KR900003803B1 - Ic카드 및 그 제조방법 - Google Patents

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KR900003803B1
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마사유키 오우치
히로시 오다이라
겐이치 요시다
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가부시키가이샤 도시바
와타리 스기이치로
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Abstract

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Description

IC카드 및 그 제조방법
제 1 도는 본 발명의 구현예인 IC카드의 주요부분을 나타낸 단면도.
제 2a∼제 2e 도는 본 발명에 따른 IC카드를 제조하는 공정을 단계적으로 나타낸 단면도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 코어시이트(Core Sheet) 2 : 관통구멍
3 : 반도체 IC칩 4 : 전극
5 : 도전성 돌기물 6 : 도전층패턴(Conductive Layer Pattern)
7 : 커버시이트(Cover Sheet) 8 : 가열코일
9 : 가열가압부재
본 발명은 IC카드및 그 제조방법에 관한 것이다.
본 발명자는 일본국 특허출원 소 59-196,206호에 IC카드의 제조방법을 제안한 바 있는데, 그 제조방법은 절연성 코어시이트(core sheet)내에 반도체 IC칩을 매립하는 단계와 상기 코어시이트의 주표면상에 도전층패턴을 형성시키는 단계 및 IC칩상에 증착된 전극을 상기 도전층패턴에 전기적으로 접속시키는 단계로 이루어져 있다.
이러한 제조방법에 따르면 코어시이트내에 매립되는 IC칩의 노출전극이 상기 코어시이트의 주표면상에 형성되는 도전층패턴에 직접 접속되기 때문에 얇은 두께의 IC카드를 구현할 수 있다. 그러나 이러한 제조방법에 있어서 IC칩상에 증착되는 전극과 도전층패턴이 본딩 와이어에 의해 접속될 경우에는 소위 루우프높이(본딩와이어접속기에 기인하여 불가피하게 높아지는 부분의 높이)로 인하여 IC카드의 두께가 두꺼워지는 문제점이 발생한다.
더우기, 상기한 방법으로 제조되는 IC카드에서는 전극이 형성되는 IC칩의 표면이 코어시이트의 주표면과 같은 높이로 되므로 도전층패턴의 일부가 IC칩 표면의 전극접촉부와 접속되게 된다. 그런데, IC칩의 표면은 포스포실리케이트 글라스로 된 패시베이션층(passivation층 : 전기적, 화학적으로 안전성을 부여하기 위한 층)으로 피복되어 있기 때문에 상기 패시베이션층이 떨어져 나가지 않는다면 상기한 전극접촉부에 문제점이 생기지 않지만, 접촉부에서 패시베이션층이 떨어져 나가는 경우에는 도전층패턴과 IC칩간에 전기적인 단락이 야기될 수도 있다.
본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하고자 발명된 것으로서, 코어시이트상에 형성되는 도전층패턴이 코어시이트의 내부에 매립되어 있는 반도체 IC칩의 표면중 일부를 통해 확장되는 구조로 되어, 상기도전층패턴의 연장종단부와 IC칩간에 전기적인 단락이 생기는 일 없이 도전층 패턴이 IC칩상에 형성되는 전극과 접속되도록 된 IC카드 및 그 제조방법을 제공하고자 함에 그 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 IC카드는 절연성 코어시이트와 이 코어시이트내에 매립되며 전극을 구비하고 있는 반도체 IC칩 및 상기 전극과 접속되도록 코어시이트상에 증착되는 도전층패턴을 구비하여 구성되게 되는데, 상기한 반도체 IC칩에는 전극위에 형성되는 도전성 돌기물이 설치되고, 이러한 반도체 IC칩은 상기한 도전성 돌기물의 노출표면이 도전층패턴을 증착시키게 되는 코어시이트의 주표면과 같은 높이로 됨과 더불어 도전층 패턴이 상기 노출표면에서 도전성 돌기물과 접속되는 형태로 코어시이트의 내부에 매설되게 된다.
한편, 열가소성 수지로 된 코어시이트와 이 코어시이트의 내부에 매설되는 반도체 IC칩을 포함하고 있는 IC카드를 제조하기 위한 본 발명의 제조방법은, 반도체 IC칩의 두께보다 더 두꺼우며 열가소성 수지로 이루어진 코어시이트를 준비해서 코어시이트를 관통하는 관통구멍을 뚫는 단계와, 상기 반도체 IC칩상에 증착되는 전극의 위에다가 도전성 돌기물을 형성시키는 단계, 상기 코어시이트 주표면의 측면쪽에 위치하게되는 도전성 돌기물이 형성되어 있는 상기 반도체 IC칩을 관통구멍내에 끼우는 단계, 상기 코어시이트의 주표면과 도전성 돌기물의 머릿부분이 같은 높이로 될때까지 반도체 IC칩과 코어시이트를 가열 및 가압처리해서 소성변형시키는 단계 및, 코어시이트의 주표면상에 도전층패턴을 증착시켜서 도전성 돌기물의 노출표면과 접촉시키는 단계로 이루어져 있다.
이하, 예시도면에 의거 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.
제 1 도는 본발명의 1실시예에 따른 IC카드의 요부구성을 나타낸 단면도로서, 코어시이트(1)는 열가소성수지시이트, 예컨대 두께 0.32mm 폴리카보네이트 수지시 이트(Teijin社製 "판라이트")로 만들어지는데, 본실시예에서 이 코어시이트(1)는 2개의 관통구멍(2)을 갖추고 있다.
상기 관통구멍(2)내에는 코어시이트(1)보다 얇은 (예컨대 두께 0.29mm)반도체 IC칩(3)이 매설되는 바, 이 IC칩(3)은 다수의 입출력용 전극(4)을 갖추고 있고, 그 전극(4)상에는 도전성 돌기물(5)이 형성되어 있다. 이 도전성 돌기물(5)의 머릿부분은 코어시이트(1)의 표면과 같은 높이로 되게 된다.
상기한 코어시이트(1)의 주표면상에는 도전층패턴(6)이 형성되는데, 이 도전층패턴(6)은 IC칩(3)상에 연장되므로써 상기 도전성 돌기물(5)의 머릿부분과 전기적으로 접속된다. 이로써 도전층패턴(6)과 IC칩(3)의 전극(4)간에 전기적인 접속이 이루어진다. 여기에서 상기 도전성 돌기물(5)의 측면은 코어시이트(1)와 동일한 재질로 둘러 싸이게 되고, 코어시이트(1)의 상측표면은 전술한 것처럼 도전층패턴(6)으로 덮여지게 되며, 그 위와 코어시이트(1)의 바닥은 절연성 커버시이트(7)로 피복되게 된다. 이러한 커버시이트(7)에는 다수의 구멍이 뚫려져서(도시되지 않았음)이 구멍과 도전층패턴(6)을 통해 데이터가 입출력되게 된다.
상기와 같이 구성된 IC카드에 따르면 IC칩(3)에 증착된 전극(4)과 도전층패턴(6)이 본딩와이어를 통하지 않고 접속되고 있기 때문에 IC카드 전체의 두께를 얇게 할 수 있다. 또한, 도전층패턴(6)의 끝부분과 IC칩(3)의 표면간에는 코어시이트(1)의 구성재료와 동일한 절연성의 열가소성수지 시이트가 끼워져 있기 때문에 IC칩(3)의 표면에 코팅되어 있는 패시베이션막이 떨어져도 그 떨어진 부분을 통해 IC칩(3)과 도전층패턴(6)간의 전기적인 단락이 생기지 않게 된다.
다음으로 제 2a 도∼제 2e 도를 참조해서 본 발명에 따른 IC카드의 제조방법에 대한 실시예를 설명한다.
우선, IC칩(3)보다 두꺼우면서 최소한 하나 이상의 관통구멍(2)을 갖추고 있는 열가소성 코어시이트(1)를 준비한다. 다음으로 제 2a 도에 나타냈듯이 IC칩(3)의 전극(4)상에 도전성 돌기물(5)을 형성시키는데,이 도전성 돌기물(5)의 재질은 나중에 실시되는 가압 공정에 의해 IC칩(3)이 파괴되지 않도록 하기 위해서IC칩(3)의 구성재료인 실리콘보다도 경도가 낮은 재질, 예컨대 천이금속(遷移金屬)인 Au,Cu,Ag,Al,Zn,Pd,Sn,Os,Pt,Ir중에서 선택한 한 종류의 금속이나 Pd,Sn,In,Ag,Ga,Au,Bi,Te,Ge,Sb중에서 선택한 최소한 두종류 이상의 금속을 포함하는 합금을 이용하는 것이 바람직하다.
상기한 도전성 돌기물(5)의 형성방법은 다음과 같다. 도전성 돌기물(5)의 재질이 전술한 천이금속인 경우에는 볼 본딩(ball bonding)이나 전기도금법, 진공증착법, 스퍼터링법, 이온도금법(ion plating process), 레이저 성장법, 전사법(transcriptingprocess)등을 이용하는 것이 좋고, 재질이 저융점 합금인 경우에는 저융점 합금의 용융액에 초음파를 인가하고, 그 용융액중에 IC칩을 담그는(dipping)방법을 사용하는 것이 좋다. 이와달리, 상기한 도전성 돌기물(5)은 금속과 수지로 이루어진 혼합체로 만들 수 있는데, 이때에는 에폭시수지와 은분을 섞어서 페이스트상태로 반죽한 후 그 덩어리를 IC칩(3)의 전극(4)에 증착시키면 된다.
한편, 도전성 돌기물(5)의 높이, 즉 IC칩(3)의 표면으로부터 도전성 돌기물(5)의 표면까지의 높이는 코어시이트(1)의 두께(이 실시예에서는 0.32mm)에서 IC칩(3)의 두께(이 실시예에서는 0.29mm)를 뺀 칫수인 30μm이상으로 하는 것이 바람직하다.
본 실시예에서는 예컨대 Au를 이용한 볼 본딩을 IC칩(3)상의 전극(4)표면에 대해 실시한 후 와이어 부분을 절단하여 Au볼 부분만을 전극(4)상에 남기므로써 도전성 돌기물(5)을 만든다. 이러한 도전성 돌기물(5)의 높이는 50μm으로서, 상기한 30μm이상이라는 조건을 만족시키게 된다.
다음으로 제 2b 도에 나타냈듯이 IC칩(3)의 외형칫수보다 약간 큰 관통구멍(2)을 통해 도전성 돌기물(5)이 형성된 IC칩(3)을 삽입한다. 이 단계에서는 도전성 돌기물(5)이 코어시이트(1)의 주표면상에 배치되도록 IC칩(3)을 삽입해야 한다.
상기한 코어시이트(1)로는 위에서 예로든 폴리카보네이트수지(polycarbonate 수지)이외에 염화비닐수지나 엄화비닐-초산비닐공중합체수지, 폴리술폰수지(polysulfone 수지)폴리에틸렌테레프탈레이트수지(polyethyene-terephtalate 수지), 폴리에텔케톤수지(polyether-ketone 수지), 폴리메틸펜텐수지(polymethyl-pentene 수지), 폴리알리레이트수지(polyallylate 수지), 폴리에텔술폰수지(polyether-sulfone 수지), 폴리에텔이미드수지(Polyether-imide 수지). 폴리페닐렌설파이드수지(Polyphenylen sulfide수지), 및 ABS 수지등을 이용할 수도 있다.
이처럼 IC칩(3)을 코어시이트(1)의 관통구멍(2)에 삽입할 때에는 IC칩(3)의이면을 코어시이트(1)의 이면과 같은 높이로 하는데, 이때에는 도전성 돌기물(4)의 머릿부분이 코어시이트(1)의 표면으로 부터 0.02mm돌출되게 된다.
다음에는 제 2c 도에 나타냈듯이 가열코일(8)을 갖추고 있는 2개의 가열가압부재(9)사이에 코어시이트(1)를 끼워넣고 가열 및 가압처리한다. 이 경우, 코어시이트(1)가 되는 폴리카보네이트수지는 200℃로 가열되면서 20kg f/cm2의 압력이 코어시이트(1)의 표면과 바닥사이에 가해진다. 그러면 코어시이트(1)는 소성변형되어 관통구멍(2)의 내부간격이 폴리카보네이트수지로 매꾸어진다. 그 결과 도전성 돌기물(5)의 머릿부분이 코어시이트(1)의 표면과 같은 높이로 되고 또한 도전성 돌기물(1)의 측면은 코어시이트(1)와 동일한 재료로 피복된다.
한편 상기 도전성 돌기물(5)의 높이를 코어시이트(1)의 두께에서 IC칩(3)의 두께를 뺀 칫수와 같게 되게끔 하는 공정은 도전성 돌기물(5)을 미리 가압처리하는 공정으로 대치되어도 그 결과는 같게 된다.
다음으로, 제 2d 도에 나타냈듯이 코어시이트(1)의 주표면상에 도전성 돌기물(5)의 노출면과 도전층패턴(6)의 종단부가 접촉되도록 도전층패턴(6)을 형성시킨다. 이러한 도전층패턴(6)을 형성시키는 방법으로는 예컨대 수지에다가 Au, Ag, Cu, Pt, Ni, Sn, W, Mo, Pd, SiC, C, RuO2등의 금속분말이나 합금분말, 금속산화물 분말을 섞어서 만든 도전성 페이스트를 이용하여 그 페이스트를 인쇄해서 형성시킬 수 있다.
수지중에 섞여지는 금속분말의 종류에 따라 다르기는 하지만, 예컨대 Ag인 경우에는 70wt%이상의 함유율에서 페이스트는 양호한 도전성을 나타내게 된다. 본 실시예에서는 폴리카보네이트수지중에 Ag분말을 90wt.%의 함유비로 섞은 Ag페이스트를 사용해서 스크린인쇄법으로 도전층패턴(6)을 형성시켰다. 다른 재료로 된 금속분말을 이용하는 경우에도 효과적인 도전성을 나타내는 정도로 수지에다 분말을 섞으면 소기의 목적을 달성할 수 있게 된다.
도전층패턴(6)을 형성시키는 다른 방법으로서는, Au, Ag, Cu, Pt, Ni, Sn, W, Mo, Pd등의 금속을 진공증착법이나 스퍼터링법, 무전해 전기도금법으로 코어시이트(1) 상에 형성시킨후, 포트리소그라피법 (Photolitho graphy proces)으로 소정의 도전층패턴을 형성시킬 수도 있다.
상기한 제 2d 도 까지의 공정이 끝난후에도 제 2e 도에 도시한 것처럼 시이트(1)의 표면과 이면에 코어시이트(1)와 동일한 열가소성 수지시이트로 이루어진 커버시이트(7)를 실치하고 가열 및 가압처리하여 코어시이트(1)와 도전층패턴(6)을 융착시킴과 아울러 구멍을 뚫으므로써 IC카드를 완성시키게 된다.
이상과 같이 제작된 IC카드에 대해 전기적인 실험을 한 결과, 양호하게 동작을 함과 더불어 신뢰성도 충분히 높아졌다는 것이 확인되었다.
상기한 본 발명에 따르면, 카드전체를 박형화하기 쉽고 IC칩의 표면과 도전층패턴간에 전기적인 단락이 생기는 일없이 IC칩의 전극과 도전층패턴이 전기적으로 접속되며, 전반적으로 작동성이 우수하고 실뢰성이 높은 IC카드 및 그 제조방법을 구현할 수 있다.

Claims (11)

  1. 절연성 코어시이트(1)와 이 코어시이트 (1)내에 매설되며 전극(4)을 구비하고 있는 반도체 IC칩(3)및 상기 전극(4)과 접속되도록 코어시이트(1)상에 증착되는 도전층패턴(6)을 구비하고 있는 IC카드에 있어서, 상기한 반도체 IC칩(3)에는 전극(4)위에 형성되는 도전성 돌기물(5)이 설치되고, 상기한 도전성 돌기물(5)의 노출표면이 도전층패턴(6)을 증착시키게 되는 코어시이트(1)의 주표면과 같은 높이로 됨과 더불어 상기 도전층패턴(6)이 상기 노출표면에서 도전성 돌기물(5)과 접속되는 형태로 반도체IC칩(3)이 코어시이트(1)의 내부에 매설되는 것을 특징으로 하는 IC카드.
  2. 반도체 IC칩(3)의 두께보다 더 두꺼우며 열가소성 수지로 이루어진 코어시이트(1)를 준비해서 그 코어시이트(1)를 관통하는 최소한 한개 이상의 관통구멍(2)을 뚫는 단계와, 상기 반도체 IC칩(3)상에 증착되는 전극(4)의 위에다가 도전성 돌기물(5)을 형성시키는 단계, 상기 코어시이트(1) 주표면의 측면쪽에 위치하게 되는 도전성 돌기물(5)이 형성되어 있는 상기 반도체 IC칩(3)을 관통구멍(2)내에 끼우는 단계, 상기 코어시이트(1)의 주표면과 도전성 돌기물(5)의 머릿부분이 같은 높이로 되도록 반도체 IC칩(3)을 내장하고있는 코어시이트(1)의 주표면과 그 반대면 사이에 가열가압처리를 실시해서 코어시이트(1)를 소성변형시키는 단계 및, 코어시이트(1)의 주표면상에 도전층패턴(6)을 증착 시켜서 상기 도전성 돌기물(5)의 노출표면과 접촉시키는 단계로 이루어져 있는 IC카드의 제조방법.
  3. 제 2 항에 있어서, 도전성 돌기물(5)은 IC칩(3)의 구성재료 보다도 경도가 낮은 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 IC카드의 제조방법.
  4. 제 3 항에 있어서, 도전성 돌기물(5)은 Au, Cu, Ag, AI, Zn, Pd, Sn, Os, Pt, Ir로부터 선택한 최소한 한가지 이상의 금속으로 만들어지는 것을 특징으로 하는 IC카드의 제조방법.
  5. 제 3 항에 있어서, 도전성 돌기물(5)은 Pd, Sn, In, Ag, Ga, Au, Bi, Te, Ge, Sb로부터 선택한 최소한 2종류 이상의 금속을 포함하는 합금으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 IC카드의 제조방법.
  6. 제 3 항에 있어서, 도전성 돌기물(5)은 금속과 수지의 복합재료로 만들어지는 것을 특징으로 하는 IC카드의 제조방법.
  7. 제 2 항에 있어서, 도전성 돌기물(5)은 볼 본딩이나, 전기도금법, 진공증착법, 스퍼터링법, 이온도금법, 레이저성장법, 전사법, 디핑법, 디스펜싱법중 어떤 한 방법에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 IC카드의 제조방법.
  8. 제 2 항에 있어서, 도전성 돌기물(5)은 반도체 IC칩(3)의 표면으로부터 도전성 돌기물(5)의 머릿부분까지의 거리가 열가소성 코어시이트(1)의 두께에서 반도체 IC칩(3)의 두께를 뺀 칫수와 같거나 그 이상이 되게끔 형성되는 것을 특징으로 하는 IC카드의 제조방법.
  9. 제 2 항에 있어서, 열가소성 코어시이트(1)는 폴리카보네이트수지나 염화비닐수지, 염화비닐-초산비닐 공중합체수지, 폴리술폰수지, 폴리에틸렌테레프탈레이트수지, 폴리에텔케톤수지, 폴리메틸펜텐수지, 폴리알리레이트수지, 폴리에텔술폰수지, 폴리에텔이미드수지, 폴리페닐렌설파이드수지, ABS수지중에서 선택한 수지로 만들어지는 것을 특징으로 하는 IC카드의 제조방법.
  10. 제 2 항에 있어서, 도전층패턴(6)은수지에다 Au, Ag, Cu, Pt, Ni, Sn, W, Mo, Pd, SiC, RuO2등의 금속중에서 선택한 금속분말이나 합금분말 혹은 금속산화물 분말을 혼합하여서된 도전성 페이스트를 사용하는 인쇄법에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 IC카드의 제조방법.
  11. 제 2 항에 있어서, 도전층패턴(6)은 Au, Ag, Cu, Pt, Ni, Sn, W, Mo, Pd중의 한가지 금속을 진공증착법이나 스퍼터링법 또는 무전해 전기도금법으로 코어시이트(1)의 표면상에 형성시킨 후 포토리소그라피법에 따라 소정의 형태로 패터닝하여 만들어지는 것을 특징으로 하는 IC카드의 제조방법.
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Families Citing this family (78)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2625067A1 (fr) * 1987-12-22 1989-06-23 Sgs Thomson Microelectronics Procede pour fixer sur un support un composant electronique et ses contacts
ATE100616T1 (de) * 1988-06-21 1994-02-15 Gec Avery Ltd Herstellung von tragbaren elektronischen karten.
BE1002529A6 (nl) * 1988-09-27 1991-03-12 Bell Telephone Mfg Methode om een elektronische component te monteren en geheugen kaart waarin deze wordt toegepast.
USRE35578E (en) * 1988-12-12 1997-08-12 Sgs-Thomson Microelectronics, Inc. Method to install an electronic component and its electrical connections on a support, and product obtained thereby
US5182420A (en) * 1989-04-25 1993-01-26 Cray Research, Inc. Method of fabricating metallized chip carriers from wafer-shaped substrates
US5412247A (en) * 1989-07-28 1995-05-02 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Protection and packaging system for semiconductor devices
US5155068A (en) * 1989-08-31 1992-10-13 Sharp Kabushiki Kaisha Method for manufacturing an IC module for an IC card whereby an IC device and surrounding encapsulant are thinned by material removal
US5081563A (en) * 1990-04-27 1992-01-14 International Business Machines Corporation Multi-layer package incorporating a recessed cavity for a semiconductor chip
US5227338A (en) * 1990-04-30 1993-07-13 International Business Machines Corporation Three-dimensional memory card structure with internal direct chip attachment
JPH0429338A (ja) * 1990-05-24 1992-01-31 Nippon Mektron Ltd Icの搭載用回路基板及びその搭載方法
US5241456A (en) * 1990-07-02 1993-08-31 General Electric Company Compact high density interconnect structure
JP2560895B2 (ja) * 1990-07-25 1996-12-04 三菱電機株式会社 Icカードの製造方法およびicカード
US5196377A (en) * 1990-12-20 1993-03-23 Cray Research, Inc. Method of fabricating silicon-based carriers
FR2672427A1 (fr) * 1991-02-04 1992-08-07 Schiltz Andre Procede et dispositif d'insertion de puces dans des logements d'un substrat par film intermediaire.
JP2816028B2 (ja) * 1991-02-18 1998-10-27 株式会社東芝 半導体装置の製造方法
JPH06122297A (ja) * 1992-08-31 1994-05-06 Sony Chem Corp Icカード及びその製造方法
EP0591862B1 (en) * 1992-10-02 1999-05-26 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. A semiconductor device, an image sensor device, and methods for producing the same
KR0137398B1 (ko) * 1992-10-23 1998-04-29 모리시타 요이찌 완전밀착형 이미지센서 및 유닛 그리고 그 제조방법
ZA941671B (en) * 1993-03-11 1994-10-12 Csir Attaching an electronic circuit to a substrate.
US5422514A (en) * 1993-05-11 1995-06-06 Micromodule Systems, Inc. Packaging and interconnect system for integrated circuits
US5689136A (en) * 1993-08-04 1997-11-18 Hitachi, Ltd. Semiconductor device and fabrication method
JP3348528B2 (ja) * 1994-07-20 2002-11-20 富士通株式会社 半導体装置の製造方法と半導体装置及び電子回路装置の製造方法と電子回路装置
ATE167319T1 (de) * 1994-11-03 1998-06-15 Fela Holding Ag Basis folie für chip karte
US5952713A (en) * 1994-12-27 1999-09-14 Takahira; Kenichi Non-contact type IC card
FR2735284B1 (fr) * 1995-06-12 1997-08-29 Solaic Sa Puce pour carte electronique revetue d'une couche de matiere isolante et carte electronique comportant une telle puce
US5874780A (en) * 1995-07-27 1999-02-23 Nec Corporation Method of mounting a semiconductor device to a substrate and a mounted structure
DE19528730A1 (de) * 1995-08-04 1997-02-06 Giesecke & Devrient Gmbh Verfahren zur Herstellung eines Datenträgers
US5817207A (en) * 1995-10-17 1998-10-06 Leighton; Keith R. Radio frequency identification card and hot lamination process for the manufacture of radio frequency identification cards
US6036099A (en) 1995-10-17 2000-03-14 Leighton; Keith Hot lamination process for the manufacture of a combination contact/contactless smart card and product resulting therefrom
US6441736B1 (en) 1999-07-01 2002-08-27 Keith R. Leighton Ultra-thin flexible durable radio frequency identification devices and hot or cold lamination process for the manufacture of ultra-thin flexible durable radio frequency identification devices
US5674785A (en) * 1995-11-27 1997-10-07 Micron Technology, Inc. Method of producing a single piece package for semiconductor die
US6013948A (en) * 1995-11-27 2000-01-11 Micron Technology, Inc. Stackable chip scale semiconductor package with mating contacts on opposed surfaces
US6861290B1 (en) * 1995-12-19 2005-03-01 Micron Technology, Inc. Flip-chip adaptor package for bare die
US5811879A (en) * 1996-06-26 1998-09-22 Micron Technology, Inc. Stacked leads-over-chip multi-chip module
WO1998052772A1 (fr) * 1997-05-19 1998-11-26 Hitachi Maxell, Ltd. Module de circuit integre flexible et son procede de production, procede de production de support d'information comprenant ledit module
US5899705A (en) * 1997-11-20 1999-05-04 Akram; Salman Stacked leads-over chip multi-chip module
EP0942392A3 (en) * 1998-03-13 2000-10-18 Kabushiki Kaisha Toshiba Chip card
US6241153B1 (en) 1998-03-17 2001-06-05 Cardxx, Inc. Method for making tamper-preventing, contact-type, smart cards
USRE43112E1 (en) 1998-05-04 2012-01-17 Round Rock Research, Llc Stackable ball grid array package
US6040622A (en) * 1998-06-11 2000-03-21 Sandisk Corporation Semiconductor package using terminals formed on a conductive layer of a circuit board
US6414391B1 (en) 1998-06-30 2002-07-02 Micron Technology, Inc. Module assembly for stacked BGA packages with a common bus bar in the assembly
TW368707B (en) * 1998-10-27 1999-09-01 Tech Field Co Ltd Packaging method for semiconductor die and the product of the same
FR2790849B1 (fr) * 1999-03-12 2001-04-27 Gemplus Card Int Procede de fabrication pour dispositif electronique du type carte sans contact
JP3517374B2 (ja) * 1999-05-21 2004-04-12 新光電気工業株式会社 非接触型icカードの製造方法
FR2794265B1 (fr) * 1999-05-25 2003-09-19 Gemplus Card Int Procede de fabrication de cartes a puce a contact avec dielectrique bas cout
FR2794266B1 (fr) 1999-05-25 2002-01-25 Gemplus Card Int Procede de fabrication de dispositif electronique portable a circuit integre comportant un dielectrique bas cout
WO2001005602A1 (fr) * 1999-07-21 2001-01-25 Ibiden Co., Ltd. Carte a circuit imprime et son procede de fabrication
JP3864029B2 (ja) * 2000-03-24 2006-12-27 松下電器産業株式会社 半導体パッケージ及び半導体パッケージの製造方法
DE10016715C1 (de) * 2000-04-04 2001-09-06 Infineon Technologies Ag Herstellungsverfahren für laminierte Chipkarten
JP4403631B2 (ja) * 2000-04-24 2010-01-27 ソニー株式会社 チップ状電子部品の製造方法、並びにその製造に用いる擬似ウエーハの製造方法
JP2001313350A (ja) * 2000-04-28 2001-11-09 Sony Corp チップ状電子部品及びその製造方法、並びにその製造に用いる疑似ウエーハ及びその製造方法
US20020175402A1 (en) * 2001-05-23 2002-11-28 Mccormack Mark Thomas Structure and method of embedding components in multi-layer substrates
US6545227B2 (en) 2001-07-11 2003-04-08 Mce/Kdi Corporation Pocket mounted chip having microstrip line
US6506632B1 (en) * 2002-02-15 2003-01-14 Unimicron Technology Corp. Method of forming IC package having downward-facing chip cavity
JP3678212B2 (ja) * 2002-05-20 2005-08-03 ウシオ電機株式会社 超高圧水銀ランプ
US6972964B2 (en) * 2002-06-27 2005-12-06 Via Technologies Inc. Module board having embedded chips and components and method of forming the same
TW546800B (en) * 2002-06-27 2003-08-11 Via Tech Inc Integrated moduled board embedded with IC chip and passive device and its manufacturing method
US6755700B2 (en) * 2002-11-12 2004-06-29 Modevation Enterprises Inc. Reset speed control for watercraft
US7312101B2 (en) * 2003-04-22 2007-12-25 Micron Technology, Inc. Packaged microelectronic devices and methods for packaging microelectronic devices
US7408258B2 (en) * 2003-08-20 2008-08-05 Salmon Technologies, Llc Interconnection circuit and electronic module utilizing same
US20050184376A1 (en) * 2004-02-19 2005-08-25 Salmon Peter C. System in package
US7427809B2 (en) * 2004-12-16 2008-09-23 Salmon Technologies, Llc Repairable three-dimensional semiconductor subsystem
US20070007983A1 (en) * 2005-01-06 2007-01-11 Salmon Peter C Semiconductor wafer tester
EP1864249B1 (en) * 2005-03-23 2014-12-24 Cardxx, Inc Method for making contactless smart cards with integrated electronics using isotropic thermoset adhesive materials with high quality exterior surfaces and smart cards produced by said method
JP4657840B2 (ja) * 2005-07-14 2011-03-23 新藤電子工業株式会社 半導体装置、およびその製造方法
US20070023904A1 (en) * 2005-08-01 2007-02-01 Salmon Peter C Electro-optic interconnection apparatus and method
US20070023923A1 (en) * 2005-08-01 2007-02-01 Salmon Peter C Flip chip interface including a mixed array of heat bumps and signal bumps
US7586747B2 (en) * 2005-08-01 2009-09-08 Salmon Technologies, Llc. Scalable subsystem architecture having integrated cooling channels
US20070023889A1 (en) * 2005-08-01 2007-02-01 Salmon Peter C Copper substrate with feedthroughs and interconnection circuits
JP5164362B2 (ja) * 2005-11-02 2013-03-21 キヤノン株式会社 半導体内臓基板およびその製造方法
TWI325745B (en) * 2006-11-13 2010-06-01 Unimicron Technology Corp Circuit board structure and fabrication method thereof
TW200836315A (en) * 2007-02-16 2008-09-01 Richtek Techohnology Corp Electronic package structure and method thereof
US7557489B2 (en) * 2007-07-10 2009-07-07 Siemens Medical Solutions Usa, Inc. Embedded circuits on an ultrasound transducer and method of manufacture
US7514290B1 (en) * 2008-04-24 2009-04-07 International Business Machines Corporation Chip-to-wafer integration technology for three-dimensional chip stacking
TW201136468A (en) * 2010-04-06 2011-10-16 Chung-Cheng Wang A printing circuit board and being used
JP6128495B2 (ja) * 2012-07-04 2017-05-17 パナソニックIpマネジメント株式会社 電子部品実装構造体、icカード、cofパッケージ
US9627338B2 (en) 2013-03-06 2017-04-18 STATS ChipPAC Pte. Ltd. Semiconductor device and method of forming ultra high density embedded semiconductor die package
US10181449B1 (en) * 2017-09-28 2019-01-15 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Semiconductor structure

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2102421C3 (de) * 1971-01-19 1979-09-06 Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen Verfahren zur Herstellung einer strukturierten metallischen Schicht auf einem keramischen Grundkörper
JPS5230184A (en) * 1975-09-02 1977-03-07 Sharp Corp Semiconductor device
US4214904A (en) * 1978-12-12 1980-07-29 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Gold-tin-silicon alloy for brazing silicon to metal
JPS577142A (en) * 1980-06-16 1982-01-14 Toshiba Corp Marking method of resin-sealed semiconductor device
JPS577147A (en) * 1980-06-17 1982-01-14 Citizen Watch Co Ltd Mounting construction of semiconductor device
FR2489043A1 (fr) * 1980-08-20 1982-02-26 Thomson Csf Embase de boitier d'encapsulation et procede de report d'un composant sur cette embase
FR2492164B1 (fr) * 1980-10-15 1987-01-23 Radiotechnique Compelec Procede de realisation simultanee de liaisons electriques multiples, notamment pour le raccordement electrique d'une micro-plaquette de semiconducteurs
DE8122540U1 (de) * 1981-07-31 1983-01-13 Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg "informationskarte mit integriertem baustein"
JPS58173790A (ja) * 1982-04-06 1983-10-12 シチズン時計株式会社 表示装置と半導体装置の接続構造
FR2527036A1 (fr) * 1982-05-14 1983-11-18 Radiotechnique Compelec Procede pour connecter un semiconducteur a des elements d'un support, notamment d'une carte portative
JPS6175488A (ja) * 1984-09-19 1986-04-17 Toshiba Corp Icカ−ドの製造方法

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