面のボンドパッドに電気的に接続
された金属ワイヤ(23)と、それら半導体チップ(2
0)、金属ワイヤ(23)及びインナリード(11)の
内方側のパッケージ本体(21)の上面中央部がモール
ディングコンパウンドにより成形された成形部(24)
と、から構成されている。
実施形態(P’)においては、図2に示したように、上
部に複数個のボンドパッドを有する半導体チップ(2
0)と、該半導体チップ(20)が上面に接着され該半
導体チップ(20)から発生する熱を放出するヒートス
プレッド(26)が中央下面に係合されたパッケージ本
体(21)と、該パッケージ本体(21)の端縁部に被
覆篏合されるようにほぼコ字状に屈曲されインナリード
(11)及びアウタリード(12)を有したクリップ形
リードフレーム(10)と、該インナリード及び前記半
導体チップ(20)上面のボンドパッドに電気的に接続
された金属ワイヤ(23)と、それら半導体チップ(2
0)、金属ワイヤ(23)及びインナリード(11)の
内方側のパッケージ本体(21)の上面中央部がモール
ディングコンパウンドにより成形された成形部(24)
と、から構成されている。
【0017】このように構成された本発明に係る第1及
び第2実施形態の各半導体パッケージ(P,P’)にお
いては、パッケージ本体の端縁部において、その上面か
ら側面を跨がって下面に至るコ字形のクリップ形リード
フレーム(10)が被覆篏合され、該リードフレーム
(10)の外部リード(12)がパッケージ本体の上、
下、側面の3方の側に露出されているため、半導体パッ
ケージを印刷回路基板に実装するとき、極めて簡便に実
装することができる。
び第2実施形態の各半導体パッケージ(P,P’)にお
いては、パッケージ本体の端縁部において、その上面か
ら側面を跨がって下面に至るコ字形のクリップ形リード
フレーム(10)が被覆篏合され、該リードフレーム
(10)の外部リード(12)がパッケージ本体の上、
下、側面の3方の側に露出されているため、半導体パッ
ケージを印刷回路基板に実装するとき、極めて簡便に実
装することができる。
【0018】このような構造を有する半導体パッケージ
(P、P’)の製造方法について説明すると、次のよう
である。先ず、所定形状のリセス部(22)を上面に有
するパッケージ本体(21)の成形体をモールディング
するが、この時パッケージ本体(21)の内部の中央下
方部分にヒートスプレッド(HEAT SPREAD )(26)を
挿入し、側面の凹凸部が係合するように、パッケージ本
体(21)をモールディングすることもできる。
(P、P’)の製造方法について説明すると、次のよう
である。先ず、所定形状のリセス部(22)を上面に有
するパッケージ本体(21)の成形体をモールディング
するが、この時パッケージ本体(21)の内部の中央下
方部分にヒートスプレッド(HEAT SPREAD )(26)を
挿入し、側面の凹凸部が係合するように、パッケージ本
体(21)をモールディングすることもできる。
【0019】次いで、クリップ形リードフレーム(1
0)を上記成形されたパッケージ本体(21)の端縁部
の上下側面に被覆篏合して、該パッケージ本体(21)
のリセス部(22)に半導体チップ(20)を接着する
が、この時、前記リードフレーム(10)の被覆篏合工
程と半導体チップ(20)の接着工程との工程順序を替
えて行うこともできる。
0)を上記成形されたパッケージ本体(21)の端縁部
の上下側面に被覆篏合して、該パッケージ本体(21)
のリセス部(22)に半導体チップ(20)を接着する
が、この時、前記リードフレーム(10)の被覆篏合工
程と半導体チップ(20)の接着工程との工程順序を替
えて行うこともできる。
【0020】次いで、前記リードフレーム(10)のイ
ンナリード(11)と半導体チップ(20)のボンディ
ングパッド(図示せず)とを金属ワイヤ(23)を用い
て電気的に接続する。その後、前記パッケージ本体(2
1)の所定領域をモールディングコンパウンドによりモ
ールディング又はポッティング(Potting )若しくはシ
ーリング(sealing )する。
ンナリード(11)と半導体チップ(20)のボンディ
ングパッド(図示せず)とを金属ワイヤ(23)を用い
て電気的に接続する。その後、前記パッケージ本体(2
1)の所定領域をモールディングコンパウンドによりモ
ールディング又はポッティング(Potting )若しくはシ
ーリング(sealing )する。
【0021】このような本発明に係る半導体パッケージ
(P、P’)を、印刷回路基板上に実装するときは、図
3(A)に示したように水平形態に実装することもでき
るし、図3(B)に示したように垂直形態に実装するこ
ともできる。且つ、図3(C)に示したように複数個の
半導体パッケージを積層することもできるし、図3
(D)に示したように二つの印刷回路基板(40)間に
複数の半導体パッケージ(P、P’)をアウタリードを
介して篏合するデュアルターミナル(DUAL TERMINAL )
形態に実装することもできる。
(P、P’)を、印刷回路基板上に実装するときは、図
3(A)に示したように水平形態に実装することもでき
るし、図3(B)に示したように垂直形態に実装するこ
ともできる。且つ、図3(C)に示したように複数個の
半導体パッケージを積層することもできるし、図3
(D)に示したように二つの印刷回路基板(40)間に
複数の半導体パッケージ(P、P’)をアウタリードを
介して篏合するデュアルターミナル(DUAL TERMINAL )
形態に実装することもできる。
【0022】そして、本発明に係る半導体パッケージ
は、図4(A)(B)(C)に示したように、クリップ
形リードフレームの配列形態に従いクオード型(Quad t
ype )パッケージ、デュアルライン型(Dual line typ
e)パッケージ及びシングルライン型(single line typ
e)パッケージの製造に適用することができる。そし
て、本発明に係る半導体パッケージは、図5に示したよ
うに、パッケージの構造を変更せずに、マルチチップモ
ジュール(Multi-chip Module ; MCM )パッケージに適
用することができる。即ち、パッケージ本体(21)の
リセス部(22)内上面に複数個の半導体チップ(2
0)と連結リード(I)とを夫々接着し、クリップ形リ
ードフレーム(10)を上記パッケージ本体(21)の
両側端縁部に被覆篏合し、金属ワイヤ(23)を用いて
インナリード(11)と半導体チップ(20)と連結リ
ード(I)とを相互電気的に接続してマルチチップモジ
ュールパッケージとして使用することができる。
は、図4(A)(B)(C)に示したように、クリップ
形リードフレームの配列形態に従いクオード型(Quad t
ype )パッケージ、デュアルライン型(Dual line typ
e)パッケージ及びシングルライン型(single line typ
e)パッケージの製造に適用することができる。そし
て、本発明に係る半導体パッケージは、図5に示したよ
うに、パッケージの構造を変更せずに、マルチチップモ
ジュール(Multi-chip Module ; MCM )パッケージに適
用することができる。即ち、パッケージ本体(21)の
リセス部(22)内上面に複数個の半導体チップ(2
0)と連結リード(I)とを夫々接着し、クリップ形リ
ードフレーム(10)を上記パッケージ本体(21)の
両側端縁部に被覆篏合し、金属ワイヤ(23)を用いて
インナリード(11)と半導体チップ(20)と連結リ
ード(I)とを相互電気的に接続してマルチチップモジ
ュールパッケージとして使用することができる。
【0023】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るクリ
ップ形リードフレームを有する半導体パッケージ及びそ
の製造方法においては、予め所定形態に多量生産された
クリップ形リードフレームを用いて多様な半導体パッケ
ージを製造するようになっているため、製造工程が簡単
で、生産性が向上し、電気的経路が従来よりも短くなっ
て信号の伝達スピードが速くなり、1種類のリードフレ
ームにより多種類のパッケージを製造し得るという効果
がある。
ップ形リードフレームを有する半導体パッケージ及びそ
の製造方法においては、予め所定形態に多量生産された
クリップ形リードフレームを用いて多様な半導体パッケ
ージを製造するようになっているため、製造工程が簡単
で、生産性が向上し、電気的経路が従来よりも短くなっ
て信号の伝達スピードが速くなり、1種類のリードフレ
ームにより多種類のパッケージを製造し得るという効果
がある。
【0024】且つ、印刷回路基板上に半導体パッケージ
を実装する際、パッケージのアウトリードを印刷回路基
板上に付着せずに、単に篏合するようになっているた
め、実装作業が極めて簡便であり、実装後の付随作業が
省かれるという効果がある。又、複数のパッケージをリ
ードフレームを介して基板上に垂直形態、又は水平形態
等多様な形態に実装し、積層を簡単に行い得るためメモ
リの容量拡張を簡単に行い得るという効果がある。
を実装する際、パッケージのアウトリードを印刷回路基
板上に付着せずに、単に篏合するようになっているた
め、実装作業が極めて簡便であり、実装後の付随作業が
省かれるという効果がある。又、複数のパッケージをリ
ードフレームを介して基板上に垂直形態、又は水平形態
等多様な形態に実装し、積層を簡単に行い得るためメモ
リの容量拡張を簡単に行い得るという効果がある。
【0025】更に、本発明に係る半導体パッケージは、
サーマルミスマッチ(THERMAL MISMATCH )、ディラミ
ネーション(DELAMINATION)及び水分(MOISTURE)の浸
透を抑制し得るという効果がある。
サーマルミスマッチ(THERMAL MISMATCH )、ディラミ
ネーション(DELAMINATION)及び水分(MOISTURE)の浸
透を抑制し得るという効果がある。
【図1】本発明に係る半導体パッケージの第1実施形態
の構造を示した縦断面図である。
の構造を示した縦断面図である。
【図2】本発明に係る半導体パッケージの第2実施形態
の内部構造を示した縦断面図である。
の内部構造を示した縦断面図である。
【図3】(A)〜(D)本発明に係る半導体パッケージ
を印刷回路基板に設置する状態を示した説明図であっ
て、(A)は、印刷回路基板上に水平に実装する状態を
示した説明図、(B)は、印刷回路基板上に垂直に実装
する状態を示した説明図、(C)は、パッケージを積層
する状態を示した説明図、(D)は、ジュアルターミナ
ル型に実装する状態を示した説明図である。
を印刷回路基板に設置する状態を示した説明図であっ
て、(A)は、印刷回路基板上に水平に実装する状態を
示した説明図、(B)は、印刷回路基板上に垂直に実装
する状態を示した説明図、(C)は、パッケージを積層
する状態を示した説明図、(D)は、ジュアルターミナ
ル型に実装する状態を示した説明図である。
【図4】(A)〜(C)本発明に係るクリップ形リード
フレームの適用される半導体パッケージを示した平面図
で、(A)は、クオード型半導体パッケージの平面図、
(B)は、デュアルライン形態半導体パッケージの平面
図、(C)は、シングルライン形態半導体パッケージの
平面図である。
フレームの適用される半導体パッケージを示した平面図
で、(A)は、クオード型半導体パッケージの平面図、
(B)は、デュアルライン形態半導体パッケージの平面
図、(C)は、シングルライン形態半導体パッケージの
平面図である。
【図5】本発明に係るパッケージ本体に複数個の半導体
チップを設置するマルチチップモジュルパッケージを示
した一部断面図である。
チップを設置するマルチチップモジュルパッケージを示
した一部断面図である。
【図6】(A)(B)は、従来半導体パッケージの構造
を示した縦断面図である。
を示した縦断面図である。
10:リードフレーム 11:インナリー
ド 12:アウタリード 13、13’:窪み
部 20:半導体チップ 21:パッケージ
本体 22:リセス部(recess) 23:金属ワイヤ 24:成形部 26:ヒートスプ
レッド 40:印刷回路基板 P、P’:パッケー
ジ I:連結リード
ド 12:アウタリード 13、13’:窪み
部 20:半導体チップ 21:パッケージ
本体 22:リセス部(recess) 23:金属ワイヤ 24:成形部 26:ヒートスプ
レッド 40:印刷回路基板 P、P’:パッケー
ジ I:連結リード
Claims (9)
- 【請求項1】上面に複数のボンドパッドを有する半導体
チップ(20)と、 該半導体チップ(20)が接着されるリセス部(22)
を上部に有して成形されたパッケージ本体(21)と、 金属ワイヤ(23)により前記半導体チップ(20)の
ボンドパッドと電気的に接続されたインナリード(1
1)と、該インナリード(11)から延長され、前記パ
ッケージ本体の端縁部に被覆篏合され、該パッケージ本
体の上、下面及び側面に露出されて電気的に接続された
アウタリード(12)と、を備えたリードフレーム(1
0)と、 前記半導体チップ(20)、金属ワイヤ(23)及び前
記インナリード(11)をモールディングコンパウンド
により成形した成形部(24)と、 から構成されたことを特徴とする半導体パッケージ。 - 【請求項2】前記アウタリード(12)は、上記インナ
リード(11)と一体に形成され、コ字状に屈曲形成さ
れたことを特徴とする請求項1記載の半導体パッケー
ジ。 - 【請求項3】前記アウタリード(12)は、上下面に夫
々内方向に屈曲して形成した窪み部(13、13’)を
有していることを特徴とする請求項1又は請求項2に記
載の半導体パッケージ。 - 【請求項4】前記パッケージ本体(21)は、前記半導
体チップ(20)が接着される下側中央部分に、熱を放
出するヒートスプレッド(26)が係合されて形成され
ることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1つ
に記載の半導体パッケージ。 - 【請求項5】リセス部(22)を有したパッケージ本体
(21)を成形する工程と、 インナリード(11)と該インナリード(11)から延
長して形成されたアウタリード(12)とを有したリー
ドフレーム(10)を、上記パッケージ本体(21)の
端縁部に、該パッケージ本体の上、下面及び側面に露出
するように被覆篏合する工程と、 上記パッケージ本体(21)のリセス部(22)上面に
複数個のボンドパッドを有する半導体チップ(20)を
接着する工程と、 前記インナリード(11)と上記半導体チップ(20)
のボンドパッドとを金属ワイヤ(23)により電気的に
接続するワイヤボンディング工程と、 上記半導体チップ(20)とインナリード(11)と金
属ワイヤ(23)とをモールディングコンパウンドによ
り成形する工程と、 を順次行うことを特徴とする半導体パッケージの製造方
法。 - 【請求項6】前記アウタリード(12)は、上記インナ
リード(11)と一体に形成され、コ字状に屈曲形成さ
れることを特徴とする請求項5記載の半導体パッケージ
の製造方法。 - 【請求項7】前記アウタリード(12)は、上下面に夫
々内方向に屈曲して形成した窪み部(13、13’)を
有していることを特徴とする請求項5又は6記載の半導
体パッケージの製造方法。 - 【請求項8】前記パッケージ本体(21)は、前記半導
体チップ(20)が接着される下側中央部分に、熱を放
出するヒートスプレッド(26)が係合されて形成され
ることを特徴とする請求項5〜請求項7のいずれか1つ
に記載の半導体パッケージの製造方法。 - 【請求項9】前記成形の工程は、モ−ルディング、ポー
ティング及びシーリング中のいずれか1つにより行われ
ることを特徴とする請求項5〜請求項8のいずれか1つ
に記載の半導体パッケージの製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019950047162A KR100214463B1 (ko) | 1995-12-06 | 1995-12-06 | 클립형 리드프레임과 이를 사용한 패키지의 제조방법 |
KR47162/1995 | 1995-12-06 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09219465A true JPH09219465A (ja) | 1997-08-19 |
Family
ID=19438122
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP32636396A Pending JPH09219465A (ja) | 1995-12-06 | 1996-12-06 | 半導体パッケージ及びその製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US5821615A (ja) |
JP (1) | JPH09219465A (ja) |
KR (1) | KR100214463B1 (ja) |
Families Citing this family (121)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09260538A (ja) * | 1996-03-27 | 1997-10-03 | Miyazaki Oki Electric Co Ltd | 樹脂封止型半導体装置及び製造方法とその実装構造 |
JP3026426B2 (ja) * | 1996-08-29 | 2000-03-27 | 沖電気工業株式会社 | 樹脂封止型半導体装置とその製造方法及びその金型構造 |
US5986334A (en) * | 1996-10-04 | 1999-11-16 | Anam Industrial Co., Ltd. | Semiconductor package having light, thin, simple and compact structure |
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