JPH0628729A - 光ディスク - Google Patents

光ディスク

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JPH0628729A
JPH0628729A JP5056005A JP5600593A JPH0628729A JP H0628729 A JPH0628729 A JP H0628729A JP 5056005 A JP5056005 A JP 5056005A JP 5600593 A JP5600593 A JP 5600593A JP H0628729 A JPH0628729 A JP H0628729A
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Abstract

(57)【要約】 【構成】 グルーブ１が一周する毎に途切れており、グ
ルーブ１の途切れたミラー部３に凹凸のピット４ａ…を
形成した光磁気ディスクにおいて、グルーブ１・１間の
ランド２の幅はグルーブ１の幅に等しくなるように設定
されており、かつ、上記のミラー部３とは異なる半径方
向に位置するランド２の部分に凹凸のピット４ｂ…が形
成されている。 【効果】 ピット４ａ…・４ｂ…からアドレス情報を再
生する際、クロストークが起こりにくくなる。これによ
り、グルーブ１上のトラックのアドレス情報およびラン
ド２上のトラックのアドレス情報を正確に得ることがで
きるので、これらのトラックに情報を記録して、高密度
記録化を実現できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、凹凸のピット列により
予めアドレス情報を記録された光磁気ディスク等の光デ
ィスクに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、光を用いて情報を記録再生する光
メモリーの内、記録媒体として、垂直磁化膜からなる記
録膜を用い、レーザー光を照射しながら磁場を印加し
て、光スポット内の磁化を上向き、または、下向きにす
ることにより、情報を記録する光磁気ディスクが実用化
されている。
【０００３】光磁気ディスクには、図８に示すように、
グルーブ５１…が設けられており、光スポット５５をグ
ルーブ５１・５１間のランド５２に正確に追従させるこ
とができるようになっている。ランド５２上には、アド
レス情報がピット５３…によって記録されており、光ス
ポット５５が走査しているトラックのアドレス情報を求
めることができるようになっている。
【０００４】情報の記録再生は、ランド５２…に一致す
るトラックに対して行われる。トラックピッチは光スポ
ット５５の直径程度に設定されており、光スポット５５
の直径は、レーザー光の波長と、レーザー光を光スポッ
ト５５に収斂する対物レンズの開口数とによって決まっ
ている。レーザー光の波長は、通常、７８０〜８３０ｎ
ｍであり、対物レンズの開口数は0.45〜0.６である。し
たがって、光スポット５５の直径は1.２〜1.４μｍとな
り、トラックピッチは1.４〜1.６μｍに設定されてい
る。このため、磁化が上向き、または、下向きの記録ド
メイン５４…の大きさは、最小0.８μｍ程度となる。
【０００５】また、図９に示すように、フラットなミラ
ー部６２…を有する光磁気ディスクも知られている。ミ
ラー部６２…には、グルーブ６１…は形成されず、ピッ
ト６３…が形成されている。光スポット５５はグルーブ
６１上をトラッキングするようになっており、光スポッ
ト５５が走査しているトラックのアドレス情報はピット
６３…から再生される。この光磁気ディスクにおいて
も、グルーブ６１上の記録ドメイン６４…の大きさは、
最小0.８μｍ程度となる。
【０００６】近年、光磁気ディスクの記録膜を多層構造
にすることにより、記録膜に磁気超解像（Magnetic Sup
er Resolution ）の効果を持たせ、これにより、光スポ
ット５５のサイズよりもはるかに小さい記録ドメインを
形成して、記録密度を向上させる方策が採られている。
この磁気超解像を用いれば、上記のほぼ１／２の大きさ
の記録ドメインを安定して形成することが可能であり、
したがって、トラックピッチを上記のほぼ１／２の0.８
μｍ程度にすることが可能であるので、記録密度を飛躍
的に向上させることができる。この磁気超解像に関して
は、例えば、日本応用磁気学会誌、Vol.15, No.5, 1991
pp.838-845 が詳しい。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の構成では、トラックピッチを１／２にすると、ピッ
ト５３…の大きさも１／２になる。このため、ピット５
３…からの信号が弱くなるという問題点を有している。
【０００８】また、隣合うトラックのピット５３…とピ
ット５３…の距離も１／２になるので、クロストークが
起きやすく、正確なアドレス情報を求められないという
問題点を有している。
【０００９】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明に係る光
ディスクは、上記の課題を解決するために、螺旋状また
は同心円状のグルーブが一周する毎に途切れており、グ
ルーブの途切れた部分にアドレス情報を記録した第１の
凹凸のピット列を形成した光ディスクにおいて、グルー
ブ間のランドの幅はグルーブの幅に等しくなるように設
定されており、かつ、上記のグルーブの途切れた部分と
は異なる半径方向に位置するランドの部分にアドレス情
報を記録した第２の凹凸のピット列が形成されているこ
とを特徴としている。
【００１０】請求項２の発明に係る光ディスクは、上記
の課題を解決するために、螺旋状または同心円状のグル
ーブが途切れた部分を有しており、この途切れた部分に
形成された第１の凹凸のピット列に光スポットを照射す
ることによりアドレス情報を再生する光ディスクにおい
て、グルーブ間のランドの幅またはグルーブの幅は、光
スポットの直径の３０％以上、ランドの幅とグルーブの
幅の和の４５％以下の大きさに設定されており、かつ、
上記のグルーブの途切れた部分とは異なる半径方向に位
置するランドの部分にアドレス情報を記録した第２の凹
凸のピット列が形成されていることを特徴としている。
【００１１】請求項３の発明に係る光ディスクは、上記
の課題を解決するために、基板上に螺旋状または同心円
状のグルーブが形成されており、グルーブが形成されて
いる側の基板面に磁気的超解像効果により情報の記録可
能な光磁気記録媒体層が形成されている光ディスクであ
って、上記グルーブは途切れた部分を有しており、この
途切れた部分の、グルーブの延長線上にアドレス情報を
記録した第１の凹凸ピット列が形成されており、第１の
ピット列とは異なる半径方向に位置する、グルーブ間の
ランドの部分にアドレス情報を記録した第２の凹凸ピッ
ト列が形成されており、グルーブ上の光磁気記録媒体層
およびランド上の光磁気記録媒体層に磁気的超解像効果
により情報を記録し、第１および第２の凹凸ピット列か
らアドレス情報を再生すること特徴としている。
【００１２】
【作用】請求項１の構成によれば、第１の凹凸のピット
列とは異なる半径方向に位置するランドの部分にアドレ
ス情報を記録した第２の凹凸のピット列を形成したの
で、第１または第２の凹凸のピット列からアドレス情報
を再生する際、クロストークが起こりにくくなる。これ
により、グルーブ上のトラックのアドレス情報およびラ
ンド上のトラックのアドレス情報を正確に得ることがで
きるので、これらのトラックに情報を記録して、高密度
記録化を実現できる。
【００１３】請求項２の構成によれば、上記と同様に、
グルーブ上のトラックのアドレス情報およびランド上の
トラックのアドレス情報を正確に得ることができる。し
かも、グルーブ間のランドの幅およびグルーブの幅を、
光スポットの直径の３０％以上、ランドの幅とグルーブ
の幅の和の４５％以下の大きさに設定したので、適度な
再生信号および適度なトラッククロス信号を得ることが
できる。
【００１４】請求項３の構成によれば、磁気的超解像効
果により情報を記録する光ディスクに対して、グルーブ
上のトラックのアドレス情報およびランド上のトラック
のアドレス情報を正確に得ることができる。したがっ
て、これらのトラックに情報を記録して、高密度記録化
を実現できる。
【００１５】
【実施例】本発明の第１実施例について図１に基づいて
説明すれば、以下のとおりである。
【００１６】本実施例の光磁気ディスクには、図１に示
すように、螺旋状または同心円状のグルーブ１…が設け
られている。グルーブ１…は一周する毎に途切れてお
り、この途切れた部分がフラットなミラー部３…になっ
ている。グルーブ１の幅およびグルーブ１・１間のラン
ド２の幅は、互いに等しく、かつ、トラックピッチに等
しくなるように設定されている。
【００１７】各ミラー部３には、アドレス情報を記録し
たピット４ａ…（第１のピット列）が形成されており、
各ランド２のミラー部３に近い部分には、アドレス情報
を記録したピット４ｂ…（第２のピット列）が形成され
ている。したがって、ピット４ａ…と４ｂ…は、互いに
異なる半径方向に配置される。
【００１８】上記の構成において、情報の記録は、グル
ーブ１…上のトラックおよびランド２…上のトラックに
対して行われる。光スポット６をグルーブ１上のトラッ
クを追従させるか、ランド２上のトラックを追従させる
かは、トラッキング信号の極性を反転することによって
容易に選択できる。トラッキング信号は例えばプッシュ
プル法によって得られる。
【００１９】光スポット６がグルーブ１…上のトラック
を走査しているとき、アドレス情報はピット４ａ…から
得られる。一方、光スポット６がランド２…上のトラッ
クを走査しているとき、アドレス情報はピット４ｂ…か
ら得られる。
【００２０】以上のように、本実施例の光磁気ディスク
では、ピット４ａ…と４ｂ…を、互いに隣合わないよう
に、異なる半径方向に配置したので、光スポット６がピ
ット４ａ…と４ｂ…に同時に照射されることがなくな
る。このため、クロストークが起こりにくくなり、正確
なアドレス情報が求められる。
【００２１】磁気超解像効果を用いて情報を記録する場
合、記録ドメイン５の直径を0.４μｍ程度にできる。こ
のため、トラックの幅を0.８μｍにすると（すなわち、
グルーブ１の幅およびランド２の幅を共に0.８μｍに設
定すると）、容易に記録再生を行うことができる。ま
た、トラックピッチを従来の1.６μｍから半分の0.８μ
ｍにできるので、記録密度を大幅に向上させることがで
きる。しかも、正確なアドレス情報を得ることができ
る。
【００２２】また、記録再生に用いるレーザー光の波長
を短くすると、トラックピッチをさらに小さくできる。
例えば、レーザー光の波長を８３０ｎｍから４５８ｎｍ
にすると、トラックピッチを（４５８／８３０）倍にで
きる。すなわち、記録密度をほぼ倍にできる。
【００２３】以上の実施例において、光磁気ディスクを
複数のセクターに分け、トラックとセクターとによって
光磁気ディスクの記憶領域を管理する場合、グルーブ１
が一周する毎にセクター数と同数のミラー部３…を設
け、ミラー部３…毎にピット４ａ…と４ｂ…を形成すれ
ばよい。
【００２４】また、複数のトラックを単位として、光磁
気ディスクの記憶領域を管理する場合、グルーブ１がｎ
周（ｎ＞１）する毎に１つのミラー部３を設け、ミラー
部３…毎にピット４ａ…と４ｂ…を形成すればよい。
【００２５】さらにまた、光磁気ディスクを複数のリン
グ状のゾーンに分け、ゾーン毎に１トラック当たりのセ
クター数を変えるようにしてもよい。
【００２６】ピット４ａ…は、同一半径方向に配置され
ていても良いし、異なる半径方向に配置されていても良
い。ピット４ｂについても同様である。
【００２７】なお、ピット４ａ…の内側（光磁気ディス
クの中心側）、または外側（光磁気ディスクの外縁側）
に隣接して、ピット４ｂ…またはグルーブ１を配置する
ことは、正確なアドレス情報およびトラッキング信号を
得る上で好ましくない。
【００２８】すなわち、このような配置にすると、第１
に、アドレス信号にクロストークが生じる。第２に、光
スポット６がランド２上のトラックを走査していると
き、ピット４ｂ…が現れると、トラッキング信号の極性
が反転する。このため、トラッキングが不安定になる。
【００２９】本発明の第２実施例について図２に基づい
て説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜
上、前記の実施例の図面に示した部材と同一の機能を有
する部材には、同一の符号を付記し、その説明を省略す
る。
【００３０】本実施例の光磁気ディスクは、各ランド２
のミラー部３から離れた部分に、アドレス情報を記録し
たピット４ｂ…が形成されている点で、前記実施例と異
なっている。
【００３１】これにより、ピット４ａ…、４ｂ…間のク
ロストークがさらに起こりにくくなるので、より正確な
アドレス情報が求められる。
【００３２】本発明の第３実施例について図３に基づい
て説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜
上、前記の実施例の図面に示した部材と同一の機能を有
する部材には、同一の符号を付記し、その説明を省略す
る。
【００３３】本実施例の光磁気ディスクは、ピット４ｂ
…に隣接したグルーブ部１ａの幅を狭くした点で、前記
第１および第２実施例と異なっている。なお、グルーブ
部１ａは必ずしもグルーブ１につながっている必要はな
い。
【００３４】グルーブ１の幅、ランド２の幅がそれぞれ
0.８μｍに設定されている場合、グルーブ部１ａの幅は
0.４〜0.５μｍに設定される。
【００３５】これにより、前記実施例と比較して、光ス
ポット６がランド２上のピット４ｂ…が形成されている
部分に照射されているときの反射光量と、ピット４ｂ…
が形成されていない部分に照射されているときの反射光
量との差が大きくなるので、ピット４ｂ…からより正確
なアドレス情報が求められる。
【００３６】なお、ピット４ｂ…からの信号品質を優先
させるにはグルーブ部１ａの幅は狭い方が良く（例え
ば、0.３〜0.４μｍ）、グルーブ１上に記録する記録ド
メインからの光磁気信号の信号品質を優先させるにはグ
ルーブ部１ａの幅は広い方が良い（例えば0.４〜0.６μ
ｍ）。したがって、上記のように、グルーブ部１ａの幅
を0.４〜0.５μｍに設定すると、両方の信号品質を満足
させることが可能となる。
【００３７】以上の第１〜第３実施例では、グルーブ１
の幅とランド２の幅を等しくしたので、光スポット６が
グルーブ１上のトラックを走査する場合も、ランド２上
のトラックを走査する場合も、反射光量が等しくなる。
したがって、いずれのトラックを走査しても、ほぼ同じ
大きさの再生信号が得られる。このため、再生信号の処
理回路を簡素化できる。
【００３８】ところで、強いトラッククロス信号を得る
ために、グルーブ１の幅とランド２の幅をある程度相違
させてもよい。ここで、トラッククロス信号とは、光ス
ポット６がトラックを横切るときの反射光量の変化を示
す信号である。このトラッククロス信号と、光スポット
６の中心とトラックの中央とのずれを示すトラック誤差
信号との位相差から、光スポット６の移動方向を検出
し、目的のトラックにアクセスすることができる。
【００３９】しかしながら、グルーブ１の幅とランド２
の幅をあまり相違させると、強いトラッククロス信号が
得られるが、再生信号品質が低下する。
【００４０】例えば、グルーブ１の幅とランド２の幅の
和が1.６μｍ（つまり、トラックピッチが０.8μｍ）、
レーザー光の波長が７８０ｎｍ、対物レンズのＮＡが
０.5５の場合、グルーブ１の幅またはランド２の幅が
０.4μｍを下回ると、グルーブ１上のトラックからの反
射率とランド２上のトラックからの反射率との差が増大
する。すなわち、幅の狭いトラックからの反射光量が著
しく低下する。
【００４１】一方、グルーブ１の幅またはランド２の幅
が０.7〜0.８μｍであると、強いトラッククロス信号が
得られない。したがって、適度な再生信号および適度な
トラッククロス信号を得るためには、グルーブ１の幅ま
たはランド２の幅を０.4〜0.７μｍに設定することが好
ましい。
【００４２】より一般的には、グルーブ１の幅またはラ
ンド２の幅が、光スポット６の径のほぼ３０％（上の例
では７８０ｎｍ／０.5５×０.3＝０.4２μｍ）を下回る
と、反射率の差が増大する。また、グルーブ１の幅また
はランド２の幅が、グルーブ１の幅とランド２の幅の和
（つまり、トラックピッチの２倍）の約４５％（上の例
では1.６μｍ×０.4５＝０.7２μｍ）を上回ると、トラ
ッククロス信号の低下が著しくなる。
【００４３】したがって、適度な再生信号および適度な
トラッククロス信号を得るためには、グルーブ１の幅ま
たはランド２の幅は、光スポット６の径の３０％以上、
トラックピッチの２倍の４５％以下に設定することが好
ましい。
【００４４】上記の第１〜第３実施例で示した３種類の
光磁気ディスクのマスタリング・プロセスについて図４
に基づいて説明すれば、以下のとおりである。
【００４５】まず、石英ガラスの基板７の片面にフォト
レジスト８を塗布する（同図（ａ））。それから、レー
ザー光をフォトレジスト８上に収斂し、フォトレジスト
８を所望のグルーブ１…およびピット４ａ…、４ｂ…の
パターンに感光させる。これを現像して、不要なフォト
レジスト８を除去すると、所望のパターンを有するフォ
トレジスト８ａ…が基板７上に残る（同図（ｂ））。
【００４６】次に、フォトレジスト８ａ…をマスクとし
て、基板７をドライエッチングする（同図（ｃ））。エ
ッチングガスには、例えばＣＦ4 が使用される。エッチ
ング後、フォトレジスト８ａ…を除去し（同図
（ｄ））、Ｎｉからなる金属層９を電鋳で形成する（同
図（ｅ））。これを剥離すると、金属層９からなるスタ
ンパーが得られる（同図（ｆ））。
【００４７】このスタンパーを用いてポリカーボネート
等のプラスチックを成形することにより、所望のグルー
ブ１…およびピット４ａ…、４ｂ…を有する光磁気ディ
スク用の基板が製造される。この基板上に記録媒体を形
成すると、上記の光磁気ディスクが得られる。
【００４８】上記のフォトレジスト８をグルーブ１およ
びピット４ａ…、４ｂ…のパターンに感光させる工程で
使用される記録装置の一例を図５に示す。
【００４９】記録装置は、フォトレジスト８を感光させ
るためのレーザー光源１１ａと、対物レンズ１０のフォ
ーカシング用のレーザー光源１１ｂを備えている。レー
ザー光源１１ａには、例えばアルゴンレーザーが使用さ
れ、レーザー光源１１ｂには、例えばＨｅ−Ｎｅレーザ
ーが使用される。
【００５０】レーザー光源１１ａからのレーザー光は、
ノイズ抑制装置１２ａによって光ノイズを低減させられ
た後、ミラー１９・２０で反射され、ビームスプリッタ
ー２１に入射する。レーザー光はビームスプリッター２
１によって二分割され、一方は光変調器１８ａに入射
し、他方はミラー２４ｂで反射されて光変調器１８ｂに
入射する。光変調器１８ａ・１８ｂとしては、例えば音
響光学素子を用いることができる。その場合、光変調器
１８ａ・１８ｂの前後にそれぞれ収束用の凸レンズ２２
・２２を配置する必要がある。
【００５１】光変調器１８ａを通った光ビームは光偏向
器２３ａに入射した後、ミラー２４ａで直角方向に反射
される。一方、光変調器１８ｂを通った光ビームは光偏
向器２３ｂに入射した後、（１／２）波長板２５に入射
し、偏光面が９０度回転される。光偏向器２３ａ・２３
ｂとしては、例えば、電気光学効果、あるいは、音響光
学効果を用いて進行方向を変えることのできる素子を用
いることができる。
【００５２】これらの光ビームは、偏光プリズム２６で
再び合成された後、ビームエキスパンダー２７によって
適当な光ビーム径に拡大され、二色ミラー１５で反射さ
れて対物レンズ１０に入射する。そして、対物レンズ１
０によって基板７上のフォトレジスト８に光スポット３
１ａ・３１ｂ（後述する）として収斂される。
【００５３】上記の光変調器１８ａ・１８ｂは、それぞ
れ、ドライバー２８ａ・２８ｂによって制御される。ま
た、光偏向器２３ａ・２３ｂはドライバー２９ａ・２９
ｂによって制御される。
【００５４】一方、レーザー光源１１ｂからのレーザー
光は、ノイズ抑制装置１２ｂによって光ノイズを低減さ
せられた後、偏光ビームスプリッター１３、（１／４）
波長板１４、二色ミラー１５を通り、対物レンズ１０に
よって基板７上のフォトレジスト８に収斂される。
【００５５】その反射光は、対物レンズ１０によって集
光され、二色ミラー１５、（１／４）波長板１４、偏光
ビームスプリッター１３を通り、対物レンズ１６および
シリンドリカルレンズ１７によって四分割の光検出器１
８上に収斂される。光検出器１８からの信号に基づい
て、フォーカスサーボ信号が生成され、フォーカスサー
ボ系（図示されていない）が対物レンズ１０をフォーカ
ス方向に駆動する。これにより、スピンドルモーター３
０で回転している基板７上のフォトレジスト８に対物レ
ンズ１０の焦点が常に合わされる。
【００５６】上記の記録装置によるフォトレジスト８の
感光方法を図６に基づいて説明すれば、以下のとおりで
ある。
【００５７】まず、光スポット３１ａ・３１ｂを、同図
（ａ）に示すように、半径方向にトラックピッチに等し
い距離だけ離間させて配置するために、ドライバー２９
ａ・２９ｂから光偏向器２３ａ・２３ｂに印加される直
流電圧と、ミラー２４ａ・２４ｂのセッティング角度が
調整される。
【００５８】それから、光スポット３１ａによって、同
図（ａ）の右の方向に、グルーブ１、ピット４ａ…、グ
ルーブ部１ａ、グルーブ１のパターンにフォトレジスト
８を感光させるため、光スポット３１ａの光強度Ｉ
1 が、ドライバー２８ａによって、同図（ｂ）に示すよ
うに制御される。
【００５９】すなわち、フォトレジスト８をグルーブ１
のパターンに感光させるとき、光強度Ｉ1 をハイレベル
Ｐ1 にセットし、ピット４ａ…のパターンに感光させる
とき、光強度Ｉ1 をローレベルＰ4 にセットし、グルー
ブ部１ａのパターンに感光させるとき、光強度Ｉ1 をロ
ーレベルＰ2 にセットする。フォトレジスト８を感光さ
せないときは、光強度Ｉ1 をゼロにする。このように、
光強度Ｉ1 を変えることによって、フォトレジスト８の
感光部の大きさが制御される。
【００６０】一方、光スポット３１ｂによって、同図
（ａ）に示すように、グルーブ１ａに平行にピット４ｂ
…のパターンにフォトレジスト８を感光させるため、光
スポット３１ｂの光強度Ｉ2 が、ドライバー２８ｂによ
って、同図（ｃ）に示すように制御される。
【００６１】すなわち、フォトレジスト８をピット４ｂ
…のパターンに感光させるとき、光強度Ｉ2 をローレベ
ルＰ3 にセットする。フォトレジスト８を感光させない
ときは、光強度Ｉ2 をゼロにする。
【００６２】上記の記録装置によりフォトレジスト８を
感光させるための他の方法を、図７に基づいて説明すれ
ば、以下のとおりである。
【００６３】この方法は、グルーブ１を二つの光スポッ
ト３１ａ・３１ｂを用いて形成する点で、前記の方法と
は異なっている。
【００６４】まず、光スポット３１ａ・３１ｂを、同図
（ａ）に示すように、半径方向にトラックピッチの１／
２に等しい距離だけ離間させて配置するために、ドライ
バー２９ａ・２９ｂから光偏向器２３ａ・２３ｂに印加
される直流電圧と、ミラー２４ａ・２４ｂのセッティン
グ角度が調整される。
【００６５】それから、光スポット３１ａによって、同
図（ａ）の右の方向に、グルーブ１の片側（図では、上
側）、ピット４ａ…、グルーブ部１ｂ、グルーブ１の片
側のパターンにフォトレジスト８を感光させるため、光
スポット３１ａの光強度Ｉ1が、ドライバー２８ａによ
って、同図（ｂ）に示すように制御される。
【００６６】すなわち、フォトレジスト８をグルーブ１
の片側のパターンに感光させるとき、光強度Ｉ1 をレベ
ルＰ5 にセットし、ピット４ａ…のパターンに感光させ
るとき、光強度Ｉ1 をレベルＰ7 にセットし、グルーブ
１ｂのパターンに感光させるとき、光強度Ｉ1 をレベル
Ｐ6 にセットする。フォトレジスト８を感光させないと
きは、光強度Ｉ1 をゼロにする。このように、光強度Ｉ
1 を変えることによって、フォトレジスト８の感光部の
大きさが制御される。
【００６７】また、ピット４ａ…、グルーブ部１ｂのパ
ターンにフォトレジスト８を感光させるとき、ドライバ
ー２９ａから光偏向器２３ａに印加する電圧を、同図
（ｄ）に示すように、Ｖ1 だけシフトさせ、光スポット
３１ａをグルーブ１の幅方向の中央に位置にセットす
る。
【００６８】一方、光スポット３１ｂによって、同図
（ａ）に示すように、グルーブ１の片側（図では、下
側）、グルーブ部１ｂに平行にピット４ｂ…のパターン
にフォトレジスト８を感光させるため、光スポット３１
ｂの光強度Ｉ2 が、ドライバー２８ｂによって、同図
（ｃ）に示すように制御される。
【００６９】すなわち、フォトレジスト８をグルーブ１
の片側のパターンに感光させるとき、光強度Ｉ1 をレベ
ルＰ5 にセットし、フォトレジスト８をピット４ｂ…の
パターンに感光させるとき、光強度Ｉ2 をレベルＰ9 に
セットする。フォトレジスト８を感光させないときは、
光強度Ｉ2 をゼロにする。
【００７０】また、ピット４ｂ…のパターンにフォトレ
ジスト８を感光させるとき、ドライバー２９ｂから光偏
向器２３ｂに印加する電圧を、同図（ｅ）に示すよう
に、Ｖ2 だけシフトさせ、光スポット３１ｂをランド２
の幅方向の中央に位置にセットする。
【００７１】本方法では、グルーブ部１ｂの幅およびピ
ット４ａ・４ｂの径がグルーブ１の幅の半分に等しい場
合、Ｐ5 、Ｐ6 、Ｐ7 、Ｐ9 を同一値にセットしてもよ
いので、光スポット３１ａ、３１ｂの光強度Ｉ1 、Ｉ2
をそれぞれ二レベルにできる。これにより、前記の方法
に比較して、制御が容易になる。
【００７２】以上においては、第３実施例の光磁気ディ
スクを例に、上記の記録装置によりフォトレジスト８を
感光させるための方法を説明したが、第１および第２実
施例で示した光磁気ディスクの場合にも応用できる。
【００７３】また、以上の実施例では、光磁気ディスク
およびその製造方法について説明したが、アドレス情報
を記録したピット４ａ…、４ｂ…を有する光ディスクお
よびその製造方法に本発明を広く応用できる。
【００７４】請求項１の発明に対応する光磁気ディスク
は、螺旋状または同心円状のグルーブ１…が一周する毎
に途切れており、グルーブ１…の途切れた部分にアドレ
ス情報を記録した第１の凹凸のピット列４ａ…を形成し
た光磁気ディスクにおいて、グルーブ１・１間のランド
２の幅はグルーブ１の幅に等しくなるように設定されて
おり、かつ、上記のグルーブ１の途切れた部分とは異な
る半径方向に位置するランド２の部分にアドレス情報を
記録した第２の凹凸のピット列４ｂ…が形成されている
ので、第１または第２の凹凸のピット列４ａ…、４ｂ…
からアドレス情報を再生する際、クロストークが起こり
にくくなる。これにより、グルーブ１上のトラックのア
ドレス情報およびランド２上のトラックのアドレス情報
を正確に得ることができるので、これらのトラックに情
報を記録して、高密度記録化を実現できる。
【００７５】請求項２の発明に対応する光磁気ディスク
は、螺旋状または同心円状のグルーブ１…が途切れた部
分（ミラー部３）を有しており、この途切れた部分に形
成された第１の凹凸のピット列４ａ…に光スポットを照
射することによりアドレス情報を再生する光磁気ディス
クにおいて、グルーブ１間のランド２の幅またはグルー
ブ１の幅は、光スポット６の直径の３０％以上、ランド
２の幅とグルーブ１の幅の和の４５％以下の大きさに設
定されており、かつ、上記のグルーブ１の途切れた部分
とは異なる半径方向に位置するランド２の部分にアドレ
ス情報を記録した第２の凹凸のピット列４ｂ…が形成さ
れているので、上記と同様に、グルーブ１上のトラック
のアドレス情報およびランド２上のトラックのアドレス
情報を正確に得ることができ、しかも、適度な再生信号
および適度なトラッククロス信号を得ることができる。
【００７６】請求項３の発明に対応する光磁気ディスク
は、基板上に螺旋状または同心円状のグルーブ１…が形
成されており、グルーブ１…が形成されている側の基板
面に磁気的超解像効果により情報の記録可能な光磁気記
録媒体層が形成されている光磁気ディスクであって、上
記グルーブ１…は途切れた部分（ミラー部３）を有して
おり、この途切れた部分の、グルーブ１の延長線上にア
ドレス情報を記録した第１の凹凸ピット列４ａ…が形成
されており、第１のピット列とは異なる半径方向に位置
する、グルーブ１間のランド２の部分にアドレス情報を
記録した第２の凹凸ピット列４ｂ…が形成されており、
グルーブ１上の光磁気記録媒体層およびランド２上の光
磁気記録媒体層に磁気的超解像効果により情報を記録
し、第１および第２の凹凸ピット列４ａ…、４ｂ…から
アドレス情報を再生するので、磁気的超解像効果により
情報を記録する光磁気ディスクに対して、グルーブ１上
のトラックのアドレス情報およびランド２上のトラック
のアドレス情報を正確に得ることができる。したがっ
て、これらのトラックに情報を記録して、高密度記録化
を実現できる。
【００７７】
【発明の効果】請求項１の発明に係る光ディスクは、以
上のように、グルーブ間のランドの幅はグルーブの幅に
等しくなるように設定されており、かつ、上記のグルー
ブの途切れた部分とは異なる半径方向に位置するランド
の部分にアドレス情報を記録した第２の凹凸のピット列
が形成されているので、第１または第２の凹凸のピット
列からアドレス情報を再生する際、クロストークが起こ
りにくくなる。これにより、グルーブ上のトラックのア
ドレス情報およびランド上のトラックのアドレス情報を
正確に得ることができるので、これらのトラックに情報
を記録して、高密度記録化を実現できる効果を奏する。
【００７８】請求項２の発明に係る光ディスクは、以上
のように、グルーブ間のランドの幅およびグルーブの幅
は、光スポットの直径の３０％以上、ランドの幅とグル
ーブの幅の和の４５％以下の大きさに設定されており、
かつ、上記のグルーブの途切れた部分とは異なる半径方
向に位置するランドの部分にアドレス情報を記録した第
２の凹凸のピット列が形成されているので、上記と同様
に、グルーブ上のトラックのアドレス情報およびランド
上のトラックのアドレス情報を正確に得ることができ
る。しかも、適度な再生信号および適度なトラッククロ
ス信号を得ることができるという効果を奏する。
【００７９】請求項３の発明に係る光ディスクは、以上
のように、グルーブは途切れた部分を有しており、この
途切れた部分の、グルーブの延長線上にアドレス情報を
記録した第１の凹凸ピット列が形成されており、第１の
ピット列とは異なる半径方向に位置する、グルーブ間の
ランドの部分にアドレス情報を記録した第２の凹凸ピッ
ト列が形成されており、グルーブ上の光磁気記録媒体層
およびランド上の光磁気記録媒体層に磁気的超解像効果
により情報を記録し、第１および第２の凹凸ピット列か
らアドレス情報を再生するので、磁気的超解像効果によ
り情報を記録する光ディスクに対して、グルーブ上のト
ラックのアドレス情報およびランド上のトラックのアド
レス情報を正確に得ることができる。したがって、これ
らのトラックに情報を記録して、高密度記録化を実現で
きるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例の光磁気ディスクの概略
の構成を示す説明図である。
【図２】本発明の第２の実施例の光磁気ディスクの概略
の構成を示す説明図である。
【図３】本発明の第３の実施例の光磁気ディスクの概略
の構成を示す説明図である。
【図４】図１ないし図３の光磁気ディスクで使用される
基板のマスタリング・プロセスを示す説明図である。
【図５】図４のマスタリング・プロセスのフォトレジス
トの感光工程で使用される記録装置の概略を示すブロッ
ク図である。
【図６】図５の記録装置によりフォトレジストを感光さ
せるための方法を示す説明図である。
【図７】図５の記録装置によりフォトレジストを感光さ
せるための他の方法を示す説明図である。
【図８】従来の光磁気ディスクの概略の構成を示す説明
図である。
【図９】従来の他の光磁気ディスクの概略の構成を示す
説明図である。
【符号の説明】
１ グルーブ １ａ グルーブ部１ａ ２ ランド ３ ミラー部（グルーブの途切れた部分） ４ａ ピット（第１の凹凸のピット列） ４ｂ ピット（第２の凹凸のピット列） ５ 記録ドメイン ６ 光スポット ３１ａ 光スポット ３１ｂ 光スポット

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】螺旋状または同心円状のグルーブが一周す
    る毎に途切れており、グルーブの途切れた部分にアドレ
    ス情報を記録した第１の凹凸のピット列を形成した光デ
    ィスクにおいて、 グルーブ間のランドの幅はグルーブの幅に等しくなるよ
    うに設定されており、かつ、上記のグルーブの途切れた
    部分とは異なる半径方向に位置するランドの部分にアド
    レス情報を記録した第２の凹凸のピット列が形成されて
    いることを特徴とする光ディスク。
  2. 【請求項２】螺旋状または同心円状のグルーブが途切れ
    た部分を有しており、この途切れた部分に形成された第
    １の凹凸のピット列に光スポットを照射することにより
    アドレス情報を再生する光ディスクにおいて、 グルーブ間のランドの幅またはグルーブの幅は、光スポ
    ットの直径の３０％以上、ランドの幅とグルーブの幅の
    和の４５％以下の大きさに設定されており、かつ、上記
    のグルーブの途切れた部分とは異なる半径方向に位置す
    るランドの部分にアドレス情報を記録した第２の凹凸の
    ピット列が形成されていることを特徴とする光ディス
    ク。
  3. 【請求項３】基板上に螺旋状または同心円状のグルーブ
    が形成されており、グルーブが形成されている側の基板
    面に磁気的超解像効果により情報の記録可能な光磁気記
    録媒体層が形成されている光ディスクであって、 上記グルーブは途切れた部分を有しており、この途切れ
    た部分の、グルーブの延長線上にアドレス情報を記録し
    た第１の凹凸ピット列が形成されており、第１のピット
    列とは異なる半径方向に位置する、グルーブ間のランド
    の部分にアドレス情報を記録した第２の凹凸ピット列が
    形成されており、 グルーブ上の光磁気記録媒体層およびランド上の光磁気
    記録媒体層に磁気的超解像効果により情報を記録し、第
    １および第２の凹凸ピット列からアドレス情報を再生す
    ること特徴とする光ディスク。
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