JPH074995B2 - Icカ−ド及びその製造方法 - Google Patents
Icカ−ド及びその製造方法Info
- Publication number
- JPH074995B2 JPH074995B2 JP61115585A JP11558586A JPH074995B2 JP H074995 B2 JPH074995 B2 JP H074995B2 JP 61115585 A JP61115585 A JP 61115585A JP 11558586 A JP11558586 A JP 11558586A JP H074995 B2 JPH074995 B2 JP H074995B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- card
- chip
- resin
- conductive
- manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/93—Batch processes
- H01L24/95—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips
- H01L24/96—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips the devices being encapsulated in a common layer, e.g. neo-wafer or pseudo-wafer, said common layer being separable into individual assemblies after connecting
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06K—GRAPHICAL DATA READING; PRESENTATION OF DATA; RECORD CARRIERS; HANDLING RECORD CARRIERS
- G06K19/00—Record carriers for use with machines and with at least a part designed to carry digital markings
- G06K19/06—Record carriers for use with machines and with at least a part designed to carry digital markings characterised by the kind of the digital marking, e.g. shape, nature, code
- G06K19/067—Record carriers with conductive marks, printed circuits or semiconductor circuit elements, e.g. credit or identity cards also with resonating or responding marks without active components
- G06K19/07—Record carriers with conductive marks, printed circuits or semiconductor circuit elements, e.g. credit or identity cards also with resonating or responding marks without active components with integrated circuit chips
- G06K19/077—Constructional details, e.g. mounting of circuits in the carrier
- G06K19/07745—Mounting details of integrated circuit chips
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/18—High density interconnect [HDI] connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/23—Structure, shape, material or disposition of the high density interconnect connectors after the connecting process
- H01L24/24—Structure, shape, material or disposition of the high density interconnect connectors after the connecting process of an individual high density interconnect connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L24/82—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected by forming build-up interconnects at chip-level, e.g. for high density interconnects [HDI]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/18—High density interconnect [HDI] connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/23—Structure, shape, material or disposition of the high density interconnect connectors after the connecting process
- H01L2224/24—Structure, shape, material or disposition of the high density interconnect connectors after the connecting process of an individual high density interconnect connector
- H01L2224/241—Disposition
- H01L2224/24135—Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
- H01L2224/24137—Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being arranged next to each other, e.g. on a common substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01005—Boron [B]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01006—Carbon [C]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01013—Aluminum [Al]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01015—Phosphorus [P]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01023—Vanadium [V]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01029—Copper [Cu]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/0103—Zinc [Zn]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01032—Germanium [Ge]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01033—Arsenic [As]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01042—Molybdenum [Mo]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01046—Palladium [Pd]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01047—Silver [Ag]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01051—Antimony [Sb]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01052—Tellurium [Te]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01074—Tungsten [W]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01076—Osmium [Os]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01077—Iridium [Ir]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01078—Platinum [Pt]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01079—Gold [Au]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/12—Passive devices, e.g. 2 terminal devices
- H01L2924/1204—Optical Diode
- H01L2924/12042—LASER
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/14—Integrated circuits
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49117—Conductor or circuit manufacturing
- Y10T29/49124—On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
- Y10T29/4913—Assembling to base an electrical component, e.g., capacitor, etc.
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Credit Cards Or The Like (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) 本発明はICカード及びその製造方法に関する。
(従来の技術) カード状基体中にICチップを埋設したICカードの製造方
法として、熱可塑性樹脂シートからなるコアシート中に
ICカードを埋設し、該シート表面にICチップの電極と接
続される導体パターンを形成する方法が、本発明者らに
よって提案されている(特願昭59−196206号)。この方
法によれば、ICチップ上の電極と導体パターンとを直接
接続できるため、ワイヤボンディング法を用いた場合の
ループハイトのような、カードの厚さを増大させる要因
が少なく、ICカードの薄型化を容易に達成することがで
きる。
法として、熱可塑性樹脂シートからなるコアシート中に
ICカードを埋設し、該シート表面にICチップの電極と接
続される導体パターンを形成する方法が、本発明者らに
よって提案されている(特願昭59−196206号)。この方
法によれば、ICチップ上の電極と導体パターンとを直接
接続できるため、ワイヤボンディング法を用いた場合の
ループハイトのような、カードの厚さを増大させる要因
が少なく、ICカードの薄型化を容易に達成することがで
きる。
ところが、この方法により得られるICカードにおいて
は、ICチップの表面とコアシートの表面とが面一となる
ので、導体パターンはICチップ上の電極に至る部分でIC
チップの表面と接触する。ICチップの表面は樹脂のパッ
シベーション膜により被覆されているため、導体が接触
しても通常は問題ないが、導体パターンの接触部分でパ
ッシベーション膜が欠落していると、この部分で導体パ
ターンとICチップとの電気的短絡が生じることになる。
は、ICチップの表面とコアシートの表面とが面一となる
ので、導体パターンはICチップ上の電極に至る部分でIC
チップの表面と接触する。ICチップの表面は樹脂のパッ
シベーション膜により被覆されているため、導体が接触
しても通常は問題ないが、導体パターンの接触部分でパ
ッシベーション膜が欠落していると、この部分で導体パ
ターンとICチップとの電気的短絡が生じることになる。
(発明が解決しようとする問題点) このようにICチップ上の電極とカード状基体上の導体パ
ターンとを直接接続させる形式のICカードでは、ICチッ
プと導体パターンとの電気的短絡が生じ易く、信頼性に
欠けるという問題があった。
ターンとを直接接続させる形式のICカードでは、ICチッ
プと導体パターンとの電気的短絡が生じ易く、信頼性に
欠けるという問題があった。
本発明の目的は、薄型化に適した構造であって、しかも
ICチップ上の電極とカード状基体における導体パターン
とを不要な電気的短絡を伴なうことなく良好に接続する
ことができるICカード及びその製造方法を提供すること
にある。
ICチップ上の電極とカード状基体における導体パターン
とを不要な電気的短絡を伴なうことなく良好に接続する
ことができるICカード及びその製造方法を提供すること
にある。
[発明の構成] (問題点を解決するための手段) 本発明に係るICカードは、ICチップの電極上に導電性突
起物を形成し、この導電性突起物の頂部がコアシートの
表面と面一に露出するように、ICチップをコアシート及
び該コアシートを両側から挟むカバーシートからなるカ
ード状基体中に埋設して、コアシートの表面上に形成さ
れる導体パターンを該導電性突起物に接続するようにし
たことを特徴とする。
起物を形成し、この導電性突起物の頂部がコアシートの
表面と面一に露出するように、ICチップをコアシート及
び該コアシートを両側から挟むカバーシートからなるカ
ード状基体中に埋設して、コアシートの表面上に形成さ
れる導体パターンを該導電性突起物に接続するようにし
たことを特徴とする。
また、本発明においては上記構成のICカードを製造する
に際し、まずICチップの電極上に導電性突起物を形成
し、このICチップをそれより厚いコアシートとなる熱可
塑性樹脂シートの開口部中に挿入した後、この熱可塑性
樹脂シートを加熱および加圧によって塑性変形させるこ
とにより、導電性突起物の頂部が該熱可塑性樹脂シート
の表面と面一に露出するようにICチップを該熱可塑性シ
ート中に埋設させ、次いで該熱可塑性樹脂シートの表面
上に導電性突起物に接続される導体パターンを形成す
る。
に際し、まずICチップの電極上に導電性突起物を形成
し、このICチップをそれより厚いコアシートとなる熱可
塑性樹脂シートの開口部中に挿入した後、この熱可塑性
樹脂シートを加熱および加圧によって塑性変形させるこ
とにより、導電性突起物の頂部が該熱可塑性樹脂シート
の表面と面一に露出するようにICチップを該熱可塑性シ
ート中に埋設させ、次いで該熱可塑性樹脂シートの表面
上に導電性突起物に接続される導体パターンを形成す
る。
(作用) ICチップの電極上に形成した導電性突起物の頂部がコア
シートの表面と面一の状態で露出するようにICチップを
埋設すると、導電性突起物の周辺のICチップ表面、つま
りICチップ表面の周縁部はカード状基体の構成材料、例
えば熱可塑性樹脂によって被覆される。従って、導体パ
ターンを形成した状態において、ICチップ表面のパッシ
ベーション膜が欠落していたとしても、カード状基体の
構成材料を介してICチップ表面と導体パターンとの電気
的絶縁が確保される。
シートの表面と面一の状態で露出するようにICチップを
埋設すると、導電性突起物の周辺のICチップ表面、つま
りICチップ表面の周縁部はカード状基体の構成材料、例
えば熱可塑性樹脂によって被覆される。従って、導体パ
ターンを形成した状態において、ICチップ表面のパッシ
ベーション膜が欠落していたとしても、カード状基体の
構成材料を介してICチップ表面と導体パターンとの電気
的絶縁が確保される。
(実施例) 第1図は本発明の一実施例に係るICカードの要部構成を
示す断面図である。
示す断面図である。
第1図において、コアシート1は熱可塑性樹脂シート、
例えば厚さ0.32mmポリカーボネート樹脂シート(帝人社
製パンライト)であり、この例では2つの開口部2を有
する。これらの開口部2内にコアシート1より薄い、例
えば厚さ0.29mmのICチップ3が配置されている。ICチッ
プ3はその電極上に導電性突起物4が形成されたもの
で、この導電性突起物4の頂部がコアシート1の表面と
面一に露出している。そして、コアシート1上に導体パ
ターン5が形成され、該導体パターン5が一部で導電性
突起物4の頂部に接触することにより、導体パターン5
とICチップ3の電極との電気的接続がなされている。ま
た、図示してないがコアシート1の両面側にさらにカバ
ーシートが配置されている。
例えば厚さ0.32mmポリカーボネート樹脂シート(帝人社
製パンライト)であり、この例では2つの開口部2を有
する。これらの開口部2内にコアシート1より薄い、例
えば厚さ0.29mmのICチップ3が配置されている。ICチッ
プ3はその電極上に導電性突起物4が形成されたもの
で、この導電性突起物4の頂部がコアシート1の表面と
面一に露出している。そして、コアシート1上に導体パ
ターン5が形成され、該導体パターン5が一部で導電性
突起物4の頂部に接触することにより、導体パターン5
とICチップ3の電極との電気的接続がなされている。ま
た、図示してないがコアシート1の両面側にさらにカバ
ーシートが配置されている。
このように構成されたICカードにおいては、ICチップ3
上の電極と導体パターン5とがワイヤを介することなく
接続されているため、ICカード全体の厚さを薄くするこ
とができる。また、導体パターン5とICチップ3の表面
との間に、コアシート1の構成材料である絶縁性の熱可
塑性樹脂が介在しているため、ICチップ3の表面にコー
ティングされているパッシベーション膜に欠落があって
も、その欠落部を通してICチップ3と導体パターン5と
の電気的短絡が生じることはない。
上の電極と導体パターン5とがワイヤを介することなく
接続されているため、ICカード全体の厚さを薄くするこ
とができる。また、導体パターン5とICチップ3の表面
との間に、コアシート1の構成材料である絶縁性の熱可
塑性樹脂が介在しているため、ICチップ3の表面にコー
ティングされているパッシベーション膜に欠落があって
も、その欠落部を通してICチップ3と導体パターン5と
の電気的短絡が生じることはない。
次に、本発明に基づくICカードの製造方法の実施例につ
いて、第2図を参照して説明する。まず、第2図(a)
に示すようにICチップ3の電極上に導電性突起物4を形
成する。導電性突起物14の材質は、後の工程での加圧に
際してICチップ3を破壊しないようにするため、ICチッ
プ3の構成材料であるシリコンよりも硬度の小さい材
質、例えば遷移金属単体、すなわちAu,Cu,Ag,Al,Zn,Pd,
Sn,Os,Pt,Irから選択した一種か、低融点合金、すなわ
ちPd,Sn,In,Ag,Ga,Au,Bi,Te,Ge,Sbから選択した少なく
とも二種を含む合金を用いることが望ましい。
いて、第2図を参照して説明する。まず、第2図(a)
に示すようにICチップ3の電極上に導電性突起物4を形
成する。導電性突起物14の材質は、後の工程での加圧に
際してICチップ3を破壊しないようにするため、ICチッ
プ3の構成材料であるシリコンよりも硬度の小さい材
質、例えば遷移金属単体、すなわちAu,Cu,Ag,Al,Zn,Pd,
Sn,Os,Pt,Irから選択した一種か、低融点合金、すなわ
ちPd,Sn,In,Ag,Ga,Au,Bi,Te,Ge,Sbから選択した少なく
とも二種を含む合金を用いることが望ましい。
導電性突起物4の形成法としては、材質が前者の場合は
ボールボンディング,メッキ,真空蒸着,スパッタリン
グ,イオンプレーティング,レーザ成長,転写のいずれ
かを用いればよく、また後者の場合は低融点合金の融液
中にICチップを超音波をかけながらディッピングする方
法を用いればよい。また、導電性突起物4としては金属
と樹脂と複合材料を用いてもよく、例えばエポキシ樹脂
に銀粉を混練してペースト状にしたものをICチップ3の
電極上にディスペンスすればよい。
ボールボンディング,メッキ,真空蒸着,スパッタリン
グ,イオンプレーティング,レーザ成長,転写のいずれ
かを用いればよく、また後者の場合は低融点合金の融液
中にICチップを超音波をかけながらディッピングする方
法を用いればよい。また、導電性突起物4としては金属
と樹脂と複合材料を用いてもよく、例えばエポキシ樹脂
に銀粉を混練してペースト状にしたものをICチップ3の
電極上にディスペンスすればよい。
さらに、導電性突起物4の高さ、すなわちICチップ3の
表面から導電性突起物4の頂部までの高さは、コアシー
ト1である熱可塑性樹脂フィルムの厚さ(この例では0.
32mm)からICチップ3の厚さ(この例では0.29mm)を減
じた寸法、つまり30μm以上が望ましい。本実施例では
Auを用いたボールボンディングをICチップ3上の電極に
対して行なった後、ワイヤ部分を切断してAuボール部分
のみを電極上に残し、導電性突起物4とした、この導電
性突起物4の高さは50μmであった。
表面から導電性突起物4の頂部までの高さは、コアシー
ト1である熱可塑性樹脂フィルムの厚さ(この例では0.
32mm)からICチップ3の厚さ(この例では0.29mm)を減
じた寸法、つまり30μm以上が望ましい。本実施例では
Auを用いたボールボンディングをICチップ3上の電極に
対して行なった後、ワイヤ部分を切断してAuボール部分
のみを電極上に残し、導電性突起物4とした、この導電
性突起物4の高さは50μmであった。
次に、第2図(b)に示すようにICチップ3を挿入する
ための、ICチップ3の外形寸法より若干大きい開口部2
を有するコアシート1となる熱可塑性樹脂シートを用意
し、その開口部2に第2図(a)のように導電性突起物
4が形成されたICチップ3を挿入する。熱可塑性樹脂シ
ートとしては前記ポリカーボネート樹脂のほか、塩化ビ
ニル樹脂,塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体樹脂,ポリ
スルフォン樹脂,ポリエチレンテレフタレート樹脂,ポ
リエーテルケトン樹脂,ポリメチルペンテン樹脂,ポリ
アリレート樹脂,ポリエーテルスルフォン樹脂,ポリエ
ーテルイミド樹脂,ポリフェニレンスルフィド樹脂,ABS
樹脂等を用いることもできる。このようにICチップ3を
コアシート1の開口部2に挿入した状態では、ICチップ
3の裏面をコアシート1の裏面と面一にした場合、導電
性突起物4はコアシート1の表面より0.02mm突出してい
る。
ための、ICチップ3の外形寸法より若干大きい開口部2
を有するコアシート1となる熱可塑性樹脂シートを用意
し、その開口部2に第2図(a)のように導電性突起物
4が形成されたICチップ3を挿入する。熱可塑性樹脂シ
ートとしては前記ポリカーボネート樹脂のほか、塩化ビ
ニル樹脂,塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体樹脂,ポリ
スルフォン樹脂,ポリエチレンテレフタレート樹脂,ポ
リエーテルケトン樹脂,ポリメチルペンテン樹脂,ポリ
アリレート樹脂,ポリエーテルスルフォン樹脂,ポリエ
ーテルイミド樹脂,ポリフェニレンスルフィド樹脂,ABS
樹脂等を用いることもできる。このようにICチップ3を
コアシート1の開口部2に挿入した状態では、ICチップ
3の裏面をコアシート1の裏面と面一にした場合、導電
性突起物4はコアシート1の表面より0.02mm突出してい
る。
次に、第2図(c)に示すように加熱加圧盤6を用い
て、全体を加熱および加圧する。この場合、コアシート
1となるポリカーボネート樹脂の樹脂温度を200℃,樹
脂圧を20Kg f/cm2とすると、ポリカーボネート樹脂は塑
性変形して開口部2の隙間を埋める形となってICチップ
3を保持すると共に、ICチップ3の表面の周縁部(電極
の周辺)をも被覆するようになる。このとき、導電性突
起物4も加熱加圧盤6により押圧されて塑性変形し、頂
部がコアシート1の表面(ICチップ3の表面を被覆して
いる部分の表面)と面一の状態となり、かつその頂部表
面は露出する。なお、導電性突起物4の高さをコアシー
ト1である熱可塑性樹脂フィルムの厚さからICチップ3
の厚さを減じた寸法と等しくなるように導電性突起物4
を予め加圧して潰しておいても、同様の結果が得られ
る。
て、全体を加熱および加圧する。この場合、コアシート
1となるポリカーボネート樹脂の樹脂温度を200℃,樹
脂圧を20Kg f/cm2とすると、ポリカーボネート樹脂は塑
性変形して開口部2の隙間を埋める形となってICチップ
3を保持すると共に、ICチップ3の表面の周縁部(電極
の周辺)をも被覆するようになる。このとき、導電性突
起物4も加熱加圧盤6により押圧されて塑性変形し、頂
部がコアシート1の表面(ICチップ3の表面を被覆して
いる部分の表面)と面一の状態となり、かつその頂部表
面は露出する。なお、導電性突起物4の高さをコアシー
ト1である熱可塑性樹脂フィルムの厚さからICチップ3
の厚さを減じた寸法と等しくなるように導電性突起物4
を予め加圧して潰しておいても、同様の結果が得られ
る。
次に、第2図(d)に示すようにコアシート1上に、導
電性突起物4に一部が接触するような導体パターン5を
形成する。導体パターン5の形成法としては、例えば樹
脂中にAu,Ag,Cu,Pt,Ni,Sn,W,Mo,Pd,SiC,C,RuO2等の金属
粉末または合金粉末あるいは金属酸化物粉末を混練させ
てなる導電性ペーストを用い、印刷により形成すること
ができる。樹脂中に混練させる粉末の種類によって異な
るが、例えばAgの場合、70wt.%以上の含有率で良好な
導電性を示す。本実施例ではポリカーボネート樹脂中に
Agの粉末(TCG−1,徳力化学社製)を90wt.%の含有比で
混練させたAgペーストを用いてスクリーン印刷により導
体パターン5を形成した。他の材料の粉末を用いる場合
も、導電性を示す程度に樹脂に粉末を含有させればよ
い。
電性突起物4に一部が接触するような導体パターン5を
形成する。導体パターン5の形成法としては、例えば樹
脂中にAu,Ag,Cu,Pt,Ni,Sn,W,Mo,Pd,SiC,C,RuO2等の金属
粉末または合金粉末あるいは金属酸化物粉末を混練させ
てなる導電性ペーストを用い、印刷により形成すること
ができる。樹脂中に混練させる粉末の種類によって異な
るが、例えばAgの場合、70wt.%以上の含有率で良好な
導電性を示す。本実施例ではポリカーボネート樹脂中に
Agの粉末(TCG−1,徳力化学社製)を90wt.%の含有比で
混練させたAgペーストを用いてスクリーン印刷により導
体パターン5を形成した。他の材料の粉末を用いる場合
も、導電性を示す程度に樹脂に粉末を含有させればよ
い。
導体パターン6の他の形成法としては、Au,Ag,Cu,Pt,N
i,Sn,W,Mo,Pd等の金属を真空蒸着法,スパッタリング
法,または無電解メッキ法により形成した後、フォトリ
ソグラフィ法により所定パターンに形成してもよい。
i,Sn,W,Mo,Pd等の金属を真空蒸着法,スパッタリング
法,または無電解メッキ法により形成した後、フォトリ
ソグラフィ法により所定パターンに形成してもよい。
第2図(d)までの工程終了後、コアシート1の表裏面
にコアシート1と同様の熱可塑性樹脂シート(ポリカー
ボネート樹脂)からなるカバーシートを配置し、加熱お
よび加圧することによりコアシート1および導体パター
ン5と融着させ、さらに外形の打抜き加工をすることに
より、ICカードを完成させた。
にコアシート1と同様の熱可塑性樹脂シート(ポリカー
ボネート樹脂)からなるカバーシートを配置し、加熱お
よび加圧することによりコアシート1および導体パター
ン5と融着させ、さらに外形の打抜き加工をすることに
より、ICカードを完成させた。
こうして作製されたICカードに対して電気的試験を施し
たところ、良好な動作が得られ、かつ信頼性も十分であ
ることが確認された。
たところ、良好な動作が得られ、かつ信頼性も十分であ
ることが確認された。
[発明の効果] 本発明によれば、薄型化が容易に達成でき、またICチッ
プ上の電極と導体パターンとをICチップ表面と導体パタ
ーンとの電気的短絡を生じることなく良好に接続するこ
とができ、信頼性の高いICカード及びその製造方法を提
供することができる。
プ上の電極と導体パターンとをICチップ表面と導体パタ
ーンとの電気的短絡を生じることなく良好に接続するこ
とができ、信頼性の高いICカード及びその製造方法を提
供することができる。
第1図は本発明の一実施例に係るICカードの要部構成を
示す断面図、第2図(a)〜(d)は本発明の一実施例
に係るICカードの製造方法を説明するための工程図であ
る。 1……コアシート(熱可塑性樹脂シート)、2……開口
部、3……ICチップ、4……導電性突起物、5……導体
パターン、6……加熱加圧盤。
示す断面図、第2図(a)〜(d)は本発明の一実施例
に係るICカードの製造方法を説明するための工程図であ
る。 1……コアシート(熱可塑性樹脂シート)、2……開口
部、3……ICチップ、4……導電性突起物、5……導体
パターン、6……加熱加圧盤。
Claims (11)
- 【請求項1】コアシート及び該コアシートを両側から挟
むカバーシートからなる絶縁性のカード状基体中にICチ
ップを実装してなるICカードにおいて、前記ICチップの
電極上に導電性突起物が形成され、この導電性突起物の
頂部が前記コアシートの表面と面一に露出するように前
記ICチップが前記カード状基体中に埋設されるととも
に、前記コアシートの表面上に前記導電性突起物に接続
される導体パターンが形成されていることを特徴とする
ICカード。 - 【請求項2】コアシート及び該コアシートを両側から挟
むカバーシートからなる絶縁性のカード状基体中にICチ
ップを実装してなるICカードの製造方法において、 前記ICチップの電極上に導電性突起物を形成する工程
と、 この導電性突起物が形成されたICチップを開口部を有
し、かつ該ICチップより厚い前記コアシートとなる熱可
塑性樹脂シートの該開口部中に挿入する工程と、 この熱可塑性樹脂シートを加熱および加圧によって塑性
変形させることにより、前記導電性突起物の頂部が該熱
可塑性樹脂シートの表面と面一に露出するように前記IC
チップを該熱可塑性シート中に埋設する工程と、 この熱可塑性樹脂シートの表面上に前記導電性突起物に
接続される導体パターンを形成する工程とを備えたこと
を特徴とするICカードの製造方法。 - 【請求項3】前記導電性突起物は前記ICチップの構成材
料よりも硬度の小さい材質からなることを特徴とする特
許請求の範囲第2項記載のICカードの製造方法。 - 【請求項4】前記導電性突起物はAu,Cu,Ag,Al,Zn,Pd,S
n,Os,Pt,Irから選択した一種からなることを特徴とする
特許請求の範囲第3項記載のICカードの製造方法。 - 【請求項5】前記導電性突起物はPd,Sn,In,Ag,Ga,Au,B
i,Te,Ge,Sbから選択した少なくとも二種を含む合金から
なることを特徴とする特許請求の範囲第3項記載のICカ
ードの製造方法。 - 【請求項6】前記導電性突起物は金属と樹脂との複合材
料からなることを特徴とする特許請求の範囲第3項記載
のICカードの製造方法。 - 【請求項7】前記導電性突起物はボールボンディング,
メッキ,真空蒸着,スパッタリング,イオンプレーティ
ング,レーザ成長,転写,ディッピング,ディスペンス
のいずれかの方法により形成されることを特徴とする特
許請求の範囲第2項記載のICカードの製造方法。 - 【請求項8】前記ICチップの表面から前記導電性突起物
の頂部までの高さは、前記熱可塑性樹脂フィルムの厚さ
から前記ICチップの厚さを減じた寸法と等しいかまたは
それ以上であることを特徴とする特許請求の範囲第2項
記載のICカードの製造方法。 - 【請求項9】前記熱可塑性樹脂フィルムはポリカーボネ
ート樹脂,塩化ビニル樹脂,塩化ビニル−酢酸ビニル共
重合体樹脂,ポリスルフォン樹脂,ポリエチレンテレフ
タレート樹脂,ポリエーテルケトン樹脂,ポリメチルペ
ンテン樹脂,ポリアリレート樹脂,ポリエーテルスルフ
ォン樹脂,ポリエーテルイミド樹脂,ポリフェニレンス
ルフィド樹脂,ABS樹脂から選択した一種からなることを
特徴とする特許請求の範囲第2項記載のICカードの製造
方法。 - 【請求項10】前記導体パターンは樹脂中にAu,Ag,Cu,P
t,Ni,Sn,W,Mo,Pd,SiC,C,RuO2等の金属粉末または合金粉
末あるいは金属酸化物粉末を混練させてなる導電性ペー
ストを用いて印刷により形成されることを特徴とする特
許請求の範囲第2項記載のICカードの製造方法。 - 【請求項11】前記導体パターンはAu,Ag,Cu,Pt,Ni,Sn,
W,Mo,Pd等の金属を真空蒸着法,スパッタリング法,ま
たは無電解メッキ法により形成した後、フォトリソグラ
フィ法により所定パターンに形成されることを特徴とす
る特許請求の範囲第2項記載のICカードの製造方法。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61115585A JPH074995B2 (ja) | 1986-05-20 | 1986-05-20 | Icカ−ド及びその製造方法 |
DE8787302805T DE3782972T2 (de) | 1986-05-20 | 1987-03-31 | Ic-karte und verfahren zur herstellung derselben. |
EP87302805A EP0246744B1 (en) | 1986-05-20 | 1987-03-31 | Ic card and method of manufacturing the same |
KR1019870004878A KR900003803B1 (ko) | 1986-05-20 | 1987-05-18 | Ic카드 및 그 제조방법 |
US07/403,772 US4931853A (en) | 1986-05-20 | 1989-09-06 | IC card and method of manufacturing the same |
US07/508,649 US4997791A (en) | 1986-05-20 | 1990-04-13 | IC card and method of manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61115585A JPH074995B2 (ja) | 1986-05-20 | 1986-05-20 | Icカ−ド及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62270393A JPS62270393A (ja) | 1987-11-24 |
JPH074995B2 true JPH074995B2 (ja) | 1995-01-25 |
Family
ID=14666233
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61115585A Expired - Fee Related JPH074995B2 (ja) | 1986-05-20 | 1986-05-20 | Icカ−ド及びその製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US4931853A (ja) |
EP (1) | EP0246744B1 (ja) |
JP (1) | JPH074995B2 (ja) |
KR (1) | KR900003803B1 (ja) |
DE (1) | DE3782972T2 (ja) |
Families Citing this family (78)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2625067A1 (fr) * | 1987-12-22 | 1989-06-23 | Sgs Thomson Microelectronics | Procede pour fixer sur un support un composant electronique et ses contacts |
JPH03500033A (ja) * | 1988-06-21 | 1991-01-10 | ダブリュー アンド ティー エイヴァリー リミテッド | ポータブル電子トークンの製造法 |
BE1002529A6 (nl) * | 1988-09-27 | 1991-03-12 | Bell Telephone Mfg | Methode om een elektronische component te monteren en geheugen kaart waarin deze wordt toegepast. |
USRE35578E (en) * | 1988-12-12 | 1997-08-12 | Sgs-Thomson Microelectronics, Inc. | Method to install an electronic component and its electrical connections on a support, and product obtained thereby |
US5182420A (en) * | 1989-04-25 | 1993-01-26 | Cray Research, Inc. | Method of fabricating metallized chip carriers from wafer-shaped substrates |
US5412247A (en) * | 1989-07-28 | 1995-05-02 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Protection and packaging system for semiconductor devices |
US5155068A (en) * | 1989-08-31 | 1992-10-13 | Sharp Kabushiki Kaisha | Method for manufacturing an IC module for an IC card whereby an IC device and surrounding encapsulant are thinned by material removal |
US5081563A (en) * | 1990-04-27 | 1992-01-14 | International Business Machines Corporation | Multi-layer package incorporating a recessed cavity for a semiconductor chip |
US5227338A (en) * | 1990-04-30 | 1993-07-13 | International Business Machines Corporation | Three-dimensional memory card structure with internal direct chip attachment |
JPH0429338A (ja) * | 1990-05-24 | 1992-01-31 | Nippon Mektron Ltd | Icの搭載用回路基板及びその搭載方法 |
US5241456A (en) * | 1990-07-02 | 1993-08-31 | General Electric Company | Compact high density interconnect structure |
JP2560895B2 (ja) * | 1990-07-25 | 1996-12-04 | 三菱電機株式会社 | Icカードの製造方法およびicカード |
US5196377A (en) * | 1990-12-20 | 1993-03-23 | Cray Research, Inc. | Method of fabricating silicon-based carriers |
FR2672427A1 (fr) * | 1991-02-04 | 1992-08-07 | Schiltz Andre | Procede et dispositif d'insertion de puces dans des logements d'un substrat par film intermediaire. |
JP2816028B2 (ja) * | 1991-02-18 | 1998-10-27 | 株式会社東芝 | 半導体装置の製造方法 |
JPH06122297A (ja) * | 1992-08-31 | 1994-05-06 | Sony Chem Corp | Icカード及びその製造方法 |
DE69325065T2 (de) * | 1992-10-02 | 1999-10-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Halbleitervorrichtung, Bildabtastvorrichtung und Verfahren zu ihrer Herstellung |
KR0137398B1 (ko) * | 1992-10-23 | 1998-04-29 | 모리시타 요이찌 | 완전밀착형 이미지센서 및 유닛 그리고 그 제조방법 |
ZA941671B (en) * | 1993-03-11 | 1994-10-12 | Csir | Attaching an electronic circuit to a substrate. |
US5422514A (en) * | 1993-05-11 | 1995-06-06 | Micromodule Systems, Inc. | Packaging and interconnect system for integrated circuits |
US5689136A (en) | 1993-08-04 | 1997-11-18 | Hitachi, Ltd. | Semiconductor device and fabrication method |
JP3348528B2 (ja) * | 1994-07-20 | 2002-11-20 | 富士通株式会社 | 半導体装置の製造方法と半導体装置及び電子回路装置の製造方法と電子回路装置 |
EP0706152B1 (de) * | 1994-11-03 | 1998-06-10 | Fela Holding AG | Basis Folie für Chip Karte |
US5952713A (en) * | 1994-12-27 | 1999-09-14 | Takahira; Kenichi | Non-contact type IC card |
FR2735284B1 (fr) * | 1995-06-12 | 1997-08-29 | Solaic Sa | Puce pour carte electronique revetue d'une couche de matiere isolante et carte electronique comportant une telle puce |
US5874780A (en) * | 1995-07-27 | 1999-02-23 | Nec Corporation | Method of mounting a semiconductor device to a substrate and a mounted structure |
DE19528730A1 (de) * | 1995-08-04 | 1997-02-06 | Giesecke & Devrient Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines Datenträgers |
US6036099A (en) | 1995-10-17 | 2000-03-14 | Leighton; Keith | Hot lamination process for the manufacture of a combination contact/contactless smart card and product resulting therefrom |
US6441736B1 (en) | 1999-07-01 | 2002-08-27 | Keith R. Leighton | Ultra-thin flexible durable radio frequency identification devices and hot or cold lamination process for the manufacture of ultra-thin flexible durable radio frequency identification devices |
US5817207A (en) | 1995-10-17 | 1998-10-06 | Leighton; Keith R. | Radio frequency identification card and hot lamination process for the manufacture of radio frequency identification cards |
US5674785A (en) * | 1995-11-27 | 1997-10-07 | Micron Technology, Inc. | Method of producing a single piece package for semiconductor die |
US6013948A (en) * | 1995-11-27 | 2000-01-11 | Micron Technology, Inc. | Stackable chip scale semiconductor package with mating contacts on opposed surfaces |
US6861290B1 (en) * | 1995-12-19 | 2005-03-01 | Micron Technology, Inc. | Flip-chip adaptor package for bare die |
US5811879A (en) * | 1996-06-26 | 1998-09-22 | Micron Technology, Inc. | Stacked leads-over-chip multi-chip module |
WO1998052772A1 (fr) * | 1997-05-19 | 1998-11-26 | Hitachi Maxell, Ltd. | Module de circuit integre flexible et son procede de production, procede de production de support d'information comprenant ledit module |
US5899705A (en) * | 1997-11-20 | 1999-05-04 | Akram; Salman | Stacked leads-over chip multi-chip module |
EP0942392A3 (en) * | 1998-03-13 | 2000-10-18 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Chip card |
US6241153B1 (en) * | 1998-03-17 | 2001-06-05 | Cardxx, Inc. | Method for making tamper-preventing, contact-type, smart cards |
USRE43112E1 (en) | 1998-05-04 | 2012-01-17 | Round Rock Research, Llc | Stackable ball grid array package |
US6040622A (en) * | 1998-06-11 | 2000-03-21 | Sandisk Corporation | Semiconductor package using terminals formed on a conductive layer of a circuit board |
US6414391B1 (en) * | 1998-06-30 | 2002-07-02 | Micron Technology, Inc. | Module assembly for stacked BGA packages with a common bus bar in the assembly |
TW368707B (en) * | 1998-10-27 | 1999-09-01 | Tech Field Co Ltd | Packaging method for semiconductor die and the product of the same |
FR2790849B1 (fr) * | 1999-03-12 | 2001-04-27 | Gemplus Card Int | Procede de fabrication pour dispositif electronique du type carte sans contact |
JP3517374B2 (ja) * | 1999-05-21 | 2004-04-12 | 新光電気工業株式会社 | 非接触型icカードの製造方法 |
FR2794265B1 (fr) | 1999-05-25 | 2003-09-19 | Gemplus Card Int | Procede de fabrication de cartes a puce a contact avec dielectrique bas cout |
FR2794266B1 (fr) * | 1999-05-25 | 2002-01-25 | Gemplus Card Int | Procede de fabrication de dispositif electronique portable a circuit integre comportant un dielectrique bas cout |
WO2001005602A1 (fr) * | 1999-07-21 | 2001-01-25 | Ibiden Co., Ltd. | Carte a circuit imprime et son procede de fabrication |
JP3864029B2 (ja) * | 2000-03-24 | 2006-12-27 | 松下電器産業株式会社 | 半導体パッケージ及び半導体パッケージの製造方法 |
DE10016715C1 (de) * | 2000-04-04 | 2001-09-06 | Infineon Technologies Ag | Herstellungsverfahren für laminierte Chipkarten |
JP4403631B2 (ja) * | 2000-04-24 | 2010-01-27 | ソニー株式会社 | チップ状電子部品の製造方法、並びにその製造に用いる擬似ウエーハの製造方法 |
JP2001313350A (ja) * | 2000-04-28 | 2001-11-09 | Sony Corp | チップ状電子部品及びその製造方法、並びにその製造に用いる疑似ウエーハ及びその製造方法 |
US20020175402A1 (en) * | 2001-05-23 | 2002-11-28 | Mccormack Mark Thomas | Structure and method of embedding components in multi-layer substrates |
US6545227B2 (en) | 2001-07-11 | 2003-04-08 | Mce/Kdi Corporation | Pocket mounted chip having microstrip line |
US6506632B1 (en) * | 2002-02-15 | 2003-01-14 | Unimicron Technology Corp. | Method of forming IC package having downward-facing chip cavity |
JP3678212B2 (ja) * | 2002-05-20 | 2005-08-03 | ウシオ電機株式会社 | 超高圧水銀ランプ |
US6972964B2 (en) * | 2002-06-27 | 2005-12-06 | Via Technologies Inc. | Module board having embedded chips and components and method of forming the same |
TW546800B (en) * | 2002-06-27 | 2003-08-11 | Via Tech Inc | Integrated moduled board embedded with IC chip and passive device and its manufacturing method |
US6755700B2 (en) * | 2002-11-12 | 2004-06-29 | Modevation Enterprises Inc. | Reset speed control for watercraft |
US7312101B2 (en) * | 2003-04-22 | 2007-12-25 | Micron Technology, Inc. | Packaged microelectronic devices and methods for packaging microelectronic devices |
US7408258B2 (en) * | 2003-08-20 | 2008-08-05 | Salmon Technologies, Llc | Interconnection circuit and electronic module utilizing same |
US20050184376A1 (en) * | 2004-02-19 | 2005-08-25 | Salmon Peter C. | System in package |
US7427809B2 (en) * | 2004-12-16 | 2008-09-23 | Salmon Technologies, Llc | Repairable three-dimensional semiconductor subsystem |
US20070007983A1 (en) * | 2005-01-06 | 2007-01-11 | Salmon Peter C | Semiconductor wafer tester |
CA2601512A1 (en) * | 2005-03-23 | 2006-09-28 | Cardxx, Inc. | Method for making advanced smart cards with integrated electronics using isotropic thermoset adhesive materials with high quality exterior surfaces |
JP4657840B2 (ja) * | 2005-07-14 | 2011-03-23 | 新藤電子工業株式会社 | 半導体装置、およびその製造方法 |
US20070023923A1 (en) * | 2005-08-01 | 2007-02-01 | Salmon Peter C | Flip chip interface including a mixed array of heat bumps and signal bumps |
US20070023889A1 (en) * | 2005-08-01 | 2007-02-01 | Salmon Peter C | Copper substrate with feedthroughs and interconnection circuits |
US20070023904A1 (en) * | 2005-08-01 | 2007-02-01 | Salmon Peter C | Electro-optic interconnection apparatus and method |
US7586747B2 (en) * | 2005-08-01 | 2009-09-08 | Salmon Technologies, Llc. | Scalable subsystem architecture having integrated cooling channels |
JP5164362B2 (ja) | 2005-11-02 | 2013-03-21 | キヤノン株式会社 | 半導体内臓基板およびその製造方法 |
TWI325745B (en) * | 2006-11-13 | 2010-06-01 | Unimicron Technology Corp | Circuit board structure and fabrication method thereof |
TW200836315A (en) * | 2007-02-16 | 2008-09-01 | Richtek Techohnology Corp | Electronic package structure and method thereof |
US7557489B2 (en) * | 2007-07-10 | 2009-07-07 | Siemens Medical Solutions Usa, Inc. | Embedded circuits on an ultrasound transducer and method of manufacture |
US7514290B1 (en) * | 2008-04-24 | 2009-04-07 | International Business Machines Corporation | Chip-to-wafer integration technology for three-dimensional chip stacking |
TW201136468A (en) * | 2010-04-06 | 2011-10-16 | Chung-Cheng Wang | A printing circuit board and being used |
JP6128495B2 (ja) * | 2012-07-04 | 2017-05-17 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 電子部品実装構造体、icカード、cofパッケージ |
US9627338B2 (en) | 2013-03-06 | 2017-04-18 | STATS ChipPAC Pte. Ltd. | Semiconductor device and method of forming ultra high density embedded semiconductor die package |
US10181449B1 (en) * | 2017-09-28 | 2019-01-15 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Semiconductor structure |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2102421C3 (de) * | 1971-01-19 | 1979-09-06 | Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen | Verfahren zur Herstellung einer strukturierten metallischen Schicht auf einem keramischen Grundkörper |
JPS5230184A (en) * | 1975-09-02 | 1977-03-07 | Sharp Corp | Semiconductor device |
US4214904A (en) * | 1978-12-12 | 1980-07-29 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Gold-tin-silicon alloy for brazing silicon to metal |
JPS577142A (en) * | 1980-06-16 | 1982-01-14 | Toshiba Corp | Marking method of resin-sealed semiconductor device |
JPS577147A (en) * | 1980-06-17 | 1982-01-14 | Citizen Watch Co Ltd | Mounting construction of semiconductor device |
FR2489043A1 (fr) * | 1980-08-20 | 1982-02-26 | Thomson Csf | Embase de boitier d'encapsulation et procede de report d'un composant sur cette embase |
FR2492164B1 (fr) * | 1980-10-15 | 1987-01-23 | Radiotechnique Compelec | Procede de realisation simultanee de liaisons electriques multiples, notamment pour le raccordement electrique d'une micro-plaquette de semiconducteurs |
DE8122540U1 (de) * | 1981-07-31 | 1983-01-13 | Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg | "informationskarte mit integriertem baustein" |
JPS58173790A (ja) * | 1982-04-06 | 1983-10-12 | シチズン時計株式会社 | 表示装置と半導体装置の接続構造 |
FR2527036A1 (fr) * | 1982-05-14 | 1983-11-18 | Radiotechnique Compelec | Procede pour connecter un semiconducteur a des elements d'un support, notamment d'une carte portative |
JPS6175488A (ja) * | 1984-09-19 | 1986-04-17 | Toshiba Corp | Icカ−ドの製造方法 |
-
1986
- 1986-05-20 JP JP61115585A patent/JPH074995B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1987
- 1987-03-31 DE DE8787302805T patent/DE3782972T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1987-03-31 EP EP87302805A patent/EP0246744B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1987-05-18 KR KR1019870004878A patent/KR900003803B1/ko not_active IP Right Cessation
-
1989
- 1989-09-06 US US07/403,772 patent/US4931853A/en not_active Expired - Fee Related
-
1990
- 1990-04-13 US US07/508,649 patent/US4997791A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3782972T2 (de) | 1993-04-29 |
KR900003803B1 (ko) | 1990-05-31 |
JPS62270393A (ja) | 1987-11-24 |
KR880014641A (ko) | 1988-12-24 |
EP0246744B1 (en) | 1992-12-09 |
DE3782972D1 (de) | 1993-01-21 |
EP0246744A3 (en) | 1989-06-14 |
EP0246744A2 (en) | 1987-11-25 |
US4931853A (en) | 1990-06-05 |
US4997791A (en) | 1991-03-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH074995B2 (ja) | Icカ−ド及びその製造方法 | |
US4442966A (en) | Method of simultaneously manufacturing multiple electrical connections between two electrical elements | |
EP0391790B1 (fr) | Procédé de fabrication d'un module électronique | |
TW424245B (en) | Resistor and its manufacturing method | |
US6614113B2 (en) | Semiconductor device and method for producing the same | |
WO1999004419A1 (fr) | Procede de production de plaquette en semi-conducteur, procede de production de puce de semi-conducteur et carte a circuit integre | |
JPH0748330B2 (ja) | フレキシブル基板内蔵の電子部品樹脂モールドケース及びその製造方法 | |
US20020100919A1 (en) | Semiconductor device and microrelay | |
JP2005197660A (ja) | 過電流保護素子およびその製造方法 | |
US4845839A (en) | Method of making a resistive element | |
JPS6231497B2 (ja) | ||
JPS6032725Y2 (ja) | 可変抵抗器 | |
JP2000077124A (ja) | フィルム基板の接続方法 | |
JPH04130633A (ja) | 半導体装置とその製造方法およびそれに用いるキャピラリ | |
TWI247319B (en) | Capacitor device | |
JP2575749B2 (ja) | 半導体装置におけるリードの製造方法 | |
JPS6041666Y2 (ja) | 面状発熱体 | |
JPS6127843B2 (ja) | ||
JP2002093855A (ja) | 半導体装置 | |
JP2602758Y2 (ja) | トリマーコンデンサ | |
JP2572660Y2 (ja) | 裏面調整用半固定抵抗器 | |
JPS61142670A (ja) | テープキャリアデバイスの端子接続構造 | |
JP2000200701A (ja) | チップ型抵抗器およびその製造方法 | |
JPH0770376B2 (ja) | 可変抵抗器用抵抗基体の製造方法 | |
JPH08102408A (ja) | 半固定抵抗器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |