JP2000260070A

JP2000260070A - 光記録媒体、光記録媒体製造用原盤及び光記録再生装置

Info

Publication number: JP2000260070A
Application number: JP11063824A
Authority: JP
Inventors: Somei Endo; 惣銘遠藤
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1999-03-10
Filing date: 1999-03-10
Publication date: 2000-09-22

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】再生専用の信号を予め記録した光記録媒体で
も、プッシュプル法により安定にトラッキングサーボを
行えるようにする。【解決手段】記録トラックに沿ってグルーブが形成さ
れてなる光記録媒体において、所定の変調が施された信
号を、グルーブのトラック幅方向の変位として記録す
る。ここで、グルーブ変位の最大振幅量は、トラックピ
ッチの６．２５〜３１．２５％とする。この光記録媒体
では、所定の変調が施された信号がグルーブのトラック
幅方向の変位として記録されるので、予め信号が記録さ
れた情報記録再生領域にもグルーブが存在する。したが
って、予め信号が記録された情報記録再生領域を備えて
いても、プッシュプル法によりトラッキングサーボを安
定に行うことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、記録トラックに沿
ってグルーブが形成されてなる光記録媒体に関する。ま
た、本発明は、そのような光記録媒体の基板作製用の型
となる光記録媒体製造用原盤に関する。また、本発明
は、そのような光記録媒体の記録及び／又は再生を行う
光記録再生装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】光記録媒体として、コンパクトディスク
やレーザディスク等のように、記録信号に対応したピッ
ト列がディスク基板に予め形成されてなる再生専用光デ
ィスクがある。また、ミニディスク等のように、磁気光
学効果を利用して信号の記録再生を行う光磁気ディスク
もある。また、ＤＶＤ等のように、記録膜の相変化を利
用して信号の記録再生を行う相変化型光ディスクもあ
る。

【０００３】これらの光記録媒体のうち、光磁気ディス
クや相変化型光ディスクのように書き込みが可能な光記
録媒体では、通常、記録トラックに沿ってグルーブが形
成される。グルーブとは、主にトラッキングサーボを安
定に行えるようにするために、記録トラックに沿ってデ
ィスク基板に形成された、いわゆる案内溝のことであ
る。

【０００４】なお、以下の説明では、グルーブが形成さ
れた領域のことをグルーブ形成領域と称し、グルーブが
形成されていない領域のことをグルーブ非形成領域と称
する。グルーブ非形成領域には、記録信号に対応したピ
ット列が予め形成されてなる領域も含まれる。

【０００５】ところで、光記録媒体の記録再生を行う際
は、光スポットを記録トラックに追従させるためにトラ
ッキングサーボを行う必要があるが、トラッキングサー
ボには様々な手法がある。そして、その一つとしてプッ
シュプル法が挙げられる。

【０００６】プッシュプル法では、記録トラックを中心
に対称に配置された一対の受光部により、光記録媒体か
らの戻り光を検出する。そして、それら一対の受光部で
それぞれ検出された光量の差をとってプッシュプル信号
を求め、このプッシュプル信号を、光スポットのトラッ
ク中心からのずれ量を示すトラッキングエラー信号とし
て用いて、トラッキングサーボを行う。

【０００７】このようなプッシュプル法は、比較的に簡
便であり好ましい手法であるが、一方で、グルーブ非形
成領域からは、十分なレベルの信号振幅量を得ることが
難しいという問題がある。

【０００８】例えば、トラッキングサーボの対象がグル
ーブ形成領域であるとする。ここで、記録再生に使用す
る光の波長をλとすると、グルーブの位相深さが約λ／
８のとき、プッシュプル信号振幅量は最大となる。この
ように適切な深さのグルーブが形成されていれば、プッ
シュプル法により安定にトラッキングサーボを行うこと
ができる。

【０００９】しかしながら、グルーブ非形成領域では、
十分なレベルのプッシュプル信号振幅量を得ることが困
難である。例えば、グルーブが形成されておらず、記録
信号に対応したピット列だけが形成された領域の場合、
プッシュプル信号振幅量は、グルーブ形成領域の半分程
度になってしまう。また、記録信号に対応したピット列
を形成する場合、その深さは再生信号量が最大となるよ
うに最適化するのが普通であり、多くの場合、ピットの
位相深さはλ／４程度とされる。しかし、ピットの位相
深さをλ／４としたとき、ピット形成領域から十分なレ
ベルのプッシュプル信号を得ることはできない。

【００１０】換言すれば、従来、記録信号を予め記録し
た光記録媒体の場合、記録信号に対応したピット列をデ
ィスク基板に予め形成しておくのが普通であるが、その
ような光記録媒体では、トラッキングサーボにプッシュ
プル法を適用することが難しかった。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】以上のように、記録信
号に対応したピット列がディスク基板に予め形成された
光記録媒体では、それらのピット列が形成された領域か
らは、十分なレベルのプッシュプル信号振幅量を得るこ
とができないため、プッシュプル法によりトラッキング
サーボを行うことはできなかった。そのため、従来は、
トラッキングサーボの手法として、３スポット法やＤＰ
Ｄ法等のような、プッシュプル法に比べて複雑な手法を
取らざるを得なかった。

【００１２】本発明は、以上のような従来の実情に鑑み
て提案されたものであり、再生専用の信号を予め記録し
た光記録媒体において、プッシュプル法によりトラッキ
ングサーボを行えるようにすることを目的としている。
また、本発明は、そのような光記録媒体の基板作製用の
型となる光記録媒体製造用原盤を提供すること、並び
に、そのような光記録媒体の記録及び／又は再生を行う
光記録再生装置を提供することも目的としている。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明に係る光記録媒体
は、記録トラックに沿ってグルーブが形成されてなると
ともに、所定の変調が施された信号が上記グルーブのト
ラック幅方向の変位として記録された情報記録再生領域
を備える。ここで、情報記録再生領域に形成されたグル
ーブにおける上記変位の最大振幅量は、トラックピッチ
の６．２５〜３１．２５％とする。

【００１４】以上のような本発明に係る光記録媒体で
は、所定の変調が施された信号がグルーブのトラック幅
方向の変位として記録されるので、予め信号が記録され
た情報記録再生領域にもグルーブが存在する。したがっ
て、予め信号が記録された情報記録再生領域を備えてい
ても、プッシュプル法によりトラッキングサーボを行う
ことができる。

【００１５】また、本発明に係る光記録媒体製造用原盤
は、記録トラックに沿ってグルーブが形成されてなる光
記録媒体の基板作製用の型となる光記録媒体製造用原盤
であって、光記録媒体に形成されるグルーブに対応した
凹凸パターンが形成されてなる。ここで、対象となる光
記録媒体は、所定の変調が施された信号がグルーブのト
ラック幅方向の変位として記録された情報記録再生領域
を備え、上記情報記録再生領域に形成されたグルーブに
おける上記変位の最大振幅量が、トラックピッチの６．
２５〜３１．２５％とされる。

【００１６】以上のような本発明に係る光記録媒体製造
用原盤では、所定の変調が施された信号がグルーブのト
ラック幅方向の変位として記録された光記録媒体を製造
することができる。この光記録媒体製造用原盤を用いて
製造された光記録媒体は、予め信号が記録された情報記
録再生領域にもグルーブが存在するので、予め信号が記
録された情報記録再生領域を備えていても、プッシュプ
ル法によりトラッキングサーボを行うことができる。

【００１７】また、本発明に係る光記録再生装置は、記
録トラックに沿ってグルーブが形成されてなる光記録媒
体の記録及び／又は再生を行う光記録再生装置であっ
て、光学ヘッドを備える。この光学ヘッドは、光記録媒
体に光を照射するとともに、その光が光記録媒体によっ
て反射されて戻ってきた戻り光を、記録トラックを中心
に対称に配置された一対の受光部により検出する。ここ
で、記録及び／又は再生の対象となる光記録媒体は、所
定の変調が施された信号がグルーブのトラック幅方向の
変位として記録された情報記録再生領域を備え、情報記
録再生領域に形成されたグルーブにおける上記変位の最
大振幅量が、トラックピッチの６．２５〜３１．２５％
とされる。そして、この光記録再生装置は、光記録媒体
の情報記録再生領域から信号を再生する際、光学ヘッド
の一対の受光部でそれぞれ検出された光量の差をとった
プッシュプル信号に基づいてトラッキングサーボを行
う。

【００１８】この光記録再生装置では、記録及び／又は
再生の対象となる光記録媒体として、所定の変調が施さ
れた信号がグルーブのトラック幅方向の変位として記録
された情報記録再生領域を備えた光記録媒体を用いてい
る。したがって、プッシュプル法によりトラッキングサ
ーボを行いつつ、光記録媒体から信号を再生することが
できる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照しながら詳細に説明する。

【００２０】なお、以下の説明では、本発明を適用した
光記録媒体として、所定の変調が施された信号が予め記
録された情報記録再生領域を備えた再生専用光ディスク
と、所定の変調が施された信号が予め記録された情報記
録再生領域を備えた光磁気ディスクとを例に挙げる。た
だし、本発明は、所定の変調が施された信号が予め記録
された情報記録再生領域を備えた光記録媒体に対して広
く適用可能であり、以下に挙げる再生専用光ディスクや
光磁気ディスク以外の光記録媒体に対しても適用可能で
ある。

【００２１】＜再生専用光ディスク＞本発明を適用した
再生専用光ディスクの一例を図１に示す。

【００２２】この再生専用光ディスク１は、ポリメチル
メタクリレート（ＰＭＭＡ）やポリカーボネート（Ｐ
Ｃ）等からなる円盤状のディスク基板２の上に、Ａｌ等
からなる光反射層３が形成され、当該光反射層３の上に
紫外線硬化樹脂等からなる保護層４が形成されてなる。

【００２３】この再生専用光ディスク１には、記録領域
の一部を拡大した図２（Ａ）に示すように、記録トラッ
クに沿って、シングルスパイラル状にグルーブＧが形成
されている。そして、ＥＦＭ変調、ＥＦＭ＋変調又は１
−７変調等の所定の変調処理が施された信号が、グルー
ブＧのトラック幅方向の変位として記録されている。

【００２４】ここで、図２は、記録対象の信号を、グル
ーブＧのトラック幅方向の変位として記録した場合と、
従来のようにピット列として記録した場合とを比較して
示している。すなわち、図２（Ａ）は、本発明を適用し
た再生専用光ディスク１の記録領域の形成されるグルー
ブの一部を拡大した図であり、図２（Ａ）に示すよう
に、この再生専用光ディスク１では、記録対象の信号が
グルーブＧのトラック幅方向の変位として記録されてい
る。一方、図２（Ｂ）は、従来の再生専用光ディスクの
記録領域に形成されるピット列Ｐの一部を拡大した図で
あり、図２（Ｂ）に示すように、従来の再生専用光ディ
スクでは、記録対象の信号がピット列Ｐとして記録され
ている。

【００２５】すなわち、本発明を適用した再生専用光デ
ィスク１において、グルーブＧはシングルスパイラル状
に形成されるが、当該グルーブＧは一様にまっすぐ形成
される訳ではなく、所定の変調が施された記録対象の信
号に対応するように、トラック幅方向に変位している。
そして、このグルーブＧのトラック幅方向の変位が、こ
の再生専用光ディスク１に予め記録された信号を示して
いる。

【００２６】換言すれば、本発明を適用した再生専用光
ディスク１に形成されるグルーブＧは、所定の変調が施
された記録対象の信号に対応するように、トラック幅方
向にウォブリングしており、当該ウォブリングが、この
再生専用光ディスク１に予め記録された信号に対応して
いる。したがって、この再生専用光ディスク１では、情
報の記録にピット列が不要であり、一連のグルーブＧだ
けで、信号が記録されることとなる。

【００２７】なお、グルーブＧのトラック幅方向の変位
として信号を記録するにあたり、記録する情報は任意で
あり、例えば、ＴＯＣ情報等を記録するようにしてもよ
いし、或いは、アドレス情報、セクターマーク、ＶＦＯ
等を、グルーブＧのトラック幅方向の変位として記録す
ることも可能である。

【００２８】ところで、再生専用光ディスク１に形成さ
れるグルーブＧは、記録する信号に対応するようにトラ
ック幅方向に変位しているが、その変位の最大振幅量
は、トラックピッチの６．２５〜３１．２５％とする。
グルーブ変位の最大振幅量をトラックピッチの６．２５
〜３１．２５％とすることで、後述する実験結果から分
かるように、安定な信号再生とトラッキングサーボを両
立することができる。

【００２９】具体的には例えば、トラックピッチが１．
６０μｍのときは、グルーブ変位の最大振幅量は、±５
０ｎｍ〜±２５０ｎｍの範囲内とする。これにより、グ
ルーブ変位の最大振幅量は、トラックピッチの６．２５
〜３１．２５％となり、安定な信号再生とトラッキング
サーボとを両立することが可能となる。

【００３０】以上のような再生専用光ディスク１から信
号を再生する際は、再生専用光ディスク１にレーザ光を
照射し、当該レーザ光が再生専用光ディスク１によって
反射されて戻ってきた戻り光を、記録トラックを中心に
対称に配置された一対の受光部により検出する。このと
き、それら一対の受光部でそれぞれ検出された光量の差
をとったプッシュプル信号を検出するとともに、それら
一対の受光部でそれぞれ検出された光量の和をとったＲ
Ｆ信号を検出する。

【００３１】図３に、トラック幅方向に変位したグルー
ブと、当該グルーブから得られるプッシュプル信号及び
ＲＦ信号との関係を示す。図３に示すように、プッシュ
プル信号及びＲＦ信号は、グルーブ変位に合わせて変動
するので、プッシュプル信号又はＲＦ信号から、グルー
ブ変位を検出することができる。

【００３２】そこで、上記再生専用光ディスク１から信
号を再生する際は、プッシュプル信号又はＲＦ信号から
グルーブＧのトラック幅方向の変位を検出して、グルー
ブＧのトラック幅方向の変位として記録された信号を再
生する。また、このように信号再生を行うときには、光
スポットが記録トラックのほぼ中心を追従して走行する
ように、検出されたプッシュプル信号を用いて、プッシ
ュプル法によりトラッキングサーボを行う。

【００３３】＜レーザカッティング装置＞以上のような
再生専用光ディスク１を製造する際には、その原盤とな
る光記録媒体製造用原盤を作製するのにレーザカッティ
ング装置が使用される。以下、レーザカッティング装置
の一例について、図４を参照して説明する。

【００３４】図４に示したレーザカッティング装置１０
は、ガラス基板１１の上に塗布されたフォトレジスト１
２を露光して潜像を形成するためのものである。このレ
ーザカッティング装置１０でフォトレジスト１２に潜像
を形成する際、フォトレジスト１２が塗布されたガラス
基板１１は、移動光学テーブル上に設けられた回転駆動
装置に取り付けられる。そして、フォトレジスト１２を
露光する際、ガラス基板１１は、フォトレジスト１２の
全面にわたって所望のパターンでの露光がなされるよう
に、図中矢印Ａに示すように回転駆動装置によって回転
駆動されるとともに、移動光学テーブルによって平行移
動される。

【００３５】このレーザカッティング装置１０は、レー
ザ光を出射する光源１３と、光源１３から出射されたレ
ーザ光の光強度を調整するための電気光学変調器（ＥＯ
Ｍ：Electro Optical Modulator）１４と、電気光学変
調器１４から出射されたレーザ光を反射光と透過光とに
分割するビームスプリッタ１５と、ビームスプリッタ１
５を透過してきたレーザ光を検出するフォトディテクタ
（ＰＤ：Photo Detector）１６と、電気光学変調器１４
に対して信号電界を印加して当該電気光学変調器１４か
ら出射されるレーザ光強度を調整するオートパワーコン
トローラ（ＡＰＣ：Auto Power Controller）１７とを
備えている。

【００３６】上記レーザカッティング装置１０におい
て、光源１３から出射されたレーザ光は、先ず、オート
パワーコントローラ１７から印加される信号電界によっ
て駆動される電気光学変調器１４によって、所定の光強
度とされる。

【００３７】なお、光源１３には、任意のものが使用可
能であるが、比較的に短波長のレーザ光を出射するもの
が好ましい。具体的には、例えば、波長λが４１３ｎｍ
のレーザ光を出射するＫｒレーザや、波長λが４４２ｎ
ｍのレーザ光を出射するＨｅ−Ｃｄレーザなどが、光源
１３として好適である。

【００３８】そして、電気光学変調器１４から出射され
たレーザ光は、ビームスプリッタ１５によって反射光と
透過光とに分けられる。なお、ビームスプリッタ１５に
よって反射されたレーザ光は、フォトレジストを露光す
る露光ビームとなる。

【００３９】ここで、ビームスプリッタ１５を透過した
レーザ光は、フォトディテクタ１６によって、その光強
度が検出され、当該光強度に応じた信号がフォトディテ
クタ１６からオートパワーコントローラ１７に送られ
る。そして、フォトディテクタ１６から送られてきた信
号に応じて、オートパワーコントローラ１７は、フォト
ディテクタ１６によって検出される光強度が所定のレベ
ルにて一定となるように、電気光学変調器１４に対して
印加する信号電界を調整する。これにより、電気光学変
調器１４から出射するレーザ光の光強度が一定となるよ
うに、自動光量制御（ＡＰＣ：Auto Power Control）が
施され、ノイズの少ない安定したレーザ光が得られる。

【００４０】一方、ビームスプリッタ１５によって反射
されてなる露光ビームは、当該露光ビームを光強度変調
するための変調光学系２１に導かれ、当該変調光学系２
１によって光強度変調が施される。

【００４１】変調光学系２１に入射した露光ビームは、
集光レンズ２２によって集光された上で音響光学変調器
（ＡＯＭ：Acousto Optical Modulator）２３に入射
し、この音響光学変調器２３によって、所望する露光パ
ターンに対応するように光強度変調される。そして、音
響光学変調器２３によって光強度変調された露光ビーム
は、コリメートレンズ２４によって平行光とされた上
で、変調光学系２１から出射される。

【００４２】ここで、音響光学変調器２３には、当該音
響光学変調器２３を駆動するための駆動用ドライバ２５
が取り付けられている。そして、フォトレジスト１２の
露光時には、所望する露光パターンに応じた信号Ｓ１が
駆動用ドライバ２５に入力され、当該信号Ｓ１に応じて
駆動用ドライバ２５によって音響光学変調器２３が駆動
され、露光ビームに対して光強度変調が施される。

【００４３】具体的には、一定の深さのグルーブに対応
したグルーブパターンの潜像をフォトレジスト１２に形
成する場合に、一定レベルのＤＣ信号が駆動用ドライバ
２５に入力され、当該ＤＣ信号に応じて駆動用ドライバ
２５によって音響光学変調器２３が駆動される。これに
より、所望するグルーブパターンに対応するように、露
光ビームに対して光強度変調が施される。

【００４４】以上のようにして、露光ビームは変調光学
系２１によって光強度変調が施される。そして、変調光
学系２１から出射された露光ビームは、ミラー２６によ
って反射され、移動光学テーブル上に水平且つ平行に導
かれる。

【００４５】そして、移動光学テーブル上に水平且つ平
行に導かれた露光ビームは、偏向光学系２７によって光
学偏向が施される。ここで、偏向光学系２７は、露光ビ
ームに対して光学偏向を施すためのものである。すなわ
ち、上記再生専用光ディスク１に形成されるグルーブに
対応した潜像を形成するときは、この偏向光学系２７に
よって、グルーブ形状に対応するように露光ビームに光
学偏向を施し、当該光学偏向を施した露光ビームにより
フォトレジスト１２を露光するようにする。

【００４６】すなわち、変調光学系２１から出射され偏
向光学系２７に入射した露光ビームは、ウェッジプリズ
ム２８を介して音響光学偏向器（ＡＯＤ：Acousto Opti
calDeflector）２９に入射し、この音響光学偏向器２９
によって、所望する露光パターンに対応するように光学
偏向が施される。そして、音響光学偏向器２９によって
光学偏向が施された露光ビームは、ウエッジプリズム３
０を介して偏向光学系２７から出射される。

【００４７】ここで、音響光学偏向器２９には、当該音
響光学偏向器２９を駆動するための駆動用ドライバ３１
が取り付けられている。そして、フォトレジスト１２の
露光時には、所望する露光パターンに応じた信号Ｓ２が
駆動用ドライバ３１に入力され、当該信号Ｓ２に応じて
駆動用ドライバ３１によって音響光学偏向器２９が駆動
され、露光ビームに対して光学偏向が施される。

【００４８】そして、このような偏向光学系２７によっ
て、光学偏向が施された露光ビームは、拡大レンズ３２
によって所定のビーム径とされた上でミラー３３によっ
て反射されて対物レンズ３４へと導かれ、当該対物レン
ズ３４によってフォトレジスト１２上に集光される。こ
れにより、フォトレジスト１２が露光され、フォトレジ
スト１２に潜像が形成されることとなる。

【００４９】このとき、フォトレジスト１２が塗布され
ているガラス基板１１は、上述したように、フォトレジ
スト１２の全面にわたって所望のパターンでの露光がな
されるように、図中矢印Ａに示すように回転駆動装置に
よって回転駆動されるとともに、移動光学テーブルによ
って平行移動される。この結果、露光ビームの照射軌跡
に応じた潜像が、フォトレジスト１２の全面にわたって
形成されることとなる。

【００５０】＜再生専用光ディスクの製造方法＞つぎ
に、上記再生専用光ディスク１の製造方法について、具
体的な例を挙げて詳細に説明する。

【００５１】上記再生専用光ディスク１を作製する際
は、先ず、原盤工程として、再生専用光ディスク１に形
成されるグルーブに対応した凹凸パターンを有する光記
録媒体製造用原盤を作製する。

【００５２】この原盤工程においては、先ず、表面を研
磨した円盤状のガラス基板を洗浄し乾燥させ、その後、
このガラス基板上に感光材料であるフォトレジストを塗
布する。次に、このフォトレジストを上記レーザカッテ
ィング装置１０によって露光し、再生専用光ディスク１
に形成されるグルーブに対応した潜像をフォトレジスト
に形成する。

【００５３】このとき、記録する信号に対応するよう
に、レーザカッティング装置１０の偏向光学系２７によ
り、露光ビームに対して光学偏向を施す。これにより、
トラック幅方向の変位により信号が記録されるグルーブ
に対応した潜像が、フォトレジストに形成されることと
なる。

【００５４】なお、フォトレジストを露光して、グルー
ブに対応した潜像を形成する際は、フォトレジストが塗
布形成されているガラス基板を、所定の回転速度にて回
転駆動させるとともに、所定の速度にて平行移動させ
る。具体的には、後述する評価用光ディスクを作製する
際、ガラス基板の回転速度は、露光ビームによる光スポ
ットとフォトレジストとの相対的な移動速度が線速１．
４０ｍ／ｓｅｃとなるようにした。そして、トラックピ
ッチＴPitchが１．６０μｍとなるように、ガラス基板
を１回転毎に１．６０μｍだけ半径方向に平行移動させ
た。

【００５５】そして、以上のようにしてフォトレジスト
に潜像を形成した後、フォトレジストが塗布されている
面が上面となるように、ガラス基板を現像機のターンテ
ーブル上に載置する。そして、当該ターンテーブルを回
転させることによりガラス基板を回転させながら、フォ
トレジスト上に現像液を滴下して現像処理を施して、ガ
ラス基板上にグルーブに対応した凹凸パターンを形成す
る。

【００５６】次に、上記凹凸パターン上に無電界メッキ
法によりＮｉ等からなる導電化膜を形成し、その後、導
電化膜が形成されたガラス基板を電鋳装置に取り付け、
電気メッキ法により導電化膜上にＮｉ等からなるメッキ
層を、３００±５μｍ程度の厚さとなるように形成す
る。その後、このメッキ層を剥離し、剥離したメッキを
アセトン等を用いて洗浄し、凹凸パターンが転写された
面に残存しているフォトレジストを除去する。

【００５７】以上の工程により、ガラス基板上に形成さ
れていた凹凸パターンが転写されたメッキからなる光記
録媒体製造用原盤、すなわち、トラック幅方向の変位に
より信号が記録されるグルーブに対応した凹凸パターン
が形成された光記録媒体製造用原盤が完成する。

【００５８】次に、転写工程として、フォトポリマー法
（いわゆる２Ｐ法）により、上記光記録媒体製造用原盤
の表面形状が転写されてなるディスク基板を作製する。

【００５９】具体的には、先ず、光記録媒体製造用原盤
の凹凸パターンが形成された面上にフォトポリマーを平
滑に塗布してフォトポリマー層を形成し、次に、当該フ
ォトポリマー層に泡やゴミが入らないようにしながら、
フォトポリマー層上にベースプレートを密着させる。こ
こで、ベースプレートには、例えば、１．２ｍｍ厚のポ
リメチルメタクリレートからなるベースプレートを使用
する。

【００６０】その後、紫外線を照射してフォトポリマー
を硬化させ、その後、光記録媒体製造用原盤を剥離する
ことにより、光記録媒体製造用原盤の表面形状が転写さ
れてなるディスク基板を作製する。

【００６１】なお、ここでは、光記録媒体製造用原盤に
形成された凹凸パターンがより正確にディスク基板に転
写されるように、２Ｐ法を用いてディスク基板を作製す
る例を挙げたが、ディスク基板を量産するような場合に
は、ポリメチルメタクリレートやポリカーボネート等の
透明樹脂を用いて射出成形によって作製するようにして
も良いことは言うまでもない。

【００６２】次に、成膜工程として、光記録媒体製造用
原盤の表面形状が転写されてなるディスク基板の上に光
反射層及び保護層を形成する。具体的には、例えば、先
ず、ディスク基板の凹凸パターンが形成された面上に、
Ａｌ等からなる光反射層を蒸着によって形成し、その
後、当該光反射層の上に紫外線硬化樹脂をスピンコート
法により塗布し、当該紫外線硬化樹脂に対して紫外線を
照射し硬化させることにより、保護層を形成する。

【００６３】以上の工程により、再生専用光ディスク１
が完成する。

【００６４】＜再生専用光ディスクの評価＞つぎに、上
述のような製造方法にて評価用の再生専用光ディスクを
複数作製し、それらの評価用光ディスクを評価した結果
について説明する。

【００６５】ここでは、グルーブ変位量の異なる複数の
評価用光ディスクを作製し、それらの評価を行った。な
お、各評価用光ディスクでは、ＥＦＭ信号に対応させて
グルーブをトラック幅方向に変位させて、グルーブのト
ラック幅方向の変位としてＥＦＭ信号を記録した。そし
て、各評価用光ディスクで、グルーブ変位量が異なるよ
うにした。

【００６６】評価用光ディスクを作製する際は、まず、
グルーブに対応した潜像を形成する際の露光条件を変え
て、複数の光記録媒体製造用原盤を作製した。具体的に
は、グルーブ変位量の異なる評価用光磁気ディスクを作
製するために、レーザカッティング装置１０の音響光学
偏向器２９を駆動するための駆動用ドライバ３１に入力
する信号Ｓ２を変化させて、グルーブに対応した潜像を
形成する際にフォトレジストに照射する露光ビームの偏
向量を変化させた。なお、その他の露光条件として、線
速は１．４０ｍ／ｓｅｃ、送りピッチ（すなわちトラッ
クピッチ）は１．６０μｍ、露光パワーは０．７０ｍＷ
とした。

【００６７】そして、以上のように条件を変えて作製し
た複数の光記録媒体製造用原盤を用いて２Ｐ法により評
価用光ディスクを作製した。なお、評価用光ディスクの
ディスク基板の材料には、ポリメチルメタクリレートを
使用した。

【００６８】以上のように作製した複数の評価用光ディ
スクについて、グルーブ変位の振幅量を測定したとこ
ろ、それぞれ±２５ｎｍ、±５０ｎｍ、±７５ｎｍ、±
１００ｎｍ、±１２５ｎｍ、±１５０ｎｍ、±２００ｎ
ｍ、±２５０ｎｍであった。また、各評価用光ディスク
に形成されたグルーブの断面形状を測定したところ、全
ての評価用光ディスクグについて、グルーブの底幅はほ
ぼ３００ｎｍ、グルーブの上幅はほぼ５５０ｎｍであっ
た。

【００６９】なお、グルーブ形状の測定は、実際には、
評価用光ディスク自体を測定するのではなく、光記録媒
体製造用原盤に形成された凹凸パターンを走査電子顕微
鏡（ＳＥＭ：Scanning Electron Microscope）で測定す
ることにより行った。すなわち、ここでは、光記録媒体
製造用原盤に形成された凹凸パターンがディスク基板に
精度良く転写されるものと仮定し、光記録媒体製造用原
盤に形成された凹凸パターンの形状を測定した結果を、
評価用光ディスクに形成されたグルーブ形状を示す値と
して用いた。

【００７０】そして、以上のように作製した複数の評価
用光ディスクについて再生特性等の評価を行った。評価
には、対物レンズを搭載した２軸デバイスがシークアー
ムの先端に配され、対物レンズの移動が少なくて済むよ
うになされた擬一軸系の光学ヘッドを用いた。また、レ
ーザ光の波長λは７８０ｎｍ、対物レンズの開口数ＮＡ
は０．５０、焦点距離は４．５ｍｍ、線速は１．４０ｍ
／ｓｅｃとした。

【００７１】評価にあたって、まず、プッシュプル法に
よるトラッキングサーボが安定に行えるかを確認した。
その結果、全ての評価用光ディスクについて、十分なレ
ベルのプッシュプル信号が得られ、プッシュプル法によ
るトラッキングサーボを安定に行えることが確認でき
た。これは、これらの評価用光ディスクでは、ピット列
だけが形成されているような領域が無く、信号が記録さ
れた領域の全面にわたってグルーブが形成されているか
らである。

【００７２】つぎに、各評価用光ディスクについて、グ
ルーブのトラック幅方向の変位として記録されたＥＦＭ
信号を再生し、そのときのブロックエラーレートとジッ
ターとを測定した。なお、ジッターの測定には、菊水社
製のジッター測定器を使用した。ブロックエラーレート
とジッターを測定した結果を図５に示す。

【００７３】図５に示すように、グルーブ変位の振幅量
が±５０ｎｍから±２５０ｎｍまでの各評価用光ディス
では、ブロックエラーレートは１００個以下となり、こ
れらの評価用光ディスクに記録されたＥＦＭ信号は、十
分に安定に再生することができた。また、ジッターもブ
ロックエラーレートとほとんど同様な傾向を示し、グル
ーブ変位の振幅量が±５０ｎｍから±２５０ｎｍまでの
各評価用光ディスクでは、ジッターは１１ｎｓ以下とな
り、十分に許容できる値となった。

【００７４】以上の結果から、グルーブ変位の振幅量が
±５０ｎｍから±２５０ｎｍまでの間ならば、十分に安
定に信号再生を行えることが分かった。これらの値をト
ラックピッチ１．６０μｍで規格化すると、振幅が±５
０ｎｍのとき、最大振幅量は１００ｎｍであるので、グ
ルーブ変位の最大振幅量は、トラックピッチの６．２５
％（＝１００ｎｍ／１６００ｎｍ）となり、また、振幅
が±２５０ｎｍのとき、最大振幅量は５００ｎｍである
ので、グルーブ変位の最大振幅量は、トラックピッチの
３１．２５％（＝５００ｎｍ／１６００ｎｍ）となる。

【００７５】以上のことから、グルーブ変位の最大振幅
量がトラックピッチの６．２５〜３１．２５％の範囲内
にあれば、安定に信号を再生できることが確認できた。
しかも、上述したように、信号が記録された領域の全面
にわたってグルーブが形成されているので、十分なレベ
ルのプッシュプル信号が得られ、プッシュプル法による
トラッキングサーボも安定に行うことができる。

【００７６】＜光記録再生装置＞つぎに、上記再生専用
光ディスク１から信号を再生する光記録再生装置につい
て説明する。

【００７７】図６に本発明を適用した光記録再生装置の
一構成例を示す。この光記録再生装置４０は、グルーブ
のトラック幅方向の変位として情報信号が記録された再
生専用光ディスク１から信号を再生する信号再生装置で
あり、光学ヘッド４１と、再生専用光ディスク１を回転
駆動させるスピンドルモータ４２と、光学ヘッド４１を
動かすための送りモータ４３と、所定の復調処理を行う
復調回路４４と、光学ヘッド４１及びスピンドルモータ
４２のサーボ制御を行うサーボ制御回路４５と、システ
ム全体の制御を行うシステムコントローラ４６とを備え
ている。

【００７８】スピンドルモータ４２は、サーボ制御回路
４５により駆動制御され、所定の回転数で回転駆動され
る。すなわち、信号再生の対象となる再生専用光ディス
ク１は、スピンドルモータ４２にチャッキングされ、サ
ーボ制御回路４５により駆動制御されるスピンドルモー
タ４２によって、所定の回転数で回転駆動される。

【００７９】光学ヘッド４１は、再生専用光ディスク１
から信号を再生する際に、回転駆動される再生専用光デ
ィスク１に対してレーザ光を照射し、その戻り光を検出
する。ここで、光学ヘッド４１は、再生専用光ディスク
１の記録トラックを中心にして対称に配置された一対の
受光部を備えており、それら一対の受光部でそれぞれ検
出された光量の和をとった信号（ＲＦ信号）を、再生専
用光ディスク１に記録されていた信号を再生した再生信
号として復調回路４４に供給する。また、光学ヘッド４
１は、それら一対の受光部でそれぞれ検出された光量の
差をとった信号（プッシュプル信号）を、記録トラック
中心からの光スポットのずれ量を示すトラッキングエラ
ー信号としてサーボ制御回路４５に供給する。

【００８０】また、光学ヘッド４１は、再生専用光ディ
スク１によってレーザ光が反射されてなる戻り光から、
光スポットの焦点位置合わせを行うためのフォーカスサ
ーボ信号も検出し、当該フォーカスサーボ信号もサーボ
制御回路４５に供給する。

【００８１】復調回路４４は、システムコントローラ４
６及び外部回路４７に接続されている。この復調回路４
４は、再生専用光ディスク１から信号を再生する際、シ
ステムコントローラ４６による制御のもとで、再生専用
光ディスク１から再生された再生信号を光学ヘッド４１
から受け取り、当該再生信号に対して所定の復調処理を
施す。そして、復調回路４４によって復調された再生信
号は、復調回路４４から外部回路４７へ出力される。

【００８２】送りモータ４３は、情報信号の記録再生を
行う際、光学ヘッド４１を再生専用光ディスク１の径方
向の所定の位置に送るためのものであり、サーボ制御回
路４５からの制御信号に基づいて駆動される。

【００８３】サーボ制御回路４５は、システムコントロ
ーラ４６による制御のもとで、光学ヘッド４１が再生専
用光ディスク１に対向する所定の位置に送られるよう
に、送りモータ４３を制御する。また、サーボ制御回路
４５は、スピンドルモータ４２にも接続されており、シ
ステムコントローラ４６による制御のもとで、スピンド
ルモータ４２の動作を制御する。すなわち、サーボ制御
回路４５は、信号再生時に、再生専用光ディスク１が所
定の回転数で回転駆動されるように、スピンドルモータ
４２を制御する。

【００８４】また、サーボ制御回路４５は、光学ヘッド
４１にも接続されており、信号再生時に、上述したよう
に光学ヘッド４１からトラッキングエラー信号及びフォ
ーカスサーボ信号を受け取り、それらの信号に基づい
て、光学ヘッド４１のトラッキングサーボ及びフォーカ
スサーボの制御を行う。

【００８５】なお、光学ヘッド４１のトラッキングサー
ボ及びフォーカスサーボは、例えば、光学ヘッド４１の
対物レンズを２軸アクチュエータに搭載し、当該２軸ア
クチュエータにより対物レンズを微細に移動させること
で行う。

【００８６】この光記録再生装置４０では、光学ヘッド
４１の一対の受光部でそれぞれ検出された光量の差をと
ったプッシュプル信号に基づいてトラッキングサーボを
行うようにしているが、この光記録再生装置４０では、
記録媒体として、所定の変調が施された信号がグルーブ
のトラック幅方向の変位として記録された再生専用光デ
ィスク１を用いているので、安定にトラッキングサーボ
を行うことができる。

【００８７】しかも、上述した評価用光ディスクの評価
結果からもわかるように、グルーブのトラック幅方向の
変位として記録された信号は十分に検出可能であり、こ
の光記録再生装置４０でも、再生専用光ディスク１から
信号を十分に安定に再生するができる。

【００８８】＜光磁気ディスク＞つぎに、本発明を光磁
気ディスクに適用した場合の実施の形態について説明す
る。

【００８９】図７に、本発明を適用した光磁気ディスク
の一例を示す。この光磁気ディスク５５は、ポリメチル
メタクリレート（ＰＭＭＡ）やポリカーボネート（Ｐ
Ｃ）等からなる円盤状のディスク基板５６の上に、光磁
気記録がなされる記録層５７と、当該記録層５７を保護
する保護層５８とが形成されてなる。ここで、記録層５
７は、例えば、ＳｉＮ等からなる誘電体膜と、ＴｅＦｅ
Ｃｏ合金等からなる垂直磁気記録膜と、ＳｉＮ等からな
る誘電体膜と、Ａｌ等からなる光反射膜とが積層されて
なる。また、保護層５８は、例えば、記録層５７の上に
紫外線硬化樹脂がスピンコートされてなる。なお、本発
明において、記録層５７や保護層５８の構成は任意であ
り、本例に限定されるものではない。

【００９０】この光磁気ディスク５５には、記録領域の
一部を拡大した図８に示すように、記録トラックに沿っ
てグルーブＧ１，Ｇ２，Ｇ３が形成されている。そし
て、その記録領域の一部は、所定の変調が施された信号
がグルーブＧ１のトラック幅方向の変位として予め記録
された再生専用領域Ｂ１とされており、その他のグルー
ブＧ２，Ｇ３が形成された領域は、光磁気記録による信
号の書き込みが可能な書込可能領域Ｂ２とされている。

【００９１】再生専用領域Ｂ１には、記録トラックに沿
って、シングルスパイラル状にグルーブＧ１が形成され
ている。そして、ＥＦＭ変調、ＥＦＭ＋変調又は１−７
変調等の所定の変調処理が施された信号が、グルーブＧ
１のトラック幅方向の変位として記録されている。な
お、この再生専用領域Ｂ１に記録される信号は、従来の
光磁気ディスクならばピット列として記録されていた信
号である。

【００９２】すなわち、この光磁気ディスク５５におい
て、再生専用領域Ｂ１に形成されたグルーブＧ１はシン
グルスパイラル状に形成されてなるが、当該グルーブＧ
１は一様にまっすぐ形成される訳ではなく、所定の変調
が施された記録対象の信号に対応するように、トラック
幅方向に変位している。そして、このグルーブＧ１のト
ラック幅方向の変位が、この光磁気ディスク５５に予め
記録された、所定の変調が施された信号を示している。

【００９３】換言すれば、この光磁気ディスク５５の再
生専用領域Ｂ１に形成されたグルーブＧ１は、所定の変
調が施された記録対象の信号に対応するように、トラッ
ク幅方向にウォブリングしており、当該ウォブリング
が、この光磁気ディスク５５に予め記録された信号に対
応している。したがって、この光磁気ディスク５５で
は、情報の記録にピット列が不要となっており、予め記
録される信号は一連のグルーブＧ１だけにより記録され
ている。

【００９４】ここで、光磁気ディスク５５の再生専用領
域Ｂ１に形成されるグルーブＧ１は、記録する信号に対
応するようにトラック幅方向に変位しているが、その変
位の最大振幅量は、トラックピッチの６．２５〜３１．
２５％とする。上記再生専用光ディスク１と同様、グル
ーブ変位の最大振幅量をトラックピッチの６．２５〜３
１．２５％とすることで、安定な信号再生とトラッキン
グサーボを両立することができる。

【００９５】具体的には例えば、トラックピッチが０．
９５μｍのときは、グルーブ変位の振幅量は、±３０ｎ
ｍ〜±１４８ｎｍの範囲内とする。これにより、グルー
ブ変位の最大振幅量は、トラックピッチの６．２５〜３
１．２５％の範囲内となり、安定な信号再生とトラッキ
ングサーボを両立することが可能となる。

【００９６】また、上記光磁気ディスク５５において、
書込可能領域Ｂ２は、光磁気記録による信号の書き込み
が可能となっている領域であり、この書込可能領域Ｂ２
には、所定の周期で蛇行するように形成されたウォブリ
ンググルーブＧ２と、蛇行することなく形成されたスト
レートグルーブＧ３とがダブルスパイラル状に形成され
ている。ここで、ウォブリンググルーブＧ２は、所定の
周期で蛇行するように形成されたグルーブであり、グル
ーブを蛇行させることにより、グルーブ自体にアドレス
情報を付加したグルーブである。なお、ウォブリンググ
ルーブＧ２とストレートグルーブＧ３は、ほぼ同じ幅と
しておく。

【００９７】この光磁気ディスク５５では、ウォブリン
ググルーブＧ２とストレートグルーブＧ３との間のラン
ドの部分に、光磁気記録によるデータの記録が行われ
る。すなわち、図５に示すように、ウォブリンググルー
ブＧ２とストレートグルーブＧ３の間であって、ディス
ク内周側がストレートグルーブＧ３となっている部分
が、第１の記録トラックTrackＡとなり、ウォブリング
グルーブＧ２とストレートグルーブＧ３の間であって、
ディスク内周側がウォブリンググルーブＧ２となってい
る部分が、第２の記録トラックTrackＢとなる。そし
て、これらの記録トラックTrackＡ，TrackＢに、光磁気
記録によるデータの記録が行われる。

【００９８】ここで、ウォブリンググルーブＧ２は、例
えば±２０ｎｍの振幅にて一定の周期で蛇行するように
形成される。すなわち、この光磁気ディスク５５では、
一方のグルーブ（すなわちウォブリンググルーブＧ２）
を例えば±２０ｎｍの振幅にてウォブリングさせること
により、グルーブ自体にアドレス情報を付加している。

【００９９】また、この光磁気ディスク５５において、
トラックピッチＴPitchは例えば０．９５μｍとされ
る。ここで、再生専用領域Ｂ１のトラックピッチＴPitc
hは、隣接するグルーブＧ１の間隔に相当する。すなわ
ち、この光磁気ディスク５５の再生専用領域Ｂ１におい
て、隣接するグルーブＧ１の間隔は、例えば０．９５μ
ｍとされる。また、書込可能領域Ｂ２のトラックピッチ
は、ウォブリンググルーブＧ２とストレートグルーブＧ
３の中心位置の間隔に相当する。すなわち、この光磁気
ディスク５５において、ウォブリンググルーブＧ２とス
トレートグルーブＧ３の中心位置の間隔は、例えば０．
９５μｍとされる。なお、隣接するストレートグルーブ
Ｇ３の中心位置の間隔のことをトラックピリオドＴPeri
odと称する。トラックピリオドＴPeriodは、トラックピ
ッチＴPitchの２倍に相当し、トラックピッチＴPitchが
０．９５μｍのとき、トラックピリオドＴPeriodは１．
９０μｍとなる。

【０１００】以上のような光磁気ディスク５５の再生専
用領域Ｂ１から信号を再生する際は、上記再生専用光デ
ィスク１から信号を再生する場合と同様に、光磁気ディ
スク５５の再生専用領域にレーザ光を照射し、当該レー
ザ光が光磁気ディスク５５の再生専用領域によって反射
されて戻ってきた戻り光を、記録トラックを中心に対称
に配置された一対の受光部により検出する。そして、そ
れら一対の受光部でそれぞれ検出された光量の差をとっ
た差信号（プッシュプル信号）を検出するとともに、そ
れら一対の受光部でそれぞれ検出された光量の和をとっ
た和信号（ＲＦ信号）を検出する。

【０１０１】そして、上記光磁気ディスク５５の再生専
用領域Ｂ１から信号を再生する際は、上記和信号からグ
ルーブのトラック幅方向の変位を検出して、グルーブＧ
１のトラック幅方向の変位として記録された信号を再生
する。また、このように信号再生を行うときには、光ス
ポットが記録トラックのほぼ中心を追従して走行するよ
うに、記録トラックを中心に対称に配置された一対の受
光部でそれぞれ検出された光量の差をとった差信号であ
るプッシュプル信号を用いて、プッシュプル法によりト
ラッキングサーボを行う。

【０１０２】一方、光磁気ディスク５５の書込可能領域
Ｂ２に対して記録再生を行う際は、従来の光磁気ディス
クの場合と何ら変わることはなく、光磁気記録により記
録再生を行う。ただし、この場合も、光スポットが記録
トラックのほぼ中心を追従して走行するように、プッシ
ュプル法によりトラッキングサーボを行う。

【０１０３】＜レーザカッティング装置＞以上のような
光磁気ディスク５５を製造する際には、その原盤となる
光記録媒体製造用原盤を作製するのにレーザカッティン
グ装置が使用される。以下、レーザカッティング装置の
一例について、図９を参照して説明する。

【０１０４】図９に示したレーザカッティング装置７０
は、ガラス基板７１の上に塗布されたフォトレジスト７
２を露光して潜像を形成するためのものである。このレ
ーザカッティング装置７０でフォトレジスト７２に潜像
を形成する際、フォトレジスト７２が塗布されたガラス
基板７１は、移動光学テーブル上に設けられた回転駆動
装置に取り付けられる。そして、フォトレジスト７２を
露光する際、ガラス基板７１は、フォトレジスト７２の
全面にわたって所望のパターンでの露光がなされるよう
に、図中矢印Ｃに示すように回転駆動装置によって回転
駆動されるとともに、移動光学テーブルによって平行移
動される。

【０１０５】このレーザカッティング装置７０は、２つ
の露光ビームによってフォトレジスト７２を露光するこ
とが可能となっている。したがって、上記光磁気ディス
ク５５の書込可能領域Ｂ２に形成されるウォブリンググ
ルーブＧ２に対応した潜像と、上記光磁気ディスク５５
の書込可能領域Ｂ２に形成されるストレートグルーブＧ
３に対応した潜像とを、２つの露光ビームを用いて一緒
に形成するようなことが可能となっている。

【０１０６】このレーザカッティング装置７０は、レー
ザ光を出射する光源７３と、光源７３から出射されたレ
ーザ光の光強度を調整するための電気光学変調器（ＥＯ
Ｍ：Electro Optical Modulator）７４と、電気光学変
調器７４から出射されたレーザ光の光軸上に配された検
光子７５と、検光子７５を透過してきたレーザ光を反射
光と透過光とに分割する第１のビームスプリッタ７６
と、第１のビームスプリッタ７６を透過してきたレーザ
光を反射光と透過光とに分割する第２のビームスプリッ
タ７７と、第２のビームスプリッタ７７を透過してきた
レーザ光を検出するフォトディテクタ（ＰＤ：Photo De
tector）７９と、電気光学変調器７４に対して信号電界
を印加して当該電気光学変調器７４から出射されるレー
ザ光強度を調整するオートパワーコントローラ（ＡＰ
Ｃ：Auto Power Controller）８０とを備えている。

【０１０７】上記レーザカッティング装置７０におい
て、光源７３から出射されたレーザ光は、先ず、オート
パワーコントローラ８０から印加される信号電界によっ
て駆動される電気光学変調器７４によって、所定の光強
度とされた上で検光子７５に入射する。ここで、検光子
７５はＳ偏光だけを透過する検光子であり、この検光子
７５を透過してきたレーザ光はＳ偏光となる。

【０１０８】なお、光源７３には、任意のものが使用可
能であるが、比較的に短波長のレーザ光を出射するもの
が好ましい。具体的には、例えば、波長λが４１３ｎｍ
のレーザ光を出射するＫｒレーザや、波長λが４４２ｎ
ｍのレーザ光を出射するＨｅ−Ｃｄレーザなどが、光源
７３として好適である。

【０１０９】そして、検光子７５を透過してきたＳ偏光
のレーザ光は、先ず、第１のビームスプリッタ７６によ
って反射光と透過光とに分けられ、更に、第１のビーム
スプリッタ７６を透過したレーザ光は、第２のビームス
プリッタ７７によって反射光と透過光とに分けられる。
なお、このレーザカッティング装置７０では、第１のビ
ームスプリッタ７６によって反射されたレーザ光が第１
の露光ビームとなり、第２のビームスプリッタ７７によ
って反射されたレーザ光が第２の露光ビームとなる。

【０１１０】一方、第２のビームスプリッタ７７を透過
したレーザ光は、フォトディテクタ７９によって、その
光強度が検出され、当該光強度に応じた信号がフォトデ
ィテクタ７９からオートパワーコントローラ８０に送ら
れる。そして、フォトディテクタ７９から送られてきた
信号に応じて、オートパワーコントローラ８０は、フォ
トディテクタ７９によって検出される光強度が所定のレ
ベルにて一定となるように、電気光学変調器７４に対し
て印加する信号電界を調整する。これにより、電気光学
変調器７４から出射するレーザ光の光強度が一定となる
ように、自動光量制御（ＡＰＣ：Auto Power Control）
が施され、ノイズの少ない安定したレーザ光が得られ
る。

【０１１１】また、レーザカッティング装置８０は、第
１のビームスプリッタ７６によって反射されたレーザ光
を光強度変調するための第１の変調光学系８１と、第２
のビームスプリッタ７７によって反射されたレーザ光を
光強度変調するための第２の変調光学系８２と、第１及
び第２の変調光学系８１，８２によって光強度変調が施
された各レーザ光を再合成してフォトレジスト７２上に
集光するための光学系１０４とを備えている。

【０１１２】そして、第１のビームスプリッタ７６によ
って反射されてなる第１の露光ビームは、第１の変調光
学系８１に導かれ、第１の変調光学系８１によって光強
度変調が施される。同様に、第２のビームスプリッタ７
７によって反射されてなる第２の露光ビームは、第２の
変調光学系８２に導かれ、第２の変調光学系８２によっ
て光強度変調が施される。

【０１１３】第１の変調光学系８１に入射した第１の露
光ビームは、集光レンズ８５によって集光された上で音
響光学変調器（ＡＯＭ：Acousto Optical Modulator）
８６に入射し、この音響光学変調器８６によって、所望
する露光パターンに対応するように光強度変調される。
そして、音響光学変調器８６によって光強度変調された
第１の露光ビームは、コリメートレンズ８７によって平
行光とされた上で、第１の変調光学系８１から出射す
る。

【０１１４】ここで、音響光学変調器８６には、当該音
響光学変調器８６を駆動するための駆動用ドライバ８８
が取り付けられている。そして、フォトレジスト７２の
露光時には、所望する露光パターンに応じた信号Ｓ１が
駆動用ドライバ８８に入力され、当該信号Ｓ１に応じて
駆動用ドライバ８８によって音響光学変調器８６が駆動
され、第１の露光ビームに対して光強度変調が施され
る。

【０１１５】具体的には、一定の深さのグルーブに対応
したグルーブパターンの潜像をフォトレジスト７２に形
成する場合に、一定レベルのＤＣ信号が駆動用ドライバ
８８に入力され、当該ＤＣ信号に応じて駆動用ドライバ
８８によって音響光学変調器８６が駆動される。これに
より、所望するグルーブパターンに対応するように、第
１の露光ビームに対して光強度変調が施される。

【０１１６】また、第２の変調光学系８２に入射した第
２の露光ビームは、集光レンズ８９によって集光された
上で音響光学変調器９０に入射し、この音響光学変調器
９０によって、所望する露光パターンに対応するように
光強度変調される。そして、音響光学変調器９０によっ
て光強度変調された第２の露光ビームは、コリメートレ
ンズ９１によって平行光とされるとともに、λ／２波長
板９６を透過することにより偏光方向が９０°回転させ
られた上で、第２の変調光学系８２から出射する。

【０１１７】ここで、音響光学変調器９０には、当該音
響光学変調器９０を駆動するための駆動用ドライバ９２
が取り付けられている。そして、フォトレジスト７２の
露光時には、所望する露光パターンに応じた信号Ｓ２が
駆動用ドライバ９２に入力され、当該信号Ｓ２に応じて
駆動用ドライバ９２によって音響光学変調器９０が駆動
され、第２の露光ビームに対して光強度変調が施され
る。

【０１１８】具体的には、一定の深さのグルーブに対応
したグルーブパターンの潜像をフォトレジスト７２に形
成する場合に、一定レベルのＤＣ信号が駆動用ドライバ
９２に入力され、当該ＤＣ信号に応じて駆動用ドライバ
９２によって音響光学変調器９０が駆動される。これに
より、所望するグルーブパターンに対応するように、第
２の露光ビームに対して光強度変調が施される。

【０１１９】以上のようにして、第１の露光ビームは第
１の変調光学系８１によって光強度変調が施され、第２
の露光ビームは第２の変調光学系８２によって光強度変
調が施される。このとき、第１の変調光学系８１から出
射する第１の露光ビームはＳ偏光のままであるが、第２
の変調光学系８２から出射する第２の露光ビームは、λ
／２波長板９６を透過することにより偏光方向が９０°
回転させられているので、Ｐ偏光となっている。

【０１２０】そして、第１の変調光学系８１から出射さ
れた第１の露光ビームは、ミラー１００によって反射さ
れ、移動光学テーブル上に水平且つ平行に導かれる。同
様に、第２の変調光学系８２から出射された第２の露光
ビームは、ミラー１０１によって反射され、移動光学テ
ーブル上に水平且つ平行に導かれる。

【０１２１】そして、ミラー１００によって反射され、
移動光学テーブル上に水平且つ平行に導かれた第１の露
光ビームは、偏向光学系１０６によって光学偏向が施さ
れた上で、ミラー１１４によって反射されて進行方向が
９０°曲げられた上で偏光ビームスプリッタ１１５に入
射する。また、ミラー１０１によって反射され、移動光
学テーブル上に水平且つ平行に導かれた第２の露光ビー
ムは、そのまま偏光ビームスプリッタ１１５に入射す
る。

【０１２２】ここで、偏向光学系１０６は、第１の露光
ビームに対して光学偏向を施すためのものである。例え
ば、上記光磁気ディスク５５の再生専用領域Ｂ１に形成
されるグルーブＧ１に対応した潜像や、上記光磁気ディ
スク５５の書込可能領域Ｂ２に形成されるウォブリング
グルーブＧ２に対応した潜像を形成するときは、この偏
向光学系１０６によってそれらのグルーブ形状に対応す
るように第１の露光ビームに光学偏向を施し、当該光学
偏向を施した第１の露光ビームによりフォトレジスト７
２を露光するようにする。

【０１２３】すなわち、第１の変調光学系８１から出射
され偏向光学系１０６に入射した第１の露光ビームは、
ウェッジプリズム１０７を介して音響光学偏向器（ＡＯ
Ｄ：Acousto Optical Deflector）１０８に入射し、こ
の音響光学偏向器１０８によって、所望する露光パター
ンに対応するように光学偏向が施される。そして、音響
光学偏向器１０８によって光学偏向が施された第１の露
光ビームは、ウエッジプリズム１０９を介して偏向光学
系１０６から出射される。

【０１２４】ここで、音響光学偏向器１０８には、当該
音響光学偏向器１０８を駆動するための駆動用ドライバ
１１０が取り付けられている。そして、フォトレジスト
７２の露光時には、所望する露光パターンに応じた信号
Ｓ３が駆動用ドライバ１１０に入力され、当該信号Ｓ３
に応じて駆動用ドライバ１１０によって音響光学偏向器
１０８が駆動され、これにより、第１の露光ビームに対
して光学偏向が施される。

【０１２５】そして、このような偏向光学系１０６によ
って、光学偏向が施された第１の露光ビームは、上述し
たように、ミラー１１４によって反射されて進行方向が
９０°曲げられた上で偏光ビームスプリッタ１１５に入
射する。

【０１２６】ここで、偏光ビームスプリッタ１１５は、
Ｓ偏光を反射し、Ｐ偏光を透過するようにしておく。第
１の変調光学系８１から出射された第１の露光ビームは
Ｓ偏光であり、第２の変調光学系８２から出射された第
２の露光ビームはＰ偏光である。したがって、第１の露
光ビームは、偏光ビームスプリッタ１１５によって反射
され、第２の露光ビームは、偏光ビームスプリッタ１１
５を透過する。これにより、第１の変調光学系８１から
出射され偏向光学系１０６によって光学偏向が施された
第１の露光ビームと、第２の変調光学系８２から出射さ
れた第２の露光ビームとは、進行方向が同一方向となる
ように再合成される。

【０１２７】そして、進行方向が同一方向となるように
再合成されて偏光ビームスプリッタ１１５から出射した
第１及び第２の露光ビームは、拡大レンズ１１２によっ
て所定のビーム径とされた上でミラー１１３によって反
射されて対物レンズ１１６へと導かれ、当該対物レンズ
１１６によってフォトレジスト７２上に集光される。こ
れにより、フォトレジスト７２が露光され、フォトレジ
スト７２に潜像が形成されることとなる。

【０１２８】このとき、フォトレジスト７２が塗布され
ているガラス基板７１は、上述したように、フォトレジ
スト７２の全面にわたって所望のパターンでの露光がな
されるように、図中矢印Ｃに示すように回転駆動装置に
よって回転駆動されるとともに、移動光学テーブルによ
って平行移動される。この結果、第１及び第２の露光ビ
ームの照射軌跡に応じた潜像が、フォトレジスト７２の
全面にわたって形成されることとなる。

【０１２９】なお、露光ビームをフォトレジスト７２の
上に集光するための対物レンズ１１６は、より微細なピ
ットパターンやグルーブパターンを形成できるようにす
るために、開口数ＮＡが大きい方が好ましい。具体的に
は、開口数ＮＡが０．９程度の対物レンズが好適であ
る。

【０１３０】また、このように第１及び第２の露光ビー
ムをフォトレジスト７２に照射する際は、必要に応じ
て、拡大レンズ１１２によって第１及び第２の露光ビー
ムのビーム径を変化させ、対物レンズ１１６に対する有
効開口数を調整する。これにより、フォトレジスト７２
の表面に集光される第１及び第２の露光ビームのスポッ
ト径を変化させることができる。

【０１３１】ところで、偏光ビームスプリッタ１１５に
入射した第１の露光ビームは、当該偏光ビームスプリッ
タ１１５の反射面にて、第２の露光ビームと合成され
る。このとき、偏光ビームスプリッタ１１５の反射面
は、当該反射面で合成されて出射される光の進行方向に
対して適度な反射角をなすようにしておく。これによ
り、この偏光ビームスプリッタ１１５から出射された第
１及び第２の露光ビームが対物レンズ１１６の結像集光
面（即ち、露光対象であるフォトレジスト７２の表面）
に集光される際に、第１の露光ビームに対応するスポッ
トと、第２の露光ビームに対応するスポットとが、異な
る位置に形成される。

【０１３２】そして、偏光ビームスプリッタ１１５の反
射面の反射角は、第１の露光ビームに対応するスポット
と、第２の露光ビームに対応するスポットとの、ガラス
基板７１の半径方向における間隔が、トラックピッチＴ
Pitchに対応するように設定しておく。これにより、第
１の露光ビームによりウォブリンググルーブＧ２に対応
する部分を露光し、同時に、第２の露光ビームによりス
トレートグルーブＧ３に対応する部分を露光することが
可能となる。

【０１３３】なお、このレーザカッティング装置７０で
は、第１の露光ビームと第２の露光ビームとを合成する
ための偏向ビームスプリッタ１１５の向きを調整するこ
とにより、第１の露光ビームの照射位置と第２の露光ビ
ームの照射位置とを容易に調整することができる。した
がって、このレーザカッティング装置７０を用いること
で、ウォブリンググルーブＧ２及びストレートグルーブ
Ｇ３の中心位置ずれを殆ど無くすことができる。

【０１３４】なお、以上のようなレーザカッティング装
置７０を用いて、上記光磁気ディスク５５の原盤となる
光記録媒体製造用原盤を作製する際、再生専用領域Ｂ１
に対応する部分ついては、第２の露光ビームを音響光学
変調器９０により遮光し、第１の露光ビームだけを用い
てフォトレジスト７２を露光し、再生専用領域Ｂ１に形
成されるグルーブＧ１に対応した潜像を形成する。一
方、書込可能領域Ｂ１に対応する部分については、第１
及び第２の露光ビームの両方を使用する。すなわち、第
１の露光ビームを用いてフォトレジスト７２を露光し、
書込可能領域Ｂ２に形成されるウォブリンググルーブＧ
２に対応した潜像を形成するとともに、第２の露光ビー
ムを用いてフォトレジスト７２を露光し、書込可能領域
Ｂ２に形成されるストレートグルーブＧ３に対応した潜
像を同時に形成する。

【０１３５】＜光磁気ディスクの製造方法＞つぎに、上
記光磁気ディスク５５の製造方法について、具体的な例
を挙げて詳細に説明する。

【０１３６】上記光磁気ディスク５５を作製する際は、
先ず、原盤工程として、光磁気ディスク５５に形成され
るグルーブＧ１，Ｇ２，Ｇ３に対応した凹凸パターンを
有する光記録媒体製造用原盤を作製する。

【０１３７】この原盤工程においては、先ず、表面を研
磨した円盤状のガラス基板を洗浄し乾燥させ、その後、
このガラス基板上に感光材料であるフォトレジストを塗
布する。次に、このフォトレジストを上記レーザカッテ
ィング装置７０によって露光し、光磁気ディスク５５に
形成されるグルーブＧ１，Ｇ２，Ｇ３に対応した潜像を
フォトレジストに形成する。

【０１３８】フォトレジストをレーザカッティング装置
７０によって露光する際は、先ず、第１の露光ビームに
よってフォトレジストを露光することにより、再生専用
領域Ｂ１に形成されるグルーブＧ１に対応した潜像をフ
ォトレジストに形成し、その後、第１及び第２の露光ビ
ームによってフォトレジストを露光することにより、書
込可能領域Ｂ２に形成されるウォブリンググルーブＧ２
及びストレートグルーブＧ３に対応した潜像をフォトレ
ジストに形成する。

【０１３９】なお、再生専用領域Ｂ１に形成されるグル
ーブＧ１に対応した潜像をフォトレジスト１２に形成す
る際、第２の露光ビームは、フォトレジストに入射しな
いように、第２の変調光学系８２の音響光学変調器９０
により遮光しておく。

【０１４０】また、再生専用領域Ｂ１に形成されるグル
ーブＧ１に対応した潜像をフォトレジストに形成する際
は、記録する信号に対応するように、偏向光学系１０６
により、第１の露光ビームに対して光学偏向を施す。こ
れにより、トラック幅方向の変位により信号が記録され
るグルーブＧ１に対応した潜像が形成されることとな
る。

【０１４１】そして、以上のようにしてフォトレジスト
に潜像を形成した後、フォトレジストが塗布されている
面が上面となるように、ガラス基板を現像機のターンテ
ーブル上に載置する。そして、当該ターンテーブルを回
転させることによりガラス基板を回転させながら、フォ
トレジスト上に現像液を滴下して現像処理を施して、ガ
ラス基板上にグルーブＧ１，Ｇ２，Ｇ３に対応した凹凸
パターンを形成する。

【０１４２】次に、上記凹凸パターン上に無電界メッキ
法によりＮｉ等からなる導電化膜を形成し、その後、導
電化膜が形成されたガラス基板を電鋳装置に取り付け、
電気メッキ法により導電化膜上にＮｉ等からなるメッキ
層を、３００±５μｍ程度の厚さとなるように形成す
る。その後、このメッキ層を剥離し、剥離したメッキを
アセトン等を用いて洗浄し、凹凸パターンが転写された
面に残存しているフォトレジストを除去する。

【０１４３】以上の工程により、ガラス基板上に形成さ
れていた凹凸パターンが転写されたメッキからなる光記
録媒体製造用原盤、すなわち、再生専用領域Ｂ１に形成
されるグルーブＧ１と、書込可能領域Ｂ２に形成される
ウォブリンググルーブＧ２及びストレートグルーブＧ３
とに対応した凹凸パターンが形成された光記録媒体製造
用原盤が完成する。

【０１４４】次に、転写工程として、フォトポリマー法
（いわゆる２Ｐ法）により、上記光記録媒体製造用原盤
の表面形状が転写されてなるディスク基板を作製する。

【０１４５】具体的には、先ず、光記録媒体製造用原盤
の凹凸パターンが形成された面上にフォトポリマーを平
滑に塗布してフォトポリマー層を形成し、次に、当該フ
ォトポリマー層に泡やゴミが入らないようにしながら、
フォトポリマー層上にベースプレートを密着させる。こ
こで、ベースプレートには、例えば、１．２ｍｍ厚のポ
リメチルメタクリレートからなるベースプレートを使用
する。

【０１４６】その後、紫外線を照射してフォトポリマー
を硬化させ、その後、光記録媒体製造用原盤を剥離する
ことにより、光記録媒体製造用原盤の表面形状が転写さ
れてなるディスク基板（いわゆる２Ｐディスク）を作製
する。

【０１４７】なお、ここでは、光記録媒体製造用原盤に
形成された凹凸パターンがより正確にディスク基板に転
写されるように、２Ｐ法を用いてディスク基板を作製す
る例を挙げたが、ディスク基板を量産するような場合に
は、ポリメチルメタクリレートやポリカーボネート等の
透明樹脂を用いて射出成形によってディスク基板を作製
するようにしても良いことは言うまでもない。

【０１４８】次に、成膜工程として、光記録媒体製造用
原盤の表面形状が転写されてなるディスク基板上に記録
層及び保護層を形成する。具体的には例えば、先ず、デ
ィスク基板の凹凸パターンが形成された面上に、ＳｉＮ
等からなる誘電体膜と、ＴｅＦｅＣｏ合金等からなる垂
直磁気記録膜と、ＳｉＮ等からなる誘電体膜と、Ａｌ等
からなる光反射膜とをスパッタリング法により積層形成
し、記録層を形成する。その後、当該記録層の上に紫外
線硬化樹脂をスピンコート法により塗布し、当該紫外線
硬化樹脂に対して紫外線を照射し硬化させることによ
り、保護層を形成する。

【０１４９】以上の工程により、光磁気ディスクが完成
する。

【０１５０】＜光記録再生装置＞つぎに、上記光磁気デ
ィスク５５に対して信号の記録再生を行う光記録再生装
置について説明する。

【０１５１】図１０に本発明を適用した光記録再生装置
の一構成例を示す。この光記録再生装置１２０は、グル
ーブＧ１のトラック幅方向の変位として情報信号が記録
された再生専用領域Ｂ１を有する光磁気ディスク５５を
記録媒体として用いる光記録再生装置であり、光学ヘッ
ド１２１と、磁気ヘッド１２２と、光磁気ディスク５５
を回転駆動させるスピンドルモータ１２３と、光学ヘッ
ド１２１及び磁気ヘッド１２２を動かすための送りモー
タ１２４と、所定の変復調処理を行う変復調回路１２５
と、光学ヘッド１２１等のサーボ制御を行うサーボ制御
回路１２６と、システム全体の制御を行うシステムコン
トローラ１２７とを備えている。

【０１５２】スピンドルモータ１２３は、サーボ制御回
路１２６により駆動制御され、所定の回転数で回転駆動
される。すなわち、記録再生の対象となる光磁気ディス
ク５５は、スピンドルモータ１２３にチャッキングさ
れ、サーボ制御回路１２６により駆動制御されるスピン
ドルモータ１２３によって、所定の回転数で回転駆動さ
れる。

【０１５３】光学ヘッド１２１は、光磁気ディスク５５
から信号を再生するときに、回転駆動される光磁気ディ
スク５５に対してレーザ光を照射し、その戻り光を検出
する。そして、当該戻り光から再生信号を検出し、当該
再生信号を変復調回路１２５に供給する。また、当該戻
り光から、トラッキングサーボやフォーカスサーボに必
要な信号を検出し、それらの信号をサーボ制御回路１２
６に供給する。

【０１５４】また、光学ヘッド１２１は、光磁気ディス
ク５５に信号を記録するときに、回転駆動される光磁気
ディスク５５に対してレーザ光を照射し、光磁気ディス
ク５５に対して光磁気記録方式による信号記録を行う。
また、その戻り光を検出して、当該戻り光から、トラッ
キングサーボやフォーカスサーボに必要な信号を検出
し、それらの信号をサーボ制御回路１２６に供給する。

【０１５５】磁気ヘッド１２２は、光磁気ディスク５５
に信号を記録するときに、回転駆動される光磁気ディス
ク５５に対して磁界を印加し、光磁気ディスク５５に対
して光磁気記録方式による信号記録を行う。このとき、
磁気ヘッド１２２は、変復調回路１２５から記録信号を
受け取り、当該記録信号に応じて、光磁気ディスク５５
に印加する磁界を変調して、磁界変調方式の光磁気記録
を行う。

【０１５６】変復調回路１２５は、光磁気ディスク５５
から信号を再生する際、システムコントローラ１２７に
よる制御のもとで、光磁気ディスク５５から再生された
再生信号を光学ヘッド１２１から受け取り、当該再生信
号に対して所定の復調処理を施す。そして、復調した再
生信号を外部回路１２８へ出力する。

【０１５７】また、変復調回路１２５は、光磁気ディス
ク５５に信号を記録する際、システムコントローラ１２
７による制御のもとで、外部回路１２８から記録信号を
受け取り、当該記録信号に対して所定の変調処理を施
す。そして、変調した記録信号を光学ヘッド１２１及び
磁気ヘッド１２２に供給する。変復調回路１２５から記
録信号を受け取った光学ヘッド１２１及び磁気ヘッド１
２２は、変復調回路１２５から受け取った記録信号を、
光磁気記録方式により光磁気ディスク５５に記録する。

【０１５８】送りモータ１２４は、情報信号の記録再生
を行う際、光学ヘッド１２１及び磁気ヘッド１２２を光
磁気ディスク５５の径方向の所定の位置に送るためのも
のであり、サーボ制御回路１２６からの制御信号に基づ
いて駆動される。

【０１５９】サーボ制御回路１２６は、システムコント
ローラ１２７による制御のもとで、光学ヘッド１２１及
び磁気ヘッド１２２が光磁気ディスク５５に対向する所
定の位置に送られるように、送りモータ１２４を制御す
る。また、サーボ制御回路１２６は、スピンドルモータ
１２３にも接続されており、システムコントローラ１２
７による制御のもとで、スピンドルモータ１２３の動作
を制御する。すなわち、サーボ制御回路１２６は、光磁
気ディスク５５の記録再生時に、光磁気ディスク５５が
所定の回転数で回転駆動されるように、スピンドルモー
タ１２３を制御する。

【０１６０】また、サーボ制御回路１２６は、記録再生
時に、上述したように光学ヘッド１２１からトラッキン
グサーボやフォーカスサーボに必要な信号を受け取り、
それらの信号に基づいて、光学ヘッド１２１のトラッキ
ングサーボ及びフォーカスサーボの制御を行う。なお、
光学ヘッド１２１のトラッキングサーボ及びフォーカス
サーボは、例えば、光学ヘッド１２１の対物レンズを２
軸アクチュエータに搭載し、当該２軸アクチュエータに
より対物レンズを微細に移動させることで行う。

【０１６１】この光記録再生装置１２０で、光磁気ディ
スク５５の再生専用領域Ｂ１に記録された信号を再生す
る際は、スピンドルモータ１２３により光磁気ディスク
５５を回転駆動させ、当該光磁気ディスク５５に対して
光学ヘッド１２１からレーザ光を照射し、その戻り光を
光学ヘッド１２１により検出する。

【０１６２】ここで、光学ヘッド１２１は、光磁気ディ
スク５５の記録トラックを中心に対称に配置された一対
の受光部を備えている。そして、光学ヘッド１２１は、
それら一対の受光部でそれぞれ検出された光量の和をと
った和信号を、光磁気ディスク５５の再生専用領域Ｂ１
に記録された信号を再生した再生信号として出力する。
この再生信号は、変復調回路１２５に送られ、所定の復
調処理が施された上で、外部回路１２８へ出力される。

【０１６３】また、光学ヘッド１２１は、上記一対の受
光部でそれぞれ検出された光量の差をとったプッシュプ
ル信号を、トラッキングエラー信号として出力する。こ
のトラッキングエラー信号は、サーボ制御回路１２６に
送られ、サーボ制御回路１２６は、このプッシュプル信
号に基づいて、光学ヘッド１２１のトラッキングサーボ
を行う。すなわち、この光記録再生装置１２０では、光
磁気ディスク５５の再生専用領域Ｂ１に記録された信号
を再生する際、プッシュプル法によりトラッキングサー
ボを行う。

【０１６４】また、この光記録再生装置１２０で、光磁
気ディスク５５の書込可能領域Ｂ２に信号を記録する際
は、先ず、外部回路１２８から供給された記録信号に対
して、変復調回路１２５により所定の変調処理を施す。
そして、所定の変調処理を施した記録信号を、光学ヘッ
ド１２１及び磁気ヘッド１２２に供給し、光学ヘッド１
２１及び磁気ヘッド１２２により、光磁気ディスク５５
に記録信号を記録する。すなわち、光学ヘッド１２１か
らのレーザ光を光磁気ディスク５５に照射するととも
に、磁気ヘッド１２２からの磁界を記録信号に応じて変
調して光磁気ディスク５５に印加して、光磁気記録を行
う。

【０１６５】ここで、光学ヘッド１２１は、光磁気ディ
スク５５の記録トラックを中心に対称に配置された一対
の受光部を備えており、これらの受光部により、光磁気
ディスク５５からの戻り光を検出する。そして、それら
一対の受光部でそれぞれ検出された光量の差をとったプ
ッシュプル信号を、トラッキングエラー信号として出力
する。このトラッキングエラー信号は、サーボ制御回路
１２６に送られ、サーボ制御回路１２６は、このプッシ
ュプル信号に基づいて、光学ヘッド１２１のトラッキン
グサーボを行う。すなわち、この光記録再生装置１２０
では、光磁気ディスク５５の書込可能領域Ｂ２に信号を
記録する際も、プッシュプル法によりトラッキングサー
ボを行う。

【０１６６】また、この光記録再生装置１２０で、光磁
気ディスク５５の書込可能領域Ｂ２に記録された信号を
再生する際は、スピンドルモータ１２３により光磁気デ
ィスク５５を回転駆動させ、当該光磁気ディスク５５に
対して光学ヘッド１２１からレーザ光を照射し、その戻
り光を光学ヘッド１２１により検出する。

【０１６７】ここで、光学ヘッド１２１は、戻り光のカ
ー回転角を検出することで、光磁気ディスク５５の書込
可能領域Ｂ２に記録された信号を再生する。そして、光
学ヘッド１２１により再生された再生信号は、変復調回
路１２５に送られ、所定の復調処理が施された上で、外
部回路１２８へ出力される。

【０１６８】また、光学ヘッド１２１は、光磁気ディス
ク５５の記録トラックを中心に対称に配置された一対の
受光部を備えており、それら一対の受光部でそれぞれ検
出された光量の差をとったプッシュプル信号を、トラッ
キングエラー信号として出力する。このトラッキングエ
ラー信号は、サーボ制御回路１２６に送られ、サーボ制
御回路１２６は、このプッシュプル信号に基づいて、光
学ヘッド１２１のトラッキングサーボを行う。すなわ
ち、この光記録再生装置１２０では、光磁気ディスク５
５の書込可能領域Ｂ２に記録された信号を再生する際
も、プッシュプル法によりトラッキングサーボを行う。

【０１６９】以上のように、この光記録再生装置１２０
では、光磁気ディスク５５の記録再生時に、光学ヘッド
１２１の一対の受光部でそれぞれ検出された光量の差を
とったプッシュプル信号に基づいてトラッキングサーボ
を行うが、ここでは記録媒体として、再生専用領域Ｂ１
と書込可能領域Ｂ２のいずれにもグルーブが形成された
光磁気ディスク５５を用いているので、プッシュプル信
号に基づいてトラッキングサーボを行うようにしても、
常に安定にトラッキングサーボを行うことができる。

【０１７０】しかも、上述した評価用光ディスクの評価
結果からもわかるように、グルーブのトラック幅方向の
変位として信号を記録するにあたり、グルーブ変位の最
大振幅量をトラックピッチの６．２５〜３１．２５％と
しておけば、グルーブのトラック幅方向の変位として記
録された信号を十分に検出することができる。したがっ
て、この光記録再生装置１２０でも、光磁気ディスク５
５の再生専用領域Ｂ１に記録された信号を十分に安定に
再生可能である。

【０１７１】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明で
は、所定の変調が施された信号をグルーブのトラック幅
方向の変位として記録することで、再生専用の信号を予
め記録しつつ、プッシュプル法によりトラッキングサー
ボを安定に行えるようにすることができる。特に、グル
ーブ変位の最大振幅量を、トラックピッチの６．２５〜
３１．２５％と規定することで、安定な信号再生とトラ
ッキングサーボを両立することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用した再生専用光ディスクの一例を
示す要部拡大断面図である。

【図２】図２（Ａ）は、図１に示した再生専用光ディス
クに形成されるグルーブの一部を拡大して示した平面図
であり、図２（Ｂ）は、従来の再生専用光ディスクに形
成されるピット列の一部を拡大して示した平面図であ
る。

【図３】トラック幅方向に変位したグルーブと、当該グ
ルーブから得られるプッシュプル信号及びＲＦ信号との
関係を示す図である。

【図４】図１に示した再生専用光ディスクを製造する際
に使用される光記録媒体製造用原盤を作製するのに使用
されるレーザカッティング装置の一例について、その光
学系の概要を示す図である。

【図５】グルーブのトラック幅方向の変位としてＥＦＭ
信号を記録した場合について、グルーブ変位の振幅量
と、ブロックエラーレート及びジッターとの関係を測定
した結果を示す図である。

【図６】図１に示した再生専用光ディスクを記録媒体と
して用いる、本発明を適用した光記録再生装置の構成例
を示す図である。

【図７】本発明を適用した光磁気ディスクの一例を示す
要部拡大断面図である。

【図８】図７に示した光磁気ディスクの記録領域の一部
を拡大して示す平面図である。

【図９】図７に示した光磁気ディスクを製造する際に使
用される光記録媒体製造用原盤を作製するのに使用され
るレーザカッティング装置の一例について、その光学系
の概要を示す図である。

【図１０】図７に示した光磁気ディスクを記録媒体とし
て用いる、本発明を適用した光記録再生装置の構成例を
示す図である。

【符号の説明】

１再生専用光ディスク、２ディスク基板、３
光反射層、４保護層、Ｇグルーブ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｇ１１Ｂ 7/09 Ｇ１１Ｂ 7/09 Ｃ 7/26 ５０１ 7/26 ５０１

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】記録トラックに沿ってグルーブが形成さ
れてなるとともに、所定の変調が施された信号が上記グ
ルーブのトラック幅方向の変位として記録された情報記
録再生領域を備え、上記情報記録再生領域に形成されたグルーブにおける上
記変位の最大振幅量が、トラックピッチの６．２５〜３
１．２５％であることを特徴とする光記録媒体。
【請求項２】上記情報記録再生領域の他に、記録トラ
ックに沿ってグルーブが形成されてなり情報信号の追記
が可能な領域を備えることを特徴とする請求項１記載の
光記録媒体。
【請求項３】記録トラックに沿ってグルーブが形成さ
れてなる光記録媒体の基板作製用の型となる光記録媒体
製造用原盤であって、上記光記録媒体に形成されるグルーブに対応した凹凸パ
ターンが形成されてなり、上記光記録媒体は、所定の変調が施された信号が上記グ
ルーブのトラック幅方向の変位として記録された情報記
録再生領域を備え、上記情報記録再生領域に形成された
グルーブにおける上記変位の最大振幅量が、トラックピ
ッチの６．２５〜３１．２５％であることを特徴とする
光記録媒体製造用原盤。
【請求項４】上記光記録媒体は、上記情報記録再生領
域の他に、記録トラックに沿ってグルーブが形成されて
なり情報信号の追記が可能な領域を備え、上記情報信号の追記が可能な領域に形成されるグルーブ
に対応した凹凸パターンも形成されてなることを特徴と
する請求項３記載の光記録媒体製造用原盤。
【請求項５】記録トラックに沿ってグルーブが形成さ
れてなる光記録媒体の記録及び／又は再生を行う光記録
再生装置において、上記光記録媒体に光を照射するとともに、その光が上記
光記録媒体によって反射されて戻ってきた戻り光を、記
録トラックを中心に対称に配置された一対の受光部によ
り検出する光学ヘッドを備え、上記光記録媒体は、所定の変調が施された信号が上記グ
ルーブのトラック幅方向の変位として記録された情報記
録再生領域を備え、上記情報記録再生領域に形成された
グルーブにおける上記変位の最大振幅量が、トラックピ
ッチの６．２５〜３１．２５％であり、上記光記録媒体の情報記録再生領域から信号を再生する
際は、上記光学ヘッドの一対の受光部でそれぞれ検出さ
れた光量の差をとったプッシュプル信号に基づいてトラ
ッキングサーボを行うことを特徴とする光記録再生装
置。
【請求項６】上記光記録媒体は、上記情報記録再生領
域の他に、記録トラックに沿ってグルーブが形成されて
なり情報信号の追記が可能な領域を備え、上記光記録媒体の情報信号の追記が可能な領域に対して
記録及び／又は再生を行う際は、上記光学ヘッドの一対
の受光部でそれぞれ検出された光量の差をとったプッシ
ュプル信号に基づいてトラッキングサーボを行うことを
特徴とする請求項５記載の光記録再生装置。